JP2008151097A - 真空吸着装置 - Google Patents

Abstract

【課題】簡素な構成からなり、ワークを吸着した状態における圧力流体の浪費を防止する。
【解決手段】真空吸着装置１０において、圧力流体供給源１２とエゼクタ１６の間に切換バルブ１４を設け、前記切換バルブ１４の供給ポート２４を前記圧力流体供給源１２に接続すると共に、出力ポート２６を前記エゼクタ１６に対して接続している。そして、圧力流体供給源１２から切換バルブ１４を通じてエゼクタ１６へと圧力流体を供給することにより、該エゼクタ１６で負圧を発生させて吸着パッド２０ａ、２０ｂ、２０ｃへと供給している。一方、吸着パッド２０ａ、２０ｂ、２０ｃがワークを吸着して負圧が一定となった場合、切換バルブ１４に真空ポート２８を通じて供給される負圧によって弁体３４が変位し、前記供給ポート２４と出力ポート２６との連通が遮断される。
【選択図】図２

Description

本発明は、吸着パッド等の作業機器に負圧を供給する真空吸着装置に関する。

従来から、例えば、ワークの搬送手段、位置決め手段等として用いられる真空吸着装置が知られている。この真空吸着装置は、例えば、供給された圧力流体から負圧を発生させるエゼクタを含み、前記エゼクタに吸着パッド等の吸着手段を接続して該エゼクタで発生した負圧作用下に前記吸着手段によってワークを吸着している。そして、この吸着状態を保持しながらワークを変位させ、且つ、前記吸着状態を解除することにより所定位置にワークを離脱させて該ワークの搬送等を行っている（例えば、特許文献１参照）。

特開平１１−２２６６７９号公報

ところで、一般的に、このような真空吸着装置では、吸着手段によってワークが吸着された後においても、エゼクタで負圧を発生させ続けるために、圧力流体が一定量で前記エゼクタに対して連続的に供給されている。しかしながら、吸着手段によってすでにワークが吸着されているため、エゼクタによってさらなる負圧を発生させる必要はなく、該エゼクタに供給されている圧力流体が無駄に消費されていることとなる。すなわち、従来の真空吸着装置では、吸着パッドに供給される負圧の状態にかかわらず、常に一定流量の圧力流体を供給し続ける必要がある。そのため、近年、ワークの吸着時における圧力流体の消費量を低減させて省エネルギー化を図りたいという要望がある。

本発明は、前記の課題を考慮してなされたものであり、簡素な構成からなり、ワークを吸着した状態における圧力流体の浪費を防止することが可能な真空吸着装置を提供することを目的とする。

前記の目的を達成するために、本発明は、圧力流体を供給する圧力流体供給源と、
前記圧力流体が供給されることにより負圧を発生させる真空発生部と、
前記真空発生部から負圧が供給され、該負圧によってワークを吸着可能な吸着部と、
前記真空発生部に接続され、前記吸着部に供給された負圧の圧力状態に応じて前記圧力流体の供給される通路の連通状態を切り換える切換手段と、
を備え、
前記吸着部においてワークが吸着され、前記負圧が所定圧に達した際に、前記切換手段による切換作用下に前記通路の連通状態が遮断され、前記真空発生部に対する前記圧力流体の供給が停止されることを特徴とする。

本発明によれば、圧力流体供給源から真空発生部に圧力流体が供給され、該真空発生部において前記圧力流体から負圧を発生させ、吸着部へと供給してワークを吸着している。この真空発生部には、吸着部に供給された負圧の圧力状態に応じて前記圧力流体が供給される通路の連通状態を切り換える切換手段が接続され、前記負圧が前記吸着部にワークが吸着された状態となる所定圧に達した際、前記切換手段によって前記通路の連通状態を遮断し、前記真空発生部に対する前記圧力流体の供給を停止させることができる。

従って、真空吸着装置において切換手段を設けるという簡素な構成で、ワークが吸着部に吸着された状態における圧力流体の浪費を防止し、その消費量を抑制することができるため、前記真空吸着装置における省エネルギー化を促進させることができる。

また、切換手段は、圧力流体が供給される第１ポートと、真空発生部に接続されて前記圧力流体が導出される第２ポートと、前記真空発生部で生じた負圧の流通する負圧通路に接続される第３ポートとを有するボディと、前記ボディの内部に軸線方向に沿って変位自在に設けられ、前記第１ポートと第２ポートとの連通状態を切り換える弁体とを備えた切換弁とするとよい。これにより、第１ポートから第２ポートへと圧力流体を流通させて真空発生部へと導くことができると共に、負圧通路に接続された第３ポートから負圧を導入することにより弁体を変位させ、前記第１ポートと第２ポートとの連通状態を切り換えることができる。その結果、切換手段として、簡素な構成からなる切換弁を採用することにより、真空吸着装置を大型化させることなく、前記圧力流体の消費量を好適に抑制することができる。

さらに、切換弁は、弁体に弾発力を付与し、該弁体を第１ポートと第２ポートとの連通状態で維持するスプリングを有し、前記弁体を負圧により該スプリングの弾発力に抗して変位させることにより、前記第１ポートと第２ポートとの連通を遮断させるとよい。これにより、切換弁において弁体に対して弾発力を付与するスプリングを設けるという簡素な構成で、前記弁体の変位を確実且つ容易に切り換えることができるため、真空吸着装置を大型化させることなく、前記圧力流体の消費量を抑制することが可能となる。

さらにまた、切換弁に、弁体に付与されるスプリングの弾発力を調整自在な調整手段を有するとよい。これにより、負圧によって変位する弁体の変位タイミングを任意に調整することができるため、第１ポートと第２ポートとの連通状態を所望のタイミングで遮断することができ、それに伴って、吸着部に供給される負圧の所定圧を自在に設定することが可能となる。その結果、単一の真空吸着装置によって様々な大きさ、重量のワークに対応させて好適に吸着することができる。

本発明によれば、以下の効果が得られる。

すなわち、圧力流体供給源から圧力流体が供給される真空発生部には、吸着部に供給された負圧の圧力状態に応じて前記圧力流体が供給される通路の連通状態を切り換える切換手段が接続され、前記負圧が前記吸着部にワークが吸着された状態となる所定圧に達した際、前記切換手段によって前記通路の連通状態を遮断し、前記真空発生部に対する前記圧力流体の供給を停止させることができる。その結果、切換手段を設けるという簡素な構成で、ワークが吸着部に吸着された状態での圧力流体の浪費を防止し、その消費量を抑制することができる。

本発明に係る真空吸着装置について好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。

図１において、参照符号１０は、本発明の第１の実施の形態に係る真空吸着装置を示す。

この真空吸着装置１０は、図１〜図４に示されるように、圧力流体を供給する圧力流体供給源１２と、該圧力流体供給源１２からの圧力流体の供給状態を切り換える切換バルブ（切換手段）１４と、該切換バルブ１４に接続され、前記圧力流体から負圧（真空圧）を発生させるエゼクタ（真空発生部）１６と、前記エゼクタ１６で発生した負圧を大気圧へと復帰させる真空破壊バルブ１８ａ、１８ｂ、１８ｃと、前記真空破壊バルブ１８ａ、１８ｂ、１８ｃに対して接続され、供給される負圧によってワーク（図示せず）を吸着する吸着パッド（吸着部）２０ａ、２０ｂ、２０ｃと、前記エゼクタ１６に導入された圧力流体を外部に排気する排気ユニット２２とを含む。

なお、ここでは、図１及び図２に示されるように、真空破壊バルブ１８ａ、１８ｂ、１８ｃ及び吸着部が、負圧通路５２に対してそれぞれ３個並列に接続された場合について説明する。

切換バルブ１４は、図３及び図４に示されるように、供給ポート（第１ポート）２４、出力ポート（第２ポート）２６及び真空ポート（第３ポート）２８とを有するバルブボディ（ボディ）３０と、前記バルブボディ３０の内部に装着された円筒体３２を介して変位自在に設けられる弁体３４と、前記弁体３４の変位量を調整可能な調整ねじ（調整手段）３６と、前記弁体３４と調整ねじ３６との間に介装されるスプリング３８とを有する。

バルブボディ３０の内部には、軸線方向に沿って延在した貫通孔４０が形成され、その内部に円筒体３２及び弁体３４が配設される。この貫通孔４０は、バルブボディ３０の一端部側（矢印Ａ方向）が開口すると共に、該バルブボディ３０の他端部側（矢印Ｂ方向）に形成された呼吸ポート４２を介して外部と連通している。そして、バルブボディ３０の一端部には、ねじ孔４４を有するカバープレート４６が装着され、該カバープレート４６によって貫通孔４０の一部が閉塞される。

バルブボディ３０の一側面には、供給ポート２４が開口して貫通孔４０と連通すると共に、前記供給ポート２４が供給通路４８を介して圧力流体供給源１２に接続される。

また、バルブボディ３０の他側面には、出力ポート２６が貫通孔４０と連通するように開口し、前記出力ポート２６は、前記バルブボディ３０における軸線方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿った略中央部に配設される。この出力ポート２６は、出力通路５０を介してエゼクタ１６に接続される。

さらに、真空ポート２８は、バルブボディの一側面に前記供給ポート２４と所定間隔離間して形成され、貫通孔４０と連通すると共に負圧通路５２を通じて真空破壊バルブ１８ａ、１８ｂ、１８ｃに接続されている。

円筒体３２は、貫通孔４０の内周面に当接するように配設され、その外周面には供給ポート２４に臨む第１凹部５４と、出力ポート２６に臨む第２凹部５６と、真空ポート２８に臨む第３凹部５８とを有し、前記第１〜第３凹部５４、５６、５８は、前記外周面に対して所定深さで環状に窪んで形成される。

また、第１〜第３凹部５４、５６、５８には、円筒体３２の内周側に向かって貫通した連通路６０ａ、６０ｂ、６０ｃがそれぞれ形成され、前記連通路６０ａ、６０ｂ、６０ｃを介して前記円筒体３２の外周側と内周側とが連通している。

さらに、円筒体３２の外周面には、第１及び第３凹部５４、５８の両側に形成された環状溝を介して一対のシール部材６２ａ、６２ｂがそれぞれ設けられ、前記シール部材６２ａ、６２ｂが貫通孔４０において供給ポート２４及び真空ポート２８の外側に当接することにより、前記バルブボディ３０と円筒体３２との間を通じた圧力流体の漏出が防止される。詳細には、供給ポート２４から第１凹部５４に供給される圧力流体が外部に漏出することがなく、負圧通路５２を通じて真空ポート２８に導入される負圧が外部へとから漏出することが防止される。

弁体３４は、円筒体３２の内周面に当接するように配置され、一端部が円柱状に形成されて供給ポート２４を備えたバルブボディ３０の他端部側（矢印Ｂ方向）に挿入されると共に、他端部は、バルブボディ３０の一端部側（矢印Ａ方向）に向かって開口した円筒状のスプリング受け部６４を有している。

また、弁体３４の略中央部には、前記円筒体３２の内周面に臨む環状凹部６６が形成される。この環状凹部６６は、弁体３４の軸線方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って所定幅で形成されると共に、前記弁体３４の外周面から所定深さで形成される。環状凹部６６の幅寸法は、供給ポート２４と出力ポート２６にそれぞれ臨み、互いを連通可能な大きさに設定される。

調整ねじ３６は、カバープレート４６のねじ孔４４に螺合されるねじ部６８と、貫通孔４０の内部に配置され、半径外方向に拡幅したフランジ部７０と、前記フランジ部７０に対して縮径し、弁体３４側に向かって延在するガイド部７２とを有し、前記フランジ部７０の外周面には、環状溝を介してシールリング７４が装着される。そして、調整ねじ３６を螺回させることにより、ねじ部６８とカバープレート４６のねじ孔４４との螺合作用下に該調整ねじ３６が軸線方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って進退変位する。

また、フランジ部７０には、弁体３４のスプリング受け部６４との間にスプリング３８が介装され、前記スプリング３８の弾発力は、前記弁体３４を調整ねじ３６から離間させる方向（矢印Ｂ方向）に付勢している。すなわち、調整ねじ３６によってスプリング３８が弁体３４側（矢印Ｂ方向）へと押圧されているため、該調整ねじ３６を螺回させて軸線方向へと変位させることにより、前記スプリング３８に対する押圧力を変化させることができ、前記スプリング３８から弁体３４に対して付与される弾発力を調整することが可能となる。

なお、スプリング３８は、調整ねじ３６を構成するガイド部７２の外周側に挿通されることによって軸線方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿ってガイドされる。

エゼクタ１６は、切換バルブ１４の下流側に出力通路５０を介して接続され、該切換バルブ１４の出力ポート２６を通じて導出された圧力流体が導入される。そして、エゼクタ１６において発生した負圧が負圧通路５２を通じて真空破壊バルブ１８ａ、１８ｂ、１８ｃへと導出されると共に、前記圧力流体は排気通路７６を通じて排気ユニット２２へと導出され、外部へと排気される。

また、エゼクタ１６と真空破壊バルブ１８ａ、１８ｂ、１８ｃとの間にはチェック弁７８（図２参照）が設けられ、前記エゼクタ１６によって発生した負圧によって弁開状態となり、前記エゼクタ１６と真空破壊バルブ１８ａ、１８ｂ、１８ｃとを接続している負圧通路５２が連通する。

本発明の第１の実施の形態に係る真空吸着装置１０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。

先ず、圧力流体供給源１２から圧力流体を供給通路４８へと供給することにより、供給ポート２４を通じて切換バルブ１４の貫通孔４０の内部に導入される。この場合、弁体３４はスプリング３８の弾発作用下に調整ねじ３６から離間する方向（矢印Ｂ方向）へと変位しているため、供給ポート２４に導入された圧力流体が弁体３４の環状凹部６６を通じて出力ポート２６へと導かれ、出力通路５０を通じてエゼクタ１６へと供給される。この場合、真空ポート２８は、弁体３４によって閉塞されて供給ポート２４及び出力ポート２６に対して非連通であるため、該真空ポート２８に対して圧力流体が流通することがない。

そして、エゼクタ１６において発生した負圧が負圧通路５２を通じてそれぞれ真空破壊バルブ１８ａ、１８ｂ、１８ｃを経て吸着パッド２０ａ、２０ｂ、２０ｃへと供給される。これにより、図示しないワークが吸着パッド２０ａ、２０ｂ、２０ｃによって吸着されて保持される。一方、エゼクタ１６に供給された圧力流体は、排気通路７６を通じて排気ユニット２２に導かれた後、外部へと排気される。

次に、ワークが吸着パッド２０ａ、２０ｂ、２０ｃによって吸着された後、負圧の圧力が前記ワークを吸着可能な設定圧に対して上昇するため、前記負圧の供給される負圧通路５２の圧力が高まり、該負圧通路５２と切換バルブ１４の真空ポート２８とが連通しているため、弁体３４がスプリング３８の弾発力に抗して調整ねじ３６側（矢印Ａ方向）へと引張される（図４参照）。これにより、弁体３４の一端部によって供給ポート２４が閉塞され、該供給ポート２４と出力ポート２６との連通が遮断される。そのため、供給ポート２４及び出力ポート２６を通じたエゼクタ１６への圧力流体の供給が遮断され、ワークを吸着している吸着パッド２０ａ、２０ｂ、２０ｃへの負圧が略一定圧力で保持される（図５中、実線参照）。ここで、真空吸着装置における圧力流体の消費量と吸着パッドによる吸着時間との関係について、図５を参照しながら簡単に説明する。なお、図５中の実線Ｃが、本実施の形態に係る真空吸着装置１０の特性を示し、図５中の破線Ｄが、従来技術に係る真空吸着装置の特性を示している。

従来の真空吸着装置では、図５の破線Ｄで示されるように、吸着パッドによるワークの吸着時間が増大するのに伴って、圧力流体の消費量が比例して増大していることが諒解される。すなわち、吸着パッドでワークを吸着した状態においても、圧力流体が連続的に供給され続けている。

これに対して、第１の実施の形態に係る真空吸着装置１０では、切換バルブ１４の切換作用下に吸着パッド２０ａ、２０ｂ、２０ｃが吸着した状態において圧力流体の供給を遮断しているため、図５の実線に示されるように、前記吸着パッド２０ａ、２０ｂ、２０ｃによる吸着時間が増大しても、圧力流体の消費量が略一定のままとなる。

なお、スプリング３８の弾発力は、調整ねじ３６を螺回させて弁体３４との離間距離を調整するように変位させることによって任意に調整可能である。

例えば、吸着パッド２０ａ、２０ｂ、２０ｃに供給する負圧の設定圧力を大きくしたい場合には、調整ねじ３６を弁体３４側（矢印Ｂ方向）に向かって変位させるように螺回し、スプリング３８を弁体３４との間で圧縮させることにより、該スプリング３８の弾発力を大きくすることができる。その結果、弁体３４をスプリング３８の弾発力に抗して調整ねじ３６側（矢印Ａ方向）へと変位させる際に大きな変位力が必要となる。すなわち、負圧によって弁体３４に付与される引張力が大きくなるまで該弁体３４が変位することがなく、前記弁体３４による供給ポート２４と出力ポート２６との連通状態が維持されることとなり、吸着パッド２０ａ、２０ｂ、２０ｃに供給される負圧の圧力が高まることとなる。

そして、吸着パッド２０ａ、２０ｂ、２０ｃによって吸着されたワークが搬送され、該ワークの吸着を解除する場合には、真空破壊バルブ１８ａ、１８ｂ、１８ｃを駆動させて負圧通路５２を外部と連通させることにより、該負圧通路５２における負圧が大気圧となるため吸着パッド２０ａ、２０ｂ、２０ｃへの負圧の供給が停止して吸着状態が解除される。

一方、ワークを吸着した状態で吸着パッド２０ａ、２０ｂ、２０ｃにおける負圧の圧力が設定圧より低下した場合には、スプリング３８の弾発力が負圧の圧力に打ち勝って弁体３４を調整ねじ３６から離間させる方向（矢印Ｂ方向）へと押圧することにより、再び供給ポート２４と出力ポート２６とが環状凹部６６を介して連通し、圧力流体が出力通路５０を通じてエゼクタ１６へと供給されることによって負圧が生じて吸着パッド２０ａ、２０ｂ、２０ｃへとそれぞれ供給される。これにより、吸着パッド２０ａ、２０ｂ、２０ｃにおける負圧の圧力が予め設定された設定圧に維持される。

以上のように、第１の実施の形態では、圧力流体供給源１２とエゼクタ１６との間に切換バルブ１４を設け、吸着パッド２０ａ、２０ｂ、２０ｃによりワークが吸着された後、前記エゼクタ１６で発生した負圧によって該切換バルブ１４の弁体３４を変位させ、前記圧力流体供給源１２とエゼクタ１６との連通を遮断している。これにより、ワークの吸着状態においてエゼクタ１６に対する圧力流体の供給を停止し、該ワークを保持した状態とすることができる。このように、圧力流体が供給される供給通路４８に切換バルブ１４を設けるという簡素な構成で、ワークを吸着した後の前記圧力流体の浪費を防止して消費量を抑制することができる。その結果、真空吸着装置１０における省エネルギー化をより一層促進させることが可能となる。

また、供給ポート２４、出力ポート２６及び真空ポート２８とを有するバルブボディ３０と、前記バルブボディ３０の内部に装着された円筒体３２を介して変位自在に設けられる弁体３４と、前記弁体３４の変位量を調整可能な調整ねじ３６と、前記弁体３４と調整ねじ３６との間に介装されるスプリング３８とから切換バルブ１４を構成することができるため、真空吸着装置１０を大型化させることなく、前記圧力流体の消費量を抑制することが可能となる。

さらに、切換バルブ１４に調整ねじ３６を設けることにより、弁体３４の変位するタイミングを任意に調整することができるため、圧力流体供給源１２とエゼクタ１６との間の連通状態を所望のタイミングで遮断することができ、それに伴って、吸着パッド２０ａ、２０ｂ、２０ｃに供給される負圧の設定圧を自在に設定することが可能となる。その結果、吸着パッド２０ａ、２０ｂ、２０ｃに吸着されるワークの大きさ、重量等に応じて容易に所望の設定圧として該ワークを好適に吸着することができる。

さらにまた、従来の真空吸着装置と比較し、真空吸着装置１０を流通する圧力流体の流量を低減させることができるため、前記圧力流体が排気ユニット２２から排気される際の騒音が低減されると共に、前記騒音を低減するためのサイレンサの目詰まりも抑制される。

またさらに、エゼクタ１６の下流側となる負圧通路５２にエアタンク（図示せず）を設けることによって真空ポンプとして代用することが可能である。

なお、上述した第１の実施の形態に係る真空吸着装置１０では、吸着パッド２０ａ、２０ｂ、２０ｃ及び真空破壊バルブ１８ａ、１８ｂ、１８ｃを３個設けた場合について説明したが、これに限定されるものではなく、エゼクタ１６に接続されて負圧の供給される負圧通路５２に対して並列に接続されていればその数量には限定されるものではない。

次に、第２の実施の形態に係る真空吸着装置１００を図６に示す。なお、上述した第１の実施の形態に係る真空吸着装置１０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明を省略する。

この第２の実施の形態に係る真空吸着装置１００では、圧力流体供給源１２と吸着パッド２０ａ、２０ｂ、２０ｃとの間に一組の切換バルブ１０２ａ、１０２ｂ及びエゼクタ１０４ａ、１０４ｂを備え、前記エゼクタ１０４ａ、１０４ｂによって発生した負圧をそれぞれ前記吸着パッド２０ａ、２０ｂ、２０ｃへと供給している点で、第１の実施の形態に係る真空吸着装置１０と相違している。

図６に示されるように、一組の切換バルブ１０２ａ、１０２ｂが、圧力流体供給源１２に接続された供給通路１０６ａ、１０６ｂに対してそれぞれ接続され、前記切換バルブ１０２ａ、１０２ｂの出力ポート２６に接続される出力通路１０８ａ、１０８ｂを介してそれぞれエゼクタ１０４ａ、１０４ｂに接続されている。

また、一組のエゼクタ１０４ａ、１０４ｂには、それぞれ負圧通路１１０ａ、１１０ｂが接続され、一方のエゼクタ１０４ａに接続された負圧通路１１０ａに、他方のエゼクタ１０４ｂに接続された負圧通路１１０ｂが接続される。すなわち、一組のエゼクタ１０４ａ、１０４ｂで生じた負圧がそれぞれ負圧通路１１０ａ、１１０ｂへと供給されて合流し、真空破壊バルブ１８ａ、１８ｂ、１８ｃを通じて吸着パッド２０ａ、２０ｂ、２０ｃへとそれぞれ供給される。なお、エゼクタ１０４ａ、１０４ｂに供給された圧力流体は、排気通路７６を通じて排気ユニット２２に導かれた後に外部へと排気される。

このように、第２の実施の形態に係る真空吸着装置１００では、複数のエゼクタ１０４ａ、１０４ｂを設けることにより、複数の吸着パッド２０ａ、２０ｂ、２０ｃ等の吸着手段を設けた場合にも十分な負圧を供給することができると共に、切換バルブ１０２ａ、１０２ｂに設けられた調整ねじ３６を調整することにより、必要とされる負圧の供給量に応じて複数のエゼクタ１０４ａ、１０４ｂを選択的に使用することが可能となる。そのため、真空吸着装置１００においてより一層圧力流体の消費量を低減して浪費を防止することができる。

なお、上述した第２の実施の形態に係る真空吸着装置１００では、一組の切換バルブ１０２ａ、１０２ｂ及びエゼクタ１０４ａ、１０４ｂを備える場合について説明したが、これに限定されるものではなく、圧力流体供給源１２に接続された供給通路に対して並列に複数の切換バルブを接続すると共に、該切換バルブに対してそれぞれエゼクタを接続するようにすれば特にその数量には限定されない。

また、本発明に係る真空吸着装置は、上述の実施の形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。

本発明の第１の実施の形態に係る真空吸着装置の概略構成図である。 図１に示す真空吸着装置の概略回路図である。 図１の真空吸着装置を構成する切換バルブの全体縦断面図である。 図２の切換バルブにおいて弁体が変位し、供給ポートと出力ポートとの連通が遮断された状態を示す全体縦断面図である。 真空吸着装置における圧力流体の消費量と吸着時間との関係を示す特性線図である。 第２実施例に係る真空吸着装置の概略構成図である。

符号の説明

１０、１００…真空吸着装置 １２…圧力流体供給源
１４、１０２ａ、１０２ｂ…切換バルブ
１６、１０４ａ、１０４ｂ…エゼクタ １８ａ〜１８ｃ…真空破壊バルブ
２０ａ〜２０ｃ…吸着パッド ２４…供給ポート
２６…出力ポート ２８…真空ポート
３０…バルブボディ ３４…弁体
３６…調整ねじ ３８…スプリング
４８、１０６ａ、１０６ｂ…供給通路 ５０、１０８ａ、１０８ｂ…出力通路
５２、１１０ａ、１１０ｂ…負圧通路

Claims (4)

1. 圧力流体を供給する圧力流体供給源と、
   前記圧力流体が供給されることにより負圧を発生させる真空発生部と、
   前記真空発生部から負圧が供給され、該負圧によってワークを吸着可能な吸着部と、
   前記真空発生部に接続され、前記吸着部に供給された負圧の圧力状態に応じて前記圧力流体の供給される通路の連通状態を切り換える切換手段と、
   を備え、
   前記吸着部においてワークが吸着され、前記負圧が所定圧に達した際に、前記切換手段による切換作用下に前記通路の連通状態が遮断され、前記真空発生部に対する前記圧力流体の供給が停止されることを特徴とする真空吸着装置。
2. 請求項１記載の真空吸着装置において、
   前記切換手段は、前記圧力流体が供給される第１ポートと、前記真空発生部に接続されて前記圧力流体が導出される第２ポートと、前記真空発生部で生じた負圧の流通する負圧通路に接続される第３ポートとを有するボディと、前記ボディの内部に軸線方向に沿って変位自在に設けられ、前記第１ポートと第２ポートとの連通状態を切り換える弁体とを備えた切換弁からなることを特徴とする真空吸着装置。
3. 請求項１又は２記載の真空吸着装置において、
   前記切換弁には、前記弁体に弾発力を付与し、該弁体を前記第１ポートと第２ポートとの連通状態で維持するスプリングを有し、前記弁体が前記負圧により該スプリングの弾発力に抗して変位することにより、前記第１ポートと第２ポートとの連通が遮断されることを特徴とする真空吸着装置。
4. 請求項１〜３のいずれか１項に記載の真空吸着装置において、
   前記切換弁には、前記弁体に付与されるスプリングの弾発力を調整自在な調整手段を有することを特徴とする真空吸着装置。

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