JP5411651B2 - 吸着ユニット - Google Patents

Description

本発明は、先端部において電子部品等のワークを吸着可能に形成された吸着ユニットに関するものである。

従来、半導体チップなどの電子部品を所定の実装位置に実装するために、マウンタと呼ばれる実装機が用いられている。このマウンタには所定の位置間を移動可能なマウンタヘッドが設けられており、このマウンタヘッドに電子部品を吸着保持可能な吸着装置を搭載することにより、電子部品を所定位置まで移動可能としている。すなわち、まずマウンタヘッドの先端に設けられた吸着装置で電子部品を吸着保持する。そして、この状態でマウンタヘッドを所定の位置にまで移動させる。これにより、電子部品を実装位置にまで移動可能となっているとともに、移動した電子部品の吸着保持を解除することで、電子部品の実装が可能となっている。

なお、こうした吸着装置では、特許文献１にも示されるとおり、内部にエゼクタと呼ばれる部品を備えることにより吸着保持のための負圧を発生させている。こうしたエゼクタは、内部に気体を通過させるための流路が形成してあるとともに、この流路と連通する吸引口が側面等に形成されている。
特許文献１でも分かる通り、こうしたエゼクタを組み込んだ吸着装置においては、吸着装置をマウンタヘッドに取り付けた上で、マウンタヘッドから吸着装置内のエゼクタにエアを供給する。すると、エゼクタが空気を引き込むため、吸着装置に吸引力が生じ（エゼクタ効果）、これによって電子部品を吸着保持できるようになっている。

特開平５−１６２０９３号公報

ここで、エゼクタ効果を効率的に発揮させるためには、吸着装置の気体供給口から気体排出口、及び吸引口を結ぶ各流路を、気体が円滑に通過する必要がある。
しかし、上記した従来の吸着装置では、複数の各構成部材に気体流路となる通路を形成し、各構成部材を組み合わせる際に各構成部材に形成された各通路どうしを精度良く連通させる必要があるため、エゼクタ効果を効率的に発揮可能な吸着装置を容易に製造することができなかった。

本発明は、上記した課題を解決するためになされたものである。以下、各請求項にそれぞれ記載された発明の特徴および作用を説明する。
なお、符号は、発明の実施の形態において用いた符号を示し、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
（請求項１）
請求項１に記載の発明は、以下を特徴とする。
すなわち、請求項１に記載の発明は、先端部11において吸着力が発生する吸着ユニット10であって、気体通過路21が形成される貫通路を有する気体供給口台座20と、前記気体供給口台座20に嵌装されるエゼクタ30と、前記エゼクタ30を覆うように前記気体供給口台座20に固定され、前記気体供給口台座20との間に第１負圧室12を形成する本体ケース部40と、吸着ユニット10の先端側において前記本体ケース部40に固定され、前記本体ケース部40との間に第２負圧室13を形成するキャップ部50と、を有し、前記エゼクタ30は、前記気体供給口台座20の気体通過路21を介して気体が供給されたときに、エゼクタ吸引口33,34から前記第１負圧室12の気体を吸引して外部へ排出することにより、前記第１負圧室12内に負圧を発生させるためのものであり、前記本体ケース部40には前記第１負圧室12と前記第２負圧室13とを連通するための連通路41が形成されており、これにより、前記第１負圧室12内に負圧が発生したときに前記第２負圧室13にも負圧が発生し、また、前記キャップ部50の先端に設けられた負圧口51を介して第２負圧室13が外部と連通しており、これにより、前記第２負圧室13に負圧が発生すると前記負圧口51に吸着力が発生するとともに、前記本体ケース部40に前記第１負圧室12から吸引された気体を外部へ排出するための排気口44が設けられ、この排気口44は、前記エゼクタ30を取り除いた場合には前記第１負圧室12を形成する中空部分と連通しているが、前記エゼクタ30を装着した場合には前記エゼクタ30に設けられた遮断手段35により前記第１負圧室12を形成する中空部分と遮断されていることを特徴とする。

（請求項２）
請求項２に記載の発明は、上記した請求項１記載の発明の特徴点に加え、以下を特徴とする。
すなわち、請求項２に記載の発明は、前記負圧口51を覆うように吸着部材60を設け、この吸着部材60に設けられた吸着口62に吸着力が発生することを特徴とする。
（請求項３）
請求項３に記載の発明は、上記した請求項１または２記載の発明の特徴点に加え、以下を特徴とする。

すなわち、請求項３に記載の発明は、前記エゼクタ30は、複数のエゼクタ吸引口33,34を有する多段エゼクタであることを特徴とする。
（請求項４）
請求項４に記載の発明は、上記した請求項１乃至３のいずれか１項に記載の発明の特徴点に加え、以下を特徴とする。
すなわち、請求項４に記載の発明は、前記気体通過路21と前記第１負圧室12と前記第２負圧室13とから選択される少なくとも１つに、気体の流れを検出する検出手段が設けられていることを特徴とする。

（請求項５）
請求項５に記載の発明は、上記した請求項１乃至４のいずれか１項に記載の発明の特徴点に加え、以下を特徴とする。
すなわち、請求項５に記載の発明は、前記吸着部材60が導電性であることを特徴とする。
（請求項６）
請求項６に記載の発明は、上記した請求項１乃至５のいずれか１項に記載の発明の特徴点に加え、以下を特徴とする。

すなわち、請求項６に記載の発明は、前記吸着部材60が弾性体であることを特徴とする。

請求項１に記載の発明は上記の通りであり、気体供給口台座にエゼクタを嵌装し、更に、前記エゼクタを覆うように前記気体供給口台座に本体ケース部を固定するだけで負圧室と排気路とを区画でき、更に気体が円滑に通過可能な気体流路を容易に形成できる。また、本体ケース部の中空部分が排気口と連通するように形成されており、これをエゼクタの遮断手段により第１負圧室側と排気口側とに遮断する構成となっている。このため、排気口と負圧室とを別々に形成する必要がなく、これらを連続した空間として形成できるため、製造コストを低く抑えることができる。
また、請求項２に記載の発明によれば、負圧口を覆うように吸着部材が設けられているため、ワークを確実に吸着保持できる。

また、請求項３に記載の発明によれば、エゼクタが複数のエゼクタ吸引口を有する多段エゼクタであるため、供給される気体が少ない場合でも真空度を高くすることができる。すなわち、供給される気体が少ない場合でも高い吸着力を得ることができるため、気体消費量を低減させることができ、省エネルギーに資する吸着ユニットを提供できる。
また、請求項４に記載の発明によれば、気体通過路と第１負圧室と第２負圧室とから選択される少なくとも１つに、気体の流れを検出する検出手段を設け、これにより電子部品が吸着されているか否かを判断するようにしたので、電子部品が確実に吸着されていることを確認することができる。

また、請求項５に記載の発明によれば、吸着部材を導電性としたため、吸着部材に設けられた吸着口で電子部品等のワークを吸着したときに、電子部品等に帯電している静電気を除去可能となっており、電子部品の静電破壊を防止することができる。
また、請求項６に記載の発明によれば、吸着部材を弾性体としたため、吸着部材に設けられた吸着口で電子部品等のワークを吸着したときに、電子部品等の損傷を防止することができる。

本発明の実施の形態であって、吸着ユニットが電子部品を吸着する様を示す説明図である。 本発明の実施の形態であって、吸着ユニットの分解斜視図である。 本発明の実施の形態であって、吸着ユニットの正面断面図である。 本発明の実施の形態であって、吸着ユニットの側面断面図である。 本発明の実施の形態であって、吸着ユニットにエアが供給されて吸着力が発生する様を示す説明図である。

本発明の実施形態について、図を参照しながら説明する。
（吸着ユニット10）
図２に示すとおり、本実施形態に係る吸着ユニット10は、気体供給口台座20と、エゼクタ30と、本体ケース部40と、キャップ部50と、吸着部材60と、の各部材からなっている。
図１はこれらの部材を組み合わせた状態であり、気体供給口台座20が図示しないマウンタヘッドに装着されて、このマウンタヘッドのエア供給口から供給されるエアによって生じる負圧により、電子部品100を吸着するようになっている。
詳しくは、先端部11に設けられた部材である吸着部材60の吸着面61には吸着口62が設けられており、この吸着口62は、マウンタヘッドのエア供給口からエアが供給されたときに空気を吸引する。このため、エアが供給されている状態で吸着部材60の吸着面61を電子部品100に押し当てると、電子部品100は吸着ユニット10に吸着されるようになっている。

この吸着ユニット10を使用して電子部品100を実装する場合には、電子部品100が吸着ユニット10に吸着された状態でマウンタヘッドを移動させ、電子部品100が所定の実装位置にまで移動したらエアの供給を停止する。これにより、電子部品100の吸着が解除されて、電子部品100を所定位置に実装することが可能となっている。
以下、吸着ユニット10を構成する各部材について詳しく説明する。
（気体供給口台座20）
気体供給口台座20は、図示しないマウンタヘッドに装着されるものであり、マウンタヘッドに吸着ユニット10を固定するためのものである。

図２に示すように、気体供給口台座20は、軸心に貫通孔を有するボルト形状である。この気体供給口台座20の貫通孔は、後述する気体を通過させるための気体通過路21を形成している。そして、図３に示すように、この気体通過路21のマウンタヘッド側の内面にはめねじがきってあり、台座めねじ部22を形成している。この台座めねじ部22は、特に図示しないが、マウンタヘッドに設けられたおねじ部と螺合するようになっており、これにより気体供給口台座20はマウンタヘッドに固定される。なお、特に図示しないが、マウンタヘッドに設けられたおねじ部も軸心に貫通孔を有しており、この貫通孔を介して吸着ユニット10にエアを供給する構造となっている。

また、図２に示すように、気体供給口台座20は、マウンタヘッドとは逆側の外周におねじがきってあり、台座おねじ部23を形成している。この台座おねじ部23は、後述する本体ケース部40の内周面に設けられためねじと螺合することにより、気体供給口台座20と本体ケース部40とを固定するためのものである。
（エゼクタ30）
エゼクタ30は、図２に示すように、外周側面に第１エゼクタ吸引口33と第２エゼクタ吸引口34との２つの吸引口を有する管状部材である。
このエゼクタ30は、気体供給口台座20の気体通過路21に挿入されることにより、気体供給口台座20に嵌装されるものである。

エゼクタ30の内部には気体を通過させることが可能な気体流路31が形成されており、この気体流路31が前述した気体供給口台座20の気体通過路21と連通している。すなわち、マウンタヘッドからエアが供給されると、この気体流路31をエアが通過することとなる。
ここで、特に図示しないが、この気体流路31を上流側から下流側へと見ると、前記した第１エゼクタ吸引口33が設けられた位置付近で１度拡開し、また、前記した第２エゼクタ吸引口34が設けられた位置付近で再度拡開するように形成されている。このため、気体流路31を通過する気体は、第１エゼクタ吸引口33および第２エゼクタ吸引口34付近で流速が速くなるようになっており、流速が速くなることにより第１エゼクタ吸引口33が設けられた位置付近及び第２エゼクタ吸引口34が設けられた位置付近に負圧が生じるようになっている。このため、この第１エゼクタ吸引口33および第２エゼクタ吸引口34を介して、外部の空気が気体流路31へと引き込まれるようになっている。そして、こうして引き込まれた空気は、供給されたエアと一緒に気体排出口32から排出されるようになっている。なお、この気体排出口32は、エゼクタ30の気体供給口台座20に嵌装される側とは逆端側に設けられた気体流路31の出口である。この気体排出口32は、後述する本体ケース部40の排気路43と連通することとなるため、気体排出口32から排出された空気はこの本体ケース部40の排気路43を通過して排気口44から外部へと排気されることとなる。

なお、エゼクタ30の気体排出口32が設けられた側の端付近には、その外周にＯリング35が嵌め込まれている。このＯリング35は、後述するように、第１負圧室12と排気口44とを遮断するためのものである。
（本体ケース部40）
本体ケース部40は、図２に示すように、おおよそ有底円筒状であり、エゼクタ30を覆うように前記気体供給口台座20に固定されるものである。すなわち、本体ケース部40の開口側端部の内周面には、図示しないめねじがきってあり、このめねじが前述した台座おねじ部23と螺合することにより、気体供給口台座20に固定することが可能となっている。このように本体ケース部40に前記気体供給口台座20を固定すると、本体ケース部40と前記気体供給口台座20との間には後述する第１負圧室12が形成されることとなるが、この点は後ほど詳述する。

また、この本体ケース部40は完全な有底形状ではなく、開口部側と逆側においても排気口44が設けられており、これにより、開口部側と逆側においても本体ケース部40の中空部分（後述する第１負圧室12を形成する内部空間）が外部と連通することとなっている。この排気口44は、本体ケース部40内部において、本体ケース部40の軸方向と直行するように貫通する排気路43の開口部として設けられているものである。また、この排気路43は、エゼクタ30が取り付けられていない状態においては、後述するエゼクタ貫通路42を介して本体ケース部40の中空部分（後述する第１負圧室12を形成する内部空間）と連通している。このため、エゼクタ30が取り付けられていない状態においては、前記気体供給口台座20に固定される側の開口と、逆側に設けられた排気口44とが、連通するような構造となっている。しかしながら、後述するように、吸着ユニット10が組み上げられてエゼクタ30が取り付けられた場合には、この開口側と排気口44側とがエゼクタ30に設けられたＯリング35によって遮断されることとなる。これにより、後述する第１負圧室12が、排気路43及び排気口44と遮断されるように形成されている。
（キャップ部50）
キャップ部50は、図２に示すように、ドーム状の底を有する円筒状であり、吸着ユニット10の先端側において前記本体ケース部40に固定されるものである。具体的には、本体ケース部40のキャップ部50と固定される側の端部外周面にはおねじが形成されており、また、キャップ部50の本体ケース部40と固定される側の端部内周面にはめねじが形成されている。このため本体ケース部40のおねじとキャップ部50のめねじとが螺合することにより、本体ケース部40とキャップ部50とを固定することが可能となっている。このように本体ケース部40とキャップ部50とを固定すると、本体ケース部40とキャップ部50との間には後述する第２負圧室13が形成されることとなるが、この点は後ほど詳述する。

なお、図２に示すように、このキャップ部50も完全な有底形状ではない。すなわち、キャップ部50の本体ケース部40側とは逆側の端面には突起が形成されており、この突起の先端に負圧口51が設けられている。そして、後述するように、この負圧口51は内部において第２負圧室13と連通するものであり、このため、第２負圧室13に負圧が生じたときに負圧口51に吸着力が発生するようになっている。
なお、特に図示しないが、キャップ部50の負圧口51付近の内部には、気体の流れを検出する検出手段としての流量スイッチが設けられており、これにより電子部品100が吸着されているか否かを判断できるようになっている。具体的には、この流量スイッチは、図示しないマウンタの制御部と接続されており、マウンタが吸着動作に入って吸着ユニット10にエアを供給したときには、流量スイッチの検出信号がマウンタの制御部により監視される。このとき、電子部品100が吸着されていれば負圧口51付近には空気の流れが発生しないはずであるから、マウンタからエアが供給されているにもかかわらず、流量スイッチが空気の流れを検出しなくなった場合には、電子部品100が吸着されていることを意味している。このように、マウンタの制御部は、流量スイッチの検出信号を監視することで電子部品100が吸着されているか否かを検出可能となっている。
（吸着部材60）
吸着部材60は、前記負圧口51を覆うように着脱可能に設けられた部材であって、好ましくは導電性の材料により構成されているものである。また、吸着部材60は、例えばゴムや、熱可塑性エラストマー、熱硬化性エラストマー等の弾性体で構成することが望ましい。

そして、この吸着部材60の先端には、電子部品100と接する面である吸着面61が形成され、この吸着面61の中央に、前記負圧口51と連通した吸着口62が形成されている。このため、負圧口51に吸着力が発生した場合には、結局、吸着口62に吸着力が発生することとなる。
（吸着ユニット10の内部構造）
次に、吸着ユニット10の内部構造について説明する。
図４に示すように、気体供給口台座20およびエゼクタ30を取り付けていない状態においては、本体ケース部40は、気体供給口台座20が取り付けられる側の端が開口して中空部分を形成している。そして、この中空部分は、開口側とは逆端付近において縮径し、エゼクタ貫通路42を形成している。このエゼクタ貫通路42は、中空部分と連通する側とは逆側の端において、排気路43と連通している。この排気路43は、本体ケース部40の軸心と直行する方向に貫通する空気の通り道である。そして、この排気路43は、本体ケース部40の側面において開口して排気口44を形成している。本体ケース部40は上記のように形成されているため、中空部分を有する有底円筒状の部材であって、その底付近において、軸心と直行する方向に貫通する排気路43が中空部分と連通して設けられている構造となっている。

そして、吸着ユニット10を組み立てたときには、この本体ケース部40の中空部分は、開口側が気体供給口台座20によって塞がれることになる。また、エゼクタ貫通路42にはエゼクタ30が挿入されるとともに、エゼクタ30の挿入部分の外周に設けられたＯリング35によってエゼクタ貫通路42が塞がれることになる。これにより、本体ケース部40と、気体供給口台座20と、エゼクタ30のＯリング35と、で囲まれた空間により、第１負圧室12が形成されるようになっている。このようにして形成された第１負圧室12は、エゼクタ30のＯリング35により排気路43および排気口44と遮断されて、第１負圧室12と排気路43および排気口44との間で空気が移動しないように形成されている。

なお、エゼクタ30をエゼクタ貫通路42に挿入すると、エゼクタ30はエゼクタ貫通路42を貫通して、排気路43側まで到達するように固定される。このため、排気路43側の端部に設けられたエゼクタ30の気体排出口32から排出される空気は、本体ケース部40の排気路43を通過して排気口44から排気されるようになっている。
また、図３および図４に示すように、本体ケース部40にキャップ部50を取り付けた状態において、本体ケース部40とキャップ部50との間に空間ができるようになっており、この空間が第２負圧室13を形成するようになっている。この第２負圧室13は、本体ケース部40に設けられた２本の連通路41により、前述した第１負圧室12と連通するように形成されている。

そして、この第２負圧室13は、キャップ部50の先端に設けられた負圧口51、および、負圧口51を覆うように設けられた吸着部材60の吸着口62を介して外部と連通している。
（吸着動作）
次に、この吸着ユニット10にエアを供給した場合の吸着動作について説明する。
まず、図５の一番上の矢印が示すように、図示しないマウンタヘッドのエア供給口からエアが供給されると、気体供給口台座20の気体通過路21を介して、吸着ユニット10にエアが供給される。
すると、このエアはエゼクタ30の気体流路31（図示せず）を通過して、気体排出口32からエゼクタ30の外へと排出される。このとき、図５の第１エゼクタ吸引口33および第２エゼクタ吸引口34の矢印が示すように、エゼクタ30内の圧力が下がることにより、第１エゼクタ吸引口33および第２エゼクタ吸引口34から、第１負圧室12の空気がエゼクタ30内へと引き込まれる。そして、このエゼクタ30内へと引き込まれた空気も、気体排出口32からエゼクタ30の外へと排出される。

そして、気体排出口32からエゼクタ30の外へと排出された空気は、図５の排気口44の矢印が示すように、本体ケース部40の排気路43を通過して、排気口44から外部へと排気される。
このように第１負圧室12内の空気が外部へと排気され、第１負圧室12内の圧力が下がり、負圧が発生することとなるが、このとき、第１負圧室12は連通路41によって第２負圧室13と連通しているため、第１負圧室12内の圧力が下がると、第２負圧室13から第１負圧室12へと空気が引き込まれることとなる。この様子を示したのが、図５の破線で示した連通路41内を通る破線矢印である。

そして、図５の負圧口51の矢印が示すように、第２負圧室13はキャップ部50の負圧口51を介して外部と連通しているため、第２負圧室13の圧力が下がると、負圧口51から第２負圧室13へ向かって、外気を引き込もうとする。このようにして、吸着ユニット10にエアが供給されると負圧口51から外気が吸引されることとなり、負圧口51を覆うように設けられた吸着部材60の吸着口62に吸着力が発生するようになっている。
（まとめ）
以上のように、本発明の吸着ユニット10によれば、気体供給口台座20にエゼクタ30を嵌装し、更に、エゼクタ30のカバーとして設けられた本体ケース部40を固定するだけで、第１負圧室12と第２負圧室13及び排気路43とを区画でき、更に気体が円滑に通過可能な気体流路を容易に形成できる。

また、本体ケース部40には、互いに遮断されるべき空間として、第１負圧室12を形成するための中空部分と、排気路43及び排気口44と、が設けられているが、これらを本体ケース部40の製造時に遮断するのではなく、吸着ユニット10の組み立て時にエゼクタ30のＯリング35によって遮断するようになっている。このため、本体ケース部40の構造が複雑になり過ぎず、製造コストを低く抑えた上で吸着ユニット10を製造することができる。そして、前記Ｏリング35がエゼクタ30の先端領域で長手方向に移動可能とされているので、エゼクタ貫通路42の軸心方向に自由度を大きく与えることができ、更に製造が容易となっている。

また、負圧口51を覆うように導電性の吸着部材60が設けられ、この吸着部材60の吸着口62で電子部品100を吸着することとしたため、電子部品100を確実に吸着保持できる。また、吸着部材60が導電性で構成されているため、電子部品100に帯電している静電気を除去可能となっており、電子部品100の静電破壊を防止することができる。また、吸着部材60が弾性体で構成されているため、吸着部材60で電子部品100を吸着したときに、電子部品100に対する衝撃を緩和でき、電子部品100の損傷を防ぐことができる。更に、吸着部材60が負圧口51に対し着脱可能なため、吸着条件に応じて吸着部材60を交換することや、摩耗した吸着部材60を交換することが可能である。

また、エゼクタ30として多段エゼクタを採用したため、マウンタから供給されるエアが少ない場合でも、強い吸着力を得ることができ、高いエネルギー効率で電子部品100を実装することができるため、エア消費量を低減させることができ、省エネルギーに資する吸着ユニット10を提供できる。
また、キャップ部50の内部に流量スイッチを設けため、電子部品100が吸着されているか否かを的確に判断できる。
なお、本発明の実施形態としては、図１〜図５に記載された実施形態に限定されるものではない。例えば、図１〜図５に記載された実施形態では２本の連通路41によって第１負圧室12と第２負圧室13とが連通することとしたが、この連通路41は１本または３本以上であっても良い。

また、流量スイッチはキャップ部50の内部に設けられる構造に限定されるものではなく、気体通過路21と第１負圧室12と第２負圧室13とから選択される少なくとも１つに設けられていれば良い。
また、本発明の吸着ユニット10で吸着される被吸着体は電子部品100に限定されるものではない。
また、本発明の吸着ユニット10は、マウンタヘッドに装着されるものに限定されるものでもない。
なお、気体供給口台座20と本体ケース部40とが着脱可能に固定され、エゼクタ30が気体供給口台座20に着脱可能に嵌装され、また、キャップ部50が本体ケース部40に着脱可能に固定される構造としても良い。このように構成すると、エゼクタ30のカバーとして設けられた本体ケース部40が、気体供給口台座20から着脱可能となる。このため、エゼクタ30を交換したい場合には、本体ケース部40を気体供給口台座20から外せば、容易にエゼクタ30を交換することができる。

また、気体としてエアの他に、窒素、アルゴン、ヘリウム等の他の気体を使用しても良い。

10 吸着ユニット 11 先端部
12 第１負圧室 13 第２負圧室
20 気体供給口台座 21 気体通過路
22 台座めねじ部 23 台座おねじ部
30 エゼクタ 31 気体流路
32 気体排出口 33 第１エゼクタ吸引口
34 第２エゼクタ吸引口 35 Ｏリング
40 本体ケース部 41 連通路
42 エゼクタ貫通路 43 排気路
44 排気口
50 キャップ部 51 負圧口
60 吸着部材 61 吸着面
62 吸着口
100 電子部品

Claims (6)

1. 先端部において吸着力が発生する吸着ユニットであって、
   気体通過路が形成される貫通路を有する気体供給口台座と、
   前記気体供給口台座に嵌装されるエゼクタと、
   前記エゼクタを覆うように前記気体供給口台座に固定され、前記気体供給口台座との間に第１負圧室を形成する本体ケース部と、
   吸着ユニットの先端側において前記本体ケース部に固定され、前記本体ケース部との間に第２負圧室を形成するキャップ部と、
   を有し、
   前記エゼクタは、前記気体供給口台座の気体通過路を介して気体が供給されたときに、エゼクタ吸引口から前記第１負圧室の気体を吸引して外部へ排出することにより、前記第１負圧室内に負圧を発生させるためのものであり、
   前記本体ケース部には前記第１負圧室と前記第２負圧室とを連通するための連通路が形成されており、これにより、前記第１負圧室内に負圧が発生したときに前記第２負圧室にも負圧が発生し、
   また、前記キャップ部の先端に設けられた負圧口を介して第２負圧室が外部と連通しており、これにより、前記第２負圧室に負圧が発生すると前記負圧口に吸着力が発生するとともに、
   前記本体ケース部に前記第１負圧室から吸引された気体を外部へ排出するための排気口が設けられ、この排気口は、前記エゼクタを取り除いた場合には前記第１負圧室を形成する中空部分と連通しているが、前記エゼクタを装着した場合には前記エゼクタに設けられた遮断手段により前記第１負圧室を形成する中空部分と遮断されていることを特徴とする、吸着ユニット。
2. 前記負圧口を覆うように吸着部材を設け、この吸着部材に設けられた吸着口に吸着力が発生することを特徴とする、請求項１記載の吸着ユニット。
3. 前記エゼクタは、複数のエゼクタ吸引口を有する多段エゼクタであることを特徴とする、請求項１または２記載の吸着ユニット。
4. 前記気体通過路と前記第１負圧室と前記第２負圧室とから選択される少なくとも１つに、気体の流れを検出する検出手段が設けられていることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれかに記載の吸着ユニット。
5. 前記吸着部材が導電性であることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれかに記載の吸着ユニット。
6. 前記吸着部材が弾性体であることを特徴とする、請求項１乃至５のいずれかに記載の吸着ユニット。