DE10016132A1 - Elektronisches Bauelement mit flexiblen Kontaktierungsstellen und Verfahren zu dessen Herstellung - Google Patents

Elektronisches Bauelement mit flexiblen Kontaktierungsstellen und Verfahren zu dessen Herstellung

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DE10016132A1
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Alfred Haimerl
Jens Pohl
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Abstract

Die Erfindung betrifft ein elektronisches Bauelement (2) und ein Verfahren zu dessen Herstellung. Es weist eine elektronische Schaltung sowie elektrische Kontakte (1) auf einer aktiven Oberfläche auf. Auf einer ersten Oberfläche (2) ist eine flexible Erhebung (3) aus einem isolierenden Material angeordnet. Zumindest ein elektrischer Kontakt (1) ist auf der flexiblen Erhebung (3) angeordnet. Außerdem ist ein Leitungspfad (9) auf der Oberfläche oder im Inneren der flexiblen Erhebung (3) zwischen dem elektrischen Kontakt (1) und der elektronischen Schaltung angeordnet.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein elektronisches Bauele­ ment mit einer elektronischen Schaltung sowie elektrischen Kontakten zumindest auf einer ersten Oberfläche des elektro­ nischen Bauelements, die zur Kontaktierung der elektronischen Schaltung dienen. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Ver­ fahren zur Herstellung des erfindungsgemäßen elektronischen Bauelementes.
Problematisch bei einer Kontaktierung dieser Bauelemente über Lötkugeln, Kontaktstifte oder direkte Lötverbindungen zwi­ schen dem elektronischen Bauelement und einem Träger, auf den das Bauelement montiert werden soll, ist dabei, daß es häufig zu Beschädigungen oder Zerstörungen der Lötverbindungen zwi­ schen dem Bauelement und dem Träger kommt.
Aus dem Stand der Technik ist aus US 5,685,885 bekannt, elek­ trische Kontakte auf einer flexiblen Schicht anzuordnen. Die Herstellung von Bauelementen mit der dort offenbarten Schicht ist aufwendig.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein elektro­ nisches Bauelement bereitzustellen, das dauerhafte Lötverbin­ dungen aufweist.
Diese Aufgabe wird durch den Gegenstand der unabhängigen Pa­ tentansprüche gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfin­ dung ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen.
Erfindungsgemäß ist vorgesehen, daß auf der ersten Oberfläche des elektronischen Bauelementes, auf der die elektrischen Kontakte des Bauelementes angeordnet sind, zumindest eine flexible Erhebung aus einem isolierenden Material vorgesehen ist, wobei zumindest ein elektrischer Kontakt auf der zumin­ dest einen flexiblen Erhebung angeordnet ist. Es wird damit vorteilhaft eine elastische Anbringung der elektrischen Kon­ takte auf dem elektronischen Bauelement erreicht, so daß bei einer thermischen oder mechanischen Beanspruchung des Bauele­ ments die entsprechenden Spannungen durch die flexible Erhe­ bung aufgefangen werden. Dies ist bei einer Erhebung gut mög­ lich, da die Erhebung eine große Bewegungsfreiheit aufweist und daher große Toleranzen ausgleichen kann.
Unter Leiterpfad wird in diesem Zusammenhang jeder elektrisch leitende Weg innerhalb des Volumens und/oder auf der Oberflä­ che der flexiblen Erhebung verstanden, während Leiterbahnen elektrisch leitende Wege auf dem Halbleiterchip des elektro­ nischen Bauteils darstellen.
Ein der Erfindung zugrunde liegender Gedanke besteht darin, daß mechanische Spannungen beispielsweise bei thermischer Be­ anspruchung des Bauelements vermindert werden, und zwar ins­ besondere an den Lötverbindungen. Dies kann dadurch erfolgen, daß Ausdehnungen und Unebenheiten ausgeglichen werden.
Eine besondere Bedeutung hat diese erfindungsgemäße Anordnung bei elektronischen Bauelementen, deren Größe weitgehend der Größe der elektronischen Schaltung bzw. des Schaltungschips des Bauelementes entspricht, nämlich bei sogenannten Chipsi­ ze-Bauelementen. Da hier außer der elektronischen Schaltung bzw. außer dem Schaltungschip praktisch keine weiteren Gehäu­ seelemente vorgesehen sind, die Spannungen am elektronischen Bauelement abfangen können, besteht bei solchen Bauelementen die Gefahr der Beschädigung oder Zerstörung der elektrischen Kontakte. Gerade in solch einem Fall kann durch eine flexible Erhebung, wie sie erfindungsgemäß vorgeschlagen wird, das Auftreten zu hoher mechanischer Spannungen vermieden werden und somit die Betriebssicherheit des Bauelements garantiert werden. Gleichzeitig gleicht die flexible Erhebung Unebenheiten zwischen den zu kontaktierenden Komponenten in vorteil­ hafter Weise aus.
Die elektrischen Kontakte des elektronischen Bauelements sind somit auf einer flexiblen Erhebung angeordnet, welche die auftretenden mechanischen Spannungen ausgleicht. Um eine lei­ tende Verbindung zu einem elektrischen Kontakt auf einer Er­ hebung herzustellen, kann ein Leitungspfad auf der Oberfläche der flexiblen Erhebung zwischen dem elektrischen Kontakt und der elektronischen Schaltung vorgesehen sein. Die elektroni­ sche Schaltung kann direkt an die flexible Erhebung angren­ zen.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung können zwi­ schen der flexiblen Erhebung und der elektronischen Schaltung noch zusätzliche Leiterbahnen vorgesehen sein, so daß die flexible Erhebung von der elektronischen Schaltung beabstan­ det angeordnet werden kann.
Als Alternativen zu einem Leitungspfad auf der Oberfläche der flexiblen Erhebung kann auch ein Leitungspfad im Inneren der flexiblen Erhebung zwischen dem elektrischen Kontakt und der elektronischen Schaltung angeordnet sein. Die leitende Ver­ bindung wird somit ausgehend von dem elektrischen Kontakt auf der flexiblen Erhebung durch die flexible Erhebung hindurch und zu der elektronischen Schaltung hin geführt.
Grundsätzlich kann auch die gesamte flexible Erhebung aus ei­ nem flexiblen und elektrisch leitfähigen Material hergestellt sein, so daß die leitende Verbindung nicht durch einen sepa­ raten Leitungspfad aus einem anderen Material, sondern durch das flexible Material selbst hergestellt wird. Hierzu sind sehr spezifische Materialien nötig, die sowohl in der Auswahl als auch in der Zusammensetzung hohe Anforderungen an die flexiblen Materialien stellen. Solche Materialien sind in der Regel hochohmiger als ein reines Leitungsmaterial, welches einen Leitungspfad bildet. Somit ist bei der erfindungsgemäßen Lösung eine einzelne Optimierung des jeweiligen flexiblen Verhaltens und des jeweiligen Leitungsverhaltens der Erhebung möglich.
Sofern weiter Leiterbahnen zwischen der elektronischen Schal­ tung und der flexiblen Erhebung vorgesehen sind, können diese auf einer isolierenden Schicht, die zumindest teilweise die erste Oberfläche des elektronischen Bauelementes bedeckt, an­ geordnet sein, wobei die isolierende Schicht an die flexible Erhebung angrenzt. Dies hat den Vorteil, daß eine Strukturie­ rung der Leiterbahnen durch eine indirekte Strukturierung, nämlich durch eine Strukturierung der isolierenden Schicht, erfolgen kann.
Das elektronische Bauelement kann grundsätzlich in jeder ge­ eignet verwendbaren Form ausgebildet sein. So kann das Bau­ element ein Halbleiterbauelement oder ein Polymerbauelement sein. Auch der elektrische Kontakt auf der flexiblen Erhebung kann beliebig ausgebildet und an die jeweilige spezielle Ver­ wendung des elektronischen Bauelementes angepaßt werden. So kann der elektrische Kontakt durch eine leitende Schicht, ei­ nen leitenden Stift oder eine leitende Kugel gebildet werden und damit in vorteilhafter Weise den Erfordernissen des elek­ tronischen Bauteils angepaßt werden.
Die Aufbringung der flexiblen Erhebung auf das elektronische Bauelement erfolgt durch einen Druckprozeß, der einfach und kostengünstig durchführbar ist. Die Anforderungen an die Fe­ stigungstoleranzen für solche Erhebungen werden durch die heute technisch möglichen Druckprozesse erfüllt. Ebenso kann auch die Aufbringung der isolierenden Schicht durch einen Druckprozeß erfolgen. Das leitende Material zur Herstellung der Leiterbahnen bzw. der Leitungspfade und der elektrischen Kontakte kann durch Sputtermetallisierung oder chemische Me­ tallisierung auf die flexible Erhebung bzw. auf die isolie­ rende Schicht aufgebracht werden. Dazu wird zunächst eine Keimbildung in einer isolierenden Schicht erfolgen und anschließend eine Metallisierung dieser Bereich durchgeführt, um in vorteilhafter Weise die Haftung der Leitungspfade auf dem flexiblen Material der flexiblen Erhebung zu erhöhen.
Als Alternative zu diesen Verfahren kann durch eine Laserbe­ handlung der Oberfläche der flexiblen Erhebung und gegebenen­ falls auch der isolierenden Schicht oder durch ein anderes geeignetes Verfahren eine Aufrauhung dieser Oberfläche erfol­ gen, die dem später aufzutragenden leitenden Material der Me­ tallisierung eine bessere Haftung bietet. Es kann dabei auch vorgesehen werden, daß vor dem Aufbringen der Metallisierung und nach der Oberflächenaufrauhung Metallkeime oder andere geeignete Keime auf die rauhe Oberfläche aufgebracht werden, die aus jedem geeigneten Material bestehen können, wie aus Palladium, da sich Palladium preiswert auf elektrisch isolie­ renden Materialien abscheiden läßt und kubische Keimkristalle bildet, die sich im isolierenden Material ausgezeichnet ver­ ankern und somit haftverbessernd für den Leitungspfad oder die Leiterbahnen sind.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist minde­ stens ein erfindungsgemäßes elektronisches Bauelement auf ei­ ner Schaltungsplatine mittels eines beim Aushärten schrump­ fenden Klebstoffs gebondet. Durch den schrumpfenden Klebstoff wird ein elektrischer Kontakt zwischen der flexiblen Erhebung und einer elektrischen Anschlußfläche auf der Schaltungspla­ tine hergestellt, so daß ein flexibler Andruckkontakt auf­ tritt. Diese Ausführungsform hat den Vorteil, daß kein blei­ haltiges, die Umwelt belastendes Lot zum Einsatz kommt und Unebenheiten des Bauelementes ausgeglichen werden können. Schließlich werden Unterschiede in der thermischen Ausdehnung ausgeglichen, so daß thermisch bedingte Spannungen vermieden werden.
Zum Andrücken des Kontaktes der flexiblen Erhebung auf eine elektrische Andruckfläche wird der Klebstoff auf die Lei­ tungsplatine in Form einzelner Klebstoffhöcker aufgebracht, das elektronische Bauelement mit seinen elektrischen Kontak­ ten zu den elektrischen Kontaktflächen der Schaltungsplatine ausgerichtet und auf die Schaltungsplatine gedrückt, so daß die elektrischen Kontakte auf den flexiblen Erhebungen die Kontaktflächen der Schaltungsplatine kontaktieren, während der Klebstoff schrumpfend aushärtet. Dieses Verfahren hat den Vorteil, daß eine Kontaktierung und ein Plazieren auf einer Schaltungsplatine bei äußerst niedriger Aushärttemperatur durchgeführt werden kann.
Die Montage von CSP, insbesondere von geometrisch großen Chips, auf das Board (bzw. die Schaltungsplatine) ist auf­ grund der unterschiedlichen Längenausdehnungskoeffizienten von Si und Laminat schwierig. Die Erfindung überwindet in vorteilhafter Weise den thermischen mismatch im CSP-Gehäuse.
Durch die Nutzung eines CSP mit in z-Richtung elastischem In­ terconnect läßt sich über einen Andrückvorgang eine Kontak­ tierung erzielen, welche auch für sehr viele Kontakte und sehr große Chips möglich ist. Dieser Andrückvorgang kann er­ zielt werden, indem der Chip auf das Board punktuell aufge­ klebt wird mit einem Klebstoff, welcher beim Aushärten schrumpft und somit Chip und Board aufeinander zu bewegt. Bei diesem Vorgang werden die elastischen Interconnect Elemente (bzw. flexiblen Erhebungen) mit einer Anpresskraft mit dem Pad (bzw. Kontaktanschlußflächen) verbunden. So können die unterschiedlichen Höhen der Interconnect-Elemente ausgegli­ chen werden und eine sichere Verbindung entsteht. Mit Hilfe der flexiblen Erhebungen können Wafer bis 10 µm pro cm durch­ gebogen sein. Bei Chipgroßen von 20 mm bedeutet dies eine To­ leranz von bis zu 20 µm, die durch die flexiblen Erhebungen ausgleichbar ist.
Die Vorteile dieses Verfahrens sind:
  • - seine Verarbeitung bei vergleichsweise niederer Tempera­ tur (< 200°C),
  • - die Bleifreiheit der Verbindung (green components),
  • - die Elastizität sowohl in x/y als auch in z-Richtung bei thermomechanischer Belastung (Boardverzug).
Mit der vorliegenden Erfindung wird die Nutzung der CSP mit in alle drei Richtungen elastischen Interconnect Elementen erleichtert. Durch den Einsatz schrumpfender Kleber wird ins­ besondere für große Chips und hohe Pinzahlen ein sicherer elektrischer Kontakt zwischen Chip und Board erreicht.
Anschließend wird die Erfindung anhand von Ausführungsformen und von Figuren näher erläutert.
Fig. 1 zeigt eine Querschnittsansicht einer Gesamtansicht eines Bauelements gemäß einer Ausführungsform der Erfindung,
Fig. 2 zeigt eine Querschnittsansicht eines Ausschnitts ei­ nes Halbleiterchips nach dem Aufdrucken einer isolierenden Schicht,
Fig. 3 zeigt den Halbleiterchip nach Fig. 2 nach dem Auf­ drucken einer flexiblen Erhebung,
Fig. 4 zeigt den Halbleiterchip nach Fig. 3 nach dem Auf­ bringen einer ersten Metallisierung,
Fig. 5 zeigt den Halbleiterchip nach Fig. 3 nach dem Auf­ bringen einer zweiten Metallisierung,
Fig. 6 zeigt den Halbleiterchip nach Fig. 4 nach dem Auf­ bringen einer Lötkugel auf die Kontaktstelle,
Fig. 7 zeigt eine Querschnittsansicht einer weiteren lei­ tenden Verbindung,
Fig. 8 zeigt eine Querschnittsansicht einer mehrlagigen Schaltungsplatine mit Klebstoffhöckern,
Fig. 9 zeigt die mehrlagige Schaltungsplatine aus Fig. 8 zusammen mit einem elektrischen Bauelement, und
Fig. 10 zeigt ein endmontiertes elektronisches Bauelement einer weiteren Ausführungsform der Erfindung auf einer Schaltungsplatine.
Fig. 1 zeigt schematisch einen Gesamtquerschnitt eines elek­ tronischen Bauelements 2 einer Ausführungsform der Erfindung, wobei in diesem Fall die flexiblen Erhebungen 3 am Rand des elektronischen Bauelementes 2 dargestellt sind und die Lei­ terbahnen 4 zu den entsprechenden Anschlüssen einer nicht dargestellten elektronischen Schaltung im Halbleiterchip 6 führen. Weitere hier nicht gezeigte Erhebungen können über die gesamte aktive Oberfläche verteilt angeordnet sein. Lei­ tungspfade 8 verbinden die Leiterbahnen 4 mit elektrischen Kontakten 1 auf den Erhebungen, die Kontaktkugeln 5 tragen. Diese Kontaktkugeln 5 können vergoldet sein, um einen oxida­ tionsfreien Kontakt zu Kontaktanschlußflächen einer Schal­ tungsplatine, zu gewährleisten. In diesem Fall wird eine elektrische Verbindung zwischen dieser Schaltung des Bauele­ mentes 2 und der Verdrahtung auf der Schaltungsplatine durch einen oxidationsfreien flexiblen Andruckkontakt erreicht, so daß kein umweltbelastendes Lot zum Einsatz kommt. Es ist je­ doch auch möglich, daß die flexiblen Erhebungen 3 eine Lötku­ gel tragen, so daß eine Lötverbindung mit einer Schaltungs­ platine ermöglicht wird und die elastischen Erhebungen 3 nicht nur die Unebenheiten des Bauelementes 2 und der Platine ausgleichen, sondern auch thermische Spannungen vermindern, die aufgrund unterschiedlicher Ausdehnungskoeffizienten von Bauelement 2 und Platine auftreten.
In den Fig. 2 bis 6 wird beispielhaft die Herstellung ei­ nes elektronischen Bauelementes 2 erläutert, das eine erfin­ dungsgemäße flexible Erhebung aufweist. Wie Fig. 2 zeigt, wird dabei zunächst auf einen Halbleiterchip 6, der in Fig. 2 ausschnittweise im Querschnitt dargestellt ist, eine iso­ lierende Schicht 7 aufgebracht, die eine erste Oberfläche des Halbleiterchips 6 zumindest teilweise bedeckt. Das Aufbringen und Strukturieren dieser isolierenden Schicht 7 kann dabei durch übliche Verfahren erfolgen. In einer Ausführungsform der Erfindung wird jedoch ein Druckverfahren, insbesondere ein Siebdruckverfahren, verwendet, das einfach und kosten­ günstig durchführbar ist.
Wie Fig. 3 zeigt, wird anschließend eine flexible Erhebung 3 auf den Halbleiterchip 6 im Bereich seiner ersten Oberfläche aufgebracht, wobei die flexible Erhebung 3 auf oder neben der isolierenden Schicht angeordnet sein kann.
Eine Aufrauhung der Oberfläche der flexiblen Erhebung 3 und der isolierenden Schicht 7 mit Hilfe eines Lasers kann in denjenigen Bereichen erfolgen, in denen in einem späteren Schritt Leitungspfade 8 und Leiterbahnen 4 gebildet werden sollen. Dies ist durch die senkrechten Pfeile in Fig. 3 an­ gedeutet. Die rauhe Oberfläche sorgt dabei insbesondere für eine bessere Haftung des leitenden Materials der Leitungspfa­ de 8 und Leiterbahnen 4 auf den jeweiligen Oberflächen.
Fig. 4 zeigt einen Querschnitt eines Ausschnitts des Halb­ leiterchips nach Fig. 3 nach Aufbringen einer Metallisierung auf die Oberfläche der flexiblen Erhebung 3 sowie auf die Oberfläche der isolierenden Schicht 7.
Fig. 5 zeigt einen Querschnitt eines Ausschnitts des Halb­ leiterchips nach Fig. 4 nach Aufbringen einer zweiten Metal­ lisierung. Diese Metallisierung wird, wie die Fig. 4 und 5 zeigen, somit in zwei Schritten erfolgen, wobei zunächst eine erste Grundmetallisierung 4a und 8a hergestellt wird oder ei­ ne Abscheidung von Keimen 4a, 8a auf der Oberfläche erfolgt, welche jeweils zur Bildung von Leiterbahnen auf der isolie­ renden Schicht und einem Leitungspfad auf der flexiblen Erhe­ bung dienen. Die Keime können aus jedem geeigneten Material wie Palladium bestehen. Anschließend erfolgt eine endgültige Metallisierung 4b und 8b, wie sie Fig. 5 zeigt, zur endgül­ tigen Herstellung der Leiterbahnen und Leitungspfade. Diese Metallisierung bildet bereits auf der flexiblen Erhebung ei­ nen elektrischen Kontakt 1, über den die Kontaktierung des elektronischen Bauelements 2 erfolgt kann.
Fig. 6 zeigt einen Querschnitt eines Ausschnitts des Halb­ leiterchips nach Fig. 4 nach Aufbringen einer Lötkugel auf die Kontaktstelle, die einen elektrischen Kontakt 1 bildet.
Fig. 7 zeigt einen Querschnitt einer alternativen Ausfüh­ rungsform der leitenden Verbindung zu der Kontaktstelle auf der flexiblen Erhebung, wobei hier ein Leitungspfad 9 durch die flexible Erhebung 3 hindurch geführt ist. Eine solche An­ ordnung kann dadurch hergestellt werden, daß zunächst, wie in Fig. 2, eine isolierende Schicht 7 auf den Halbleiterchip 6 aufgebracht wird. Anschließend erfolgt bereits eine Metalli­ sierung zur Herstellung von Leiterbahnen 4 auf der isolieren­ den Schicht 7. Erst dann erfolgt die Aufbringung der flexi­ blen Erhebung 3, vorzugsweise durch einen Druckprozeß. Schließlich erfolgt die Bildung eines Leitungspfades 9 im In­ neren der flexiblen Erhebung 3 durch eine Laserstrukturierung ausgehend von der Oberfläche der flexiblen Erhebung 3 mit ei­ ner anschließenden Metallisierung.
Fig. 8 zeigt eine Querschnittsansicht einer mehrlagigen Schaltungsplatine 10 mit Klebstoffhöckern 11 und Kontaktan­ schlußflächen 12, die vergoldet sein können, um einen oxida­ tionsfreien Kontakt zu gewährleisten oder die mit Lot be­ schichtet sein können, wenn eine Lötverbindung erwünscht ist.
Fig. 9 zeigt das Aufbringen eines elektrischen Bauelementes 2, wie es in Fig. 1 gezeigt wird, jedoch mit vier Kontaktku­ geln 5, die auf flexiblen Erhebungen 3 aufgebracht sind und über Leitungspfade 8 mit Leiterbahnen 4 des elektrischen Bau­ elements 2 in Verbindung stehen. Beim Aufbringen und Justie­ ren des elektrischen Bauelementes 2 auf der mehrlagigen Schaltungsplatine 10 verformen sich die Klebstoffhöcker etwas und schrumpfen, wie es Fig. 10 zeigt, beim Aushärten, so daß das elektrische Bauelement 2 mit seinen Kontaktbällen 5 auf die Kontaktanschlußflächen 12 der Schaltungsplatine 10 in Pfeilrichtung A gedrückt werden, wobei gleichzeitig die fle­ xible Erhebung 3 zusammengepreßt wird. Wenn sowohl die Kontaktkugeln 5 als auch die Kontaktanschlußflächen 12 mit einer Goldlegierung vergoldet sind, entsteht durch den Andruck in Pfeilrichtung A ein oxidationsfreier ohm'scher Kontakt zwi­ schen den beteiligten Komponenten. Sind die Komponenten mit Lot beschichtet, kann bei entsprechenden Löttemperaturen auch eine Lötverbindung hergestellt werden.
Unebenheiten und Verwölbungen des elektrischen Bauelementes 2, die bis zu 10 µm pro cm betragen können, und Unebenheiten der Schaltungsplatine 10 können spannungsfrei durch die fle­ xiblen Erhöhungen 3 ausgeglichen werden.
Bezugszeichenliste
1
elektrische Kontakte
2
elektronisches Bauelement
3
flexible Erhebung
4
Leiterbahnen
5
leitende Kugel
6
Halbleiterchip
7
isolierende Schicht
8
Leitungspfade
4
a,
8
a abgeschiedene Metallisierungskeime
4
b,
8
b endgültige Metallisierung
9
Leitungspfad innerhalb flexibler Erhebung
10
Schaltungsplatine
11
Klebstoffhöcker
12
Kontaktanschlußflächen

Claims (19)

1. Elektronisches Bauelement mit einer elektronischen Schaltung und elektrischen Kontakten (1) zumindest auf einer aktiven Oberfläche des elektronischen Bauelements (2) zur Kontaktierung der elektronischen Schaltung, wobei auf der aktiven Oberfläche zumindest eine flexi­ ble Erhebung (3) aus einem isolierenden Material ange­ ordnet ist und wobei zumindest ein elektrischer Kontakt (1) auf wenigestens einer flexiblen Erhebung (3) ange­ ordnet ist, und wobei ferner ein Leitungspfad (8) zwischen wenigstens einem elektri­ schen Kontakt (1) und der elektronischen Schaltung ange­ ordnet ist.
2. Elektronisches Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Leitungspfad (8) auf der Oberfläche der flexiblen Erhebung (3) angeordnet ist.
3. Elektronisches Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Leitungspfad (9) im Inneren der flexiblen Erhebung (3) zwischen dem zumindest einen elektrischen Kontakt (1) und der elektronischen Schaltung angeordnet ist.
4. Elektronisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß
eine isolierende Schicht (7) zumindest teilweise die ak­ tive Oberfläche bedeckt und an die flexible Erhebung (3) angrenzt, und
Leiterbahnen (4) auf der isolierenden Schicht angeordnet sind, die eine leitende Verbindung zwischen dem Lei­ tungspfad (8) der flexiblen Erhebung (3) und der elek­ tronischen Schaltung bilden.
5. Elektronisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das elektronische Bauelement (2) ein Halbleiterbauele­ ment ist.
6. Elektronisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das elektronische Bauelement (2) ein Polymerbauelement ist.
7. Elektronisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der elektrische Kontakt (1) durch eine leitende Schicht, einen leitenden Stift oder eine leitende Kugel (5) ge­ bildet wird.
8. Elektronisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß das elektronische Bauelement (2) auf einer Schaltungs­ platine (10) angeordnet ist, mittels beim Aushärten schrumpfenden Klebstoffhöckern (11) auf der Schaltungs­ platine (10) gebondet ist und über den mindestens einen elektrischen Kontakt (1) einer flexiblen Erhebung (3) mit mindestens einer elektrischen Kontaktanschlußfläche (12) auf der Schaltungsplatine (10) einen Andruckkontakt bildet.
9. Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauele­ ments (2) nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufbringung der flexiblen Erhebung (3) durch einen Druckprozeß erfolgt.
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß nach dem Aufbringen der flexiblen Erhebung (3) eine Auf­ rauhung der Oberfläche der Erhebung (3) zumindest im Be­ reich der späteren Leitungspfade (8) erfolgt, insbeson­ dere mit Hilfe eines Lasers.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß nach der Aufrauhung der Oberfläche der flexiblen Erhe­ bung (3) und vor dem Aufbringen eines leitenden Materi­ als zur Bildung von Leitungspfade (8) auf der Oberfläche der Erhebung (3) eine Abscheidung von Keimen auf der Oberfläche der Erhebung (3) erfolgt.
12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Keime aus Palladium bestehen.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Bildung der Leitungspfade (8) auf der Oberfläche der Erhebung (3) durch die Abscheidung eines leitenden Mate­ rials auf der aufgerauhten Oberfläche erfolgt.
14. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß auch eine Aufrauhung der Oberfläche der isolierenden Schicht (7) zumindest im Bereich von zu bildenden Lei­ terbahnen (4) erfolgt, insbesondere mit Hilfe eines La­ sers.
15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß nach der Aufrauhung der Oberfläche der isolierenden Schicht (7) und vor dem Aufbringen eines leitenden Mate­ rials zur Bildung von Leiterbahnen (4) auf der Oberfläche der isolierenden Schicht eine Abscheidung von Keimen auf der Oberfläche der isolierenden Schicht (7) erfolgt.
16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Keime aus Palladium bestehen.
17. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein fertiges elektronisches Bauelement (2) auf eine Schaltungsplatine (10) geklebt wird, wobei die elektrischen Kontakte (1) auf den Erhebungen (3) auf Kontaktanschlußflächen (12) der Schaltungsplatine (10) gedrückt werden.
18. Verfahren nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß als Klebstoff ein beim Aushärten schrumpfender Klebstoff eingesetzt wird.
19. Verfahren nach Anspruch 17 oder 18, dadurch gekennzeichnet, daß der Klebstoff in Form von Klebstoffhöckern (11) auf der Schaltungsplatine (10) angeordnet wird.
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