WO2014103628A1 - カラーフィルタ用組成物、赤外線透過フィルタ及びその製造方法、並びに赤外線センサー - Google Patents

カラーフィルタ用組成物、赤外線透過フィルタ及びその製造方法、並びに赤外線センサー Download PDF

Info

Publication number
WO2014103628A1
WO2014103628A1 PCT/JP2013/082477 JP2013082477W WO2014103628A1 WO 2014103628 A1 WO2014103628 A1 WO 2014103628A1 JP 2013082477 W JP2013082477 W JP 2013082477W WO 2014103628 A1 WO2014103628 A1 WO 2014103628A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
group
composition
pigment
infrared
acid
Prior art date
Application number
PCT/JP2013/082477
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
大貴 瀧下
貴規 田口
泰史 田口
Original Assignee
富士フイルム株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 富士フイルム株式会社 filed Critical 富士フイルム株式会社
Priority to KR1020187002439A priority Critical patent/KR101925818B1/ko
Priority to CN201380068182.XA priority patent/CN104937452A/zh
Priority to EP13869068.0A priority patent/EP2940495B1/en
Priority to SG11201505091XA priority patent/SG11201505091XA/en
Priority to KR1020157010672A priority patent/KR101825444B1/ko
Priority to CN201711202708.5A priority patent/CN107966877B/zh
Publication of WO2014103628A1 publication Critical patent/WO2014103628A1/ja
Priority to US14/749,774 priority patent/US9915765B2/en
Priority to US15/917,063 priority patent/US10436959B2/en

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/20Filters
    • G02B5/208Filters for use with infrared or ultraviolet radiation, e.g. for separating visible light from infrared and/or ultraviolet radiation
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/0005Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
    • G03F7/0007Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02Constructional details
    • G01J5/08Optical arrangements
    • G01J5/0803Arrangements for time-dependent attenuation of radiation signals
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133509Filters, e.g. light shielding masks
    • G02F1/133514Colour filters
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/09Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers
    • G03F7/105Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers having substances, e.g. indicators, for forming visible images

Definitions

  • the present invention relates to a composition for a color filter, an infrared transmission filter and a method of manufacturing the same, and an infrared sensor.
  • the color filter is an integral component of a solid-state imaging device or a liquid crystal display.
  • color filters for solid-state imaging devices are required to be improved in color separation and color reproducibility.
  • Such a color filter is formed to include colored regions (colored cured films) of a plurality of hues, and usually at least red, green and blue colored regions (hereinafter referred to as “colored pattern” or “colored (Also referred to as a “pixel”).
  • colored pattern or “colored (Also referred to as a “pixel”.
  • a method of forming a colored pattern first, a colored radiation-sensitive composition having any one of red, green, and blue colorants in a first hue is applied, exposed, developed, and heat-treated as necessary. After forming the colored pattern of the said hue, the process of the same application, exposure, development in the 2nd hue and the 3rd hue, and heat processing as needed will be repeated.
  • pigments are widely used because they have sharp color tone and high coloring power, and in particular, pigments which are finely divided and exhibit suitable color separation properties may be used. preferable.
  • the colored pixels fine (for example, a colored pattern of one side of 1.0 ⁇ m or less) for the purpose of resolution improvement.
  • noise increases.
  • Solid-state imaging devices are used as light sensors in various applications. For example, near infrared rays have a longer wavelength than visible light, so they are less likely to be scattered, and can be used for distance measurement, three-dimensional measurement, and the like. In addition, because the near infrared rays are invisible to humans, animals, etc., even if the subject is illuminated with a near infrared light source at night, the subject is taken notice of nocturnal wildlife, and the other party is stimulated as a crime prevention use It can also be used for shooting without shooting. Such an optical sensor that senses near-infrared light can be developed for various applications, and development of a color filter that can be used for a solid-state imaging device that senses near-infrared light has been awaited.
  • a resin black matrix in which absorption of light is small in the near infrared to infrared wavelength region and light transmittance in this wavelength region is high (for example, Patent Document 1).
  • the transmission in the infrared region is insufficient, and in particular, it is difficult to use as an infrared transmission filter in an infrared sensor for detecting a near infrared region.
  • an infrared ray transmission filter capable of transmitting infrared rays (particularly, near infrared rays) can be formed even in a very thin state (for example, 0.5 ⁇ m in thickness) with little noise derived from visible light components.
  • An object of the present invention is to provide a composition for a color filter, an infrared transmission filter, a method of manufacturing an infrared transmission filter, and an infrared sensor using the composition.
  • the present inventors conducted earnest research in view of the said situation, they discovered that the infrared rays permeable filter formed using the composition for color filters containing a near-infrared permeation
  • the present invention has been completed. That is, the present invention is as follows.
  • a composition for a color filter comprising a near infrared transmitting black color material.
  • the composition for color filters as described in said [1] which contains a photoinitiator and a polymeric compound.
  • the near-infrared transmitting black color material is at least one selected from the group consisting of bisbenzofuranone-based pigments, azomethine-based pigments, perylene-based pigments, and azo-based dyes.
  • the composition for color filters as described in 4.
  • the standard deviation of the light transmittance in the thickness direction of the film in the wavelength range of 400 to 630 nm is 6.0 or less.
  • the maximum value of the light transmittance in the thickness direction of the film in the range of wavelength 400 to 650 nm is 20% or less, and the light transmittance of the film in the thickness direction
  • the composition for a color filter according to any one of the above [1] to [6] which contains a polymer dispersant, wherein the polymer dispersant is a resin having an acid value of 60 mg KOH / g or more.
  • composition for color filters which is 1 or more types selected from resin which has an amine group, and an oligoimine resin.
  • the composition for a color filter according to any one of the above [1] to [7] further comprising a colorant different from the near-infrared transmissive black coloring material.
  • an infrared ray transmission filter that can transmit infrared rays (especially, near infrared rays) even in a very thin layer (for example, 0.5 ⁇ m in thickness) with little noise originating from visible light components and the like It is possible to provide a color filter composition, and an infrared transmission filter, a method of manufacturing an infrared transmission filter, and an infrared sensor using the same.
  • a numerical range represented using “to” means a range including numerical values described before and after “to” as the lower limit value and the upper limit value.
  • the color filter composition of the present invention contains a near infrared transmission black color material.
  • the color filter composition of the present invention is typically a black composition, and since it transmits near infrared light, it can also be referred to as a near infrared light transmitting composition.
  • the composition for a color filter of the present invention contains a near infrared transmitting black color material. According to such a composition for a color filter of the present invention, even if it is very thin (for example, having a thickness of 0.5 ⁇ m), infrared rays (especially near infrared rays) can be used in a state in which noise derived from visible light components is small. It is possible to create a transparent infrared transmission filter.
  • the near infrared transmissive black color material in the composition for color filter of the present invention is a color material which selectively transmits near infrared light, and the film thickness is 0.5 ⁇ m by the composition for color filter, and
  • the maximum light transmittance in the thickness direction of the film in the wavelength range of 400 to 650 nm It is preferable that the coloring material can have a value of 30% or less and the minimum value in the wavelength range of 800 nm to 1300 nm can be 80% or more, and the light transmittance of the film in the thickness direction in the wavelength range of 400 to 650 nm.
  • the colorant has a maximum value of 20% or less and a minimum value of 80% or more in a wavelength range of 800 nm to 1300 nm.
  • membrane formed from the composition in this invention, film thickness, etc. is shown below.
  • the composition of the present invention is coated on a glass substrate by a method such as spin coating so that the film thickness after drying is 0.5 ⁇ m, a film is provided, and drying is performed at 100 ° C. for 120 seconds on a hot plate. did.
  • the film thickness of the film was measured using a stylus surface profiler (DEKTAK150 manufactured by ULVAC, Inc.) after drying the film having the film.
  • the dried substrate having this film is transmitted in a wavelength range of 300 to 1300 nm using a spectrophotometer (ref. Glass substrate) of an ultraviolet visible near infrared spectrophotometer (U-4100 manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation) The rate was measured.
  • the near infrared transmitting black color material may be a near infrared transmitting black pigment or a near infrared transmitting black dye, but is preferably a near infrared transmitting black pigment.
  • near infrared transmitting black pigment bisbenzofuranone type pigments, azomethine type pigments, perylene type pigments and the like can be suitably mentioned.
  • a near-infrared transmission black dye an azo-type dye etc. can be mentioned suitably.
  • the near infrared transmitting black color material is preferably at least one selected from the group consisting of bisbenzofuranone pigments, azomethine pigments, perylene pigments, and azo dyes, and is preferably bisbenzofuranone pigments. It is more preferable that it is 1 or more types selected from the group which consists of a pigment, an azomethine type pigment, and an azo type dye, and it is still more preferable that it is a bisbenzo furanone type pigment.
  • Examples of the bisbenzofuranone-based pigment include those described in JP-A-2012-528448, JP-A-2010-534726, JP-A-2012-515234, etc.
  • Examples of the azomethine pigment include those described in JP-A-1-170601 and JP-A-2-32664, and can be obtained, for example, as "Chromo fine black A1103" manufactured by Dainichiseika.
  • the azo dye is not particularly limited, but preferred examples include compounds represented by the following formula (A-1).
  • the composition for a color filter of the present invention preferably contains a near infrared transmitting black pigment as a near infrared transmitting black coloring material, and in this case, the average particle diameter of the near infrared transmitting black pigment is 50 nm or less Is preferable, and 30 nm or less is more preferable.
  • the average particle size of the near infrared transmitting black pigment is usually 1 nm or more.
  • the average particle size of the pigment in the present specification is based on measurement using MICROTRACUPA 150 manufactured by Nikkiso Co., Ltd.
  • the composition for color filters of this invention it is preferable that it is 20-80 mass% with respect to the total solid of the composition for color filters of this invention, and, as for content of a near-infrared permeation
  • the composition for a color filter of the present invention may contain a colorant (B) different from the above-mentioned near infrared transmitting black color material.
  • a coloring agent (B) a pigment, a dye, etc. can be mentioned.
  • the pigment is preferably an organic pigment, and the following can be mentioned. However, the present invention is not limited to these.
  • Pigment Orange 2 5, 13, 16, 17: 1, 13, 34, 36, 38, 43, 46, 48, 49, 51, 52, 55, 59, 60, 61, 62, 64, 71, 73, etc. (Above, orange pigment), C. I.
  • the dye is not particularly limited, and dyes conventionally known for color filters can be used.
  • the chemical structure includes pyrazole azo type, anilino azo type, triphenylmethane type, anthraquinone type, anthrapyridone type, benzylidene type, oxonol type, pyrazolotriazole azo type, pyridone azo type, cyanine type, phenothiazine type, pyrrolopyrazole azomethine type, Dyes such as xysatins, phthalocyanines, benzopyrans, indigos, and pyromethenes can be used. In addition, multimers of these dyes may be used.
  • an acid dye and / or its derivative may be able to be used conveniently.
  • direct dyes, basic dyes, mordant dyes, acid mordant dyes, azoic dyes, disperse dyes, oil-soluble dyes, food dyes, and / or derivatives thereof can also be usefully used.
  • azo, xanthene and phthalocyanine acid dyes other than the above are also preferable, and C.I. I. Solvent Blue 44, 38; C.I. I. Acid dyes such as Solvent orange 45; Rhodamine B, Rhodamine 110 and derivatives of these dyes are also preferably used.
  • dyes such as triarylmethanes, anthraquinones, azomethines, benzylidenes, oxonols, cyanines, phenothiazines, pyrrolopyrazole azomethines, xanthenes, phthalocyanines, benzopyrans, indigos and pyrazoles It is preferable that it is a coloring agent selected from anilino azo type, pyrazolo triazole azo type, pyridone azo type, and anthrapyridone type pyrromethene type. Furthermore, the pigment and the dye may be used in combination.
  • the content of the colorant (B) is preferably 1 to 60% by mass, and more preferably 1 to 30% by mass, with respect to the total solid content of the composition for a color filter of the present invention.
  • the composition for a color filter of the present invention comprises one or more colorants (for example, yellow pigment, orange pigment, red pigment, green pigment, violet pigment) different from the near infrared transmitting black coloring material (A).
  • one or more colorants selected from the group consisting of a blue pigment, a black pigment, etc.
  • the standard deviation of the transmittance in the wavelength range of 400 to 630 nm can be further reduced.
  • the coloring agent (B) is in the range of 1 part by mass to 300 parts by mass, preferably in the range of 1 part by mass to 200 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the near infrared transmissive black color material (A). is there.
  • the composition for a color filter of the present invention contains a pigment as the colorant (B)
  • the average particle diameter of the pigment is preferably 300 nm or less, and more preferably 200 nm or less.
  • the average particle size of the pigment as the colorant (B) is usually 10 nm or more.
  • the near-infrared transmitting black pigment having the above-mentioned average particle diameter (or a mixed pigment of the near-infrared transmitting black pigment having the above-mentioned average particle diameter and the pigment as the colorant (B))
  • a black pigment (or the above-mentioned mixed pigment) can be prepared by mixing and dispersing as a pigment mixed liquid, preferably mixed with a dispersant and a solvent, using, for example, a grinder such as a bead mill or roll mill. .
  • the pigments thus obtained are usually in the form of pigment dispersions.
  • Fineness of the pigment is prepared by preparing a highly viscous liquid composition together with the pigment, the water-soluble organic solvent and the water-soluble inorganic salt, and applying a stress and grinding using a wet grinding apparatus or the like. To be achieved.
  • the water-soluble organic solvent used in the step of refining the pigment includes methanol, ethanol, isopropanol, n-propanol, isobutanol, n-butanol, ethylene glycol, diethylene glycol, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether And propylene glycol, propylene glycol monomethyl ether acetate and the like.
  • solvents which have low water solubility or do not have water solubility as long as they are adsorbed to the pigment by using a small amount and are not washed away in waste water such as benzene, toluene, xylene, ethylbenzene, chlorobenzene, Nitrobenzene, aniline, pyridine, quinoline, tetrahydrofuran, dioxane, ethyl acetate, isopropyl acetate, butyl acetate, butyl acetate, hexane, heptane, octane, nonane, decane, undecane, dodecane, cyclohexane, methylcyclohexane, halogenated hydrocarbon, acetone, methyl ethyl ketone, methyl An isobutyl ketone, cyclohexanone, dimethylformamide, dimethylsulfoxide, N-methyl
  • Examples of the water-soluble inorganic salt used in the step of refining the pigment in the present invention include sodium chloride, potassium chloride, calcium chloride, barium chloride, sodium sulfate and the like.
  • the amount of the water-soluble inorganic salt used in the refining step is 1 to 50 times by mass that of the pigment, and the larger the amount is, the more effective there is attrition effect, but the more preferable amount is 1 to 10 times by mass in terms of productivity.
  • the amount of the water-soluble organic solvent used in the micronization step is in the range of 50 parts by mass to 300 parts by mass, preferably 100 parts by mass to 200 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the pigment.
  • the operating conditions of the wet pulverizing apparatus in the pigment refining process are the number of rotations of the blades in the apparatus in order to effectively advance the grinding by the pulverizing media. 10 to 200 rpm is preferable, and the one having a relatively large rotational ratio of two axes is preferable because the grinding effect is large.
  • the operation time is preferably 1 to 8 hours in combination with the dry pulverization time, and the internal temperature of the apparatus is preferably 50 to 150.degree.
  • the water-soluble inorganic salt, which is a grinding medium preferably has a grinding particle size of 5 to 50 ⁇ m, a sharp particle size distribution, and a spherical shape.
  • the composition for a color filter of the present invention contains a near-infrared transmitting black pigment as the near-infrared transmitting black coloring material (A) (or, a near-infrared transmitting black colorant (A))
  • A near-infrared transmitting black coloring material
  • B a pigment as a colorant
  • the pigment (or these) pigments, other components such as a pigment dispersant, an organic solvent, a pigment derivative, and a polymer compound
  • To prepare a pigment dispersion and mixing the obtained pigment dispersion with (C) a photopolymerization initiator, (D) a polymerizable compound, and other components added as necessary. Is preferred.
  • the composition of the pigment dispersion and the method of preparing the pigment dispersion will be described in detail below.
  • the preparation method of the pigment dispersion is not particularly limited, but as a method of dispersion, for example, a pigment and a pigment dispersant are preliminarily mixed and dispersed in advance by a homogenizer or the like, and zirconia beads are used.
  • the dispersion can be carried out by finely dispersing using a bead disperser (for example, Dispermat manufactured by GETZMANN Co., Ltd.) or the like.
  • pigment dispersants that can be used to prepare pigment dispersions include polymer dispersants (also referred to as dispersion resins) [for example, resins having an amine group (polyamide amines and their salts, etc.), oligoimine resins, polycarboxylic acids and their substances Salts, high molecular weight unsaturated acid esters, modified polyurethanes, modified polyesters, modified poly (meth) acrylates, (meth) acrylic copolymers, naphthalene sulfonic acid formalin condensates], and polyoxyethylene alkyl phosphates, poly Surfactants, such as oxyethylene alkylamine and alkanolamine, and pigment derivatives can be mentioned.
  • polymer dispersants also referred to as dispersion resins
  • dispersion resins for example, resins having an amine group (polyamide amines and their salts, etc.), oligoimine resins, polycarboxylic acids and their substances Salts, high molecular
  • Polymer dispersants can be further classified into linear polymers, terminal modified polymers, graft polymers, and block polymers according to their structures. Further, as the polymer dispersant, a resin having an acid value of 60 mg KOH / g or more (more preferably, an acid value of 60 mg KOH / g or more and 300 mg KOH / g or less) can be preferably mentioned.
  • the polymer dispersant is preferably at least one selected from the group consisting of a resin having an acid value of 60 mg KOH / g or more, a resin having an amine group, and an oligoimine resin.
  • the dispersibility of the near infrared transmissive black pigment can be further improved, and more near infrared transmissive black pigments can be contained in the composition, so that the visible light component can be shielded more.
  • an infrared transmission filter capable of transmitting infrared (particularly, near infrared) light with less noise originating from visible light components.
  • terminal-modified polymers having an anchor site on the pigment surface include polymers having a phosphoric acid group at the terminals described in JP-A-3-112929 and JP-A-2003-533455, etc., JP-A-2002 Examples thereof include polymers having a sulfonic acid group at the terminal as described in JP-273191A and the like, and polymers having a partial skeleton of an organic dye and a heterocycle described in JP-A-9-77994 and the like.
  • polymers described in JP-A-2007-277514 in which two or more anchor sites (acid group, basic group, partial skeleton of organic dye, heterocyclic ring, etc.) are introduced at the polymer end are also available. It is excellent in dispersion stability and preferable.
  • graft polymers having anchor sites on the pigment surface include poly (lower alkyleneimines) described in JP-A-54-37082, JP-A-8-507960, JP-A-2009-258668 and the like. And the reaction product of polyarylamine and polyester described in JP-A-9-169821 and the like, and the macromonomer described in JP-A-10-339949 and JP-A-2004-37986 and the like. Copolymers with nitrogen atom monomers, graft polymers having a partial skeleton or a heterocyclic ring of the organic dye described in JP-A-2003-238837, JP-A 2008-9426, JP-A 2008-81732, etc.
  • amphoteric dispersion resin having a basic group and an acidic group described in JP2009-203462A is from the viewpoint of the dispersibility of the pigment dispersion, the dispersion stability, and the developability of the colored radiation-sensitive composition. Particularly preferred.
  • a known macromonomer can be used as a macromonomer to be used when producing a graft type polymer having an anchor site to a pigment surface by radical polymerization, and a macromonomer AA-6 (terminally manufactured by Toagosei Co., Ltd.) Poly (methyl methacrylate) in which the group is methacryloyl, AS-6 (polystyrene in which the terminal is methacryloyl), AN-6S (copolymer of styrene and acrylonitrile in which the terminal is methacryloyl), AB-6 Butyl acrylate having a methacryloyl group as the terminal group, Plaxel FM5 ( ⁇ -caprolactone 5-mole equivalent adduct of 2-hydroxyethyl methacrylate) manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd., FA 10 L (2-hydroxyethyl acrylate) ⁇ -caprolactone (10 molar equivalent adduct), and JP-A-2-272 Examples
  • polyester macromonomers that are particularly excellent in flexibility and solvent resistance are the dispersibility of the pigment dispersion, the dispersion stability, and the developability of the colored radiation-sensitive composition using the pigment dispersion.
  • block type polymer having an anchor site to the pigment surface block type polymers described in JP-A 2003-49110, JP-A 2009-52010, etc. are preferable.
  • the pigment dispersant is also available as a commercial product, and specific examples thereof include “Disperbyk-101 (polyamidoamine phosphate), 107 (carboxylic acid ester), 110 (containing an acid group) manufactured by BYK Chemie Polymers), 130 (polyamide), 161, 162, 163, 164, 165, 166, 170 (polymer copolymer) "," BYK-P104, P105 (high molecular weight unsaturated polycarboxylic acid), manufactured by EFKA “EFKA 4047, 4050 to 4010 to 4165 (polyurethanes), EFKA 4330 to 4340 (block copolymers), 4400 to 4402 (modified polyacrylates), 5010 (polyesteramides), 5765 (high molecular weight polycarboxylates), 6220 (polycarbonates) Fatty acid polyester), 6745 (Phthalocyani) Derivative), 6750 (Azo pigment derivative) "," Adispar PB 821, PB 8
  • Nonionic interface such as polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether, polyoxyethylene oleyl ether, polyoxyethylene octyl phenyl ether, polyoxyethylene nonyl phenyl ether, polyethylene glycol dilaurate, polyethylene glycol distearate, sorbitan fatty acid ester, etc.
  • Activators, anionic surfactants such as “W004, W005, W017”, etc., Morishita Sangyo Co., Ltd.
  • pigment dispersants may be used alone or in combination of two or more.
  • the pigment dispersant may be used in combination with an alkali-soluble resin described later as a pigment dispersant together with a terminal modified polymer having an anchor site on the pigment surface, a graft polymer, and a block polymer.
  • the content of the pigment dispersant in the pigment dispersion is preferably 1 to 80 parts by mass, more preferably 5 to 70 parts by mass, and 10 to 60 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the pigment. More preferable. Specifically, when a polymer dispersant is used, the amount thereof used is preferably in the range of 5 to 100 parts by mass conversion, and in the range of 10 to 80 parts based on 100 parts by mass of the pigment. Is more preferred.
  • the amount of pigment means the total amount of the near infrared transmitting black pigment and the pigment different therefrom (that is, the pigment as the colorant (B)).
  • the pigment dispersion preferably further contains a pigment derivative.
  • the pigment derivative is a compound having a structure in which a part of the organic pigment is substituted with an acidic group, a basic group or a phthalimidomethyl group. From the viewpoint of dispersibility and dispersion stability, the pigment derivative preferably contains a pigment derivative having an acidic group or a basic group.
  • organic pigments for constituting pigment derivatives include diketopyrrolopyrrole pigments, azo pigments, phthalocyanine pigments, anthraquinone pigments, quinacridone pigments, dioxazine pigments, perinone pigments, perylene pigments, thioindigo pigments And isoindoline based pigments, isoindolinone based pigments, quinophthalone based pigments, srene based pigments, metal complex based pigments and the like.
  • a sulfonic acid, carboxylic acid, and its quaternary ammonium salt are preferable, a carboxylic acid group and a sulfonic acid group are still more preferable, and a sulfonic acid group is especially preferable.
  • a basic group which a pigment derivative has an amino group is preferable and especially a tertiary amino group is preferable.
  • Particularly preferred pigment derivatives are quinoline, benzimidazolone and isoindoline pigment derivatives, and more preferred are quinoline and benzimidazolone pigment derivatives.
  • the content of the pigment derivative in the pigment dispersion is preferably 1 to 50% by mass, and more preferably 3 to 30% by mass, with respect to the total mass of the pigment.
  • the pigment derivative may use only 1 type and may use 2 or more types together.
  • the amount of the pigment derivative used is preferably in the range of 1 to 30 parts by mass conversion with respect to 100 parts by mass of the pigment, and more preferably in the range of 3 to 20 parts. It is preferably in the range of 5 to 15 parts.
  • the amount of pigment means the total amount of the near infrared transmitting black pigment and the pigment different therefrom (that is, the pigment as the colorant (B)).
  • the pigment dispersion preferably contains an organic solvent.
  • the organic solvent is selected depending on the solubility of each component contained in the pigment dispersion, and the coating property when the pigment dispersion is applied to a colored radiation-sensitive composition.
  • esters, ethers, ketones and aromatic hydrocarbons are used as the organic solvent.
  • methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl cellosolve acetate, ethyl lactate, diethylene glycol dimethyl ether, butyl acetate, methyl 3-methoxypropionate, 2-heptanone, cyclohexanone, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol mono Butyl ether acetate, propylene glycol methyl ether and propylene glycol monomethyl ether acetate are preferable, and it is also preferable to use (F) an organic solvent which can be contained in the colored radiation-sensitive composition described later.
  • the content of the organic solvent in the pigment dispersion is preferably 50 to 95% by mass, and more preferably 70 to 90% by mass.
  • the pigment dispersion further contains a polymer compound from the viewpoints of improvement of dispersion stability and control of developability when the pigment dispersion is applied to a colored radiation-sensitive composition, in addition to the above-described components. It is also good.
  • polymer compound for example, polyamide amine and its salt, polycarboxylic acid and its salt, high molecular weight unsaturated acid ester, modified polyurethane, modified polyester, modified poly (meth) acrylate, (meth) acrylic copolymer (In particular, (meth) acrylic acid type copolymers having a carboxylic acid group and a polymerizable group in the side chain are preferable), naphthalene sulfonic acid formalin condensates and the like.
  • Such a polymeric material adsorbs to the surface of the pigment and acts to prevent reaggregation, so a terminally modified polymer, a graft polymer, and a block polymer having an anchor site on the pigment surface
  • graft copolymers containing, as copolymer units, a monomer containing a heterocycle and a polymerizable oligomer having an ethylenically unsaturated bond.
  • polymer materials further include polyamidoamine phosphate, high molecular weight unsaturated polycarboxylic acid, polyether ester, aromatic sulfonic acid formalin polycondensate, polyoxyethylene nonylphenyl ether, polyester amine, polyoxyethylene sorbitan Monoolate polyoxyethylene monostearate etc. are mentioned.
  • the content of the polymer material in the pigment dispersion is preferably 20 to 80% by mass, more preferably 30 to 70% by mass, and still more preferably 40 to 60% by mass, based on the pigment.
  • composition for color filter containing near infrared transmitting black colorant (for example, pigment dispersion) and, if necessary, colorant (B), (C) photopolymerization
  • a composition for a color filter comprising: an initiator, (D) a polymerizable compound, and, if necessary, (E) an ultraviolet absorber, (F) an alkali soluble resin, (G) an organic solvent, a surfactant and the like. is there.
  • the color radiation sensitive composition (more preferably, the composition for a color filter containing (A) a near infrared transmitting black color material, (C) a photopolymerization initiator, and (D) a polymerizable compound. And black radiation sensitive compositions).
  • This colored radiation-sensitive composition is used to form the infrared transmission filter of the present invention, and for example, a colored cured film obtained by polymerizing and curing the colored radiation-sensitive composition is used as the infrared transmission filter.
  • a colored cured film obtained by polymerizing and curing the colored radiation-sensitive composition is used as the infrared transmission filter.
  • each component which may be further contained in the composition (especially colored radiation-sensitive composition) in the present invention will be described in detail.
  • the total solid content refers to the total mass of components excluding the organic solvent from the total composition of the composition.
  • alkyl group refers to a "straight, branched and cyclic" alkyl group, and may be substituted or unsubstituted.
  • (meth) acrylate represents both or either of acrylate and methacrylate
  • (meth) acrylic represents both or either of acrylic and methacryl
  • ( ) Acryloyl represents either or both of acryloyl and methacryloyl.
  • the term “monomer” as used herein refers to a compound having a weight average molecular weight of 2,000 or less, as distinguished from oligomers and polymers.
  • the polymerizable compound refers to a compound having a polymerizable functional group, and may be a monomer or a polymer.
  • the polymerizable functional group refers to a group involved in the polymerization reaction.
  • the notation not describing substitution and non-substitution includes those having no substituent as well as those having a substituent.
  • the "alkyl group” includes not only an alkyl group having no substituent (unsubstituted alkyl group) but also an alkyl group having a substituent (substituted alkyl group).
  • the term "process” is included in the term if the intended function of the process is achieved, even if it can not be clearly distinguished from other processes, not only the independent process.
  • radiation means visible radiation, ultraviolet radiation, far ultraviolet radiation, electron beam, X-ray and the like.
  • the composition for a color filter (typically, a colored radiation-sensitive composition) of the present invention preferably contains (C) a photopolymerization initiator.
  • a photoinitiator (Hereinafter, it may only be mentioned a "polymerization initiator”.)
  • a photoinitiator hereinafter, it may only be mentioned a "polymerization initiator”.
  • a photoinitiator mentioned below can be used.
  • the photopolymerization initiator is not particularly limited as long as it has the ability to initiate the polymerization of the polymerizable compound, and can be appropriately selected from known photopolymerization initiators. For example, those having photosensitivity to light rays visible from the ultraviolet region are preferable. In addition, it may be an activator that produces an action with a photoexcited sensitizer and generates active radicals, or may be an initiator that initiates cationic polymerization depending on the type of monomer.
  • the photopolymerization initiator preferably contains at least one compound having a molecular absorption coefficient of at least about 50 in a wavelength range of about 300 nm to 800 nm (more preferably 330 nm to 500 nm).
  • a halogenated hydrocarbon derivative for example, one having a triazine skeleton, one having an oxadiazole skeleton, etc.
  • an acylphosphine compound such as an acyl phosphine oxide, a hexaarylbiimidazole, an oxime derivative And oxime compounds, organic peroxides, thio compounds, ketone compounds, aromatic onium salts, ketoxime ethers, aminoacetophenone compounds, hydroxyacetophenone and the like.
  • oxime compounds are preferable.
  • halogenated hydrocarbon compound having a triazine skeleton examples include, for example, Wakabayashi et al., Bull. Chem. Soc. Japan, 42, 2924 (1969), a compound described in British Patent 1388492, a compound described in JP-A-53-133428, a compound described in German Patent 3337024, an F. compound. C. Schaefer et al. Org. Chem. 29, 1527 (1964), compounds described in JP-A-62-58241, compounds described in JP-A-5-281728, compounds described in JP-A-5-34920, U.S. Pat. No. 4,129,976
  • the compounds described in the specification, and the like can be mentioned.
  • Examples of the compounds described in the aforementioned US Pat. No. 4,129,976 include compounds having an oxadiazole skeleton (eg, 2-trichloromethyl-5-phenyl-1,3,4-oxadiazole, 2- Trichloromethyl-5- (4-chlorophenyl) -1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (1-naphthyl) -1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5 -(2-naphthyl) -1,3,4-oxadiazole, 2-tribromomethyl-5-phenyl-1,3,4-oxadiazole, 2-tribromomethyl-5- (2-naphthyl) -1,3,4-oxadiazole; 2-trichloromethyl-5-styryl-1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (4-chlorostyryl) ) -1,3,4-oxadiazole,
  • acridine derivatives eg, 9-phenylacridine, 1,7-bis (9,9'-acridinyl) heptane, etc.
  • N-phenylglycine etc.
  • polyhalogen compounds eg, four) Carbon bromide, phenyl tribromomethyl sulfone, phenyl trichloromethyl ketone etc.
  • coumarins eg, 3- (2-benzofuranoyl) -7-diethylaminocoumarin, 3- (2-benzofuroyl) -7- (1-) Pyrrolidinyl) coumarin, 3-benzoyl-7-diethylaminocoumarin, 3- (2-methoxybenzoyl) -7-diethylaminocoumarin, 3- (4-dimethylaminobenzoyl) -7-diethylaminocoumarin, 3,3'-carbonylbis ( 5,7-di-n
  • ketone compound examples include benzophenone, 2-methylbenzophenone, 3-methylbenzophenone, 4-methylbenzophenone, 4-methoxybenzophenone, 2-chlorobenzophenone, 4-chlorobenzophenone, 4-bromobenzophenone, 2-carboxybenzophenone, 2-Ethoxycarbonylbenzophenone, benzophenonetetracarboxylic acid or its tetramethyl ester, 4,4'-bis (dialkylamino) benzophenones (eg, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4'-bisdicyclohexyl Amino) benzophenone, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4'-bis (dihydroxyethylamino) benzophenone, 4-methoxy-4'-dimethylamino Nzofenone, 4,4'-dimethoxybenzophenone, 4-dimethylaminobenzophenone
  • a hydroxyacetophenone compound, an aminoacetophenone compound, and an acyl phosphine compound can also be used suitably. More specifically, for example, an aminoacetophenone initiator described in JP-A-10-291969 and an acylphosphine oxide initiator described in Japanese Patent No. 4225898 can also be used.
  • a hydroxyacetophenone type initiator IRGACURE-184, DAROCUR-1173, IRGACURE-500, IRGACURE-2959, IRGACURE-127 (trade name: all manufactured by BASF Corp.) can be used.
  • aminoacetophenone initiators commercially available products IRGACURE-907, IRGACURE-369, and IRGACURE-379 (trade names: all manufactured by BASF AG) can be used.
  • the aminoacetophenone initiator a compound described in JP-A-2009-191179 in which the absorption wavelength is matched to a long wave light source such as 365 nm or 405 nm can also be used.
  • group initiator IRGACURE-819 and DAROCUR-TPO (brand name: all are BASF Corporation make) which are commercial items can be used.
  • an oxime compound is mentioned as a polymerization initiator. Since the composition contains an oxime compound as a polymerization initiator, the property dependence of the pattern on the time from application of the composition to exposure (PCD: Post Coating Delay) (hereinafter, also simply referred to as "PCD dependence") ) Will be good.
  • PCD Post Coating Delay
  • the oxime compound compounds described in JP-A-2001-233842, compounds described in JP-A-2000-80068, and compounds described in JP-A-2006-342166 can be used.
  • IRGACURE OXE-01 manufactured by BASF
  • IRGACURE OXE-02 manufactured by BASF
  • TR-PBG-304 manufactured by Changzhou Strong Electronic New Materials Co., Ltd.
  • an oxime compound other than the above a compound described in JP-A-2009-519904, in which an oxime is linked to the N-position of carbazole, a compound described in US Pat. No. 7,626,957 in which a hetero substituent is introduced into a benzophenone moiety, Compounds described in JP-A-2010-15025 and U.S. Patent Publication 2009-292039 in which a nitro group is introduced at a dye site, ketooxime compounds described in WO2009-131189, the same triazine skeleton and oxime skeleton
  • the compound described in US Pat. No. 7,556,910, which is contained in the molecule, or the compound described in JP-A 2009-221114, which has an absorption maximum at 405 nm and good sensitivity to a g-line light source may be used.
  • the cyclic oxime compounds described in JP-A-2007-231000 and JP-A-2007-322744 can also be suitably used.
  • cyclic oxime compounds cyclic oxime compounds fused to a carbazole dye described in, for example, JP-A-2010-32985 and JP-A-2010-185072 have high light absorption and high sensitivity. preferable.
  • the compound described in JP-A-2009-242469, which has an unsaturated bond at a specific site of the oxime compound can also be used preferably because high sensitivity can be achieved by regenerating the active radical from the polymerization inactive radical. it can.
  • an oxime compound having a specific substituent described in JP-A-2007-269779 or an oxime compound having a thioaryl group shown in JP-A-2009-191061 can be mentioned.
  • the oxime compound a compound represented by the following general formula (OX-1) is preferable.
  • the N—O bond of the oxime may be an oxime compound of (E) form, an oxime compound of (Z) form, or a mixture of (E) form and (Z) form. .
  • R and B each independently represent a monovalent substituent
  • A represents a divalent organic group
  • Ar represents an aryl group.
  • the monovalent substituent represented by R is preferably a monovalent nonmetal atomic group.
  • the monovalent nonmetal atomic group include an alkyl group, an aryl group, an acyl group, an alkoxycarbonyl group, an aryloxycarbonyl group, a heterocyclic group, an alkylthiocarbonyl group and an arylthiocarbonyl group.
  • these groups may have one or more substituents.
  • the substituent mentioned above may be further substituted by the other substituent.
  • substituents examples include a halogen atom, an aryloxy group, an alkoxycarbonyl group or an aryloxycarbonyl group, an acyloxy group, an acyl group, an alkyl group, an aryl group and the like.
  • alkyl group which may have a substituent
  • an alkyl group having 1 to 30 carbon atoms is preferable.
  • the description in paragraph 0026 etc. of JP 2012-032556 A can be referred to, and the contents thereof are incorporated in the present specification.
  • the aryl group which may have a substituent is preferably an aryl group having a carbon number of 6 to 30.
  • An aryl group having 6 to 30 carbon atoms is preferred.
  • the acyl group which may have a substituent is preferably an acyl group having a carbon number of 2 to 20.
  • JP 2012-032556 A the description in paragraph 0028 or the like of JP 2012-032556 A can be referred to, and the contents thereof are incorporated in the present specification.
  • the alkoxycarbonyl group which may have a substituent is preferably an alkoxycarbonyl group having 2 to 20 carbon atoms.
  • JP 2012-032556 A the description in paragraph 0030 and the like of JP 2012-032556 A can be referred to, and the contents thereof are incorporated in the present specification.
  • the heterocyclic group which may have a substituent is preferably an aromatic or aliphatic heterocycle containing a nitrogen atom, an oxygen atom, a sulfur atom or a phosphorus atom.
  • a substituent is preferably an aromatic or aliphatic heterocycle containing a nitrogen atom, an oxygen atom, a sulfur atom or a phosphorus atom.
  • alkylthiocarbonyl group which may have a substituent
  • the alkylthiocarbonyl group which may have a substituent
  • the contents of which are incorporated in the present specification can be referred to the description in paragraph 0032 of JP-A-2012-032556, etc., the contents of which are incorporated in the present specification.
  • the monovalent substituent represented by B represents an aryl group, a heterocyclic group, an arylcarbonyl group or a heterocyclic carbonyl group. Also, these groups may have one or more substituents. As the substituent, the above-mentioned substituents can be exemplified. Moreover, the substituent mentioned above may be further substituted by the other substituent.
  • Y, X and n have the same meanings as Y, X and n in General Formula (OX-2) described later, and preferred examples are also the same.
  • examples of the divalent organic group represented by A include an alkylene group having 1 to 12 carbon atoms, a cycloalkylene group and an alkynylene group. Also, these groups may have one or more substituents. As the substituent, the above-mentioned substituents can be exemplified. Moreover, the substituent mentioned above may be further substituted by the other substituent.
  • an unsubstituted alkylene group an alkyl group (for example, a methyl group, an ethyl group, a tert-butyl group, An alkylene group substituted by dodecyl group, an alkylene group substituted by alkenyl group (for example, vinyl group, allyl group), an aryl group (for example, phenyl group, p-tolyl group, xylyl group, cumenyl group, naphthyl group, The alkylene group substituted by anthryl group, phenanthryl group, styryl group) is preferable.
  • an alkyl group for example, a methyl group, an ethyl group, a tert-butyl group
  • An alkylene group substituted by dodecyl group an alkylene group substituted by alkenyl group (for example, vinyl group, allyl group)
  • an aryl group for example, phenyl group, p-to
  • the aryl group represented by Ar in General Formula (OX-1) is preferably an aryl group having a carbon number of 6 to 30, and may have a substituent.
  • substituents those similar to the substituents introduced into the substituted aryl group mentioned as the specific example of the aryl group which may have a substituent can be exemplified. Among them, a substituted or unsubstituted phenyl group is preferable from the viewpoint of enhancing sensitivity and suppressing coloring due to heating and aging.
  • the oxime compound is preferably a compound represented by the following general formula (OX-2).
  • R and X each independently represent a monovalent substituent, A and Y each independently represent a divalent organic group, Ar represents an aryl group, and n is 0) It is an integer of ⁇ 5.
  • R, A and Ar in the general formula (OX-2) have the same meanings as R, A and Ar in the general formula (OX-1), and preferred examples are also the same.
  • the monovalent substituent represented by X in the general formula (OX-2) is, for example, an alkyl group, an aryl group, an alkoxy group, an aryloxy group, an acyloxy group, an acyl group, an alkoxycarbonyl group, an amino group or a heterocyclic ring And halogen atoms. Also, these groups may have one or more substituents. As the substituent, the above-mentioned substituents can be exemplified. Moreover, the substituent mentioned above may be further substituted by the other substituent.
  • X in the general formula (OX-2) an alkyl group is preferable from the viewpoint of solvent solubility and improvement of absorption efficiency in a long wavelength region.
  • n represents an integer of 0 to 5, preferably an integer of 0 to 2.
  • Examples of the divalent organic group represented by Y in General Formula (OX-2) include the structures shown below. In the groups shown below, "*" represents a bonding position between Y and the adjacent carbon atom in General Formula (OX-2).
  • the photopolymerization initiator those having a structure shown below are preferable from the viewpoint of high sensitivity.
  • the oxime compound is preferably a compound represented by the following general formula (OX-3).
  • R and X each independently represent a monovalent substituent
  • A represents a divalent organic group
  • Ar represents an aryl group
  • n is an integer of 0 to 5 .
  • R, X, A, Ar and n in the general formula (OX-3) have the same meanings as R, X, A, Ar and n in the general formula (OX-2), and preferred examples are also the same. It is.
  • the oxime compound has a maximum absorption wavelength in a wavelength range of 350 nm to 500 nm, preferably an absorption wavelength in a wavelength range of 360 nm to 480 nm, and particularly preferably a high absorbance at 365 nm and 455 nm.
  • the oxime compound preferably has a molar absorption coefficient at 365 nm or 405 nm of 1,000 to 300,000, more preferably 2,000 to 300,000, and 5,000 to 200, from the viewpoint of sensitivity. And particularly preferably 1,000.
  • the molar absorption coefficient of the compound may be a known method, and specifically, for example, 0.01 g of an ethyl acetate solvent is used in a UV-visible spectrophotometer (Varry Carry-5 spctrophotometer). It is preferable to measure at a concentration of / L.
  • the photopolymerization initiators used in the present invention may be used in combination of two or more as needed.
  • the content (total content in the case of two or more types) of the photopolymerization initiator in the composition for a color filter is preferably in the range of 0.1 to 20% by mass with respect to the total solid content of the composition, More preferably, it is in the range of 0.5 to 10% by mass, particularly preferably in the range of 1 to 8% by mass. Within this range, good sensitivity and patternability can be obtained.
  • the composition for color filter may contain a sensitizer for the purpose of improving the radical generation efficiency of the photopolymerization initiator and increasing the photosensitive wavelength.
  • a sensitizer which can be used for this invention what sensitizes with respect to above-mentioned (C) photoinitiator with an electron transfer mechanism or an energy transfer mechanism is preferable.
  • Examples of the sensitizer used in the composition for a color filter include compounds described in Paragraph Nos. [0101] to [0154] of JP-A-2008-32803.
  • the content of the sensitizer in the composition is preferably 0.1% by mass to 20% by mass in terms of solid content from the viewpoint of light absorption efficiency to the deep part and initiation decomposition efficiency, and is preferably 0.5% % To 15% by mass is more preferable.
  • the sensitizers may be used alone or in combination of two or more.
  • the composition for a color filter (typically, a colored radiation-sensitive composition) of the present invention preferably contains (D) a polymerizable compound.
  • the polymerizable compound is selected from compounds having at least one, preferably two or more terminal ethylenically unsaturated bonds. Among them, a polyfunctional polymerizable compound having four or more functions is preferable, and five or more functions are more preferable.
  • Such compounds are widely known in the relevant industrial field, and they can be used in the present invention without particular limitation. These may be, for example, any of chemical forms such as monomers, prepolymers, that is, dimers, trimers and oligomers, or mixtures thereof and multimers thereof.
  • the polymerizable compounds in the present invention may be used singly or in combination of two or more.
  • examples of monomers and prepolymers thereof include unsaturated carboxylic acids (eg, acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, isocrotonic acid, maleic acid etc.) and esters thereof, amides, etc.
  • unsaturated carboxylic acids eg, acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, isocrotonic acid, maleic acid etc.
  • esters thereof preferably esters of unsaturated carboxylic acids and aliphatic polyhydric alcohol compounds, and amides of unsaturated carboxylic acids and aliphatic polyhydric amine compounds, and multimers thereof. is there.
  • addition reaction products of unsaturated carboxylic acid esters or amides having a nucleophilic substituent such as hydroxyl group, amino group, mercapto group etc.
  • a compound having at least one addition-polymerizable ethylene group and having an ethylenically unsaturated group having a boiling point of 100 ° C. or more under normal pressure is also preferable.
  • examples thereof include monofunctional acrylates and methacrylates such as polyethylene glycol mono (meth) acrylate, polypropylene glycol mono (meth) acrylate, phenoxyethyl (meth) acrylate, etc .; (Meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, hexanediol (Meth) acrylate, trimethylolpropane tri
  • Polyfunctional (meth) acrylate obtained by reacting a compound having a cyclic ether group such as glycidyl (meth) acrylate and an ethylenically unsaturated group with a polyfunctional carboxylic acid can also be mentioned.
  • a preferable polymerizable compound it has a fluorene ring described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2010-160418, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2010-129825, each patent, Japanese Patent No. 4364216, etc. It is also possible to use a compound having a cardo resin.
  • radically polymerizable monomers represented by the following formulas (MO-1) to (MO-5) can also be suitably used.
  • T is an oxyalkylene group
  • the terminal on the carbon atom side is bonded to R.
  • n 0 to 14 and m is 1 to 8.
  • a plurality of R and T in one molecule may be identical to or different from each other.
  • the compounds described in paragraph No. 0248 to paragraph No. 0251 of JP-A-2007-269779 can be used. It can also be suitably used in the invention.
  • dipentaerythritol triacrylate commercially available as KAYARAD D-330; Nippon Kayaku Co., Ltd.
  • dipentaerythritol tetraacrylate commercially available as KAYARAD D-320; Nippon Kayaku Co., Ltd.
  • Dipentaerythritol penta (meth) acrylate (commercially available as KAYARAD D-310; Nippon Kayaku Co., Ltd.), dipentaerythritol hexa (meth) acrylate (commercially available as KAYARAD DPHA; Nippon Kayaku Co., Ltd.) And a structure in which these (meth) acryloyl groups are mediated by ethylene glycol and propylene glycol residues.
  • polymerizable compound 2- (meth) acryloyloxyethyl caproate acid phosphate (commercially available as PM-20 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), urethane acrylate (commercially available as Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) U-6 LPA) and the like are also preferable. These oligomer types can also be used.
  • the aspect of a preferable polymeric compound is shown below.
  • the polymerizable compound is a polyfunctional monomer, and may have an acid group such as a carboxyl group, a sulfonic acid group or a phosphoric acid group. If the ethylenic compound has an unreacted carboxyl group as in the case of a mixture as described above, this can be used as it is, but, if necessary, to the hydroxyl group of the above ethylenic compound Non-aromatic carboxylic acid anhydride may be reacted to introduce an acid group.
  • non-aromatic carboxylic acid anhydrides include tetrahydrophthalic anhydride, alkylated tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, alkylated hexahydrophthalic anhydride, succinic anhydride, anhydride Maleic acid is mentioned.
  • the monomer having an acid group is an ester of an aliphatic polyhydroxy compound and an unsaturated carboxylic acid, and a non-aromatic carboxylic acid anhydride is reacted with an unreacted hydroxyl group of the aliphatic polyhydroxy compound.
  • Polyfunctional monomers having an acid group are preferred, Particularly preferably, in this ester, the aliphatic polyhydroxy compound is pentaerythritol and / or dipentaerythritol.
  • examples of commercially available products include M-510 and M-520 as polybasic acid-modified acrylic oligomers manufactured by Toagosei Co., Ltd.
  • One of these polymerizable compounds may be used alone in the composition for a color filter in the present invention, but two or more of them may be used because it is difficult to obtain a single compound in the production of the polymerizable compound. You may mix and use. Moreover, you may use together the polyfunctional monomer which does not have an acidic radical, and the polyfunctional monomer which has an acidic radical as a polymeric compound as needed.
  • the acid value of the polyfunctional monomer having an acid group is preferably 0.1 to 40 mg-KOH / g, particularly preferably 5 to 30 mg-KOH / g.
  • the acid value of the polyfunctional monomer is too low, the development dissolution property is deteriorated, and when too high, the production and handling become difficult, the photopolymerization performance is deteriorated, and the curability such as the surface smoothness of the pixel is deteriorated. Therefore, in the case of using two or more kinds of polyfunctional monomers having different acid groups in combination, or in the case of using a polyfunctional monomer having no acid group, the acid group as the entire polyfunctional monomer is adjusted to fall within the above range. Is preferred.
  • polyfunctional monomer which has a caprolactone structure as a polymeric compound.
  • the polymerizable compound having a caprolactone structure is not particularly limited as long as it has a caprolactone structure in its molecule, and examples thereof include trimethylol ethane, ditrimethylol ethane, trimethylol propane, ditrimethylol propane, pentaerythritol, and di ⁇ -caprolactone modified polyfunctional (meth) acrylate obtained by esterifying (meth) acrylic acid and ⁇ -caprolactone with a polyhydric alcohol such as pentaerythritol, tripentaerythritol, glycerin, diglycerol, trimethylolmelamine and the like Can be mentioned.
  • polyfunctional monomers having a caprolactone structure represented by the following general formula (Z-1) are preferable.
  • R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group
  • m represents 1 or 2
  • “*” represents a bond
  • R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group
  • "*" represents a bond
  • polyfunctional monomers having a caprolactone structure can be used alone or in combination of two or more.
  • the polymerizable compound in the present invention is preferably a polymerizable compound containing an alkyleneoxy group having 2 or more carbon atoms (e.g., an ethyleneoxy group, a propyleneoxy group, a butyleneoxy group, etc.).
  • an alkyleneoxy group having 2 or more carbon atoms e.g., an ethyleneoxy group, a propyleneoxy group, a butyleneoxy group, etc.
  • the polymerizable compounds containing an alkyleneoxy group having 2 or more carbon atoms at least one selected from the group of compounds represented by the following general formula (i) or (ii) is particularly preferable.
  • E each independently represents-((CH 2 ) y CH 2 O)-or-((CH 2 ) y CH (CH 3 ) O)-
  • Each y independently represents an integer of 0 to 10
  • each X independently represents an acryloyl group, a methacryloyl group, a hydrogen atom or a carboxyl group.
  • the total of acryloyl group and methacryloyl group represented by X is three or four
  • m each independently represents an integer of 0 to 10
  • the total of each m is 0 to 40 It is an integer. However, when the sum of each m is 0, any one of X is a carboxyl group.
  • the total of acryloyl group and methacryloyl group represented by X is 5 or 6
  • n independently represents an integer of 0 to 10
  • the total of each n is 0 to 60. It is an integer. However, when the sum of each n is 0, any one of X is a carboxyl group.
  • m is preferably an integer of 0 to 6, and more preferably an integer of 0 to 4.
  • the total of m is preferably an integer of 2 to 40, more preferably an integer of 2 to 16, and particularly preferably an integer of 4 to 8.
  • n is preferably an integer of 0 to 6, and more preferably an integer of 0 to 4.
  • the total of each n is preferably an integer of 3 to 60, more preferably an integer of 3 to 24, and particularly preferably an integer of 6 to 12.
  • the oxygen atom side ends Preferred is a form in which
  • the compounds represented by general formula (i) or (ii) may be used alone or in combination of two or more.
  • a form in which all six X's are an acryloyl group is preferable.
  • the compounds represented by the general formula (i) or (ii) have a ring-opened skeleton by ring-opening addition reaction of ethylene oxide or propylene oxide to pentaerythritol or dipentaerythritol which is a conventionally known step.
  • the compound can be synthesized from the step of bonding and the step of introducing a (meth) acryloyl group by, for example, reacting (meth) acryloyl chloride with the terminal hydroxyl group of the ring-opened skeleton.
  • Each step is a well-known step, and those skilled in the art can easily synthesize a compound represented by general formula (i) or (ii).
  • pentaerythritol derivatives and / or dipentaerythritol derivatives are more preferable.
  • Specific examples thereof include compounds represented by the following formulas (a) to (f) (hereinafter also referred to as “exemplified compounds (a) to (f)”), and among them, exemplified compounds (a) and (f) b), (e) and (f) are preferred.
  • the exemplified compound (b) is effective, and the effects of the present invention can be significantly improved.
  • SR-494 which is a tetrafunctional acrylate having four ethyleneoxy chains manufactured by Sartmar, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.
  • examples include DPCA-60, which is a hexafunctional acrylate having six pentylene oxy chains, and TPA-330, which is a trifunctional acrylate having three isobutylene oxy chains.
  • the content of the polymerizable compound in the composition for a color filter is preferably 2 to 50% by mass, more preferably 2 to 30% by mass, and further preferably 2 to 25% by mass with respect to the total solid content of the composition. % Is more preferable.
  • the composition for color filters (typically, colored radiation-sensitive composition) of this invention contains (E) ultraviolet absorber.
  • the ultraviolet absorber is a compound having an absorption coefficient of more than 100 per 1 g at a wavelength of 365 nm and 10 or less per 1 g of a wavelength of 400 nm or more.
  • the absorption coefficient is a value measured at a concentration of 0.01 g / L using an ethyl acetate solvent with a UV-visible spectrophotometer (manufactured by Varian, Carry-5 spectrophotometer).
  • the absorption coefficient per 1 g at a wavelength of 365 nm is 100 or less, the addition amount for obtaining the ultraviolet absorption effect increases and the prescription likelihood decreases.
  • the absorption coefficient per 1 g at a wavelength of 400 nm or more exceeds 10, visible It is not preferable because it affects the device spectrum of the area.
  • the compound represented by the following general formula (I) which is a conjugated diene type compound is preferable.
  • this conjugated diene-based compound is used, the fluctuation of development performance is suppressed especially when low illuminance exposure is performed, and the exposure illuminance dependency related to the pattern lineability of the pattern line width, film thickness, spectral spectrum, etc. It can be more effectively suppressed.
  • R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, or an aryl group having 6 to 20 carbon atoms, and R 1 and R 2 May be the same as or different from each other, but do not simultaneously represent a hydrogen atom.
  • the alkyl group represented by R 1 and R 2 may have a substituent, and as the substituent of the alkyl group having a substituent, for example, an alkyl group, an aryl group, an alkoxy group, an aryloxy group, Acyloxy group, halogen atom, acylamino group, acyl group, alkylthio group, arylthio group, hydroxy group, cyano group, alkyloxycarbonyl group, aryloxycarbonyl group, substituted carbamoyl group, substituted sulfamoyl group, nitro group, substituted amino group, alkyl A sulfonyl group, an arylsulfonyl group, etc. are mentioned.
  • the aryl group having 6 to 20 carbon atoms represented by R 1 and R 2 may be a single ring or a condensed ring, and may be a substituted aryl group having a substituent or an unsubstituted aryl group. It may be.
  • R 1 and R 2 may form a cyclic amino group together with the nitrogen atom.
  • the cyclic amino group include piperidino group, morpholino group, pyrrolidino group, hexahydroazepino group, piperazino group and the like.
  • R 1 and R 2 are lower alkyl groups having 1 to 8 carbon atoms (eg, methyl, ethyl, isopropyl, butyl, sec-butyl, tert-butyl, pentyl, tert-pentyl, hexyl, octyl 2-ethylhexyl, tert-octyl etc., or substituted or unsubstituted phenyl groups (eg, tolyl, phenyl, anisyl, mesityl, chlorophenyl, 2,4-di-t-amylphenyl etc.) preferable.
  • phenyl groups eg, methyl, ethyl, isopropyl, butyl, sec-butyl, tert-butyl, pentyl, tert-pentyl, hexyl, octyl 2-ethylhexyl, tert-oc
  • R 1 and R 2 be combined to form a ring (eg, a piperidine ring, a pyrrolidine ring, a morpholine ring, etc.) containing a nitrogen atom represented by N in the formula.
  • a ring eg, a piperidine ring, a pyrrolidine ring, a morpholine ring, etc.
  • R 3 and R 4 represent an electron withdrawing group.
  • the electron withdrawing group is an electron withdrawing group having a Hammett's substituent constant ⁇ p value (hereinafter simply referred to as “ ⁇ p value”) of 0.20 or more and 1.0 or less. Preferably, it is an electron withdrawing group having a ⁇ p value of 0.30 or more and 0.8 or less.
  • ⁇ p value Hammett's substituent constant
  • Substituent constants determined by the Hammett's rule include ⁇ p values and ⁇ m values, and these values are described in many general textbooks. A. Dean, “Lange's Handbook of Chemistry", 12th Edition, 1979 (Mc Graw-Hill) and “Regional Development of Chemistry", No. 122, pp. 96-103, 1979 (Nanegendo), Chemical Reviews, Vol. 91, Pp. 165-195 (1991). In the present invention, it does not mean that the values known in the literature are limited to only certain substituents described in these documents, but even if the value is unknown based on Hammett's law, it is within the range Of course, it is included as long as it is included in.
  • the electron withdrawing group having a ⁇ p value of 0.20 or more and 1.0 or less include an acyl group, an acyloxy group, a carbamoyl group, an alkyloxycarbonyl group, an aryloxycarbonyl group, a cyano group, a nitro group, Dialkylphosphono group, diarylphosphono group, diarylphosphinyl group, alkylsulfinyl group, arylsulfinyl group, alkylsulfonyl group, arylsulfonyl group, sulfonyloxy group, acylthio group, sulfamoyl group, thiocyanate group, thiocarbonyl group, at least An alkyl group substituted by two or more halogen atoms, an alkoxy group substituted by at least two or more halogen atoms, an aryloxy group substituted by at least two or more halogen atoms, and
  • R 3 is preferably a group selected from cyano group, -COOR 5 , -CONHR 5 , -COR 5 , -SO 2 R 5 , and R 4 is cyano group, -COOR 6, -CONHR 6, -COR 6, a group selected from -SO 2 R 6 is preferred.
  • R 5 and R 6 each independently represent an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms or an aryl group having 6 to 20 carbon atoms.
  • the alkyl group having 1 to 20 carbon atoms and the aryl group having 6 to 20 carbon atoms which are represented by R 5 and R 6 have the same meanings as in the case of R 1 and R 2 , and preferred embodiments are also the same.
  • R 3 and R 4 are preferably an acyl group, carbamoyl group, alkyloxycarbonyl group, aryloxycarbonyl group, cyano group, nitro group, alkylsulfonyl group, arylsulfonyl group, sulfonyloxy group, sulfamoyl group Particularly, an acyl group, a carbamoyl group, an alkyloxycarbonyl group, an aryloxycarbonyl group, a cyano group, an alkylsulfonyl group, an arylsulfonyl group, a sulfonyloxy group and a sulfamoyl group are preferable. Also, R 3 and R 4 may be bonded to each other to form a ring.
  • At least one of the above R 1 , R 2 , R 3 and R 4 may be in the form of a polymer derived from a monomer bonded to a vinyl group via a linking group. Also, it may be a copolymer with another monomer.
  • examples of other monomers include acrylic acid, ⁇ -chloroacrylic acid, ⁇ -alacrylic acid (eg, esters derived from acrylic acids such as methacrylic acid, preferably lower alkyl esters) And amides (eg, acrylamide, methacrylamide, t-butyl acrylamide, methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, n-propyl acrylate, n-butyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, n-hexyl) Acrylate, octyl methacrylate, and lauryl methacrylate, methylene bis acrylamide etc.), vinyl esters such as vinyl acetate, vinyl propionate, vinyl laurate etc., acrylonitrile Lyl, methacrylonitrile, aromatic vinyl compounds (eg, styrene and derivatives thereof such as vinyl
  • acrylic esters, methacrylic esters and aromatic vinyl compounds are particularly preferred.
  • Two or more comonomer compounds can also be used together.
  • n-butyl acrylate and divinyl benzene, styrene and methyl methacrylate, methyl acrylate and methacrylate acid can be used.
  • the compounds represented by the above general formula (I) are disclosed in JP-B-44-29620, JP-A-53-128333, JP-A-61-169,983, JP-A-63-53543, JP-A-63-53543.
  • the compound can be synthesized by the method described in JP-A-63-53544 and JP-A-63-56561.
  • the various ultraviolet absorbers may be used alone or in combination of two or more.
  • the composition for a color filter may or may not contain an ultraviolet light absorber, but when it is contained, the content of the ultraviolet light absorber is 0 on a mass basis relative to the total solid mass of the composition of the present invention. It is preferable that the content be 0.11% or more and 10% or less, and more preferably 0.01% or more and 5% or less. If the content of the ultraviolet absorber is less than this range, the roughness of the side walls in the colored pattern is deteriorated, and a fine pattern shape (particularly, a rectangle) can not be formed finely. If the range is exceeded, the sensitivity is increased. Decreases.
  • the ratio (E / C) of the (E) ultraviolet absorber to the (C) photopolymerization initiator is 0.25 to 1.25 on a mass basis. If the ratio E / C is less than 0.25, the roughness of the side walls in the colored pattern is deteriorated, and a fine pattern shape (particularly, a rectangle) can not be formed finely, and if it exceeds 1.25, The sensitivity is reduced.
  • the ratio E / C is preferably in the range of 0.3 to 1.1, and more preferably in the range of 0.4 to 1.0, for the same reason as described above.
  • composition of the present invention can contain components such as (F) an alkali-soluble resin, an organic solvent, a surfactant and the like.
  • the composition for a color filter (typically, a colored radiation-sensitive composition) of the present invention preferably further contains (F) an alkali-soluble resin.
  • an alkali-soluble resin By containing the alkali-soluble resin, developability and pattern formation are improved.
  • the alkali-soluble resin may be a linear organic polymer, and at least one alkali-soluble resin in a molecule (preferably, a molecule having an acrylic copolymer or a styrene copolymer as a main chain). It can be suitably selected from alkali-soluble resins having a promoting group.
  • the alkali soluble resin will be described.
  • the alkali-soluble resin polyhydroxystyrene resins, polysiloxane resins, acrylic resins, acrylamide resins, and acrylic / acrylamide copolymer resins are preferable from the viewpoint of heat resistance, and from the viewpoint of control of developability, Acrylic resins, acrylamide resins and acrylic / acrylamide copolymer resins are preferred.
  • groups promoting alkali solubility include, for example, carboxyl groups, phosphoric acid groups, sulfonic acid groups, and phenolic hydroxyl groups, but they are soluble in organic solvents and developed with weak alkaline aqueous solutions.
  • (meth) acrylic acid is mentioned as being particularly preferred.
  • These acid groups may be of only one type, or of two or more types.
  • the monomer capable of giving an acid group after the polymerization include a monomer having a hydroxyl group such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, a monomer having an epoxy group such as glycidyl (meth) acrylate, and 2-isocyanatoethyl (meth And monomers having an isocyanate group such as acrylate.
  • the monomers for introducing these acid groups may be only one type or two or more types.
  • a monomer having an acid group and / or a monomer capable of providing an acid group after polymerization (hereinafter, also referred to as "monomer for introducing an acid group") may be used. ) May be polymerized as a monomer component.
  • transducing an acidic radical by using as a monomer component the monomer which can provide an acidic radical after superposition
  • polymerization is needed.
  • a known radical polymerization method can be applied to the production of the alkali-soluble resin.
  • the polymerization conditions such as temperature, pressure, kind of radical initiator and amount thereof, kind of solvent, etc. when producing an alkali-soluble resin by radical polymerization method can be easily set by those skilled in the art, and the conditions are determined experimentally. You can also do so.
  • alkali-soluble resin a polymer having a carboxylic acid in a side chain is preferable.
  • a polymer having a carboxylic acid in a side chain is preferable.
  • the description in JP-A-2012-162684, paragraph 0253 can be referred to, and the contents thereof are incorporated in the present specification. .
  • the alkali-soluble resin it is preferable to contain a resin (a) having a repeating unit derived from a compound represented by the following general formula (ED) (hereinafter, also appropriately referred to as “ether dimer”).
  • ED general formula
  • the composition in the present invention can be made to have good PCD dependency.
  • R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group.
  • the hydrocarbon group represented by R 1 and R 2 in the general formula (ED) is preferably a hydrocarbon group having 1 to 25 carbon atoms. Moreover, the said hydrocarbon group may have a substituent.
  • the above-mentioned hydrocarbon group is not particularly limited, and, for example, straight chain such as methyl, ethyl, n-propyl, isopropyl, n-butyl, isobutyl, t-butyl, t-amyl, stearyl, lauryl, 2-ethylhexyl etc.
  • aryl groups such as phenyl; alicyclic groups such as cyclohexyl, t-butylcyclohexyl, dicyclopentadienyl, tricyclodecanyl, isobornyl, adamantyl, 2-methyl-2-adamantyl;
  • alkoxy-substituted alkyl group such as 1-methoxyethyl and 1-ethoxyethyl
  • an alkyl group substituted with an aryl group such as benzyl
  • an acid such as methyl, ethyl, cyclohexyl, benzyl and the like, and a primary or secondary carbon substituent which is not easily released by heat is preferable in view of heat resistance.
  • the proportion of the ether dimer in the monomer for obtaining the resin (a) is not particularly limited, but is preferably 2 to 60% by mass, more preferably 5 to 55% by mass, and still more preferably in the total monomer components. Is 5 to 50% by mass.
  • the resin (a) may be a copolymer obtained by copolymerizing other monomers with an ether dimer.
  • monomers copolymerizable with the ether dimer include, for example, a monomer for introducing an acid group, a monomer for introducing a radically polymerizable double bond, and an epoxy group. Monomers, and other copolymerizable monomers other than these may be mentioned. Such monomers may be used alone or in combination of two or more.
  • Examples of monomers for introducing an acid group include monomers having a carboxyl group such as (meth) acrylic acid and itaconic acid, monomers having a phenolic hydroxyl group such as N-hydroxyphenyl maleimide, maleic anhydride, anhydride
  • monomers etc. which have carboxylic acid anhydride groups, such as itaconic acid, etc. are mentioned.
  • (meth) acrylic acid is particularly preferable.
  • the monomer for introducing an acid group may be a monomer capable of giving an acid group after polymerization, and for example, a monomer having a hydroxyl group such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, Examples thereof include monomers having an epoxy group such as glycidyl (meth) acrylate, and monomers having an isocyanate group such as 2-isocyanatoethyl (meth) acrylate.
  • a monomer for introducing a radically polymerizable double bond when using a monomer capable of giving an acid group after polymerization, it is necessary to carry out a treatment for giving an acid group after polymerization.
  • the treatment for providing an acid group after polymerization varies depending on the type of monomer, and examples thereof include the following treatments.
  • a treatment of adding an acid anhydride such as succinic acid anhydride, tetrahydrophthalic acid anhydride, maleic acid anhydride and the like can be mentioned.
  • an acid anhydride such as succinic acid anhydride, tetrahydrophthalic acid anhydride, maleic acid anhydride and the like
  • a monomer having an epoxy group for example, a compound having an acid group and an amino group such as N-methylaminobenzoic acid or N-methylaminophenol is added, or, for example, (meth) acrylic acid is used.
  • Examples of the treatment include adding an acid anhydride such as succinic acid anhydride, tetrahydrophthalic acid anhydride and maleic acid anhydride to a hydroxyl group formed after the addition of an acid such as an acid.
  • an acid anhydride such as succinic acid anhydride, tetrahydrophthalic acid anhydride and maleic acid anhydride
  • a hydroxyl group formed after the addition of an acid such as an acid.
  • a monomer having an isocyanate group for example, a treatment of adding a compound having a hydroxyl group and an acid group such as 2-hydroxybutyric acid may be mentioned.
  • the content ratio thereof is not particularly limited, but 5 to 70% by mass in all the monomer components is Preferably, it is 10 to 60% by mass.
  • Examples of monomers for introducing a radically polymerizable double bond include, for example, monomers having a carboxyl group such as (meth) acrylic acid and itaconic acid; carboxylic acid anhydrides such as maleic anhydride and itaconic anhydride Monomers having an epoxy group; monomers having an epoxy group such as glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, o- (or m- or p-) vinylbenzyl glycidyl ether; .
  • monomers having a carboxyl group such as (meth) acrylic acid and itaconic acid
  • carboxylic acid anhydrides such as maleic anhydride and itaconic anhydride
  • Monomers having an epoxy group monomers having an epoxy group
  • monomers having an epoxy group such as glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate,
  • the treatment for providing a radically polymerizable double bond after polymerization differs depending on the type of the monomer capable of providing a radically polymerizable double bond, and examples thereof include the following treatments.
  • a monomer having a carboxyl group such as (meth) acrylic acid or itaconic acid, glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, o- (or m- or p-)
  • a treatment of adding a compound having a hydroxyl group such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate and a radically polymerizable double bond Can be mentioned.
  • a monomer having an epoxy group such as glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, o- (or m- or p-) vinylbenzyl glycidyl ether, (meth)
  • the process to which the compound which has acidic radicals, such as acrylic acid, and a radically polymerizable double bond is added is mentioned.
  • the content ratio thereof is not particularly limited, but in the total monomer components, 5 to The content is preferably 70% by mass, more preferably 10 to 60% by mass.
  • the monomer for introducing an epoxy group for example, glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, o- (or m- or p-) vinylbenzyl glycidyl ether, etc. It can be mentioned.
  • the monomer for obtaining the resin (a) contains a monomer for introducing an epoxy group, the content ratio thereof is not particularly limited, but 5 to 70% by mass in all the monomer components is Preferably, it is 10 to 60% by mass.
  • the content is not particularly limited, but 95% by mass or less is preferable, and 85% by mass or less More preferable.
  • the weight-average molecular weight of the resin (a) is not particularly limited, but is preferably 2000 to 200,000, more preferably from the viewpoint of the viscosity of the colored radiation-sensitive composition and the heat resistance of the coating film formed by the composition. It is 5,000 to 100,000, more preferably 5,000 to 20,000.
  • the acid value is preferably 30 to 500 mg KOH / g, more preferably 50 to 400 mg KOH / g.
  • the resin (a) can be easily obtained by polymerizing at least the above-mentioned monomers essentially containing an ether dimer. At this time, a cyclization reaction of the ether dimer proceeds simultaneously with the polymerization to form a tetrahydropyran ring structure.
  • combination of resin (a) Although the conventionally well-known various polymerization methods can be employ
  • the resin (a) can be synthesized according to the method for synthesizing the resin (a) described in JP-A 2004-300204.
  • alkali-soluble resins particularly preferred are benzyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid copolymer and benzyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid / other monomer carnal multicomponent Polymer is included.
  • an alkali-soluble resin having a polymerizable group may be used.
  • an alkali-soluble resin having a polymerizable group an alkali-soluble resin containing an allyl group, a (meth) acrylic group, an allyloxyalkyl group or the like in a side chain is useful.
  • an alkali-soluble resin containing these polymerizable groups an isocyanate group and an OH group are reacted in advance to leave one unreacted isocyanate group, and a compound containing a (meth) acryloyl group and an acrylic resin containing a carboxyl group And an unsaturated group-containing acrylic resin obtained by the reaction of an acrylic resin containing a carboxyl group and a compound having both an epoxy group and a polymerizable double bond in the molecule.
  • Resin acid pendant epoxy acrylate resin, polymerizable double bond-containing acrylic resin obtained by reacting acrylic resin containing OH group with dibasic acid anhydride having polymerizable double bond, acrylic resin containing OH group and isocyanate JP-A-2002-229207 discloses a resin in which a compound having a polymerizable group is reacted.
  • the acid value of the alkali-soluble resin is preferably 30 mg KOH / g to 200 mg KOH / g, more preferably 50 mg KOH / g to 150 mg KOH / g, and most preferably 70 to 120 mg KOH / g.
  • the weight average molecular weight (Mw) of the alkali-soluble resin is preferably 2,000 to 50,000, more preferably 5,000 to 30,000, and most preferably 7,000 to 20,000.
  • the content of the alkali-soluble resin in the composition for a color filter is preferably 1 to 15% by mass, more preferably 2 to 12% by mass, based on the total solid content of the composition, and particularly preferably , 3 to 10% by mass.
  • the composition of the present invention preferably contains (G) an organic solvent.
  • the organic solvent (G) include the following.
  • esters for example, ethyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, amyl formate, isoamyl acetate, isobutyl acetate, butyl propionate, isopropyl butyrate, ethyl butyrate, butyl butyrate, methyl lactate, ethyl lactate, alkyl oxyacetate ( For example, methyl oxyacetate, ethyl oxyacetate, butyl oxyacetate (eg, methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate etc.), 3-oxypropionic acid alkyl esters (e
  • 2- Oxypro Alkyl acid esters eg, methyl 2-hydroxypropionate, ethyl 2-oxypropionate, propyl 2-oxypropionate, etc.
  • ethers for example, Ethylene glycol dimethyl ether, tetrahydrofuran, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene Glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, etc., and ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone etc., and aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene etc. Is preferably mentioned.
  • the organic solvents may be used alone or in combination of two or more.
  • methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl cellosolve acetate, ethyl lactate, diethylene glycol dimethyl ether, butyl acetate, butyl 3-methoxypropionate are particularly preferable.
  • It is a mixed solution composed of two or more selected from methyl, 2-heptanone, cyclohexanone, ethyl carbitol acetate, butyl carbitol acetate, propylene glycol methyl ether, and propylene glycol methyl ether acetate.
  • the amount of the organic solvent contained in the composition for a color filter is preferably 10% by mass to 90% by mass, more preferably 20% by mass to 80% by mass, with respect to the total amount of the composition. More preferably, it is in the range of% by mass to 75% by mass.
  • the composition for a color filter (typically, a colored radiation-sensitive composition) of the present invention contains a sensitizer for the purpose of improving the generation efficiency of the initiating species of the polymerization initiator and increasing the photosensitive wavelength.
  • a sensitizer for the purpose of improving the generation efficiency of the initiating species of the polymerization initiator and increasing the photosensitive wavelength.
  • the sensitizer include sensitizers having an absorption wavelength in a wavelength range of 300 nm to 450 nm.
  • sensitizers include phenanthrene, anthracene, pyrene, perylene, triphenylene, polynuclear aromatics such as 9, 10-dialkoxyanthracene, fluorescein, eosin, erythrosine, rhodamine B, xanthene such as rose bengal.
  • Thioxanthones Cyanines, Merocyanines, Phthalocyanines, Thionines, Thiazines such as Methylene Blue, Toluidine Blue, Acridines, Anthraquinones, Squariums, Coumarins, Phenothiazines, Phenazines, Styrylbenzenes, Azo Compounds , Diphenylmethane, triphenylmethane, distyrylbenzenes, carbazoles, porphyrins, spiro compounds, quinacridone, indigo, styryl, pyrylium compounds, pyrromethene compounds, pyra Rotoriazoru compounds, benzothiazole compounds, barbituric acid derivatives, thiobarbituric acid derivatives, acetophenone, benzophenone, aromatic ketone compounds such as Michler's ketone, and heterocyclic compounds such as N- aryl oxazolidinone and the like.
  • Chain transfer agent Depending on the photopolymerization initiator to be used, it is preferable to add a chain transfer agent to the color filter composition (typically, a colored radiation-sensitive composition) of the present invention.
  • chain transfer agents include N, N-dialkylaminobenzoic acid alkyl esters and thiol compounds
  • thiol compounds include 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercapto-1-phenylbenzimidazole and 3-mercaptopropion An acid etc. can be used individually or in mixture of 2 or more types.
  • ⁇ Polymerization inhibitor> In the composition for a color filter (typically, a colored radiation-sensitive composition) according to the present invention, unnecessary thermal polymerization of the polymerizable compound is prevented during the production or storage of the colored radiation-sensitive composition. For this reason, it is desirable to add a small amount of a polymerization inhibitor.
  • polymerization inhibitor which can be used in the present invention, hydroquinone, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butyl catechol, benzoquinone, 4,4'-thiobis (3-methyl-6- (6-methyl) t-Butylphenol), 2,2'-methylenebis (4-methyl-6-t-butylphenol), N-nitrosophenylhydroxyamine cerous salt and the like. Among them, p-methoxyphenol is preferred.
  • the addition amount of the polymerization inhibitor is preferably about 0.01% by mass to about 5% by mass with respect to the mass of the composition.
  • a substrate adhesive capable of improving substrate adhesion may be added to the color filter composition (typically, a colored radiation-sensitive composition).
  • the substrate adhesion agent it is preferable to use a silane coupling agent, a titanate coupling agent, or an aluminum coupling agent.
  • silane coupling agent for example, ⁇ -methacryloxypropyltrimethoxysilane, ⁇ -methacryloxypropyltriethoxysilane, ⁇ -acryloxypropyltrimethoxysilane, ⁇ -acryloxypropyltriethoxysilane, ⁇ -mercaptopropyl Trimethoxysilane, ⁇ -aminopropyltriethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, etc. may be mentioned. Among them, ⁇ -methacryloxypropyltrimethoxysilane is preferable as the substrate adhesion agent.
  • the content of the substrate adhesion agent is relative to the total solid content of the composition for a color filter of the present invention from the viewpoint of leaving no residue in the unexposed area when the composition for a color filter is exposed and developed.
  • the content is preferably 0.1% by mass to 30% by mass, more preferably 0.5% by mass to 20% by mass, and particularly preferably 1% by mass to 10% by mass.
  • various surfactants may be added to the color filter composition (typically, the colored radiation-sensitive composition) of the present invention.
  • the surfactant various surfactants such as a fluorine-based surfactant, a nonionic surfactant, a cationic surfactant, an anionic surfactant, a silicone surfactant and the like can be used.
  • the composition for a color filter contains a fluorine-based surfactant, whereby the liquid properties (in particular, the fluidity) when prepared as a coating liquid are further improved, so that the uniformity of the coating thickness and the liquid saving Sex can be further improved. That is, in the case of film formation using a coating liquid to which a composition containing a fluorine-based surfactant is applied, the wettability to the surface to be coated is reduced by reducing the interfacial tension between the surface to be coated and the coating liquid. Is improved, and the coatability on the surface to be coated is improved. For this reason, even in the case where a thin film of about several ⁇ m is formed with a small amount of liquid, it is effective in that film formation with a uniform thickness with small thickness unevenness can be more suitably performed.
  • the fluorine content in the fluorine-based surfactant is preferably 3% by mass to 40% by mass, more preferably 5% by mass to 30% by mass, and particularly preferably 7% by mass to 25% by mass.
  • the fluorine-based surfactant having a fluorine content in this range is effective in terms of the uniformity of the thickness of the coating film and the liquid saving property, and the solubility in the composition is also good.
  • fluorine-based surfactants include Megafac F171, F172, F173, F176, F177, F141, F142, F143, F44, R30, F437, F475, F479, and the like.
  • Same F482, same F554, same F780, same F781 above, DIC Corporation
  • Florard FC430 same FC431, same FC171 (above, Sumitomo 3M Co., Ltd.)
  • Surfron S-382 same SC-101, The SC-103, SC-104, SC-105, SC1068, SC-381, SC-383, S393, KH-40 (all manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) and the like can be mentioned.
  • nonionic surfactants include glycerol, trimethylolpropane, trimethylolethane and their ethoxylates and propoxylates (eg, glycerol propoxylate, glycerine ethoxylate, etc.), polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene Stearyl ether, polyoxyethylene oleyl ether, polyoxyethylene octyl phenyl ether, polyoxyethylene nonyl phenyl ether, polyethylene glycol dilaurate, polyethylene glycol distearate, sorbitan fatty acid ester (Pluronic L10, L31, L61, L62 manufactured by BASF, 10R5, 17R2, 25R2, Tetronics 304, 701, 704, 901, 904, 150R1, SO. Sparse 20000 (manufactured by Nippon Lubrizol Corporation), and the like.
  • cationic surfactants include phthalocyanine derivatives (trade name: EFKA-745, manufactured by Morishita Sangyo Co., Ltd.), organosiloxane polymer KP341 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), (meth) acrylic acid Co) polymer poly flow No. 75, no. 90, no. 95 (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), W001 (manufactured by Yusho Co., Ltd.), and the like.
  • phthalocyanine derivatives trade name: EFKA-745, manufactured by Morishita Sangyo Co., Ltd.
  • organosiloxane polymer KP341 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
  • (meth) acrylic acid Co) polymer poly flow No. 75, no. 90, no. 95 manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.
  • W001 manufactured by Yusho Co., Ltd.
  • anionic surfactant examples include W004, W005, W017 (manufactured by Yusho Co., Ltd.), and the like.
  • silicone type surfactant for example, Toray silicone DC3PA, Toray silicone SH7PA, Toray silicone DC11PA, Toray silicone SH21PA, Toray silicone SH28PA, Toray silicone SH29PA, Toray silicone SH30PA, Toray silicone SH8400 (more than Toray Dow Corning ), TSF-4440, TSF-4300, TSF-4445, TSF-4460, TSF-4452 (above, Momentive Performance Materials Inc.), KP341, KF6001, KF6002 (above, Shin-Etsu Silicone Co., Ltd.) , BYK 307, BYK 323, BYK 330 (above, manufactured by Big Chemie Co., Ltd.), and the like.
  • the amount of surfactant added is preferably 0.001% by mass to 2.0% by mass, more preferably 0.005% by mass to 1.0% by mass, based on the total solid content of the composition for a color filter. is there.
  • a chain transfer agent such as N, N-dialkylaminobenzoic acid alkyl ester or 2-mercaptobenzothiazole, if necessary.
  • Thermal polymerization initiators such as azo compounds and peroxide compounds, thermal polymerization components, ultraviolet light absorbers such as polyfunctional thiols and epoxy compounds, alkoxybenzophenones and the like for the purpose of enhancing film strength and sensitivity, and plasticity such as dioctyl phthalate
  • various additives such as developability improvers such as low molecular weight organic carboxylic acid, other fillers, polymer compounds other than the above specific binders and alkali-soluble resins, antioxidants and anticoagulants .
  • a thermosetting agent can be added to increase the degree of curing of the film by post-heating after development. Examples of the thermosetting agent include azo compounds, thermal polymerization initiators such as peroxides, novolak resins, resol resins, epoxy compounds, styrene compounds and the like.
  • the maximum value of light transmittance in the thickness direction of the film in the range of 400 to 650 nm is 20% or less.
  • the minimum value of the light transmittance in the thickness direction of the film in the wavelength range of 800 nm to 1300 nm is preferably 80% or more.
  • the requirements for the light transmittance may be achieved by any means, but, for example, by adjusting the type and content of the near infrared transmitting black colorant (more specifically, the near infrared transmitting) By making the kind and content of the black coloring material the above-mentioned preferable ones, the condition of the light transmittance can be suitably achieved.
  • the standard deviation of the light transmittance in the thickness direction of the film in the wavelength range of 400 to 630 nm is 6.0 or less. It is preferably present, more preferably 4.0 or less, and particularly preferably 3.0 or less.
  • the requirements for the light transmittance may be achieved by any means, but for example, as the near-infrared light-transmitting black colorant, a bisbenzofuranone-based pigment is used, and the pigment concentration in the film is 20 to 80. It can be suitably achieved by setting the content to be in mass%, more preferably 40 to 80 mass%, particularly preferably 50 to 80 mass%. Further, as described above, the standard deviation can be further reduced by using the near-infrared transmissive black coloring material in combination with a chromatic coloring agent as the coloring agent (B).
  • the composition for a color filter in the present invention is preferably the above-described near infrared transmitting black color material (when the near infrared transmitting black color material is a near infrared transmitting black pigment, it is preferable to prepare and use a pigment dispersion in advance ), A photopolymerization initiator, a polymerizable compound, and, if necessary, each component such as an ultraviolet absorber, an alkali-soluble resin, a surfactant and the like, stirring and mixing, and if necessary, a filtration as described below is performed to obtain colored radiation Sex compositions can be prepared.
  • the colored radiation-sensitive composition in the present invention is preferably filtered with a filter for the purpose of removing foreign substances and reducing defects.
  • a filter for the purpose of removing foreign substances and reducing defects.
  • a filter made of a fluorine resin such as PTFE (polytetrafluoroethylene), a polyamide resin such as nylon-6 or nylon-6, 6, a polyolefin resin (including high density and ultrahigh molecular weight) such as polyethylene and polypropylene It can be mentioned.
  • a filter made of a fluorine resin such as PTFE (polytetrafluoroethylene)
  • a polyamide resin such as nylon-6 or nylon-6, 6
  • a polyolefin resin including high density and ultrahigh molecular weight
  • polyethylene and polypropylene polypropylene
  • polypropylene including high density polypropylene
  • the pore diameter of the filter is suitably about 0.01 to 7.0 ⁇ m, preferably about 0.01 to 2.5 ⁇ m, and more preferably about 0.01 to 2.0 ⁇ m. By setting this range, it is possible to reliably remove fine foreign substances that inhibit the preparation of uniform and smooth colored radiation-sensitive compositions in the subsequent steps.
  • the filtering with the first filter may be performed only once or may be performed twice or more.
  • the pore size here can refer to the nominal value of the filter manufacturer.
  • the second filter can be formed of the same material as the first filter described above.
  • the filtering with the first filter may be performed only with the dispersion, and the second filtering may be performed after mixing other components.
  • the infrared ray transmitting filter of the present invention is formed from the composition for a color filter of the present invention described above, and the composition for a color filter of the present invention (preferably a colored radiation sensitive composition) is formed on a substrate. It is preferable to have a colored region (colored pattern) (preferably, a black region (black pattern)) to be used.
  • a colored region colored pattern
  • black region black pattern
  • the method of forming colored pixels constituting the infrared transmission filter of the present invention is a method of preparing the above-mentioned colored radiation-sensitive composition and providing it by the photolithographic method, or preparing the above-mentioned colored radiation-sensitive composition
  • a method such as a method of providing can be adopted.
  • a method of preparing a colored radiation-sensitive composition and providing it by a photolithography method is a preferred embodiment because it is easy to provide a fine pattern in an arbitrary shape.
  • a method of preparing an infrared transmission filter for solid-state imaging device application by preparing a colored radiation-sensitive composition and providing each colored pixel by a photolithographic method will be described. It is not limited.
  • the method for producing an infrared ray transmitting filter of the present invention comprises the steps of applying the above-mentioned colored radiation-sensitive composition on a substrate to form an infrared ray transmitting composition layer (colored layer) (colored layer forming step);
  • the method is characterized by including a step of exposing the composition layer in a pattern (exposure step), and a step of developing the infrared ray transmitting composition layer after exposure to form a pattern (developing step).
  • the colored radiation-sensitive composition is applied onto the substrate body to form a colored layer (infrared ray transmitting composition layer) composed of the colored radiation-sensitive composition.
  • a substrate that can be used in this process for example, CCD used in solid-state imaging device, photoelectric conversion element substrate in CMOS organic CMOS, silicon substrate etc., alkali-free glass used in liquid crystal display etc., soda glass, Pyrex (registration Trademarks) glass, quartz glass, and those having a transparent conductive film attached thereto, and the like.
  • These substrates may have a black matrix formed to isolate each pixel.
  • a subbing layer may be provided to improve the adhesion with the upper layer, to prevent the diffusion of substances, or to planarize the substrate surface.
  • various coating methods such as slit coating, inkjet method, spin coating, cast coating, roll coating, screen printing can be applied. .
  • Drying (pre-baking) of the colored layer (infrared ray transmitting composition layer) applied on the substrate can be carried out at a temperature of 50 ° C. to 140 ° C. for 10 seconds to 300 seconds by a hot plate, an oven or the like.
  • the thickness of the colored layer after drying is in the range of 0.55 ⁇ m to 1.8 ⁇ m, preferably 0.60 ⁇ m to less than 1.8 ⁇ m, and more preferably 0.70 ⁇ m to 1.6 ⁇ m, 0.80 micrometers or more and 1.4 micrometers or less are especially preferable.
  • the colored layer (infrared ray transmitting composition layer) formed in the colored layer forming step is exposed in a pattern.
  • it is preferable to perform the exposure of the colored layer by exposing it through a predetermined mask pattern and curing only the colored layer irradiated with light.
  • the radiation that can be used for exposure particularly radiations such as g-rays, h-rays and i-rays are preferably used, and i-rays are particularly preferable.
  • Irradiation dose is preferably 30mJ / cm 2 ⁇ 1500mJ / cm 2, more preferably 50mJ / cm 2 ⁇ 1000mJ / cm 2, and most preferably 80mJ / cm 2 ⁇ 500mJ / cm 2.
  • an alkali development treatment (developing step) is carried out to elute the uncured part after exposure to the developer and leave the photocured part.
  • This development step can form a patterned film composed of colored pixels.
  • the development method may be any of a dip method, a shower method, a spray method, a paddle method, etc. These may be combined with a swing method, a spin method, an ultrasonic method or the like. Before the developer is touched, the surface to be developed may be moistened with water or the like in advance to prevent uneven development.
  • an organic alkali developing solution which does not cause damage to a circuit of a base or the like is desirable.
  • the development temperature is usually 20 ° C. to 30 ° C., and the development time is 20 to 90 seconds.
  • the alkaline agent contained in the developer include aqueous ammonia, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, choline, pyrrole, piperidine, 1,8-diazabicyclo- [5,4, 0] -7-undecene and the like, organic alkaline compounds such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium hydrogencarbonate, potassium hydrogencarbonate and the like, and the like.
  • an alkaline aqueous solution diluted with pure water is preferably used such that the concentration of these alkaline agents is 0.001% to 10% by mass, preferably 0.01% to 1% by mass.
  • concentration of these alkaline agents is 0.001% to 10% by mass, preferably 0.01% to 1% by mass.
  • the formed colored pattern is cured by post-heating (post-baking) or post-exposure if necessary.
  • a curing step may be included.
  • Post-baking is a heat treatment after development to complete the curing, and a heat curing treatment is usually performed at 100 ° C. to 270 ° C.
  • light it can be performed by g-ray, h-ray, i-ray, excimer laser such as KrF or ArF, electron beam, X-ray, etc.
  • the irradiation time is preferably 10 seconds to 180 seconds, and more preferably 30 seconds to 60 seconds. In the case of combined use of post-exposure and post-heating, it is preferable to carry out post-exposure first.
  • the infrared ray transmission filter is manufactured by performing the colored layer formation step, the exposure step, and the development step (further, if necessary, a curing step) described above.
  • the infrared transmission filter may be configured of only colored pixels exhibiting specific spectral characteristics of the present invention, or red, green, blue, magenta, yellow, cyan, black, colored pixels exhibiting the above-described spectral characteristics.
  • a color filter having colored pixels such as colorless may be configured.
  • colored pixels exhibiting specific spectral characteristics of the present invention may be provided first or later.
  • the colored radiation-sensitive composition in the present invention can be easily cleaned and removed using a known cleaning liquid even when it adheres to, for example, the nozzle of the coating device discharge unit, the piping portion of the coating device, the inside of the coating device, etc. .
  • a known cleaning liquid even when it adheres to, for example, the nozzle of the coating device discharge unit, the piping portion of the coating device, the inside of the coating device, etc. .
  • JP2007-2101A, JP2007-2102A, JP2007-281523A, etc. is also suitably used as a cleaning solution for cleaning and removing the colored radiation-sensitive composition of the present invention.
  • the washing solution it is preferable to use an alkylene glycol monoalkyl ether carboxylate or an alkylene glycol monoalkyl ether.
  • organic solvents usable as the cleaning solution may be used alone or in combination of two or more.
  • the mixed solvent formed by mixing the organic solvent which has a hydroxyl group, and the organic solvent which does not have a hydroxyl group is preferable.
  • the mass ratio of the organic solvent having a hydroxyl group to the organic solvent having no hydroxyl group is 1/99 to 99/1, preferably 10/90 to 90/10, and more preferably 20/80 to 80/20.
  • the mixed solvent is a mixed solvent of propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA) and propylene glycol monomethyl ether (PGME), and the ratio thereof is particularly preferably 60/40.
  • the above-described surfactant may be added to the washing solution as a surfactant which may be contained in the colored radiation-sensitive composition.
  • the infrared transmission filter of the present invention manufactured by the method of manufacturing the infrared transmission filter of the present invention can be suitably mounted on a solid-state imaging device such as a CCD sensor, a CMOS sensor, an organic CMOS sensor, or a CIGS image sensor. .
  • a solid-state imaging device such as a CCD sensor, a CMOS sensor, an organic CMOS sensor, or a CIGS image sensor.
  • the infrared transmission filter of the present invention can be disposed, for example, between the light receiving portion of each pixel constituting the CCD element and the microlens for collecting light.
  • the infrared sensor of the present invention comprises the infrared transmission filter of the present invention.
  • the configuration of the infrared sensor according to the present invention is a configuration provided with an infrared transmission filter, and is not particularly limited as long as it functions as a solid-state imaging device, and examples thereof include the following configurations.
  • a transfer electrode comprising a plurality of photodiodes and polysilicon and the like that constitute a light receiving area of a solid-state imaging device (CCD sensor, CMOS sensor, organic CMOS sensor, etc.) is provided on a substrate, and the photodiode and transfer electrode are formed on the substrate. It has a light shielding film made of tungsten or the like in which only the light receiving portion of the photodiode is opened, and has a device protective film made of silicon nitride or the like formed on the light shielding film to cover the entire light shielding film and the photodiode light receiving portion It is a structure which has the infrared rays permeable filter of this invention on a device protective film.
  • the device has a light condensing means (for example, a micro lens etc., hereinafter the same) on the device protection layer and under the infrared light transmission filter (closer to the substrate) or has the light collection means on the infrared light transmission filter It may be a configuration or the like.
  • a light condensing means for example, a micro lens etc., hereinafter the same
  • the organic CMOS sensor includes a thin film panchromatic photosensitive organic photoelectric conversion film and a CMOS signal readout substrate as a photoelectric conversion layer, and an organic material plays a role of capturing light and converting it into an electric signal.
  • This is a two-layer hybrid structure in which the inorganic material plays a role in extracting a signal to the outside, and in principle, the aperture ratio can be 100% with respect to incident light.
  • the organic photoelectric conversion film is a structure-free continuous film and can be laid on a CMOS signal reading substrate, so it does not require an expensive microfabrication process and is suitable for pixel miniaturization.
  • Pigment Dispersion B-1 A mixture of the following compositions was used with a 0.3 mm diameter zirconia bead, and a near infrared transmitting black pigment was used in a bead mill (high pressure disperser NANO-3000-10 (manufactured by Nippon B E Co., Ltd.) with decompression mechanism)
  • the pigment dispersion liquid B-1 was prepared by mixing and dispersing until the average particle diameter shown in Table 1 was obtained.
  • Color material IRGAPHOR BK 13.0 parts manufactured by BASF Co.
  • Dispersant Dispersion resin 1 5.2 parts below
  • Organic solvent Propylene glycol methyl ether acetate (PGMEA) 81.8 copies
  • Pigment dispersions B-2 to B-16 were prepared in the same manner as the above-mentioned [Preparation of pigment dispersion B-1] except that each component described in Table 1 was used in the amount described in Table 1. did. In Table 1, the numerical values in parentheses after each component indicate the amount (unit: part) of the component used. In addition, in preparation of the pigment dispersion liquid which does not contain a near-infrared permeation
  • Lumogen Black FK4280 black pigment manufactured by BASF
  • Lumogen Black FK4281 black pigment manufactured by BASF Y139: C.I. I. Pigment Yellow 139 Y150: C.I. I. Pigment Yellow 150
  • R254 C. I. Pigment Red 254
  • G36 C. I. Pigment Green 36
  • B15 6: C.I. I. Pigment Blue 15: 6
  • Carbon black MS-10E Black pigment manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation
  • Dispersion resin 3 EFKA4401 (resin having an amine group) manufactured by BASF.
  • Dispersion resin 4 Alkali-soluble resin-3 described in paragraphs [0172] and [0173] of JP-A-2009-69822
  • Dispersion resin 5 DISPERBYK-161 manufactured by BIC Chemie
  • Dispersion resin 6 DISPERBYK-110 manufactured by BIC Chemie
  • Dispersant 1 Dispersant 1 described in paragraph [0175] of JP-A-2009-69822 S12000: Lopurisol Solpers 12000
  • Acrylic resin 1 Acrylic resin derivative described in paragraph [0083] of JP 2012-18384: Pigment derivative 1 described in paragraph [0090] JP 2012-18384 A
  • Alkali-soluble resin 2 Alkali-soluble resin-1 (epoxy acrylate resin) described in paragraph [0170] of JP-A-2009-69822 ⁇ Alkali-soluble resin 3: Acrylic resin described in paragraph [0083] of JP-A-2012-18384
  • Polymerizable compound 4 U-6 LPA (urethane acrylate) manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.
  • Polymerizable compound 5 PM-21 (2- (meth) acryloyloxyethyl caproate acid phosphate) manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.
  • Polymerizable compound 6 Aronix M-402 manufactured by Toagosei Co., Ltd.
  • A-1 Near Infrared Transmissive Black Color Material (A): Azo Dye Represented by the Following Formula (A-1)
  • Photopolymerization initiator 2 Photopolymerization initiator-1 (oxime-based initiator) described in paragraph [0177] of JP-A-2009-69822
  • Photopolymerization initiator 3 IRGACURE OXE-02 manufactured by BASF.
  • Surfactant 1 1.00 wt% PGMEA solution of Megafac F-781F manufactured by DIC Co., Ltd.
  • Surfactant 2 1.00 wt% PGMEA solution of BYK-330 manufactured by BIC-Chemie Japan Co., Ltd.
  • Polymerization inhibitor p-methoxyphenol
  • Organic solvent 1 Propylene glycol methyl ether acetate (PGMEA)
  • Organic solvent 2 3-methoxybutyl acetate
  • Organic solvent 3 cyclohexanone
  • Each colored radiation-sensitive composition is spin-coated on a glass substrate, applied to a post-baked film thickness of 0.5 ⁇ m, dried on a hot plate at 100 ° C. for 120 seconds, and dried. Further, heat treatment (post-baking) was performed for 300 seconds using a hot plate at 200.degree.
  • the light transmittance of the substrate having a colored layer in the wavelength range of 300 to 1300 nm was measured using a spectrophotometer (ref. Glass substrate) of an ultraviolet visible near infrared spectrophotometer U-4100 (manufactured by Hitachi High-Technologies) .
  • the concentration of the near-infrared transmitting black coloring material to the total solid content of the composition for a color filter (and, consequently, the film to be formed) is 60. It is mass%.
  • IRGAPHOR BK used in Example 1 was compared with Lumogen Black FK 4280, Lumogen Black FK4281, carbon black MS-10E, C.I. I. Pigment Black 31 and C.I. I.
  • the maximum value Y max of light transmittance in the above wavelength range of 400 nm to 650 nm in the case of replacing with each of Pigment Black 32 exceeds 30% in all It was a thing.
  • the standard deviation ⁇ of the light transmittance in the wavelength range of 400 nm to 630 nm was evaluated based on the following evaluation criteria based on the measurement method described in the above [Spectral characteristics]. The higher the rating, the smaller the standard deviation and the better the performance.
  • the standard deviation ⁇ can be easily calculated from data of light transmittance in the wavelength range of 400 nm to 630 nm by well-known calculation software or the like.
  • the infrared ray transmission filter of the comparative example formed of the colored radiation-sensitive composition of the comparative example As compared with the infrared ray transmission filter of the comparative example formed of the colored radiation-sensitive composition of the comparative example, all of the infrared ray transmission filters of the example formed of the colored radiation-sensitive composition of the example The rate was high, the visible light transmittance was low, and the visible light absorbance was high. Therefore, according to the colored radiation-sensitive composition of the example, it was found that infrared rays (particularly, near infrared rays) can be transmitted in a state in which noise derived from visible light components is small. In addition, in the examples in which the near infrared transmitting black color material is used in combination with an appropriate coloring agent so as to compensate for the range where the absorbance is small, the visible light flatness is further improved.
  • Each of the colored radiation-sensitive compositions of Examples 1 to 10 is applied on a silicon wafer using a spin coater so that the film thickness after drying is 0.5 ⁇ m, and 120 using a hot plate at 100 ° C. Heat treatment (pre-baking) was performed for a second. Then, using an i-line stepper exposure apparatus FPA-3000i5 + (Canon (Ltd.)), 50 mJ / cm 2 up to 50 ⁇ 750mJ / cm 2 using a photomask having a square pixel pattern of 1.4 ⁇ m angle is formed By performing exposure in steps, the optimum exposure amount for resolving the square pixel pattern was determined, and exposure was performed with this optimum exposure amount.
  • FPA-3000i5 + Canon (Ltd.)
  • the silicon wafer on which the exposed coating film is formed is placed on the horizontal rotary table of a spin shower developing machine (DW-30 type, manufactured by Chemitronics Co., Ltd.), and CD-2060 (Fuji Film Electronics Co., Ltd.) Paddling development was performed at 23 ° C. for 60 seconds using Materials Inc. to form a colored pattern on a silicon wafer.
  • the silicon wafer on which the colored pattern was formed was rinsed with pure water and then spray dried.
  • heat treatment post-baking was performed for 300 seconds using a hot plate at 200 ° C., to obtain silicon wafers having colored patterns as infrared ray transmission filters of Examples 1 to 10, respectively.
  • the infrared transmission filters of Examples 1 to 10 formed as described above all had high infrared light transmittance, low visible light transmittance, and high visible light absorbance. Therefore, according to the composition for a color filter of the present invention, even if it is very thin (for example, 0.5 ⁇ m in thickness), it transmits infrared rays (especially near infrared rays) with little noise originating from visible light components etc. It has been found that possible infrared transmission filters are obtained.
  • an infrared ray transmission filter that can transmit infrared rays (especially, near infrared rays) even in a very thin layer (for example, 0.5 ⁇ m in thickness) with little noise originating from visible light components and the like It is possible to provide a color filter composition, and an infrared transmission filter, a method of manufacturing an infrared transmission filter, and an infrared sensor using the same.

Abstract

 近赤外透過黒色色材を含有するカラーフィルタ用組成物により、非常に薄くても(例えば厚さが0.5μm)、可視光成分に由来のノイズが少ない状態で、赤外線(特に近赤外線)を透過可能な赤外線透過フィルタを作成可能なカラーフィルタ用組成物、並びに、これを用いた、赤外線透過フィルタ、赤外線透過フィルタの製造方法、及び、赤外線センサーを提供する。

Description

カラーフィルタ用組成物、赤外線透過フィルタ及びその製造方法、並びに赤外線センサー
 本発明は、カラーフィルタ用組成物、赤外線透過フィルタ及びその製造方法、並びに赤外線センサーに関する。
 カラーフィルタは、固体撮像素子や液晶ディスプレイに不可欠な構成部品である。特に、固体撮像素子用のカラーフィルタでは、色分解性の向上及び色再現性の向上が求められている。
 このようなカラーフィルタは、複数の色相の着色領域(着色硬化膜)を備えて形成されており、通常は、少なくとも、赤色、緑色、及び青色の着色領域(以下、「着色パターン」や「着色画素」ともいう。)を備えて形成される。着色パターンの形成方法としては、まず、第1の色相において、赤色、緑色、青色の何れかの着色剤を有する着色感放射線性組成物を塗布し、露光、現像、必要に応じて加熱処理を行って当該色相の着色パターンを形成した後、第2の色相、第3の色相において同様の塗布、露光、現像、必要に応じた加熱処理のプロセスを繰り返すことになる。
 カラーフィルタにおける着色剤としては、鮮明な色調と高い着色力を有することから、顔料が広く使用されており、特に、微細化されていると共に、好適な色分解性を示す顔料を使用することが好ましい。
 また、最近では、固体撮像素子において、解像度向上を目的として着色画素を微細(例えば、一辺が1.0μm以下の着色パターン)にすることが求められているが、着色画素の微細化に伴い、ノイズが増加することが知られている。
 固体撮像素子は、様々な用途で光センサとして活用されている。
 例えば、近赤外線は可視光に比べて波長が長いので散乱しにくく、距離計測や、3次元計測などにも活用可能である。また、近赤外線は人間、動物などの目に見えないので、夜間に被写体を近赤外線光源で照らしても被写体に気付かれることなく、夜行性の野生動物を撮影する用途、防犯用途として相手を刺激せずに撮影することにも使用可能である。このような近赤外線に感知する光センサは、様々な用途に展開が可能であり、近赤外線に感知する固体撮像素子に用いることができるカラーフィルタの開発が待ち望まれていた。
 例えば、近赤外~赤外波長領域においては光の吸収が小さく、この波長領域における光透過率が高いとされた樹脂ブラックマトリックスが知られているが(例えば、特許文献1)、依然、近赤外線領域の透過が不十分であり、特に、近赤外線領域を検出するための赤外線センサーにおける赤外線透過フィルタとして使用することは困難である。
 また、近年、非常に薄い(例えば厚さが0.5μmの)赤外線透過フィルタが要求されているが、厚さが薄くなるにつれて、赤外線透過フィルタの可視光に対する遮光性が低下しやすくなり(すなわち、可視光成分に由来のノイズが生じやすくなり)、結果、赤外線センサーとしての性能が低下するという問題があった。
日本国特開2009-69822号公報
 本発明は前述の状況に鑑みたものであり、下記の目的を達成することを課題とする。
 即ち、本発明は、非常に薄くても(例えば厚さが0.5μm)、可視光成分に由来のノイズが少ない状態で、赤外線(特に近赤外線)を透過可能な赤外線透過フィルタを作成可能なカラーフィルタ用組成物、並びに、これを用いた、赤外線透過フィルタ、赤外線透過フィルタの製造方法、及び、赤外線センサーを提供することを目的とする。
 本発明者らは、前記実情に鑑み鋭意研究を行ったところ、近赤外透過黒色色材を含有するカラーフィルタ用組成物を用いて形成された赤外線透過フィルタが、上記課題を達成できることを見出し、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明は、以下の通りである。
〔1〕
 近赤外透過黒色色材を含有する、カラーフィルタ用組成物。
〔2〕
 更に、光重合開始剤、及び、重合性化合物を含有する、上記〔1〕に記載のカラーフィルタ用組成物。
〔3〕
 前記近赤外透過黒色色材が、ビスベンゾフラノン系顔料、アゾメチン系顔料、ペリレン系顔料、及び、アゾ系染料からなる群より選択される1種以上である、上記〔1〕又は〔2〕に記載のカラーフィルタ用組成物。
〔4〕
 膜厚0.5μmの膜を形成した際に、前記膜の厚み方向の光透過率の、波長400~630nmの範囲における標準偏差が6.0以下である、上記〔1〕~〔3〕のいずれか1項に記載のカラーフィルタ用組成物。
〔5〕
 前記近赤外透過黒色色材として近赤外透過黒色顔料を含有し、前記近赤外透過黒色顔料の平均粒径が50nm以下である、上記〔1〕~〔4〕のいずれか1項に記載のカラーフィルタ用組成物。
〔6〕
 膜厚0.5μmの膜を形成した際に、前記膜の厚み方向の光透過率の、波長400~650nmの範囲における最大値が20%以下であり、前記膜の厚み方向の光透過率の、波長800nm~1300nmの範囲における最小値が80%以上である、上記〔1〕~〔5〕のいずれか1項に記載のカラーフィルタ用組成物。
〔7〕
 更に、高分子分散剤を含有する、上記〔1〕~〔6〕のいずれかに記載のカラーフィルタ用組成物であって、前記高分子分散剤が、酸価が60mgKOH/g以上の樹脂、アミン基を有する樹脂、及び、オリゴイミン系樹脂からなる群から選ばれる1種以上である、カラーフィルタ用組成物。
〔8〕
 更に、前記近赤外透過黒色色材とは異なる着色剤を含有する、上記〔1〕~〔7〕のいずれか1項に記載のカラーフィルタ用組成物。
〔9〕
 上記〔1〕~〔8〕のいずれか1項に記載のカラーフィルタ用組成物より形成される赤外線透過フィルタ。
〔10〕
 上記〔1〕~〔8〕のいずれか1項に記載のカラーフィルタ用組成物を基板上に付与して、赤外線透過組成物層を形成する工程と、赤外線透過組成物層をパターン状に露光する工程と、露光後の前記赤外線透過組成物層を現像してパターンを形成する工程と、を有する赤外線透過フィルタの製造方法。
〔11〕
 上記〔9〕に記載の赤外線透過フィルタ、又は、上記〔10〕に記載の赤外線透過フィルタの製造方法により得られる赤外線透過フィルタを含有する赤外線センサー。
 本発明によれば、非常に薄くても(例えば厚さが0.5μm)、可視光成分等に由来のノイズが少ない状態で、赤外線(特に近赤外線)を透過可能な赤外線透過フィルタを作成可能なカラーフィルタ用組成物、並びに、これを用いた、赤外線透過フィルタ、赤外線透過フィルタの製造方法、及び、赤外線センサーを提供できる。
 以下、本発明について詳細に説明する。
 以下に記載する構成要件の説明は、本発明の代表的な実施態様に基づいてなされることがあるが、本発明はそのような実施態様に限定されるものではない。なお、本明細書において「~」を用いて表される数値範囲は、「~」の前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む範囲を意味する。
 本発明のカラーフィルタ組成物は、近赤外透過黒色色材を含有している。
 本発明のカラーフィルタ組成物は、典型的には、黒色組成物であり、また、近赤外線を透過することから、近赤外線透過組成物とも言える。
 以下に、本発明の組成物を構成し得る各成分について説明する。
<(A)近赤外透過黒色色材>
 上記したように、本発明のカラーフィルタ用組成物は、近赤外透過黒色色材を含有している。
 このような本発明のカラーフィルタ用組成物によれば、非常に薄くても(例えば厚さが0.5μm)、可視光成分等に由来のノイズが少ない状態で、赤外線(特に近赤外線)を透過可能な赤外線透過フィルタを作成できる。
 本発明のカラーフィルタ用組成物における近赤外透過黒色色材は、近赤外光を選択的に透過する色材であって、上記カラーフィルタ用組成物により膜厚0.5μmであり、かつ、自身(近赤外透過黒色色材)の膜の全固形分に対する濃度が60質量%の膜を形成した際に、前記膜の厚み方向の光透過率の、波長400~650nmの範囲における最大値を30%以下とでき、かつ、波長800nm~1300nmの範囲における最小値を80%以上とできる色材であることが好ましく、前記膜の厚み方向の光透過率の、波長400~650nmの範囲における最大値を20%以下とでき、かつ、波長800nm~1300nmの範囲における最小値を80%以上とできる色材であることが特に好ましい。
 本発明における組成物より形成される膜の分光特性、膜厚等の測定方法を以下に示す。
 本発明の組成物を、ガラス基板上にスピンコート等の方法により、乾燥後の膜厚が0.5μmとなるように組成物を塗布し、膜を設け、100℃、120秒間ホットプレートで乾燥した。
 膜の膜厚は、膜を有する乾燥後の基板を、触針式表面形状測定器(ULVAC社製 DEKTAK150)を用いて測定した。
 この膜を有する乾燥後の基板を、紫外可視近赤外分光光度計(日立ハイテクノロジーズ社製 U-4100)の分光光度計(ref.ガラス基板)を用いて、波長300~1300nmの範囲において透過率を測定した。
 近赤外透過黒色色材は、近赤外透過黒色顔料であっても、近赤外透過黒色染料であっても良いが、近赤外透過黒色顔料であることが好ましい。
 近赤外透過黒色顔料としては、ビスベンゾフラノン系顔料、アゾメチン系顔料、ペリレン系顔料などを好適に挙げることができる。
 近赤外透過黒色染料としては、アゾ系染料などを好適に挙げることができる。
 すなわち、近赤外透過黒色色材は、ビスベンゾフラノン系顔料、アゾメチン系顔料、ペリレン系顔料、及び、アゾ系染料からなる群より選択される1種以上であることが好ましく、ビスベンゾフラノン系顔料、アゾメチン系顔料、及び、アゾ系染料からなる群より選択される1種以上であることがより好ましく、ビスベンゾフラノン系顔料であることが更に好ましい。
 ビスベンゾフラノン系顔料としては、特表2012-528448号公報、特表2010-534726号公報、特表2012-515234号公報などに記載のものが挙げられ、例えば、BASF社製の「IRGAPHOR BK」として入手可能である。
 アゾメチン系顔料としては、特開平1-170601号公報、特開平2-34664号公報などに記載のものが挙げられ、例えば、大日精化社製の「クロモファインブラックA1103」として入手できる。
 アゾ染料は、特に限定されないが、下記式(A-1)で表される化合物等を好適に挙げることができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000001
 本発明のカラーフィルタ用組成物は、近赤外透過黒色色材として近赤外透過黒色顔料を含有することが好ましく、この場合、近赤外透過黒色顔料の平均粒径は50nm以下であることが好ましく、30nm以下であることがより好ましい。近赤外透過黒色顔料の平均粒径は、通常、1nm以上である。
 ここで、本明細書における顔料の平均粒径は、日機装(株)製のMICROTRACUPA 150を用いる測定に基づくものである。
 近赤外透過黒色色材の含有量は、本発明のカラーフィルタ用組成物の全固形分に対して、20~80質量%であることが好ましく、40~80質量%であることがより好ましい。
<(B)着色剤>
 本発明のカラーフィルタ用組成物は、上記した近赤外透過黒色色材とは異なる、着色剤(B)を含有しても良い。
 着色剤(B)としては、顔料、及び、染料などを挙げることができる。
 顔料は、有機顔料であることが好ましく、以下のものを挙げることができる。但し本発明は、これらに限定されるものではない。
 C.I.Pigment Yellow 1,2,3,4,5,6,10,11,12,13,14,15,16,17,18,20,24,31,32,34,35,35:1,36,36:1,37,37:1,40,42,43,53,55,60,61,62,63,65,73,74,77,81,83,86,93,94,95,97,98,100,101,104,106,108,109,110,113,114,115,116,117,118,119,120,123,125,126,127,128,129,137,138,139,147,148,150,151,152,153,154,155,156,161,162,164,166,167,168,169,170,171,172,173,174,175,176,177,179,180,181,182,185,187,188,193,194,199,213,214等(以上、黄色顔料)、
 C.I.Pigment Orange 2,5,13,16,17:1,31,34,36,38,43,46,48,49,51,52,55,59,60,61,62,64,71,73等(以上、オレンジ色顔料)、
 C.I.Pigment Red 1,2,3,4,5,6,7,9,10,14,17,22,23,31,38,41,48:1,48:2,48:3,48:4,49,49:1,49:2,52:1,52:2,53:1,57:1,60:1,63:1,66,67,81:1,81:2,81:3,83,88,90,105,112,119,122,123,144,146,149,150,155,166,168,169,170,171,172,175,176,177,178,179,184,185,187,188,190,200,202,206,207,208,209,210,216,220,224,226,242,246,254,255,264,270,272,279等(以上、赤色顔料)、
 C.I.Pigment Green 7,10,36,37,58等(以上、緑色顔料)、
 C.I.Pigment Violet 1,19,23,27,32,37,42等(以上、紫色顔料)、
 C.I.Pigment Blue 1,2,15,15:1,15:2,15:3,15:4,15:6,16,22,60,64,66,79,80等(以上、青色顔料)、
 C.I.Pigment Black 1,7,31,32、Lumogen Black FK4280(BASF社製),Lumogen Black FK 4281(BASF社製)等(以上、黒色顔料)
 これら有機顔料は、単独若しくは種々組合せて用いることができる。
 染料としては特に制限はなく、従来カラーフィルタ用として公知の染料が使用できる。
 化学構造としては、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、アンスラピリドン系、ベンジリデン系、オキソノール系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、ピロメテン系等の染料が使用できる。また、これらの染料の多量体を用いてもよい。
 また、染料としては、酸性染料及び/又はその誘導体が好適に使用できる場合がある。
 その他、直接染料、塩基性染料、媒染染料、酸性媒染染料、アゾイック染料、分散染料、油溶染料、食品染料、及び/又は、これらの誘導体等も有用に使用することができる。
 以下に酸性染料の具体例を挙げるが、これらに限定されるものではない。例えば、
 acid alizarin violet N;acid black 1,2,24,48;acid blue 1,7,9,15,18,23,25,27,29,40~45,62,70,74,80,83,86,87,90,92,103,112,113,120,129,138,147,158,171,182,192,243,324:1;acid chrome violet K;acid Fuchsin;acid green 1,3,5,9,16,25,27,50;acid orange 6,7,8,10,12,50,51,52,56,63,74,95;acid red 1,4,8,14,17,18,26,27,29,31,34,35,37,42,44,50,51,52,57,66,73,80,87,88,91,92,94,97,103,111,114,129,133,134,138,143,145,150,151,158,176,183,198,211,215,216,217,249,252,257,260,266,274;acid violet 6B,7,9,17,19;acid yellow 1,3,7,9,11,17,23,25,29,34,36,42,54,72,73,76,79,98,99,111,112,114,116,184,243;Food Yellow 3;及びこれらの染料の誘導体が挙げられる。
 また、上記以外の、アゾ系、キサンテン系、フタロシアニン系の酸性染料も好ましく、C.I.Solvent Blue 44、38;C.I.Solvent orange 45;Rhodamine B、Rhodamine 110等の酸性染料及びこれらの染料の誘導体も好ましく用いられる。
 なかでも、染料としては、トリアリールメタン系、アントラキノン系、アゾメチン系、ベンジリデン系、オキソノール系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、アンスラピリドン系ピロメテン系から選ばれる着色剤であることが好ましい。
 更に、顔料と染料を組み合わせて使用してもよい。
 着色剤(B)の含有量は、本発明のカラーフィルタ用組成物の全固形分に対して、1~60質量%であることが好ましく、1~30質量%であることがより好ましい。
 本発明のカラーフィルタ用組成物は、近赤外透過黒色色材(A)とは異なる1種又は2種以上の着色剤(例えば、黄色顔料、オレンジ顔料、赤色顔料、緑色顔料、紫色顔料、青色顔料及び黒色顔料等からなる群から選択される1種以上の着色剤)を含有することで、後に詳述する「膜厚0.5μmの膜を形成した際の、膜の厚み方向の光透過率の、波長400~630nmの範囲における標準偏差」をより低下させ得る。
 この場合、着色剤(B)は、近赤外透過黒色色材(A)100質量部に対して1質量部から300質量部の範囲であり、好ましくは1質量部から200質量部の範囲である。
 本発明のカラーフィルタ用組成物が、着色剤(B)として顔料を含有する場合、その顔料の平均粒径は、300nm以下であることが好ましく、200nm以下であることがより好ましい。着色剤(B)としての顔料の平均粒径は、通常、10nm以上である。
 前記した平均粒子径を有する近赤外透過黒色顔料(あるいは、前記した平均粒子径を有する近赤外透過黒色顔料と、着色剤(B)としての顔料との混合顔料)は、近赤外透過黒色顔料(あるいは前記混合顔料)を、好ましくは分散剤及び溶媒と混合した顔料混合液として、例えばビーズミル、ロールミル等の粉砕機を用いて、粉砕しつつ混合・分散することにより調製することができる。このようにして得られる顔料は、通常、顔料分散液の形態をとる。
-顔料の微細化-
 本発明においては、微細でかつ整粒化された顔料を用いることが好ましい。顔料の微細化は、顔料と水溶性有機溶剤と水溶性無機塩類と共に高粘度な液状組成物を調製し、湿式粉砕装置等を使用して、応力を付加して摩砕する工程を経ることで達成される。
 顔料の微細化工程に使用される水溶性有機溶剤としては、メタノール、エタノール、イソプロパノール、n-プロパノール、イソブタノール、n-ブタノール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコール、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等を挙げることができる。
 また、少量用いることで顔料に吸着して、廃水中に流失しない限りにおいては、水溶性は低いか、或いは、水溶性を有しない他の溶剤、例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、クロロベンゼン、ニトロベンゼン、アニリン、ピリジン、キノリン、テトラヒドロフラン、ジオキサン、酢酸エチル、酢酸イソプロピル、酢酸ブチル、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカン、ウンデカン、ドデカン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、ハロゲン化炭化水素、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、N-メチルピロリドン等を用いてもよい。
 顔料の微細化工程に使用する溶剤は、1種のみでもよく、必要に応じて2種類以上を混合して使用してもよい。
 本発明において顔料の微細化工程に使用される水溶性無機塩としては、塩化ナトリウム、塩化カリウム、塩化カルシウム、塩化バリウム、硫酸ナトリウム等が挙げられる。
 微細化工程における水溶性無機塩の使用量は顔料の1~50質量倍であり、多い方が摩砕効果はあるが、より好ましい量は生産性の点で1~10質量倍である。また、水分が1%以下の無機塩類を用いることが好ましい。
 微細化工程における水溶性有機溶剤の使用量は、顔料100質量部に対して50質量部から300質量部の範囲であり、好ましくは100質量部から200質量部の範囲である。
 顔料の微細化工程における湿式粉砕装置の運転条件については特に制限はないが、粉砕メディアによる磨砕を効果的に進行させるため、装置がニーダーの場合の運転条件は、装置内のブレードの回転数は、10~200rpmが好ましく、また2軸の回転比が相対的に大きいほうが摩砕効果が大きく好ましい。運転時間は乾式粉砕時間と併せて1時間~8時間が好ましく、装置の内温は50~150℃が好ましい。また粉砕メディアである水溶性無機塩は粉砕粒度が5~50μmで粒子径の分布がシャープで、かつ球形が好ましい。
(顔料分散液の調製)
 本発明のカラーフィルタ用組成物は、近赤外透過黒色色材(A)としての近赤外透過黒色顔料を含有する場合(あるいは、近赤外透過黒色色材(A)としての近赤外透過黒色顔料と、着色剤(B)としての顔料とを含有する場合)、この(これらの)顔料を必要により、顔料分散剤、有機溶剤、顔料誘導体、及び高分子化合物等のその他の成分等と共に分散して、顔料分散液を調製し、得られた顔料分散液を、(C)光重合開始剤、(D)重合性化合物、及び必要により加えられるその他の成分と混合して調製することが好ましい。
 以下に顔料分散液の組成、顔料分散液の調製の方法について詳述する。
 顔料分散液の調製方法は、特に制限されないが、分散の方法としては、例えば、顔料と顔料分散剤等を予め混合して、ホモジナイザー等で予め分散しておいたものを、ジルコニアビーズ等を用いたビーズ分散機(例えば、GETZMANN社製のディスパーマット)等を用いて微分散させることによって行なえる。
<顔料分散剤>
 顔料分散液の調製に用いうる顔料分散剤としては、高分子分散剤(分散樹脂とも言う)〔例えば、アミン基を有する樹脂(ポリアミドアミンとその塩など)、オリゴイミン系樹脂、ポリカルボン酸とその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリ(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル系共重合体、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物〕、及び、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、アルカノールアミン等の界面活性剤、及び、顔料誘導体等を挙げることができる。
 高分子分散剤は、その構造から更に直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子に分類することができる。
 また、高分子分散剤としては、酸価が60mgKOH/g以上(より好ましくは、酸価60mgKOH/g以上、300mgKOH/g以下)の樹脂も好適に挙げることができる。
 高分子分散剤は、酸価が60mgKOH/g以上の樹脂、アミン基を有する樹脂、及び、オリゴイミン系樹脂からなる群から選ばれる1種以上であることが好ましい。これにより、近赤外透過黒色顔料の分散性をより向上でき、より多くの近赤外透過黒色顔料を組成物に含有させることができるため、可視光成分をより遮光することができる。その結果、可視光成分に由来のノイズがより少ない状態で、赤外線(特に近赤外線)を透過可能な赤外線透過フィルタを作成できる。
 顔料表面へのアンカー部位を有する末端変性型高分子としては、例えば、特開平3-112992号公報、特表2003-533455号公報等に記載の末端にりん酸基を有する高分子、特開2002-273191号公報等に記載の末端にスルホン酸基を有する高分子、特開平9-77994号公報等に記載の有機色素の部分骨格や複素環を有する高分子などが挙げられる。また、特開2007-277514号公報に記載の高分子末端に2個以上の顔料表面へのアンカー部位(酸基、塩基性基、有機色素の部分骨格やヘテロ環等)を導入した高分子も分散安定性に優れ好ましい。
 顔料表面へのアンカー部位を有するグラフト型高分子としては、例えば、特開昭54ー37082号公報、特表平8-507960号公報、特開2009-258668公報等に記載のポリ(低級アルキレンイミン)とポリエステルの反応生成物、特開平9-169821号公報等に記載のポリアリルアミンとポリエステルの反応生成物、特開平10-339949号、特開2004-37986号公報等に記載のマクロモノマーと、窒素原子モノマーとの共重合体、特開2003-238837号公報、特開2008-9426号公報、特開2008-81732号公報等に記載の有機色素の部分骨格や複素環を有するグラフト型高分子、特開2010-106268号公報等に記載のマクロモノマーと酸基含有モノマーの共重合体等が挙げられる。特に、特開2009-203462号公報に記載の塩基性基と酸性基を有する両性分散樹脂は、顔料分散物の分散性、分散安定性、及び着色感放射線性組成物が示す現像性の観点から特に好ましい。
 顔料表面へのアンカー部位を有するグラフト型高分子をラジカル重合で製造する際に用いるマクロモノマーとしては、公知のマクロモノマーを用いることができ、東亜合成(株)製のマクロモノマーAA-6(末端基がメタクリロイル基であるポリメタクリル酸メチル)、AS-6(末端基がメタクリロイル基であるポリスチレン)、AN-6S(末端基がメタクリロイル基であるスチレンとアクリロニトリルの共重合体)、AB-6(末端基がメタクリロイル基であるポリアクリル酸ブチル)、ダイセル化学工業(株)製のプラクセルFM5(メタクリル酸2-ヒドロキシエチルのε-カプロラクトン5モル当量付加品)、FA10L(アクリル酸2-ヒドロキシエチルのε-カプロラクトン10モル当量付加品)、及び特開平2-272009号公報に記載のポリエステル系マクロモノマー等が挙げられる。これらの中でも、特に柔軟性かつ親溶剤性に優れるポリエステル系マクロモノマーが、顔料分散物の分散性、分散安定性、及び顔料分散物を用いた着色感放射線性組成物が示す現像性の観点から特に好ましく、更に、特開平2-272009号公報に記載のポリエステル系マクロモノマーで表されるポリエステル系マクロモノマーが最も好ましい。
 顔料表面へのアンカー部位を有するブロック型高分子としては、特開2003-49110号公報、特開2009-52010号公報等に記載のブロック型高分子が好ましい。
 顔料分散剤は、市販品としても入手可能であり、そのような具体例としては、BYKChemie社製「Disperbyk-101(ポリアミドアミン燐酸塩)、107(カルボン酸エステル)、110(酸基を含む共重合物)、130(ポリアミド)、161、162、163、164、165、166、170(高分子共重合物)」、「BYK-P104、P105(高分子量不飽和ポリカルボン酸)、EFKA社製「EFKA4047、4050~4010~4165(ポリウレタン系)、EFKA4330~4340(ブロック共重合体)、4400~4402(変性ポリアクリレート)、5010(ポリエステルアミド)、5765(高分子量ポリカルボン酸塩)、6220(脂肪酸ポリエステル)、6745(フタロシアニン誘導体)、6750(アゾ顔料誘導体)」、味の素ファンテクノ社製「アジスパーPB821、PB822、PB880、PB881」、共栄社化学社製「フローレンTG-710(ウレタンオリゴマー)」、「ポリフローNo.50E、No.300(アクリル系共重合体)」、楠本化成社製「ディスパロンKS-860、873SN、874、#2150(脂肪族多価カルボン酸)、#7004(ポリエーテルエステル)、DA-703-50、DA-705、DA-725」、花王社製「デモールRN、N(ナフタレンスルホン酸ホルマリン重縮合物)、MS、C、SN-B(芳香族スルホン酸ホルマリン重縮合物)」、「ホモゲノールL-18(高分子ポリカルボン酸)」、「エマルゲン920、930、935、985(ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル)」、「アセタミン86(ステアリルアミンアセテート)」、日本ルーブリゾール(株)製「ソルスパース5000(フタロシアニン誘導体)、22000(アゾ顔料誘導体)、13240(ポリエステルアミン)、3000、17000、27000(末端部に機能部を有する高分子)、24000、28000、32000、38500(グラフト型高分子)」、日光ケミカル社製「ニッコールT106(ポリオキシエチレンソルビタンモノオレート)、MYS-IEX(ポリオキシエチレンモノステアレート)」、川研ファインケミカル(株)製 ヒノアクトT-8000E等、信越化学工業(株)製、オルガノシロキサンポリマーKP341、裕商(株)製「W001:カチオン系界面活性剤」、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル等のノニオン系界面活性剤、「W004、W005、W017」等のアニオン系界面活性剤、森下産業(株)製「EFKA-46、EFKA-47、EFKA-47EA、EFKAポリマー100、EFKAポリマー400、EFKAポリマー401、EFKAポリマー450」、サンノプコ(株)製「ディスパースエイド6、ディスパースエイド8、ディスパースエイド15、ディスパースエイド9100」等の高分子分散剤、(株)ADEKA製「アデカプルロニックL31、F38、L42、L44、L61、L64、F68、L72、P95、F77、P84、F87、P94、L101、P103、F108、L121、P-123」、及び三洋化成(株)製「イオネットS-20」等が挙げられる。
 これらの顔料分散剤は、単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。本発明においては、特に、顔料誘導体と高分子分散剤とを組み合わせて使用することが好ましい。また、顔料分散剤は、前記顔料表面へのアンカー部位を有する末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子と共に、顔料分散剤として後述のアルカリ可溶性樹脂と併用して用いてもよい。なお、顔料分散剤として、後掲のアルカリ可溶性樹脂、一般式(ED)で表される化合物を使用してもよい。
 顔料分散液における顔料分散剤の含有量としては、顔料100質量部に対して、1~80質量部であることが好ましく、5~70質量部がより好ましく、10~60質量部であることが更に好ましい。
 具体的には、高分子分散剤を用いる場合であれば、その使用量としては、顔料100質量部に対して、質量換算で5~100部の範囲が好ましく、10~80部の範囲であることがより好ましい。
 ここで、顔料の量は、近赤外透過黒色顔料と、これとは異なる顔料(すなわち、着色剤(B)としての顔料)との総量を意味する。
<顔料誘導体>
 顔料分散液は、更に、顔料誘導体を含有することが好ましい。
 顔料誘導体とは、有機顔料の一部分を、酸性基、塩基性基又はフタルイミドメチル基で置換した構造を有する化合物である。顔料誘導体としては、分散性及び分散安定性の観点から、酸性基又は塩基性基を有する顔料誘導体を含有することが好ましい。
 顔料誘導体を構成するための有機顔料としては、ジケトピロロピロール系顔料、アゾ系顔料、フタロシアニン系顔料、アントラキノン系顔料、キナクリドン系顔料、ジオキサジン系顔料、ペリノン系顔料、ペリレン系顔料、チオインジゴ系顔料、イソインドリン系顔料、イソインドリノン系顔料、キノフタロン系顔料、スレン系顔料、金属錯体系顔料等が挙げられる。
 また、顔料誘導体が有する酸性基としては、スルホン酸、カルボン酸及びその4級アンモニウム塩が好ましく、カルボン酸基及びスルホン酸基が更に好ましく、スルホン酸基が特に好ましい。顔料誘導体が有する塩基性基としては、アミノ基が好ましく、特に三級アミノ基が好ましい。
 顔料誘導体としては、特に、キノリン系、ベンズイミダゾロン系及びイソインドリン系の顔料誘導体が好ましく、キノリン系及びベンズイミダゾロン系の顔料誘導体が更に好ましい。
 顔料分散液における顔料誘導体の含有量は、顔料の全質量に対し、1~50質量%が好ましく、3~30質量%が更に好ましい。顔料誘導体は、1種のみを用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。
 また、顔料誘導体を併用する場合、顔料誘導体の使用量としては、顔料100質量部に対し、質量換算で1~30部の範囲にあることが好ましく、3~20部の範囲にあることがより好ましく、5~15部の範囲にあることが特に好ましい。
 ここで、顔料の量は、近赤外透過黒色顔料と、これとは異なる顔料(すなわち、着色剤(B)としての顔料)との総量を意味する。
<有機溶剤>
 顔料分散液は有機溶剤を含有することが好ましい。
 有機溶剤は、顔料分散液中に含まれる各成分の溶解性や、顔料分散液を着色感放射線性組成物に応用した場合の塗布性などにより選択される。有機溶剤としては、エステル類、エーテル類、ケトン類、芳香族炭化水素類が用いられる。中でも、3-エトキシプロピオン酸メチル、3-エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、3-メトキシプロピオン酸メチル、2-ヘプタノン、シクロヘキサノン、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートが好ましく、後述する着色感放射線性組成物に含むことができる(F)有機溶剤を用いることも好ましい。
 顔料分散液における有機溶剤の含有量としては、50~95質量%が好ましく、70~90質量%がより好ましい。
<高分子化合物>
 顔料分散液には、前記した各成分に加え、分散安定性の向上、顔料分散液を着色感放射線性組成物に応用した場合の現像性制御などの観点から、高分子化合物を更に含有してもよい。
 高分子化合物としては、例えば、ポリアミドアミンとその塩、ポリカルボン酸とその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリ(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル系共重合体(特に、カルボン酸基と側鎖に重合性基を含有する(メタ)アクリル酸系共重合体が好ましい。)、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物等が挙げられる。このような高分子材料は、顔料の表面に吸着し、再凝集を防止するように作用するため、顔料表面へのアンカー部位を有する末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子が好ましく、例えば、複素環を含有するモノマーとエチレン性不飽和結合を有する重合性オリゴマーを共重合体単位として含むグラフト共重合体が挙げられる。
 他の高分子材料としては、更に、ポリアミドアミン燐酸塩、高分子量不飽和ポリカルボン酸、ポリエーテルエステル、芳香族スルホン酸ホルマリン重縮合物、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエステルアミン、ポリオキシエチレンソルビタンモノオレートポリオキシエチレンモノステアレート等が挙げられる。
 これらの高分子材料は、単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせ用いてもよい。
 顔料分散液における高分子材料の含有量としては、顔料に対して、20~80質量%が好ましく、30~70質量%がより好ましく、40~60質量%が更に好ましい。
〔着色感放射線性組成物の調製〕
 上記した組成物(典型的には、(A)近赤外透過黒色色材(例えば顔料分散液)及び必要によって着色剤(B)を含有するカラーフィルタ用組成物)は、(C)光重合開始剤、(D)重合性化合物、及び必要によって(E)紫外線吸収剤、(F)アルカリ可溶性樹脂、(G)有機溶剤、界面活性剤等の各成分を含有する、カラーフィルタ用組成物である。
 ここで、(A)近赤外透過黒色色材、(C)光重合開始剤、及び、(D)重合性化合物を含有するカラーフィルタ用組成物は、着色感放射線性組成物(より好ましくは、黒色感放射線性組成物)とも言える。
 この着色感放射線性組成物は、本発明の赤外線透過フィルタの形成に用いられ、例えば、着色感放射線性組成物を重合硬化させた着色硬化膜が赤外線透過フィルタとして使用される。
 以下、本発明における組成物(特に着色感放射線性組成物)に更に含有され得る各成分について、詳細に説明する。
 なお、本発明における組成物において、全固形分とは、組成物の全組成から有機溶剤を除いた成分の総質量をいう。
 本明細書においては「アルキル基」は「直鎖、分岐、及び環状」のアルキル基を示し、また置換基で置換されていても、無置換でもよい。
 また、本明細書において、“(メタ)アクリレート”はアクリレート及びメタクリレートの双方、又は、いずれかを表し、“(メタ)アクリル”はアクリル及びメタクリルの双方、又は、いずれかを表し、“(メタ)アクリロイル”はアクリロイル及びメタクリロイルの双方、又は、いずれかを表す。
 また、本明細書において、“単量体”と“モノマー”とは同義である。本明細書における単量体は、オリゴマー及びポリマーと区別され、重量平均分子量が2,000以下の化合物をいう。本明細書において、重合性化合物とは、重合性官能基を有する化合物のことをいい、単量体であっても、ポリマーであってもよい。重合性官能基とは、重合反応に関与する基を言う。
 また、本明細書における基(原子団)の表記において、置換及び無置換を記していない表記は置換基を有さないものと共に置換基を有するものをも包含するものである。例えば「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含するものである。
 本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。
 本発明において「放射線」とは、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等を含むものを意味する。
<(C)光重合開始剤>
 本発明のカラーフィルタ用組成物(典型的には、着色感放射線性組成物)は、(C)光重合開始剤を含むことが好ましい。
 本発明における光重合開始剤(以下、単に「重合開始剤」ということがある。)としては、以下に述べる光重合開始剤として知られているものを用いることができる。
 光重合開始剤としては、前記重合性化合物の重合を開始する能力を有する限り、特に制限はなく、公知の光重合開始剤の中から適宜選択することができる。例えば、紫外線領域から可視の光線に対して感光性を有するものが好ましい。また、光励起された増感剤と何らかの作用を生じ、活性ラジカルを生成する活性剤であってもよく、モノマーの種類に応じてカチオン重合を開始させるような開始剤であってもよい。
 また、光重合開始剤は、波長約300nm~800nm(330nm~500nmがより好ましい。)の範囲内に少なくとも約50の分子吸光係数を有する化合物を、少なくとも1種含有していることが好ましい。
 光重合開始剤としては、例えば、ハロゲン化炭化水素誘導体(例えば、トリアジン骨格を有するもの、オキサジアゾール骨格を有するもの、など)、アシルホスフィンオキサイド等のアシルホスフィン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール、オキシム誘導体等のオキシム化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩、ケトオキシムエーテル、アミノアセトフェノン化合物、ヒドロキシアセトフェノンなどが挙げられる。これらの中でも、オキシム化合物が好ましい。
 前記トリアジン骨格を有するハロゲン化炭化水素化合物としては、例えば、若林ら著、Bull.Chem.Soc.Japan,42、2924(1969)記載の化合物、英国特許1388492号明細書記載の化合物、特開昭53-133428号公報記載の化合物、独国特許3337024号明細書記載の化合物、F.C.SchaeferなどによるJ.Org.Chem.;29、1527(1964)記載の化合物、特開昭62-58241号公報記載の化合物、特開平5-281728号公報記載の化合物、特開平5-34920号公報記載の化合物、米国特許第4212976号明細書に記載の化合物、などが挙げられる。
 前記米国特許第4212976号明細書に記載されている化合物としては、例えば、オキサジアゾール骨格を有する化合物(例えば、2-トリクロロメチル-5-フェニル-1,3,4-オキサジアゾール、2-トリクロロメチル-5-(4-クロロフェニル)-1,3,4-オキサジアゾール、2-トリクロロメチル-5-(1-ナフチル)-1,3,4-オキサジアゾール、2-トリクロロメチル-5-(2-ナフチル)-1,3,4-オキサジアゾール、2-トリブロモメチル-5-フェニル-1,3,4-オキサジアゾール、2-トリブロモメチル-5-(2-ナフチル)-1,3,4-オキサジアゾール;2-トリクロロメチル-5-スチリル-1,3,4-オキサジアゾール、2-トリクロロメチル-5-(4-クロルスチリル)-1,3,4-オキサジアゾール、2-トリクロロメチル-5-(4-メトキシスチリル)-1,3,4-オキサジアゾール、2-トリクロロメチル-5-(1-ナフチル)-1,3,4-オキサジアゾール、2-トリクロロメチル-5-(4-n-ブトキシスチリル)-1,3,4-オキサジアゾール、2-トリプロモメチル-5-スチリル-1,3,4-オキサジアゾールなど)などが挙げられる。
 また、上記以外の重合開始剤として、アクリジン誘導体(例えば、9-フェニルアクリジン、1,7-ビス(9,9’-アクリジニル)ヘプタンなど)、N-フェニルグリシンなど、ポリハロゲン化合物(例えば、四臭化炭素、フェニルトリブロモメチルスルホン、フェニルトリクロロメチルケトンなど)、クマリン類(例えば、3-(2-ベンゾフラノイル)-7-ジエチルアミノクマリン、3-(2-ベンゾフロイル)-7-(1-ピロリジニル)クマリン、3-ベンゾイル-7-ジエチルアミノクマリン、3-(2-メトキシベンゾイル)-7-ジエチルアミノクマリン、3-(4-ジメチルアミノベンゾイル)-7-ジエチルアミノクマリン、3,3’-カルボニルビス(5,7-ジ-n-プロポキシクマリン)、3,3’-カルボニルビス(7-ジエチルアミノクマリン)、3-ベンゾイル-7-メトキシクマリン、3-(2-フロイル)-7-ジエチルアミノクマリン、3-(4-ジエチルアミノシンナモイル)-7-ジエチルアミノクマリン、7-メトキシ-3-(3-ピリジルカルボニル)クマリン、3-ベンゾイル-5,7-ジプロポキシクマリン、7-ベンゾトリアゾール-2-イルクマリン、また、特開平5-19475号公報、特開平7-271028号公報、特開2002-363206号公報、特開2002-363207号公報、特開2002-363208号公報、特開2002-363209号公報などに記載のクマリン化合物など)、アシルホスフィンオキサイド類(例えば、ビス(2,4,6-トリメチルベンゾイル)-フェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,6-ジメトキシベンゾイル)-2,4,4-トリメチル-ペンチルフェニルホスフィンオキサイド、LucirinTPOなど)、メタロセン類(例えば、ビス(η5-2,4-シクロペンタジエン-1-イル)-ビス(2,6-ジフロロ-3-(1H-ピロール-1-イル)-フェニル)チタニウム、η5-シクロペンタジエニル-η6-クメニル-アイアン(1+)-ヘキサフロロホスフェート(1-)など)、特開昭53-133428号公報、特公昭57-1819号公報、同57-6096号公報、及び米国特許第3615455号明細書に記載された化合物などが挙げられる。
 前記ケトン化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、2-メチルベンゾフェノン、3-メチルベンゾフェノン、4-メチルベンゾフェノン、4-メトキシベンゾフェノン、2-クロロベンゾフェノン、4-クロロベンゾフェノン、4-ブロモベンゾフェノン、2-カルボキシベンゾフェノン、2-エトキシカルボニルベンゾフェノン、ベンゾフェノンテトラカルボン酸又はそのテトラメチルエステル、4,4’-ビス(ジアルキルアミノ)ベンゾフェノン類(例えば、4,4’-ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’-ビスジシクロヘキシルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’-ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’-ビス(ジヒドロキシエチルアミノ)ベンゾフェノン、4-メトキシ-4’-ジメチルアミノベンゾフェノン、4,4’-ジメトキシベンゾフェノン、4-ジメチルアミノベンゾフェノン、4-ジメチルアミノアセトフェノン、ベンジル、アントラキノン、2-t-ブチルアントラキノン、2-メチルアントラキノン、フェナントラキノン、キサントン、チオキサントン、2-クロル-チオキサントン、2,4-ジエチルチオキサントン、フルオレノン、2-ベンジル-ジメチルアミノ-1-(4-モルホリノフェニル)-1-ブタノン、2-メチル-1-〔4-(メチルチオ)フェニル〕-2-モルホリノ-1-プロパノン、2-ヒドロキシ-2-メチル-〔4-(1-メチルビニル)フェニル〕プロパノールオリゴマー、ベンゾイン、ベンゾインエーテル類(例えば、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル、ベンジルジメチルケタール)、アクリドン、クロロアクリドン、N-メチルアクリドン、N-ブチルアクリドン、N-ブチル-クロロアクリドンなどが挙げられる。
 重合開始剤としては、ヒドロキシアセトフェノン化合物、アミノアセトフェノン化合物、及び、アシルホスフィン化合物も好適に用いることができる。より具体的には、例えば、特開平10-291969号公報に記載のアミノアセトフェノン系開始剤、特許第4225898号公報に記載のアシルホスフィンオキシド系開始剤も用いることができる。
 ヒドロキシアセトフェノン系開始剤としては、IRGACURE-184、DAROCUR-1173、IRGACURE-500、IRGACURE-2959,IRGACURE-127(商品名:いずれもBASF社製)を用いることができる。アミノアセトフェノン系開始剤としては、市販品であるIRGACURE-907、IRGACURE-369、及び、IRGACURE-379(商品名:いずれもBASF社製)を用いることができる。アミノアセトフェノン系開始剤として、365nm又は405nm等の長波光源に吸収波長がマッチングされた特開2009-191179号公報に記載の化合物も用いることができる。また、アシルホスフィン系開始剤としては市販品であるIRGACURE-819やDAROCUR-TPO(商品名:いずれもBASF社製)を用いることができる。
 重合開始剤として、より好ましくはオキシム化合物が挙げられる。
 組成物が、重合開始剤としてオキシム化合物を含有することにより、組成物の塗布から露光までの時間(PCD:Post Coating Delay)に対するパターンの特性依存性(以下、単に、「PCD依存性」とも言う)が良好なものとなる。
 オキシム化合物の具体例としては、特開2001-233842号公報記載の化合物、特開2000-80068号公報記載の化合物、特開2006-342166号公報記載の化合物を用いることができる。
 本発明で重合開始剤として好適に用いられるオキシム誘導体等のオキシム化合物としては、例えば、3-ベンゾイロキシイミノブタン-2-オン、3-アセトキシイミノブタン-2-オン、3-プロピオニルオキシイミノブタン-2-オン、2-アセトキシイミノペンタン-3-オン、2-アセトキシイミノ-1-フェニルプロパン-1-オン、2-ベンゾイロキシイミノ-1-フェニルプロパン-1-オン、3-(4-トルエンスルホニルオキシ)イミノブタン-2-オン、及び2-エトキシカルボニルオキシイミノ-1-フェニルプロパン-1-オンなどが挙げられる。
 オキシム化合物としては、J.C.S.Perkin II(1979年)pp.1653-1660)、J.C.S.Perkin II(1979年)pp.156-162、Journal of Photopolymer Science and Technology(1995年)pp.202-232、特開2000-66385号公報記載の化合物、特開2000-80068号公報、特表2004-534797号公報、特開2006-342166号公報の各公報に記載の化合物等が挙げられる。
 市販品ではIRGACURE OXE-01(BASF社製)、IRGACURE OXE-02(BASF社製)、TR-PBG-304(常州強力電子新材料有限公司社製)も好適に用いられる。
 また、上記以外のオキシム化合物として、カルバゾールのN位にオキシムが連結した特表2009-519904号公報に記載の化合物、ベンゾフェノン部位にヘテロ置換基が導入された米国特許7626957号公報に記載の化合物、色素部位にニトロ基が導入された特開2010-15025号公報及び米国特許公開2009-292039号記載の化合物、国際公開特許2009-131189号公報に記載のケトオキシム系化合物、トリアジン骨格とオキシム骨格を同一分子内に含有する米国特許7556910号公報に記載の化合物、405nmに吸収極大を有しg線光源に対して良好な感度を有する特開2009-221114号公報記載の化合物などを用いてもよい。
 好ましくは更に、特開2007-231000号公報、及び、特開2007-322744号公報に記載される環状オキシム化合物に対しても好適に用いることができる。環状オキシム化合物の中でも、特に特開2010-32985号公報、特開2010-185072号公報に記載されるカルバゾール色素に縮環した環状オキシム化合物は、高い光吸収性を有し高感度化の観点から好ましい。
 また、オキシム化合物の特定部位に不飽和結合を有する特開2009-242469号公報に記載の化合物も、重合不活性ラジカルから活性ラジカルを再生することで高感度化を達成でき好適に使用することができる。
 最も好ましくは、特開2007-269779号公報に示される特定置換基を有するオキシム化合物や、特開2009-191061号公報に示されるチオアリール基を有するオキシム化合物が挙げられる。
 具体的には、オキシム化合物としては、下記一般式(OX-1)で表される化合物が好ましい。なお、オキシムのN-O結合が(E)体のオキシム化合物であっても、(Z)体のオキシム化合物であっても、(E)体と(Z)体との混合物であってもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000002
 一般式(OX-1)中、R及びBは各々独立に一価の置換基を表し、Aは二価の有機基を表し、Arはアリール基を表す。
 一般式(OX-1)中、Rで表される一価の置換基としては、一価の非金属原子団であることが好ましい。
 前記一価の非金属原子団としては、アルキル基、アリール基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、複素環基、アルキルチオカルボニル基、アリールチオカルボニル基等が挙げられる。また、これらの基は、1以上の置換基を有していてもよい。また、前述した置換基は、更に他の置換基で置換されていてもよい。
 置換基としてはハロゲン原子、アリールオキシ基、アルコキシカルボニル基又はアリールオキシカルボニル基、アシルオキシ基、アシル基、アルキル基、アリール基等が挙げられる。
 置換基を有していてもよいアルキル基としては、炭素数1~30のアルキル基が好ましい。具体的には、特開2012-032556号公報段落0026等の記載を参酌でき、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
 置換基を有していてもよいアリール基としては、炭素数6~30のアリール基が好ましい。炭素数6~30のアリール基が好ましい。具体的には、特開2012-032556号公報段落0027等の記載を参酌でき、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
 置換基を有していてもよいアシル基としては、炭素数2~20のアシル基が好ましい。具体的には、特開2012-032556号公報段落0028等の記載を参酌でき、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
 置換基を有していてもよいアルコキシカルボニル基としては、炭素数2~20のアルコキシカルボニル基が好ましい。具体的には、特開2012-032556号公報段落0030等の記載を参酌でき、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
 置換基を有していてもよいアリールオキシカルボニル基としては、具体的には、特開2012-032556号公報段落0030等の記載を参酌でき、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
 置換基を有していてもよい複素環基としては、窒素原子、酸素原子、硫黄原子若しくはリン原子を含む、芳香族又は脂肪族の複素環が好ましい。
 具体的には、具体的には、特開2012-032556号公報段落0031等の記載を参酌でき、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
 置換基を有していてもよいアルキルチオカルボニル基として具体的には、特開2012-032556号公報段落0032等の記載を参酌でき、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
 置換基を有していてもよいアリールチオカルボニル基として具体的には、特開2012-032556号公報段落0033等の記載を参酌でき、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
 前記一般式(OX-1)中、Bで表される一価の置換基としては、アリール基、複素環基、アリールカルボニル基、又は、複素環カルボニル基を表す。また、これらの基は1以上の置換基を有していてもよい。置換基としては、前述した置換基が例示できる。また、前述した置換基は、更に他の置換基で置換されていてもよい。
 なかでも、特に好ましくは以下に示す構造である。
 下記の構造中、Y、X、及びnは、後述する一般式(OX-2)におけるY、X、及びnとそれぞれ同義であり、好ましい例も同様である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000003
 一般式(OX-1)中、Aで表される二価の有機基としては、炭素数1~12のアルキレン基、シクロアルキレン基、アルキニレン基が挙げられる。また、これらの基は1以上の置換基を有していてもよい。置換基としては、前述した置換基が例示できる。また、前述した置換基は、更に他の置換基で置換されていてもよい。
 中でも、一般式(OX-1)におけるAとしては、感度を高め、加熱経時による着色を抑制する点から、無置換のアルキレン基、アルキル基(例えば、メチル基、エチル基、tert-ブチル基、ドデシル基)で置換されたアルキレン基、アルケニル基(例えば、ビニル基、アリル基)で置換されたアルキレン基、アリール基(例えば、フェニル基、p-トリル基、キシリル基、クメニル基、ナフチル基、アンスリル基、フェナントリル基、スチリル基)で置換されたアルキレン基が好ましい。
 一般式(OX-1)中、Arで表されるアリール基としては、炭素数6~30のアリール基が好ましく、また、置換基を有していてもよい。置換基としては、先に置換基を有していてもよいアリール基の具体例として挙げた置換アリール基に導入された置換基と同様のものが例示できる。
 なかでも、感度を高め、加熱経時による着色を抑制する点から、置換又は無置換のフェニル基が好ましい。
 一般式(OX-1)においては、前記Arと隣接するSとで形成される「SAr」の構造が、特開2012-032556号公報段落0040等に記載されている構造が好ましい。これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
 オキシム化合物は、下記一般式(OX-2)で表される化合物であることが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000004
 (一般式(OX-2)中、R及びXは各々独立に一価の置換基を表し、A及びYは各々独立に二価の有機基を表し、Arはアリール基を表し、nは0~5の整数である。)
 一般式(OX-2)におけるR、A、及びArは、前記一般式(OX-1)におけるR、A、及びArと同義であり、好ましい例も同様である。
 一般式(OX-2)中、Xで表される一価の置換基としては、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アシルオキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アミノ基、複素環基、ハロゲン原子が挙げられる。また、これらの基は1以上の置換基を有していてもよい。置換基としては、前述した置換基が例示できる。また、前述した置換基は、更に他の置換基で置換されていてもよい。
 これらの中でも、一般式(OX-2)におけるXとしては、溶剤溶解性と長波長領域の吸収効率向上の点から、アルキル基が好ましい。
 また、一般式(OX-2)におけるnは、0~5の整数を表し、0~2の整数が好ましい。
 一般式(OX-2)中、Yで表される二価の有機基としては、以下に示す構造が挙げられる。なお、以下に示される基において、「*」は、一般式(OX-2)において、Yと隣接する炭素原子との結合位置を示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000005
 光重合開始剤としては、中でも、高感度化の観点から、下記に示す構造を有するものが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000006
 更に、オキシム化合物は、下記一般式(OX-3)で表される化合物であることが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000007
 一般式(OX-3)中、R及びXは各々独立に一価の置換基を表し、Aは二価の有機基を表し、Arはアリール基を表し、nは0~5の整数である。
 一般式(OX-3)におけるR、X、A、Ar、及び、nは、一般式(OX-2)におけるR、X、A、Ar、及び、nとそれぞれ同義であり、好ましい例も同様である。
 以下、好適に用いられるオキシム化合物の具体例を以下に示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000008
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000009
 オキシム化合物は、350nm~500nmの波長領域に極大吸収波長を有するものであり、360nm~480nmの波長領域に吸収波長を有するものであることが好ましく、365nm及び455nmの吸光度が高いものが特に好ましい。
 オキシム化合物は、365nm又は405nmにおけるモル吸光係数は、感度の観点から、1,000~300,000であることが好ましく、2,000~300,000であることがより好ましく、5,000~200,000であることが特に好ましい。
 化合物のモル吸光係数は、公知の方法を用いることができるが、具体的には、例えば、紫外可視分光光度計(Varian社製Carry-5 spctrophotometer)にて、酢酸エチル溶媒を用い、0.01g/Lの濃度で測定することが好ましい。
 本発明に用いられる光重合開始剤は、必要に応じて2種以上を組み合わせて使用してもよい。
 光重合開始剤のカラーフィルタ用組成物中における含有量(2種以上の場合は総含有量)としては、組成物の全固形分に対して、0.1~20質量%の範囲が好ましく、より好ましくは0.5~10質量%の範囲、特に好ましくは1~8質量%の範囲である。この範囲内であると、良好な感度とパターン形成性が得られる。
 カラーフィルタ用組成物は、光重合開始剤のラジカル発生効率の向上、感光波長の長波長化の目的で、増感剤を含有していてもよい。本発明に用いることができる増感剤としては、前記した(C)光重合開始剤に対し、電子移動機構又はエネルギー移動機構で増感させるものが好ましい。
 カラーフィルタ用組成物に用いられる増感剤としては、例えば、特開2008-32803号公報の段落番号〔0101〕~〔0154〕に記載される化合物が挙げられる。
 組成物中における増感剤の含有量は、深部への光吸収効率と開始分解効率の観点から、固形分換算で、0.1質量%~20質量%であることが好ましく、0.5質量%~15質量%がより好ましい。
 増感剤は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。
<(D)重合性化合物>
 本発明のカラーフィルタ用組成物(典型的には、着色感放射線性組成物)は、(D)重合性化合物を含むことが好ましい。
 重合性化合物としては、具体的には、末端エチレン性不飽和結合を少なくとも1個、好ましくは2個以上有する化合物から選ばれる。中でも、4官能以上の多官能重合性化合物が好ましく、5官能以上が更に好ましい。
 このような化合物群は当該産業分野において広く知られているものであり、本発明においてはこれらを特に限定なく用いることができる。これらは、例えば、モノマー、プレポリマー、すなわち2量体、3量体及びオリゴマー、又はそれらの混合物並びにそれらの多量体などの化学的形態のいずれであってもよい。本発明における重合性化合物は一種単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。
 より具体的には、モノマー及びそのプレポリマーの例としては、不飽和カルボン酸(例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸など)やそのエステル類、アミド類、並びにこれらの多量体が挙げられ、好ましくは、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アルコール化合物とのエステル、及び不飽和カルボン酸と脂肪族多価アミン化合物とのアミド類、並びにこれらの多量体である。また、ヒドロキシル基やアミノ基、メルカプト基等の求核性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と、単官能若しくは多官能イソシアネート類或いはエポキシ類との付加反応物や、単官能若しくは多官能のカルボン酸との脱水縮合反応物等も好適に使用される。また、イソシアネート基やエポキシ基等の親電子性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と、単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との付加反応物、更に、ハロゲン基やトシルオキシ基等の脱離性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と、単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との置換反応物も好適である。また、別の例として、上記の不飽和カルボン酸の代わりに、不飽和ホスホン酸、スチレン等のビニルベンゼン誘導体、ビニルエーテル、アリルエーテル等に置き換えた化合物群を使用することも可能である。
 これらの具体的な化合物としては、特開2009-288705号公報の段落番号〔0095〕~〔0108〕に記載されている化合物を本発明においても好適に用いることができる。
 また、前記重合性化合物としては、少なくとも1個の付加重合可能なエチレン基を有する、常圧下で100℃以上の沸点を持つエチレン性不飽和基を持つ化合物も好ましい。その例としては、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、等の単官能のアクリレートやメタアクリレート;ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオール(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ(アクリロイロキシエチル)イソシアヌレート、グリセリンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後(メタ)アクリレート化したもの、特公昭48-41708号、特公昭50-6034号、特開昭51-37193号各公報に記載されているようなウレタン(メタ)アクリレート類、特開昭48-64183号、特公昭49-43191号、特公昭52-30490号各公報に記載されているポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸との反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタアクリレート及びこれらの混合物を挙げることができる。
 多官能カルボン酸にグリシジル(メタ)アクリレート等の環状エーテル基とエチレン性不飽和基を有する化合物を反応させ得られる多官能(メタ)アクリレートなども挙げることができる。
 また、好ましい重合性化合物として、特開2010-160418号、特開2010-129825号各公報、特許4364216号明細書等に記載される、フルオレン環を有し、エチレン性不飽和基を2官能以上有する化合物、カルド樹脂も使用することが可能である。
 また、常圧下で100℃以上の沸点を有し、少なくとも1個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を持つ化合物としては、特開2008-292970号公報の段落番号[0254]~[0257]に記載の化合物も好適である。
 上記の他に、下記一般式(MO-1)~(MO-5)で表される、ラジカル重合性モノマーも好適に用いることができる。なお、式中、Tがオキシアルキレン基の場合には、炭素原子側の末端がRに結合する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000010
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000011
 前記一般式において、nは0~14であり、mは1~8である。一分子内に複数存在するR、T、は、各々同一であっても、異なっていてもよい。
 前記一般式(MO-1)~(MO-5)で表される重合性化合物の各々において、複数存在するRの少なくとも1つは、-OC(=O)CH=CH、又は、-OC(=O)C(CH)=CHで表される基を表す。
 前記一般式(MO-1)~(MO-5)で表される重合性化合物の具体例としては、特開2007-269779号公報の段落番号0248~段落番号0251に記載されている化合物を本発明においても好適に用いることができる。
 また、特開平10-62986号公報において一般式(1)及び(2)としてその具体例と共に記載の前記多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後に(メタ)アクリレート化した化合物も、重合性化合物として用いることができる。
 中でも、重合性化合物としては、ジペンタエリスリトールトリアクリレート(市販品としてはKAYARAD D-330;日本化薬株式会社製)、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート(市販品としてはKAYARAD D-320;日本化薬株式会社製)ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート(市販品としてはKAYARAD D-310;日本化薬株式会社製)、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート(市販品としてはKAYARAD DPHA;日本化薬株式会社製)、及びこれらの(メタ)アクリロイル基がエチレングリコール、プロピレングリコール残基を介している構造が好ましい。
 また、重合性化合物としては、2-(メタ)アクリロイロキシエチルカプロエートアシッドホスフェート(市販品としては日本化薬株式会社製のPM-20)、ウレタンアクリレート(市販品としては新中村化学社製のU-6LPA)なども好適に挙げられる。
 これらのオリゴマータイプも使用できる。以下に好ましい重合性化合物の態様を示す。
 重合性化合物としては、多官能モノマーであって、カルボキシル基、スルホン酸基、リン酸基等の酸基を有していてもよい。エチレン性化合物が、上記のように混合物である場合のように未反応のカルボキシル基を有するものであれば、これをそのまま利用することができるが、必要において、上述のエチレン性化合物のヒドロキシル基に非芳香族カルボン酸無水物を反応させて酸基を導入してもよい。この場合、使用される非芳香族カルボン酸無水物の具体例としては、無水テトラヒドロフタル酸、アルキル化無水テトラヒドロフタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、アルキル化無水ヘキサヒドロフタル酸、無水コハク酸、無水マレイン酸が挙げられる。
 本発明において、酸基を有するモノマーとしては、脂肪族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステルであり、脂肪族ポリヒドロキシ化合物の未反応のヒドロキシル基に非芳香族カルボン酸無水物を反応させて酸基を持たせた多官能モノマーが好ましく、
 特に好ましくは、このエステルにおいて、脂肪族ポリヒドロキシ化合物がペンタエリスリトール及び/又はジペンタエリスリトールであるものである。市販品としては、例えば、東亞合成株式会社製の多塩基酸変性アクリルオリゴマーとして、M-510、M-520などが挙げられる。
 本発明におけるカラーフィルタ用組成物には、これらの重合性化合物は1種を単独で用いてもよいが、重合性化合物の製造上、単一の化合物を得ることは難しいことから、2種以上を混合して用いてもよい。
 また、必要に応じて重合性化合物として酸基を有しない多官能モノマーと酸基を有する多官能モノマーを併用してもよい。
 酸基を有する多官能モノマーの好ましい酸価としては、0.1~40mg-KOH/gであり、特に好ましくは5~30mg-KOH/gである。多官能モノマーの酸価が低すぎると現像溶解特性が落ち、高すぎると製造や取扱いが困難になり光重合性能が落ち、画素の表面平滑性等の硬化性が劣るものとなる。従って、異なる酸基の多官能モノマーを2種以上併用する場合、或いは酸基を有しない多官能モノマーを併用する場合、全体の多官能モノマーとしての酸基が上記範囲に入るように調整することが好ましい。
 また、重合性化合物として、カプロラクトン構造を有する多官能性単量体を含有することも好ましい態様である。
 カプロラクトン構造を有する重合性化合物としては、その分子内にカプロラクトン構造を有する限り特に限定されるものではないが、例えば、トリメチロールエタン、ジトリメチロールエタン、トリメチロールプロパン、ジトリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリペンタエリスリトール、グリセリン、ジグリセロール、トリメチロールメラミン等の多価アルコールと、(メタ)アクリル酸及びε-カプロラクトンをエステル化することにより得られる、ε-カプロラクトン変性多官能(メタ)アクリレートを挙げることができる。なかでも下記一般式(Z-1)で表されるカプロラクトン構造を有する多官能性単量体が好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000012
 一般式(Z-1)中、6個のRは全てが下記一般式(Z-2)で表される基であるか、又は6個のRのうち1~5個が下記一般式(Z-2)で表される基であり、残余が下記一般式(Z-3)で表される基である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000013
 一般式(Z-2)中、Rは水素原子又はメチル基を示し、mは1又は2を示し、「*」は結合手であることを示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000014
 一般式(Z-3)中、Rは水素原子又はメチル基を示し、「*」は結合手であることを示す。
 このようなカプロラクトン構造を有する多官能性単量体は、例えば、日本化薬(株)からKAYARAD DPCAシリーズとして市販されており、DPCA-20(上記式(1)~(3)においてm=1、式(2)で表される基の数=2、R1が全て水素原子である化合物)、DPCA-30(同式、m=1、式(2)で表される基の数=3、R1が全て水素原子である化合物)、DPCA-60(同式、m=1、式(2)で表される基の数=6、R1が全て水素原子である化合物)、DPCA-120(同式においてm=2、式(2)で表される基の数=6、R1が全て水素原子である化合物)等を挙げることができる。
 本発明において、カプロラクトン構造を有する多官能性単量体は、単独で又は2種以上を混合して使用することができる。
 本発明における重合性化合物としては、炭素数が2以上のアルキレンオキシ基(エチレンオキシ基、プロピレンオキシ基、ブチレンオキシ基等)を含有する重合性化合物が好ましい。
 炭素数が2以上のアルキレンオキシ基を含有する重合性化合物の中でも、下記一般式(i)又は(ii)で表される化合物の群から選択される少なくとも1種であることが特に好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000015
 一般式(i)及び(ii)中、Eは、各々独立に、-((CHCHO)-、又は-((CHCH(CH)O)-を表し、yは、各々独立に0~10の整数を表し、Xは、各々独立に、アクリロイル基、メタクリロイル基、水素原子、又はカルボキシル基を表す。
 一般式(i)中、Xで表されるアクリロイル基及びメタクリロイル基の合計は3個又は4個であり、mは各々独立に0~10の整数を表し、各mの合計は0~40の整数である。但し、各mの合計が0の場合、Xのうちいずれか1つはカルボキシル基である。
 一般式(ii)中、Xで表されるアクリロイル基及びメタクリロイル基の合計は5個又は6個であり、nは各々独立に0~10の整数を表し、各nの合計は0~60の整数である。但し、各nの合計が0の場合、Xのうちいずれか1つはカルボキシル基である。
 一般式(i)中、mは、0~6の整数が好ましく、0~4の整数がより好ましい。また、各mの合計は、2~40の整数が好ましく、2~16の整数がより好ましく、4~8の整数が特に好ましい。
 一般式(ii)中、nは、0~6の整数が好ましく、0~4の整数がより好ましい。また、各nの合計は、3~60の整数が好ましく、3~24の整数がより好ましく、6~12の整数が特に好ましい。
 また、一般式(i)又は一般式(ii)中の-((CHCHO)-又は-((CHCH(CH)O)-は、酸素原子側の末端がXに結合する形態が好ましい。
 一般式(i)又は(ii)で表される化合物は1種単独で用いてもよいし、2種以上併用してもよい。特に、一般式(ii)において、6個のX全てがアクリロイル基である形態が好ましい。
 一般式(i)又は(ii)で表される化合物は、従来公知の工程である、ペンタエリスリト-ル又はジペンタエリスリト-ルにエチレンオキシド又はプロピレンオキシドを開環付加反応により開環骨格を結合する工程と、開環骨格の末端水酸基に、例えば(メタ)アクリロイルクロライドを反応させて(メタ)アクリロイル基を導入する工程と、から合成することができる。各工程はよく知られた工程であり、当業者は容易に一般式(i)又は(ii)で表される化合物を合成することができる。
 一般式(i)、(ii)で表される化合物の中でも、ペンタエリスリトール誘導体及び/又はジペンタエリスリトール誘導体がより好ましい。
 具体的には、下記式(a)~(f)で表される化合物(以下、「例示化合物(a)~(f)」ともいう。)が挙げられ、中でも、例示化合物(a)、(b)、(e)、(f)が好ましい。
 特に、重合性化合物としては、例示化合物(b)が効果的であり、本発明の効果を格段に向上させることができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000016
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000017
 一般式(i)、(ii)で表される重合性化合物の市販品としては、例えばサートマー社製のエチレンオキシ鎖を4個有する4官能アクリレートであるSR-494、日本化薬株式会社製のペンチレンオキシ鎖を6個有する6官能アクリレートであるDPCA-60、イソブチレンオキシ鎖を3個有する3官能アクリレートであるTPA-330などが挙げられる。
 更に、重合性化合物としては、日本接着協会誌Vol.20、No.7(300~308頁)に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして紹介されているものも使用できる。
 カラーフィルタ用組成物中における重合性化合物の含有量としては、該組成物の全固形分に対して、2~50質量%が好ましく、2~30質量%がより好ましく、更には2~25質量%がより好ましい。
<(E)紫外線吸収剤>
 更に、本発明のカラーフィルタ用組成物(典型的には、着色感放射線性組成物)は、(E)紫外線吸収剤を含むことが好ましい。
 紫外線吸収剤としては、波長365nmにおける1g当りの吸光係数が100超であってかつ波長400nm以上における1g当りの吸光係数が10以下である化合物である。なお、吸光係数は、紫外可視分光光度計(Varian社製、Carry-5 spectrophotometer)にて、酢酸エチル溶媒を用いて0.01g/Lの濃度で測定される値である。
 波長365nmにおける1g当りの吸光係数が100以下であると、紫外線吸収効果を得る為の添加量が多くなり処方尤度が低下する、波長400nm以上における1g当りの吸光係数が10を超えると、可視領域のデバイス分光に影響を与えるため好ましくない。
 本発明における紫外線吸収剤としては、共役ジエン系化合物である下記一般式(I)で表される化合物が好ましい。この共役ジエン系化合物を用いると、特に低照度露光を行なった際のその後の現像性能変動が抑えられ、パターンの線幅、膜厚、分光スペクトル等のパターン形成性に関係する露光照度依存性をより効果的に抑制することができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000018
 前記一般式(I)において、R及びRは、各々独立に、水素原子、炭素原子数1~20のアルキル基、又は炭素原子数6~20のアリール基を表し、RとRとは互いに同一でも異なっていてもよいが、同時に水素原子を表すことはない。
 R、Rで表されるアルキル基は、置換基を有していてもよく、置換基を有するアルキル基の置換基としては、例えば、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アシルオキシ基、ハロゲン原子、アシルアミノ基、アシル基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヒドロキシ基、シアノ基、アルキルオキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、置換カルバモイル基、置換スルファモイル基、ニトロ基、置換アミノ基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基等が挙げられる。
 R、Rで表される炭素原子数6~20のアリール基は、単環であっても縮合環であってもよく、置換基を有する置換アリール基、無置換のアリール基のいずれであってもよい。
 また、R及びRは、窒素原子と共に、環状アミノ基を形成してもよい。環状アミノ基としては、例えば、ピペリジノ基、モルホリノ基、ピロリジノ基、ヘキサヒドロアゼピノ基、ピペラジノ基等が挙げられる。
 上記のうち、R、Rとしては、炭素数1~8の低級のアルキル基(例えば、メチル、エチル、イソプロピル、ブチル、sec-ブチル、tert-ブチル、ペンチル、tert-ペンチル、ヘキシル、オクチル、2-エチルヘキシル、tert-オクチルなど)、又は置換若しくは無置換のフェニル基(例えば、トリル基、フェニル基、アニシル基、メシチル基、クロロフェニル基、2,4-ジーt-アミルフェニル基など)が好ましい。また、RとRとが結合して、式中のNで表される窒素原子を含んで環(例えば、ピペリジン環、ピロリジン環、モルホリン環など)を形成していることも好ましい。
 前記一般式(I)において、R及びRは、電子吸引基を表す。ここで、電子吸引基は、ハメットの置換基定数σ値(以下、単に「σ値」という。)が、0.20以上1.0以下の電子吸引性基である。好ましくは、σ値が0.30以上0.8以下の電子吸引性基である。
 ハメット則は、ベンゼン誘導体の反応又は平衡に及ぼす置換基の影響を定量的に論ずるために、1935年にL. P. Hammettにより提唱された経験則であるが、これは今日広く妥当性が認められている。ハメット則により求められた置換基定数には、σ値とσ値とがあり、これらの値は多くの一般的な成書に記載があるが、例えば、J.A. Dean編「Lange’s Handbook of Chemistry」第12版、1979年(Mc Graw-Hill)や「化学の領域増刊」、122号、96~103頁、1979年(南江堂)、Chemical Reviews, 91巻、165頁~195頁、1991年に詳しい。本発明では、これらの成書に記載の文献既知の値がある置換基にのみ限定されるという意味ではなく、その値が文献未知であってもハメット則に基づいて測定した場合にその範囲内に含まれる限り包含されることは勿論である。
 前記σ値が、0.20以上1.0以下の電子吸引性基の具体例としては、アシル基、アシルオキシ基、カルバモイル基、アルキルオキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、シアノ基、ニトロ基、ジアルキルホスホノ基、ジアリールホスホノ基、ジアリールホスフィニル基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、スルホニルオキシ基、アシルチオ基、スルファモイル基、チオシアネート基、チオカルボニル基、少なくとも2つ以上のハロゲン原子で置換されたアルキル基、少なくとも2つ以上のハロゲン原子で置換されたアルコキシ基、少なくとも2つ以上のハロゲン原子で置換されたアリールオキシ基、少なくとも2つ以上のハロゲン原子で置換されたアルキルアミノ基、少なくとも2つ以上のハロゲン原子で置換されたアルキルチオ基、σ値0.20以上の他の電子吸引性基で置換されたアリール基、複素環基、塩素原子、臭素原子、アゾ基、又はセレノシアネート基が挙げられる。これらの置換基のうち、更に置換基を有することが可能な基は、先に挙げたような置換基を更に有してもよい。
 上記のうち、本発明においては、Rとしては、シアノ基、-COOR、-CONHR、-COR、-SOより選択される基が好ましく、また、Rとしては、シアノ基、-COOR、-CONHR、-COR、-SOより選択される基が好ましい。R及びRは、各々独立に、炭素原子数1~20のアルキル基、又は炭素原子数6~20のアリール基を表す。R、Rで表される炭素原子数1~20のアルキル基、炭素原子数6~20のアリール基は、前記R、Rにおける場合と同義であり、好ましい態様も同様である。
 これらのうち、R、Rとしては、アシル基、カルバモイル基、アルキルオキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、シアノ基、ニトロ基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、スルホニルオキシ基、スルファモイル基が好ましく、特にアシル基、カルバモイル基、アルキルオキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、シアノ基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、スルホニルオキシ基、スルファモイル基が好ましい。
 また、R及びRは、互いに結合して環を形成してもよい。
 また、上記のR、R、R、及びRの少なくとも1つは、連結基を介して、ビニル基と結合したモノマーより導かれるポリマーの形になっていてもよい。また、他のモノマーとの共重合体であってもよい。
 前記共重合体である場合、他のモノマーとしては、例えば、アクリル酸、α-クロロアクリル酸、α-アルアクリル酸(例えば、メタクリル酸などのアクリル酸類から誘導されるエステル、好ましくは低級アルキルエステル及びアミド(例えば、アクリルアミド、メタアクリルアミド、t-ブチルアクリルアミド、メチルアクリレート、メチルメタアクリレート、エチルアクリレート、エチルメタアクリレート、n-プロピルアクリレート、n-ブチルアクリレート、2-エチルへキシルアクリレート、n-へキシルアクリレート、オクチルメタアクリレート、及びラウリルメタアクリレート、メチレンビスアクリルアミド等))、ビニルエステル(例えば、ビニルアセテート、ビニルプロピオネート及びビニルラウレート等)、アクリロ二トリル、メタアクリロ二トリル、芳香族ビニル化合物(例えば、スチレン及びその誘導体、例えばビニルトルエン、ジビニルベンゼン、ビニルアセトフェノン、スルホスチレン、及びスチレンスルフィン酸等)、イタコン酸、シトラコン酸、クロトン酸、ビニリデンクロライド、ビニルアルキルエーテル(例えば、ビニルエチルエーテル等)、マレイン酸エステル、N-ビニル-2-ピロリドン、N-ビニルピリジン、2-及び4-ビニルピリジン等がある。
 このうち、特にアクリル酸エステル、メタアクリル酸エステル、芳香族ビニル化合物が好ましい。
 コモノマー化合物の2種以上を一緒に使用することもできる。例えば、n-ブチルアクリレートとジビニルベンゼン、スチレンとメチルメタアクリレート、メチルアクリレートとメタアクリレート酸等を使用できる。
 以下、前記一般式(I)で表される化合物の好ましい具体例〔例示化合物(1)~(14)〕を示す。但し、本発明においては、これらに制限されるものではない。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000019
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000020
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000021
 前記一般式(I)で表される化合物は、特公昭44-29620号公報、特開53-128333号公報、特開昭61-169831号公報、特開昭63-53543号公報、特開昭63-53544号公報、特開昭63-56651号公報に記載の方法により合成することができる。
 本発明においては、前記各種の紫外線吸収剤は一種を単独で用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。
 カラーフィルタ用組成物は、紫外線吸収剤を含んでも含まなくてもよいが、含む場合、紫外線吸収剤の含有量は、本発明の組成物の全固形分質量に対して、質量換算で、0.01%以上10%以下であることが好ましく、0.01%以上5%以下であることがより好ましい。
 紫外線吸収剤の含有量がこの範囲未満であると、着色パターンにおける側壁の粗れが悪化し、微細なパターン形状(特に矩形)を精細に形成することができず、この範囲を越えると、感度が低下する。
 また、前記(C)光重合開始剤に対する(E)紫外線吸収剤の比率(E/C)としては、質量基準で0.25~1.25である。比率E/Cは、0.25未満であると、着色パターンにおける側壁の粗れが悪化し、微細なパターン形状(特に矩形)を精細に形成することができず、1.25を超えると、感度が低下する。中でも、比率E/Cは、前記同様の理由から、0.3~1.1の範囲が好ましく、0.4~1.0の範囲がより好ましい。
 更に、本発明の組成物は、(F)アルカリ可溶性樹脂、有機溶剤、界面活性剤などの成分を含むことができる。
<(F)アルカリ可溶性樹脂>
 本発明のカラーフィルタ用組成物(典型的には、着色感放射線性組成物)は、更に(F)アルカリ可溶性樹脂を含有することも好ましい。アルカリ可溶性樹脂を含有することにより、現像性・パターン形成性が向上する。
 アルカリ可溶性樹脂としては、線状有機高分子重合体であってもよく、分子(好ましくは、アクリル系共重合体、スチレン系共重合体を主鎖とする分子)中に少なくとも1つのアルカリ可溶性を促進する基を有するアルカリ可溶性樹脂の中から適宜選択することができる。
 アルカリ可溶性樹脂について説明する。
 アルカリ可溶性樹脂としては、耐熱性の観点からは、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル/アクリルアミド共重合体樹脂が好ましく、現像性制御の観点からは、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル/アクリルアミド共重合体樹脂が好ましい。
 アルカリ可溶性を促進する基(以下、酸基ともいう)としては、例えば、カルボキシル基、リン酸基、スルホン酸基、フェノール性水酸基などが挙げられるが、有機溶剤に可溶で弱アルカリ水溶液により現像可能なものが好ましく、(メタ)アクリル酸が特に好ましいものとして挙げられる。これら酸基は、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。
 前記重合後に酸基を付与しうるモノマーとしては、例えば、2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等の水酸基を有するモノマー、グリシジル(メタ)アクリレート等のエポキシ基を有するモノマー、2-イソシアナートエチル(メタ)アクリレート等のイソシアネート基を有するモノマー等が挙げられる。これら酸基を導入するための単量体は、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。アルカリ可溶性バインダーに酸基を導入するには、例えば、酸基を有するモノマー及び/又は重合後に酸基を付与しうるモノマー(以下「酸基を導入するための単量体」と称することもある。)を、単量体成分として重合するようにすればよい。なお、重合後に酸基を付与しうるモノマーを単量体成分として酸基を導入する場合には、重合後に例えば後述するような酸基を付与するための処理が必要となる。
 アルカリ可溶性樹脂の製造には、例えば、公知のラジカル重合法による方法を適用することができる。ラジカル重合法でアルカリ可溶性樹脂を製造する際の温度、圧力、ラジカル開始剤の種類及びその量、溶媒の種類等々の重合条件は、当業者において容易に設定可能であり、実験的に条件を定めるようにすることもできる。
 アルカリ可溶性樹脂としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマーが好ましく、このようなポリマーとしては、特開2012-162684号公報段落0253等の記載を参酌でき、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
 アルカリ可溶性樹脂としては、下記一般式(ED)で表される化合物(以下、適宜「エーテルダイマーとも称する。)に由来する繰り返し単位を有する樹脂(a)を含有することが好ましい。
 樹脂(a)を用いることにより、本発明における組成物は、PCD依存性を良好なものにできる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000022
 一般式(ED)中、R及びRは、それぞれ独立して、水素原子又は炭化水素基を表す。
 一般式(ED)中、R及びRで表される炭化水素基は、炭素数1~25の炭化水素基であることが好ましい。
 また、上記炭化水素基は、置換基を有していてもよい。
 上記炭化水素基としては、特に制限はないが、例えば、メチル、エチル、n-プロピル、イソプロピル、n-ブチル、イソブチル、t-ブチル、t-アミル、ステアリル、ラウリル、2-エチルヘキシル等の直鎖状又は分岐状のアルキル基;フェニル等のアリール基;シクロヘキシル、t-ブチルシクロヘキシル、ジシクロペンタジエニル、トリシクロデカニル、イソボルニル、アダマンチル、2-メチル-2-アダマンチル等の脂環式基;1-メトキシエチル、1-エトキシエチル等のアルコキシで置換されたアルキル基;ベンジル等のアリール基で置換されたアルキル基;等が挙げられる。これらの中でも特に、メチル、エチル、シクロヘキシル、ベンジル等のような酸や熱で脱離しにくい1級又は2級炭素の置換基が耐熱性の点で好ましい。
 前記エーテルダイマーの具体例としては、特開2012-162684号公報段落0257等の記載を参酌でき、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
 樹脂(a)を得るための単量体中におけるエーテルダイマーの割合は、特に制限されないが、全単量体成分中、2~60質量%が好ましく、より好ましくは5~55質量%、更に好ましくは5~50質量%である。
 樹脂(a)は、エーテルダイマーと共に、その他の単量体を共重合させた共重合体であってもよい。
 エーテルダイマーと共に共重合しうるその他の単量体としては、例えば、酸基を導入するための単量体、ラジカル重合性二重結合を導入するための単量体、エポキシ基を導入するための単量体、及び、これら以外の他の共重合可能な単量体が挙げられる。このような単量体は、1種のみを用いてもよいし、2種以上を用いてもよい。
 酸基を導入するための単量体としては、例えば、(メタ)アクリル酸やイタコン酸等のカルボキシル基を有するモノマー、N-ヒドロキシフェニルマレイミド等のフェノール性水酸基を有するモノマー、無水マレイン酸、無水イタコン酸等のカルボン酸無水物基を有するモノマー等が挙げられる。これらの中でも特に、(メタ)アクリル酸が好ましい。
 また、酸基を導入するための単量体は、重合後に酸基を付与しうる単量体であってもよく、例えば、2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等の水酸基を有する単量体、グリシジル(メタ)アクリレート等のエポキシ基を有する単量体、2-イソシアナートエチル(メタ)アクリレート等のイソシアネート基を有する単量体等が挙げられる。ラジカル重合性二重結合を導入するための単量体を用いる場合、重合後に酸基を付与しうる単量体を用いる場合、重合後に酸基を付与する処理を行う必要がある。重合後に酸基を付与する処理は、単量体の種類によって異なり、例えば、次の処理が挙げられる。水酸基を有する単量体を用いる場合であれば、例えば、コハク酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、マレイン酸無水物等の酸無水物を付加させる処理が挙げられる。エポキシ基を有する単量体を用いる場合であれば、例えば、N-メチルアミノ安息香酸、N-メチルアミノフェノール等のアミノ基と酸基を有する化合物を付加させか、又は、例えば(メタ)アクリル酸のような酸を付加させた後に生じた水酸基に、例えば、コハク酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、マレイン酸無水物等の酸無水物を付加させる処理が挙げられる。イソシアネート基を有する単量体を用いる場合であれば、例えば、2-ヒドロキシ酪酸等の水酸基と酸基を有する化合物を付加させる処理が挙げられる。
 樹脂(a)を得るための単量体が、酸基を導入するための単量体を含む場合、その含有割合は、特に制限されないが、全単量体成分中、5~70質量%が好ましく、より好ましくは10~60質量%である。
 ラジカル重合性二重結合を導入するための単量体としては、例えば、例えば、(メタ)アクリル酸、イタコン酸等のカルボキシル基を有するモノマー;無水マレイン酸、無水イタコン酸等のカルボン酸無水物基を有するモノマー;グリシジル(メタ)アクリレート、3,4-エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、o-(又はm-、又はp-)ビニルベンジルグリシジルエーテル等のエポキシ基を有するモノマー;等が挙げられる。ラジカル重合性二重結合を導入するための単量体を用いる場合、重合後にラジカル重合性二重結合を付与するための処理を行う必要がある。重合後にラジカル重合性二重結合を付与するための処理は、用いるラジカル重合性二重結合を付与しうるモノマーの種類によって異なり、例えば、次の処理が挙げられる。(メタ)アクリル酸やイタコン酸等のカルボキシル基を有するモノマーを用いる場合であれば、グリシジル(メタ)アクリレート、3,4-エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、o-(又はm-、又はp-)ビニルベンジルグリシジルエーテル等のエポキシ基とラジカル重合性二重結合とを有する化合物を付加させる処理が挙げられる。無水マレイン酸や無水イタコン酸等のカルボン酸無水物基を有するモノマーを用いる場合であれば、2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等の水酸基とラジカル重合性二重結合とを有する化合物を付加させる処理が挙げられる。グリシジル(メタ)アクリレート、3,4-エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、o-(又はm-、又はp-)ビニルベンジルグリシジルエーテル等のエポキシ基を有するモノマーを用いる場合であれば、(メタ)アクリル酸等の酸基とラジカル重合性二重結合とを有する化合物を付加させる処理が挙げられる。
 樹脂(a)を得るための単量体が、ラジカル重合性二重結合を導入するための単量体を含む場合、その含有割合は、特に制限されないが、全単量体成分中、5~70質量%が好ましく、より好ましくは10~60質量%である。
 エポキシ基を導入するための単量体としては、例えば、グリシジル(メタ)アクリレート、3,4-エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、o-(又はm-、又はp-)ビニルベンジルグリシジルエーテル等が挙げられる。
 樹脂(a)を得るための単量体が、エポキシ基を導入するための単量体を含む場合、その含有割合は、特に制限されないが、全単量体成分中、5~70質量%が好ましく、より好ましくは10~60質量%である。
 他の共重合可能な単量体としては、例えば、特開2012-046629号公報段落0328等の記載を参酌でき、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
 樹脂(a)を得るための単量体が、他の共重合可能な単量体を含む場合、その含有割合は特に制限されないが、95質量%以下が好ましく、85質量%以下であるのがより好ましい。
 樹脂(a)の重量平均分子量は、特に制限されないが、着色感放射線性組成物の粘度、及び該組成物により形成される塗膜の耐熱性の観点から、好ましくは2000~200000、より好ましくは5000~100000であり、更に好ましくは5000~20000である。
 また、樹脂(a)が酸基を有する場合には、酸価が、好ましくは30~500mgKOH/g、より好ましくは50~400mgKOH/gであるのがよい。
 樹脂(a)は、少なくとも、エーテルダイマーを必須とする前記の単量体を重合することにより、容易に得ることができる。このとき、重合と同時にエーテルダイマーの環化反応が進行してテトラヒドロピラン環構造が形成される。
 樹脂(a)の合成に適用される重合方法としては、特に制限はなく、従来公知の各種重合方法を採用することができるが、特に、溶液重合法によることが好ましい。詳細には、例えば、特開2004-300204号公報に記載される樹脂(a)の合成方法に準じて、樹脂(a)を合成することができる。
 以下、樹脂(a)の例示化合物を示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。下記に示す例示化合物の組成比はモル%である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000023
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000024
 これらのアルカリ可溶性樹脂の中で好適なものとしては、特に、ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体やベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸/他ノモノマーカラナル多元共重合体が含まれる。この他、2-ヒドロキシエチルメタクリレートを共重合したもの、特開平7-140654号公報に記載の、2-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体、2-ヒドロキシ-3-フェノキシプロピルアクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体、2-ヒドロキシエチルメタクリレート/ポリスチレンマクロモノマー/メチルメタクリレート/メタクリル酸共重合体、2-ヒドロキシエチルメタクリレート/ポリスチレンマクロモノマー/ベンジルメタクレート/メタクリル酸共重合体などが挙げられる。
 また、本発明における組成物の架橋効率を向上させるために、重合性基を有したアルカリ可溶性樹脂を使用してもよい。
 重合性基を有したアルカリ可溶性樹脂としては、アリル基、(メタ)アクリル基、アリルオキシアルキル基等を側鎖に含有したアルカリ可溶性樹脂等が有用である。これら重合性基を含有するアルカリ可溶性樹脂としては、予めイソシアネート基とOH基を反応させ、未反応のイソシアネート基を1つ残し、かつ(メタ)アクリロイル基を含む化合物とカルボキシル基を含むアクリル樹脂との反応によって得られるウレタン変性した重合性二重結合含有アクリル樹脂、カルボキシル基を含むアクリル樹脂と分子内にエポキシ基及び重合性二重結合を共に有する化合物との反応によって得られる不飽和基含有アクリル樹脂、酸ペンダント型エポキシアクリレート樹脂、OH基を含むアクリル樹脂と重合性二重結合を有する2塩基酸無水物を反応させた重合性二重結合含有アクリル樹脂、OH基を含むアクリル樹脂とイソシアネートと重合性基を有する化合物を反応させた樹脂、特開2002-229207号公報及び特開2003-335814号公報に記載されるα位又はβ位にハロゲン原子或いはスルホネート基などの脱離基を有するエステル基を側鎖に有する樹脂を塩基性処理を行うことで得られる樹脂などが好ましい。
 アルカリ可溶性樹脂の酸価としては好ましくは30mgKOH/g~200mgKOH/g、より好ましくは50mgKOH/g~150mgKOH/gであることが好ましく、70~120mgKOH/gであることが最も好ましい。
 また、アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量(Mw)としては、2,000~50,000が好ましく、5,000~30,000が更に好ましく、7,000~20,000が最も好ましい。
 アルカリ可溶性樹脂のカラーフィルタ用組成物中における含有量としては、該組成物の全固形分に対して、1~15質量%が好ましく、より好ましくは、2~12質量%であり、特に好ましくは、3~10質量%である。
<(G)有機溶剤>
 本発明の組成物(典型的には、着色感放射線性組成物)は、(G)有機溶剤を含有することが好ましい。
 (G)有機溶剤の例としては、例えば、以下のものが挙げられる。
 エステル類として、例えば、酢酸エチル、酢酸-n-ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸アルキル(例えば、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル(例えば、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル等))、3-オキシプロピオン酸アルキルエステル類(例えば、3-オキシプロピオン酸メチル、3-オキシプロピオン酸エチル等(例えば、3-メトキシプロピオン酸メチル、3-メトキシプロピオン酸エチル、3-エトキシプロピオン酸メチル、3-エトキシプロピオン酸エチル等))、2-オキシプロピオン酸アルキルエステル類(例:2-オキシプロピオン酸メチル、2-オキシプロピオン酸エチル、2-オキシプロピオン酸プロピル等(例えば、2-メトキシプロピオン酸メチル、2-メトキシプロピオン酸エチル、2-メトキシプロピオン酸プロピル、2-エトキシプロピオン酸メチル、2-エトキシプロピオン酸エチル))、2-オキシ-2-メチルプロピオン酸メチル及び2-オキシ-2-メチルプロピオン酸エチル(例えば、2-メトキシ-2-メチルプロピオン酸メチル、2-エトキシ-2-メチルプロピオン酸エチル等)、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2-オキソブタン酸メチル、2-オキソブタン酸エチル等、並びに、エーテル類として、例えば、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート等、並びに、ケトン類として、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2-ヘプタノン、3-ヘプタノン等、並びに、芳香族炭化水素類として、例えば、トルエン、キシレン等が好適に挙げられる。
 有機溶剤は、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
 有機溶剤を2種以上組みあわせて用いる場合、特に好ましくは、上記の3-エトキシプロピオン酸メチル、3-エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、3-メトキシプロピオン酸メチル、2-ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、及びプロピレングリコールメチルエーテルアセテートから選択される2種以上で構成される混合溶液である。
 カラーフィルタ用組成物に含まれる有機溶剤の量としては、組成物の全量に対し、10質量%~90質量%であることが好ましく、20質量%~80質量%であることがより好ましく、25質量%~75質量%であることが更に好ましい。
<増感剤>
 本発明のカラーフィルタ用組成物(典型的には、着色感放射線性組成物)は、重合開始剤の開始種の発生効率の向上や感光波長の長波長化の目的で、増感剤を含有してもよい。増感剤としては、300nm~450nmの波長領域に吸収波長を有する増感剤が挙げられる。
 増感剤としては、例えば、フェナントレン、アントラセン、ピレン、ペリレン、トリフェニレン、9,10-ジアルコキシアントラセンのような多核芳香族類、フルオレッセイン、エオシン、エリスロシン、ローダミンB、ローズベンガルのようなキサンテン類、チオキサントン類、シアニン類、メロシアニン類、フタロシアニン類、チオニン、メチレンブルー、トルイジンブルーのようなチアジン類、アクリジン類、アントラキノン類、スクアリウム類、クマリン類、フェノチアジン類、フェナジン類、スチリルベンゼン類、アゾ化合物、ジフェニルメタン、トリフェニルメタン、ジスチリルベンゼン類、カルバゾール類、ポルフィリン、スピロ化合物、キナクリドン、インジゴ、スチリル、ピリリウム化合物、ピロメテン化合物、ピラゾロトリアゾール化合物、ベンゾチアゾール化合物、バルビツール酸誘導体、チオバルビツール酸誘導体、アセトフェノン、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトンなどの芳香族ケトン化合物、N-アリールオキサゾリジノンなどのヘテロ環化合物などが挙げられる。
<連鎖移動剤>
 本発明のカラーフィルタ用組成物(典型的には、着色感放射線性組成物)には、用いる光重合開始剤によっては、連鎖移動剤を加えると好ましい。連鎖移動剤としては、N,N-ジアルキルアミノ安息香酸アルキルエステルやチオール系化合物があげられ、チオール系化合物としては、2-メルカプトベンゾチアゾール、2-メルカプト-1-フェニルベンズイミダゾール、3-メルカプトプロピオン酸、などを単独又は2種以上混合して使用することができる。
<重合禁止剤>
 本発明におけるカラーフィルタ用組成物(典型的には、着色感放射線性組成物)においては、該着色感放射線性組成物の製造中又は保存中において、重合性化合物の不要な熱重合を阻止するために、少量の重合禁止剤を添加することが望ましい。
 本発明に用いうる重合禁止剤としては、ハイドロキノン、p-メトキシフェノール、ジ-t-ブチル-p-クレゾール、ピロガロール、t-ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’-チオビス(3-メチル-6-t-ブチルフェノール)、2,2’-メチレンビス(4-メチル-6-t-ブチルフェノール)、N-ニトロソフェニルヒドロキシアミン第一セリウム塩等が挙げられる。中でも、p-メトキシフェノールが好ましい。
 重合禁止剤の添加量は、組成物の質量に対して、約0.01質量%~約5質量%が好ましい。
<基板密着剤>
 更に、本発明においては、基板密着性を向上させうる基板密着剤を、カラーフィルタ用組成物(典型的には、着色感放射線性組成物)に加えてもよい。
 基板密着剤としては、シラン系カップリング剤、チタネート系カップリング剤、アルミニウム系カップリング剤を用いることが好ましい。シラン系カップリング剤としては、例えば、γ-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ-メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ-アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ-アクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ-メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ-アミノプロピルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、等が挙げられる。中でも、基板密着剤としては、γ-メタクリロキシプロピルトリメトキシシランが好ましい。
 基板密着剤の含有量は、カラーフィルタ用組成物を露光、現像した際に、未露光部に残渣が残らないようにする観点から、本発明のカラーフィルタ用組成物の全固形分に対して、0.1質量%以上30質量%以下であることが好ましく、0.5質量%以上20質量%以下であることがより好ましく、1質量%以上10質量%以下であることが特に好ましい。
<界面活性剤>
 本発明のカラーフィルタ用組成物(典型的には、着色感放射線性組成物)には、塗布性をより向上させる観点から、各種の界面活性剤を添加してもよい。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用できる。
 特に、カラーフィルタ用組成物は、フッ素系界面活性剤を含有することで、塗布液として調製したときの液特性(特に、流動性)がより向上することから、塗布厚の均一性や省液性をより改善することができる。
 即ち、フッ素系界面活性剤を含有する組成物を適用した塗布液を用いて膜形成する場合においては、被塗布面と塗布液との界面張力を低下させることにより、被塗布面への濡れ性が改善され、被塗布面への塗布性が向上する。このため、少量の液量で数μm程度の薄膜を形成した場合であっても、厚みムラの小さい均一厚の膜形成をより好適に行える点で有効である。
 フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、3質量%~40質量%が好適であり、より好ましくは5質量%~30質量%であり、特に好ましくは7質量%~25質量%である。フッ素含有率がこの範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性や省液性の点で効果的であり、組成物中における溶解性も良好である。
 フッ素系界面活性剤としては、例えば、メガファックF171、同F172、同F173、同F176、同F177、同F141、同F142、同F143、同F144、同R30、同F437、同F475、同F479、同F482、同F554、同F780、同F781(以上、DIC(株)製)、フロラードFC430、同FC431、同FC171(以上、住友スリーエム(株)製)、サーフロンS-382、同SC-101、同SC-103、同SC-104、同SC-105、同SC1068、同SC-381、同SC-383、同S393、同KH-40(以上、旭硝子(株)製)等が挙げられる。
 ノニオン系界面活性剤として具体的には、グリセロール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン並びにそれらのエトキシレート及びプロポキシレート(例えば、グリセロールプロポキシレート、グリセリンエトキシレート等)、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル(BASF社製のプルロニックL10、L31、L61、L62、10R5、17R2、25R2、テトロニック304、701、704、901、904、150R1、ソルスパース20000(日本ルーブリゾール(株)製)等が挙げられる。
 カチオン系界面活性剤として具体的には、フタロシアニン誘導体(商品名:EFKA-745、森下産業(株)製)、オルガノシロキサンポリマーKP341(信越化学工業(株)製)、(メタ)アクリル酸系(共)重合体ポリフローNo.75、No.90、No.95(共栄社化学(株)製)、W001(裕商(株)製)等が挙げられる。
 アニオン系界面活性剤として具体的には、W004、W005、W017(裕商(株)社製)等が挙げられる。
 シリコーン系界面活性剤としては、例えば、トーレシリコーンDC3PA、トーレシリコーンSH7PA、トーレシリコーンDC11PA、トーレシリコーンSH21PA、トーレシリコーンSH28PA、トーレシリコーンSH29PA、トーレシリコーンSH30PA、トーレシリコーンSH8400(以上、東レ・ダウコーニング(株)製)、TSF-4440、TSF-4300、TSF-4445、TSF-4460、TSF-4452(以上、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製)、KP341、KF6001、KF6002(以上、信越シリコーン株式会社製)、BYK307、BYK323、BYK330(以上、ビックケミー社製)等が挙げられる。
 界面活性剤は、1種のみを用いてもよいし、2種類以上を組み合わせてもよい。
 界面活性剤の添加量は、カラーフィルタ用組成物の全固形分に対して、0.001質量%~2.0質量%が好ましく、より好ましくは0.005質量%~1.0質量%である。
<その他成分>
 本発明におけるカラーフィルタ用組成物(典型的には、着色感放射線性組成物)には、必要に応じて、N,N-ジアルキルアミノ安息香酸アルキルエステルや2-メルカプトベンゾチアゾールなどの連鎖移動剤、アゾ系化合物や過酸化物系化合物などの熱重合開始剤、熱重合成分、膜の強度、感度を高める目的で多官能チオールやエポキシ化合物、アルコキシベンゾフェノン等の紫外線吸収剤、ジオクチルフタレートなどの可塑剤、低分子量有機カルボン酸などの現像性向上剤、その他充填剤、上記の特定バインダーやアルカリ可溶性樹脂以外の高分子化合物、酸化防止剤、凝集防止剤などの各種添加物を含有することができる。
 また、現像後に後加熱で膜の硬化度を上げるために熱硬化剤を添加することができる。熱硬化剤としては、アゾ化合物、過酸化物等の熱重合開始剤、ノボラック樹脂、レゾール樹脂、エポキシ化合物、スチレン化合物等があげられる。
 本発明のカラーフィルター組成物は、膜厚0.5μmの膜を形成した際に、前記膜の厚み方向の光透過率の、波長400~650nmの範囲における最大値が20%以下であり、前記膜の厚み方向の光透過率の、波長800nm~1300nmの範囲における最小値が80%以上であることが好ましい。
 上記光透過率に関する要件は、どのような手段によって達成されても良いが、例えば、近赤外透過黒色色材の種類及び含有量を調整することにより(より具体的には、近赤外透過黒色色材の種類及び含有量を、上記した好ましいものとすることにより)、上記光透過率の条件を好適に達成できる。
 また、本発明のカラーフィルター組成物は、膜厚0.5μmの膜を形成した際に、前記膜の厚み方向の光透過率の、波長400~630nmの範囲における標準偏差が6.0以下であることが好ましく、4.0以下であることがより好ましく、3.0以下であることが特に好ましい。
 上記光透過率に関する要件は、どのような手段によって達成されても良いが、例えば、近赤外透過黒色色材として、ビスベンゾフラノン系顔料を使用するとともに、膜中の顔料濃度が20~80質量%、より好ましくは40~80質量%、特に好ましくは50~80質量%とすることにより、好適に達成し得る。
 また、上記したように、近赤外透過黒色色材を、着色剤(B)としての有彩色の着色剤と組み合わせ使用することにより、上記標準偏差をより低下させることができる。
〔着色感放射線性組成物の調製〕
 本発明におけるカラーフィルタ用組成物は、上記した近赤外透過黒色色材(近赤外透過黒色色材が近赤外透過黒色顔料である場合、顔料分散液を予め調製し使用することが好ましい)、光重合開始剤、重合性化合物、及び必要によって紫外線吸収剤、アルカリ可溶性樹脂、界面活性剤等の各成分と共に、攪拌混合し、必要によって、下記のようなろ過を施して、着色感放射線性組成物を調製することができる。
 本発明における着色感放射線性組成物は、異物の除去や欠陥の低減などの目的で、フィルタで濾過することが好ましい。従来からろ過用途等に用いられているものであれば特に限定されることなく用いることができる。例えば、PTFE(ポリテトラフルオロエチレン)等のフッ素樹脂、ナイロン-6、ナイロン-6,6等のポリアミド系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン樹脂(高密度、超高分子量を含む)等によるフィルタが挙げられる。これら素材の中でもポリプロピレン(高密度ポリプロピレンを含む)が好ましい。
 フィルタの孔径は、0.01~7.0μm程度が適しており、好ましくは0.01~2.5μm程度、更に好ましくは0.01~2.0μm程度である。この範囲とすることにより、後工程において均一及び平滑な着色感放射線性組成物の調製を阻害する、微細な異物を確実に除去することが可能となる。
 フィルタを使用する際、異なるフィルタを組み合わせてもよい。その際、第1のフィルタでのフィルタリングは、1回のみでもよいし、2回以上行ってもよい。
 また、上述した範囲内で異なる孔径の第1のフィルタを組み合わせてもよい。ここでの孔径は、フィルタメーカーの公称値を参照することができる。市販のフィルタとしては、例えば、日本ポール株式会社、アドバンテック東洋株式会社、日本インテグリス株式会社(旧日本マイクロリス株式会社)又は株式会社キッツマイクロフィルタ等が提供する各種フィルタの中から選択することができる。
 第2のフィルタは、上述した第1のフィルタと同様の材料等で形成されたものを使用することができる。
 例えば、第1のフィルタでのフィルタリングは、分散液のみで行い、他の成分を混合した後で、第2のフィルタリングを行ってもよい。
〔着色感放射線性組成物による赤外線透過フィルタの製造〕
 次に、本発明の赤外線透過フィルタ及びその製造方法について説明する。
 本発明の赤外線透過フィルタは、上述の本発明のカラーフィルタ用組成物より形成されるものであるが、基板上に、本発明のカラーフィルタ用組成物(好ましくは着色感放射線性組成物)を用いてなる着色領域(着色パターン)(好ましくは、黒色領域(黒色パターン))を有することが好ましい。
 以下、本発明の赤外線透過フィルタについて、その製造方法(本発明の赤外線透過フィルタの製造方法)を通じて詳述する。
 本発明の赤外線透過フィルタを構成する着色画素の形成方法は、上記した着色感放射線性組成物を調製してフォトリソ法で設ける方法、あるいは上記した着色感放射線性組成物を調製し、インクジェット法で設ける方法等の方法が採用できる。
 これらの中でも、着色感放射線性組成物を調製してフォトリソ法で設ける方法が、微細なパターンを任意の形状に設けることが容易であり好ましい態様である。
 以下に、着色感放射線性組成物を調製して、フォトリソ法で各着色画素を設ける方法により、固体撮像素子用途の赤外線透過フィルタを作製する方法について述べるが、本発明の赤外線透過フィルタはこれに限定されるものではない。
 本発明の赤外線透過フィルタの製造方法は、上述した着色感放射線性組成物を基板上に付与して赤外線透過組成物層(着色層)を形成する工程(着色層形成工程)と、前記赤外線透過組成物層をパターン状に露光する工程(露光工程)と、露光後の前記赤外線透過組成物層を現像してパターンを形成する工程(現像工程)とを含むことを特徴とする。
<着色層形成工程>
 着色層形成工程では、基板体上に、着色感放射線性組成物を塗布して該着色感放射線性組成物からなる着色層(赤外線透過組成物層)を形成する。
 本工程に用いうる基板としては、例えば、固体撮像素子に用いられるCCD、CMOS有機CMOSにおける光電変換素子基板、シリコン基板等や、液晶表示装置等に用いられる無アルカリガラス、ソーダガラス、パイレックス(登録商標)ガラス、石英ガラス、及びこれらに透明導電膜を付着させたもの等が挙げられる。これらの基板は、各画素を隔離するブラックマトリクスが形成されている場合もある。
 また、これらの基板上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
 基板上への本発明の着色感放射線性組成物の塗布方法としては、スリット塗布、インクジェット法、回転塗布、流延塗布、ロール塗布、スクリーン印刷法等の各種の塗布方法を適用することができる。
 基板上に塗布された着色層(赤外線透過組成物層)の乾燥(プリベーク)は、ホットプレート、オーブン等で50℃~140℃の温度で10秒~300秒で行うことができる。
 着色層の乾燥後(プリベーク後)の膜厚としては、0.55μm~1.8μmの範囲であり、0.60μm以上1.8μm未満が好ましく、0.70μm以上1.6μm以下がより好ましく、0.80μm以上1.4μm以下が特に好ましい。
<露光工程>
 露光工程では、前記着色層形成工程において形成された着色層(赤外線透過組成物層)を、パターン状に露光する。
 本工程における露光においては、着色層の露光は、所定のマスクパターンを介して露光し、光照射された着色層部分だけを硬化させることによりことにより行うことが好ましい。露光に際して用いることができる放射線としては、特に、g線、h線、i線等の放射線が好ましく用いられ、特にi線が好ましい。照射量は30mJ/cm~1500mJ/cmが好ましく、50mJ/cm~1000mJ/cmがより好ましく、80mJ/cm~500mJ/cmが最も好ましい。
<現像工程>
 露光工程に次いで、アルカリ現像処理(現像工程)を行うことにより、露光後の未硬化部を現像液に溶出させ、光硬化した部分を残存させる。この現像工程により、着色画素からなるパターン状皮膜を形成することができる。
 現像方式は、デイップ方式、シャワー方式、スプレー方式、パドル方式などいずれでもよく、これらにスウィング方式、スピン方式、超音波方式などを組み合わせてもよい。
 現像液に触れる前に、被現像面を予め水等で湿しておいて、現像むらを防ぐこともできる。
 現像液としては、下地の回路などにダメージを起さない、有機アルカリ現像液が望ましい。現像温度としては、通常20℃~30℃であり、現像時間は20~90秒である。
 現像液が含むアルカリ剤としては、例えば、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8-ジアザビシクロ-[5、4、0]-7-ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム等の無機化合物等が挙げられる。
 現像液としては、これらのアルカリ剤を濃度が0.001質量%~10質量%、好ましくは0.01質量%~1質量%となるように、純水で希釈したアルカリ性水溶液が好ましく使用される。なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に現像後、純水で洗浄(リンス)して余剰の現像液を洗浄除去し、乾燥を施す。
 なお、本発明の製造方法においては、上述した、着色層形成工程、露光工程、及び現像工程を行った後に、必要により、形成された着色パターンを後加熱(ポストベーク)や後露光により硬化する硬化工程を含んでいてもよい。ポストベークは、硬化を完全なものとするための現像後の加熱処理であり、通常100℃~270℃の熱硬化処理を行う。
 光を用いる場合には、g線、h線、i線、KrFやArFなどのエキシマレーザ、電子線、X線等により行うことができるが、既存の高圧水銀灯で20~50℃程度の低温で行うことが好ましく、照射時間としては、10秒~180秒、好ましくは30秒~60秒である。後露光と後加熱との併用の場合、後露光を先に実施することが好ましい。
 以上説明した、着色層形成工程、露光工程、及び現像工程(更に、必要により硬化工程)を行うことにより、赤外線透過フィルタが作製される。
 なお、本発明の特定の分光特性を示す着色画素だけで赤外線透過フィルタを構成してもよいし、上記した分光特性を示す着色画素と、赤、緑、青、マゼンタ、黄、シアン、黒、無色等の着色画素とを有するカラーフィルタを構成してもよい。他の色の画素と共にカラーフィルタを構成する場合は、本発明の特定の分光特性を示す着色画素を先に設けても、後から設けてもよい。
 本発明における着色感放射線性組成物は、例えば、塗布装置吐出部のノズル、塗布装置の配管部、塗布装置内等に付着した場合でも、公知の洗浄液を用いて容易に洗浄除去することができる。この場合、より効率の良い洗浄除去を行うためには、着色感放射線性組成物に含まれる有機溶剤として前掲した有機溶剤を洗浄液として用いることが好ましい。
 また、特開平7-128867号公報、特開平7-146562号公報、特開平8-278637号公報、特開2000-273370号公報、特開2006-85140号公報、特開2006-291191号公報、特開2007-2101号公報、特開2007-2102号公報、特開2007-281523号公報などに記載の洗浄液も、本発明の着色感放射線性組成物の洗浄除去用の洗浄液として好適に用いることができる。
 洗浄液としては、アルキレングリコールモノアルキルエーテルカルボキシレート、又はアルキレングリコールモノアルキルエーテルを用いることが好ましい。
 洗浄液として用いうるこれら有機溶剤は、単独で用いても2種以上を混合して用いてもよい。
 有機溶剤2種以上を混合する場合、水酸基を有する有機溶剤と水酸基を有しない有機溶剤とを混合してなる混合溶剤が好ましい。水酸基を有する有機溶剤と水酸基を有しない有機溶剤との質量比は、1/99~99/1、好ましくは10/90~90/10、更に好ましくは20/80~80/20である。混合溶剤としては、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)とプロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)の混合溶剤で、その比率が60/40であることが特に好ましい。
 なお、着色感放射線性組成物に対する洗浄液の浸透性を向上させるために、洗浄液には、着色感放射線性組成物が含有しうる界面活性剤として前掲した界面活性剤を添加してもよい。
 また、本発明の赤外線透過フィルタの製造方法によって製造された本発明の赤外線透過フィルタは、CCDセンサ、CMOSセンサ、有機CMOSセンサ、CIGSイメージセンサ等の固体撮像素子に好適に搭載されることができる。特に100万画素を超えるような高解像度のCCDセンサ、CMOSセンサ、有機CMOSセンサの固体撮像素子に搭載されることが好適である。本発明の赤外線透過フィルタは、例えば、CCD素子を構成する各画素の受光部と集光するためのマイクロレンズとの間に配置されることができる。
[赤外線センサー]
 本発明の赤外線センサーは、本発明の赤外線透過フィルタを備える。本発明の赤外線センサーの構成としては、赤外線透過フィルタが備えられた構成であり、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。
 基板上に、固体撮像素子(CCDセンサ、CMOSセンサ、有機CMOSセンサ等)の受光エリアを構成する複数のフォトダイオード及びポリシリコン等からなる転送電極を有し、前記フォトダイオード及び前記転送電極上にフォトダイオードの受光部のみ開口したタングステン等からなる遮光膜を有し、遮光膜上に遮光膜全面及びフォトダイオード受光部を覆うように形成された窒化シリコン等からなるデバイス保護膜を有し、前記デバイス保護膜上に、本発明の赤外線透過フィルタを有する構成である。
 更に、前記デバイス保護層上であって赤外線透過フィルタの下(基板に近い側)に集光手段(例えば、マイクロレンズ等。以下同じ)を有する構成や、赤外線透過フィルタ上に集光手段を有する構成等であってもよい。
 なお、有機CMOSセンサは、光電変換層として薄膜のパンクロ感光性有機光電変換膜とCMOS信号読み出し基板を含んで構成され、光を捕捉しそれを電気信号に変換する役割を有機材料が担い、電気信号を外部に取り出す役割を無機材料が担う2層構成のハイブリッド構造であり、原理的には入射光に対して開口率を100%にすることができる。有機光電変換膜は構造フリーの連続膜でCMOS信号読みだし基板上に敷設できるので、高価な微細加工プロセスを必要とせず、画素微細化に適している。
 以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」、「%」は、質量基準である。
〔顔料分散液B-1の調製〕
 下記組成の混合液を、0.3mm径のジルコニアビーズを使用して、ビーズミル(減圧機構付き高圧分散機NANO-3000-10(日本ビーイーイー(株)製))で、近赤外透過黒色顔料が表1に示す平均粒径となるまで、混合、分散して、顔料分散液B-1を調製した。
・色材:BASF社製のIRGAPHOR BK      13.0部
・分散剤:下記分散樹脂1                 5.2部
・有機溶剤:プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA)
                            81.8部
〔顔料分散液B-2~B-16の調製〕
 表1に記載の各成分を、表1に記載の量で使用した以外は、上記〔顔料分散液B-1の調製〕と同様の手法により、顔料分散液B-2~B-16を調製した。
 表1において、各成分の後の括弧内に記す数値は、当該成分の使用量(単位:部)を示す。
 なお、近赤外透過黒色顔料を含有しない顔料分散液の調製においては、高圧分散機NANO-3000-10を用いた混合時間を3時間とした。
〔顔料の平均粒子径の測定〕
 顔料分散液B-1~B-3を、日機装(株)製のMICROTRACUPA 150を用い、近赤外透過黒色顔料の平均粒子径(体積基準)を測定した。測定結果を表1に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000025
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000026
 表中の各成分の略号及び略語の内容は、以下の通りである。下記分散樹脂1及び分散樹脂2中、各構造単位に併記される数値(主鎖繰り返し単位に併記される数値)は、当該構造単位のモル比を表す。側鎖の繰り返し部位に併記される数値は、当該繰り返し部位の繰り返し数を示す。
〔近赤外透過黒色色材(A)〕
 前掲のものを使用した。
〔着色剤(B)〕
Lumogen Black FK4280:BASF社製の黒色顔料
Lumogen Black FK4281:BASF社製の黒色顔料
Y139: C.I.Pigment Yellow 139
Y150: C.I.Pigment Yellow 150
R254: C.I.Pigment Red 254
G36: C.I.Pigment Green 36
PV23: C.I.Pigment Violet 23
B15:6: C.I.Pigment Blue 15:6
カーボンブラックMS-10E:三菱化学社製の黒色顔料
〔分散剤関連〕
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000027
分散樹脂3:BASF社製のEFKA4401(アミン基を有する樹脂)
分散樹脂4:特開2009-69822号公報の段落[0172]及び[0173]に記載のアルカリ可溶性樹脂-3
分散樹脂5:ビックケミー社製のDISPERBYK-161
分散樹脂6:ビックケミー社製のDISPERBYK-110
分散剤1:特開2009-69822号公報の段落[0175]に記載の分散剤-1
S12000:ループリゾール社製のソルパース12000
アクリル樹脂1:特開2012-18384号公報の段落[0083]に記載のアクリル樹脂
誘導体1:特開2012-18384号の段落[0090]に記載の顔料誘導体1
(実施例1~10、比較例1~6)
〔着色感放射線性組成物の調製〕
 下表2に記載の成分を下表2に記載の量で混合して、それぞれ、実施例1~10、比較例1~6の着色感放射線性組成物を調製した。表2中における数値は、該当する成分の使用量(単位:質量部)を示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000028
 表2における各成分の内容について以下に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000029
・アルカリ可溶性樹脂2:特開2009-69822号公報の段落[0170]に記載のアルカリ可溶性樹脂-1(エポキシアクリレート樹脂)
・アルカリ可溶性樹脂3:特開2012-18384号公報の段落[0083]に記載のアクリル樹脂
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000030
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000031
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000032
・重合性化合物4:新中村化学社製U-6LPA(ウレタンアクリレート)
・重合性化合物5:日本化薬社製PM-21(2-(メタ)アクリロイロキシエチルカプロエートアシッドホスフェート)
・重合性化合物6:東亜合成社製アロニックスM-402
・A-1(近赤外透過黒色色材(A)):下記式(A-1)で表されるアゾ染料
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000033
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000034
・光重合開始剤2:特開2009-69822号公報の段落〔0177〕に記載の光重合開始剤-1(オキシム系開始剤)
・光重合開始剤3:BASF社製IRGACURE OXE-02
・界面活性剤1:DIC株式会社製Megafac F-781Fの1.00質量%PGMEA溶液
・界面活性剤2:ビックケミージャパン社製のBYK-330の1.00質量%PGMEA溶液
・重合禁止剤:p-メトキシフェノール
・有機溶剤1:プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA)
・有機溶剤2:3-メトキシブチルアセテート
・有機溶剤3:シクロヘキサノン
 得られた各着色感放射線性組成物を用いて、分光特性を評価した。結果をまとめて表3に示す。
〔分光特性〕
 各着色感放射線性組成物を、ガラス基板上に、スピンコートし、ポストベーク後の膜厚が0.5μmとなるように塗布し、100℃、120秒間ホットプレートで乾燥し、乾燥した後、更に、200℃のホットプレートを用いて300秒間加熱処理(ポストベーク)を行った。
 着色層を有する基板の、波長300~1300nmの範囲における光透過率を、紫外可視近赤外分光光度計U-4100(日立ハイテク製)の分光光度計(ref.ガラス基板)を用いて測定した。
(赤外線透過率)
 上記〔分光特性〕に記載の測定方法に基づき、波長800nm~1300nmの範囲における光透過率の最小値Xminを以下の評価基準に基づき評価した。
<評価基準>
 A: 80%≦Xmin
 B: Xmin<80%
(可視光透過率)
 上記〔分光特性〕に記載の測定方法に基づき、波長400nm~650nmの範囲における光透過率の最大値Ymaxを以下の評価基準に基づき評価した。
<評価基準>
 A: Ymax≦20%
 B: 20%<Ymax
 ここで、実施例1~3及び6の着色感放射線性組成物においては、近赤外透過黒色色材の、カラーフィルタ用組成物(ひいては、形成される膜)の全固形分に対する濃度は60質量%である。
 また、実施例1において使用されたIRGAPHOR BKを、比較例で使用された、Lumogen Black FK4280、Lumogen Black FK4281、カーボンブラックMS-10E、C.I.Pigment Black 31、及び、C.I.Pigment Black 32の各々に置き換えた場合(使用量は実施例1におけるIRGAPHOR BKと同量)における上記の波長400nm~650nmの範囲における光透過率の最大値Ymaxは、いずれも、30%を超えるものであった。
(可視光吸光度)
 上記〔分光特性〕に記載の測定方法に基づき、波長400nm~630nmの範囲における吸光度の平均値Zaveを以下の評価基準に基づき評価した。評点が高いほど、可視光吸光度が高く、性能が優れていることを示す。
<評価基準>
 5: 0.90≦Zave
 4: 0.80≦Zave<0.90
 3: 0.75≦Zave<0.80
 2: 0.70≦Zave<0.75
 1:   Zave<0.70
(可視光平坦性)
 上記〔分光特性〕に記載の測定方法に基づき、波長400nm~630nmの範囲における光透過率の標準偏差σを以下の評価基準に基づき評価した。評点が高いほど、標準偏差が小さく、性能が優れていることを示す。なお、標準偏差σは、波長400nm~630nmの範囲における光透過率のデータから、周知の計算ソフト等により容易に計算できるものである。
<評価基準>
 5: 1.0<σ≦2.0
 4: 2.0<σ≦3.0
 3: 3.0<σ≦6.0
 2: 6.0<σ≦10.0
 1: 10.0<σ
 以上の結果を表3に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000035
 比較例の着色感放射線性組成物により形成された比較例の赤外線透過フィルタに比べ、実施例の着色感放射線性組成物により形成された実施例の赤外線透過フィルタは、いずれも、赤外光透過率が高く、可視光透過率が低く、可視光吸光度が高いものとなった。
 よって、実施例の着色感放射線性組成物によれば、可視光成分に由来のノイズが少ない状態で、赤外線(特に近赤外線)を透過できることが分かった。
 また、近赤外透過黒色色材を、吸光度が小さい範囲を補うよう、適切な着色剤と組み合わせて使用した実施例は、可視光平坦性がより向上した。
〔赤外線透過フィルタの作製〕
 実施例1~10の着色感放射線性組成物の各々を、シリコンウェハ上に乾燥後の膜厚が0.5μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、100℃のホットプレートを用いて120秒間加熱処理(プリベーク)を行った。
 次いで、i線ステッパー露光装置FPA-3000i5+(Canon(株)製)を使用して、1.4μm角の正方形ピクセルパターンが形成されるフォトマスクを用いて50~750mJ/cmまで50mJ/cmステップで露光を行うことで、上記正方形ピクセルパターンを解像する最適露光量を決定し、この最適露光量にて露光を行った。
 その後、露光された塗布膜が形成されているシリコンウェハをスピン・シャワー現像機(DW-30型、(株)ケミトロニクス製)の水平回転テーブル上に載置し、CD-2060(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)を用いて23℃で60秒間パドル現像を行い、シリコンウェハ上に着色パターンを形成した。
 着色パターンが形成されたシリコンウェハを純水でリンス処理を行い、その後スプレー乾燥した。
 更に、200℃のホットプレートを用いて300秒間加熱処理(ポストベーク)を行い、それぞれ、実施例1~10の赤外線透過フィルタとしての、着色パターンを有するシリコンウェハを得た。
 以上のようにして形成された実施例1~10の赤外線透過フィルタは、いずれも、赤外光透過率が高く、可視光透過率が低く、可視光吸光度が高いものとなった。
 よって、本発明のカラーフィルタ用組成物によれば、非常に薄くても(例えば厚さが0.5μm)、可視光成分等に由来のノイズが少ない状態で、赤外線(特に近赤外線)を透過可能な赤外線透過フィルタが得られることが分かった。
 本発明によれば、非常に薄くても(例えば厚さが0.5μm)、可視光成分等に由来のノイズが少ない状態で、赤外線(特に近赤外線)を透過可能な赤外線透過フィルタを作成可能なカラーフィルタ用組成物、並びに、これを用いた、赤外線透過フィルタ、赤外線透過フィルタの製造方法、及び、赤外線センサーを提供できる。
 本発明を詳細にまた特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の精神と範囲を逸脱することなく様々な変更や修正を加えることができることは当業者にとって明らかである。
 本出願は、2012年12月27日出願の日本特許出願(特願2012-286367)に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。

Claims (11)

  1.  近赤外透過黒色色材を含有する、カラーフィルタ用組成物。
  2.  更に、光重合開始剤、及び、重合性化合物を含有する、請求項1に記載のカラーフィルタ用組成物。
  3.  前記近赤外透過黒色色材が、ビスベンゾフラノン系顔料、アゾメチン系顔料、ペリレン系顔料、及び、アゾ系染料からなる群より選択される1種以上である、請求項1又は2に記載のカラーフィルタ用組成物。
  4.  膜厚0.5μmの膜を形成した際に、前記膜の厚み方向の光透過率の、波長400~630nmの範囲における標準偏差が6.0以下である、請求項1~3のいずれか1項に記載のカラーフィルタ用組成物。
  5.  前記近赤外透過黒色色材として近赤外透過黒色顔料を含有し、前記近赤外透過黒色顔料の平均粒径が50nm以下である、請求項1~4のいずれか1項に記載のカラーフィルタ用組成物。
  6.  膜厚0.5μmの膜を形成した際に、前記膜の厚み方向の光透過率の、波長400~650nmの範囲における最大値が20%以下であり、前記膜の厚み方向の光透過率の、波長800nm~1300nmの範囲における最小値が80%以上である、請求項1~5のいずれか1項に記載のカラーフィルタ用組成物。
  7.  更に、高分子分散剤を含有する、請求項1~6のいずれかに記載のカラーフィルタ用組成物であって、前記高分子分散剤が、酸価が60mgKOH/g以上の樹脂、アミン基を有する樹脂、及び、オリゴイミン系樹脂からなる群から選ばれる1種以上である、カラーフィルタ用組成物。
  8.  更に、前記近赤外透過黒色色材とは異なる着色剤を含有する、請求項1~7のいずれか1項に記載のカラーフィルタ用組成物。
  9.  請求項1~8のいずれか1項に記載のカラーフィルタ用組成物より形成される赤外線透過フィルタ。
  10.  請求項1~8のいずれか1項に記載のカラーフィルタ用組成物を基板上に付与して、赤外線透過組成物層を形成する工程と、赤外線透過組成物層をパターン状に露光する工程と、露光後の前記赤外線透過組成物層を現像してパターンを形成する工程と、を有する赤外線透過フィルタの製造方法。
  11.  請求項9に記載の赤外線透過フィルタ、又は、請求項10に記載の赤外線透過フィルタの製造方法により得られる赤外線透過フィルタを含有する赤外線センサー。
PCT/JP2013/082477 2012-12-27 2013-12-03 カラーフィルタ用組成物、赤外線透過フィルタ及びその製造方法、並びに赤外線センサー WO2014103628A1 (ja)

Priority Applications (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020187002439A KR101925818B1 (ko) 2012-12-27 2013-12-03 컬러 필터용 조성물, 적외선 투과 필터와 그 제조 방법, 및 적외선 센서
CN201380068182.XA CN104937452A (zh) 2012-12-27 2013-12-03 彩色滤光片用组合物、红外线透过滤光片及其制造方法、以及红外线传感器
EP13869068.0A EP2940495B1 (en) 2012-12-27 2013-12-03 Composition for color filter, infrared transmission filter and method for manufacturing infrared transmission filter, and infrared sensor
SG11201505091XA SG11201505091XA (en) 2012-12-27 2013-12-03 Composition for color filter, infrared transmission filter and production method thereof, and infrared sensor
KR1020157010672A KR101825444B1 (ko) 2012-12-27 2013-12-03 컬러 필터용 조성물, 적외선 투과 필터와 그 제조 방법, 및 적외선 센서
CN201711202708.5A CN107966877B (zh) 2012-12-27 2013-12-03 彩色滤光片用组合物
US14/749,774 US9915765B2 (en) 2012-12-27 2015-06-25 Composition for color filter, infrared transmission filter and production method thereof, and infrared sensor
US15/917,063 US10436959B2 (en) 2012-12-27 2018-03-09 Composition for color filter, infrared transmission filter and production method thereof, and infrared sensor

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012-286367 2012-12-27
JP2012286367A JP6170673B2 (ja) 2012-12-27 2012-12-27 カラーフィルタ用組成物、赤外線透過フィルタ及びその製造方法、並びに赤外線センサー

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
US14/749,774 Continuation US9915765B2 (en) 2012-12-27 2015-06-25 Composition for color filter, infrared transmission filter and production method thereof, and infrared sensor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2014103628A1 true WO2014103628A1 (ja) 2014-07-03

Family

ID=51020722

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2013/082477 WO2014103628A1 (ja) 2012-12-27 2013-12-03 カラーフィルタ用組成物、赤外線透過フィルタ及びその製造方法、並びに赤外線センサー

Country Status (8)

Country Link
US (2) US9915765B2 (ja)
EP (1) EP2940495B1 (ja)
JP (1) JP6170673B2 (ja)
KR (2) KR101925818B1 (ja)
CN (2) CN107966877B (ja)
SG (1) SG11201505091XA (ja)
TW (1) TWI621882B (ja)
WO (1) WO2014103628A1 (ja)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104238269A (zh) * 2014-09-19 2014-12-24 江苏博砚电子科技有限公司 一种感光性树脂组合物及其应用
WO2015046178A1 (ja) * 2013-09-25 2015-04-02 三菱化学株式会社 感光性着色組成物、ブラックマトリクス、着色スペーサー、画像表示装置及び顔料分散液
EP3007230A2 (en) 2014-10-08 2016-04-13 Omnivision Technologies, Inc. Dual-mode image sensor with a signal-separating color filter array, and method for same
WO2016143878A1 (ja) * 2015-03-11 2016-09-15 三菱化学株式会社 着色スペーサー形成用感光性着色組成物、硬化物、着色スペーサー、画像表示装置
CN107430340A (zh) * 2015-03-30 2017-12-01 富士胶片株式会社 着色感光性组合物、固化膜、图案形成方法、带遮光膜的红外光截止滤色器、固体成像元件、图像显示装置及红外传感器
CN107614626A (zh) * 2015-05-22 2018-01-19 富士胶片株式会社 着色组合物、膜、滤色器、图案形成方法、滤色器的制造方法、固体成像元件及红外线传感器
KR20190025007A (ko) * 2016-09-27 2019-03-08 후지필름 가부시키가이샤 드라이 에칭용 조성물, 키트, 패턴 형성 방법 및 광학 필터의 제조 방법
JP2019524904A (ja) * 2016-10-10 2019-09-05 エルジー・ケム・リミテッド インクジェット用赤外線透過インク組成物、それを用いたベゼルパターンの形成方法、これにより製造したベゼルパターン及びそれを含むディスプレイ基板
WO2020031590A1 (ja) * 2018-08-08 2020-02-13 富士フイルム株式会社 組成物、膜、赤外線透過フィルタ、構造体、光センサおよび画像表示装置
US10605969B2 (en) 2014-12-19 2020-03-31 AGC Inc. Optical filter and device using the same
JP2021071507A (ja) * 2019-10-29 2021-05-06 凸版印刷株式会社 赤外パスフィルター、及び固体撮像素子用フィルター、並びに固体撮像素子

Families Citing this family (64)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6170673B2 (ja) * 2012-12-27 2017-07-26 富士フイルム株式会社 カラーフィルタ用組成物、赤外線透過フィルタ及びその製造方法、並びに赤外線センサー
CN106029787B (zh) * 2014-02-19 2018-04-06 大日精化工业株式会社 近红外线反射‑透射性偶氮颜料、近红外线反射‑透射性偶氮颜料的制造方法、使用了这些偶氮颜料的着色剂组合物、物品的着色方法和着色物品
JP6547931B2 (ja) * 2014-10-27 2019-07-24 花王株式会社 着色硬化性樹脂組成物
JP6420646B2 (ja) * 2014-12-02 2018-11-07 花王株式会社 着色硬化性樹脂組成物
KR20170095877A (ko) * 2014-12-18 2017-08-23 카오카부시키가이샤 착색 경화성 수지 조성물
JP6185943B2 (ja) * 2015-02-10 2017-08-23 互応化学工業株式会社 ソルダーレジスト組成物、被覆プリント配線板
JP6645243B2 (ja) 2015-03-19 2020-02-14 Jsr株式会社 硬化性組成物、硬化膜、赤外光透過フィルタ及び固体撮像装置
JP6464850B2 (ja) * 2015-03-19 2019-02-06 Jsr株式会社 硬化性組成物、硬化膜、赤外光透過フィルタ及び固体撮像装置
KR102206015B1 (ko) * 2015-03-27 2021-01-20 동우 화인켐 주식회사 적외선 투과 감광성 수지 조성물
TWI612386B (zh) * 2015-09-10 2018-01-21 奇美實業股份有限公司 彩色濾光片用感光性樹脂組成物及其應用
KR101997878B1 (ko) * 2015-09-21 2019-07-08 주식회사 엘지화학 고온 내열성이 강화된 잉크젯용 자외선 경화 적외선 투과 잉크 조성물
WO2017052131A1 (ko) * 2015-09-21 2017-03-30 주식회사 엘지화학 고온 내열성이 강화된 잉크젯용 자외선 경화 적외선 투과 잉크 조성물
CN108027562B (zh) * 2015-09-30 2019-07-05 东丽株式会社 负型着色感光性树脂组合物、固化膜、元件及显示装置
WO2017057281A1 (ja) * 2015-09-30 2017-04-06 東レ株式会社 ネガ型感光性樹脂組成物、硬化膜、硬化膜を具備する素子及び表示装置、並びにその製造方法
TWI553410B (zh) * 2015-10-08 2016-10-11 新應材股份有限公司 組成物、紅外線透過濾光片及其製造方法以及紅外線感測器
KR102158230B1 (ko) 2016-01-15 2020-09-21 토요잉크Sc홀딩스주식회사 고체 촬상 소자용 근적외선 흡수성 조성물 및 필터
WO2017169763A1 (ja) * 2016-03-30 2017-10-05 東レ株式会社 ネガ型感光性樹脂組成物、硬化膜、硬化膜を具備する表示装置、並びにその製造方法
WO2017208771A1 (ja) * 2016-05-31 2017-12-07 富士フイルム株式会社 組成物、硬化膜、カラーフィルタ、遮光膜、固体撮像装置及び画像表示装置
CN109313296B (zh) * 2016-06-08 2021-05-11 Jsr株式会社 光学滤波器及光学传感装置
JP6985715B2 (ja) * 2016-06-15 2021-12-22 山陽色素株式会社 黒色顔料組成物及びこれを含む黒色塗膜形成組成物
WO2018003808A1 (ja) 2016-06-30 2018-01-04 東レ株式会社 ネガ型感光性樹脂組成物、硬化膜、硬化膜を具備する素子、素子を具備する表示装置、及び有機elディスプレイ
TWI664500B (zh) * 2016-06-30 2019-07-01 奇美實業股份有限公司 黑色感光性樹脂組成物及其應用
JP6629976B2 (ja) 2016-08-18 2020-01-15 富士フイルム株式会社 組成物、硬化膜、赤外線透過フィルタ、固体撮像素子および赤外線センサ
WO2018061525A1 (ja) * 2016-09-30 2018-04-05 東レ株式会社 ネガ型感光性樹脂組成物、硬化膜、硬化膜を具備する素子及び表示装置、並びにその製造方法
KR101973241B1 (ko) * 2016-11-11 2019-04-26 동우 화인켐 주식회사 비스벤조퓨라논 유도체 및 이를 포함하는 흑색 감광성 수지 조성물
WO2018152473A1 (en) * 2017-02-20 2018-08-23 3M Innovative Properties Company Retroreflecting article with contrast reduction layer
JP6738294B2 (ja) * 2017-03-08 2020-08-12 大日精化工業株式会社 着色剤
KR102557109B1 (ko) * 2017-03-29 2023-07-20 도레이 카부시키가이샤 네가티브형 감광성 수지 조성물, 경화막, 경화막을 구비하는 소자 및 유기 el 디스플레이, 그리고 그의 제조 방법
HUE049681T2 (hu) 2017-05-16 2020-10-28 Ndd Medizintechnik Ag Tartóeszköz légzéscsõhöz és eljárás légzõcsõ felületén lévõ kódolás leolvasására
CN110892296B (zh) * 2017-07-26 2022-03-22 Jsr株式会社 红外线透过膜形成用组合物、红外线透过膜的形成方法、显示装置用保护板及显示装置
KR102178853B1 (ko) * 2017-08-18 2020-11-13 주식회사 엘지화학 잉크젯용 적외선 투과 잉크 조성물, 이를 이용한 베젤 패턴의 형성방법, 이에 따라 제조한 베젤 패턴 및 이를 포함하는 디스플레이 기판
JP6923656B2 (ja) * 2017-08-25 2021-08-25 富士フイルム株式会社 光学フィルタおよび光センサ
KR102483100B1 (ko) 2017-09-15 2022-12-30 후지필름 가부시키가이샤 조성물, 막, 적층체, 적외선 투과 필터, 고체 촬상 소자 및 적외선 센서
JP2021012223A (ja) * 2017-10-19 2021-02-04 Jsr株式会社 表示パネル用基板の製造方法、感放射線性組成物及び赤外線透過膜
JP6745777B2 (ja) * 2017-10-27 2020-08-26 大日精化工業株式会社 顔料分散剤、顔料組成物、及び顔料着色剤
JP6723212B2 (ja) * 2017-10-27 2020-07-15 大日精化工業株式会社 顔料分散剤、顔料組成物、及び顔料着色剤
KR102165470B1 (ko) * 2017-10-27 2020-10-14 다이니치 세이카 고교 가부시키가이샤 안료 분산제, 안료 조성물 및 안료 착색제
WO2019111700A1 (ja) * 2017-12-04 2019-06-13 Jsr株式会社 赤外線透過膜形成材、赤外線透過膜及びその形成方法、表示装置用保護板、並びに表示装置
US20210179809A1 (en) * 2018-06-01 2021-06-17 Toray Industries, Inc. Colored resin composition, preparing method for same, near-infrared transmission light shielding film, and decorative substrate
CN108833694B (zh) 2018-06-06 2020-06-26 Oppo广东移动通信有限公司 控制方法、控制装置、电子装置、计算机存储介质及设备
KR102420769B1 (ko) 2018-09-20 2022-07-14 후지필름 가부시키가이샤 경화성 조성물, 경화막, 적외선 투과 필터, 적층체, 고체 촬상 소자, 센서, 및 패턴 형성 방법
KR20200057140A (ko) 2018-11-15 2020-05-26 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
KR102313742B1 (ko) 2018-12-03 2021-10-18 동우 화인켐 주식회사 적외선 투과 감광성 수지 조성물
KR102325069B1 (ko) 2019-02-13 2021-11-11 동우 화인켐 주식회사 적외선 투과 감광성 수지 조성물
JPWO2020262270A1 (ja) 2019-06-27 2020-12-30
EP4024097A4 (en) 2019-08-29 2022-10-05 FUJIFILM Corporation COMPOSITION, FILM, NEAR-INFRARED SEPARATION FILTER, PATTERNING METHOD, LAMINATE, SOLID STATE IMAGING ELEMENT, INFRARED SENSOR, IMAGE DISPLAY DEVICE, CAMERA MODULE AND CONNECTION
WO2021039253A1 (ja) 2019-08-30 2021-03-04 富士フイルム株式会社 組成物、膜、光学フィルタ及びその製造方法、固体撮像素子、赤外線センサ、並びに、センサモジュール
CN114402017A (zh) * 2019-10-07 2022-04-26 住友化学株式会社 着色树脂组合物
JP7451951B2 (ja) 2019-11-14 2024-03-19 Toppanホールディングス株式会社 着色性組成物、赤外線パスフィルター、固体撮像素子用フィルターおよび固体撮像素子
CN111116957A (zh) * 2019-12-31 2020-05-08 宁波大榭开发区综研化学有限公司 一种具有选择性的遮光膜和遮光胶带及其制备方法
WO2021199748A1 (ja) 2020-03-30 2021-10-07 富士フイルム株式会社 組成物、膜及び光センサ
JPWO2021251309A1 (ja) 2020-06-12 2021-12-16
CN115668011A (zh) 2020-08-31 2023-01-31 积水化学工业株式会社 近红外线透射性黑色材料
WO2022044650A1 (ja) * 2020-08-31 2022-03-03 富士フイルム株式会社 着色組成物、光学フィルタの製造方法および固体撮像素子の製造方法
EP4220859A4 (en) 2020-09-28 2024-03-27 Fujifilm Corp METHOD FOR MANUFACTURING LAMINATE, METHOD FOR MANUFACTURING ANTENNA HOUSING, LAMINATE AND COMPOSITION
KR20220055794A (ko) 2020-10-27 2022-05-04 동우 화인켐 주식회사 적외선 투과 감광성 수지 조성물 및 적외선 투과 필터
EP4266094A1 (en) 2020-12-16 2023-10-25 FUJIFILM Corporation Composition, membrane, optical filter, solid image pickup element, image display apparatus, and infrared ray sensor
WO2022130773A1 (ja) 2020-12-17 2022-06-23 富士フイルム株式会社 組成物、膜、光学フィルタ、固体撮像素子、画像表示装置および赤外線センサ
CN113050212A (zh) * 2021-01-12 2021-06-29 苏州群烨新材料科技有限公司 红外带通滤光片、其制备方法及具有其的成像设备
JPWO2022196599A1 (ja) 2021-03-19 2022-09-22
TW202248755A (zh) 2021-03-22 2022-12-16 日商富士軟片股份有限公司 負型感光性樹脂組成物、硬化物、積層體、硬化物的製造方法以及半導體元件
JPWO2022210175A1 (ja) 2021-03-29 2022-10-06
WO2023032545A1 (ja) 2021-08-31 2023-03-09 富士フイルム株式会社 硬化物の製造方法、積層体の製造方法、及び、半導体デバイスの製造方法、並びに、処理液
WO2023054142A1 (ja) 2021-09-29 2023-04-06 富士フイルム株式会社 組成物、樹脂、膜および光センサ

Citations (98)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3615455A (en) 1968-01-12 1971-10-26 Agfa Gevaert Nv Photopolymerization of ethylenically unsaturated organic compounds
JPS4864183A (ja) 1971-12-09 1973-09-05
JPS4841708B1 (ja) 1970-01-13 1973-12-07
JPS4943191B1 (ja) 1969-07-11 1974-11-19
JPS506034B1 (ja) 1970-08-11 1975-03-10
GB1388492A (en) 1971-09-03 1975-03-26 Minnesota Mining & Mfg Chromophore-substituted halomethyl-s-triazines
JPS5137193A (ja) 1974-09-25 1976-03-29 Toyo Boseki
JPS5230490B2 (ja) 1972-03-21 1977-08-09
JPS53128333A (en) 1977-04-15 1978-11-09 Fuji Photo Film Co Ltd Prevention of influences of ultraviolet ray upon photosensitive material of silver halogenide
JPS53133428A (en) 1977-04-25 1978-11-21 Hoechst Ag Radiation sensitive copying constitute
JPS5437082A (en) 1977-07-15 1979-03-19 Ici Ltd Dispersing agent*dispersion liquid containing said agent and paint and ink made from said liquid
US4212976A (en) 1973-06-15 1980-07-15 Merck & Co., Inc. 3,4α-Di-O-derivatives of mercaptomethylpyridine and pyridylmethyldisulfide
JPS576096B2 (ja) 1977-11-28 1982-02-03
DE3337024A1 (de) 1983-10-12 1985-04-25 Hoechst Ag, 6230 Frankfurt Lichtempfindliche, trichlormethylgruppen aufweisende verbindungen, verfahren zu ihrer herstellung und diese verbindungen enthaltendes lichtempfindliches gemisch
JPS61169831A (ja) 1985-01-19 1986-07-31 アグフア‐ゲヴエルト・アクチエンゲゼルシヤフト 感光性安定化写真記録材料
JPS6258241A (ja) 1985-09-09 1987-03-13 Fuji Photo Film Co Ltd 感光性組成物
JPS6353544A (ja) 1986-08-25 1988-03-07 Konica Corp 発汗現象及びスタチツクマ−ク発生を防止したハロゲン化銀写真感光材料
JPS6353543A (ja) 1986-08-23 1988-03-07 Konica Corp 発汗現象及びスタチツクマ−ク発生を防止したハロゲン化銀写真感光材料
JPS6356651A (ja) 1986-08-27 1988-03-11 Konica Corp 発汗現象及びスタチツクマ−ク発生を防止したハロゲン化銀写真感光材料
JPH01170601A (ja) 1987-12-26 1989-07-05 Dainichiseika Color & Chem Mfg Co Ltd 黒色硬化性樹脂組成物
JPH0234664A (ja) 1988-07-22 1990-02-05 Dainichiseika Color & Chem Mfg Co Ltd 黒色熱硬化性樹脂組成物
JPH02272009A (ja) 1989-04-13 1990-11-06 Mitsubishi Kasei Corp ポリエステルマクロモノマー
JPH0519475A (ja) 1991-07-12 1993-01-29 Hitachi Chem Co Ltd 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント
JPH0534920A (ja) 1991-07-30 1993-02-12 Fuji Photo Film Co Ltd 光硬化性樹脂組成物、保護層の形成方法及びカラーフイルター
JPH05281728A (ja) 1992-04-01 1993-10-29 Fuji Photo Film Co Ltd 光重合性組成物
JPH07128867A (ja) 1993-06-28 1995-05-19 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd レジスト洗浄除去用溶剤及びそれを使用する電子部品製造用基材の製造方法
JPH07140654A (ja) 1993-09-24 1995-06-02 Japan Synthetic Rubber Co Ltd 感放射線性組成物
JPH07146562A (ja) 1993-06-28 1995-06-06 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd レジスト洗浄除去用溶剤及びこの溶剤を用いた電子部品製造用基材の製造方法
JPH07271028A (ja) 1993-09-28 1995-10-20 Hitachi Chem Co Ltd 光開始剤、感光性組成物、感光材料およびパターンの製造法
JPH08507960A (ja) 1993-03-25 1996-08-27 ゼネカ・リミテッド 分散剤
JPH08278637A (ja) 1995-04-05 1996-10-22 Mitsubishi Chem Corp 洗浄液及び洗浄方法
JPH0977994A (ja) 1995-09-18 1997-03-25 Toyo Ink Mfg Co Ltd 非水系用顔料分散剤、およびそれを含有する顔料組成物、ならびに非水系顔料分散体
JPH09169821A (ja) 1995-10-16 1997-06-30 Ajinomoto Co Inc 顔料分散剤
JPH1062986A (ja) 1996-08-21 1998-03-06 Fuji Photo Film Co Ltd 感放射線性着色組成物
JPH10291969A (ja) 1996-12-06 1998-11-04 Ciba Specialty Chem Holding Inc 新規α−アミノアセトフェノン光開始剤
JPH10339949A (ja) 1997-04-10 1998-12-22 Fuji Photo Film Co Ltd 顔料分散組成物、それを用いた着色感光性組成物及び新規な共重合体
JPH11273439A (ja) * 1998-03-19 1999-10-08 Dainippon Toryo Co Ltd 近赤外線透過、可視光線遮蔽フィルター形成用組成物
JP2000066385A (ja) 1998-08-18 2000-03-03 Ciba Specialty Chem Holding Inc 高感度で高レジスト厚さのi線ホトレジスト用スルホニルオキシム類
JP2000080068A (ja) 1998-06-26 2000-03-21 Ciba Specialty Chem Holding Inc 新規o―アシルオキシム光開始剤
JP2000273370A (ja) 1999-03-25 2000-10-03 Fuji Photo Film Co Ltd 着色組成物用洗浄液
JP2001233842A (ja) 1999-12-15 2001-08-28 Ciba Specialty Chem Holding Inc オキシムエステルの光開始剤
JP2002229207A (ja) 2001-02-06 2002-08-14 Fuji Photo Film Co Ltd 画像記録材料
JP2002273191A (ja) 2001-03-21 2002-09-24 Dainippon Printing Co Ltd 顔料分散剤および感光性着色組成物
JP2002363208A (ja) 2001-06-07 2002-12-18 Fuji Photo Film Co Ltd 光重合性組成物及びそれを用いた記録材料
JP2002363207A (ja) 2001-06-07 2002-12-18 Fuji Photo Film Co Ltd 光重合性組成物及びそれを用いた記録材料
JP2002363209A (ja) 2001-06-07 2002-12-18 Fuji Photo Film Co Ltd 光重合性組成物及びそれを用いた記録材料
JP2002363206A (ja) 2001-06-07 2002-12-18 Fuji Photo Film Co Ltd 光重合性組成物及びそれを用いた記録材料
JP2003049110A (ja) 2001-05-21 2003-02-21 Ciba Specialty Chem Holding Inc 改質されたブロック共重合体の分散剤を含む顔料組成物
JP2003238837A (ja) 2002-02-14 2003-08-27 Fuji Photo Film Co Ltd 顔料分散剤、それを含む顔料分散組成物及び着色感光性組成物
JP2003533455A (ja) 2000-05-18 2003-11-11 カー コーポレイション 重合性分散剤
JP2003335814A (ja) 2002-03-11 2003-11-28 Fuji Photo Film Co Ltd 高分子化合物の製造方法
JP2004037986A (ja) 2002-07-05 2004-02-05 Jsr Corp カラーフィルタ用感放射線性組成物、カラーフィルタおよびカラー液晶表示素子
JP2004300204A (ja) 2003-03-28 2004-10-28 Nippon Shokubai Co Ltd 硬化性樹脂組成物およびその用途
JP2004534797A (ja) 2001-06-11 2004-11-18 チバ スペシャルティ ケミカルズ ホールディング インコーポレーテッド 組み合わされた構造を有するオキシムエステルの光開始剤
JP2006085140A (ja) 2004-08-20 2006-03-30 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 洗浄除去用溶剤
JP2006291191A (ja) 2005-03-18 2006-10-26 Dainippon Printing Co Ltd 感光性着色組成物用洗浄液及びその評価方法
JP2007002101A (ja) 2005-06-23 2007-01-11 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 洗浄剤
JP2007002102A (ja) 2005-06-23 2007-01-11 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 洗浄剤、及びそれを用いた樹脂組成物の除去方法
JP2007231000A (ja) 2006-02-01 2007-09-13 Fujifilm Corp オキシム化合物及びそれを含む感光性組成物
JP2007269779A (ja) 2006-02-24 2007-10-18 Fujifilm Corp オキシム誘導体、光重合性組成物、カラーフィルタおよびその製造方法
JP2007277514A (ja) 2006-03-17 2007-10-25 Fujifilm Corp 高分子化合物およびその製造方法、顔料分散剤、顔料分散組成物、光硬化性組成物、並びにカラーフィルタおよびその製造方法
JP2007281523A (ja) 2004-08-20 2007-10-25 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 洗浄除去用溶剤
JP2007322744A (ja) 2006-05-31 2007-12-13 Fujifilm Corp 着色感光性樹脂組成物、及び感光性樹脂転写材料、並びに、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、及び液晶表示装置
JP2008009426A (ja) 2006-06-02 2008-01-17 Fujifilm Corp 顔料分散組成物、光硬化性組成物、それを用いたカラーフィルタおよびカラーフィルタの製造方法
JP2008032803A (ja) 2006-07-26 2008-02-14 Fujifilm Corp カラーフィルタ用硬化性組成物、カラーフィルタ、及びその製造方法
JP2008081732A (ja) 2006-09-01 2008-04-10 Fujifilm Corp 顔料分散組成物、光硬化性組成物、カラーフィルタ、及びカラーフィルタの製造方法
JP2008292970A (ja) 2006-09-27 2008-12-04 Fujifilm Corp 化合物及びその互変異性体、金属錯体化合物、感光性着色硬化性組成物、カラーフィルタ、及びその製造方法
JP4225898B2 (ja) 2001-08-21 2009-02-18 チバ ホールディング インコーポレーテッド 深色モノ−及びビス−アシルホスフィンオキシド及びスルフィド並びに光開始剤としてのこれらの使用
WO2009025297A1 (ja) * 2007-08-22 2009-02-26 Mitsubishi Chemical Corporation 樹脂ブラックマトリックス、遮光性感光性樹脂組成物、tft素子基板及び液晶表示装置
JP2009519904A (ja) 2005-12-01 2009-05-21 チバ ホールディング インコーポレーテッド オキシムエステル光開始剤
US7556910B2 (en) 2005-12-01 2009-07-07 LF Chem, Ltd. Photosensitive composition comprising triazine-based photoactive compound containing oxime ester
JP2009191061A (ja) 2007-08-27 2009-08-27 Fujifilm Corp 新規化合物、光重合性組成物、カラーフィルタ用光重合性組成物、カラーフィルタ、及びその製造方法、固体撮像素子、並びに、平版印刷版原版
JP2009191179A (ja) 2008-02-15 2009-08-27 Toyo Ink Mfg Co Ltd 光重合開始剤、重合性組成物、および重合物の製造方法。
JP2009203462A (ja) 2008-01-31 2009-09-10 Fujifilm Corp 樹脂、顔料分散液、着色硬化性組成物、これを用いたカラーフィルタ及びその製造方法
JP2009221114A (ja) 2008-03-13 2009-10-01 Fujifilm Corp 重合開始機能を有する化合物、重合開始剤、重合性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、ならびに固体撮像素子
JP2009242469A (ja) 2008-03-28 2009-10-22 Fujifilm Corp 重合性組成物、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、及び固体撮像素子
WO2009131189A1 (ja) 2008-04-25 2009-10-29 三菱化学株式会社 ケトオキシムエステル系化合物及びその利用
JP2009258668A (ja) 2008-03-17 2009-11-05 Fujifilm Corp 着色硬化性組成物、カラーフィルタ、及びカラーフィルタの製造方法
JP4364216B2 (ja) 2005-12-30 2009-11-11 チェイル インダストリーズ インコーポレイテッド 感光性樹脂組成物及びこれを用いたブラックマトリックス
US20090292039A1 (en) 2006-12-27 2009-11-26 Adeka Corporation Oxime ester compound and photopolymerization initiator containing the same
US7626957B2 (en) 2003-04-04 2009-12-01 Samsung Electronics Co., Ltd. Home agent management apparatus and method
JP2009288705A (ja) 2008-05-30 2009-12-10 Fujifilm Corp 着色硬化性組成物、カラーフィルタ、その製造方法、及び、固体撮像素子
JP2010015025A (ja) 2008-07-04 2010-01-21 Adeka Corp 特定の光重合開始剤を含有する感光性組成物
JP2010032985A (ja) 2008-06-30 2010-02-12 Fujifilm Corp 新規化合物、重合性組成物、カラーフィルタ、及びその製造方法、固体撮像素子、並びに、平版印刷版原版
JP2010106268A (ja) 2008-10-03 2010-05-13 Fujifilm Corp 分散組成物、重合性組成物、遮光性カラーフィルタ、固体撮像素子、液晶表示装置、ウェハレベルレンズ、及び撮像ユニット
JP2010129825A (ja) 2008-11-28 2010-06-10 Sumitomo Chemical Co Ltd 有機エレクトロルミネッセンス素子およびその製造方法
JP2010160418A (ja) 2009-01-09 2010-07-22 Hitachi Chem Co Ltd 感光性樹脂組成物,並びにこれを用いた感光性エレメント,ソルダーレジスト及びプリント配線板
JP2010185072A (ja) 2009-01-15 2010-08-26 Fujifilm Corp 新規化合物、重合性組成物、カラーフィルタ、及びその製造方法、固体撮像素子、並びに、平版印刷版原版
JP2010534726A (ja) 2007-07-19 2010-11-11 ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア ビス−オキソジヒドロインドリレン−ベンゾジフラノンを含むnir不活性基体
JP2012018384A (ja) 2010-06-08 2012-01-26 Toyo Ink Sc Holdings Co Ltd 黒色樹脂組成物及びブラックマトリクス
JP2012032556A (ja) 2010-07-29 2012-02-16 Fujifilm Corp 重合性組成物
JP2012046629A (ja) 2010-08-26 2012-03-08 Fujifilm Corp 赤色着色組成物、着色硬化性組成物、固体撮像素子用カラーフィルタ及びその製造方法、並びに固体撮像素子
JP2012068613A (ja) * 2010-08-27 2012-04-05 Toyo Ink Sc Holdings Co Ltd 黒色樹脂組成物及びブラックマトリクス
JP2012515234A (ja) 2009-01-19 2012-07-05 ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア 有機黒色顔料およびその製造
WO2012091083A1 (ja) * 2010-12-28 2012-07-05 大日精化工業株式会社 黒色アゾ色素、製造方法、着色組成物、着色方法及び着色物品類
JP2012162684A (ja) 2011-02-08 2012-08-30 Fujifilm Corp 加工顔料、並びに、これを用いた顔料分散組成物、着色感活性光線性又は感放射線性組成物、カラーフィルタ、パターン形成方法、固体撮像素子用カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子用カラーフィルタ、固体撮像素子
JP2012528448A (ja) 2009-05-27 2012-11-12 コリア インスティチュート オブ マシナリー アンド マテリアルズ 開放型燃料電池システム
WO2012169506A1 (ja) * 2011-06-08 2012-12-13 大日精化工業株式会社 高電気絶縁性アゾ系黒色顔料、製造方法、着色組成物、着色方法及び着色物品類

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02239204A (ja) * 1989-03-14 1990-09-21 Dainippon Printing Co Ltd カラーフィルター及びその製造方法
JPH09184912A (ja) * 1995-12-28 1997-07-15 Toray Ind Inc 樹脂ブラック・マトリクスおよび樹脂ブラック・マトリクス用ペースト
WO2000024736A1 (de) 1998-10-22 2000-05-04 Ciba Specialty Chemicals Holding Inc. Oxobenzofuranyliden-dihydroindolone
JP2002060698A (ja) 2000-08-15 2002-02-26 Origin Electric Co Ltd 赤外線透過層形成用組成物及び赤外線反射体並びに処理物
DE60113957T2 (de) 2000-12-26 2006-04-20 Dainichiseika Color & Chemicals Mfg. Co. Ltd., Nihonbashi Im nahen Infrarot durchlaessige schwarze Azo-Pigmente
JP4084022B2 (ja) * 2000-12-26 2008-04-30 大日精化工業株式会社 近赤外線透過性黒色アゾ顔料および顔料組成物
EP1283106A4 (en) 2001-03-15 2005-12-14 Mitsui Chemicals Inc LAMINATED BODY AND DISPLAY DEVICE USING THE LAMINATED BODY
TWI275833B (en) * 2004-01-19 2007-03-11 Dainichiseika Color Chem Fabrication process of color filters, inks, color filters, and image displays using the color filters
JP4679929B2 (ja) * 2005-02-24 2011-05-11 テクノポリマー株式会社 赤外線透過性熱可塑性樹脂組成物及びそれを用いた成形品
CN101827526A (zh) 2007-09-18 2010-09-08 巴斯夫欧洲公司 用于防治昆虫的粉剂组合物
US8281572B2 (en) * 2008-04-30 2012-10-09 Cummins Ip, Inc. Apparatus, system, and method for reducing NOx emissions from an engine system
US8852630B2 (en) * 2008-05-13 2014-10-07 Yale University Chimeric small molecules for the recruitment of antibodies to cancer cells
WO2010044393A1 (ja) * 2008-10-15 2010-04-22 大日精化工業株式会社 アゾ顔料、着色組成物、着色方法および着色物品
US8674006B2 (en) 2009-01-19 2014-03-18 BASF SE Ludwigshafen Black pigment dispersion
KR101732197B1 (ko) 2009-01-19 2017-05-02 바스프 에스이 컬러 필터를 위한 블랙 매트릭스
KR101048768B1 (ko) 2009-06-10 2011-07-15 (주)실리콘화일 조도, 근접도 및 색온도 측정이 가능한 이미지센서
JP5306952B2 (ja) 2009-09-29 2013-10-02 太陽ホールディングス株式会社 感光性樹脂組成物及びその硬化物、並びにプリント配線板
CN102279522B (zh) * 2010-06-08 2014-07-30 东洋油墨Sc控股株式会社 滤色器用着色组合物及滤色器
US9238736B2 (en) * 2010-10-15 2016-01-19 Cabot Corporation Surface modified organic black pigments, surface modified carbon blacks, pigment mixtures using them, and low dielectric black dispersions, coatings, films, black matrices, and devices containing same
JP5657442B2 (ja) 2011-03-22 2015-01-21 富士フイルム株式会社 着色感放射線性組成物、パターンの形成方法、カラーフィルタ及びそのカラーフィルタの製造方法、並びに、固体撮像素子
JP2012203083A (ja) * 2011-03-24 2012-10-22 Sumitomo Osaka Cement Co Ltd 可視近赤外光遮蔽黒色膜、可視近赤外光遮蔽黒色膜付き基材、及び固体撮像素子
EP2855598B1 (en) * 2012-06-01 2017-01-11 Basf Se Black colorant mixture
TW201423272A (zh) * 2012-11-27 2014-06-16 Jsr Corp 感光性組成物、著色劑分散液、濾光片及光感應器
JP6170673B2 (ja) * 2012-12-27 2017-07-26 富士フイルム株式会社 カラーフィルタ用組成物、赤外線透過フィルタ及びその製造方法、並びに赤外線センサー

Patent Citations (101)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3615455A (en) 1968-01-12 1971-10-26 Agfa Gevaert Nv Photopolymerization of ethylenically unsaturated organic compounds
JPS4943191B1 (ja) 1969-07-11 1974-11-19
JPS4841708B1 (ja) 1970-01-13 1973-12-07
JPS506034B1 (ja) 1970-08-11 1975-03-10
GB1388492A (en) 1971-09-03 1975-03-26 Minnesota Mining & Mfg Chromophore-substituted halomethyl-s-triazines
JPS571819B2 (ja) 1971-09-03 1982-01-13
JPS4864183A (ja) 1971-12-09 1973-09-05
JPS5230490B2 (ja) 1972-03-21 1977-08-09
US4212976A (en) 1973-06-15 1980-07-15 Merck & Co., Inc. 3,4α-Di-O-derivatives of mercaptomethylpyridine and pyridylmethyldisulfide
JPS5137193A (ja) 1974-09-25 1976-03-29 Toyo Boseki
JPS53128333A (en) 1977-04-15 1978-11-09 Fuji Photo Film Co Ltd Prevention of influences of ultraviolet ray upon photosensitive material of silver halogenide
JPS53133428A (en) 1977-04-25 1978-11-21 Hoechst Ag Radiation sensitive copying constitute
JPS5437082A (en) 1977-07-15 1979-03-19 Ici Ltd Dispersing agent*dispersion liquid containing said agent and paint and ink made from said liquid
JPS576096B2 (ja) 1977-11-28 1982-02-03
DE3337024A1 (de) 1983-10-12 1985-04-25 Hoechst Ag, 6230 Frankfurt Lichtempfindliche, trichlormethylgruppen aufweisende verbindungen, verfahren zu ihrer herstellung und diese verbindungen enthaltendes lichtempfindliches gemisch
JPS61169831A (ja) 1985-01-19 1986-07-31 アグフア‐ゲヴエルト・アクチエンゲゼルシヤフト 感光性安定化写真記録材料
JPS6258241A (ja) 1985-09-09 1987-03-13 Fuji Photo Film Co Ltd 感光性組成物
JPS6353543A (ja) 1986-08-23 1988-03-07 Konica Corp 発汗現象及びスタチツクマ−ク発生を防止したハロゲン化銀写真感光材料
JPS6353544A (ja) 1986-08-25 1988-03-07 Konica Corp 発汗現象及びスタチツクマ−ク発生を防止したハロゲン化銀写真感光材料
JPS6356651A (ja) 1986-08-27 1988-03-11 Konica Corp 発汗現象及びスタチツクマ−ク発生を防止したハロゲン化銀写真感光材料
JPH01170601A (ja) 1987-12-26 1989-07-05 Dainichiseika Color & Chem Mfg Co Ltd 黒色硬化性樹脂組成物
JPH0234664A (ja) 1988-07-22 1990-02-05 Dainichiseika Color & Chem Mfg Co Ltd 黒色熱硬化性樹脂組成物
JPH02272009A (ja) 1989-04-13 1990-11-06 Mitsubishi Kasei Corp ポリエステルマクロモノマー
JPH0519475A (ja) 1991-07-12 1993-01-29 Hitachi Chem Co Ltd 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント
JPH0534920A (ja) 1991-07-30 1993-02-12 Fuji Photo Film Co Ltd 光硬化性樹脂組成物、保護層の形成方法及びカラーフイルター
JPH05281728A (ja) 1992-04-01 1993-10-29 Fuji Photo Film Co Ltd 光重合性組成物
JPH08507960A (ja) 1993-03-25 1996-08-27 ゼネカ・リミテッド 分散剤
JPH07128867A (ja) 1993-06-28 1995-05-19 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd レジスト洗浄除去用溶剤及びそれを使用する電子部品製造用基材の製造方法
JPH07146562A (ja) 1993-06-28 1995-06-06 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd レジスト洗浄除去用溶剤及びこの溶剤を用いた電子部品製造用基材の製造方法
JPH07140654A (ja) 1993-09-24 1995-06-02 Japan Synthetic Rubber Co Ltd 感放射線性組成物
JPH07271028A (ja) 1993-09-28 1995-10-20 Hitachi Chem Co Ltd 光開始剤、感光性組成物、感光材料およびパターンの製造法
JPH08278637A (ja) 1995-04-05 1996-10-22 Mitsubishi Chem Corp 洗浄液及び洗浄方法
JPH0977994A (ja) 1995-09-18 1997-03-25 Toyo Ink Mfg Co Ltd 非水系用顔料分散剤、およびそれを含有する顔料組成物、ならびに非水系顔料分散体
JPH09169821A (ja) 1995-10-16 1997-06-30 Ajinomoto Co Inc 顔料分散剤
JPH1062986A (ja) 1996-08-21 1998-03-06 Fuji Photo Film Co Ltd 感放射線性着色組成物
JPH10291969A (ja) 1996-12-06 1998-11-04 Ciba Specialty Chem Holding Inc 新規α−アミノアセトフェノン光開始剤
JPH10339949A (ja) 1997-04-10 1998-12-22 Fuji Photo Film Co Ltd 顔料分散組成物、それを用いた着色感光性組成物及び新規な共重合体
JPH11273439A (ja) * 1998-03-19 1999-10-08 Dainippon Toryo Co Ltd 近赤外線透過、可視光線遮蔽フィルター形成用組成物
JP2000080068A (ja) 1998-06-26 2000-03-21 Ciba Specialty Chem Holding Inc 新規o―アシルオキシム光開始剤
JP2000066385A (ja) 1998-08-18 2000-03-03 Ciba Specialty Chem Holding Inc 高感度で高レジスト厚さのi線ホトレジスト用スルホニルオキシム類
JP2000273370A (ja) 1999-03-25 2000-10-03 Fuji Photo Film Co Ltd 着色組成物用洗浄液
JP2001233842A (ja) 1999-12-15 2001-08-28 Ciba Specialty Chem Holding Inc オキシムエステルの光開始剤
JP2003533455A (ja) 2000-05-18 2003-11-11 カー コーポレイション 重合性分散剤
JP2002229207A (ja) 2001-02-06 2002-08-14 Fuji Photo Film Co Ltd 画像記録材料
JP2002273191A (ja) 2001-03-21 2002-09-24 Dainippon Printing Co Ltd 顔料分散剤および感光性着色組成物
JP2003049110A (ja) 2001-05-21 2003-02-21 Ciba Specialty Chem Holding Inc 改質されたブロック共重合体の分散剤を含む顔料組成物
JP2002363208A (ja) 2001-06-07 2002-12-18 Fuji Photo Film Co Ltd 光重合性組成物及びそれを用いた記録材料
JP2002363207A (ja) 2001-06-07 2002-12-18 Fuji Photo Film Co Ltd 光重合性組成物及びそれを用いた記録材料
JP2002363209A (ja) 2001-06-07 2002-12-18 Fuji Photo Film Co Ltd 光重合性組成物及びそれを用いた記録材料
JP2002363206A (ja) 2001-06-07 2002-12-18 Fuji Photo Film Co Ltd 光重合性組成物及びそれを用いた記録材料
JP2004534797A (ja) 2001-06-11 2004-11-18 チバ スペシャルティ ケミカルズ ホールディング インコーポレーテッド 組み合わされた構造を有するオキシムエステルの光開始剤
JP2006342166A (ja) 2001-06-11 2006-12-21 Ciba Specialty Chem Holding Inc 組み合わされた構造を有するオキシムエステルの光開始剤
JP4225898B2 (ja) 2001-08-21 2009-02-18 チバ ホールディング インコーポレーテッド 深色モノ−及びビス−アシルホスフィンオキシド及びスルフィド並びに光開始剤としてのこれらの使用
JP2003238837A (ja) 2002-02-14 2003-08-27 Fuji Photo Film Co Ltd 顔料分散剤、それを含む顔料分散組成物及び着色感光性組成物
JP2003335814A (ja) 2002-03-11 2003-11-28 Fuji Photo Film Co Ltd 高分子化合物の製造方法
JP2004037986A (ja) 2002-07-05 2004-02-05 Jsr Corp カラーフィルタ用感放射線性組成物、カラーフィルタおよびカラー液晶表示素子
JP2004300204A (ja) 2003-03-28 2004-10-28 Nippon Shokubai Co Ltd 硬化性樹脂組成物およびその用途
US7626957B2 (en) 2003-04-04 2009-12-01 Samsung Electronics Co., Ltd. Home agent management apparatus and method
JP2006085140A (ja) 2004-08-20 2006-03-30 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 洗浄除去用溶剤
JP2007281523A (ja) 2004-08-20 2007-10-25 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 洗浄除去用溶剤
JP2006291191A (ja) 2005-03-18 2006-10-26 Dainippon Printing Co Ltd 感光性着色組成物用洗浄液及びその評価方法
JP2007002101A (ja) 2005-06-23 2007-01-11 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 洗浄剤
JP2007002102A (ja) 2005-06-23 2007-01-11 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 洗浄剤、及びそれを用いた樹脂組成物の除去方法
US7556910B2 (en) 2005-12-01 2009-07-07 LF Chem, Ltd. Photosensitive composition comprising triazine-based photoactive compound containing oxime ester
JP2009519904A (ja) 2005-12-01 2009-05-21 チバ ホールディング インコーポレーテッド オキシムエステル光開始剤
JP4364216B2 (ja) 2005-12-30 2009-11-11 チェイル インダストリーズ インコーポレイテッド 感光性樹脂組成物及びこれを用いたブラックマトリックス
JP2007231000A (ja) 2006-02-01 2007-09-13 Fujifilm Corp オキシム化合物及びそれを含む感光性組成物
JP2007269779A (ja) 2006-02-24 2007-10-18 Fujifilm Corp オキシム誘導体、光重合性組成物、カラーフィルタおよびその製造方法
JP2007277514A (ja) 2006-03-17 2007-10-25 Fujifilm Corp 高分子化合物およびその製造方法、顔料分散剤、顔料分散組成物、光硬化性組成物、並びにカラーフィルタおよびその製造方法
JP2007322744A (ja) 2006-05-31 2007-12-13 Fujifilm Corp 着色感光性樹脂組成物、及び感光性樹脂転写材料、並びに、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、及び液晶表示装置
JP2008009426A (ja) 2006-06-02 2008-01-17 Fujifilm Corp 顔料分散組成物、光硬化性組成物、それを用いたカラーフィルタおよびカラーフィルタの製造方法
JP2008032803A (ja) 2006-07-26 2008-02-14 Fujifilm Corp カラーフィルタ用硬化性組成物、カラーフィルタ、及びその製造方法
JP2008081732A (ja) 2006-09-01 2008-04-10 Fujifilm Corp 顔料分散組成物、光硬化性組成物、カラーフィルタ、及びカラーフィルタの製造方法
JP2008292970A (ja) 2006-09-27 2008-12-04 Fujifilm Corp 化合物及びその互変異性体、金属錯体化合物、感光性着色硬化性組成物、カラーフィルタ、及びその製造方法
US20090292039A1 (en) 2006-12-27 2009-11-26 Adeka Corporation Oxime ester compound and photopolymerization initiator containing the same
JP2010534726A (ja) 2007-07-19 2010-11-11 ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア ビス−オキソジヒドロインドリレン−ベンゾジフラノンを含むnir不活性基体
WO2009025297A1 (ja) * 2007-08-22 2009-02-26 Mitsubishi Chemical Corporation 樹脂ブラックマトリックス、遮光性感光性樹脂組成物、tft素子基板及び液晶表示装置
JP2009069822A (ja) 2007-08-22 2009-04-02 Mitsubishi Chemicals Corp 樹脂ブラックマトリックス、遮光性感光性樹脂組成物、tft素子基板及び液晶表示装置
JP2009191061A (ja) 2007-08-27 2009-08-27 Fujifilm Corp 新規化合物、光重合性組成物、カラーフィルタ用光重合性組成物、カラーフィルタ、及びその製造方法、固体撮像素子、並びに、平版印刷版原版
JP2009203462A (ja) 2008-01-31 2009-09-10 Fujifilm Corp 樹脂、顔料分散液、着色硬化性組成物、これを用いたカラーフィルタ及びその製造方法
JP2009191179A (ja) 2008-02-15 2009-08-27 Toyo Ink Mfg Co Ltd 光重合開始剤、重合性組成物、および重合物の製造方法。
JP2009221114A (ja) 2008-03-13 2009-10-01 Fujifilm Corp 重合開始機能を有する化合物、重合開始剤、重合性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、ならびに固体撮像素子
JP2009258668A (ja) 2008-03-17 2009-11-05 Fujifilm Corp 着色硬化性組成物、カラーフィルタ、及びカラーフィルタの製造方法
JP2009242469A (ja) 2008-03-28 2009-10-22 Fujifilm Corp 重合性組成物、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、及び固体撮像素子
WO2009131189A1 (ja) 2008-04-25 2009-10-29 三菱化学株式会社 ケトオキシムエステル系化合物及びその利用
JP2009288705A (ja) 2008-05-30 2009-12-10 Fujifilm Corp 着色硬化性組成物、カラーフィルタ、その製造方法、及び、固体撮像素子
JP2010032985A (ja) 2008-06-30 2010-02-12 Fujifilm Corp 新規化合物、重合性組成物、カラーフィルタ、及びその製造方法、固体撮像素子、並びに、平版印刷版原版
JP2010015025A (ja) 2008-07-04 2010-01-21 Adeka Corp 特定の光重合開始剤を含有する感光性組成物
JP2010106268A (ja) 2008-10-03 2010-05-13 Fujifilm Corp 分散組成物、重合性組成物、遮光性カラーフィルタ、固体撮像素子、液晶表示装置、ウェハレベルレンズ、及び撮像ユニット
JP2010129825A (ja) 2008-11-28 2010-06-10 Sumitomo Chemical Co Ltd 有機エレクトロルミネッセンス素子およびその製造方法
JP2010160418A (ja) 2009-01-09 2010-07-22 Hitachi Chem Co Ltd 感光性樹脂組成物,並びにこれを用いた感光性エレメント,ソルダーレジスト及びプリント配線板
JP2010185072A (ja) 2009-01-15 2010-08-26 Fujifilm Corp 新規化合物、重合性組成物、カラーフィルタ、及びその製造方法、固体撮像素子、並びに、平版印刷版原版
JP2012515234A (ja) 2009-01-19 2012-07-05 ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア 有機黒色顔料およびその製造
JP2012528448A (ja) 2009-05-27 2012-11-12 コリア インスティチュート オブ マシナリー アンド マテリアルズ 開放型燃料電池システム
JP2012018384A (ja) 2010-06-08 2012-01-26 Toyo Ink Sc Holdings Co Ltd 黒色樹脂組成物及びブラックマトリクス
JP2012032556A (ja) 2010-07-29 2012-02-16 Fujifilm Corp 重合性組成物
JP2012046629A (ja) 2010-08-26 2012-03-08 Fujifilm Corp 赤色着色組成物、着色硬化性組成物、固体撮像素子用カラーフィルタ及びその製造方法、並びに固体撮像素子
JP2012068613A (ja) * 2010-08-27 2012-04-05 Toyo Ink Sc Holdings Co Ltd 黒色樹脂組成物及びブラックマトリクス
WO2012091083A1 (ja) * 2010-12-28 2012-07-05 大日精化工業株式会社 黒色アゾ色素、製造方法、着色組成物、着色方法及び着色物品類
JP2012162684A (ja) 2011-02-08 2012-08-30 Fujifilm Corp 加工顔料、並びに、これを用いた顔料分散組成物、着色感活性光線性又は感放射線性組成物、カラーフィルタ、パターン形成方法、固体撮像素子用カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子用カラーフィルタ、固体撮像素子
WO2012169506A1 (ja) * 2011-06-08 2012-12-13 大日精化工業株式会社 高電気絶縁性アゾ系黒色顔料、製造方法、着色組成物、着色方法及び着色物品類

Non-Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
"Kagaku no Ryoiki. Special Edition", 1979, NANKODO CO., LTD, pages: 96 - 103
CHEMICAL REVIEWS, vol. 91, 1991, pages 165 - 195
F.C. SCHAEFER ET AL., L ORG. CHEM., vol. 29, 1964, pages 1527
J. A. DEAN,: "Lange's Handbook of Chemistry, 12thEdition,", 1979, THE MCGRAW-HILL BOOK CO.
J. C. S. PERKIN II, 1979, pages 1653 - 1660
J. C. S. PERKIN N, 1979, pages 156 - 162
JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY, 1995, pages 202 - 232
JOURNAL OF THE ADHESION SOCIETY OF JAPAN, vol. 20, no. 7, pages 300 - 308
WAKABAYASHI ET AL., BULL. CHERN. SOC. JAPAN, vol. 42, 1969, pages 2924

Cited By (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015046178A1 (ja) * 2013-09-25 2015-04-02 三菱化学株式会社 感光性着色組成物、ブラックマトリクス、着色スペーサー、画像表示装置及び顔料分散液
JP2017061688A (ja) * 2013-09-25 2017-03-30 三菱化学株式会社 顔料分散液
CN104238269A (zh) * 2014-09-19 2014-12-24 江苏博砚电子科技有限公司 一种感光性树脂组合物及其应用
EP3007230A2 (en) 2014-10-08 2016-04-13 Omnivision Technologies, Inc. Dual-mode image sensor with a signal-separating color filter array, and method for same
US9570491B2 (en) 2014-10-08 2017-02-14 Omnivision Technologies, Inc. Dual-mode image sensor with a signal-separating color filter array, and method for same
US10605969B2 (en) 2014-12-19 2020-03-31 AGC Inc. Optical filter and device using the same
JPWO2016143878A1 (ja) * 2015-03-11 2017-12-28 三菱ケミカル株式会社 着色スペーサー形成用感光性着色組成物、硬化物、着色スペーサー、画像表示装置
KR20170126912A (ko) * 2015-03-11 2017-11-20 미쯔비시 케미컬 주식회사 착색 스페이서 형성용 감광성 착색 조성물, 경화물, 착색 스페이서, 화상 표시 장치
KR102491215B1 (ko) * 2015-03-11 2023-01-20 미쯔비시 케미컬 주식회사 착색 스페이서 형성용 감광성 착색 조성물, 경화물, 착색 스페이서, 화상 표시 장치
JP7131907B2 (ja) 2015-03-11 2022-09-06 三菱ケミカル株式会社 感光性着色組成物、硬化物、着色スペーサー、画像表示装置
WO2016143878A1 (ja) * 2015-03-11 2016-09-15 三菱化学株式会社 着色スペーサー形成用感光性着色組成物、硬化物、着色スペーサー、画像表示装置
CN107430340A (zh) * 2015-03-30 2017-12-01 富士胶片株式会社 着色感光性组合物、固化膜、图案形成方法、带遮光膜的红外光截止滤色器、固体成像元件、图像显示装置及红外传感器
US10942451B2 (en) 2015-03-30 2021-03-09 Fujifilm Corporation Coloring photosensitive composition, cured film, pattern forming method, infrared cut filter with light-shielding film, solid-state imaging device, image display device, and infrared sensor
CN107430340B (zh) * 2015-03-30 2021-01-01 富士胶片株式会社 着色感光性组合物、固化膜、图案形成方法、带遮光膜的红外光截止滤色器、固体成像元件、图像显示装置及红外传感器
CN107614626A (zh) * 2015-05-22 2018-01-19 富士胶片株式会社 着色组合物、膜、滤色器、图案形成方法、滤色器的制造方法、固体成像元件及红外线传感器
EP3299423A4 (en) * 2015-05-22 2018-07-25 FUJIFILM Corporation Coloring composition, film, color filter, method for forming pattern, method for producing color filter, solid-state imaging device, and infrared sensor
US10829641B2 (en) 2015-05-22 2020-11-10 Fujifilm Corporation Coloring composition, film, color filter, pattern forming method, method for manufacturing color filter, solid image pickup element, and infrared sensor
CN107614626B (zh) * 2015-05-22 2020-12-25 富士胶片株式会社 着色组合物、膜、滤色器、图案形成方法、滤色器的制造方法、固体成像元件及红外线传感器
KR102219156B1 (ko) 2016-09-27 2021-02-23 후지필름 가부시키가이샤 드라이 에칭용 조성물, 키트, 패턴 형성 방법 및 광학 필터의 제조 방법
KR20190025007A (ko) * 2016-09-27 2019-03-08 후지필름 가부시키가이샤 드라이 에칭용 조성물, 키트, 패턴 형성 방법 및 광학 필터의 제조 방법
JP2019524904A (ja) * 2016-10-10 2019-09-05 エルジー・ケム・リミテッド インクジェット用赤外線透過インク組成物、それを用いたベゼルパターンの形成方法、これにより製造したベゼルパターン及びそれを含むディスプレイ基板
US11760891B2 (en) 2016-10-10 2023-09-19 Lg Chem, Ltd. Infrared ray transmittance ink composition for inkjet, method for preparing a bezel pattern using the same, the bezel pattern using the same method and display panel comprising the bezel pattern
WO2020031590A1 (ja) * 2018-08-08 2020-02-13 富士フイルム株式会社 組成物、膜、赤外線透過フィルタ、構造体、光センサおよび画像表示装置
JP2021071507A (ja) * 2019-10-29 2021-05-06 凸版印刷株式会社 赤外パスフィルター、及び固体撮像素子用フィルター、並びに固体撮像素子

Also Published As

Publication number Publication date
KR20150064107A (ko) 2015-06-10
KR20180011885A (ko) 2018-02-02
US10436959B2 (en) 2019-10-08
SG11201505091XA (en) 2015-08-28
EP2940495A4 (en) 2016-03-02
US9915765B2 (en) 2018-03-13
JP6170673B2 (ja) 2017-07-26
CN107966877A (zh) 2018-04-27
TW201432323A (zh) 2014-08-16
KR101925818B1 (ko) 2018-12-06
KR101825444B1 (ko) 2018-02-05
EP2940495B1 (en) 2020-01-22
CN107966877B (zh) 2022-04-12
US20180196177A1 (en) 2018-07-12
EP2940495A1 (en) 2015-11-04
TWI621882B (zh) 2018-04-21
JP2014130173A (ja) 2014-07-10
CN104937452A (zh) 2015-09-23
US20150293282A1 (en) 2015-10-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10436959B2 (en) Composition for color filter, infrared transmission filter and production method thereof, and infrared sensor
JP6317432B2 (ja) 着色組成物、膜、カラーフィルタ、パターン形成方法、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子および赤外線センサ
JP6091009B2 (ja) 組成物、着色層、赤外線透過フィルタ及びその製造方法、赤外線センサー、及び、カラーフィルタ
EP2715416B1 (en) Colored radiation-sensitive composition for color filter, pattern forming method, color filter and method of producing the same, and solid-state image sensor
JP6227132B2 (ja) 着色組成物、膜、カラーフィルタ、パターン形成方法、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子および赤外線センサ
JP6325097B2 (ja) 着色組成物、膜、カラーフィルタ、パターン形成方法、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子および赤外線センサ
JP6166997B2 (ja) 感光性樹脂組成物、赤外線透過フィルタおよびその製造方法、赤外線センサならびにカラーフィルタ。
JP2013054079A (ja) 光硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに固体撮像素子
JP2017116955A (ja) 赤外線透過フィルタ用組成物、赤外線透過フィルタ、赤外線透過フィルタの製造方法、及び、赤外線センサー
JP6764894B2 (ja) 赤外線透過フィルタ用組成物、赤外線透過フィルタ、赤外線透過フィルタの製造方法、及び、赤外線センサー
JP2019049759A (ja) 赤外線透過フィルタ用組成物、赤外線透過組成物層、赤外線透過フィルタ、赤外線透過フィルタの製造方法、及び、赤外線センサー

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 13869068

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20157010672

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2013869068

Country of ref document: EP

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE