TWI322647B - Random-period chip transfer apparatus - Google Patents

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TWI322647B
TWI322647B TW093102693A TW93102693A TWI322647B TW I322647 B TWI322647 B TW I322647B TW 093102693 A TW093102693 A TW 093102693A TW 93102693 A TW93102693 A TW 93102693A TW I322647 B TWI322647 B TW I322647B
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Hiroshi Aoyama
Ryoichi Nishigawa
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Hallys Corp
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Description

1322647 98年12月22日補充修正修正頁 六、發明說明： •【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種傳輸裝置，特別關於一種利用旋轉 之終端受動器將零件傳送至物件上的傳輸裝置。 【先前技術】_ 在習知的半導體製造領域中，如日本公開公報專利號 第H10-145091號所示，已經發展出一種電子零件設置裝 •置，其係用以接收晶粒、將所接收之晶粒傳送至物件上， 以及將晶粒設置、嵌入或電連接至物件上。這種設置裝置 係為一旋轉式設置裝置，其具有複數個傳輸頭，其係旋轉 以便依序將晶粒設置於物件上，該等傳輸頭係繞著一主軸 4 承並以同心圓方式設置，且其係沿著一繞著主軸承之圓形 軌道旋轉。各操作平台係分別設置在上述軌道之特定位置 處，例如：在一吸取平台處，傳輸頭係自一晶粒供應器吸 i取一晶粒；在一設置平台處，傳輸頭係將所吸取之晶粒設 置於一物件上。此時，傳輸頭會停在每一操作平台處，以 便移動晶粒，而為了讓主轴承在傳輸頭停止時能夠順利轉 動，設置裝置通常會具有一固定凸輪，其凸起處係藉由消 除掉自主軸承傳送至傳輸頭之旋轉速率，以便實質停止傳 輸頭，由此可知，上述設置裝置能夠在主軸承連續轉動時 設置晶粒。 然而，上述之電子零件設置裝置係利用傳輸頭來傳送 晶粒，而由於其轉動係由機械式凸輪所產生，所以其轉動 1322647 98年12月22曰補充修正修正頁 週期係為固定，因此，傳輸頭係被迫與主軸承之旋轉連結。 近年來，由於資訊科技及資訊管理勞力的需求上有長 足的進步，所以常見的日用品通常會配合可拋棄式無線頻 率辨識（RFID)標籤來進行商品控管，因此需要量產便宜 . 的RFID標籤；在進行RFID標籤之量產時，可能會需要 使用到下列製程技術：不間斷地以一定間距連續供應RF 傳輸/接收電子零件；不間斷地接收所供應的電子零件；不 間斷地將所接收之電子零件傳送至卡片狀物件上，此卡片 狀物件上形成有一天線元件，且該等物件係連續地移動並 以一定間距依序供應；將電子零件設置、嵌入或電連接於 ' 物件上。若傳輸頭之轉動週期固定，則在量產時可能會發 ' 生下列問題，例如，當產品的尺寸大小不同時，必須很麻 ' 煩地針對不同產品更換凸輪；另外，由於傳輸頭的移動路 徑係受限制的，所以當所供應之電子零件的間隔不規則 時、或是所移動之物件的間隔不規則時，傳輸頭便無法有 效地配合電子零件或物件，換言之，上述之傳輸頭無法配 合間隔不規則的情形或進行即時微小調整，結果將無法正 確地定位電子零件。 此外，另一種習知的傳輸裝置僅包括單一個傳輸頭， 且其具有一電子凸輪，其係由單一個馬達所驅動，故其轉 動週期可以變化。然而，這種單一傳輸頭的設計雖然可以 正確地定位電子零件，但是並無法適用於產品的快速量 1322647 98年12月22日補充修正修正頁 【發明内容】 .有鑑於上述課題’本發明之目的為提供一種能夠正確 地定位及快速傳輸的晶粗傳輸裴置。 另外’本發明之另目的為提供/種能夠因應所供應 之晶粒及物件具有不同速度及不同間跟的晶板傳輪褒置。 緣是’為達上述目的’依本發明i晶粒傳輪裝置係將 複數個晶粒傳輸至複數個物件上，其包括一第—承載體、 一第二承載體、複數個終端受動器、複數個同軸旋轉器以 及複數個飼服驅動器。在本發明中，第一承載體係承载晶 粒；第二承載體係承载物件；終端受動器係自第一= 接收3並將晶粒傳送至物件上；同軸旋轉器係分別盘 -終動器連接，並分別獨立一同 ;乂 同軸旋轉器之=同轴旋轉器 隨機地改變各 遇功性轉速。其中，各终端受動器 離地設置於各同π 係不可分 门輛妩轉器上，且分别饰設在以同心軸 心之一同心圓ν 和馬軸 錄序移翻/ 53服驅動11齡㈣動終㈣動器連續 並將所接故之第一承载 在包含上‘C於第二承败1件上，而 端受動哭之鲑由動及上述接收作動之作動週M ‘又動。。之轉速係獨立地改變。 I月間’各終 t ^所述’同軸旋轉器之終端受動器传你 上，且同心圓之勒 。。係位於一 係連續並獨立地轉:、太同軸旋轉器之軸心，終端受 分別依據其不同本發明係獨立控制各終端受 不π之遇期性轉速而轉赛各 又動㈣ π又％器，如 1322647 此，夂蚁硿疼缸驿A匕糾、击線A冷 98年丨2月22日補充修正修正頁 各4文動益此夠連績自第—承载 將所接收之晶粒傳送至位於第二承載體之物件上。⑽， 2發明能夠達到高速傳輸，舉例而言，若提供六個終端受 動裔，則供應晶粒的速度可以是旋轉速度的六倍。 I以連續等間隔地供應晶粒，而不m日日粒之供應^ &受動器能夠不⑽地接收所供應m 送 至不斷移動且等間隔設置之物件上。 肘S日饵得达 在本發明中’利用依據位於 間距來加速或減速該等終端受動器 -之物件的不同 正確地傳送至物件上的預設位置。° 更可以將晶粒 第==晶粒傳輸裝置中，各終端受動器係雜 第-承載體同步作動，以便與第—承载體 :、 度地自第一承載體接收一晶粒，且各终 說。。、、7速 第二承載體同步作動，以便金第 器更分別與 度地將所接收之晶粒傳送至位於第二承载體之物件上:速 承上所述，由於各終端受動器係 實:上相:零速度’以便接收及傳送晶粒，上 之B曰粒及物件射列速敍_時，健 ^ 定位及快速傳輸，因此，各終端受動器係獨立地受 而此夠不㈣距影響、且能夠進行晶粒與物件之即 &微小調整’進而能夠快速且正確地傳輸晶粒。經由獨立 地修正各終端受動器之位置，便能夠達到數微米至數十微 米的精確度，俾以改善生產率及設置品質。 在本發明之晶粒傳輪裝置令，各同轴旋轉器分別包括 叫647 98年12月22日補充修正修正頁 一同心軸承，該等同心軸承係依序沿著同心軸方向設置， '一同心轴承之内軌係固設於另一同心軸承之外執，且此同 、轴承之外執係固設於又一同心軸承之内轨。該等串聯之 同心軸承—端之内軌係固設於一固設面上；而該等串聯之 同心軸承另一端的外軌係固設於另一固設面上。各終端受 動器係不可分離地固設於相對應之同心軸承的内轨，且各 伺服驅動器係提供一旋轉驅動力以致動相對應之 承的外執。
承上所述，該等同轴旋轉器係互相支撐’例如，若 統轉:等=分別由用伺服控制 轴周園：個不^錢馬達可以是設置於同 轴承的:力由散施加於各同 因此由相對應之间、、/夠互相獨立地轉動 通用词服控連接之夕卜轨所構成的驅動輪能夠 化’及控制其定tn"便達成控制其轉速/轉速 間夠大，所以能夠二更多:::於同心— 述之通關服”“馬達接驅動器/控·來取代 獨立地敦定相對中’各飼服驱動器係個別 上所述，各政總Γ同袖㈣器的轉速以及轉逮變化 受間—:;動::::係獨立地受到控制而能夠 整’進而能夠快迷且二傳:ί:與物件切時微小 在本發明之晶㈣輪裝二 ，日日粒傳輸裴置可以更 98年12月22日補充修正修正頁 含一量測單元，其係量測設置於第一承載體上之晶粒的速 率，及/或设置於弟二承載體上之物件的速率，其中，該等 伺服驅動器係依據量测單元之量測結果而作動。於此，並 不需要間接地依據第—承載體或第二承載體之作動控制 訊息產生間接§fl息，而可以直接取得之晶粒及/或物件之速 率及/或4立置資料，因此，能夠正轉且即時地控制同軸旋轉 器之轉動，進而能夠快逮且正確地傳輸晶粒。 另外，在本發明之晶粒傳輸裝置中，即使第一承載體 之輸送速率與第二承載體之輸送速率不同，各終端受動器 係與第一承載體同步，以便與第一承載體實質上相對零速 度地接收晶粒，然後各終端受動器係與第二承載體同步， 以便與第二承載體實質上相對零速度地將所接收之晶粒 傳送至位於第二承载體之物件上的一預設位簟，進而在晶 粒提供速度低於物件移動速度的情況下，仍然能夠快速且 正石雀地傳輸晶粒’其中，晶粒提供速度係依據第一承載體 之輸送速率而定’而物件移動速度係依據第二承載體之輸 送速率而疋。承上所述，當輸送晶粒至物件上時，物件之 尺寸係大於晶粒之尺寸。 再者’在本發明之晶粒傳輸裝置中，第一承載體及第 -承載體可以分別為滾筒或輸送帶。S本發明中，終端受 U係靠近由滾動之滾筒或啟動之輸送帶所承載之晶粒 以便接收阳粒’然後靠近*滾動之滚筒或啟動之輸送帶所 承載之物# IX便將所接收之晶粒傳送至物件上。 在本發明之晶粒傳輸裝置中，言亥等晶粒係為電子零 1322647 98年12月22日補充修正修正頁 件，而該等物件係為卡片狀之1C卡零件或1^標籤零件。 在本發明中，可以利用前述之晶粒傳輸裝置的作動及效 果，來改善1C卡或RF標籤的產率及品質。 【實施方式】 以下將參照相關圖式，說明依本發明較佳實施例之晶 粒傳輸裝置。 ' 圖1係顯示依本發明較佳實施例之一晶粒傳輸裝置 籲1，其包括一第一承載體3、一第二承載體5、以及二傳輸 引擎6。在本實施例中，第一承載體3係承載複數個晶粒 2並供應所承載之晶粒2，第二承載體5係承載複數個物 件4，而晶粒2係被傳送至物件4上。各傳輸引擎6分別 包括六個同轴旋轉器10，其係繞著一同心軸設置，且每一 同軸旋轉器10包括有終端受動器71〜76。每一終端受動器 自第一承載體3接收一晶粒2，並將所接收之晶粒2傳送 ▲ 至位於第二承載體5上之一物件4。 終端受動器71〜76係等間隔地設置於一同心圓上，且 此同心圓之軸心係為同軸旋轉器10之軸心，當終端受動 器71〜76沿著同心圓轉動時，其係分別與第一承載體3同 步作動，以便與第一承載體3接近於相對零速度地自第一 承載體3接收晶粒2，然後終端受動器71〜76更分別與第 二承載體5同步作動，以便與第二承載體5接近於相對零 速度地將所接收之晶粒2傳送至位於第二承載體5之物件 4上，在終端受動器71〜76轉動期間，各終端受動器係獨 1322647 98年12月22曰補充修正修正頁 立地執行在轉動軌道上之接收作動及傳輸作動的時間調 整，以及針對此時之轉速調整的轉速變化控制。 如圖1所示，終端受動器71係位於標準位置Q1，以 便自第一承載體3接收晶粒2;終端受動器72係位於標準 位置Q2，其係朝向第二承載體5移動；終端受動器73係 位於標準位置Q3，以便將所接收之晶粒2傳送至物件4 上；終端受動器74、75及76係分別位於標準位置Q4、 Q5及Q6，其係朝向第一7豕載體3移動。 第一承載體3係為一圓筒狀或圓柱狀滾筒，並在點P0 · 處接收由一鄰設之晶粒供應器30所供應的晶粒2,接著在 - 點P1處將所接收之晶粒2傳送至該等同軸旋轉器10之 ' 一。一般而言，第一承載體3係以一定速度轉動，且以一 ' 定間距將晶粒2承載於其圓筒表面，此圓筒表面可以是形 成有複數個孔洞，這些孔洞可以吸入氣體以便將晶粒2吸 附在滾筒表面。當第一承載體3到達一預定旋轉位置時， 接著停止孔洞之吸附作動或提供正壓，以便釋放所吸附之 φ 晶粒2。如圖1所示，晶粒供應器30係為滾筒狀，且在其 周圍設有一帶子以便暫時將晶粒2留在帶子上，直到將晶 粒2傳送至第一承載體3。另外，一連續之物質可以被輸 入並被切割成晶粒狀，而被切割成晶粒狀之物質係接著被 傳送至晶粒供應器30。 第二承載體5係為一輸送帶，其係由四個滚筒51〜54 所驅動，輸送帶之起始端係自一捲筒（圖中未顯示）出發， 如箭號55所示，而輸送帶之末端係由另一捲筒（圖中未 11 1322647 98年12月22曰補充修正修正頁 顯示）捲起，如箭號56所示。 第一承載體3或第二承載體5可以由驅動器（圖中未 顯示）及一驅動控制系統（圖中未顯示）來調整，以便將 第一承載體3或第二承載體5調整到固定速度。在將晶粒 2傳送至物件4之前，晶粒2及物件4所狀況係分別被三 個量測單元103、106及105所擷取，這些量測單元103、 106及105可以是攝影機，而由所擷取之影像可以觀察出 不規則的間隔、異常的位置、外來的物質、及其他異常狀 鲁況。在將晶粒2傳送至物件4之前，量測單元103、106 及105可以量測出晶粒2與物件4之移動速度，因此能夠 進一步控制同軸旋轉器10之之轉動。 以RF標籤產品為例，如圖2A及2B所示，晶粒傳輸 裝置1係將晶粒2傳送至物件4上，在本實施例中，晶粒 2為RF接收傳輸電子零件，而物件4為具有天線41之RF 標籤零件，第二承載體5可以是輸送帶以承載物件4 ;另 I外，物件4可以是利用印刷、微影成像、或其他積體電路 方式形成於一類似第二承載體5之帶狀軟性基板。設置於 物件4上之天線41的二端子42可以是預先以導電樹脂所 形成，以便與外界電性連接；各晶粒2係設置於物件4之 二端子42之間；此時，由於RF標籤的尺寸非常小，所以 其又被稱為「sesame chip」。RF標籤之精準度為數微米至 數十微米，所以晶粒2設置位置的精準度通常需要符合RF 標籤之精準度的要求，針對此要求，晶粒傳輸裝置1便可 以達成此精準度。在量產便宜之RF標籤時，晶粒2可以 12 1322647 98年12月22日補充修正修正頁 如上所述地設置於不間斷地連續輸送之物件4上。晶粒傳 輸裝置1不但可以用來生產RF標籤，其還可以用來將電 子零件傳送並設置於1C卡零件上。 上述快速且正確地傳輸方式能夠透過該等終端受動 器之轉動來實現。以下將參考圖3說明該等終端受動器之 轉動情形，其中圖3係顯示各終端受動器之旋轉角度Θ隨 時間變化的關係圖。如圖3所示，曲線C1〜C6分別表示如 圖1所示之終端受動器71〜76的移動情形；例如，當時間 軸為tl時，終端受動器之旋轉角度分別對應至點ql〜q6， 其係對應至圖1所示之標準位置Q1〜Q6 ;當終端受動器位 於第一承載體3之旋轉中心與同軸旋轉器的連線上時，定 義此時的旋轉角度Θ為零，且設定此位置為終端受動器移 動的起始點，而各終端受動器係以逆時針方向旋轉（如圖 1所示）。如圖3所示，週期T1表示終端受動器71〜76自 第一承載體3接收二晶粒2的時間間隔，亦即晶粒2輸入 的間隔，而週期T1係依據第一承載體3之轉速以及晶粒2 位於第一承載體3上的間隔而定；週期T2表示所有終端 受動器71〜76分別自第一承載體3接收並傳送晶粒2的時 間間隔，若測量少數個循環所得之週期T2係大約為週期 T1的六倍（Τ2«6χΤ1)，若測量多數個循環所得之平均週期 Τ2則為週期Τ1的六倍（τ2 = 6χτι)。各終端受動器71〜76 係分別獨立地受到控制，所以晶粒輸入的速度可以是終端 受動器之旋轉速度的六倍。 以下請參考圖4Α及4Β說明單一終端受動器的轉動情 13 1322647 98年12月22日補充修正修正頁 形，其中圖4A及4B係顯示終端受動器71於其運行轨道 上移動時，旋轉角度變化與時間的關係圖。當時間為tl時 (即位於圖4B所示之e點處），終端受動器71係接收一 晶粒2,此時終端受動器71之旋轉角度Θ為零且其轉速為 VI ;然後，當時間為t2時（即位於圖4B所示之f點處）， 終端受動器71係將所接收之晶粒2傳送至一物件4上， 此時終端受動器71之旋轉角度為Θ1且其轉速為V2 ;最 後，當時間為t3 (t3=tl+T2)時（即位於圖4B所示之g •點處），終端受動器71係回到起始點，此時終端受動器71 所旋轉的角度為2π。在時間週期al、a3或a5中，終端受 動器71之轉速係分別為恆定，以便能夠與晶粒2接近相 對零速度地自第一承載體3接收晶粒2，或是能夠與物件 4接近相對零速度地將所接收之晶粒2傳送至位於第二承 載體5之物件4上；在時間週期a2或a4中，終端受動器 71係沿著其旋轉執道加速旋轉或減速旋轉。 $ 在時間週期a2或a4中，不僅可以進行轉速調整，還 可以進行時間調整。舉例而言，如圖1所示，當量測單元 105量測出位在第二承載體5上之物件4的間距有變化， 便可以要求終端受動器71提早一時間At將所接收之晶粒 2傳送至物件4上；在本實施例中，可以將終端受動器71 加速，以便讓圖4B所示之曲線能夠通過點fl以取代原先 之點f，如此曲線可以由原先之實線便成虛線，因此，便 能夠加速傳送晶粒2的作動，進而將晶粒2傳送至物件4 上的預設位置。如此一來，經由獨立地控制各終端受動器 14 1322647 98年12月22日補充修正修正頁 71〜76的旋轉情形，便能夠快速地加快將晶粒2傳送至物 件4的速度。 以下將參考圖5〜10所示說明同軸旋轉器10與傳輸引 擎6之結構；其中，圖5顯示各終端受動器之端部，圖6A 及6B顯示傳輸引擎，圖7及8顯示同軸旋轉器，圖9顯 示傳輸引擎之概略圖，圖10顯示傳輸引擎之侧視圖。在 本實施例中，各終端受動器71〜76之一端部附近係附設有 一吸附墊部70 (如圖5所示），其係包括穿設此端部之一 孔洞以利用氣動控制方式來吸附晶粒2，例如，當利用終 端受動器接收晶粒時，其係利用吸附墊部70之孔洞來吸 附一晶粒，當將晶粒傳送至定點時，其係於吸附墊部70 之孔洞提供常壓或正壓來放置晶粒，各吸附墊部70係隨 著相對應之終端受動器71〜76轉動。如圖5所示，終端受 動器71、73及75為一組，終端受動器72、74及76為另 一組，各組終端受動器係分別連接於各傳輸引擎，而一組 終端受動器係與另一組終端受動器為反向設置，且其係沿 著同一圓周設置；如圖10所示，二傳輸引擎6係同軸設 置、且互相相對而設。 請參照圖6A、6B、7及8A〜8C所示，以下將說明一 傳輸引擎6，其係包括三個終端受動器71、73及75。如 圖6A及6B所示，傳輸引擎6包括三個固定框架60a、60b 及60c，四個位於固定框架60a與60c之間的大直徑同心 轴承，一固定於固定框架60a的中空轴承60，以及三個固 定於中空軸承60的小直徑同心軸承61、63及65 ;終端受 15 1322647 98年12月22日補充修正修正頁 動器71、73及75係為桿狀，且設置於偏離並平行中心軸 CL的位置，此時，終端受動器71、73及75係被大直徑 同心軸承及該等小直徑同心轴承共同挾持，以便終端受動 器71、73及75能夠繞著中心軸CL旋轉，進而構成一體 之同軸旋轉器10，此時，每一終端受動器係設置於一同軸 旋轉器10上，而由於一傳輸引擎6包括三個終端受動器 71、73及75，所以一傳輸引擎6包括三個同轴旋轉器10。 以下將說明具有終端受動器71之同軸旋轉器10的旋 _轉機制，其中，中空軸承60上之小直徑同心車由承61係支 撐終端受動器71之一端部（接近吸附墊部70)，而終端受 動器71之另一端部係透過連接環90連接至大直徑同心軸 承之内軌81，大直徑同心軸承之外軌80係支撐内執81並 固定於固定框架60c上。而且，内執81係透過一環形連接 器91固定於轴向鄰設之另一大直徑同心軸承的外軌82 ; 一驅動輪92係環繞環形連接器91之外周設置，且環形連 接器91係固定於驅動輪92上，驅動輪92之外周緣設有 複數個凸齒（如精密的齒輪等），並由一同步皮帶所驅動。 外執82係與同一大直徑同心軸承之内轨83 (如圖6B與 8B所示）連接，鄰設於終端受動器71之另一終端受動器 73係透過連接環90固設於此内軌83 (如圖9所示）。 其他包含終端受動器73或終端受動器75之同軸旋轉 器10的結構係如上所述之包含終端受動器71之同軸旋轉 器10 (如圖6B、7、及8A〜8C所示）。具體而言，終端受 動器73係透過一連接環90及一環形連接器93，以便由一 16 1322647 98年12月22曰補充修正修正頁 組内執83及外軌84所支撐，而終端受動器75係透過一 連接環90及一環形連接器95,以便由一組内軌85及外執 86所支撐；驅動輪94及96係分別與終端受動器.73及終 端受動器75相對而設；内執81係由固設於固定框架60c 之外軌80所支撐，而外執86係由固設於固定框架60a之 内執88所支撐。 各同轴旋轉器10分別包括一終端受動器、一大直徑 同心轴承、一環形連接器、及一驅動輪，其中，環形連接 器係固定一大直徑同心軸承之内執與相鄰之一大直徑同 心轴承之外執，此相鄰二大直徑同心轴承係分別與二相鄰 之終端受動器連接。如圖所示，共有四個大直徑同心軸承 - 以串聯方式連接，而且串聯之大直徑同心軸承的兩端分別 ' 以一外轨及一内執輿固定框架連接。在上述之傳輸引擎6 的結構中，三個同轴旋轉器10係互相支撐。 圖11顯示傳輸裝置之伺服驅動系統，其包括一中央 處理單元（CPU) 100,以便執行伺服控制同轴旋轉器10 之驅動。中央處理單元100可以獨立伺服控制六個馬達 Μ，而各馬達Μ分別驅動對應之一同軸旋轉器10,由於各 同軸旋轉器10係分別獨立旋轉，所以驅動輪92、94、及 96係分別連接至一通用伺服控制系統馬達，進而能夠達成 轉速/轉速變化控制，及定位修正控制。承上所述，施加於 旋轉轴心上的外力能夠經由驅動輪92、94、及96被釋放 或消除掉，而驅動輪92、94、及96的外周圍係為開放空 間，因此能夠適用於各式各樣的機制，如此能夠將前述之 17 1322647 98年12月22日補充修正修正頁 驅動機制，以達成更精 通用飼服控制系統馬達更換為直接 細的控制。 以下將參考圖6B說明利用終端受 彳私恶日如认达丑， 又動益71〜76來吸附 或放置B日粒的情形。在本實施例中，各傳輪 軸承60具有三個孔洞70&及一中央 工 ^ ^ ^ ^ , ? 、札 70b，孔洞 70a 係形 成於中空軸承60之圓柱狀管壁上，
阳宁央孔70b係形成 於鄰近於固定框架6〇a的中空軸承6〇夕 X ^ ^ 叫之―蠕壁上，此時终 端受動器内的空間、小直徑同心軸承 、
τ 01、63及65上的孔 洞及狹縫、以及中空轴承6〇之孔洞7如與中央孔鳩係構 Η路，再配合—適當之氣動控制器（圖中未顯示）， 便能夠經由此通路於吸附墊部7〇之 心礼洞處提供用以吸附 晶粒之負壓。另外，小直徑同心軸承6卜63及65可以八 別形成有-$力控制孔'洞’心匕當小直徑同心姉以、^ 及65隨著終端受動器71〜76轉動至定點時，這些壓力控 制孔洞可以連接至一管線（圖中未顯千）工 " 不硕不），而吸附於吸附 塾部7 0之晶粒便能夠順利被放置於定點。 以上所述僅為舉例性，而非為限制性者。舉例而士 一連續之物質可以被輸入並被切割成晶粒狀，而被切^成 晶粒狀之物質係接著以固定間距被輸入第一承載體3 ^ 中，傳輸裝置可以附設有用以進行固定間距校正及定位校 正之對準單元；傳輸裝置亦可以附設有不間斷相同步器^ 以便在不中斷輸入物件的情況下，以一定間距將物^放置 於第二承载體5上，如此將使得本發明之傳輸裝置更加有 效率。傳輪裝置更可以做為一轉換機台、一印刷機、—貼 標籤機、一半導體制、生 A 98年12月22曰補充修正修正頁 連續或分離之紙片I:機I:=來將鏡膜液體轉印至 設i、β> m弋姑茧t ° /、亦可以是用來傳送、重新 又置層I钱置小型“或賴的設備。 在上述之實施例中，值铪 擎，而各傳輸S具有二相對之傳輸引 動器（如圖1〇所示)，；；而二=軸旋轉器及三個終端受 造並不限於此，終端受動=核明之傳輸裝置1的構 的尺寸或形狀、或是生產L而係依據所欲傳送之晶粒 標籤時，可以使用且右二例如’為服飾物品貼上 輸引擎.& μ + 、、、端受動器及二同轴旋轉器的傳 動述，本發明之繼置係使用具有至少二 、、=文動錢至少二同軸旋轉器的傳輸弓m中，各炊 =器係被獨立地驅動，以便在接收與傳輸晶粒之軌道 移動中調整其轉速。 依本發明之傳輸裝置能夠湘獨立地校正各終端受 ^器之移動及位置，所以其傳輸位置能夠達到數微米至數 :微米的精確度、然而，本發明之傳輸裝置更可以適用於 需要相當適度操作條件的傳輸定位或晶粒處理，例如，有 些例子是所需之傳輸定位精密度為數毫米的情形，或是即 使物件與晶粒間的相對傳輸速度非為零時仍可被接受的 情形，仍然可以利用本發明之傳輸裝置來改善生產率。 在一個製作流程中，可以將二個以上之晶粒傳送至— 物件上，在本實施例中，可以使用具有複數個終端受動器 之同軸旋轉器、或具有一對一終端受動器之同轴旋轉器。 而複數個晶粒可以設置於位於第二承載體之物件的移動 1322647 方向上、戒與其移動方向垂直之方向上=年12月22日補充修正修正頁 方向在上述之實施例中’由於吸附塾部7。的位f所以 晶粗可以被吸附在與同軸旋轉器之經向垂直的平如 米)，然而’在本發明中晶粒並不=二 方向，例如，晶粒可以被放在與終端受動器之旋 行的平面上（此平面係垂直前述中心車”，其中 擎之旋轉钟（其亦為同軸旋轉器與終端受動器之二 係設置於#方向（而晶粒係於-實質水平之平面^接 收及傳送。因此，各終端残器於—水平面上轉動，並於 此水平旋轉執道上㈣—承載體接收晶粒；而在調整轉速 及時序後，各終端讀㈣於此抑面切晶粒傳送至位 於第二承载體上的物件。 以上所述僅為舉例性，而非為限制性者。 本發明之精神與範疇，而對其進行之楚& 了禾脫磷 應包含於彳請之申請專_时。4效修改或變更，均 【圖式簡單說明】 圖1為一示意圖 輸裝置； 顯 不依本發明較佳實施例之晶粒傳 圖2A為一示意圖，顯示晶粒及 較佳實施例之晶粒亀置如何將送=發明 圖2B為-示意圖，顯示-晶粒及—物件件上，
轉動為:不意圖’顯示晶粒傳輸裝置之終端受動哭的 轉動6形’其係隨時間變換轉動W ; 、U 1322647 98年12月22日補充修正修正頁 圖4A為一示意圖，顯示一終端受動器如何轉動； 圖4B為一示意圖，顯示如圖4 A所示之終端受動器的 轉動情形，其係隨時間變換轉動角度； 圖5為一示意圖，顯示終端受動器的局部示意圖； 圖6A為一示意圖，顯示晶粒傳輸裝置之傳輸引擎； 圖6B為一示意圖，顯示沿著圖6A所示之線 A-B-C-0-D的剖面圖； 圖7為一爆炸圖，顯示傳輸引擎之同軸旋轉器； 圖8A至8C為示意圖，顯示傳輸引擎之三個同轴旋轉 器的軸向剖面圖； 圖9為一概略示意圖，顯示如圖6B所示之結構； 圖10為一示意圖，顯示晶粒傳輸裝置之二個傳輸引 擎的側視圖；以及 圖11為一方塊圖，顯示晶粒傳輸裝置之伺服驅動系 統。 【主要元件符號說明】 1 傳輸裝置 10 同軸旋轉器 100 中央處理單元 103 量測單元 105 量測單元 106 量測單元 2 晶粒 21 1322647 98年12月22曰補充修正修正頁 3 第一承載體 30 晶粒供應斋 4 物件 41 天線 42 端子 5 第二承載體 51 〜54 滾筒 55 箭號 56 箭號 6 傳輸引擎 60 中空轴承 60a〜60c 固定框架 61 小直徑同心軸承 63 小直徑同心軸承 65 小直徑同心車由承 70 吸附墊部 70a 孔洞 70b 中央孔 71-76 終端受動器 80 外執 ' 81 内軌 82 外執 83 内軌 84 外軌 22 1322647 98年12月22日補充修正修正頁 85 内軌 86 外轨 88 内軌 90 連接環 91 環形連接器 92 驅動輪 93 環形連接器 94 驅動輪 95 環形連接器 96 驅動輪 C1 〜C6 曲線 Q1 〜Q6 標準位置 T1 週期 T2 週期 al 〜a5 .時間週期

Claims (1)

1322647 98年12月22日補充修正修正頁 七、申請專利範圍： 1、一種晶粒傳輸裝置，其係用以傳輸複數個晶粒至複數 個物件上，包含： 一第一承載體，其係承載該等晶粒； 一第二承載體，其係承載該等物件； 複數個終端受動器，其係自該第一承載體接收該等晶 粒，並將該等晶粒傳送至該等物件上； 複數個同軸旋轉器，其係分別與該等終端受動器之一 • 連接，並分別獨立地繞著一同心轴旋轉；以及 複數個伺服驅動器，其係分別驅動該等同轴旋轉器之 一，以獨立隨機地改變各同軸旋轉器之週期性轉速， . 其中，各終端受動器係不可分離地設置於各同軸旋轉 器上，且分別佈設在以該同心轴為軸心之一同心圓 上，該等伺服驅動器係分別驅動該等終端受動器連 續且依序移動，各終端受動器係自該第一承載體接 0 收該等晶粒之一，並將所接收之該晶粒傳送至位於 該第二承載體之該等物件之一上，而在包含上述傳 輸作動及上述接收作動之作動週期間，各終端受動 器之轉速係獨立地改變，該等終端受動器係分別與 該第一承載體同步作動，以便與該第一承載體實質 上相對零速度地自該第一承載體接收該等晶粒之 一，該等終端受動器更分別與該第二承載體同步作 動，以便與該第二承載體實質上相對零速度地將所 接收之該等晶粒之一傳送至位於該第二承載體之該 24 1322647 . 98年12月22日補充修正修正頁 等物件之一上。 2、 如申請專利範圍第1項所述之晶粒傳輸裝置，其中： 各該同轴旋轉器分別包含一同心轴承，該等同心轴承 係依序沿著該同心軸方向設置，該等同心轴承之一 的内執係固設於該等同心軸承之另一的外軌，且該 等同心轴承之一的外軌係固設於該等同心軸承之又 一的内執； 位於該等同心軸承一端之該同心軸承的内徑係固定於 一固設面上，且位於該等同心軸承另一端之該同心 軸承的外徑係固定於另一固設面上；以及 各終端受動器係不可分離地固設於相對應之同心軸承 的内執，且各伺服驅動器係提供一旋轉驅動力以致 動相對應之同心轴承的外執。 3、 如申請專利範圍第1項所述之晶粒傳輸裝置，其中各 伺服驅動器係個別且獨立地設定相對應之同轴旋轉器 的轉速以及轉速變化。 4、 如申請專利範圍第3項所述之晶粒傳輸裝置，更包含： 一量測單元，其係量測設置於該第一承載體上之該晶 粒的速率，及/或設置於該第二承載體上之該物件的 速率，其中該等伺服驅動器係依據該量測單元之量 測結果而作動。 5、 如申請專利範圍第3項所述之晶粒傳輸裝置，其中當 該第一承載體之輸送速率及該第二承載體之輸送速率 不同時，各終端受動器係與該第一承載體同步，以便 25 1322647 98年12月22日補充修正修正頁 與該第一承載體實質上相對零速度地接收該等晶粒之 一，且各終端受動器係與該第二承載體同步，以便與 該第二承載體實質上相'對零速度地將所接收之該等晶 粒之一傳送至位於該第二承載體之該等物件之一的一 預設位置上。 6、 如申請專利範圍第5項所述之晶粒傳輸裝置，其中該 第一承載體及該第二承載體係為滾筒或輸送帶。 7、 如申請專利範圍第1項所述之晶粒傳輸裝置，其中該 等晶粒係為電子零件，而該等物件係為卡片狀之1C卡 零件或RF標籤零件。 26
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