WO2006033370A1

WO2006033370A1 - トランスファー装置

Info

Publication number: WO2006033370A1
Application number: PCT/JP2005/017422
Authority: WO
Inventors: Hiroshi Aoyama; Ryoichi Nishigawa
Original assignee: Hallys Corporation
Priority date: 2004-09-22
Filing date: 2005-09-21
Publication date: 2006-03-30
Also published as: CN101018722B; TWI353956B; TW200616873A; DE602005020330D1; US20080023296A1; EP1801046B1; EP1801046A1; EP1801046A4; CN101018722A; JPWO2006033370A1; JP4838136B2; US7721872B2

Abstract

　トランスファー装置１は、移載する移載ワーク２を保持して搬送する第１の搬送手段３と、移載ワーク２を移載する相手方のキャリアワーク２１を保持して搬送する第２の搬送手段５と、第１の搬送手段３から移載ワーク２を受け取ると共に第２の搬送手段５のキャリアワーク２１に移載するように構成された移載手段６とを含むものである。移載手段６は、同一円周上を周回して移載ワーク２を搬送するエンドエフェクタ７１～７６を２以上有しており、該各エンドエフェクタ７１～７６は、他のエンドエフェクタとは独立に周回するように構成されている。各エンドエフェクタ７１～７６は、移載ワーク２を保持する保持面７０ｓを備えており、該保持面７０ｓが、エンドエフェクタ７１～７６の周回軸に沿って進退可能なように構成されている。

Description

明細書

トランスファー装置

技術分野

[0001] 本発明は、移載ワークをキャリアワークに移載するトランスファー装置に関する。

背景技術

[0002] 従来、例えば、電子部品の実装を行う装置として、キャリアワークの表面の所定位置に小片状の移載ワークを移載するトランスファー装置がある。トランスファー装置としては、例えば、移載ワークを保持して周回する移載ヘッドを備えたものがある。このようなトランスファー装置では、例えば、カムを利用して移載ヘッドの周回運動を一時停止させることで移載ワークの受け取りやキャリアワークへの移載を精度良く実施できるようにしている（例えば、特許文献 1参照。 ) o

[0003] し力しながら、上記従来のトランスファー装置では、次のような問題がある。すなわち、上記移載ヘッドの周回動作の一時停止に起因して移載効率を十分高めることができな、おそれがあると!/、う問題がある。

[0004] 特許文献 1 :特開平 10— 145091号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0005] 本発明は、上記従来のトランスファー装置の問題点を鑑みてなされたものであって、移載効率が高いトランスファー装置を提供しょうとするものである。

課題を解決するための手段

[0006] 第 1の発明は、移載ワークを保持して搬送する第 1の搬送手段と、キャリアワークを保持して搬送する第 2の搬送手段と、上記第 1の搬送手段から上記移載ワークを受け取り、上記キャリアワークに移載するための移載手段とを含むトランスファー装置において、

上記移載手段は、同一円周上を周回して上記移載ワークを搬送するエンドエフエタタを 2以上有しており、該各エンドェフエクタが少なくともいずれか他の上記エンドエフェクタとは独立に周回するように構成してあり、上記各エンドェフエクタは、上記移載ワークを保持する保持面を備えており、かつ、上記各エンドェフエクタの周回軸に沿って上記保持面を進退させ得るように構成してあることを特徴とするトランスファー装置にある。

[0007] 上記第 1の発明のトランスファー装置では、上記各エンドエフヱクタが少なくともいずれか他のエンドェフエクタとは独立して周回し得る。そのため、上記各エンドエフエタタによれば、上記第 1の搬送手段による上記移載ワークの搬送速度や搬送位置等の変化に対応しながら上記移載ワークを効率良く受け取ることができる。上記各エンドェフエクタによれば、上記第 2の搬送手段による上記キャリアワークの搬送速度や目標移載位置等に対応して上記移載ワークを精度高く移載することができる。そのため、上記トランスファー装置によれば、上記移載ワークの受け取りや引き渡しに際して、上記エンドェフクタを停止させなくても位置精度を高く維持することができる。

[0008] さらに、上記第 1の発明の上記各エンドエフヱクタは、上記移載ワークを保持する上記保持面を上記周回軸に沿って進退させ得るように構成してある。そのため、上記トランスファー装置では、上記第 1の搬送手段が搬送する上記移載ワークの位置や、上記第 2の搬送手段におけるキャリアワークの位置ずれ等に応じて上記保持面を進退させることができる。それ故、上記トランスファー装置によれば、一層、位置精度高く上記移載ワークを移載することができる。

[0009] 以上のように、上記トランスファー装置では、上記各エンドェフエクタを一時停止させることなく効率良く上記移載ワークを移載することができる。さらに、上記各エンドェフエクタによれば、上記保持面を上記周回軸に沿って進退させ得るので、位置精度高く上記移載ワークを移載することができる。

[0010] 第 2の発明は、移載ワークを保持して搬送する第 1の搬送手段と、キャリアワークを保持して搬送する第 2の搬送手段と、上記第 1の搬送手段から上記移載ワークを受け取り、上記キャリアワークに移載するための移載手段とを含むトランスファー装置において、

上記移載手段は、同一円周上を周回して上記移載ワークを搬送するエンドエフエタタを 2以上有しており、該各エンドェフエクタが少なくともいずれか他の上記エンドエフェクタとは独立に周回するように構成してあり、上記各エンドェフエクタは、上記移載ワークを保持する保持面を備えており、かつ、該保持面力その法線方向の中心軸周りに回転可能なように構成されていることを特徴とするトランスファー装置にある。

[0011] 上記第 2の発明のトランスファー装置は、上記第 1の発明と同様、上記各エンドエフェクタが少なくともいずれか他のエンドェフエクタとは独立して周回し得る。そのため、上記第 1の発明と同様、上記移載ワークの受け取りや引き渡しに際して、上記エンドェフクタを停止しなくても位置精度を高く確保できる。

[0012] さらに、上記第 2の発明の上記各エンドエフヱクタでは、上記保持面を、その法線方向の中心軸周りに回転させることができる。そのため、上記トランスファー装置では、上記第 1の搬送手段が搬送する上記移載ワークの姿勢や、上記第 2の搬送手段における上記キャリアワークの姿勢に応じて上記保持面を適宜、回転させることができる。それ故、上記トランスファー装置によれば、一層、位置精度高く上記移載ワークを移載し得る。

[0013] 以上のように、上記トランスファー装置では、上記各エンドェフエクタを一時停止させることなく効率良く上記移載ワークを移載することができる。さらに、上記各エンドェフエクタによれば、上記保持面を回転させ得るので、非常に精度良く上記移載ワークを移載することができる。

図面の簡単な説明

[0014] [図 1]実施例 1における、トランスファー装置を示す構成図。

[図 2]実施例 1における、キャリアワークに対する移載ワークの配置を説明する説明図

[図 3]実施例 1における、移載手段を示す正面図。

[図 4]実施例 1における、移載手段の断面構造を示す断面図（図 2における A— A線矢視断面図。）。

[図 5]実施例 1における、同軸回転体の組み付け構造を示す斜視図。

[図 6]実施例 1における、保持面の周辺構造を拡大して示す拡大断面図（図 4における B部の拡大図。）。

[図 7]実施例 1における、保持面の正面図（図 6における C矢視図。 )。 [図 8A]実施例 1における、同軸回転体を個別に示す断面図。

[図 8B]実施例 1における、同軸回転体を個別に示す断面図。

[図 8C]実施例 1における、同軸回転体を個別に示す断面図。

[図 9]実施例 1における、同一円周上に配列されたエンドェフエクタを示す説明図。

[図 10]実施例 1における、エンドエフヱクタの周回運動を説明するグラフ。

[図 11]実施例 1における、単一のエンドエフヱクタの周回運動を説明するグラフ。

[図 12]実施例 2における、移載手段の断面構造を示す構成図。

[図 13]実施例 2における、ガイド溝を示す拡大断面図（図 12における D— D線矢視断面図。 )。

[図 14]実施例 3における、その他のトランスファー装置を示す構成図。

符号の説明

[0015] 1 トランスファー装置

10 同軸回転体

2 移載ワーク

21 キャリアワーク

3 第 1の搬送手段

5 第 2の搬送手段

6、6a、6b 移載手段

70s 保持面

701 摺動部材

703 保持台座

71〜76 エンドェフエクタ

発明を実施するための最良の形態

[0016] 上記第 1及び上記第 2の発明のトランスファー装置では、上記各エンドェフエクタが少なくといずれか他のエンドェフエクタとは独立して周回し得る。そのため、例えば、すべてのエンドェフエクタを一体的に周回させる場合と比べて、自由度高ぐかつ、効率高く上記移載ワークの受け取り及び、引き渡しを行うことができる。特に、上記トランスファー装置において周回運動中の上記エンドェフエクタの速度制御を実施すれば、上記エンドェフエクタの周回位置制御が可能である。そして、上記各エンドェフエクタが上記移載ワークを受け取るタイミングを調整可能である。これにより、上記第 1の搬送手段における上記移載ワークの搬送方向の位置のばらつきを吸収でき、上記キャリアワークに対して位置精度高く上記移載ワークを移載することができる。特に、全ての上記エンドェフエクタを、互いに独立して周回可能なように構成した場合には、本発明の作用効果を一層、向上させることができる。

同様に、周回運動中の上記各エンドェフクタの周回位置を制御すれば、上記移載ワークを上記キャリアワークに移載するタイミングを調整可能である。そのため、上記キャリアワークに対する上記移載ワークの移載精度を向上させることができる。

[0017] 以上のように、上記第 1及び上記第 2の発明のトランスファー装置によれば、上記第 1の搬送手段と上記第 2の搬送手段との間に配設した上記移載手段の作用により、上記第 1の搬送手段における上記移載ワークの搬送方向の位置のばらつき等を吸収しつつ、該移載ワークを精度高ぐかつ、効率高く上記キャリアワークに移載することがでさる。

[0018] さらに、上記第 1及び上記第 2の発明のトランスファー装置は、同一円周上を周回する複数の上記エンドェフエクタを有している。そして、この複数の上記エンドェフエクタを利用すれば、該各エンドェフエクタの周回速度を抑制しながら、極めて効率良く上記移載ワークを移載することができる。例えば、独立に回転制御される 6つの上記エンドェフエクタを用いれば、該各エンドェフエクタの周回周期の 1Z6の高速周期で、上記移載ワークを移載することができる。

[0019] 上記第 1及び上記第 2の発明のトランスファー装置は、例えば、 RF— TAGの製造過程や、紙おむつ、サニタリーナプキンあるいはタンポン等の製造過程に利用することができる。例えば、 RF— TAGの製造過程では、インターポーザをアンテナシートに移載する工程に対して上記トランスファー装置を利用できる。さらに例えば、紙おむつやサニタリーナプキン等の製造過程では、接着テープや吸水性パッドなどを、ポリエチレン等の榭脂フィルムゃ不織布などに移載する工程に対して上記トランスファー装置を利用することができる。

[0020] 上記第 1の発明においては、上記保持面が、その法線方向の中心軸周りに回転可能なように構成されて、ることが好まし!/、。

この場合には、第 1の搬送手段が搬送する移載ワークの姿勢や、第 2の搬送手段におけるキャリアワークの姿勢に応じて上記保持面を適宜、回転させることができる。それ故、上記トランスファー装置によれば、一層、位置精度高く移載ワークを移載することがでさる。

[0021] 上記第 1及び上記第 2の発明においては、上記トランスファー装置は、上記各ェンドエフクタが周回運動する際の周回速度及び周回位置を制御するための制御手段を有し、

該制御手段は、上記第 1の搬送手段力上記ワークを受け取る際の上記エンドエフクタの周回速度が上記第 1の搬送手段の搬送速度に略一致するように制御し、かつ、上記第 2の搬送手段に上記ワークを引き渡す際の上記エンドエフヱクタの周回速度が上記第 2の搬送手段の搬送速度に略一致するように制御するように構成されて、ることが好まし!/、。

[0022] この場合には、同一円周上を周回する上記各エンドェフエクタは、それぞれの周回順序を維持しながら、上記第 1の搬送手段の搬送動作に同期し、相対速度が略ゼロの状態で第 1の搬送手段から上記移載ワークを受け取ることができる。その後、上記各エンドェフクタは、上記第 2の搬送手段の搬送動作に同期し、相対速度が略ゼロの状態で上記第 2の搬送手段に上記移載ワークを引き渡すことができる。

[0023] 上記トランスファー装置では、上記第 1の搬送手段から上記移載ワークを受け取る際、上記第 1の搬送手段と上記エンドエフヱクタとの相対速度が略ゼロである。また、上記第 2の搬送手段に向けて上記移載ワークを引き渡す際、上記第 2の搬送手段と上記エンドェフエクタとの相対速度が略ゼロである。そのため、上記移載手段は、上記エンドェフクタの周回動作を停止させることなぐ連続的に搬送されてくる上記移載ワークを連続的に受け取り、その後、受け取った上記移載ワークを上記第 2の搬送手段に連続的に引き渡すことができる。

[0024] 上記トランスファー装置では、上記ワークの受け取り或いは引き渡しの際の上記各搬送手段と上記エンドェフエクタとの相対速度が略ゼロである。そのため、上記トランスファー装置では、極めて精度高く上記移載ワークの移載を実施することができ、搬送中に上記移載ワークを傷つけるおそれが極めて少な、。

[0025] 特に、上記第 1の搬送手段と上記第 2の搬送手段との間に搬送速度差がある場合には、本発明の作用効果が一層、有効になる。この場合には、周回運動中の上記ェンドエフエクタを適宜、変速制御することによりそれぞれの搬送速度に精度良く対応できる。上記移載ワークの受け取り時及び受け渡し時において、上記エンドエフエタタと上記搬送手段との相対速度を略ゼロとすれば、上記移載ワークの搬送位置精度を高く確保することができる。

[0026] また、上記移載手段は、一体的に周回する 1または 2以上の上記エンドェフエクタを一体的に保持する同軸回転体と、少なくとも 2個以上の上記同軸回転体を回転支持するよう、軸方向に隣り合わせて同軸上に配置された 3個以上の軸受とを有し、該各軸受が、略円筒状の内輪と、該内輪に外挿して配置された略円筒状の外輪と、上記内輪と上記外輪との相対回転を可能とするベアリング機構とよりなり、

上記各軸受のうち軸方向の中間に配置された 1又は 2以上の中間軸受の上記内輪力隣り合う他の上記軸受の上記外輪と連結され一体的に回転するように構成してあると共に上記同軸回転体のいずれかを一体的に保持しており、

上記各軸受のうち軸方向の端部に配置された上記軸受のうちの一方は、上記内輪が隣り合う他の上記軸受の上記外輪と連結され一体的に回転するように構成してあると共に上記同軸回転体のいずれかを一体的に保持しており、かつ、上記外輪が上記移載手段の構造部材に固定されており、

上記各軸受のうち軸方向の端部に配置された上記軸受のうちの他方は、上記外輪が隣り合う他の上記軸受の上記内輪と連結され一体的に回転するように構成してあり、かつ、上記内輪が上記移載手段の構造部材に固定されており、

上記各外輪のうち、隣り合う上記軸受の上記内輪と一体的に連結された上記外輪は、それぞれ、独立に回転制御される外部モータの出力軸に連結してあることが好ましい。

[0027] この場合には、隣り合う一方の軸受の内輪と他方の軸受の外輪とを連結することで、複数の軸受よりなる一体的な軸受構造を実現できる。すなわち、上記各同軸回転体が、互いに他の同軸回転体を支持する構造を実現することができる。さらに、このような支持構造を実現すれば、上記外部モータ力外輪に供給された回転駆動力により、上記内輪に一体的に保持された同軸回転体及び一体のエンドェフエクタを回転駆動することができる。ここで、例えば、 3つの同軸回転体力もなる場合、回転駆動力の付与を 3方向から行えば、各軸受に作用する軸心に向力う外圧 (応力）を平均化して抑制することができる。

なお、上記外部モータとしては、サーボ制御系原動機を利用できる他、高精度な制御を実現し得るダイレクトドライブ機構を利用することも良い。また、上記外部モータの出力軸と上記外輪とは、直接的に連結することも、ギアあるいはタイミングベルト等を介して間接的に連結することもできる。

[0028] また、上記トランスファー装置は、上記第 1の搬送手段により搬送される上記移載ヮークの搬送位置及び搬送速度を検出するための第 1の計測部を備えていることが好ましい。

この場合には、上記第 1の搬送手段における上記移載ワークの搬送位置及び搬送速度に基づいて上記エンドェフエクタの周回運動を制御できる。例えば、上記第 1の搬送手段の制御情報等、間接的な情報を用いて上記エンドェフクタを制御する場合と比べて、一層、高速かつ高精度に上記移載ワークの受け取りを実現できる。

[0029] また、上記第 2の搬送手段の上記キャリアワークの表面における目標移載位置及び、その移動速度を検出するための第 2の計測部を備えていることが好ましい。

この場合には、上記キャリアワークの表面の上記目標移載位置あるいは、その移動速度に基づいて上記エンドェフエクタの周回運動を制御できる。例えば、上記第 2の搬送手段の制御情報等、間接的な情報を用いてエンドェフエクタを制御する場合と比べて、一層、高速かつ高精度に上記移載ワークを移載することができる。

[0030] また、上記エンドェフエクタの上記保持面に保持された上記移載ワークの姿勢及び位置を検出するための第 3の計測部を備えていることが好ましい。

この場合には、上記第 3の計測部を用いて、上記保持面上の上記移載ワークの姿勢及び位置を検出できる。そして、この検出結果に基づいて、上記移載ワークの姿勢あるいは位置を調整することで、上記移載ワークの位置ずれ等を抑制できる。それ故、一層、位置精度高ぐ上記移載ワークを上記キャリアワークに移載させることができる。

[0031] また、上記第 1及び第 2の搬送手段は、上記第 1及び第 2の搬送手段は、自転する回転体又は並進するコンベアベルトを有してなり、上記回転体あるいは上記コンベアベルトの表面に上記移載ワークあるいは上記キャリアワークを載置して搬送するように構成してあることが好ま、。

この場合には、上記円柱形状体あるいは、上記コンベアベルトを利用することで搬送効率の高、トランスファー装置を構成することができる。

[0032] また、上記移載ワークは、 RF— TAG用の ICチップを実装すると共に該 ICチップの電極から電気的に延設された拡大電極を形成したインターポーザであり、上記キヤリァワークは、無線通信用のアンテナパターンをシート基板上に形成したアンテナシートであることが好ましい。

この場合には、上記第 1あるいは上記第 2の発明のトランスファー装置を用いて、精度の良い RF— TAGを構成する電子部品を効率良く生産することができる。

実施例

[0033] (実施例 1)

本例は、移載ワーク 2をキャリアワーク 21に移載するトランスファー装置 1に関する例である。この内容について、図 1〜図 11を用いて説明する。

本例のトランスファー装置 1は、図 1に示すごとぐ移載ワーク 2を保持して搬送する第 1の搬送手段 3と、キャリアワーク 21を保持して搬送する第 2の搬送手段 5と、第 1 の搬送手段 3から移載ワーク 2を受け取ると共に第 2の搬送手段 5のキャリアワーク 21 に移載するための移載手段 6とを含むものである。

上記移載手段 6は、同一円周上を周回して移載ワーク 2を搬送するエンドェフエクタ 71〜76を 2以上有しており、該各エンドェフエクタ 71〜76が少なくともいずれか他のエンドェフエクタとは独立に周回するように構成してある。

各エンドェフエクタ 71〜76は、移載ワーク 2を保持する保持面 70sを備えており、かつ、各エンドエフヱクタ 71〜76の周回軸 CL (図 4参照。）に沿って保持面 70sを進退させ得るように構成してある。

以下、この内容について詳しく説明する。 [0034] 本例のトランスファー装置 1は、 RF— TAGを製造するためのものである。このトランスファー装置 1は、図 2に示すごとぐアンテナ 41を形成した RF— TAG部品をキヤリァワーク 21とし、 RF受発信処理用の電子部品を移載ワーク 2として移載工程を実施するように構成してある。

[0035] キャリアワーク 21は、材質 PETよりなるフィルム部材の表面にアンテナ 41を設けたものである。移載ワーク 2は、 RF受発信処理用の ICを榭脂シートの表面に実装すると共に拡大電極を設けたインターポーザである。キャリアワーク 21は、アンテナ 41から延設した一対の端子 42を設けてなり、該端子 41の間に移載ワーク 2を実装するように構成したものである。なお、本例では、キャリアワーク 21に対する移載ワーク 2の配置精度として数百ミクロン力数十ミクロンの精度を実現した。

[0036] 上記第 1の搬送手段 3は、図 1に示すごとぐ略円柱状の回転体であり、その外周面に移載ワーク 2を保持するように構成してある。この第 1の搬送手段 3は、隣接する移載ワーク供給装置 30から移載ワーク 2を受け取り、その後、移載ワーク 2を移載手段 6 に引き渡すように構成してある。移載ワーク供給装置 30は、移載ワーク 2を保持した連続テープを略円柱状のローラで送り出すように構成してある。これに代えて、連続シート材料力移載ワーク 2を個片に切り離して第 1の搬送手段 3に供給する個片化供給装置として移載ワーク供給装置 30を構成することもできる。

[0037] 第 1の搬送手段 3は、図 1に示すごとぐ点 P1においてエンドェフエクタ（図中では、符号 71のエンドェフエクタ）に移載ワーク 2を引き渡すように構成してある。この第 1の搬送手段 3は、外表面に略一定間隔で移載ワーク 2を保持するように構成してある。回転ローラよりなる第 1の搬送手段 3の表面には、図示しな、ポンプの吸引ポートに連通する孔（図示略)を設けてある。そして、第 1の搬送手段 3は、回転ローラの表面の孔を負圧にして移載ワーク 2を吸着して保持する。一方、点 P1では、回転ローラの表面の孔を正圧あるいは大気圧とすることで、移載ワーク 2を開放する。なお、本例では、第 1の搬送手段 3は、それぞれ、図示しない駆動源及び駆動制御系によって略一定速度で動作するように制御されて、る。

[0038] 上記第 2の搬送手段 5は、図 1に示すごとぐコンベアベルト 51を有している。そして、この第 2の搬送手段 5は、コンベアベルト 51の表面に略一定間隔を空けてキャリアワーク 21を保持して搬送するように構成してある。コンベアベルト 51の表面には、図示しないポンプの吸引ポートに連通する孔（図示略)を設けてある。そして、第 2の搬送手段 5では、コンベアベルト 51の表面の孔を負圧にしてキャリアワーク 21を吸着して保持するように構成してある。なお、本例では、第 2の搬送手段 5は、それぞれ、図示しな!/、駆動源及び駆動制御系によって略一定速度で動作するように制御されて！、る。

[0039] なお、本例では、個片状のキャリアワーク 21をコンベアベルト 51に保持して搬送した。これに代えて、ベルト状の保持部材に個片状のキャリアワーク 21を保持させることも良ぐ印刷技術や写真技術等によりアンテナ 41を連続的に設けた連続テープ状のフレキシブル基板に対して移載ワーク 2を実装し、その後、個片化することも良い

[0040] 本例のトランスファー装置 1は、第 1の搬送手段 3によって搬送中の移載ワーク 2の搬送状態を撮影して、画像データを得るための撮像装置 (計測部） 103を有している。本例では、この画像データについて画像処理を施し、搬送中の移載ワーク 2の搬送位置及び搬送速度を検出する。そして、図示しない制御手段は、検出した搬送位置及び搬送速度に基づいて、各エンドェフエクタ 71〜76の周回運動を制御するように構成してある。

[0041] さらに、本例のトランスファー装置 1は、図 1に示すごとく、エンドェフエクタ 71〜76 により保持された移載ワーク 2の状態を撮影する撮像装置 (計測部） 106と、第 2の搬送手段 5における移載ワーク 2の搬送状態を撮影する撮像装置 (計測部） 105とを備えている。撮像装置 105、 106により撮影した画像データに基づけば、例えば、移載ワーク 2やキャリアワーク 21の搬送間隔の異常、姿勢異常、異物の存在等の異常検出が可能である。

[0042] 特に、本例では、撮像装置 103、 105、 106により得た画像データを基にして、後述する進退機構及び回転機構を制御した。なお、撮像手段 103、 105、 106としては、 CCD素子、 CMOS素子を含むものや、低コストな光学式センサを含むものを適用することができる。

[0043] 上記移載手段 6は、同一の仕様の 2つの移載手段 6a、 6bを組み合わせたものである。そして、各移載手段 6a (6b)は、図 3〜図 5に示すごとぐ 3つの同軸回転体 10を組み合わせて構成してある。移載手段 6a (6b)は、図 3及び図 4に示すごとぐ構造部材 60a、 60b、 60cと、同軸上に酉己置された 4つの軸受 80、 82、 84、 86とを有して!/ヽる。そして、各軸受 80、 82、 84、 86の内周側には、構造部材である中空軸 60を配設してある。そして、この中空軸 60の外周には、同軸回転体 10の周回運動を支持するためのベアリング 61、 63、 65を配設してある。

[0044] 移載手段 6a (6b)は、各同軸回転体 10が互いに他の同軸回転体 10を支持する構造を有する。具体的には、軸方向に隣り合う軸受のうち一方の内輪と、他方の外輪とを連結部材 91、 93、 95を介して一体的に連結してある。そして、連結部材 91、 93、 95を介して連結された内輪と外輪との組み合わせのうち、内輪の内周側に同軸回転体 10がー体的に固定され、外輪に駆動ホイール 92、 94、 96を外挿して固定してある。

[0045] 上記のように構成した本例の移載手段 6a (6b)では、周回軸 CLを中心とした周方向における等間隔の 3方向力上記 3つの駆動ホイール 92、 94、 96に回転駆動力を供給してある。これにより、各同軸回転体 10の駆動ホイール 92、 94、 96の軸心に向力外圧を相殺している。また、上記移載手段 6a (6b)では、各駆動ホイール 92、 94、 96に対して、それぞれ独立に汎用サーボ制御系原動機 (外部モータ）を結合してある。これにより、各同軸回転体 10 (エンドェフエクタ 71、 73、 75 (72、 74、 76) )の周回運動の独立制御を可能として!、る。

[0046] 各同軸回転体 10は、図 5に示すごとぐそれぞれ 1つのエンドェフエクタを備えている。エンドェフエクタ 71、 73、 75 (72、 74、 76)は、図 3及び図 4に示すごとく、周回軸 CLと略平行をなし、偏芯して配置された棒状材である。エンドェフエクタ 71、 73、 75 (72、 74、 76)は、周回軸 CLの周りを周回可能なように回転支持されている。

[0047] なお、本例の移載手段 6a (6b)では、その構造上、駆動ホイール 92、 94、 96の外周側が開放空間となっている。それ故、駆動ホイール 92、 94、 96の外周側には、各種機構部を設けることができる。例えば、上記汎用サーボ制御系原動機に代えて、より高精度な制御が可能なダイレクトドライブ機構を設けることも良い。本例では、タイミングベルトにより回転駆動できるよう、駆動ホイール 92、 94、 96の外周面に伝導用嚙み合ヽ溝 (精密ギア一等)を設けてある。

[0048] 同軸回転体 10は、図 5及び図 8に示すごとぐそれぞれ 1つのエンドエフヱクタ 71〜 76を備えて! /、る。エンドェフエクタ 71、 73、 75 (72、 74、 76) ίま、図 2及び図 3に示すごとぐ周回軸 CLと略平行をなすよう、偏芯して配置した棒状材である。エンドェフエクタ 71、 73、 75 (72、 74、 76)は、周回軸 CLの周りを周回可能なように回転支持されて、る。エンドェフエクタ 71、 73、 75 (72、 74、 76)は、図 4に示すごとく、その先端部に、移載ワーク 2 (図 1参照。）を吸着して保持するための保持面 70sを有している。この保持面 70sは、空気圧制御のための孔を設けてなり、移載ワーク 2を負圧吸着して保持するように構成してある。一方、移載ワーク 2を第 2の搬送手段 5に引き渡す際には、保持面 70sの孔を大気圧又は正圧に調整した。なお、保持面 70sの孔の圧力制御を実現するための構造については、後述する。

さらに、エンドェフエクタ 71、 73、 75 (72、 74、 76)は、図 4に示すごとく、保持面 70 sを回転させるための回転機構及び、保持面 70sを周回軸 CLに沿って進退させるための進退機構を備えている。

[0049] エンドェフエクタ 71は、図 5に示すごとぐその先端側 (保持面 70s側）がベアリング 61の外輪 61bの外周に固定されていると共に、後端側が軸受 80の内輪 80aの内周に固定されている。軸受 80の内輪 80aは、連結部材 91を介して、軸方向に隣り合う軸受 82の外輪 82bと一体的に連結されている。外輪 82bの外周側には、連結部材 9 1の一部を介し駆動ホイール 92が固定されている。

[0050] エンドェフエクタ 73は、図 5に示すごとぐその先端側 (保持面 70s側）がベアリング 63の外輪 63bの外周に固定されていると共に、後端側が軸受 82の内輪 82aの内周に固定されている。軸受 82の内輪 82aは、連結部材 93を介して、軸方向に隣り合う軸受 84の外輪 84bと一体的に連結されている。外輪 84bの外周側には、連結部材 9 3の一部を介し駆動ホイール 94が固定されている。

[0051] エンドェフエクタ 75は、図 5に示すごとぐその先端側 (保持面 70s側）がベアリング 65の外輪 65bの外周に固定されていると共に、後端側が軸受 84の内輪 84aの内周に固定されている。軸受 84の内輪 84aは、連結部材 95を介して、軸方向に隣り合う軸受 86の外輪 86bと一体的に連結されている。外輪 86bの外周側には、連結部材 9 5の一部を介し駆動ホイール 96が固定されている。

[0052] 進退機構は、図 4及び図 7に示すごとぐエンドエフヱクタ 71〜76の本体部分をなす支持部材 702と、保持面 70sを保持台座 703を支持する摺動部材 701と、該摺動部材 701に固定したモータ 705 (図 4では、モータ 705を省略してある。）とを有する。摺動部材 701は、支持部材 702の内周の中空部に摺動可能なように挿入してある。支持部材 702の外周面には、ラックギア 702Lを設けてある。このラックギア 702Lに対しては、モータ 705の出力軸に嵌合したウォームギア 705Wがギア係合している。そして、モータ 705の回転制御により、摺動部材 701の進退を制御できるようにしてある。

[0053] 回転機構は、図 4、図 6及び図 7に示すごとぐ保持面 70sを有すると共に摺動部材 701に回転可能に支持された保持台座 703と、摺動部材 701に固定したモータ 704 (図 4では、モータ 704を省略してある。）とを有する。保持台座 703は、外周面にギア 703Gを設けた略円板状の部材である。保持台座 703のギア 703Gに対しては、モータ 704の出力軸に嵌合したギア 704Pが係合している。そして、回転機構は、モータ 704の回転制御により、保持台座 703を回転させて保持面 70sを回転させ得るように構成したものである。

[0054] 本例の搬送装置 1では、図 9に示すごとぐ 2つの移載手段 6a、 6bを組み合わせてある。移載手段 6aは、エンドェフエクタ 71、 73、 75を備えている。移載手段 6bは、ェンドエフエクタ 72、 74、 76を備えている。そして、同図に示すごとぐすべてのエンドェフエクタ 71〜76が同一円周上を周回するように、これら 2つの移載手段 6a、 6bを対向配置してある。

[0055] 上記のように構成した移載手段 6では、各エンドェフエクタ 71〜76は、同一円周上を周回する。各エンドェフエクタ 71〜76は、それぞれ互いの周回順序を維持しながら第 1の搬送手段 3の搬送動作に同期し、相対速度が略ゼロの状態で第 1の搬送手段 3からワーク 2を受け取る。その後、各エンドェフエクタ 71〜76は、第 2の搬送手段 5の搬送動作に同期し、相対速度が略ゼロの状態で第 2の搬送手段 5にワーク 2を引き渡すように構成してある。

[0056] 各エンドェフエクタ 71〜76は、同一円周上で周回運動を行い、受け取りと引き渡しを含む周回運動の間に、それぞれ独立に周期変速制御が行われる。具体的には、エンドェフエクタの周回軌道上において、ワーク 2の受け取りと引き渡しのためのタイミング調整 (周回位置調整)及び、その時の速度調整のため周期変速制御が行われる

[0057] 次に、本例の同軸回転体における保持面 70sの吸着機構 (孔の圧力制御機構）について図 1を用いて説明する。例えば、図 1に示すトランスファー装置 1の状態は、ェンドエフエクタ 71が第 1の搬送手段 3からワーク 2を受け取る（回転位置 Ql。 )一方、エンドェフエクタ 72、 73が第 2の搬送手段 5に向けて移動中（回転位置 Q2、 Q3。）であり、エンドェフエクタ 74が第 2の搬送手段 5に向けてワーク 2を引き渡ししたところ ( 回転位置 Q4。）である。また、エンドェフエクタ 75、 76は、移動回転中の状態 (各回転位置 Q5、 Q6。）である。

[0058] 一方、上記移載手段 6a (b)の中空軸 60の端面には、図 4に示すごとぐ周回軸 CL に沿って貫通孔 70bを設けてある。そして、この貫通孔 70bには、図示しないポンプの吸入ポートを接続してある。それ故、中空軸 60の中空部は、上記ポンプの作用により負圧に維持される。また、中空軸 60の外周壁面には、径方向に貫通する貫通孔 70aを設けてある。さらに、ベアリング 61、 63、 65には、上記貫通孔 70aと連通するように、径方向に貫通してエンドェフエクタ 71、 73、 75の中空部に連通する孔を設けてある。

[0059] 特に、本例の貫通孔 70aは、上記回転位置 Q1 (厳密には、回転位置 Q1において保持面 70sがワーク 2を吸着するよう、 Q1の手前の位置。）から上記回転位置 Q4 (厳密には、回転位置 Q3において保持面 70sがワーク 2をリリースするよう、 Q4の手前の位置。）までの周回区間に位置するエンドェフエクタに連通するよう、中空軸 60の外周壁面における所定の周方向位置に設けてある。

[0060] 一方、エンドェフエクタが回転位置 Q4に位置したとき、ベアリング 61の孔を介して大気圧が導入されるよう、中空軸 60の外周壁面における所定の周方向位置に大気圧導入ポート（図示略)を設けてある。これにより、本例の移載手段 6aでは、各エンドェフエクタ 71、 73、 75の回転に伴うベアリング 61、 63、 65の回転に応じて、保持面 7 Osの孔の圧力制御が自動的に実施される。 [0061] 次に、エンドェフエクタ 71〜76の周回運動について、図 10を用いて説明する。図 1 0は、エンドェフエクタ 71〜76の回転角度の時間変化を示すものである。各曲線 C1 〜C6は、図 1における各エンドェフエクタ 71〜76の運動に対応している。また、時間 tlにおけるグラフ上の点 ql〜q6は図 1における回転位置 Q1〜Q6に対応する。図 1 における第 1の搬送手段 3と、移載手段 6とが接する位置（回転位置 Q1)を回転角度 Θの原点とし、回転方向は図 1に示すように反時計回りとする。

[0062] 図 10における周期 T1は、第 1の搬送手段 3が移載手段 6に移載ワーク 2を供給する周期（ワーク供給周期）である。なお、このワーク供給周期は、第 1の搬送手段 3の搬送速度と、コンベアベルト 31上の移載ワーク 2の間隔により決定される周期である。また、周期 T2は、各エンドェフエクタが周回する周期である。短時間では T2 6 X T1の関係が成立し、長時間における平均では T2 = 6 XT1である。本例では、独立に回転制御される 6つのエンドェフエクタ 71〜76を用いている。それ故、本例の移載手段 6では、個々のエンドェフエクタの周回速度に対して約 6倍のワーク供給速度に対応可能である。

[0063] ここで、エンドェフエクタ 71を例にして、その周回運動について説明する。図 11は、エンドェフエクタ 71の周回運動における回転角度の時間変化を示している。エンドェフエクタ 71は、時刻 t=tl、回転角度 Θ =0のとき、速度 VIで移載ワーク 2を第 1の搬送手段 3から受け取る。そして、時刻 t=t2、回転角度 Θ = 0 1 (= π )のとき、速度 V 2で移載ワーク 2を第 2の搬送手段 5に引き渡す。その後、時刻 t=t3(=tl +T2)、回転角度 2 πにおいて初期回転位置に復帰する。

[0064] 時間区間 al、 a3、 a5は、移載ワーク 2の受け取りあるいは、引き渡しのため、第 1の搬送手段 3の搬送動作あるいは、第 2の搬送手段 5の搬送動作に同期した区間である。これらの時間区間では、移載ワーク 2の搬送速度との相対速度略ゼロとするよう、速度を略一定に保持する区間である。一方、時間区間 a2、 a4は、エンドェフエクタ 7 1の回転速度を増速あるいは、減速するための区間である。

[0065] また、この時間区間 a2、 a4においては、速度調整の他に周回位置の調整が行われる。この周回位置調整は、図 11に示すごとぐ例えば、第 2の搬送手段 5による搬送速度が変動した場合に実施される。第 2の搬送手段 5の搬送速度が変動したときに一定の搬送間隔を維持するためには、移載手段 6から第 2の搬送手段 5に移載ヮーク 2を引き渡すタイミングを調整する必要がある。そこで、このタイミングを調整するために、各エンドェフエクタ 71〜76の周回位置の制御が実施される。

[0066] 例えば、時間 Atだけ早めに移載ワーク 2を引き渡す必要が発生した場合には、ェンドエフエクタ 71の速度を増速することにより、図 11に示す曲線が点 fに代えて点 fl を通るようにする。これにより、第 2の搬送手段 5の略一定の搬送間隔を維持し得る所定の位置に、移載ワーク 2を精度良く移載することができる。

[0067] 次に、上記回転機構及び上記進退機構の制御について説明する。制御手段は、撮像手段 105により得た画像データを処理して、第 2の搬送手段 5における目標移載位置を認識する。その一方、撮像手段 106により得た画像データを処理して、移載手段 6の各保持面 70sに保持された個々の移載ワーク 2の周回軸 CL (図 4参照。 ) 方向の位置及び、姿勢を認識する。

[0068] 本例のトランスファー装置 1の制御手段は、目標移載位置のうちの周回軸 CL方向の位置と、移載ワーク 2の周回軸 CL方向の位置とから、保持面 70sの進退制御量を計算する。また、制御手段は、移載ワーク 2の姿勢に基づいて、上記回転機構による移載ワーク 2の回転制御量を計算する。そして、制御手段は、計算した進退制御量に基づいてモータ 705を制御すると共に、計算した回転制御量に基づいてモータ 704 を制御する。

[0069] 以上のように、本例の搬送装置 1は、各エンドェフエクタ 71〜76の周回運動を独立に回転制御することにより高速かつ高精度の移載を実現することができる。本例のトランスファー装置 1では、回転機構及び進退機構を上記のように制御することで、一層、精度良く移載ワーク 2を移載することができる。

[0070] 本例のトランスファー装置 1によれば、移載ワーク 2を停止させることなく連続して搬送しながらキャリアワーク 21上に移載ワーク 2を配置できる。それ故、製造精度の高い RF— TAGを大量かつ低コストに製造することができる。なお、本例のトランスファ一装置 1は、 RF— TAG部品の製造に限らず、例えば ICカード部品への電子部品の移載や実装にも用いることができる。ここで、例えば、 RF— TAG用の ICそのものを上記移載ワーク 2とすることもできる。さらに、紙おむつや、生理用品などのサニタリー製品の製造工程に用いる生産設備として、本例のトランスファー装置 1を利用することもできる。

[0071] なお、本例のトランスファー装置 1は、各種のコンパ一ティングマシン、印刷機、ラベ二ラー、半導体製造装置等に利用することができる。例えば、紙おむつや、サニタリ一ナプキンや、タンポンや、フェイスマスクの製造工程に適用することができる。さらに、シールであるラベルを移載ワーク 2とし、サニタリー製品やスナック菓子等の食品などの各種の製品をキャリアワーク 21として、ラベル貼り付けを行うこともできる。さらには、サニタリー製品やスナック菓子等の食品などの各種の製品を移載ワーク 2として、包装用フィルムをキャリアワーク 21とすれば、製品の包装を行うことができる。

[0072] さらに、本例では、個片化されたキャリアワーク 21を用いた力これに代えて、個片化前のシート状の長尺材料を利用することもできる。そして、この場合には、シート状の長尺材料の表面に目標移載位置を指示するマーカーを付しておき、このマーカーを画像認識することも良い。この場合には、マーカーが指示する目標移載位置に基づいてエンドェフエクタ 71〜76の周回運動を制御することで、連続シート上のキヤリァワーク 21に対して精度高く移載ワーク 2を移載することができる。なお、 RF— TAG を製造する場合にぉヽて、アンテナパターンを複数形成した長尺シート状のキャリアワーク 21では、アンテナパターンを画像認識のためのマーカーとして利用することができる。すなわち、上記マーカーとしては、キャリアワーク 21の表面に現れる図柄を利用することができる。

[0073] (実施例 2)

本例は、実施例 1のトランスファー装置を基にして、保持面 70sの進退機構及び回転機構の構成を変更した例である。この内容について、図 12及び図 13を用いて説明する。

[0074] 本例のトランスファー装置 1は、エンドエフヱクタ 71〜76の摺動部材 701を摺動させるためのガイド部材 707を有している。このガイド部材 707は、周回回転する保持台座 703の周回軸 CL方向の位置を規制するガイド溝 707mを有している。このガイド部材 707は、周回軸 CLに沿って進退可能なように構造部材 60bに保持されている。そして、エンドェフエクタ 71〜76の保持台座 703の周回軸 CL方向の位置を、ガイド溝 707mの位置に略一致させるように作用する。なお、本例では、構造部材 60bに配設した図示しないモータにより、ガイド部材 707の周回軸 CL方向の位置を制御している。

[0075] ガイド部材 707は、エンドェフエクタ 71〜76の周回位置における Q1と Q4 (図 1参照。）との間の区間に、ガイド溝 707mが位置するように配設される。また、ガイド溝 70 7mは、周回方向の上流側である Q1に向けて広く開口する湾曲形状を呈している。本例の移載手段 6においては、この湾曲形状と保持台座 703との当接により、摺動部材 701が周回軸 CL方向に進退し、保持台座 703の周回軸 CL方向の位置が変更される。そして、これにより、保持面 70sの周回軸 CL方向の位置が変更される。

[0076] ガイド溝 707mにおける対面する内周面 710、 720には、図 13に示すごとく、それぞれ、ガイド溝 707mに向けて適宜突出するよう、それぞれ独立して空気圧制御された突出ピン 711、 721を複数、配置してある。一方、本例の保持台座 703は、摺動部材 701に対して、 1刻み 0. 5度のラチエツト機構を介して回転支持してある。

[0077] 第 1の内周面 710から突出する各突出ピン 711によれば、ラチヱット機構を介して回転支持された保持台座 703を 1刻みずつ時計回り方向に回転することができる。また、第 2の内周面 720から突出する各突出ピン 721によれば、保持台座 703を 1刻みずつ反時計周りに回転することができる。

[0078] すなわち、本例の移載機構 6の回転機構では、各内周面 710、 720から突出させる突出ピン 711、 721の本数に応じて、保持台座 703の回転位置を制御している。そして、保持台座 703の回転位置を制御することで、保持面 70sの回転位置を変更している。

[0079] なお、その他の構成及び作用効果については、実施例 1と同様である。また、各突出ピン 711、 721の突出機構としては、本例の空気圧制御に代えて、油圧制御や、ソレノイド (電磁駆動）による制御などの各種の駆動機構を採用することができる。

[0080] (実施例 3)

本例は、実施例 1のトランスファー装置を基にして、キャリアワーク 21を連続シート体に変更すると共に、ラミネートフィルム 22を送り出す機構を追加した例である。この内容について、図 14を用いて説明する。本例では、移載ワーク 2を配置したキャリアワーク 21の表面に、ラミネートフィルム 22 を接合する。ラミネートフィルム 22によれば、製品の表面保護効果を得ると共に対候性を向上することができる。このとき、ラミネートフィルム 22に位置合わせ用のマーカ一等を付しておくのも良い。この場合には、撮像装置 107を用い、ラミネートフィルム 22上のマーカーを画像認識することで、キャリアワーク 21との精度の高い位置合わせが可能になる。なお、撮像装置 107としては、 CCD素子や CMOS素子のほ力、低コストな光学式のセンサを適用することも可能である。

[0081] なお、その他の構成及び作用効果については、実施例 1と同様である。

さらに、キャリアワーク 21として紙おむつの生地をなす不織布よりなる連続体 (連続シート材料）を適用し、このキャリアワーク 21にセットするワーク 2としてパルプよりなる吸水性パッドを適用することもできる。この場合には、ラミネートフィルム 22に柄模様をプリントすることで、紙おむつの意匠効果を高めることができる。さらに、柄模様を利用してラミネートフィルム 22とキャリアワーク 21との位置合わせを行うこともできる。すなわち、撮像装置 107を用いてラミネートフィルム 22の絵柄を認識することで、その送り位置を検出し、ラミネートフィルム 22とキャリアワーク 21との精度の良い位置合わせを実現することができる。

[0082] さらになお、移載ワーク 2をスナック菓子等とし、キャリアワーク 21及びラミネートフィルム 22をポリエチレン等の榭脂フィルムとするのも良い。この場合には、相互に対面させたフィルム状のキャリアワーク 21とラミネートフィルム 22えの縁部を接合することで、袋状の包装を施すことができる。

Claims

請求の範囲

[1] 移載ワークを保持して搬送する第 1の搬送手段と、キャリアワークを保持して搬送する第 2の搬送手段と、上記第 1の搬送手段から上記移載ワークを受け取り、上記キヤリァワークに移載するための移載手段とを含むトランスファー装置において、

上記移載手段は、同一円周上を周回して上記移載ワークを搬送するエンドエフエタタを 2以上有しており、該各エンドェフエクタが少なくともいずれか他の上記エンドエフェクタとは独立に周回するように構成してあり、

上記各エンドェフエクタは、上記移載ワークを保持する保持面を備えており、かつ、上記各エンドェフエクタの周回軸に沿って上記保持面を進退させ得るように構成してあることを特徴とするトランスファー装置。

[2] 請求項 1において、上記保持面が、その法線方向の中心軸周りに回転可能なように構成されていることを特徴とするトランスファー装置。

[3] 請求項 1にお、て、上記トランスファー装置は、上記各エンドェフエクタが周回運動する際の周回速度及び周回位置を制御するための制御手段を有し、

該制御手段は、上記第 1の搬送手段力上記ワークを受け取る際の上記エンドエフクタの周回速度が上記第 1の搬送手段の搬送速度に略一致するように制御し、かつ、上記第 2の搬送手段に上記ワークを引き渡す際の上記エンドエフヱクタの周回速度が上記第 2の搬送手段の搬送速度に略一致するように制御するように構成されて V、ることを特徴とするトランスファー装置。

[4] 請求項 1において、上記移載手段は、一体的に周回する 1または 2以上の上記ェンドエフエクタを一体的に保持する同軸回転体と、少なくとも 2個以上の上記同軸回転体を回転支持するよう、軸方向に隣り合わせて同軸上に配置された 3個以上の軸受とを有し、該各軸受が、略円筒状の内輪と、該内輪に外挿して配置された略円筒状の外輪と、上記内輪と上記外輪との相対回転を可能とするベアリング機構とよりなり、上記各軸受のうち軸方向の中間に配置された 1又は 2以上の中間軸受の上記内輪力隣り合う他の上記軸受の上記外輪と連結され一体的に回転するように構成してあると共に上記同軸回転体のいずれかを一体的に保持しており、

上記各外輪のうち、隣り合う上記軸受の上記内輪と一体的に連結された上記外輪は、それぞれ、独立に回転制御される外部モータの出力軸に連結してあることを特徴とするトランスファー装置。

[5] 請求項 1において、上記第 1の搬送手段により搬送される上記移載ワークの搬送位置及び搬送速度を検出するための第 1の計測部を備えていることを特徴とするトランスファー装置。

[6] 請求項 1において、上記第 2の搬送手段の上記キャリアワークの表面における目標移載位置及び、その移動速度を検出するための第 2の計測部を備えていることを特徴とするトランスファー装置。

[7] 請求項 1において、上記エンドェフエクタの上記保持面に保持された上記移載ヮークの姿勢及び位置を検出するための第 3の計測部を備えていることを特徴とするトランスファー装置。

[8] 請求項 1において、上記第 1及び第 2の搬送手段は、自転する回転体又は並進するコンベアベルトを有してなり、上記回転体あるいは上記コンベアベルトの表面に上記移載ワークある、は上記キャリアワークを載置して搬送するように構成してあることを特徴とするトランスファー装置。

[9] 請求項 1において、上記移載ワークは、 RF— TAG用の ICチップを実装すると共に該 ICチップの電極カゝら電気的に延設された拡大電極を形成したインターポーザであり、上記キャリアワークは、無線通信用のアンテナパターンをシート基板上に形成したアンテナシートであることを特徴とするトランスファー装置。

[10] 移載ワークを保持して搬送する第 1の搬送手段と、キャリアワークを保持して搬送する第 2の搬送手段と、上記第 1の搬送手段から上記移載ワークを受け取り、上記キヤリァワークに移載するための移載手段とを含むトランスファー装置において、上記移載手段は、同一円周上を周回して上記移載ワークを搬送するエンドエフエタタを 2以上有しており、該各エンドェフエクタが少なくともいずれか他の上記エンドエフェクタとは独立に周回するように構成してあり、

上記各エンドェフエクタは、上記移載ワークを保持する保持面を備えており、該保持面力その法線方向の中心軸周りに回転可能なように構成されていることを特徴とするトランスファー装置。

[11] 請求項 10において、上記トランスファー装置は、上記各エンドェフエクタが周回運動する際の周回速度及び周回位置を制御するための制御手段を有し、

[12] 請求項 10において、上記移載手段は、一体的に周回する 1または 2以上の上記ェンドエフエクタを一体的に保持する同軸回転体と、少なくとも 2個以上の上記同軸回転体を回転支持するよう、軸方向に隣り合わせて同軸上に配置された 3個以上の軸受とを有し、該各軸受が、略円筒状の内輪と、該内輪に外挿して配置された略円筒状の外輪と、上記内輪と上記外輪との相対回転を可能とするベアリング機構とよりなり上記各軸受のうち軸方向の中間に配置された 1又は 2以上の中間軸受の上記内輪力隣り合う他の上記軸受の上記外輪と連結され一体的に回転するように構成してあると共に上記同軸回転体のいずれかを一体的に保持しており、

[13] 請求項 10において、上記第 1の搬送手段により搬送される上記移載ワークの搬送位置及び搬送速度を検出するための第 1の計測部を備えていることを特徴とするトランスファー装置。

[14] 請求項 10において、上記第 2の搬送手段の上記キャリアワークの表面における目標移載位置及び、その移動速度を検出するための第 2の計測部を備えていることを特徴とするトランスファー装置。

[15] 請求項 10において、上記エンドェフエクタの上記保持面に保持された上記移載ヮークの姿勢及び位置を検出するための第 ₃の計測部を備えていることを特徴とするトランスファー装置。

[16] 請求項 10において、上記第 1及び第 2の搬送手段は、自転する回転体又は並進するコンベアベルトを有してなり、上記回転体あるいは上記コンベアベルトの表面に上記移載ワークある、は上記キャリアワークを載置して搬送するように構成してあることを特徴とするトランスファー装置。

[17] 請求項 10において、上記移載ワークは、 RF— TAG用の ICチップを実装すると共に該 ICチップの電極力も電気的に延設された拡大電極を形成したインターポーザであり、上記キャリアワークは、無線通信用のアンテナパターンをシート基板上に形成したアンテナシートであることを特徴とするトランスファー装置。