JPS62115892A - プリント回路板の露光されたフオトレジスト膜から保護フイルムを剥ぎ取る方法と装置 - Google Patents
プリント回路板の露光されたフオトレジスト膜から保護フイルムを剥ぎ取る方法と装置Info
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- JPS62115892A JPS62115892A JP61216961A JP21696186A JPS62115892A JP S62115892 A JPS62115892 A JP S62115892A JP 61216961 A JP61216961 A JP 61216961A JP 21696186 A JP21696186 A JP 21696186A JP S62115892 A JPS62115892 A JP S62115892A
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- B29C63/00—Lining or sheathing, i.e. applying preformed layers or sheathings of plastics; Apparatus therefor
- B29C63/0004—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B26D—CUTTING; DETAILS COMMON TO MACHINES FOR PERFORATING, PUNCHING, CUTTING-OUT, STAMPING-OUT OR SEVERING
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- B26D3/28—Splitting layers from work; Mutually separating layers by cutting
- B26D3/282—Splitting layers from work; Mutually separating layers by cutting by peeling-off
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
- G03F7/161—Coating processes; Apparatus therefor using a previously coated surface, e.g. by stamping or by transfer lamination
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- Y10S156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
- Y10S156/918—Delaminating processes adapted for specified product, e.g. delaminating medical specimen slide
- Y10S156/919—Delaminating in preparation for post processing recycling step
- Y10S156/922—Specified electronic component delaminating in preparation for recycling
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
- Y10T156/11—Methods of delaminating, per se; i.e., separating at bonding face
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
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- Y10T156/19—Delaminating means
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、プリント回路板の露光されたフォトレジス
ト膜から保護フィルムを剥ぎ取る方法と装置に関するも
ので、保護フィルムの一方のコーナーから剥ぎ取り、対
向する反対のコーナーで完了するものである。
ト膜から保護フィルムを剥ぎ取る方法と装置に関するも
ので、保護フィルムの一方のコーナーから剥ぎ取り、対
向する反対のコーナーで完了するものである。
（従来の技術）
前記した保護フィルムを手で剥ぎ取るようにすることは
従来から行なわれている。 このためには、ナイフや指
の爪で保護フィルムをフォトレジスト膜から剥ぎ取るよ
うにするが、これには、保護フィルムの分離された三角
形のコーナーを二本の指でつまみ、保護フィルムを完全
に引き剥がす。 しかし、この方法であると、ナイフや
爪でフォトレジスト膜を’ａ （１けるおそれがあり、
また、保護フィルムを途中で切断してしまい、保護フィ
ルムを完全に引き剥げなくなる欠点がある。
従来から行なわれている。 このためには、ナイフや指
の爪で保護フィルムをフォトレジスト膜から剥ぎ取るよ
うにするが、これには、保護フィルムの分離された三角
形のコーナーを二本の指でつまみ、保護フィルムを完全
に引き剥がす。 しかし、この方法であると、ナイフや
爪でフォトレジスト膜を’ａ （１けるおそれがあり、
また、保護フィルムを途中で切断してしまい、保護フィ
ルムを完全に引き剥げなくなる欠点がある。
西ドイツ特許第３３３９７２３Ｍには、接着テープを保
護フィルムに貼り、これで保護フィルムを剥ぎ取る方法
が開示されている。 この方法によると、プリント回路
板は水平のローラーコンベアに保持されている。 しか
し、この方法は、接着テープが保護フィルムから剥ぎ取
る工程中において離れてしまうおそれがあり、剥ぎ取り
工程が中断してしまい、自動処理には不向きである。
護フィルムに貼り、これで保護フィルムを剥ぎ取る方法
が開示されている。 この方法によると、プリント回路
板は水平のローラーコンベアに保持されている。 しか
し、この方法は、接着テープが保護フィルムから剥ぎ取
る工程中において離れてしまうおそれがあり、剥ぎ取り
工程が中断してしまい、自動処理には不向きである。
また西ドイツ特許第２７４７２６５＠においては、基板
に積層されたフォトポリマーから保護フィルムを剥ぎ取
る方法が開示されていて、保護フィルムにローラーを使
用して接着テープを接着し、保護フィルムを引き剥がす
ようになっているが、これも信頼性に欠け、剥ぎ取る工
程が中断される問題点がある。
に積層されたフォトポリマーから保護フィルムを剥ぎ取
る方法が開示されていて、保護フィルムにローラーを使
用して接着テープを接着し、保護フィルムを引き剥がす
ようになっているが、これも信頼性に欠け、剥ぎ取る工
程が中断される問題点がある。
（発明が解決しようとする問題点）
この発明が解決しようとする問題点は、前記したように
、完全な剥ぎ取りが行なえない従来技術の問題点を解決
し、フォトレジスト膜を傷イ」けることなく保護フィル
ムを剥ぎとる工程を自動的に行なうようにした方法と装
置を提供することを目的とする。
、完全な剥ぎ取りが行なえない従来技術の問題点を解決
し、フォトレジスト膜を傷イ」けることなく保護フィル
ムを剥ぎとる工程を自動的に行なうようにした方法と装
置を提供することを目的とする。
この発明の方法においては、剥ぎ取り工程は、保護フィ
ルムの一方のコーナーから開始され、他方のコーナーで
終了するもので、プリント回路板を所定の位置に固定し
、剥ぎ取る保護フィルムのコーナー近くの保護フィルム
の面に第１のグリッピング部材を圧接し、プリント回路
板と第１のグリッピング部材との間で保護フィルムとフ
ォトレジスト膜とをスクイーズし、第２のグリッピング
部材を第１のグリッピング部材に近接させ、両者の間に
保護フィルムのコーナー部分とフォトレジスト膜の一部
を掴み、フォトレジスト膜を寸断しながらプリント回路
板に積層されたフォトレジスト膜から保護フィルムを引
き剥ぐものである。
ルムの一方のコーナーから開始され、他方のコーナーで
終了するもので、プリント回路板を所定の位置に固定し
、剥ぎ取る保護フィルムのコーナー近くの保護フィルム
の面に第１のグリッピング部材を圧接し、プリント回路
板と第１のグリッピング部材との間で保護フィルムとフ
ォトレジスト膜とをスクイーズし、第２のグリッピング
部材を第１のグリッピング部材に近接させ、両者の間に
保護フィルムのコーナー部分とフォトレジスト膜の一部
を掴み、フォトレジスト膜を寸断しながらプリント回路
板に積層されたフォトレジスト膜から保護フィルムを引
き剥ぐものである。
また、この発明の装置は、プリント回路板をコンベアで
剥ぎ取り装置へ移送し、この装置で保護フィルムを剥ぎ
取るもので、このため、プリント回路板のエツジをクラ
ンプするクランプ装置とプリント回路板を所定の位置に
保持する装置を備え、少なくとも一対のグリッピング・
ショウでプリント回路板の保護フィルムとフォトレジス
ト膜とをコーナー部分で掴むようにしである。
剥ぎ取り装置へ移送し、この装置で保護フィルムを剥ぎ
取るもので、このため、プリント回路板のエツジをクラ
ンプするクランプ装置とプリント回路板を所定の位置に
保持する装置を備え、少なくとも一対のグリッピング・
ショウでプリント回路板の保護フィルムとフォトレジス
ト膜とをコーナー部分で掴むようにしである。
（問題点を解決するための具体的手段）この発明によれ
ば、フォトレジスト膜と保護フィルムとの積層部分のコ
ーナー部分がグリッピング・ショウで掴まれ、これらが
プリント回路板からまず引き剥がされる。 この際には
、保護フィルムと共にフォトレジスト膜も引き続いて引
き剥がされないよいうに、グリッピング・ショウに掴ま
れた両者のコー・す一部分に対しては、前記グリッピン
グ・ショウの一方で保護フィルムを押しながら、フォト
レジスト膜のコーナー部分だ【プ切断されるように圧力
をかけ、これによってフォトレジスト膜がプリント回路
板に残るようにする。
ば、フォトレジスト膜と保護フィルムとの積層部分のコ
ーナー部分がグリッピング・ショウで掴まれ、これらが
プリント回路板からまず引き剥がされる。 この際には
、保護フィルムと共にフォトレジスト膜も引き続いて引
き剥がされないよいうに、グリッピング・ショウに掴ま
れた両者のコー・す一部分に対しては、前記グリッピン
グ・ショウの一方で保護フィルムを押しながら、フォト
レジスト膜のコーナー部分だ【プ切断されるように圧力
をかけ、これによってフォトレジスト膜がプリント回路
板に残るようにする。
したがって保護フィルムはｖ字状などに折曲されても切
断されないものであるから、保護フィルムとフォトレジ
スト膜のコーナー部分をプリント回路板から引き剥がし
、これを引張ると保護フィルムだけが連続して引き剥が
され、フォトレジスト膜はプリント回路板に残る形で保
護フィルムの剥ぎ取りが可能となる。 前記したように
、プリント回路板におけるフォトレジスト膜は、その一
部、特にコーナー部分における僅かな部分だけが保護フ
ィルムと共に剥がされるが、この程度の剥がされたとし
てもフォトレジスト膜の使用目的からすれば無視できる
ことであって、露光に必要なフォトレジスト膜の部分は
すべてプリント回路板側に残り、全く実害がない。
断されないものであるから、保護フィルムとフォトレジ
スト膜のコーナー部分をプリント回路板から引き剥がし
、これを引張ると保護フィルムだけが連続して引き剥が
され、フォトレジスト膜はプリント回路板に残る形で保
護フィルムの剥ぎ取りが可能となる。 前記したように
、プリント回路板におけるフォトレジスト膜は、その一
部、特にコーナー部分における僅かな部分だけが保護フ
ィルムと共に剥がされるが、この程度の剥がされたとし
てもフォトレジスト膜の使用目的からすれば無視できる
ことであって、露光に必要なフォトレジスト膜の部分は
すべてプリント回路板側に残り、全く実害がない。
また、フォトレジスト膜の剥ぎ取られる部分は、せまい
ストリップ状のものであるから、主たるフォトレジスト
膜はすべて残り、この主たる部分は）セ付けられない。
ストリップ状のものであるから、主たるフォトレジスト
膜はすべて残り、この主たる部分は）セ付けられない。
保護フィルムとフォトレジスト膜の］−す一部分を剥ぎ
とる工程は自動的に行なえるもので、コンベアにより搬
送されるプリント回路板は剥ぎ取り装置へ送られ、 少
なくとも一対のグリラビング・ジヨウでプリント回路板
に積層された保護フィルムとフォトレジスト膜とのコー
ナー部分が剥ぎ取られる。 前記グリラビング・ジヨウ
における一方のショウがプリント回路板に積層された保
護フィルムとフォトレジスト膜とのコーナー部分を端か
ら約ＩＣ＋ｌ離れた内側で押圧し、この部分を変形させ
て、第２のジヨウを第１のショウに接近させ、第１と第
２のジヨウにより前記変形の保護フィルムとフォトレジ
スト膜とを掴み、このフォトレジスト膜のみを寸断し、
前記保護フィルムを連続したままの状態としながら前記
プリント回路板に残されている前記フォトレジスト膜か
ら前記保護フィルムを引き剥がすことを特徴とするプリ
ント回路板の露光されたフォトレジスト膜から保護フィ
ルムを剥ぎ取る。前記した一対のジヨウは、一方が可動
で他方が固定のものであり、固定のショウは他の手段で
臂降され、プリント回路板に押し当てられ前記コーナー
部分を持ち上げるように変形させ、その変形部分の下側
に可動のショウを入りこませて、両ショウで該部分を掴
み、剥ぎ取る。 前記の押圧は線状に行なわれるもので
、保護フィルムは押圧されるとＶ字状に凹むがフォトレ
ジスト族は押圧された部分で切断され、したがって、プ
リント回路板のフォトレジスト膜との連続性は遮断され
る。 したがって、一方の固定ショウに対する可動のジ
ヨウは、保護フィルムの厚さ分だけ前者よりも下方へ沈
むストロークの下方移動を行なうように構成されている
。また、固定のショウにおける固定は、前記可動のショ
ウに対する相対的な意味での固定であって、プリント回
路板に対しては昇降して接近、離去する構成になってい
る。 保護フィルムを押圧する固定のショウは、その底
面が搬送路に対し約４°傾斜し、最下端部にエツジが形
成されている。 また、同様に、可動のショウは、その
底面が搬送路に対し約４°傾斜し、最下端部にエツジが
形成されている。 さらに、可動のジヨウには、切断さ
れたフォトレジスト膜の分が逃げこむアンダーカット部
分が形成され、この部分に切断されたフォトレジスト膜
の材料が流れこむ。
とる工程は自動的に行なえるもので、コンベアにより搬
送されるプリント回路板は剥ぎ取り装置へ送られ、 少
なくとも一対のグリラビング・ジヨウでプリント回路板
に積層された保護フィルムとフォトレジスト膜とのコー
ナー部分が剥ぎ取られる。 前記グリラビング・ジヨウ
における一方のショウがプリント回路板に積層された保
護フィルムとフォトレジスト膜とのコーナー部分を端か
ら約ＩＣ＋ｌ離れた内側で押圧し、この部分を変形させ
て、第２のジヨウを第１のショウに接近させ、第１と第
２のジヨウにより前記変形の保護フィルムとフォトレジ
スト膜とを掴み、このフォトレジスト膜のみを寸断し、
前記保護フィルムを連続したままの状態としながら前記
プリント回路板に残されている前記フォトレジスト膜か
ら前記保護フィルムを引き剥がすことを特徴とするプリ
ント回路板の露光されたフォトレジスト膜から保護フィ
ルムを剥ぎ取る。前記した一対のジヨウは、一方が可動
で他方が固定のものであり、固定のショウは他の手段で
臂降され、プリント回路板に押し当てられ前記コーナー
部分を持ち上げるように変形させ、その変形部分の下側
に可動のショウを入りこませて、両ショウで該部分を掴
み、剥ぎ取る。 前記の押圧は線状に行なわれるもので
、保護フィルムは押圧されるとＶ字状に凹むがフォトレ
ジスト族は押圧された部分で切断され、したがって、プ
リント回路板のフォトレジスト膜との連続性は遮断され
る。 したがって、一方の固定ショウに対する可動のジ
ヨウは、保護フィルムの厚さ分だけ前者よりも下方へ沈
むストロークの下方移動を行なうように構成されている
。また、固定のショウにおける固定は、前記可動のショ
ウに対する相対的な意味での固定であって、プリント回
路板に対しては昇降して接近、離去する構成になってい
る。 保護フィルムを押圧する固定のショウは、その底
面が搬送路に対し約４°傾斜し、最下端部にエツジが形
成されている。 また、同様に、可動のショウは、その
底面が搬送路に対し約４°傾斜し、最下端部にエツジが
形成されている。 さらに、可動のジヨウには、切断さ
れたフォトレジスト膜の分が逃げこむアンダーカット部
分が形成され、この部分に切断されたフォトレジスト膜
の材料が流れこむ。
前記したグリラビング・ショウはプリント回路板の搬送
路に対し平行に移動し、ついでプリント回路板の搬送方
向に斜めに移動して剥ぎ取り操作を行なう。 この操作
の間は、プリント回路板は所定の位置に保持される。
保護フィルムと剥ぎ取り方向は、プリント回路板の搬送
方向と直角な方向でもよく、この場合には、剥ぎ取り工
程の間、コンベアでプリント回路板を搬送し、これによ
って保護フィルムが一端から他端まで剥ぎ取られる。
路に対し平行に移動し、ついでプリント回路板の搬送方
向に斜めに移動して剥ぎ取り操作を行なう。 この操作
の間は、プリント回路板は所定の位置に保持される。
保護フィルムと剥ぎ取り方向は、プリント回路板の搬送
方向と直角な方向でもよく、この場合には、剥ぎ取り工
程の間、コンベアでプリント回路板を搬送し、これによ
って保護フィルムが一端から他端まで剥ぎ取られる。
前記したグリラビング・ショウは保護フィルムの剥ぎ取
りの初期に使用されるもので、一端剥ぎ取られた保護フ
ィルムは他のグリッパ−により掴まれ、最終段階まで該
グリッパ−に掴まれて剥ぎ取られる。 このグリッパ−
はプリント回路板に対し一定の高さ位置に設置されてい
て、該グリッパ−が剥ぎ取り操作の大部分を行なう。
このグリッパ−は機械的にシンプルなもので、直線運動
をするものであり、前記したグリラビング・ショウの方
が複雑な運動をし、しかも種々のプリント回路板に合う
よう調節機構が設けられている。
りの初期に使用されるもので、一端剥ぎ取られた保護フ
ィルムは他のグリッパ−により掴まれ、最終段階まで該
グリッパ−に掴まれて剥ぎ取られる。 このグリッパ−
はプリント回路板に対し一定の高さ位置に設置されてい
て、該グリッパ−が剥ぎ取り操作の大部分を行なう。
このグリッパ−は機械的にシンプルなもので、直線運動
をするものであり、前記したグリラビング・ショウの方
が複雑な運動をし、しかも種々のプリント回路板に合う
よう調節機構が設けられている。
プリント回路板の寸法にもよるが、剥ぎ取り操作のス１
−ロークは１ｆｆｌを越える場合がある。
−ロークは１ｆｆｌを越える場合がある。
前記グリッパ−は前記グリラビング・ショウに接近した
位置に設置され、グリラビング・ショウで掴んだ保護フ
ィルムを掴んで最終段階まで、前記グリッパ−での剥ぎ
取りが行なわれる。 前記グリッパ−は一対のフィンガ
ーからなり、前記グリラビング・ショウで挟ｌυだ保護
フィルムを掴み直し、グリッパ−の移動またはプリント
回路板の移動により保護フィルムを連続的に引き剥がす
。
位置に設置され、グリラビング・ショウで掴んだ保護フ
ィルムを掴んで最終段階まで、前記グリッパ−での剥ぎ
取りが行なわれる。 前記グリッパ−は一対のフィンガ
ーからなり、前記グリラビング・ショウで挟ｌυだ保護
フィルムを掴み直し、グリッパ−の移動またはプリント
回路板の移動により保護フィルムを連続的に引き剥がす
。
グリッパ−の掴み直しの際には、グリラビング・ショウ
における保護フィルムは、単に挟まれている状態になっ
ており、グリッパ−により挟まれると、グリッピング・
ショウから引き離されるようになっている。
における保護フィルムは、単に挟まれている状態になっ
ており、グリッパ−により挟まれると、グリッピング・
ショウから引き離されるようになっている。
プリント回路板をクランプする装置は、前記グリッピン
グ・ショウの近くに設置されているものである。 プリ
ント回路板の検査が不可能なグリッピング・ショウの領
域内にプリント回路板が位置するときには、必要な位置
へプリント回路板を移動させる。 プリント回路板の位
置は保護フィルムのコーナーがグリッピング・ショウに
より掴むことができる位置に決定される。、したがって
、前記クランプ装置は搬送方向に可動のものであっても
、固定のものであってもよく、このクランプ装置にクラ
ンプされたプリント回路板は前記グリッピング・ショウ
が作動する領域に移動される。 この移動範囲はプリン
ト回路板がグリップされる位置である。 プリント回路
板が所定の位置まで移されると、クランプ装置でクラン
プされ、剥ぎ取り工程中クランプされたままである。
このクランプされる部分は、剥ぎ取り操作が開始される
コーナー部分に近接した部分であって、特にプリント回
路板の長さ方向端部における部分であり、このような部
分でクランプされていると、剥ぎ取り操作が順調に行な
われる。
グ・ショウの近くに設置されているものである。 プリ
ント回路板の検査が不可能なグリッピング・ショウの領
域内にプリント回路板が位置するときには、必要な位置
へプリント回路板を移動させる。 プリント回路板の位
置は保護フィルムのコーナーがグリッピング・ショウに
より掴むことができる位置に決定される。、したがって
、前記クランプ装置は搬送方向に可動のものであっても
、固定のものであってもよく、このクランプ装置にクラ
ンプされたプリント回路板は前記グリッピング・ショウ
が作動する領域に移動される。 この移動範囲はプリン
ト回路板がグリップされる位置である。 プリント回路
板が所定の位置まで移されると、クランプ装置でクラン
プされ、剥ぎ取り工程中クランプされたままである。
このクランプされる部分は、剥ぎ取り操作が開始される
コーナー部分に近接した部分であって、特にプリント回
路板の長さ方向端部における部分であり、このような部
分でクランプされていると、剥ぎ取り操作が順調に行な
われる。
この発明は水平、垂直または斜めの状態で搬送されるプ
リント回路板に適用できる。 好ましいのは、プリント
回路板が水平なローラーコンベアで移送されている場合
であって、該コンベアが水平な搬送面を構成する。 前
記したグリッパ−は搬送コンベアの外方へ移動するのが
好ましく、これによって剥ぎとった保護フィルムを回収
箱などへ落下させ、回収処理を簡便に行なえることにな
る。
リント回路板に適用できる。 好ましいのは、プリント
回路板が水平なローラーコンベアで移送されている場合
であって、該コンベアが水平な搬送面を構成する。 前
記したグリッパ−は搬送コンベアの外方へ移動するのが
好ましく、これによって剥ぎとった保護フィルムを回収
箱などへ落下させ、回収処理を簡便に行なえることにな
る。
多くのプリント回路板は両面に保護フィルムにより覆わ
れたフォトレジスト膜を有するから、プリント回路板の
両面から保護フィルムを引き剥がすことが必要となる場
合が多い。 したがって、ローラーコンベアに間隙を設
け、この間隙を利用してプリント回路板の上下から保護
フィルムの剥ぎ取り操作が行なえるようにすることもで
きる。
れたフォトレジスト膜を有するから、プリント回路板の
両面から保護フィルムを引き剥がすことが必要となる場
合が多い。 したがって、ローラーコンベアに間隙を設
け、この間隙を利用してプリント回路板の上下から保護
フィルムの剥ぎ取り操作が行なえるようにすることもで
きる。
これには、前記間隙にそってグリッピング部材を配置し
、クランプ装置によりプリント回路板をコンベアから約
２ｎｍ程度持ち上げればよく、また、最初に引き剥がし
た保護フィルムのコーナー部分をプリント回路板とロー
ラコンベアの下側に折り曲げ、これを引くようにすれば
、プリント回路板がローラコンベアの下方にあっても剥
ぎ取り操作は可能である。
、クランプ装置によりプリント回路板をコンベアから約
２ｎｍ程度持ち上げればよく、また、最初に引き剥がし
た保護フィルムのコーナー部分をプリント回路板とロー
ラコンベアの下側に折り曲げ、これを引くようにすれば
、プリント回路板がローラコンベアの下方にあっても剥
ぎ取り操作は可能である。
前記したグリッピング・ショウは、保護フィルムの剥ぎ
取り方向へ移動できる構成であって、保護フィルムを切
断するおそれがなく、また、前記ショウのエツジは丸く
できているものでもよい。
取り方向へ移動できる構成であって、保護フィルムを切
断するおそれがなく、また、前記ショウのエツジは丸く
できているものでもよい。
（実施例）
第１図は、この発明の実施に用いられる水平コンベアの
一部の平面図であって、複数本のローラ１からなるベッ
ドを備え、これらローラは、水平軸を回転軸として同期
回転する。 これらローラによるプリント回路板の搬送
方向は、矢印２に示す方向である。 ローラからなるベ
ッドは、二つのセクション３．４から構成され、これら
セクションは、搬送方向２に対し斜交する間隙５により
区切られていて、図示の例では、４５°の角度で斜交し
ている。 セクション３．４の間の間隙５は、搬送方向
２に対し斜交する二本の平行なビーム６．７により仕切
られており、装置のフレーム部材８に固定され、前記ロ
ーラの内側端部は、前記ビーム６．７に立設のボスト９
により回転自由に支承され、外側端部は、前記フレーム
８側に位置している。
一部の平面図であって、複数本のローラ１からなるベッ
ドを備え、これらローラは、水平軸を回転軸として同期
回転する。 これらローラによるプリント回路板の搬送
方向は、矢印２に示す方向である。 ローラからなるベ
ッドは、二つのセクション３．４から構成され、これら
セクションは、搬送方向２に対し斜交する間隙５により
区切られていて、図示の例では、４５°の角度で斜交し
ている。 セクション３．４の間の間隙５は、搬送方向
２に対し斜交する二本の平行なビーム６．７により仕切
られており、装置のフレーム部材８に固定され、前記ロ
ーラの内側端部は、前記ビーム６．７に立設のボスト９
により回転自由に支承され、外側端部は、前記フレーム
８側に位置している。
クランプ装置１０が搬送方向２の右側に配置されている
フレーム８に装着されている。 クランプ装置１０は、
搬送方向２にそって前進、侵退する。 クランプ装置１
０は、搬送方向２と平行なプリント回路板の縁部をクラ
ンプし、プリント回路板を一対のグリラビング・ジヨウ
１１．１２の作用範囲に移動させるもので、前記ショウ
は、プリント回路板の搬送面１３の上下に位置し、間隙
５に近接している。 クランプ装置１０は、プリント回
路板が前記作用範囲に位置しているときには、固定され
るようになっている。 搬送面は、ロー５１の共通正接
面である。
フレーム８に装着されている。 クランプ装置１０は、
搬送方向２にそって前進、侵退する。 クランプ装置１
０は、搬送方向２と平行なプリント回路板の縁部をクラ
ンプし、プリント回路板を一対のグリラビング・ジヨウ
１１．１２の作用範囲に移動させるもので、前記ショウ
は、プリント回路板の搬送面１３の上下に位置し、間隙
５に近接している。 クランプ装置１０は、プリント回
路板が前記作用範囲に位置しているときには、固定され
るようになっている。 搬送面は、ロー５１の共通正接
面である。
キャリエージ１５がビーム６と平行で、ローラ１の上に
配置された案内レール１４により往復移動する。 この
キャリエージには、搬送面１３の上下それぞれに位置す
る２個のグリッパ−１６が装着されている。
配置された案内レール１４により往復移動する。 この
キャリエージには、搬送面１３の上下それぞれに位置す
る２個のグリッパ−１６が装着されている。
第２図は、搬送面１３の上下それぞれに位置する前記し
たグリラビング・ジヨウ１１．１２の配置の詳細を示す
もので、それぞれのグリラビング・ショウは、平行リン
ク１つ、２０により搬送面１３に接近、離去するプレー
ト１７または１８に設置されていて、平行リンク１９．
２０は、フレーム２１にピボット連結されている。 平
行リンク１９．２０は、プレート１７．１８を搬送面１
３に対し平行移動させる。 前記したグリラビング・シ
ョウは、前記プレート１７．１８が第２図に示した端部
位置にあるとき、プリント回路板２２に係合する構成に
なっている。前記プレート１７．１８が第２図に示した
端部位置にあるとぎは、該位置は、停止ブロック２３に
より保持されるもので、停止ブロック２３の位置は、ハ
ンドル付きスクリュー２４により調節可能になっている
。
たグリラビング・ジヨウ１１．１２の配置の詳細を示す
もので、それぞれのグリラビング・ショウは、平行リン
ク１つ、２０により搬送面１３に接近、離去するプレー
ト１７または１８に設置されていて、平行リンク１９．
２０は、フレーム２１にピボット連結されている。 平
行リンク１９．２０は、プレート１７．１８を搬送面１
３に対し平行移動させる。 前記したグリラビング・シ
ョウは、前記プレート１７．１８が第２図に示した端部
位置にあるとき、プリント回路板２２に係合する構成に
なっている。前記プレート１７．１８が第２図に示した
端部位置にあるとぎは、該位置は、停止ブロック２３に
より保持されるもので、停止ブロック２３の位置は、ハ
ンドル付きスクリュー２４により調節可能になっている
。
スクリュー２４は、装置の主フレームに固定のナツト２
６に螺合、保持されている。
６に螺合、保持されている。
プレート１７．１８を枢支回動させる手段としては、二
本のリンク１９の一方を駆動する空気圧力によるピスト
ン・シリンダ装置２７が採用されている。
本のリンク１９の一方を駆動する空気圧力によるピスト
ン・シリンダ装置２７が採用されている。
上下に各一対づつ配置されている一対のグリラビング・
ジヨウ１１．１２を構成する顎部２８．２９の一方は、
プレート１７またはプレート１８に不動状態に固着され
、対向する他方が前記一方に対し接離自由に移動できる
ように装着され、図示の例では、例えば、固定の顎部２
８がプレート１７に固定され、可動の顎部２９が固定の
顎部２８に対し接離自由に移動できるように装着されて
いて、一対の固定、可動の顎部２８．２９が開閉するよ
うに構成されている。
ジヨウ１１．１２を構成する顎部２８．２９の一方は、
プレート１７またはプレート１８に不動状態に固着され
、対向する他方が前記一方に対し接離自由に移動できる
ように装着され、図示の例では、例えば、固定の顎部２
８がプレート１７に固定され、可動の顎部２９が固定の
顎部２８に対し接離自由に移動できるように装着されて
いて、一対の固定、可動の顎部２８．２９が開閉するよ
うに構成されている。
前記一対の顎部２８．２９は、第３図から第６図に示す
ように、互いに平行に対向する顎部２８のエツジ３１と
顎部２９のエツジ３２との間に、はさみ間隙３０が介在
している。 プリント回路板２２の面と対向しているエ
ツジ３１．３２の各下面３３．３４は、その延長線がプ
リント回路板２２と搬送面１３に対し鋭角をなして交叉
する角度位置にある。固定された顎部２８のエツジ３１
は、保護フィルム３５のコーナーに近接した該フィルム
の面に押し当てられ、他方の可動顎部２９のエツジ３２
は、プリント回路板２２の外側から該回路板に接近し、
保護フィルムのコーナー部分に係合し、剥ぎ取り操作が
開始される構成になっている。 可動の顎部２９のエツ
ジ３２から搬送面１３への距離は、固定顎部２８のエツ
ジ３１から搬送面１３への距離よりも僅か近くなってい
るので、二つの顎部２８．２９がプリント回路板２２に
係合すると、保護フィルム３５の下の層であるフォトレ
ジスト膜３６は、はさまれた形となるが、保護フィルム
３５は、Ｖ字状に押さえられた形となるだけで、損傷さ
れない（第３図参照）。
ように、互いに平行に対向する顎部２８のエツジ３１と
顎部２９のエツジ３２との間に、はさみ間隙３０が介在
している。 プリント回路板２２の面と対向しているエ
ツジ３１．３２の各下面３３．３４は、その延長線がプ
リント回路板２２と搬送面１３に対し鋭角をなして交叉
する角度位置にある。固定された顎部２８のエツジ３１
は、保護フィルム３５のコーナーに近接した該フィルム
の面に押し当てられ、他方の可動顎部２９のエツジ３２
は、プリント回路板２２の外側から該回路板に接近し、
保護フィルムのコーナー部分に係合し、剥ぎ取り操作が
開始される構成になっている。 可動の顎部２９のエツ
ジ３２から搬送面１３への距離は、固定顎部２８のエツ
ジ３１から搬送面１３への距離よりも僅か近くなってい
るので、二つの顎部２８．２９がプリント回路板２２に
係合すると、保護フィルム３５の下の層であるフォトレ
ジスト膜３６は、はさまれた形となるが、保護フィルム
３５は、Ｖ字状に押さえられた形となるだけで、損傷さ
れない（第３図参照）。
第３図の状態から保護フィルム３５を引き剥がすには、
可動の顎部２９を固定の顎部２８へ接近させると、顎部
２９のエツジ３２でフォトレジスト膜が保護フィルムと
共にプリント回路板２２から剥がされ、フォトレジスト
膜と保護フィルムが両顎部の間に巻き込まれ（第４図）
、両顎部２８．２９により圧迫され（第５図）、はさみ
こまれたフォトレジスト膜のみが顎部２９のエツジ３２
の上方に形成されている肩部３７へ絞り取られるように
移動し、プリント回路板２２に残るフオトレジスト膜か
ら分離され、保護フィルム３５が連続した状態ではさま
れる（第５図）。そしてプリント回路板２２の上下それ
ぞれに位置するプレート１７．１８の昇降移動により、
一対のグリラビング・ジヨウの顎部２８．２９は、フォ
トレジスト膜と保護フィルムをくわえたままプリント回
路板２２から離れ、これによって連続した状態の保護フ
ィルム３５のみが前記顎部２８．２９に引張られる状態
となり、プリント回路板２２から引き剥がされる。なお
、フォトレジスト膜３６は、前記顎部２８．２９により
寸断された状態となるため、前記顎部２８．２９の間に
はさまれた分取外は、プリント回路板に積層された状態
で残る。
可動の顎部２９を固定の顎部２８へ接近させると、顎部
２９のエツジ３２でフォトレジスト膜が保護フィルムと
共にプリント回路板２２から剥がされ、フォトレジスト
膜と保護フィルムが両顎部の間に巻き込まれ（第４図）
、両顎部２８．２９により圧迫され（第５図）、はさみ
こまれたフォトレジスト膜のみが顎部２９のエツジ３２
の上方に形成されている肩部３７へ絞り取られるように
移動し、プリント回路板２２に残るフオトレジスト膜か
ら分離され、保護フィルム３５が連続した状態ではさま
れる（第５図）。そしてプリント回路板２２の上下それ
ぞれに位置するプレート１７．１８の昇降移動により、
一対のグリラビング・ジヨウの顎部２８．２９は、フォ
トレジスト膜と保護フィルムをくわえたままプリント回
路板２２から離れ、これによって連続した状態の保護フ
ィルム３５のみが前記顎部２８．２９に引張られる状態
となり、プリント回路板２２から引き剥がされる。なお
、フォトレジスト膜３６は、前記顎部２８．２９により
寸断された状態となるため、前記顎部２８．２９の間に
はさまれた分取外は、プリント回路板に積層された状態
で残る。
第７図と第８図は、保護フィルムとフォトレジストの一
部をプリント回路板から引き剥がし、保護フィルムをグ
リップするグリラビング・ショウの変形を示すもので、
固定の顎部２８のエツジ３１に搬送面１３と平行な角面
３８が形成されていて、この角面３８と傾斜面３３とに
より保護フィルム３５を圧迫する。
部をプリント回路板から引き剥がし、保護フィルムをグ
リップするグリラビング・ショウの変形を示すもので、
固定の顎部２８のエツジ３１に搬送面１３と平行な角面
３８が形成されていて、この角面３８と傾斜面３３とに
より保護フィルム３５を圧迫する。
エツジ３１．３２は、シャープなものではなく、丸くな
っていて、保護フィルムをＶ字状に押さえないようにな
っている。
っていて、保護フィルムをＶ字状に押さえないようにな
っている。
保護フィルム３５の剥ぎ取り工程は、前記一対のグリラ
ビング・ジヨウ１１．１２によって完了するものではな
く、該工程を完了するには、別のグリッパ−１６が使用
される。図面では、これらのグリッパ−の内、搬送面１
３の上に位置するもののみが示されているが、前記グリ
ッパ−１６と同様の構造のものが搬送面１３の下方に上
下対称の形で設置されている。 第９図乃至第１２図は
、グリラビング・ジヨウ１１に掴まれている保護フィル
ム３５をグリッパ−１６へ移す工程を示すもので、グリ
ッパ−１６は、一対の水平方向のフィンガー３９．４０
からなる。 多対のフィンガーは、上フィンガー４１と
下フィンガー４２とからなり、上フィンガー４１の自由
端が下向きに鍵形に曲がったフック部４３になっており
、下フィンガー４２はストレートになっていて、その自
由端が上フィンガー４１のフック部４３に対向する位置
にある。 上フィンガー４１は、キャリエージ１５に固
着されたキャリア４４に装着され、下フィンガー４２は
、ブロック４５の下面に固定され、このブロックはキャ
リア４４から水平に伸びる九ロット４６に固定されてい
る。 ブロック４５とキャリア４４との間には、コンプ
レッションスプリング４７が介在し、下フィンガー４２
を上フィンガー４２のフック部４３側へ付勢する。
ビング・ジヨウ１１．１２によって完了するものではな
く、該工程を完了するには、別のグリッパ−１６が使用
される。図面では、これらのグリッパ−の内、搬送面１
３の上に位置するもののみが示されているが、前記グリ
ッパ−１６と同様の構造のものが搬送面１３の下方に上
下対称の形で設置されている。 第９図乃至第１２図は
、グリラビング・ジヨウ１１に掴まれている保護フィル
ム３５をグリッパ−１６へ移す工程を示すもので、グリ
ッパ−１６は、一対の水平方向のフィンガー３９．４０
からなる。 多対のフィンガーは、上フィンガー４１と
下フィンガー４２とからなり、上フィンガー４１の自由
端が下向きに鍵形に曲がったフック部４３になっており
、下フィンガー４２はストレートになっていて、その自
由端が上フィンガー４１のフック部４３に対向する位置
にある。 上フィンガー４１は、キャリエージ１５に固
着されたキャリア４４に装着され、下フィンガー４２は
、ブロック４５の下面に固定され、このブロックはキャ
リア４４から水平に伸びる九ロット４６に固定されてい
る。 ブロック４５とキャリア４４との間には、コンプ
レッションスプリング４７が介在し、下フィンガー４２
を上フィンガー４２のフック部４３側へ付勢する。
保護フィルム３５のコーナー部分が顎部２８．２９によ
りプリント回路板２２のフォトレジスト膜３６から剥ぎ
取られると、グリッパ−１６がグリラビング・ジヨウ１
１を閉止する端部位置へ移動する（第９図）。 ついで
グリラビング・ジヨウ１１が枢軸回動じてグリッパ−１
６のフィンガー３９．４０の間に移動すると、（第１１
図、第１２図）、保護フィルム３５のコーナー部分がフ
ィンガー４１．４２の間の間隙の間に入りこむ。
りプリント回路板２２のフォトレジスト膜３６から剥ぎ
取られると、グリッパ−１６がグリラビング・ジヨウ１
１を閉止する端部位置へ移動する（第９図）。 ついで
グリラビング・ジヨウ１１が枢軸回動じてグリッパ−１
６のフィンガー３９．４０の間に移動すると、（第１１
図、第１２図）、保護フィルム３５のコーナー部分がフ
ィンガー４１．４２の間の間隙の間に入りこむ。
グリッパ−１６を開くために、グリッパ−１６の端部位
置に来る直前にブロック４５が固定ストッパに当接する
。 ブロック４５が前記ストッパに当接すると、フィン
ガー３９．４０は開く。 また、別の手段としては、顎
部２８がブロック４５に当接し、フィンガー４２を移動
させて開くようにすることもできる。
置に来る直前にブロック４５が固定ストッパに当接する
。 ブロック４５が前記ストッパに当接すると、フィン
ガー３９．４０は開く。 また、別の手段としては、顎
部２８がブロック４５に当接し、フィンガー４２を移動
させて開くようにすることもできる。
その後、グリラビング・ジヨウ１１は加圧されないが開
放されない状態となり、保護フィルムはグリラビング・
ジヨウ１１の間には引ぎ出し可能な状態でさまれており
、キャリエージ１５が戻り、グリッパ−１６が自ＯＪ的
に閉止し、保護フィルム３５を掴み、これを顎部２８．
２９から引き出し、その状態でプリント回路板２２から
保護フィルムを完全に剥ぎ取る（第１０図、第１２図）
。
放されない状態となり、保護フィルムはグリラビング・
ジヨウ１１の間には引ぎ出し可能な状態でさまれており
、キャリエージ１５が戻り、グリッパ−１６が自ＯＪ的
に閉止し、保護フィルム３５を掴み、これを顎部２８．
２９から引き出し、その状態でプリント回路板２２から
保護フィルムを完全に剥ぎ取る（第１０図、第１２図）
。
回動子４８がキせリア４４の背部に位置する軸に枢支４
９されている。 丸ロッド４６が回動子４８の下端を貫
通し、端部がナツト５０に螺合し、回動子４８がロッド
４６から汰けない叔うになっている。
９されている。 丸ロッド４６が回動子４８の下端を貫
通し、端部がナツト５０に螺合し、回動子４８がロッド
４６から汰けない叔うになっている。
キャリエージ１５がローラーベッドの領域外にある端部
に達する直前、回動子４８の上端がストッパに当り、回
動子４８を回動し、グリッパ−１６が開く。 これによ
って保護フィルム３５はグリッパ−１６から扱は落ち、
グリッパ−１６の下方にある回収箱に回収され、グリッ
パ−１６は第９図に示す位置へ戻り、次の保護フィルム
剥ぎ取り工程に備える。
に達する直前、回動子４８の上端がストッパに当り、回
動子４８を回動し、グリッパ−１６が開く。 これによ
って保護フィルム３５はグリッパ−１６から扱は落ち、
グリッパ−１６の下方にある回収箱に回収され、グリッ
パ−１６は第９図に示す位置へ戻り、次の保護フィルム
剥ぎ取り工程に備える。
第２図における可動顎部２９と固定顎部２８との開閉は
、プレート１７．１８に装着された空気圧シリンダ２９
ａのピストンとピストンロッドとにより可動顎部２９を
移動させて操作される。
、プレート１７．１８に装着された空気圧シリンダ２９
ａのピストンとピストンロッドとにより可動顎部２９を
移動させて操作される。
そしてピストンロッドの両側には、シリンダからから突
き出た案内ロッドが可動顎部２９に形成した二本の平行
なボア２９ａにスライド嵌合し、可動顎部２９を案内す
る。
き出た案内ロッドが可動顎部２９に形成した二本の平行
なボア２９ａにスライド嵌合し、可動顎部２９を案内す
る。
（発明の効果）
この発明によれば、プリント回路板の露光されるべき、
または、されたフォトレジスト膜から保護フィルムを剥
ぎ取る操作が確実に行なえ、保護フィルムの途中明所が
ない。
または、されたフォトレジスト膜から保護フィルムを剥
ぎ取る操作が確実に行なえ、保護フィルムの途中明所が
ない。
第１図は、この発明の一実施例における装置の平面図、
第２図は、第１図ＩＩ線矢視方向断面図、第３図から第
６図は、保護フィルムの剥ぎ取り操作の段階の説明図、 第７図と第８図は、それぞれグリラビング・ショウの変
形例を示す説明図、 第９図と第１０図は、グリラビング・ジヨウとグリッパ
−の構成を示す説明図、 第１１図と第１２図は、第９図と第１０図に示した構成
の平面図である。 １・・・・・・ローラー ６．７・・・・・・水平ビーム １０・・・・・・クランプ装置 １１．１２・・・・・・グリラビング・ジヨウ１６・・
・・・・グリッパ− ２２・・・・・・プリント回路板 ２８．２９・・・・・・顎部 ３５・・・・・・保護フィルム ３６・・・・・・フォトレジスト膜 二ｔシ１５ 一１山ｉ？ 二ＬシｉＢ 二しシｚｉｉ ３Ｍ丁１２
６図は、保護フィルムの剥ぎ取り操作の段階の説明図、 第７図と第８図は、それぞれグリラビング・ショウの変
形例を示す説明図、 第９図と第１０図は、グリラビング・ジヨウとグリッパ
−の構成を示す説明図、 第１１図と第１２図は、第９図と第１０図に示した構成
の平面図である。 １・・・・・・ローラー ６．７・・・・・・水平ビーム １０・・・・・・クランプ装置 １１．１２・・・・・・グリラビング・ジヨウ１６・・
・・・・グリッパ− ２２・・・・・・プリント回路板 ２８．２９・・・・・・顎部 ３５・・・・・・保護フィルム ３６・・・・・・フォトレジスト膜 二ｔシ１５ 一１山ｉ？ 二ＬシｉＢ 二しシｚｉｉ ３Ｍ丁１２
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）プリント回路板の一方の面に設けられたフォトレ
ジスト膜から斜めに対向する第１と第２のコーナーをも
つ方形の保護フィルムを剥ぎ取る方法において、前記回
路板が前記保護フィルムの前記第１コーナーと一致する
コーナーを有し、前記回路板が前記コーナーにおいて前
記フォトレジスト膜から突き出た表面部分を前記一方の
面に有するもので、前記保護フィルムの剥ぎ取りが前記
第１コーナーから開始され、前記第２コーナーまで継続
される方法であって、前記プリント回路板を所定の位置
に保持し、第１のクリッピング部材を第１のコーナー近
くで前記保護フィルムに押し当て、前記保護フィルムと
、その下側のフォトレジスト膜とを変形し、第２のクリ
ッピング部材を第１のクリッピング部材に接近させ、第
１と第２のクリッピング部材により前記変形の保護フィ
ルムとフォトレジスト膜とを掴み、このフォトレジスト
膜のみを寸断し、前記保護フィルムを連続したままの状
態としながら前記プリント回路板に残されている前記フ
ォトレジスト膜から前記保護フィルムを引き剥がすこと
を特徴とするプリント回路板の露光されたフォトレジス
ト膜から保護フィルムを剥ぎ取る方法。 （２）プリント回路板の一方の面に設けられたフォトレ
ジスト膜から斜めに対向する第１と第２のコーナーをも
つ方形の保護フィルムを剥ぎ取る装置において、前記回
路板が前記保護フィルムの前記第１コーナーと一致する
コーナーを有し、前記回路板が前記コーナーにおいて前
記フォトレジスト膜から突き出た表面部分を前記一方の
面に有するもので、前記保護フィルムの剥ぎ取りを前記
第１コーナーから開始し、前記第２コーナーまで継続す
る装置を備え、この装置は、プリント回路板を掴み、こ
れを所定の位置に保つクランプ装置からなり、前記保護
フィルムを剥ぎ取る手段として、第１のグリッピング部
材と第２のグリッピング部材と；この第１のクリッピン
グ部材を第１のコーナー近くで前記保護フィルムに押し
当て、前記保護フィルムと、その下側のフォトレジスト
膜とを変形させるようにし、第２のグリッピング部材を
第１のクリッピング部材に接近させ、第１と第２のグリ
ッピング部材により前記変形の保護フィルムとフォトレ
ジスト膜とを掴み、このフォトレジスト膜のみを寸断し
、前記保護フィルムを連続したままの状態としながら前
記プリント回路板に残されている前記フォトレジスト膜
から前記保護フィルムを引き剥がす前記第１と第２のグ
リッピング部材を作動する手段とを備えていることを特
徴とするプリント回路板の露光されたフォトレジスト膜
から保護フィルムを剥ぎ取る装置。 （３）複数のプリント回路板を前記所定の位置まで搬送
する搬送路を構成するコンベアと、前記クリッピング部
材の一方が可動の顎部と固定の顎部とを有し、これらの
顎部が前記所定の位置にあるプリント回路板にアクセス
し、可動の顎部が前記剥ぎ取り手段によって前記プリン
ト回路板の保護フィルムと接触し、これを前記フォトレ
ジスト膜と共に変形させ、変形部分を前記固定の顎部と
協同して挟み、前記プリント回路板からこれを引き剥が
す手段を備えた特許請求の範囲第２項記載の（４）前記
可動の顎部と固定の顎部それぞれには、前記搬送面に対
し平行で、前記剥ぎ取り方向に対、し直交するエッジが
設けられ、これらエッジが前記所定の位置にプリント回
路板が位置すると、これの端部に係合する構成で、前記
可動と固定の顎部には、前記エッジに続く面があり、こ
れらの面の間に前記プリント回路板の前記コーナー部分
を掴む間隙を構成する特許請求の範囲第３項記載の装置
。 （５）前記可動の顎部の前記エッジまわりの底面が前記
搬送路に対し前記剥ぎ取り方向へ傾斜している特許請求
の範囲第４項記載の装置。 （６）前記可動と固定の顎部の少なくとも一方がアンダ
ーカット部分を有する特許請求の範囲第４項記載の装置
。 （７）前記エッジが丸く形成されている特許請求の範囲
第４項記載の装置。 （８）前記可動の顎部と固定の顎部からなるグリッピン
グ部材が前記搬送路に接近および離去できるようになつ
ており、可動の顎部よりも固定の顎部の方が前記搬送路
により近く接近できる構成になっている特許請求の範囲
第４項記載の装置。 （９）前記固定の顎部の方が前記搬送路により近く、前
記保護フィルムの厚さ分接近できる構成になつている特
許請求の範囲第８項記載の装置。 （１０）前記固定の顎部のエッジを構成する面が第１の
面と第２の面とを有し、これら第１と第２の面がエッジ
において交叉し、第２の面が傾斜している構成である特
許請求の範囲第４項記載の装置。 （１１）前記可動の顎部は、顎部の開閉手段により搬送
路に対し平行に移動され、前記固定の顎部に当接する構
成になっている特許請求の範囲第３項記載の装置。 （１２）前記可動と固定の顎部からなるグリッピング部
材が平行リンクにより支持され、該平行リンクにより前
記グリッピング部材が移動し、所定に保持される構成に
なっている特許請求の範囲第３項記載の装置。 （１３）前記剥ぎ取り手段が可動の顎部と対向する固定
の顎部側に配置されているグリッパーを備え、前記作動
手段が前記可動と固定の顎部を搬送路から離去させ、前
記フォトレジスト膜のコーナー部分を前記フォトレジス
ト膜の残余部分から引き離し、前記グリッパーが前記剥
ぎ取り位置から放出位置へ往復移動し、前記固定の顎部
側において一旦掴んだ前記保護フィルムのコーナー部分
を再度掴み、前記保護フィルムを前記フォトレジスト膜
の部分から引き剥がす構成になっている特許請求の範囲
第３項記載の装置。 （１４）前記グリッパーは二本のフィンガーが一対とな
るもの一対からなり、これらは、前記グリッピング部材
の側方に位置し、該グリッピング部材で挟んだ前記保護
フィルムを最終的に掴んで最終的に引き剥がす構成の特
許請求の範囲第１３項記載の装置。 （１５）前記コンベアは複数のローラーからなり、該ロ
ーラーは水平の軸を有し、前記搬送路を形成し、前記ロ
ーラーは第１と第２のローラーセットを構成し、これら
第１と第２のローラーセットの間に前記剥ぎ取り方向内
に延びる間隙が形成され、前記剥ぎ取り手段が可動の顎
部と対向する固定の顎部とに対する第２のグリッピング
部材と；この第２のグリッピング部材を第２のコーナー
近くで前記保護フィルムに押し当て、前記保護フィルム
と、その下側のフォトレジスト膜とを変形させるように
し、第２のグリッピング部材により前記変形の保護フィ
ルムとフォトレジスト膜とを掴み、このフォトレジスト
膜のみを寸断し、前記保護フィルムを連続したままの状
態としながら前記プリント回路板に残されている前記フ
ォトレジスト膜から前記保護フィルムを引き剥がす前記
第２のグリッピング部材を作動する手段とを備えている
ことを特徴とするプリント回路板の露光されたフォトレ
ジスト膜から保護フィルムを剥ぎ取る特許請求の範囲第
１３項記載の装置 （１６）前記グリッパーが前記剥ぎ取り方向へ前記コン
ベアの外側位置まで移動する特許請求の範囲第１３項記
載の装置。 （１７）前記クランプ装置が前記コンベアにそって移動
し、このコンベアにそう移動において停止する特許請求
の範囲第３項記載の装置。 （１８）前記コンベアが前記プリント回路板を前記搬送
路と平行に支持し、前記クランプ装置が前記回路板と係
合し、前記グリッピング部材が前記搬送路と平行に位置
する特許請求の範囲第３項記載の装置。 （１９）前記コンベアは複数のローラからなり、これら
ローラーは水平軸を有し、水平の搬送路を構成する特許
請求の範囲第３項記載の装置。 （２０）前記クランプ装置は前記プリント回路板をクラ
ンプして前記搬送路から僅かに持ち上げる構成になって
いる特許請求の範囲第３項記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3532553.4 | 1985-09-12 | ||
| DE3532553A DE3532553C1 (de) | 1985-09-12 | 1985-09-12 | Verfahren und Vorrichtung zum Abziehen der Schutzfolie von einer mit belichtetem Fotoresist beschichteten Leiterplatte |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62115892A true JPS62115892A (ja) | 1987-05-27 |
| JPH0666537B2 JPH0666537B2 (ja) | 1994-08-24 |
Family
ID=6280777
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61216961A Expired - Lifetime JPH0666537B2 (ja) | 1985-09-12 | 1986-09-12 | プリント回路板の露光されたフオトレジスト膜から保護フイルムを剥ぎ取る方法と装置 |
Country Status (5)
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