JP2002248624A - 粘着組成物の回収装置 - Google Patents

粘着組成物の回収装置

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JP2002248624A
JP2002248624A JP2001051752A JP2001051752A JP2002248624A JP 2002248624 A JP2002248624 A JP 2002248624A JP 2001051752 A JP2001051752 A JP 2001051752A JP 2001051752 A JP2001051752 A JP 2001051752A JP 2002248624 A JP2002248624 A JP 2002248624A
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    • Y02W30/62—Plastics recycling; Rubber recycling

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、粘着組成物を中心にキャリアフィ
ルムとカバーフィルムとが貼着された少なくとも３層構
造からなるシート体から粘着組成物を容易に分離回収す
ることが出来る粘着組成物の回収装置を提供することを
可能にすることを目的としている。 【解決手段】 駆動ローラ５と従動ローラ６により挟持
搬送されるシート体１からカバーフィルム４を剥離して
カバーフィルム巻取軸９に巻回回収し、更にフォトレジ
スト巻取軸10と押さえローラ11ｂにより挟持搬送される
残りのシート体からキャリアフィルム３を剥離してキャ
リアフィルム巻取軸12に巻回回収し、フォトレジスト２
をフォトレジスト巻取軸10に巻回回収する。フォトレジ
スト２とキャリアフィルム３の剥離位置近傍に霧状水分
発生手段15、電荷除去手段16、熱風発生手段18を配置
し、更にエキスパンダローラ等の拡張手段を設けて構成
したことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、粘着組成物の回収
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、粘着組成物として、例えば、電子
回路用プリント基板に使用されるＤＦＲ（ドライフィル
ムレジスト）等のフォトレジストフィルムが存在する。
フォトレジストフィルムは製造段階で、粘着組成物であ
るフォトレジストがＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレー
ト；ポリエステル）等のキャリアフィルムに担持され、
更に防塵や粘着組成物の取り扱いを容易にするためのＬ
ＤＰＥ(低密度ポリエチレン）等のカバーフィルムがフ
ォトレジストが有する粘着力により貼着されて３層構造
からなるシート体として長尺状に巻回され、用途に応じ
て必要な長さに切断して用いられる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、フォト
レジストフィルムが傷や他の原因で検査不合格になった
り、長期間在庫になって品質保証期間を超過した場合等
はフォトレジスト、キャリアフィルム、カバーフィルム
を回収して再利用することが経済的であり、地球環境の
保全にも寄与するが、フォトレジストが粘着組成物であ
ることからフォトレジストからキャリアフィルムやカバ
ーフィルムを分離して回収することが困難であり、通常
は、焼却廃棄するのが一般であった。
【０００４】また、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレー
ト；ポリエステル）等のキャリアフィルムが貼着された
フォトレジスト等の粘着組成物から該キャリアフィルム
を剥離する際に静電気が発生して静電吸着現象が生じ、
静電気によって異物が粘着組成物、キャリアフィルムの
回収物に混入した場合には、該回収物の再利用が不能に
なる虞が有り、静電気によってキャリアフィルムと粘着
組成物とが安定的に剥離出来ないという問題がある。
【０００５】また、フォトレジスト等の粘着組成物、キ
ャリアフィルム、カバーフィルムは、粘着組成物自身が
有する弾性や吸着性によって皺が出来易く、皺が出来る
と、回収後の後処理が困難になるという問題がある。
【０００６】本発明は前記課題を解決するものであり、
その目的とするところは、粘着組成物を中心にキャリア
フィルムとカバーフィルムとが貼着された少なくとも３
層構造からなるシート体から粘着組成物を容易に分離回
収することが出来る粘着組成物の回収装置を提供せんと
するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
の本発明に係る粘着組成物の回収装置は、粘着組成物を
中心にキャリアフィルムとカバーフィルムとが貼着され
た少なくとも３層構造からなるシート体から粘着組成物
を回収する装置であって、前記シート体から前記カバー
フィルムを剥離して該カバーフィルムを一方の方向へ搬
送する第１の搬送手段と、前記カバーフィルムが剥離さ
れた残りのシート体を該カバーフィルムの搬送方向とは
異なる方向に搬送する第２の搬送手段と、前記残りのシ
ート体から前記キャリアフィルムを剥離して該キャリア
フィルムを一方の方向へ搬送する第３の搬送手段と、前
記キャリアフィルムが剥離された粘着組成物を該キャリ
アフィルムの搬送方向とは異なる方向に搬送する第４の
搬送手段と、前記粘着組成物、前記キャリアフィルム、
前記カバーフィルムのうちの少なくとも１つ或いはこれ
等が貼着された組合せのうちの少なくとも１つの搬送経
路上に配置され、該粘着組成物、キャリアフィルム、カ
バーフィルムのうちの少なくとも１つ或いはこれ等が貼
着された組合せのうちの少なくとも１つを幅方向に拡張
する拡張手段とを有することを特徴とする。
【０００８】上記構成によれば、第１の搬送手段により
シート体からカバーフィルムを剥離して該カバーフィル
ムを一方の方向へ搬送すると共に、第２の搬送手段によ
りシート体からカバーフィルムを剥離した残りのシート
体を第１の搬送手段により搬送されるカバーフィルムの
搬送方向とは異なる方向に搬送することで粘着組成物の
粘着力に抗してカバーフィルムと残りのシート体とを容
易に分離することが出来る。
【０００９】更に第３の搬送手段によりシート体からカ
バーフィルムを剥離した残りのシート体からキャリアフ
ィルムを剥離して該キャリアフィルムを一方の方向へ搬
送すると共に、第４の搬送手段によりキャリアフィルム
が剥離された粘着組成物を第３の搬送手段により搬送さ
れるキャリアフィルムの搬送方向とは異なる方向に搬送
することで粘着組成物の粘着力に抗してキャリアフィル
ムと粘着組成物とを容易に分離することが出来る。
【００１０】また、粘着組成物、キャリアフィルム、カ
バーフィルムのうちの少なくとも１つ或いはこれ等が貼
着された組合せのうちの少なくとも１つの搬送経路上に
配置された拡張手段により粘着組成物、キャリアフィル
ム、カバーフィルムのうちの少なくとも１つ或いはこれ
等が貼着された組合せのうちの少なくとも１つを幅方向
に拡張することで、粘着組成物、キャリアフィルム、カ
バーフィルムの皺伸ばしを行うことが出来、巻き取りに
よる回収や回収後の後処理を容易にすることが出来る。
【００１１】また、本発明に係る粘着組成物の回収装置
の他の構成は、粘着組成物を中心にキャリアフィルムと
カバーフィルムとが貼着された少なくとも３層構造から
なるシート体から粘着組成物を回収する装置であって、
前記シート体から前記カバーフィルムを剥離して該カバ
ーフィルムを一方の方向へ搬送する第１の搬送手段と、
前記カバーフィルムが剥離された残りのシート体を該カ
バーフィルムの搬送方向とは異なる方向に搬送する第２
の搬送手段と、前記残りのシート体から前記キャリアフ
ィルムを剥離して該キャリアフィルムを一方の方向へ搬
送する第３の搬送手段と、前記キャリアフィルムが剥離
された粘着組成物を該キャリアフィルムの搬送方向とは
異なる方向に搬送する第４の搬送手段と、前記シート体
から前記カバーフィルムが剥離された残りのシート体か
ら前記キャリアフィルムが剥離される位置近傍に熱風を
吹き付ける熱風発生手段とを有することを特徴とする。
【００１２】上記構成によれば、熱風発生手段によりシ
ート体からカバーフィルムが剥離された残りのシート体
からキャリアフィルムが剥離される位置近傍に所定の温
度に制御された熱風を吹き付けることで、剥離部付近の
雰囲気温度を安定化することが出来、これにより粘着組
成物とキャリアフィルムとの剥離動作を安定化すること
が出来る。
【００１３】また、本発明に係る粘着組成物の回収装置
の他の構成は、粘着組成物を中心にキャリアフィルムと
カバーフィルムとが貼着された少なくとも３層構造から
なるシート体から粘着組成物を回収する装置であって、
前記シート体から前記カバーフィルムを剥離して該カバ
ーフィルムを一方の方向へ搬送する第１の搬送手段と、
前記カバーフィルムが剥離された残りのシート体を該カ
バーフィルムの搬送方向とは異なる方向に搬送する第２
の搬送手段と、前記残りのシート体から前記キャリアフ
ィルムを剥離して該キャリアフィルムを一方の方向へ搬
送する第３の搬送手段と、前記キャリアフィルムが剥離
された粘着組成物を該キャリアフィルムの搬送方向とは
異なる方向に搬送する第４の搬送手段と、前記シート体
から前記カバーフィルムが剥離された残りのシート体か
ら前記キャリアフィルムが剥離される位置近傍に霧状の
水分を吹き付ける霧状水分発生手段とを有することを特
徴とする。
【００１４】上記構成によれば、霧状水分発生手段によ
りシート体からカバーフィルムが剥離された残りのシー
ト体からキャリアフィルムが剥離される位置近傍に霧状
の水分を吹き付けることで、剥離による粘着組成物及び
キャリアフィルムの帯電を防止して静電吸着の発生を防
ぎ、粘着組成物とキャリアフィルムとの剥離動作を安定
化することが出来る。
【００１５】また、本発明に係る粘着組成物の回収装置
の他の構成は、粘着組成物を中心にキャリアフィルムと
カバーフィルムとが貼着された少なくとも３層構造から
なるシート体から粘着組成物を回収する装置であって、
前記シート体から前記カバーフィルムを剥離して該カバ
ーフィルムを一方の方向へ搬送する第１の搬送手段と、
前記カバーフィルムが剥離された残りのシート体を該カ
バーフィルムの搬送方向とは異なる方向に搬送する第２
の搬送手段と、前記残りのシート体から前記キャリアフ
ィルムを剥離して該キャリアフィルムを一方の方向へ搬
送する第３の搬送手段と、前記キャリアフィルムが剥離
された粘着組成物を該キャリアフィルムの搬送方向とは
異なる方向に搬送する第４の搬送手段と、前記シート体
から前記カバーフィルムが剥離された残りのシート体か
ら前記キャリアフィルムが剥離される位置近傍に剥離に
より発生した静電気を打ち消す電荷を付与する電荷除去
手段とを有することを特徴とする。
【００１６】上記構成によれば、電荷除去手段によりシ
ート体からカバーフィルムが剥離された残りのシート体
からキャリアフィルムが剥離される位置近傍に剥離によ
り発生した静電気を打ち消す電荷を付与することで、粘
着組成物及びキャリアフィルムの帯電電荷を中和除電し
て静電吸着の発生を防止し、粘着組成物とキャリアフィ
ルムとの剥離動作を安定化することが出来る。また、静
電気による周囲の粉塵等の異物の付着を防止することが
出来る。
【００１７】
【発明の実施の形態】図により本発明に係る粘着組成物
の回収装置の一例として、例えば、電子回路用プリント
基板に使用されるＤＦＲ（ドライフィルムレジスト）等
のフォトレジストの回収に適用した場合の一実施形態を
具体的に説明する。
【００１８】図１は本発明に係る粘着組成物の回収装置
の構成を示す断面説明図、図２（ａ）はシート体からカ
バーフィルムを剥離して分離する様子を示す部分拡大
図、図２（ｂ）はシート体からカバーフィルムを剥離し
た残りのシート体からキャリアフィルムと粘着組成物を
剥離して分離する様子を示す部分拡大図である。
【００１９】また、図３（ａ）は拡張手段により粘着組
成物を幅方向に拡張する様子を示す平面模式図、図３
（ｂ）は図３（ａ）の側面説明図である。
【００２０】図１及び図２において、１は、例えば、電
子回路用プリント基板に使用されるＤＦＲ（ドライフィ
ルムレジスト）等のフォトレジストフィルムからなるシ
ート体であり、粘着組成物であるフォトレジスト２がそ
れ自身が有する粘着力によりＰＥＴ（ポリエチレンテレ
フタレート；ポリエステル）等のキャリアフィルム３に
担持され、更に防塵や粘着組成物の取り扱いを容易にす
るためのＬＤＰＥ(低密度ポリエチレン）等のカバーフ
ィルム４がフォトレジスト２が有する粘着力により貼着
されて、フォトレジスト２を中心にキャリアフィルム３
とカバーフィルム４とが貼着された３層構造からなるシ
ート体１として長尺状に巻回されたものである。
【００２１】長尺状に巻回されたシート体１は支軸１ａ
により回転自在に軸支されており、図示しない摩擦板等
を利用した回転制動手段により回転速度が抑制され、シ
ート体１の張力を一定に維持しつつ従動回転する。
【００２２】５はシート体１からカバーフィルム４が剥
離される位置の搬送方向上流側近傍に設けられた駆動ロ
ーラであり、該駆動ローラ５には従動ローラ６が圧接さ
れている。搬送回転体対を構成する駆動ローラ５及び従
動ローラ６はゴムローラ等で形成されている。
【００２３】従動ローラ６は支軸６ａを中心に回動自在
に取り付けられたフレーム６ｂに回転自在に軸支されて
おり、一定の追従圧をかけたエアシリンダ等を有する図
示しない付勢手段により駆動ローラ５側に所定の加圧力
で圧接されている。
【００２４】付勢手段としてバネの張力等を利用した場
合には、駆動ローラ５と従動ローラ６とのニップ部を通
過するシート体１の厚さの変化に応じて加圧力が変化す
るが、一定の追従圧をかけたエアシリンダを利用した付
勢手段によれば、シート体１の厚さの変化に関わらず加
圧力を一定に維持することが出来る。
【００２５】そして、駆動源となる駆動モータ７から図
示しない駆動伝達手段により回転駆動力が伝達されて駆
動ローラ５が図の反時計回り方向に回転駆動されると、
該駆動ローラ５に圧接された従動ローラ６がシート体１
を挟持して図の時計回り方向に従動回転する。これによ
り駆動ローラ５と従動ローラ６からなる搬送回転体対に
よりシート体１が図の矢印方向に挟持搬送される。
【００２６】駆動ローラ５よりも搬送方向上流側にはシ
ート体１の有無を検知する材料検知手段となる発光部８
ａと受光部８ｂとを有する光センサ８が配置されてお
り、発光部８ａと受光部８ｂとの間の光路をシート体１
が遮ることでシート体１が存在することが検知され、発
光部８ａから受光部８ｂに光が到達した時にシート体１
が無いことが検知される。
【００２７】従って、支軸１ａにセットされたシート体
１の分離処理が終了した時に、シート体１により光路が
遮断されていた光センサ８がＯＮになってシート体１が
無くなったことを検知し、装置の分離処理動作を自動的
に停止することが出来るようになっている。
【００２８】９はシート体１からカバーフィルム４を剥
離して該カバーフィルム４を一方の方向へ搬送する第１
の搬送手段であって、該カバーフィルム４を巻回して回
収する巻取手段を兼ねるカバーフィルム巻取軸であり、
該カバーフィルム巻取軸９は駆動モータ７から図示しな
い駆動伝達手段により回転駆動力が伝達されて駆動ロー
ラ５と同期して図の反時計回り方向に回転駆動される。
【００２９】ここで、粘着組成物であるフォトレジスト
２のキャリアフィルム３に対する粘着力は、該フォトレ
ジスト２のカバーフィルム４に対する粘着力よりも２倍
から４倍程度大きくなるように設定されており、シート
体１から先ずカバーフィルム４が剥離し易い構成になっ
ている。
【００３０】10はカバーフィルム４が剥離されたフォト
レジスト２とキャリアフィルム３からなる残りのシート
体を、カバーフィルム４の搬送方向とは異なる方向に搬
送する第２の搬送手段であって、且つ粘着組成物である
フォトレジスト２を巻回して回収する巻取手段を兼ね、
更にはキャリアフィルム３が剥離された粘着組成物であ
るフォトレジスト２を該キャリアフィルム３の搬送方向
とは異なる方向に搬送する第４の搬送手段を兼ねるフォ
トレジスト巻取軸である。
【００３１】フォトレジスト巻取軸10に対向する位置に
は支軸11ａを中心に回動自在に取り付けられたガイドロ
ーラフレーム11が設けられており、該ガイドローラフレ
ーム11はそれ自身の自重や図示しない付勢手段により支
軸11ａを中心に図１の反時計回り方向に付勢されてい
る。
【００３２】ガイドローラフレーム11にはフォトレジス
ト巻取軸10に巻回されたフォトレジスト２に圧接される
押さえローラ11ｂが回転自在に設けられており、更にガ
イドローラフレーム11には拡張手段となるガイドローラ
11ｃ，11ｄが回転自在に取り付けられている。押さえロ
ーラ11ｂ及びガイドローラ11ｃ，11ｄはゴムローラ等に
より形成されている。
【００３３】押さえローラ11ｂは、駆動モータ７から図
示しない駆動伝達手段により回転駆動力が伝達されて駆
動ローラ５及びカバーフィルム巻取軸９と同期して図の
反時計回り方向に回転駆動されるフォトレジスト巻取軸
10に巻回されたフォトレジスト２に圧接され、該フォト
レジスト巻取軸10の回転に従動して回転する。
【００３４】そして、フォトレジスト巻取軸10と押さえ
ローラ11ｂとによりシート体１からカバーフィルム４が
剥離されたフォトレジスト２とキャリアフィルム３から
なる残りのシート体から該キャリアフィルム３が剥離さ
れる位置の搬送方向上流側近傍に該残りのシート体を挟
持搬送する搬送回転体対を構成している。。
【００３５】拡張手段となるガイドローラ11ｃ，11ｄは
支軸11ａを中心にガイドローラフレーム11と一体的に回
動することで駆動ローラ５及び従動ローラ６のニップ部
を通過してカバーフィルム４が剥離されたキャリアフィ
ルム３とフォトレジスト２の張力を一定に調整すること
が出来る。
【００３６】そして、ガイドローラ11ｃ，11ｄによりフ
ォトレジスト２とキャリアフィルム３からなる残りのシ
ート体がガイドされて適当な張力が付与され、フォトレ
ジスト巻取軸10と押さえローラ11ｂとのニップ部に適正
に搬送される。
【００３７】拡張手段となるガイドローラ11ｃ，11ｄ
は、図３に示すように、シート体の搬送方向上流側方向
（図３（ａ）の右側方向）に曲率中心が設定された曲が
った固定軸の外側で、弾性を有するゴムローラ等の外筒
だけが固定軸上で回転自在に構成されたエキスパンダロ
ーラにより構成されており、外筒はそれ自身の弾性によ
り曲がった固定軸に沿って曲がりの外側では軸方向に伸
ばされ、曲がりの内側では軸方向に縮められ、シート体
に接触しつつ固定軸を中心に該シート体の搬送動作に従
動して回転する。
【００３８】そして、図３（ａ）に示すように、シート
体１からカバーフィルム４が剥離されたフォトレジスト
２とキャリアフィルム３からなる残りのシート体が先
ず、ガイドローラ11ｄに接触して該ガイドローラ11ｄの
外筒の回転による弾性変形に伴ってフォトレジスト２と
キャリアフィルム３が幅方向に拡張され、次にガイドロ
ーラ11ｃに接触して該ガイドローラ11ｃの外筒の回転に
よる弾性変形に伴ってフォトレジスト２とキャリアフィ
ルム３が更に幅方向に拡張され、これによってキャリア
フィルム３とフォトレジスト２の皺伸ばしを行ってい
る。
【００３９】尚、外筒はゴム製以外にも短い筒を多数連
ねた金属製の外筒を曲がった固定軸に回転自在に軸支し
たものであっても良いし、固定軸の曲率を調節出来るも
のであっても良い。
【００４０】また、拡張手段としては、少なくとも粘着
組成物となるフォトレジスト２を含むシート体の搬送経
路上に配置され、該フォトレジスト２を幅方向に拡張す
る各種の手段が適用可能であり、例えば、両端の径が徐
々に小さくなったクラウンロール方式や、一対の小さな
ニップローラをシート体の両端部で搬送方向に向かって
ハの字に配置し、該ニップローラによりシート材の両端
部を挟持して幅方向外側に引っ張る耳張りニップローラ
方式や、軸方向に斜めに複数の溝を形成した順応カバー
ローラ方式や、軸方向に交互に反対方向に動く複数の短
冊状の張り片を有する方式等の各種の拡張手段が適用可
能である。
【００４１】尚、前記実施形態では、拡張手段となるガ
イドローラ11ｃ，11ｄをフォトレジスト２とキャリアフ
ィルム３との貼着された部分の搬送経路上に配置した場
合の一例について説明したが、これに限定される必要は
なく、上述した各種の拡張手段を、粘着組成物となるフ
ォトレジスト２、キャリアフィルム３、カバーフィルム
４のうちの少なくとも１つ或いはこれ等が貼着された組
合せのうちの少なくとも１つの搬送経路上に配置し、該
拡張手段によりフォトレジスト２、キャリアフィルム
３、カバーフィルム４のうちの少なくとも１つ或いはこ
れ等が貼着された組合せのうちの少なくとも１つを幅方
向に拡張することで、フォトレジスト２、キャリアフィ
ルム３、カバーフィルム４の皺伸ばしを行うことが出
来、巻き取りによる回収や回収後の後処理を容易にする
ことが出来る。
【００４２】12はフォトレジスト２とキャリアフィルム
３からなる残りのシート体からキャリアフィルム３を剥
離してフォトレジスト２の搬送方向とは異なる方向に搬
送する第３の搬送手段であって、キャリアフィルム３を
巻回して回収する巻取手段を兼ねるキャリアフィルム巻
取軸である。
【００４３】キャリアフィルム巻取軸12は支軸13ａを中
心に回転自在に設けられたフレーム13に回転可能に取り
付けられており、図示しない付勢手段によりフォトレジ
スト巻取軸10に巻回されたフォトレジスト２に対してキ
ャリアフィルム巻取軸12に巻回されたキャリアフィルム
３が圧接するように構成されている。
【００４４】また、キャリアフィルム巻取軸12は駆動モ
ータ７から図示しない駆動伝達手段により回転駆動力が
伝達されて駆動ローラ５、カバーフィルム巻取軸９及び
フォトレジスト巻取軸10と同期して図の時計回り方向に
回転駆動される。
【００４５】上記構成において、回転位置が固定された
フォトレジスト巻取軸10側に押さえローラ11ｂ及びキャ
リアフィルム巻取軸12が付勢され、該フォトレジスト巻
取軸10に巻回されたフォトレジスト２に対して押さえロ
ーラ11ｂ及びキャリアフィルム巻取軸12に巻回されたキ
ャリアフィルム３が圧接した状態で、駆動モータ７から
回転駆動力が伝達されたフォトレジスト巻取軸10及びキ
ャリアフィルム巻取軸12が夫々図の方向に同期して回転
する。
【００４６】従って、図２（ａ）に示すように、先ず、
シート体１からカバーフィルム４を剥離して該カバーフ
ィルム４と残りのシート体であるフォトレジスト２とキ
ャリアフィルム３とを異なる方向に搬送し、更に図２
（ｂ）に示すように、フォトレジスト２とキャリアフィ
ルム３からなる残りのシート体からキャリアフィルム３
を剥離して該キャリアフィルム３とフォトレジスト２と
を異なる方向に搬送して、カバーフィルム４、キャリア
フィルム３、フォトレジスト２を別々に巻回して回収す
ることが出来る。
【００４７】また、カバーフィルム巻取軸９、フォトレ
ジスト巻取軸10及びキャリアフィルム巻取軸12は夫々エ
アーシャフト（コアレスを含む）により構成されてお
り、巻き取り時はエアーを注入してエアーシャフトの径
を大きく設定した状態で巻取り、巻取り後にエアーを抜
いてエアーシャフトの径を小さくして各巻取軸９，10，
12から夫々のカバーフィルム４、フォトレジスト２、キ
ャリアフィルム３を容易に抜き取ることが出来、巻回さ
れた各カバーフィルム４、フォトレジスト２、キャリア
フィルム３を巻き管等が無い単体で回収出来るので後工
程での再利用処理を容易にしている。
【００４８】また、カバーフィルム巻取軸９、フォトレ
ジスト巻取軸10及びキャリアフィルム巻取軸12への駆動
伝達手段の一部としてパウダクラッチが採用されれい
る。パウダクラッチは励磁コイルを内蔵した駆動体と被
駆動体の両回転体が軸受で同心円上に所定の間隔が出来
るように組み付けられており、その隙間に鉄粉等のパウ
ダ（粉体）が充填されている。そして、励磁することで
パウダが磁化されてこの磁気的な連結力と動作面の摩擦
力両者が連結されてトルクが伝達される。
【００４９】カバーフィルム巻取軸９、フォトレジスト
巻取軸10及びキャリアフィルム巻取軸12への駆動伝達手
段の一部としてパウダクラッチを採用したことで、励磁
力を調整することで連結トルクが容易に調整出来、回転
力の伝達において緩慢な開始、停止が可能であるためカ
バーフィルム４、フォトレジスト２、キャリアフィルム
３がカバーフィルム巻取軸９、フォトレジスト巻取軸10
及びキャリアフィルム巻取軸12に夫々巻回される際に無
理な張力が付与されることなくカバーフィルム４、フォ
トレジスト２、キャリアフィルム３のジャム（搬送不良
や巻取り不良等）や破損を防止することが出来る。
【００５０】図１において、14はフォトレジスト２及び
キャリアフィルム３を搬送方向に切断するための切断手
段となるカッターであり、該カッター14は支軸14ａを中
心に回動可能なホルダ14ｂに保持されている。
【００５１】そして、フォトレジスト２及びキャリアフ
ィルム３を搬送方向に切断する際にはホルダ14ｂを支軸
14ａを中心に図１の反時計回り方向に回動させて保持
し、フォトレジスト２及びキャリアフィルム３の搬送動
作に伴って搬送方向に切断することが出来るようになっ
ている。
【００５２】そして、長尺の支軸14ａの軸方向にカッタ
ー14を保持したホルダ14ｂを移動可能に固定することで
フォトレジスト２及びキャリアフィルム３を所望の幅に
切断することが出来、また、長尺の支軸14ａの軸方向に
カッター14を保持したホルダ14ｂを複数配置することで
所望の幅で所望の数だけ分断することが可能である。
【００５３】尚、切断手段はシート体１を切断する位置
に配置したり、分離されたカバーフィルム４、フォトレ
ジスト２、キャリアフィルム３を夫々切断する位置に配
置しても良い。
【００５４】15はシート体１からカバーフィルム４が剥
離された残りのシート体からキャリアフィルム３が剥離
される位置近傍であるフォトレジスト巻取軸10に巻回さ
れたフォトレジスト２と、キャリアフィルム巻取軸12に
巻回されたキャリアフィルム３とのニップ部に向けてノ
ズル15ａから霧状の水分を吹き付ける霧状水分発生手段
である。
【００５５】霧状水分発生手段15は、例えば、水を加熱
して水蒸気とし、エアーブロー等により霧状の水分をフ
ォトレジスト２とキャリアフィルム３とが剥離される位
置近傍に吹き付ける。
【００５６】この霧状水分発生手段15により剥離による
フォトレジスト２及びキャリアフィルム３の帯電を防止
して静電吸着の発生を防ぐと共にエアーを吹き掛けて剥
離を補助し、粘着組成物であるフォトレジスト２とキャ
リアフィルム３との剥離動作及び巻取り動作を安定化す
ることが出来る。
【００５７】尚、霧状水分発生手段15はフォトレジスト
巻取軸10に巻回されるフォトレジスト２と、キャリアフ
ィルム巻取軸12に巻回されるキャリアフィルム３とのニ
ップ部の移動に伴って図示しないスライド式或いは回動
式等の移動手段によりノズル15ａの位置が移動してフォ
トレジスト２とキャリアフィルム３とが剥離される位置
近傍に霧状の水分を吹き付けるように構成すれば好まし
い。
【００５８】16はシート体１からカバーフィルム４が剥
離された残りのシート体からキャリアフィルム３が剥離
される位置近傍であるキャリアフィルム巻取軸12に巻回
されたキャリアフィルム３の略上部に配置され、剥離に
より発生した静電気を打ち消す電荷を付与するための電
荷除去手段である。
【００５９】電荷除去手段16は、例えば、コロナ放電に
より双極性のイオンを生成し、そのイオン群をエアー等
により搬送して遠距離の除電対象物体であるフォトレジ
スト２やキャリアフィルム３、或いはその他の各部材に
照射して各帯電物体表面に帯電している帯電電荷を中和
して除電する。
【００６０】この電荷除去手段16によりシート体１から
カバーフィルム４が剥離された残りのシート体からキャ
リアフィルム３が剥離される位置近傍に剥離により発生
した静電気を打ち消す電荷を付与することで、粘着組成
物であるフォトレジスト２及びキャリアフィルム３、或
いはその周辺の部材の帯電電荷を中和除電して静電吸着
の発生を防止し、フォトレジスト２とキャリアフィルム
３との剥離動作及び巻取り動作を安定化することが出来
る。また、静電気による周囲の粉塵等の異物の付着を防
止することが出来る。
【００６１】これにより、搬送不良や巻取り不良等のジ
ャムを防止し、更には、フォトレジスト２やキャリアフ
ィルム３に対する塵埃等の異物の付着を防止することが
出来る。従って、回収後の再利用工程において異物を除
去するためのフィルター等を省略することも出来る。
【００６２】18はシート体１からカバーフィルム４が剥
離された残りのシート体からキャリアフィルム３が剥離
される位置近傍であるキャリアフィルム巻取軸12に巻回
されたキャリアフィルム３とフォトレジスト巻取軸10に
巻回されたフォトレジスト２に貼着したキャリアフィル
ム３とのニップ部に向けてノズル18ａから熱風を吹き付
ける熱風発生手段である。
【００６３】熱風発生手段18は、例えば、ヒータにより
加熱したエアーを送風機により送風してノズル18ａから
噴出し、フォトレジスト２とキャリアフィルム３が剥離
される位置近傍に熱風を吹き付けるようになっている。
【００６４】この熱風発生手段18によりシート体１から
カバーフィルム４が剥離された残りのシート体からキャ
リアフィルム３が剥離される位置近傍に所定の温度に制
御された熱風を吹き付けることで、剥離部付近の雰囲気
温度を安定化することが出来、これにより粘着組成物で
あるフォトレジスト２とキャリアフィルム３との剥離動
作及び巻取り動作を安定化することが出来る。
【００６５】尚、シート体１の搬送速度は、該シート体
１の幅寸法やフォトレジスト２の厚さ、或いは、種類に
より異なるが、例えば、２ｍ／min〜５０ｍ／minであ
る。また、シート体１の幅寸法は、例えば５０mm〜１２
００mmである。また、フォトレジスト２の厚さは５μｍ
〜１２０μｍである。
【００６６】最初のスタート時には、シート体１開放端
部のカバーフィルム４側を受けバー17ｂにより支持され
た粘着ゴム17ａに貼り付けた状態で該カバーフィルム４
をフォトレジスト２から剥離し、カバーフィルム４をカ
バーフィルム巻取軸９に巻き付ける。更にキャリアフィ
ルム３からフォトレジスト２を剥離して、該キャリアフ
ィルム３をキャリアフィルム巻取軸12に巻き付け、フォ
トレジスト２をフォトレジスト巻取軸10に巻き付ける。
【００６７】
【発明の効果】本発明は、上述の如き構成と作用とを有
するので、粘着組成物を中心にキャリアフィルムとカバ
ーフィルムとが貼着された少なくとも３層構造からなる
シート体から粘着組成物を容易に分離回収することが出
来る。
【００６８】即ち、第１の搬送手段によりシート体から
カバーフィルムを剥離して該カバーフィルムを一方の方
向へ搬送すると共に、第２の搬送手段によりシート体か
らカバーフィルムを剥離した残りのシート体を第１の搬
送手段により搬送されるカバーフィルムの搬送方向とは
異なる方向に搬送することで粘着組成物の粘着力に抗し
てカバーフィルムと残りのシート体とを容易に分離する
ことが出来る。
【００６９】更に第３の搬送手段によりシート体からカ
バーフィルムを剥離した残りのシート体からキャリアフ
ィルムを剥離して該キャリアフィルムを一方の方向へ搬
送すると共に、第４の搬送手段によりキャリアフィルム
が剥離された粘着組成物を第３の搬送手段により搬送さ
れるキャリアフィルムの搬送方向とは異なる方向に搬送
することで粘着組成物の粘着力に抗してキャリアフィル
ムと粘着組成物とを容易に分離することが出来る。
【００７０】また、粘着組成物、キャリアフィルム、カ
バーフィルムのうちの少なくとも１つ或いはこれ等が貼
着された組合せのうちの少なくとも１つの搬送経路上に
配置された拡張手段により粘着組成物、キャリアフィル
ム、カバーフィルムのうちの少なくとも１つ或いはこれ
等が貼着された組合せのうちの少なくとも１つを幅方向
に拡張することで、粘着組成物、キャリアフィルム、カ
バーフィルムの皺伸ばしを行うことが出来、巻き取りに
よる回収や回収後の後処理を容易にすることが出来る。
【００７１】また、熱風発生手段によりシート体からカ
バーフィルムが剥離された残りのシート体からキャリア
フィルムが剥離される位置近傍に熱風を吹き付けること
で、剥離部付近の雰囲気温度を安定化することが出来、
これにより粘着組成物とキャリアフィルムとの剥離動作
を安定化することが出来る。
【００７２】また、霧状水分発生手段によりシート体か
らカバーフィルムが剥離された残りのシート体からキャ
リアフィルムが剥離される位置近傍に霧状の水分を吹き
付けることで、剥離による粘着組成物及びキャリアフィ
ルムの帯電を防止して静電吸着の発生を防ぎ、粘着組成
物とキャリアフィルムとの剥離動作を安定化することが
出来る。
【００７３】また、電荷除去手段によりシート体からカ
バーフィルムが剥離された残りのシート体からキャリア
フィルムが剥離される位置近傍に剥離により発生した静
電気を打ち消す電荷を付与することで、粘着組成物及び
キャリアフィルムの帯電電荷を中和除電して静電吸着の
発生を防止し、粘着組成物とキャリアフィルムとの剥離
動作を安定化することが出来る。また、静電気による周
囲の粉塵等の異物の付着を防止することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る粘着組成物の回収装置の構成を示
す断面説明図である。
【図２】（ａ）はシート体からカバーフィルムを剥離し
て分離する様子を示す部分拡大図、（ｂ）はシート体か
らカバーフィルムを剥離した残りのシート体からキャリ
アフィルムと粘着組成物を剥離して分離する様子を示す
部分拡大図である。
【図３】（ａ）は拡張手段により粘着組成物を幅方向に
拡張する様子を示す平面模式図、（ｂ）は図３（ａ）の
側面説明図である。
【符号の説明】
１…シート体 １ａ…支軸 ２…フォトレジスト ３…キャリアフィルム ４…カバーフィルム ５…駆動ローラ ６…従動ローラ ６ａ…支軸 ６ｂ…フレーム ７…駆動モータ ８…光センサ ８ａ…発光部 ８ｂ…受光部 ９…カバーフィルム巻取軸 10…フォトレジスト巻取軸 11…ガイドローラフレーム 11ａ…支軸 11ｂ…押さえローラ 11ｃ，11ｄ…ガイドローラ 12…キャリアフィルム巻取軸 13…フレーム 13ａ…支軸 14…カッター 14ａ…支軸 15…霧状水分発生手段 15ａ…ノズル 16…電荷除去手段 17ａ…粘着ゴム 17ｂ…受けバー 18…熱風発生手段 18ａ…ノズル

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 粘着組成物を中心にキャリアフィルムと
    カバーフィルムとが貼着された少なくとも３層構造から
    なるシート体から粘着組成物を回収する装置であって、 前記シート体から前記カバーフィルムを剥離して該カバ
    ーフィルムを一方の方向へ搬送する第１の搬送手段と、 前記カバーフィルムが剥離された残りのシート体を該カ
    バーフィルムの搬送方向とは異なる方向に搬送する第２
    の搬送手段と、 前記残りのシート体から前記キャリアフィルムを剥離し
    て該キャリアフィルムを一方の方向へ搬送する第３の搬
    送手段と、 前記キャリアフィルムが剥離された粘着組成物を該キャ
    リアフィルムの搬送方向とは異なる方向に搬送する第４
    の搬送手段と、 前記粘着組成物、前記キャリアフィルム、前記カバーフ
    ィルムのうちの少なくとも１つ或いはこれ等が貼着され
    た組合せのうちの少なくとも１つの搬送経路上に配置さ
    れ、該粘着組成物、キャリアフィルム、カバーフィルム
    のうちの少なくとも１つ或いはこれ等が貼着された組合
    せのうちの少なくとも１つを幅方向に拡張する拡張手段
    と、 を有することを特徴とする粘着組成物の回収装置。
  2. 【請求項２】 粘着組成物を中心にキャリアフィルムと
    カバーフィルムとが貼着された少なくとも３層構造から
    なるシート体から粘着組成物を回収する装置であって、 前記シート体から前記カバーフィルムを剥離して該カバ
    ーフィルムを一方の方向へ搬送する第１の搬送手段と、 前記カバーフィルムが剥離された残りのシート体を該カ
    バーフィルムの搬送方向とは異なる方向に搬送する第２
    の搬送手段と、 前記残りのシート体から前記キャリアフィルムを剥離し
    て該キャリアフィルムを一方の方向へ搬送する第３の搬
    送手段と、 前記キャリアフィルムが剥離された粘着組成物を該キャ
    リアフィルムの搬送方向とは異なる方向に搬送する第４
    の搬送手段と、 前記シート体から前記カバーフィルムが剥離された残り
    のシート体から前記キャリアフィルムが剥離される位置
    近傍に熱風を吹き付ける熱風発生手段と、 を有することを特徴とする粘着組成物の回収装置。
  3. 【請求項３】 粘着組成物を中心にキャリアフィルムと
    カバーフィルムとが貼着された少なくとも３層構造から
    なるシート体から粘着組成物を回収する装置であって、 前記シート体から前記カバーフィルムを剥離して該カバ
    ーフィルムを一方の方向へ搬送する第１の搬送手段と、 前記カバーフィルムが剥離された残りのシート体を該カ
    バーフィルムの搬送方向とは異なる方向に搬送する第２
    の搬送手段と、 前記残りのシート体から前記キャリアフィルムを剥離し
    て該キャリアフィルムを一方の方向へ搬送する第３の搬
    送手段と、 前記キャリアフィルムが剥離された粘着組成物を該キャ
    リアフィルムの搬送方向とは異なる方向に搬送する第４
    の搬送手段と、 前記シート体から前記カバーフィルムが剥離された残り
    のシート体から前記キャリアフィルムが剥離される位置
    近傍に霧状の水分を吹き付ける霧状水分発生手段と、 を有することを特徴とする粘着組成物の回収装置。
  4. 【請求項４】 粘着組成物を中心にキャリアフィルムと
    カバーフィルムとが貼着された少なくとも３層構造から
    なるシート体から粘着組成物を回収する装置であって、 前記シート体から前記カバーフィルムを剥離して該カバ
    ーフィルムを一方の方向へ搬送する第１の搬送手段と、 前記カバーフィルムが剥離された残りのシート体を該カ
    バーフィルムの搬送方向とは異なる方向に搬送する第２
    の搬送手段と、 前記残りのシート体から前記キャリアフィルムを剥離し
    て該キャリアフィルムを一方の方向へ搬送する第３の搬
    送手段と、 前記キャリアフィルムが剥離された粘着組成物を該キャ
    リアフィルムの搬送方向とは異なる方向に搬送する第４
    の搬送手段と、 前記シート体から前記カバーフィルムが剥離された残り
    のシート体から前記キャリアフィルムが剥離される位置
    近傍に剥離により発生した静電気を打ち消す電荷を付与
    する電荷除去手段と、 を有することを特徴とする粘着組成物の回収装置。
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100878985B1 (ko) * 2007-10-30 2009-01-15 유영산업주식회사 다중 이질 적층 필름 분리기

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