CN2932617Y - 薄膜剥离设备 - Google Patents

Abstract

一种薄膜剥离设备，其包含承载台、具有黏性的薄膜沾黏部及驱动机构。承载台用以承载基板，基板上黏贴有薄膜。薄膜沾黏部用以接触薄膜，以便将薄膜的一部分撕起并黏贴在薄膜沾黏部上。驱动机构驱动薄膜沾黏部与承载台两者之一运动，从而将薄膜剥离基板。

Description

薄膜剥离设备

技术领域

本实用新型关于一种薄膜剥离设备，尤其关于一种利用薄膜沾黏部来剥离薄膜的薄膜剥离设备。

背景技术

传统上，为了保护半导体基板上所形成的电路在多重处理程序中不要遭受到污染或损坏，或是为了便于制程的实施，通常会在基板上黏贴有薄膜。此薄膜只是存在于中间制程中，并不存在于最终产品中。因此，需要有一道薄膜剥离的程序，从而将薄膜予以剥离。

传统的薄膜剥离设备，通常是利用大面积的胶带贴在薄膜上，然后将此胶带与薄膜剥离基板(譬如液晶显示面板)。然而，这样的程序往往会浪费很多胶带，不但不环保，更使得制造成本无法有效降低。

中国台湾专利公告第443705号专利揭露了一种电路板薄膜剥离机，其中就是利用滚轮将一整卷胶带从送料胶纸轮(55)输送至通过导板(36)而到达收料胶纸轮(56)，如443705号专利的图1-4所示。但因其是以胶带黏贴薄膜，因此该胶带将无法被重复使用。

实用新型内容

因此，本实用新型的一个目的是提供一种薄膜剥离设备，利用薄膜沾黏部先将薄膜的一部分撕起，然后将被撕起的薄膜剥离基板，从而避免胶带的浪费，还能降低制造成本。

为达到上述目的，本实用新型提供一种薄膜剥离设备，其包含承载台、具有黏性的薄膜沾黏部及驱动机构。承载台用以承载基板，基板上黏贴有薄膜。薄膜沾黏部用以接触薄膜，以便将薄膜的一部分撕起并黏贴在薄膜沾黏部上。驱动机构驱动薄膜沾黏部与承载台两者之一，从而将薄膜剥离基板。

上述薄膜剥离设备可以还包含推抵机构，用以将该薄膜往薄膜沾黏部的方向抵紧。驱动机构可以驱动薄膜沾黏部及推抵机构移动，或驱动承载台移动。

附图说明

图1显示依据本实用新型第一实施例的薄膜剥离设备的第一状态。

图2显示依据本实用新型第一实施例的薄膜剥离设备的第二状态。

图3显示依据本实用新型第一实施例的薄膜剥离设备的第三状态。

图4显示依据本实用新型第二实施例的薄膜剥离设备的夹持机构的示意图。

图5显示依据本实用新型第三实施例的薄膜剥离设备的脱料机构的动作示意图之一。

图6显示依据本实用新型第三实施例的薄膜剥离设备的脱料机构的动作示意图之二。

图7显示依据本实用新型第三实施例的薄膜剥离设备的脱料机构的动作示意图之三。

图8显示依据本实用新型第三实施例的薄膜剥离设备的脱料机构的俯视图。

具体实施方式

图1至3显示依据本实用新型第一实施例的薄膜剥离设备的第一至第三状态。如图1至3所示，本实施例的薄膜剥离设备包含承载台10、具有黏性的薄膜沾黏部20、驱动机构30及推抵机构40。

承载台10用以承载基板2，基板2上黏贴有薄膜4。承载台10可以具有一个或多个吸盘(未显示)以透过真空吸引装置来固定住基板2。薄膜沾黏部20可以具有任何适当构造。在本实施例中，具有黏性的薄膜沾黏部20为薄膜黏取滚轮，用以接触该薄膜4(图1)，然后转动一个角度(图2)，以便将该薄膜4的一部分撕起并黏贴在该薄膜沾黏部20上。值得注意的是，薄膜黏取滚轮也可以不用被转一个角度，只要被往上抬起即可达成同样的效果。推抵机构40用以将该薄膜4往该薄膜沾黏部20的方向抵紧，从而和薄膜沾黏部20共同夹持住薄膜4。推抵机构40可以是由气压缸、油压缸或导螺杆等构成。驱动机构30驱动该薄膜沾黏部20与该承载台10两者之一实质上朝水平方向与垂直方向运动，从而将该薄膜4剥离该基板2。在本应用中，是先将薄膜沾黏部20抬起(图3)，然后再平移薄膜沾黏部20。举例而言，驱动机构30可以驱动该薄膜沾黏部20移动，或驱动该承载台10移动。

值得注意的是，推抵机构40是可省略的构件。在这种情况下，只要薄膜沾黏部20黏取薄膜的黏力足够大(譬如薄膜4黏取在薄膜沾黏部20的面积足够大)，则可将薄膜沾黏部20固定，并使薄膜沾黏部20与承载台10相对运动，仍可有效剥离薄膜4。薄膜沾黏部20可以被设计成可以上下移动，或者承载台10可以被设计成可以上下移动。

薄膜沾黏部20主要是要将薄膜4局部撕离基板2，因此薄膜沾黏部20与薄膜4接触的圆周面不见得要如图2所示的那么大。在有顶推机构40存在的情况下，薄膜沾黏部20与薄膜4接触的面积很小，整个薄膜的撕离所需要的拉力大部分来自于顶推机构40与薄膜沾黏部20之间的夹持力。因此，薄膜沾黏部20的使用寿命较长。当薄膜沾黏部20的黏性退化时，可以更换薄膜沾黏部20或重新上胶即可恢复正常运作。

图4显示依据本实用新型第二实施例的薄膜剥离设备的夹持机构的示意图。如图4所示，本实施例的薄膜剥离设备更包含夹持机构50，用以直接夹持被薄膜沾黏部20黏取的薄膜4。在这种情况下，驱动机构30可以驱动薄膜沾黏部20及夹持机构50移动，或者驱动承载台10移动。

图5至7显示依据本实用新型第三实施例的薄膜剥离设备的脱料机构的动作示意图。图8显示依据本实用新型第三实施例的薄膜剥离设备的脱料机构的俯视图。如图5至8所示，本实施例的薄膜剥离设备还包含脱料机构60，用以使薄膜4脱离薄膜沾黏部20。整个脱料机构60的动作依序如图5至7所示。在图5中，薄膜4尚未完全剥离基板2。在图6中，薄膜4完全剥离基板2而往下垂。在图7中，脱料机构60顶推薄膜4使其脱离薄膜沾黏部20后掉落下来。本实施例中，脱料机构60由一支或两支顶杆构成，从而将薄膜沾黏部20上的薄膜4顶开以使其脱离薄膜沾黏部20。或者，脱料机构60可以利用机械手臂来达成。

值得注意的是本实用新型中的薄膜沾黏部20可以被设计为可重复使用，从而可有效地降低成本。

利用本实用新型的薄膜剥离设备，可以避免公知技术中需要使用到大量胶带的缺点，从而有效降低制造成本。

在较佳实施例的详细说明中所提出的具体实施例仅用以方便说明本实用新型的技术内容，而非将本实用新型狭义地限制于上述实施例，在不超出本实用新型的精神及以下权利要求的情况，所做的种种变化实施，皆属于本实用新型的范围。

主要组件符号说明

2    基板

4    薄膜

10   承载台

20   薄膜沾黏部

30   驱动机构

40   推抵机构

50   夹持机构

60   脱料机构

Claims (19)

1.一种薄膜剥离设备，其特征在于，包含：

承载台，用以承载基板，所述基板上黏贴有薄膜；

具有黏性的薄膜沾黏部，用以接触所述薄膜，以便将所述薄膜的一部分撕起并黏贴在所述薄膜沾黏部上；及

驱动机构，驱动所述薄膜沾黏部与所述承载台两者之一运动，从而将所述薄膜剥离所述基板。

2.如权利要求1所述的薄膜剥离设备，其特征在于，所述薄膜沾黏部为薄膜黏取滚轮。

3.如权利要求2所述的薄膜剥离设备，其特征在于，所述薄膜黏取滚轮可被转动一个角度以便所述薄膜的所述部分撕起。

4.如权利要求1所述的薄膜剥离设备，其特征在于，所述驱动机构驱动所述薄膜沾黏部移动。

5.如权利要求1所述的薄膜剥离设备，其特征在于，所述驱动机构驱动所述承载台移动。

6.如权利要求1所述的薄膜剥离设备，其特征在于，还包含推抵机构，用以将所述薄膜往所述薄膜沾黏部的方向抵紧。

7.如权利要求6所述的薄膜剥离设备，其特征在于，所述驱动机构驱动所述薄膜沾黏部及所述推抵机构移动。

8.如权利要求6所述的薄膜剥离设备，其特征在于，所述驱动机构驱动所述承载台移动。

9.如权利要求1所述的薄膜剥离设备，其特征在于，还包含夹持机构，用以夹持所述薄膜。

10.如权利要求9所述的薄膜剥离设备，其特征在于，所述驱动机构驱动所述薄膜沾黏部及所述夹持机构移动。

11.如权利要求9所述的薄膜剥离设备，其特征在于，所述驱动机构驱动所述承载台移动。

12.如权利要求1所述的薄膜剥离设备，其特征在于，还包含脱料机构，用以使所述薄膜脱离所述薄膜沾黏部。

13.如权利要求12所述的薄膜剥离设备，其特征在于，所述脱料机构包含顶杆。

14.如权利要求12所述的薄膜剥离设备，其特征在于，所述脱料机构包含机械手臂。

15.如权利要求1所述的薄膜剥离设备，其特征在于，所述承载台具有吸盘以固定住所述基板。

16.如权利要求1所述的薄膜剥离设备，其特征在于，所述薄膜沾黏部与所述承载台两者之一实质上朝水平方向与垂直方向运动。

17.如权利要求1所述的薄膜剥离设备，其特征在于，所述薄膜沾黏部可重复使用。

18.如权利要求17所述的薄膜剥离设备，其特征在于，所述薄膜沾黏部为薄膜黏取滚轮。

19.如权利要求18所述的薄膜剥离设备，其特征在于，所述薄膜黏取滚轮可被转动一个角度以便撕起所述薄膜的所述部分。

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