JPH1023743A - 半導体素子の駆動回路 - Google Patents

半導体素子の駆動回路

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JPH1023743A
JPH1023743A JP8176475A JP17647596A JPH1023743A JP H1023743 A JPH1023743 A JP H1023743A JP 8176475 A JP8176475 A JP 8176475A JP 17647596 A JP17647596 A JP 17647596A JP H1023743 A JPH1023743 A JP H1023743A
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control electrode
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政弘 木全
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 電圧サージの抑制とスイッチング損失の低減
とを両立することが可能で、かつ、全てのIGBT素子
に適用可能な半導体素子の駆動回路を得る。 【解決手段】 IGBT素子1を駆動する第1の駆動手
段12と、第1の駆動手段12よりも低速でIGBT素
子1を駆動する第2の駆動手段13と、第1の駆動手段
12の出力と第2の駆動手段13の出力とを切り換えて
IGBT素子1のゲートに供給する切り換え手段11
と、IGBT素子1のターンオフ時にコレクタ電流の変
化が緩慢な第1の期間からそれに続くコレクタ電流の変
化が急俊な第2の期間に遷移する時の電流の減少開始点
を検出する電流減少開始点検出手段14とから構成され
ており、電流減少開始点検出手段14の出力により、第
1の期間において第1の駆動手段12を用い、第2の期
間において第2の駆動手段13を用いるように切り換え
手段11を動作させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、スイッチング用
半導体素子の一種であるIGBT素子(Insulated Gate
Bipolar Transistor、絶縁ゲート形自己消孤素子)の
ゲート駆動回路に関するものであり、特にターンオフ動
作中の電圧サージを抑制することが可能で、かつ、スイ
ッチング損失を低減することが可能なゲート駆動回路に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】図18は例えば特開平5−328746号
公報に述べられた半導体素子の駆動回路を示す構成図で
あり、図において、1は制御電極に印加する電圧によっ
て主電極間の導通状態を制御する絶縁ゲート形自己消孤
素子であり、1aは制御電極、1bは第1の主電極、1
cは第2の主電極である。以後、簡単化のために、絶縁
ゲート形自己消孤素子1をIGBT素子1、制御電極1
aをゲート1a、第1の主電極1bをコレクタ1b、第
2の主電極1cをエミッタ1cと呼ぶ。2はIGBT素
子1をオンするための電圧を供給するオン用直流電圧
源、3はIGBT素子1をオフするための電圧を供給す
るオフ用直流電圧源、4はIGBT素子1をオン/オフ
する信号を発生するスイッチング信号発生手段、5はス
イッチング信号発生手段4の出力によりオン用直流電圧
源2とオフ用直流電圧源3を切り換えてIGBT素子1
のゲート1aに電圧を印加するオンオフ切り換え手段、
6はゲート抵抗を切り換えるゲート抵抗切り換え手段で
ある。ゲート抵抗切り換え手段6は、抵抗9と、抵抗10
と、切り換え手段11から構成されている。また、7はI
GBT素子1に流れる電流を検出する電流検出手段、8
は電流検出手段7の出力によりゲート抵抗切り換え手段
6を制御する制御手段である。
【0003】図19は、制御手段8の制御方法を示すフロ
ーチャートである。この制御方法においては、IGBT
素子1の導通電流を検出する電流検出手段7の出力によ
り、導通電流が基準電流値より小さいか否かを判別し、
基準電流値より小さいと判別された場合にはゲート抵抗
を大きく切り換える信号を出力して処理を終了する。基
準電流値より小さくないと判別された場合にはゲート抵
抗を大きく切り換える信号を出力せずに処理を終了す
る。
【0004】次に図18、図19、図20、図21を用いて動作
について説明する。スイッチング信号発生手段4がオン
信号を出力すると、オンオフ切り換え手段5はオン用直
流電圧源2に切り換えられ、IGBT素子1のゲート1
aにゲート抵抗切り換え手段6を介してオン電圧が印加
され、IGBT素子1はオンする。IGBT素子1がオ
ン状態の時、電流検出手段7によりIGBT素子1の導
通電流を検出し、制御手段8が検出された導通電流値が
基準電流値より小さいか否かを判別する。導通電流値が
基準電流値より小さいと判別された場合には、制御手段
8はゲート抵抗切り換え手段6に抵抗切り換え信号を供
給して、ゲート抵抗が大きくなるように切り換え手段11
を切り換える。具体的には、切り換え手段11が短絡状態
であったのを開放状態にし、抵抗9のみをゲート抵抗と
して使用する。次いで、スイッチング信号発生手段4が
オフ信号を出力すると、オンオフ切り換え手段5はオフ
用直流電圧源3に切り換えられ、IGBT素子1のゲー
ト1aにゲート抵抗切り換え手段6を介してオフ電圧が
印加され、IGBT素子1はオフする。この際、切り換
え手段11が開放状態であるため抵抗9のみでターンオフ
動作が行われる。また、制御手段8が導通電流値が基準
電流値より大きいと判別した場合は、切り換え手段11の
短絡状態を維持し、抵抗9と抵抗10の合成抵抗をゲート
抵抗として使用する。抵抗9と抵抗10は並列接続される
ため、合成抵抗は抵抗9よりも小さくなる。従って、こ
の動作によれば導通電流値が基準電流値よりも小さい場
合にのみゲート抵抗が大きくなる。
【0005】図20はゲート抵抗の大小がIGBT素子1
のターンオフ時のスイッチング波形に及ぼす効果を示し
た図である。IGBT素子1の導通電流であるコレクタ
電流Icと、IGBT素子1のコレクタ−エミッタ間電
圧Vceと、IGBT素子1のスイッチング損失Pとを
図示しており、図20(a)はゲート抵抗が小さい場合
を、図20(b)はゲート抵抗が大きい場合をそれぞれ示
している。ゲート抵抗を大きくする程ターンオフ時のコ
レクタ電流Icの減少率が緩やかになるため、配線イン
ダクタンスに前記コレクタ電流Icの減少率が印加され
ることによって生じるコレクタ−エミッタ間の電圧サー
ジは低減される。しかし、同時にコレクタ−エミッタ間
電圧Vceの増加率も緩やかになるため、コレクタ電流
Icとコレクタ−エミッタ間電圧Vceの乗算積分値で
表されるスイッチング損失Pは増加する。以上のよう
に、電圧サージの抑制はゲート抵抗を大きくすることで
実現できるが、スイッチング損失が増加するという欠点
がある。
【0006】ここで、IGBT素子1のターンオフ特性
を考える。IGBT素子1のターンオフ時にコレクタ電
流Icが減少を始めてから減少を終了するまでの時間で
ある下降時間tfはコレクタ電流Icに依存しており、
Icの増加関数の特性を有している。これを示したのが
図21である。大電流域では素子特性により下降時間tf
が長くなり必然的に(コレクタ電流/下降時間)で表さ
れる電流減少率が小さくなるため、電圧サージは問題と
ならなくなる。逆に、小電流域では下降時間tfが短く
なり、電圧サージが大きくなるため低減対策が必要にな
る。従って、導通電流が小電流域である時のみゲート抵
抗値を大きくして下降時間tfを長くすることで、電圧
サージを抑制することができる。この際、大電流域にお
いてはゲート抵抗値を小さくしているため、スイッチン
グ損失は増加しない。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】従来の半導体素子の駆
動回路は以上のように構成されており、IGBT素子が
コレクタ電流の増加に伴って下降時間が増加する素子特
性を前提にしているので、特定の素子にしか適用できな
いという問題点があった。また、従来の半導体素子の駆
動回路では電圧サージの抑制のためにゲート抵抗の最小
値が決まってしまうため、ゲート抵抗を電圧サージの制
限を越えて小さくすることができない。このため、ゲー
ト抵抗を小さくしてスイッチング損失を低減する対策が
効果的に行えないという問題点があった。
【0008】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、電圧サージの抑制とスイッチン
グ損失の低減とを両立することが可能で、かつ、全ての
IGBT素子に適用可能な半導体素子の駆動回路を得る
ことを目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】この発明の第1の構成に
係る半導体素子の駆動回路は、制御電極に印加する電圧
によって主電極間の導通状態を制御する絶縁ゲート形自
己消孤素子の制御電極に接続される駆動回路において、
前記絶縁ゲート形自己消孤素子を駆動する第1の駆動手
段と、前記第1の駆動手段よりも低速で前記絶縁ゲート
形自己消孤素子を駆動する第2の駆動手段と、前記第1
の駆動手段と前記第2の駆動手段に信号を供給するスイ
ッチング信号発生手段と、前記第1の駆動手段の出力と
前記第2の駆動手段の出力とを切り換えて前記制御電極
に供給する切り換え手段と、前記制御電極の電圧を低下
させ前記主電極間を導通状態から非導通状態に遷移させ
る際に前記主電極に流れる電流の変化が緩慢な第1の期
間からそれに続く電流の変化が急俊な第2の期間に遷移
する時の電流の減少開始点を検出する電流減少開始点検
出手段とを有し、前記電流減少開始点検出手段の出力に
より、前記第1の期間において前記第1の駆動手段を用
い、前記第2の期間において前記第2の駆動手段を用い
るように前記切り換え手段を動作させるものである。
【0010】この発明の第2の構成に係る半導体素子の
駆動回路は、制御電極に印加する電圧によって主電極間
の導通状態を制御する絶縁ゲート形自己消孤素子の制御
電極に接続される駆動回路において、前記制御電極にオ
ン電圧を供給するオン用直流電圧源と、前記制御電極に
オフ電圧を供給するオフ用直流電圧源と、前記オン用直
流電圧源と前記オフ用直流電圧源とを切り換えるオンオ
フ切り換え手段と、前記オンオフ切り換え手段に信号を
供給するスイッチング信号発生手段と、前記オンオフ切
り換え手段に接続された第1のゲート抵抗と、前記オン
オフ切り換え手段に接続され前記第1のゲート抵抗より
も大きな抵抗値を有する第2のゲート抵抗と、前記第1
のゲート抵抗と前記第2のゲート抵抗とを切り換えて前
記制御電極に接続する切り換え手段と、前記制御電極の
電圧を低下させ前記主電極間を導通状態から非導通状態
に遷移させる際に前記主電極に流れる電流の変化が緩慢
な第1の期間からそれに続く電流の変化が急俊な第2の
期間に遷移する時の電流の減少開始点を検出する電流減
少開始点検出手段とを有し、前記電流減少開始点検出手
段の出力により、前記第1の期間において前記第1のゲ
ート抵抗を用い、前記第2の期間において前記第2のゲ
ート抵抗を用いるように前記切り換え手段を動作させる
ものである。
【0011】この発明の第3の構成に係る半導体素子の
駆動回路は、制御電極に印加する電圧によって主電極間
の導通状態を制御する絶縁ゲート形自己消孤素子の制御
電極に接続される駆動回路において、前記制御電極にオ
ン電圧を供給するオン用直流電圧源と、前記制御電極に
オフ電圧を供給する第1のオフ用直流電圧源と、前記制
御電極にオフ電圧を供給し前記第1のオフ用直流電圧源
よりも小さい電圧を有する第2のオフ用直流電圧源と、
前記第1のオフ用直流電圧源と前記第2のオフ用直流電
圧源とを切り換える切り換え手段と、前記オン用直流電
圧源と前記第1の切り換え手段の出力とを切り換えるオ
ンオフ切り換え手段と、前記オンオフ切り換え手段に信
号を供給するスイッチング信号発生手段と、前記オンオ
フ切り換え手段と前記制御電極との間に接続されたゲー
ト抵抗と、前記制御電極の電圧を低下させ前記主電極間
を導通状態から非導通状態に遷移させる際に前記主電極
に流れる電流の変化が緩慢な第1の期間からそれに続く
電流の変化が急俊な第2の期間に遷移する時の電流の減
少開始点を検出する電流減少開始点検出手段とを有し、
前記電流減少開始点検出手段の出力により、前記第1の
期間において前記第1のオフ用直流電圧源を用い、前記
第2の期間において前記第2のオフ用直流電圧源を用い
るように前記切り換え手段を動作させるものである。
【0012】この発明の第4の構成に係る半導体素子の
駆動回路は、制御電極に印加する電圧によって主電極間
の導通状態を制御する絶縁ゲート形自己消孤素子の制御
電極に接続される駆動回路において、前記制御電極に電
流を流し込むオン用直流電流源と、前記制御電極から電
流を流し出す第1のオフ用直流電流源と、前記制御電極
から電流を流し出し前記第1のオフ用直流電流源よりも
電流値の小さい第2のオフ用直流電流源と、前記第1の
オフ用直流電流源と前記第2のオフ用直流電流源とを切
り換える切り換え手段と、前記オン用直流電流源と前記
第1の切り換え手段の出力とを切り換え前記制御電極に
接続するオンオフ切り換え手段と、前記オンオフ切り換
え手段に信号を供給するスイッチング信号発生手段と、
前記制御電極の電圧を低下させ前記主電極間を導通状態
から非導通状態に遷移させる際に前記主電極に流れる電
流の変化が緩慢な第1の期間からそれに続く電流の変化
が急俊な第2の期間に遷移する時の電流の減少開始点を
検出する電流減少開始点検出手段とを有し、前記電流減
少開始点検出手段の出力により、前記第1の期間におい
て前記第1のオフ用直流電流源を用い、前記第2の期間
において前記第2のオフ用直流電流源を用いるように前
記切り換え手段を動作させるものである。
【0013】この発明の第5の構成に係る半導体素子の
駆動回路は、制御電極に印加する電圧によって主電極間
の導通状態を制御する絶縁ゲート形自己消孤素子の制御
電極に接続される駆動回路において、前記制御電極にオ
ン電圧を供給するオン用直流電圧源と、前記制御電極に
オフ電圧を供給するオフ用直流電圧源と、前記オン用直
流電圧源と前記オフ用直流電圧源とを切り換えるオンオ
フ切り換え手段と、前記オンオフ切り換え手段に信号を
供給するスイッチング信号発生手段と、前記オンオフ切
り換え手段と前記制御電極の間に接続されたゲート抵抗
と、前記制御電極に接続された切り換え手段と、前記切
り換え手段と前記主電極の一端の間に接続されたコンデ
ンサと、前記切り換え手段と並列に接続された電圧調整
手段と、前記制御電極に印加する電圧を低下させ前記主
電極間を導通状態から非導通状態に遷移させる際に前記
主電極に流れる電流の変化が緩慢な第1の期間からそれ
に続く電流の変化が急俊な第2の期間に遷移する時の電
流の減少開始点を検出する電流減少開始点検出手段とを
有し、前記電流減少開始点検出手段の出力により、前記
第2の期間において前記制御電極と前記コンデンサが接
続されるように前記切り換え手段を動作させるものであ
る。
【0014】この発明の第6の構成に係る半導体素子の
駆動回路は、前記電流減少開始点検出手段が、前記絶縁
ゲート形自己消孤素子の制御電極の電圧を検出する電圧
検出手段と、基準電圧源と、前記電圧検出手段の出力と
前記基準電圧源の出力とを比較する比較手段とから成る
ものである。
【0015】この発明の第7の構成に係る半導体素子の
駆動回路は、前記電流減少開始点検出手段が、前記絶縁
ゲート形自己消孤素子の制御電極に流れる電流を検出す
る電流検出手段と、基準電圧源と、前記電流検出手段の
出力と前記基準電圧源の出力とを比較する比較手段とか
ら成るものである。
【0016】この発明の第8の構成に係る半導体素子の
駆動回路は、前記電流減少開始点検出手段が、前記絶縁
ゲート形自己消孤素子の制御電極の電圧を検出する電圧
検出手段と、前記電圧検出手段の出力を微分する微分手
段と、基準電圧源と、前記微分手段の出力と前記基準電
圧源の出力とを比較する比較手段とから成るものであ
る。
【0017】この発明の第9の構成に係る半導体素子の
駆動回路は、前記電流減少開始点検出手段が、前記絶縁
ゲート形自己消孤素子の制御電極を流れる電流を検出す
る電流検出手段と、前記電流検出手段の出力を微分する
微分手段と、基準電圧源と、前記微分手段の出力と前記
基準電圧源の出力とを比較する比較手段とから成るもの
である。
【0018】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.以下、この発明の第1の実施の形態を図
について説明する。まず図2、図3を用いて、IGBT
素子をオン状態からオフ状態に遷移させる際にIGBT
素子に流れる電流の変化が緩慢な第1の期間からそれに
続く電流の変化が急俊な第2の期間に遷移する時の電流
の減少開始点について説明する。図2はスイッチング回
路の一例であり、図3は図2のスイッチング回路におけ
るIGBT素子1の電圧、電流の波形図である。図2に
おいて、9はゲート抵抗、15は直流電圧源、16は負荷、
17は還流ダイオード、18は配線インダクタンスである。
1から5については図18の従来の技術による半導体素子
の駆動回路と同じであるため説明は省略する。スイッチ
ング信号発生手段4がオン信号を出力すると、オンオフ
切り換え手段5はオン用直流電圧源2に切り換えられ、
IGBT素子1のゲートにゲート抵抗9を介してオン電
圧が印加され、IGBT素子1はオンする。IGBT素
子1がオンすると、直流電圧源15の電圧Vdcが負荷16
に印加され、直流電圧源15−配線インダクタンス18−負
荷16−IGBT素子1−直流電圧源15の経路で電流が流
れる。この時のIGBT素子1の電圧、電流を図3では
時刻0の点で表している。時刻0においてIGBT素子
1はオンしているため、コレクタ−エミッタ間電圧Vc
eは0であり、コレクタ電流Icは負荷16の電流ILと
等しい。IGBT素子1のゲート−エミッタ間はコンデ
ンサであるため、オン時間が十分長ければゲート−エミ
ッタ間電圧Vgeはオン用直流電圧源2の電圧まで充電
されており、ゲート電流Igは0となる。次いで、時刻
t1においてスイッチング信号発生手段4がオフ信号を
出力すると、オンオフ切り換え手段5はオフ用直流電圧
源3に切り換えられ、IGBT素子1のゲートにゲート
抵抗9を介してオフ電圧が印加される。図3は、オフ用
直流電圧源3を0としているため、ゲート−エミッタ間
電圧Vgeは0に向かって(ゲート抵抗9×IGBT素
子1のゲート−エミッタ間コンデンサ)の時定数で減少
を開始する。しかし、通常はオン用直流電圧源2は負荷
電流ILを流すために必要とされるオン電圧に対して十
分に高く設定されているため、時刻t2においてゲート
−エミッタ間電圧Vgeが負荷電流ILを流すのに必要
とされる最小の電圧Vonに達するまではIGBT素子
1の実際のターンオフ動作は行われない。時刻t2にお
いて、ゲート−エミッタ間電圧Vgeが負荷電流ILを
流すのに必要とされる電圧Vonに達すると、IGBT
素子1はターンオフ動作を開始し、コレクタ−エミッタ
間電圧Vceが増加する。この時、負荷16に印加される
電圧は直流電圧源15の電圧Vdcからコレクタ−エミッ
タ間電圧Vceを減算した電圧となるが、インダクタン
ス負荷であるため負荷16を流れる電流ILは急変しな
い。このため、コレクタ電流Icも急変せず、コレクタ
電流Icは電流の変化が緩慢な第1の期間を形成する。
この第1の期間においては、コレクタ電流Icを変化さ
せないようにゲート−エミッタ間電圧Vgeを負荷電流
ILを流すのに必要とされる電圧Vonに保とうとする
フィードバック作用が働き、ゲート−エミッタ間電圧V
geはほぼ一定の電圧となる。このフィードバック作用
は、コレクタ−エミッタ間電圧Vceの増加によりIG
BT素子1のコレクタ−ゲート間コンデンサを介してコ
レクタからゲートに変位電流が流れ、この変位電流がゲ
ート抵抗9で電圧降下を生じることにより実現される。
この変位電流はゲート電流に他ならないため、ゲート電
流Igもほぼ一定の電流となる。時刻t3において、コ
レクタ−エミッタ間電圧Vceが直流電圧源15の電圧V
dcに達すると還流ダイオード17がオンして、負荷16を
流れる電流が還流ダイオード17に転流を開始する。還流
ダイオード17に転流した電流Idの分だけコレクタ電流
Icは減少するため、コレクタ電流Icは電流の変化が
急俊な第2の期間を形成する。この第2の期間において
は、上記のゲート−エミッタ間電圧Vgeを一定に保と
うとするフィードバック作用は失われ、ゲート−エミッ
タ間電圧Vgeは再び0に向かって減少を開始する。従
って、ゲート−エミッタ間電圧Vgeとゲート抵抗9で
決まるゲート電流Igも減少する。また、コレクタ電流
Icは配線インダクタンス18に流れる電流と等しいの
で、この第2の期間において配線インダクタンス18に流
れる電流も減少する。このため、配線インダクタンス18
は(配線インダクタンス×電流減少率)で表される電圧
を発生する。この電圧は直流電圧源15と同極性であるた
め、コレクタ−エミッタ間電圧Vceには、直流電圧源
15に配線インダクタンス18が発生する電圧サージが重畳
された波形となる。時刻t4において、ゲート−エミッ
タ間電圧VgeがIGBT素子1の閾値Vthに達する
とコレクタ電流Icは0となり、IGBT素子1はター
ンオフ動作を完了する。時刻t4以降において実際のタ
ーンオフ動作は完了しているが、ゲート−エミッタ間電
圧Vgeはまだ0に達していないため、引き続き0に向
かって減少を続ける。時刻t5においてゲート−エミッ
タ間電圧Vgeが0に達して、全ての動作を完了する。
以上のIGBT素子1のターンオフ動作において、本発
明では電流減少開始点をコレクタ電流Icの変化が緩慢
な第1の期間(t2からt3)と、それに引き続いて発
生するコレクタ電流Icの変化が急俊な第2の期間(t
3からt4)との境界、すなわち時刻t3の時点と定義
する。別の定義をすれば、電流減少開始点は、コレクタ
電流Icの2次微係数が最大となる時刻にほぼ等しい。
【0019】次に、この発明の実施の形態1の構成を図
1について説明する。図1において、12は第1の駆動手
段、13は第2の駆動手段であり、第1の駆動手段12より
も第2の駆動手段13の方が低速でIGBT素子1を駆動
する。11は第1の駆動手段12の出力と第2の駆動手段13
の出力とを切り換えてIGBT素子1のゲートに供給す
る切り換え手段、14はIGBT素子1をオン状態からオ
フ状態に遷移させる際にIGBT素子1に流れる電流の
変化が緩慢な第1の期間からそれに続く電流の変化が急
俊な第2の期間に遷移する時の電流の減少開始点を検出
する電流減少開始点検出手段である。1および4につい
ては図18の従来の技術による半導体素子の駆動回路と同
じであるため、説明は省略する。2a、2bはIGBT
素子1をオンするための電圧を供給する第1および第2
のオン用直流電圧源、3a、3bはIGBT素子1をオ
フするための電圧を供給する第1および第2のオフ用直
流電圧源、5a、5bはスイッチング信号発生手段4の
出力により第1および第2のオン用直流電圧源2a、2
bと第1および第2のオフ用直流電圧源3a、3bとを
それぞれ切り換えてIGBT素子1のゲートに電圧を印
加する第1および第2のオンオフ切り換え手段、9は第
1のゲート抵抗、10は第2のゲート抵抗で、第1のゲー
ト抵抗9よりも第2のゲート抵抗10の方が大きい抵抗値
を持つ。
【0020】次に、図1、図4を用いて動作について説
明する。図4は、IGBT素子1の導通電流であるコレ
クタ電流Icと、IGBT素子1のコレクタ−エミッタ
間電圧Vceと、IGBT素子1のスイッチング損失P
とを図示しており、図4(a)はゲート抵抗が小さい場
合すなわち第1の駆動手段12によりIGBT素子1を駆
動した場合を、図4(b)はゲート抵抗が大きい場合す
なわち第2の駆動手段13によりIGBT素子1を駆動し
た場合を、図4(c)は本発明を適用した場合をそれぞ
れ示している。スイッチング信号発生手段4がオン信号
を出力すると、第1および第2のオンオフ切り換え手段
5a、5bは第1および第2のオン用直流電圧源2a、
2bにそれぞれ切り換えられ、IGBT素子1のゲート
に第1のゲート抵抗9または第2のゲート抵抗10を介し
てオン電圧が印加され、IGBT素子1はオンする。次
いで、スイッチング信号発生手段4がオフ信号を出力す
ると、第1および第2のオンオフ切り換え手段5a、5
bは第1および第2のオフ用直流電圧源3a、3bにそ
れぞれ切り換えられ、IGBT素子1のゲートに第1の
ゲート抵抗9または第2のゲート抵抗10を介してオフ電
圧が印加され、IGBT素子1はオフする。この際、コ
レクタ電流Icの変化が緩慢な第1の期間においては、
電流減少開始点検出手段14の出力により切り換え手段11
が第1の駆動手段12に切り換えられ、図4(a)に示し
たゲート抵抗が小さい状態でIGBT素子1が駆動され
る。また、コレクタ電流Icの変化が急俊な第2の期間
においては、電流減少開始点検出手段14の出力により切
り換え手段11が第2の駆動手段13に切り換えられ、図4
(b)に示したゲート抵抗が大きい状態でIGBT素子
1が駆動される。この結果、図4(c)に示したよう
に、電流減少開始点以前においては図4(a)と等価な
電圧、電流波形が得られ、電流減少開始点以後において
は図4(b)と等価な電圧、電流波形が得られる。従っ
て、本発明における半導体素子の駆動回路によれば、電
圧サージに関係しない第1の期間においてはIGBT素
子1を高速で駆動してスイッチング損失Pを低減し、か
つ、電圧サージに関係する第2の期間においてはIGB
T素子1を低速で駆動して電圧サージを抑制することが
できる。
【0021】実施の形態2.この発明の第2の実施の形
態の構成を図5に示す。図5において、6はゲート抵抗
切り換え手段、9は第1のゲート抵抗、10は第2のゲー
ト抵抗で、第1のゲート抵抗9よりも第2のゲート抵抗
10の方が大きい抵抗値を持つ。9aは並列接続により第
1のゲート抵抗9と等価な抵抗値を得るための抵抗、10
aは直列接続により第2のゲート抵抗10と等価な抵抗値
を得るための抵抗。その他の要素については、図18の従
来の技術による半導体素子の駆動回路、または、図1の
実施の形態1と同じであるため説明は省略する。
【0022】次に、図5(a)を用いて動作について説
明する。スイッチング信号発生手段4がオン信号を出力
すると、オンオフ切り換え手段5はオン用直流電圧源2
に切り換えられ、IGBT素子1のゲートに第1のゲー
ト抵抗9または第2のゲート抵抗10を介してオン電圧が
印加され、IGBT素子1はオンする。次いで、スイッ
チング信号発生手段4がオフ信号を出力すると、オンオ
フ切り換え手段5はオフ用直流電圧源3に切り換えら
れ、IGBT素子1のゲートに第1のゲート抵抗9また
は第2のゲート抵抗10を介してオフ電圧が印加され、I
GBT素子1はオフする。この際、まずコレクタ電流I
cの変化が緩慢な第1の期間においては、電流減少開始
点検出手段14の出力によりゲート抵抗切り換え手段6の
切り換え手段11が第1のゲート抵抗9に切り換えられ、
ゲート抵抗が小さい状態でIGBT素子1が駆動され
る。次いで、コレクタ電流Icの変化が急俊な第2の期
間においては、電流減少開始点検出手段14の出力により
切り換え手段11が第2のゲート抵抗10に切り換えられ、
ゲート抵抗が大きい状態でIGBT素子1が駆動され
る。この結果、電圧サージに関係しない第1の期間にお
いてはIGBT素子1を高速で駆動してスイッチング損
失Pを低減し、かつ、電圧サージに関係する第2の期間
においてはIGBT素子1を低速で駆動して電圧サージ
を抑制することができる。
【0023】次に、図5(b)を用いて動作について説
明する。ゲート抵抗切り換え手段6以外の動作に関して
は、図5(a)と同じであるため説明を省略する。IG
BT素子1のターンオフの際、まずコレクタ電流Icの
変化が緩慢な第1の期間においては、電流減少開始点検
出手段14の出力により切り換え手段11を短絡状態にし、
抵抗9aと第2のゲート抵抗10の合成抵抗をゲート抵抗
として使用する。抵抗9aと第2のゲート抵抗10は並列
接続されるため、合成抵抗は第2のゲート抵抗10よりも
小さくなる。この時、抵抗9aは、抵抗9aと第2のゲ
ート抵抗10の合成抵抗が図5(a)の第1のゲート抵抗
9と等しい抵抗値と成るように選択する。この動作によ
り第1の期間においては、ゲート抵抗が小さい状態でI
GBT素子1が駆動される。次いで、コレクタ電流Ic
の変化が急俊な第2の期間においては、電流減少開始点
検出手段14の出力により切り換え手段11を開放状態に
し、第2のゲート抵抗10のみをゲート抵抗として使用す
る。この動作により第2の期間においては、ゲート抵抗
が大きい状態でIGBT素子1が駆動される。この結
果、電圧サージに関係しない第1の期間においてはIG
BT素子1を高速で駆動してスイッチング損失Pを低減
し、かつ、電圧サージに関係する第2の期間においては
IGBT素子1を低速で駆動して電圧サージを抑制する
ことができる。
【0024】次に、図5(c)を用いて動作について説
明する。ゲート抵抗切り換え手段6以外の動作に関して
は、図5(a)と同じであるため説明を省略する。IG
BT素子1のターンオフの際、まずコレクタ電流Icの
変化が緩慢な第1の期間においては、電流減少開始点検
出手段14の出力により切り換え手段11を短絡状態にし、
第1のゲート抵抗9をゲート抵抗として使用する。この
動作により第1の期間においては、ゲート抵抗が小さい
状態でIGBT素子1が駆動される。次いで、コレクタ
電流Icの変化が急俊な第2の期間においては、電流減
少開始点検出手段14の出力により切り換え手段11を開放
状態にし、第1のゲート抵抗9と抵抗10aの合成抵抗を
ゲート抵抗として使用する。第1のゲート抵抗9と抵抗
10aは直列接続されるため、合成抵抗は第1のゲート抵
抗9よりも大きくなる。この時、抵抗10aは、第1のゲ
ート抵抗9と抵抗10aの合成抵抗が図5(a)の第2の
ゲート抵抗10と等しい抵抗値と成るように選択する。こ
の動作により第2の期間においては、ゲート抵抗が大き
い状態でIGBT素子1が駆動される。この結果、電圧
サージに関係しない第1の期間においてはIGBT素子
1を高速で駆動してスイッチング損失Pを低減し、か
つ、電圧サージに関係する第2の期間においてはIGB
T素子1を低速で駆動して電圧サージを抑制することが
できる。
【0025】実施の形態3.この発明の第3の実施の形
態の構成を図6に示す。図6において、3aは第1のオ
フ用直流電圧源、3bは第2のオフ用直流電圧源で、第
1のオフ用直流電圧源3aよりも第2のオフ用直流電圧
源3bの方がIGBT素子1のゲートに小さい負電圧を
印加できるように電圧値が設定されている。3cは直列
接続により第2のオフ用直流電圧源3bと等価な電圧値
を得るための直流電圧源、9はゲート抵抗、19はダイオ
ードである。その他の要素については、図18の従来の技
術による半導体素子の駆動回路、または、図1の実施の
形態1と同じであるため説明は省略する。
【0026】次に、図6(a)を用いて動作について説
明する。スイッチング信号発生手段4がオン信号を出力
すると、オンオフ切り換え手段5はオン用直流電圧源2
に切り換えられ、IGBT素子1のゲートにゲート抵抗
9を介してオン電圧が印加され、IGBT素子1はオン
する。次いで、スイッチング信号発生手段4がオフ信号
を出力すると、オンオフ切り換え手段5は第1のオフ用
直流電圧源3aまたは第2のオフ用直流電圧源3bに切
り換えられ、IGBT素子1のゲートにゲート抵抗9を
介してオフ電圧が印加され、IGBT素子1はオフす
る。この際、まずコレクタ電流Icの変化が緩慢な第1
の期間においては、電流減少開始点検出手段14の出力に
より切り換え手段11が第1のオフ用直流電圧源3aに切
り換えられ、オフ電圧が大きい状態でIGBT素子1が
駆動される。次いで、コレクタ電流Icの変化が急俊な
第2の期間においては、電流減少開始点検出手段14の出
力により切り換え手段11が第2のオフ用直流電圧源3b
に切り換えられ、オフ電圧が小さい状態でIGBT素子
1が駆動される。IGBT素子1のゲート−エミッタ間
はコンデンサであるため、同じゲート抵抗で駆動した場
合、オフ電圧が小さい方がゲート−エミッタ間電圧の減
少率は小さくなり、ゲート抵抗を大きくしたのと同様の
効果が得られる。この結果、電圧サージに関係しない第
1の期間においてはIGBT素子1を高速で駆動してス
イッチング損失Pを低減し、かつ、電圧サージに関係す
る第2の期間においてはIGBT素子1を低速で駆動し
て電圧サージを抑制することができる。
【0027】次に、図6(b)を用いて動作について説
明する。第1および第2のオフ用直流電圧源3a、3b
の切り換え以外の動作に関しては、図6(a)と同じで
あるため説明を省略する。IGBT素子1のターンオフ
の際、まずコレクタ電流Icの変化が緩慢な第1の期間
においては、電流減少開始点検出手段14の出力により切
り換え手段11を短絡状態にする。第1のオフ用直流電圧
源3aの方が第2のオフ用直流電圧源3bよりもゲート
に大きい負電圧を印加できるように電圧値が設定されて
いるため、ダイオード19に逆電圧が印加されオフ状態と
なるので、第1のオフ用直流電圧源3aのみがゲート抵
抗9を介してIGBT素子1のゲートに印加される。こ
の動作により第1の期間においては、オフ電圧が大きい
状態でIGBT素子1が駆動される。次いで、コレクタ
電流Icの変化が急俊な第2の期間においては、電流減
少開始点検出手段14の出力により切り換え手段11を開放
状態にし、第2のオフ用直流電圧源3bのみを使用す
る。この動作により第2の期間においては、オフ電圧が
小さい状態でIGBT素子1が駆動される。この結果、
電圧サージに関係しない第1の期間においてはIGBT
素子1を高速で駆動してスイッチング損失Pを低減し、
かつ、電圧サージに関係する第2の期間においてはIG
BT素子1を低速で駆動して電圧サージを抑制すること
ができる。
【0028】次に、図6(c)を用いて動作について説
明する。第1および第2のオフ用直流電圧源3a、3b
の切り換え以外の動作に関しては、図6(a)と同じで
あるため説明を省略する。IGBT素子1のターンオフ
の際、まずコレクタ電流Icの変化が緩慢な第1の期間
においては、電流減少開始点検出手段14の出力により切
り換え手段11を短絡状態にし、第1のオフ用直流電圧源
3aのみをゲート抵抗9を介してIGBT素子1のゲー
トに印加する。この時、ダイオード19には直流電圧源3
cの電圧が逆電圧として印加されオフ状態となるため、
切り換え手段11に不要な電流が流れることは無い。こ
の動作により第1の期間においては、オフ電圧が低い状
態でIGBT素子1が駆動される。次いで、コレクタ電
流Icの変化が急俊な第2の期間においては、電流減少
開始点検出手段14の出力により切り換え手段11を開放
状態にし、第1のオフ用直流電圧源3aと直流電圧源3
cの和の電圧をゲート抵抗9を介してIGBT素子1の
ゲートに印加する。第1のオフ用直流電圧源3aと直流
電圧源3cは逆直列接続されるため、和の電圧は第1の
オフ用直流電圧源3aよりも小さな負電圧となる。この
時、直流電圧源3cは第1のオフ用直流電圧源3aと直
流電圧源3cの和の電圧が図6(a)の第2のオフ用直
流電圧源3bと等しい電圧値となるように選択する。こ
の動作により第2の期間においては、オフ電圧が小さい
状態でIGBT素子1が駆動される。この結果、電圧サ
ージに関係しない第1の期間においてはIGBT素子1
を高速で駆動してスイッチング損失Pを低減し、かつ、
電圧サージに関係する第2の期間においてはIGBT素
子1を低速で駆動して電圧サージを抑制することができ
る。
【0029】実施の形態4.この発明の第4の実施の形
態の構成を図7に示す。図7において、19はダイオー
ド、20はオン用直流電流源、21は第1のオフ用直流電流
源、22は第2のオフ用直流電流源で、第1のオフ用直流
電流源21よりも第2のオフ用直流電流源22の方が小さい
電流値を持つ。21aは並列接続により第1のオフ用直流
電流源21と等価な電流値を得るための直流電流源であ
る。その他の要素については、図18の従来の技術による
半導体素子の駆動回路、または、図1の実施の形態1と
同じであるため説明は省略する。
【0030】次に、図7(a)を用いて動作について説
明する。スイッチング信号発生手段4がオン信号を出力
すると、オンオフ切り換え手段5はオン用直流電流源20
に切り換えられ、IGBT素子1のゲートに電流が注入
される。IGBT素子1のゲート−エミッタ間はコンデ
ンサであるため、ゲート−エミッタ間電圧Vgeは増加
し、IGBT素子1はオンする。次いで、スイッチング
信号発生手段4がオフ信号を出力すると、オンオフ切り
換え手段5は第1のオフ用直流電流源21または第2のオ
フ用直流電流源22に切り換えられ、IGBT素子1のゲ
ートから電流が引き出される。IGBT素子1のゲート
−エミッタ間はコンデンサであるため、ゲート−エミッ
タ間電圧Vgeは減少し、IGBT素子1はオフする。
この際、まずコレクタ電流Icの変化が緩慢な第1の期
間においては、電流減少開始点検出手段14の出力により
切り換え手段11が第1のオフ用直流電流源21に切り換え
られ、引き出し電流が大きい状態でIGBT素子1が駆
動される。次いで、コレクタ電流Icの変化が急俊な第
2の期間においては、電流減少開始点検出手段14の出力
により切り換え手段11が第2のオフ用直流電流源22に切
り換えられ、引き出し電流が小さい状態でIGBT素子
1が駆動される。IGBT素子1のゲート−エミッタ間
はコンデンサであるため、引き出し電流が小さい方がゲ
ート−エミッタ間電圧の減少率は小さくなり、ゲート抵
抗を大きくしたのと同様の効果が得られる。この結果、
電圧サージに関係しない第1の期間においてはIGBT
素子1を高速で駆動してスイッチング損失Pを低減し、
かつ、電圧サージに関係する第2の期間においてはIG
BT素子1を低速で駆動して電圧サージを抑制すること
ができる。
【0031】次に、図7(b)を用いて動作について説
明する。第1および第2のオフ用直流電流源21、22の切
り換え以外の動作に関しては、図7(a)と同じである
ため説明を省略する。IGBT素子1のターンオフの
際、まずコレクタ電流Icの変化が緩慢な第1の期間に
おいては、電流減少開始点検出手段14の出力により切り
換え手段11を短絡状態にし、直流電流源21aと第2のオ
フ用直流電流源22の和の電流をIGBT素子1のゲート
から引き出す。直流電流源21aと第2のオフ用直流電流
源22は並列接続されるため、和の電流は第2のオフ用直
流電流源22よりも大きくなる。この時、直流電流源21a
は、直流電流源21aと第2のオフ用直流電流源22の和の
電流が図7(a)の第1の直流電流源21と等しい電流値
と成るように選択する。この動作により第1の期間にお
いては、引き出し電流が大きい状態でIGBT素子1が
駆動される。次いで、コレクタ電流Icの変化が急俊な
第2の期間においては、電流減少開始点検出手段14の出
力により切り換え手段11を開放状態にし、第2のオフ用
直流電流源22のみを使用する。この動作により第2の期
間においては、引き出し電流が小さい状態でIGBT素
子1が駆動される。この結果、電圧サージに関係しない
第1の期間においてはIGBT素子1を高速で駆動して
スイッチング損失Pを低減し、かつ、電圧サージに関係
する第2の期間においてはIGBT素子1を低速で駆動
して電圧サージを抑制することができる。
【0032】次に、図7(c)を用いて動作について説
明する。第1および第2のオフ用直流電流源21、22の切
り換え以外の動作に関しては、図7(a)と同じである
ため説明を省略する。IGBT素子1のターンオフの
際、まずコレクタ電流Icの変化が緩慢な第1の期間に
おいては、電流減少開始点検出手段14の出力により切り
換え手段11を短絡状態にし、第1のオフ用直流電流源21
のみでIGBT素子1のゲートから電流引き出す。この
時、ダイオード19にはIGBT素子1のゲート−エミッ
タ間電圧Vgeが逆電圧として印加されオフ状態となる
ため、第1のオフ用直流電流源21の電流がダイオード19
に流れることは無い。この動作により第1の期間におい
ては、引き出し電流が大きい状態でIGBT素子1が駆
動される。次いで、コレクタ電流Icの変化が急俊な第
2の期間においては、電流減少開始点検出手段14の出力
により切り換え手段11を開放状態にする。第1のオフ用
直流電流源21よりも第2の直流電圧源22の電流の方が小
さいため、差の電流はダイオード19を流れ、IGBT素
子1のゲートからは第2の直流電圧源22の電流が引き出
される。この動作により第2の期間においては、引き出
し電流が小さい状態でIGBT素子1が駆動される。こ
の結果、電圧サージに関係しない第1の期間においては
IGBT素子1を高速で駆動してスイッチング損失Pを
低減し、かつ、電圧サージに関係する第2の期間におい
てはIGBT素子1を低速で駆動して電圧サージを抑制
することができる。
【0033】実施の形態5.この発明の第5の実施の形
態の構成を図8に示す。図8において、9はゲート抵
抗、23はコンデンサ、30はコンデンサ23の電圧をIGB
T素子1のゲート−エミッタ間電圧Vgeと等しく保つ
ための電圧調整手段である。その他の要素については、
図18の従来の技術による半導体素子の駆動回路、また
は、図1の実施の形態1と同じであるため説明は省略す
る。
【0034】次に、図8(a)を用いて動作について説
明する。スイッチング信号発生手段4がオン信号を出力
すると、オンオフ切り換え手段5はオン用直流電圧源2
に切り換えられ、IGBT素子1のゲートにゲート抵抗
9を介してオン電圧が印加され、IGBT素子1はオン
する。次いで、スイッチング信号発生手段4がオフ信号
を出力すると、オンオフ切り換え手段5はオフ用直流電
圧源3に切り換えられ、IGBT素子1のゲートにゲー
ト抵抗9を介してオフ電圧が印加され、IGBT素子1
はオフする。この際、まずコレクタ電流Icの変化が緩
慢な第1の期間においては、電流減少開始点検出手段14
の出力により切り換え手段11が開放状態となり、IGB
T素子1のゲート−エミッタ間にはIGBT素子1のゲ
ート−エミッタ間コンデンサのみが存在する状態でIG
BT素子1が駆動される。次いで、コレクタ電流Icの
変化が急俊な第2の期間においては、電流減少開始点検
出手段14の出力により切り換え手段11が短絡状態とな
り、IGBT素子1のゲート−エミッタ間にコンデンサ
23が並列に接続される。この時、コンデンサ23の電圧は
電圧調整手段30によってIGBT素子1のゲート−エミ
ッタ間電圧Vgeと等しく保たれているため、ゲート−
エミッタ間電圧Vgeに不要な変動を生じることなく切
り換え手段11の動作が行われる。この動作により、IG
BT素子1のゲート−エミッタ間のコンデンサが増加し
た状態でIGBT素子1が駆動される。IGBT素子1
のゲート−エミッタ間はコンデンサであるため、同じゲ
ート抵抗で駆動した場合、IGBT素子1のゲート−エ
ミッタ間のコンデンサが大きい方がゲート−エミッタ間
電圧Vgeの減少率は小さくなり、ゲート抵抗を大きく
したのと同様の効果が得られる。この結果、電圧サージ
に関係しない第1の期間においてはIGBT素子1を高
速で駆動してスイッチング損失Pを低減し、かつ、電圧
サージに関係する第2の期間においてはIGBT素子1
を低速で駆動して電圧サージを抑制することができる。
【0035】図8(b)、(c)は電圧調整手段30の構
成例を示したものである。図8(b)においては電圧バ
ッファ30aを用いて、図8(c)においては抵抗30bを
用いて、電圧調整手段30を構成している。動作は明確で
あるため詳細な説明は省略する。
【0036】実施の形態6.この発明の第6の実施の形
態における電流減少開始点検出手段14の構成を図9に示
す。図9において、25は電圧検出手段、26は基準電圧
源、27は比較手段である。その他の要素については、図
18の従来の技術による半導体素子の駆動回路、または、
図1の実施の形態1と同じであるため説明は省略する。
【0037】次に、図9(a)、図10を用いて動作につ
いて説明する。図10は、IGBT素子1のターンオフ時
の電圧、電流波形を示したものであり、本実施の形態で
はゲート−エミッタ間電圧Vgeに注目する。ゲート−
エミッタ間電圧Vgeの波形については実施の形態1と
同じであるため、詳細な説明は省略する。電圧検出手段
25は、IGBT素子1のゲート−エミッタ間に接続され
図10のゲート−エミッタ間電圧Vgeを検出する。比較
手段27は、この電圧検出手段25の出力と基準電圧源26の
基準電圧Vref1を比較して、ゲート−エミッタ間電
圧Vgeが基準電圧Vref1よりも小さい時にH信号
を、ゲート−エミッタ間電圧Vgeが基準電圧Vref
1よりも大きい時にL信号を出力する。この時、基準電
圧Vref1を負荷電流ILを流すのに必要とされる電
圧VonとIGBT素子1の閾値Vthの間に設定すれ
ば、ゲート−エミッタ間電圧Vgeがほぼ一定となる第
1の期間を終了し、0に向かって減少を始める第2の期
間に入った所で上記の信号がLからHに切り換わる。こ
の動作により、図10の電流減少開始点検出手段の出力
(a)に示した、コレクタ電流Icの変化が緩慢な第1
の期間おいてLであり、それに続くコレクタ電流Icの
変化が急俊な第2の期間においてHである信号を得るこ
とができる。
【0038】図9(b)、(c)、(d)は電流減少開
始点検出手段14の他の構成例を示したものである。図9
(b)において、電圧検出手段25は抵抗25aと抵抗25b
により構成されており、IGBT素子1のゲート−エミ
ッタ間電圧Vgeを分圧して検出する。コンパレータ27
は、この電圧検出手段25の出力と基準電圧源26の電圧を
比較して、ゲート−エミッタ間電圧Vgeが基準電圧V
ref1よりも低くなるのと等価な時にH信号を、ゲー
ト−エミッタ間電圧Vgeが基準電圧Vref1よりも
高くなるのと等価な時にL信号を出力する。図9(c)
において、電圧検出手段25は抵抗25aと抵抗25bにより
構成されており、IGBT素子1のゲート−エミッタ間
電圧Vgeを分圧して検出する。この検出電圧はトラン
ジスタ27のベースに入力される。検出電圧がトランジス
タ27のベース−エミッタ間閾値を越えるとトランジスタ
27はオンするためL信号を出力し、検出電圧がトランジ
スタ27のベース−エミッタ間閾値を越えなければトラン
ジスタ27はオフするためH信号を出力する。図9(d)
において、電圧検出手段25はトランジスタ27のベースを
ツェナーダイオード26aと抵抗26bを介してIGBT素
子1のゲートに接続することにより構成されている。ゲ
ート−エミッタ間電圧Vgeがツェナーダイオード26a
のツェナー電圧とトランジスタ27のベース−エミッタ間
閾値の和の電圧を越えるとトランジスタ27はオンするた
めL信号を出力し、ゲート−エミッタ間電圧Vgeがツ
ェナーダイオード26aのツェナー電圧とトランジスタ27
のベース−エミッタ間閾値の和の電圧を越えなければト
ランジスタ27はオフするためH信号を出力する。図9
(b)、(c)、(d)の動作は図9(a)と基本的に
は同一であるため詳細な動作の説明は省略する。
【0039】実施の形態7.この発明の第7の実施の形
態における電流減少開始点検出手段14の構成を図11に示
す。図11において、28は電流検出手段、26は基準電圧
源、27は比較手段である。その他の要素については、図
18の従来の技術による半導体素子の駆動回路、または、
図1の実施の形態1と同じであるため説明は省略する。
【0040】次に、図11(a)、図10を用いて動作につ
いて説明する。図10は、IGBT素子1のターンオフ時
の電圧、電流波形を示したものであり、本実施の形態で
はゲート電流Igに注目する。ゲート電流Ig(絶対
値)の波形については実施の形態1と同じであるため、
詳細な説明は省略する。電流検出手段28は、IGBT素
子1のゲートに直列に接続され図10のゲート電流Igを
検出する。比較手段27は、この電流検出手段28の出力と
基準電圧源26の基準電圧Vref2を比較して、ゲート
電流Igの検出値が基準電圧Vref2よりも小さい時
にH信号を、ゲート電流Igの検出値が基準電圧Vre
f2よりも大きい時にL信号を出力する。この時、基準
電圧Vref2を負荷電流ILを流すのに必要とされる
電圧Vonをゲート抵抗9で除算した電流値と0との間
に設定すれば、ゲート電流Igがほぼ一定となる第1の
期間を終了し、0に向かって減少を始める第2の期間に
入った所で上記の信号ががLからHに切り換わる。この
動作により、図10の電流減少開始点検出手段の出力
(b)に示した、コレクタ電流Icの変化が緩慢な第1
の期間おいてLであり、それに続くコレクタ電流Icの
変化が急俊な第2の期間においてHである信号を得るこ
とができる。
【0041】図11(b)、(c)は電流減少開始点検出
手段14の他の構成例を示したものである。図11(b)に
おいて、電流検出手段28は検出抵抗28aと、オペアンプ
28bと抵抗28cから28fにより構成される差動アンプに
より構成されている。コンパレータ27は、この電流検出
手段28の出力と基準電圧源26の電圧を比較して、ゲート
電流Igの検出値が基準電圧Vref2よりも小さい時
にH信号を、ゲート電流Igの検出値が基準電圧Vre
f2よりも大きい時にL信号を出力する。図11(c)に
おいて、電流検出手段28は検出抵抗28aにより構成され
ており、コンパレータ27は、トランジスタ27a、27b、
直流電源27c、27d、抵抗27eにより構成されている。
コンパレータ27は電流検出抵抗28aの出力と基準電圧源
26の電圧を比較し、ゲート電流Igの検出値が基準電圧
Vref2より小さい時にH信号を、ゲート電流Igの
検出値が基準電圧Vref2より大きい時にL信号を出
力する。図11(b)、(c)の動作は図11(a)と基本
的には同一であるため詳細な動作の説明は省略する。
【0042】実施の形態8.この発明の第8の実施の形
態における電流減少開始点検出手段14の構成を図12に示
す。図12において、25は電圧検出手段、26は基準電圧
源、27は比較手段、29は微分手段である。その他の要素
については、図18の従来の技術による半導体素子の駆動
回路、または、図1の実施の形態1と同じであるため説
明は省略する。
【0043】次に、図12(a)、図10を用いて動作につ
いて説明する。図10は、IGBT素子1のターンオフ時
の電圧、電流波形を示したものであり、本実施の形態で
はゲート−エミッタ間電圧Vgeの変化率(絶対値)に
注目する。ゲート−エミッタ間電圧Vgeの波形につい
ては実施の形態1と同じであるため、詳細な説明は省略
する。電圧検出手段25は、IGBT素子1のゲート−エ
ミッタ間に接続され図10のゲート−エミッタ間電圧Vg
eを検出する。微分手段29は、この電圧検出手段25の出
力を微分して、図10に示したdVge/dtの波形を得
る。比較手段27は、この微分手段29の出力と基準電圧源
26の基準電圧Vref3とを比較して、ゲート−エミッ
タ間電圧Vgeの微分値dVge/dtが基準電圧Vr
ef3よりも小さい時にL信号を、ゲート−エミッタ間
電圧Vgeの微分値dVge/dtが基準電圧Vref
3よりも大きい時にH信号を出力する。この時、第1の
期間においてはゲート−エミッタ間電圧Vgeがほぼ一
定であるため、その微分値dVge/dtはほぼ0とな
る。また、第2の期間においてはゲート抵抗9とIGB
T素子1のゲート−エミッタ間コンデンサの容量で決ま
る時定数で0に向かって減少するため、ゲート−エミッ
タ間電圧Vgeの微分値dVge/dtは負の値を持
つ。従って、基準電圧Vref3を適当に設定すれば、
ゲート−エミッタ間電圧Vgeがほぼ一定となる第1の
期間を終了し、0に向かって減少を始める第2の期間に
入った所で上記の信号がLからHに切り換わる。この動
作により、図10の電流減少開始点検出手段の出力(c)
に示した、コレクタ電流Icの変化が緩慢な第1の期間
おいてLであり、それに続くコレクタ電流Icの変化が
急俊な第2の期間においてHである信号を得ることがで
きる。
【0044】図12(b)、(c)は電流減少開始点検出
手段14の他の構成例を示したものである。図12(b)に
おいて、電圧検出手段25は抵抗25aと抵抗25bにより構
成されており、IGBT素子1のゲート−エミッタ間電
圧Vgeを分圧して検出する。この電圧検出手段25の出
力は、オペアンプ29a、コンデンサ29b、抵抗29cから
なる微分回路29により微分される。コンパレータ27は、
この微分回路29の出力と基準電圧源26の電圧を比較し
て、ゲート−エミッタ間電圧Vgeの微分値dVge/
dtが基準電圧Vref3よりも小さい時にL信号を、
ゲート−エミッタ間電圧Vgeが基準電圧Vref3よ
りも大きい時にH信号を出力する。図12(c)におい
て、電圧検出手段25は抵抗25aと抵抗26bにより構成さ
れており、IGBT素子1のゲート−エミッタ間電圧V
geを分圧して検出する。この検出電圧はコンデンサ29
dを介してトランジスタ27のベースに入力される。トラ
ンジスタ27のベースには電源29fから抵抗29eを介して
バイアス電流が流されているため、検出電圧の微分値に
比例して流れるコンデンサ29dの充放電電流がバイアス
電流よりも大きい場合にはトランジスタ27はオフするた
めH信号を出力し、コンデンサ29dの充放電電流がバイ
アス電流よりも小さい場合にはトランジスタ27はオンす
るためL信号を出力する。図12(b)、(c)の動作は
図9(a)と基本的には同一であるため詳細な動作の説
明は省略する。
【0045】実施の形態9.この発明の第9の実施の形
態における電流減少開始点検出手段14の構成を図13に示
す。図13において、28は電流検出手段、26は基準電圧
源、27は比較手段、29は微分手段である。その他の要素
については、図18の従来の技術による半導体素子の駆動
回路、または、図1の実施の形態1と同じであるため説
明は省略する。
【0046】次に、図13(a)、図10を用いて動作につ
いて説明する。図10は、IGBT素子1のターンオフ時
の電圧、電流波形を示したものであり、本実施の形態で
はゲート電流Igの変化率(絶対値)に注目する。ゲー
ト電流Igの波形については実施の形態1と同じである
ため、詳細な説明は省略する。電流検出手段28は、IG
BT素子1のゲートに直列に接続され図10のゲート電流
Igを検出する。微分手段29は、この電流検出手段28の
出力を微分して、図10に示したdIg/dtの波形を得
る。比較手段27は、この微分手段29の出力と基準電圧源
26の基準電圧Vref4を比較して、ゲート電流Igの
微分値dIg/dtが基準電圧Vref4よりも小さい
時にL信号を、ゲート電流Igの微分値dIg/dtが
基準電圧Vref4よりも大きい時にH信号を出力す
る。この時、第1の期間においてはゲート電流Igがほ
ぼ一定であるため、その微分値dIg/dtはほぼ0と
なる。また、第2の期間においてはゲート抵抗9とIG
BT素子1のゲート−エミッタ間コンデンサの容量で決
まる時定数で0に向かって減少するため、ゲート電流I
gの微分値dIg/dtは負の値を持つ。従って、基準
電圧Vref4を適当に設定すれば、ゲート電流Igが
ほぼ一定となる第1の期間を終了し、0に向かって減少
を始める第2の期間に入った所で上記の信号がLからH
に切り換わる。この動作により、図10の電流減少開始点
検出手段の出力(d)に示した、コレクタ電流Icの変
化が緩慢な第1の期間おいてLであり、それに続くコレ
クタ電流Icの変化が急俊な第2の期間においてHであ
る信号を得ることができる。
【0047】図13(b)、(c)は電流減少開始点検出
手段14の他の構成例を示したものである。図13(b)に
おいて、電流検出手段28は検出抵抗28aと、オペアンプ
28bと抵抗28cから28fにより構成される差動アンプに
より構成されている。この電流検出手段28の出力は、オ
ペアンプ29a、コンデンサ29b、抵抗29cからなる微分
回路29により微分される。コンパレータ27は、この微分
回路29の出力と基準電圧源26の電圧を比較して、ゲート
電流Igの変化率が基準電圧Vref4よりも小さい時
にL信号を、ゲート電流Igの変化率が基準電圧Vre
f4よりも大きい時にH信号を出力する。図13(c)に
おいて、電流検出手段28は検出抵抗28aにより構成され
ており、コンパレータ27は、トランジスタ27a、27b、
直流電源27c、27d、抵抗27eにより構成されている。
電流検出抵抗28aの出力はコンデンサ29dを介してトラ
ンジスタ27aのベースに接続され、電流検出抵抗28a、
抵抗29e、基準電圧源26からなる閉ループを構成するた
め、トランジスタ27aのベースにゲート電流微分値が入
力される。トランジスタ27bのベースは基準電圧源26が
接続されているため、検出電圧の微分値が基準電圧Vr
ef4より大きい場合にはトランジスタ27bはオフする
ためH信号を出力し、検出電圧の微分値が基準電圧Vr
ef4よりも小さい場合にはトランジスタ27bはオンす
るためL信号を出力する。図13(b)、(c)の動作は
図13(a)と基本的には同一であるため詳細な動作の説
明は省略する。
【0048】実施の形態10.この発明の第10の実施の
形態の構成を図14に示す。この実施の形態は、図5
(b)の実施の形態2と図9(b)の実施の形態6を組
み合わせたものである。図14において、5a、5bはト
ランジスタでオンオフ切り換え手段5を構成する。11a
はトランジスタ、11bはダイオードで切り換え手段11の
スイッチ部分を構成する。11cはトランジスタ、11dは
抵抗、11eは電源、11fは抵抗で、切り換え手段11のス
イッチの駆動部分を構成している。この切り換え手段11
のスイッチの駆動部分はロジックの反転回路を構成して
おり、電流減少開始点検出手段14の出力と切り換え手段
11のスイッチ部分の入力とのロジックの整合を行う。そ
の他の要素については、図5(b)の実施の形態2およ
び図9(b)の実施の形態6と同じであるため説明は省
略する。
【0049】次に、動作について説明する。スイッチン
グ信号発生手段4がオン信号を出力すると、トランジス
タ5aがオン、トランジスタ5bがオフとなり、IGB
T素子1のゲートに第2のゲート抵抗10を介してオン用
直流電圧源2の電圧が印加され、IGBT素子1はオン
する。次いで、スイッチング信号発生手段4がオフ信号
を出力すると、トランジスタ5aがオフ、トランジスタ
5bがオンとなり、IGBT素子1のゲートに第2のゲ
ート抵抗10または第2のゲート抵抗10と抵抗9aとの合
成抵抗を介してオフ用直流電圧源3の電圧が印加され、
IGBT素子1はオフする。この際、まずコレクタ電流
Icの変化が緩慢な第1の期間においては、実施の形態
6で述べたように、抵抗25aと抵抗25bにより分圧され
て検出されたIGBT素子1のゲート−エミッタ間電圧
Vgeの検出値は基準電圧源26の電圧よりも大きいた
め、コンパレータ27はL信号を出力する。このため、ト
ランジスタ11cはオフとなり、電源11eから抵抗11fを
介してトランジスタ11aのベースに電流が流されるた
め、トランジスタ11aはオンする。従って、抵抗9aと
第2のゲート抵抗10の合成抵抗がゲート抵抗として使用
される。次いで、コレクタ電流Icの変化が急俊な第2
の期間においては、実施の形態6で述べたように、抵抗
25aと抵抗25bにより分圧されて検出されたIGBT素
子1のゲート−エミッタ間電圧Vgeの検出値は基準電
圧源26の電圧よりも小さいため、コンパレータ27はH信
号を出力する。このため、トランジスタ11cはオンとな
り、トランジスタ11aのベースへの電流供給が停止され
るため、トランジスタ11aはオフする。従って、第2の
ゲート抵抗10のみがゲート抵抗として使用される。この
結果、電圧サージに関係しない第1の期間においてはI
GBT素子1を低ゲート抵抗で高速に駆動してスイッチ
ング損失Pを低減し、かつ、電圧サージに関係する第2
の期間においてはIGBT素子1を高ゲート抵抗で低速
に駆動して電圧サージを抑制することができる。
【0050】以上、例として実施の形態2と実施の形態
6との組み合わせについて説明した。実施の形態1から
実施の形態9までの説明から明らかなように、実施の形
態1から実施の形態5、および、実施の形態6から実施
の形態9はそれぞれ等価な機能を有しているため、実施
の形態1から実施の形態5と実施の形態6から実施の形
態9との間のいかなる組み合わせにおいても上記の実施
の形態2と実施の形態6との組み合わせと同様の動作が
可能である。各組み合わせにおける個別の詳細な動作説
明は省略する。
【0051】実施の形態11.この発明の第11の実施の
形態の構成を図15に示す。図15において、11gはツェナ
ーダイオード、11hはダイオードであるその他の要素に
ついては、図14の実施の形態10と同じであるため説明は
省略する。
【0052】次に、動作について説明する。スイッチン
グ信号発生手段4がオン信号を出力すると、トランジス
タ5aがオン、トランジスタ5bがオフとなり、IGB
T素子1のゲートに第2のゲート抵抗10を介してオン用
直流電圧源2の電圧が印加され、IGBT素子1はオン
する。次いで、スイッチング信号発生手段4がオフ信号
を出力すると、トランジスタ5aがオフ、トランジスタ
5bがオンとなり、IGBT素子1のゲートに第2のゲ
ート抵抗10または第2のゲート抵抗10と抵抗9aとの合
成抵抗を介してオフ用直流電圧源3の電圧が印加され、
IGBT素子1はオフする。この際、まずコレクタ電流
Icの変化が緩慢な第1の期間においては、実施の形態
6で述べたように、IGBT素子1のゲート−エミッタ
間電圧Vgeがツェナーダイオード11gのツェナー電圧
を越えるようにツェナー電圧を設定する。この時、ツェ
ナーダイオード11gはオンし、抵抗9aと第2のゲート
抵抗10の合成抵抗がゲート抵抗として使用される。次い
で、コレクタ電流Icの変化が急俊な第2の期間におい
ては、実施の形態6で述べたように、IGBT素子1の
ゲート−エミッタ間電圧Vgeがツェナーダイオード11
gのツェナー電圧を越えないため、ツェナーダイオード
11gはオフする。従って、第2のゲート抵抗10のみがゲ
ート抵抗として使用される。この結果、電圧サージに関
係しない第1の期間においてはIGBT素子1を低ゲー
ト抵抗で高速に駆動してスイッチング損失Pを低減し、
かつ、電圧サージに関係する第2の期間においてはIG
BT素子1を高ゲート抵抗で低速に駆動して電圧サージ
を抑制することができる。
【0053】実施の形態12.この発明の第12の実施の
形態の構成を図16に示す。図16において、9は第1のゲ
ート抵抗、10aは直列接続により第2のゲート抵抗10と
等価な抵抗値を得るための抵抗である。その他の要素に
ついては、図11(d)の実施の形態7および図14の実施
の形態10と同じであるため説明は省略する。
【0054】次に、動作について説明する。スイッチン
グ信号発生手段4がオン信号を出力すると、トランジス
タ5aがオン、トランジスタ5bがオフとなり、IGB
T素子1のゲートに第1のゲート抵抗9と抵抗10aの合
成抵抗を介してオン用直流電圧源2の電圧が印加され、
IGBT素子1はオンする。次いで、スイッチング信号
発生手段4がオフ信号を出力すると、トランジスタ5a
がオフ、トランジスタ5bがオンとなり、IGBT素子
1のゲートに第1のゲート抵抗9または第1のゲート抵
抗9と抵抗10aの合成抵抗を介してオフ用直流電圧源3
の電圧が印加され、IGBT素子1はオフする。この
際、まずコレクタ電流Icの変化が緩慢な第1の期間に
おいては、実施の形態7で述べたように、IGBT素子
1のゲート電流Igが電流検出を兼ねる抵抗10aで生じ
る電圧降下がツェナーダイオード26aのツェナー電圧を
越えるようにツェナー電圧を設定する。この時、ツェナ
ーダイオード26aはオンするため、トランジスタ27もオ
ンし、第1のゲート抵抗9のみがゲート抵抗として使用
される。次いで、コレクタ電流Icの変化が急俊な第2
の期間においては、実施の形態7で述べたように、IG
BT素子1のゲート電流Igが電流検出を兼ねる抵抗10
aで生じる電圧降下がツェナーダイオード26aのツェナ
ー電圧を越えないため、ツェナーダイオード26aはオフ
する。従って、トランジスタ27もオフし、第1のゲート
抵抗9と抵抗10aの直列合成抵抗がゲート抵抗として使
用される。この結果、電圧サージに関係しない第1の期
間においてはIGBT素子1を低ゲート抵抗で高速に駆
動してスイッチング損失Pを低減し、かつ、電圧サージ
に関係する第2の期間においてはIGBT素子1を高ゲ
ート抵抗で低速に駆動して電圧サージを抑制することが
できる。
【0055】実施の形態13.この発明の第13の実施の
形態の構成を図17に示す。図17において、27aはトラン
ジスタ、27bはダイオードである。その他の要素につい
ては、図11(d)の実施の形態7および図16の実施の形
態12と同じであるため説明は省略する。
【0056】次に、動作について説明する。スイッチン
グ信号発生手段4がオン信号を出力すると、トランジス
タ5aがオン、トランジスタ5bがオフとなり、IGB
T素子1のゲートに第1のゲート抵抗9と抵抗10aと電
流検出抵抗28aの合成抵抗を介してオン用直流電圧源2
の電圧が印加され、IGBT素子1はオンする。次い
で、スイッチング信号発生手段4がオフ信号を出力する
と、トランジスタ5aがオフ、トランジスタ5bがオン
となり、IGBT素子1のゲートに第1のゲート抵抗9
または第1のゲート抵抗9と抵抗10aと電流検出抵抗28
aの合成抵抗を介してオフ用直流電圧源3の電圧が印加
され、IGBT素子1はオフする。この際、まずコレク
タ電流Icの変化が緩慢な第1の期間においては、実施
の形態7で述べたように、IGBT素子1のゲート電流
Igが電流検出抵抗28aで生じる電圧降下がトランジス
タ27aのベース−エミッタ間の閾値電圧とダイオード27
bの順方向電圧の和の電圧を越えるように電流検出抵抗
28aを設定する。この時、トランジスタ27aはオンし、
第1のゲート抵抗9のみがゲート抵抗として使用され
る。次いで、コレクタ電流Icの変化が急俊な第2の期
間においては、実施の形態7で述べたように、IGBT
素子1のゲート電流Igが電流検出抵抗28aで生じる電
圧降下がトランジスタ27aのベース−エミッタ間閾値電
圧とダイオード27bの順方向電圧の和の電圧を越えない
ため、トランジスタ27aはオフする。従って、第1のゲ
ート抵抗9と抵抗10aと電流検出抵抗28aの合成抵抗が
ゲート抵抗として使用される。この結果、電圧サージに
関係しない第1の期間においてはIGBT素子1を低ゲ
ート抵抗で高速に駆動してスイッチング損失Pを低減
し、かつ、電圧サージに関係する第2の期間においては
IGBT素子1を高ゲート抵抗で低速に駆動して電圧サ
ージを抑制することができる。
【0057】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、制御電
極に印加する電圧によって主電極間の導通状態を制御す
る絶縁ゲート形自己消孤素子の制御電極に接続される駆
動回路において、前記絶縁ゲート形自己消孤素子を駆動
する第1の駆動手段と、前記第1の駆動手段よりも低速
で前記絶縁ゲート形自己消孤素子を駆動する第2の駆動
手段と、前記第1の駆動手段と前記第2の駆動手段に信
号を供給するスイッチング信号発生手段と、前記第1の
駆動手段の出力と前記第2の駆動手段の出力とを切り換
えて前記制御電極に供給する切り換え手段と、前記制御
電極の電圧を低下させ前記主電極間を導通状態から非導
通状態に遷移させる際に前記主電極に流れる電流の変化
が緩慢な第1の期間からそれに続く電流の変化が急俊な
第2の期間に遷移する時の電流の減少開始点を検出する
電流減少開始点検出手段とを有し、前記電流減少開始点
検出手段の出力により、前記第1の期間において前記第
1の駆動手段を用い、前記第2の期間において前記第2
の駆動手段を用いるように前記切り換え手段を動作させ
るようにしたので、電圧サージに関係しない第1の期間
においてはIGBT素子1を高速で駆動してスイッチン
グ損失Pを低減し、かつ、電圧サージに関係する第2の
期間においてはIGBT素子1を低速で駆動して電圧サ
ージを抑制することができる。このため、電圧サージの
低減とスイッチング損失の低減が両立可能である。ま
た、この動作はIGBT素子1の特性に依存しないた
め、全てのIGBT素子に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1による半導体素子の
駆動回路を示す構成図である。
【図2】 この発明における電流減少開始点検出手段の
動作を説明する構成図である。
【図3】 この発明における電流減少開始点検出手段の
動作を説明する波形図である。
【図4】 この発明の実施の形態1による半導体素子の
駆動回路の動作を説明する波形図である。
【図5】 この発明の実施の形態2による半導体素子の
駆動回路を示す構成図である。
【図6】 この発明の実施の形態3による半導体素子の
駆動回路を示す構成図である。
【図7】 この発明の実施の形態4による半導体素子の
駆動回路を示す構成図である。
【図8】 この発明の実施の形態5による半導体素子の
駆動回路を示す構成図である。
【図9】 この発明の実施の形態6による電流減少開始
点検出手段を示す構成図である。
【図10】 この発明の実施の形態6から9による電流
減少開始点検出手段の動作を説明する波形図である。
【図11】 この発明の実施の形態7による電流減少開
始点検出手段を示す構成図である。
【図12】 この発明の実施の形態8による電流減少開
始点検出手段を示す構成図である。
【図13】 この発明の実施の形態9による電流減少開
始点検出手段を示す構成図である。
【図14】 この発明の実施の形態10による半導体素
子の駆動回路を示す構成図である。
【図15】 この発明の実施の形態11による半導体素
子の駆動回路を示す構成図である。
【図16】 この発明の実施の形態12による半導体素
子の駆動回路を示す構成図である。
【図17】 この発明の実施の形態13による半導体素
子の駆動回路を示す構成図である。
【図18】 従来の技術による半導体素子の駆動回路を
示す構成図である。
【図19】 従来の技術による半導体素子の駆動回路の
制御手段の動作を示すフローチャートである。
【図20】 従来の技術による半導体素子の駆動回路の
動作を示す波形図である。
【図21】 IGBT素子のスイッチング特性を示す説
明図である。
【符号の説明】
1 IGBT素子、2 オン用直流電圧源、3 オフ用
直流電圧源、3a 第1のオフ用直流電圧源、3b 第
2のオフ用直流電圧源、4 スイッチング信号発生手
段、5 オンオフ切り換え手段、9 第1のゲート抵
抗、10 第2のゲート抵抗、11 切り換え手段、1
2 第1の駆動手段、13 第2の駆動手段、14 電
流減少開始点検出手段、20 オン用直流電流源、21
第1のオフ用直流電流源、22 第2のオフ用直流電
流源、25 電圧検出手段、26 基準電圧源、27
比較手段、28 電流検出手段、29 微分手段、30
電圧調整手段。

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 制御電極に印加する電圧によって主電極
    間の導通状態を制御する絶縁ゲート形自己消孤素子の制
    御電極に接続される駆動回路において、前記絶縁ゲート
    形自己消孤素子を駆動する第1の駆動手段と、前記第1
    の駆動手段よりも低速で前記絶縁ゲート形自己消孤素子
    を駆動する第2の駆動手段と、前記第1の駆動手段と前
    記第2の駆動手段に信号を供給するスイッチング信号発
    生手段と、前記第1の駆動手段の出力と前記第2の駆動
    手段の出力とを切り換えて前記制御電極に供給する切り
    換え手段と、前記制御電極の電圧を低下させ前記主電極
    間を導通状態から非導通状態に遷移させる際に前記主電
    極に流れる電流の変化が緩慢な第1の期間からそれに続
    く電流の変化が急俊な第2の期間に遷移する時の電流の
    減少開始点を検出する電流減少開始点検出手段とを有
    し、前記電流減少開始点検出手段の出力により、前記第
    1の期間において前記第1の駆動手段を用い、前記第2
    の期間において前記第2の駆動手段を用いるように前記
    切り換え手段を動作させることを特徴とする半導体素子
    の駆動回路。
  2. 【請求項2】 制御電極に印加する電圧によって主電極
    間の導通状態を制御する絶縁ゲート形自己消孤素子の制
    御電極に接続される駆動回路において、前記制御電極に
    オン電圧を供給するオン用直流電圧源と、前記制御電極
    にオフ電圧を供給するオフ用直流電圧源と、前記オン用
    直流電圧源と前記オフ用直流電圧源とを切り換えるオン
    オフ切り換え手段と、前記オンオフ切り換え手段に信号
    を供給するスイッチング信号発生手段と、前記オンオフ
    切り換え手段に接続された第1のゲート抵抗と、前記オ
    ンオフ切り換え手段に接続され前記第1のゲート抵抗よ
    りも大きな抵抗値を有する第2のゲート抵抗と、前記第
    1のゲート抵抗と前記第2のゲート抵抗とを切り換えて
    前記制御電極に接続する切り換え手段と、前記制御電極
    の電圧を低下させ前記主電極間を導通状態から非導通状
    態に遷移させる際に前記主電極に流れる電流の変化が緩
    慢な第1の期間からそれに続く電流の変化が急俊な第2
    の期間に遷移する時の電流の減少開始点を検出する電流
    減少開始点検出手段とを有し、前記電流減少開始点検出
    手段の出力により、前記第1の期間において前記第1の
    ゲート抵抗を用い、前記第2の期間において前記第2の
    ゲート抵抗を用いるように前記切り換え手段を動作させ
    ることを特徴とする半導体素子の駆動回路。
  3. 【請求項3】 制御電極に印加する電圧によって主電極
    間の導通状態を制御する絶縁ゲート形自己消孤素子の制
    御電極に接続される駆動回路において、前記制御電極に
    オン電圧を供給するオン用直流電圧源と、前記制御電極
    にオフ電圧を供給する第1のオフ用直流電圧源と、前記
    制御電極にオフ電圧を供給し前記第1のオフ用直流電圧
    源よりも小さい電圧を有する第2のオフ用直流電圧源
    と、前記第1のオフ用直流電圧源と前記第2のオフ用直
    流電圧源とを切り換える切り換え手段と、前記オン用直
    流電圧源と前記第1の切り換え手段の出力とを切り換え
    るオンオフ切り換え手段と、前記オンオフ切り換え手段
    に信号を供給するスイッチング信号発生手段と、前記オ
    ンオフ切り換え手段と前記制御電極との間に接続された
    ゲート抵抗と、前記制御電極の電圧を低下させ前記主電
    極間を導通状態から非導通状態に遷移させる際に前記主
    電極に流れる電流の変化が緩慢な第1の期間からそれに
    続く電流の変化が急俊な第2の期間に遷移する時の電流
    の減少開始点を検出する電流減少開始点検出手段とを有
    し、前記電流減少開始点検出手段の出力により、前記第
    1の期間において前記第1のオフ用直流電圧源を用い、
    前記第2の期間において前記第2のオフ用直流電圧源を
    用いるように前記切り換え手段を動作させることを特徴
    とする半導体素子の駆動回路。
  4. 【請求項4】 制御電極に印加する電圧によって主電極
    間の導通状態を制御する絶縁ゲート形自己消孤素子の制
    御電極に接続される駆動回路において、前記制御電極に
    電流を流し込むオン用直流電流源と、前記制御電極から
    電流を流し出す第1のオフ用直流電流源と、前記制御電
    極から電流を流し出し前記第1のオフ用直流電流源より
    も電流値の小さい第2のオフ用直流電流源と、前記第1
    のオフ用直流電流源と前記第2のオフ用直流電流源とを
    切り換える切り換え手段と、前記オン用直流電流源と前
    記第1の切り換え手段の出力とを切り換え前記制御電極
    に接続するオンオフ切り換え手段と、前記オンオフ切り
    換え手段に信号を供給するスイッチング信号発生手段
    と、前記制御電極の電圧を低下させ前記主電極間を導通
    状態から非導通状態に遷移させる際に前記主電極に流れ
    る電流の変化が緩慢な第1の期間からそれに続く電流の
    変化が急俊な第2の期間に遷移する時の電流の減少開始
    点を検出する電流減少開始点検出手段とを有し、前記電
    流減少開始点検出手段の出力により、前記第1の期間に
    おいて前記第1のオフ用直流電流源を用い、前記第2の
    期間において前記第2のオフ用直流電流源を用いるよう
    に前記切り換え手段を動作させることを特徴とする半導
    体素子の駆動回路。
  5. 【請求項5】 制御電極に印加する電圧によって主電極
    間の導通状態を制御する絶縁ゲート形自己消孤素子の制
    御電極に接続される駆動回路において、前記制御電極に
    オン電圧を供給するオン用直流電圧源と、前記制御電極
    にオフ電圧を供給するオフ用直流電圧源と、前記オン用
    直流電圧源と前記オフ用直流電圧源とを切り換えるオン
    オフ切り換え手段と、前記オンオフ切り換え手段に信号
    を供給するスイッチング信号発生手段と、前記オンオフ
    切り換え手段と前記制御電極の間に接続されたゲート抵
    抗と、前記制御電極に接続された切り換え手段と、前記
    切り換え手段と前記主電極の一端の間に接続されたコン
    デンサと、前記切り換え手段と並列に接続された電圧調
    整手段と、前記制御電極に印加する電圧を低下させ前記
    主電極間を導通状態から非導通状態に遷移させる際に前
    記主電極に流れる電流の変化が緩慢な第1の期間からそ
    れに続く電流の変化が急俊な第2の期間に遷移する時の
    電流の減少開始点を検出する電流減少開始点検出手段と
    を有し、前記電流減少開始点検出手段の出力により、前
    記第2の期間において前記制御電極と前記コンデンサが
    接続されるように前記切り換え手段を動作させることを
    特徴とする半導体素子の駆動回路。
  6. 【請求項6】 前記電流減少開始点検出手段が、前記絶
    縁ゲート形自己消孤素子の制御電極の電圧を検出する電
    圧検出手段と、基準電圧源と、前記電圧検出手段の出力
    と前記基準電圧源の出力とを比較する比較手段とから成
    ることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載
    の半導体素子の駆動回路。
  7. 【請求項7】 前記電流減少開始点検出手段が、前記絶
    縁ゲート形自己消孤素子の制御電極に流れる電流を検出
    する電流検出手段と、基準電圧源と、前記電流検出手段
    の出力と前記基準電圧源の出力とを比較する比較手段と
    から成ることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか
    に記載の半導体素子の駆動回路。
  8. 【請求項8】 前記電流減少開始点検出手段が、前記絶
    縁ゲート形自己消孤素子の制御電極の電圧を検出する電
    圧検出手段と、前記電圧検出手段の出力を微分する微分
    手段と、基準電圧源と、前記微分手段の出力と前記基準
    電圧源の出力とを比較する比較手段とから成ることを特
    徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の半導体素
    子の駆動回路。
  9. 【請求項9】 前記電流減少開始点検出手段が、前記絶
    縁ゲート形自己消孤素子の制御電極を流れる電流を検出
    する電流検出手段と、前記電流検出手段の出力を微分す
    る微分手段と、基準電圧源と、前記微分手段の出力と前
    記基準電圧源の出力とを比較する比較手段とから成るこ
    とを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の半
    導体素子の駆動回路。
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