JP2001217697A - 半導体素子の駆動装置及びその制御方法 - Google Patents

半導体素子の駆動装置及びその制御方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】パワー半導体素子が電流を手段或いは導通する
際に生じるサージ電圧を抑制する駆動装置並びにその制
御方法を提供する。 【解決手段】主電流を通流或いは遮断するパワー半導体
素子の駆動装置において、制御電圧に応じて第1の抵抗
を変化させる第1の抵抗可変手段と、第1及び第2端子
間の電圧に応じて第2の抵抗を変化させる第2の抵抗可
変手段を備え、制御電源の電圧或いは第1及び第2端子
間の電圧のいずれか一方を第1の抵抗と第2の抵抗で分
圧すると共に、分圧された電圧を主電流の通流或いは遮
断時に制御ゲート端子に印加する。 【効果】本発明によれば、それぞれ制御電圧と入出力端
子間電圧に応じて変化する第1,第2の抵抗可変手段で
分圧したゲート電圧をパワー半導体素子に印加すること
で電流下降期間に生じるサージ電圧を安定に抑制低減で
きる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体素子の駆動装
置に係わり、特に半導体素子が電流を通流,遮断する過
渡時に発生する過電圧を抑制させる駆動装置とその制御
方法に関する。
【0002】
【従来の技術】電気自動車等、電池を電源とする電力変
換システムでは、電池と負荷(モータ等)の間にインバ
ータなどの電力変換装置を備えており、電力変換装置に
使用するパワー半導体素子としては、電圧が低い場合は
パワーMOSFET、高い場合にはIGBTが用いられ
る。パワーMOSFETやIGBTはいずれも電圧駆動
型素子であり、低損失化の要求から一層の低オン抵抗化
が望まれる。電圧駆動型のパワー半導体素子はそのオン
抵抗が素子の表面付近に形成されゲート電圧に応じて電
流を制限するチャネル部の抵抗と、素子のオフ時に空乏
層を形成する半導体基板部の抵抗の和で決まる。チャネ
ル部の抵抗は微細化で減少するが、基板部の抵抗は素子
の耐電圧で決まり、オフ時に素子に印加される電圧を低
減しない限り抵抗を下げることはできない。一方、電源
の電圧を下げてパワー半導体素子の電圧を低減しようと
しても、負荷への電力供給が一定であれば逆に素子に流
れる電流が増加する。この場合、大電流を高速に遮断す
る為、サージ電圧(或いはスパイク電圧と呼ぶ)が増大
する結果を招く。そこで、過渡的なサージ電圧をスナバ
回路やゲート駆動回路等の回路的な対策で抑制し、持続
的に印加される電源電圧は電源電圧を下げることで素子
の耐電圧を低減することが考えられる。
【0003】素子がターンオン或いはターンオフする際
に発生するサージ電圧を抑制する回路手法の一例として
特開平6−291631号公報に開示される駆動回路が
ある。この回路は電圧駆動型パワー半導体素子の入力−
出力端子間の電圧を検出し、この検出値に応じてゲート
抵抗を変化させ、素子のゲート電圧が増加或いは減少す
る速度を遅くする。電圧駆動型のパワー半導体素子はゲ
ート電圧により通流可能な電流を制限する飽和特性を持
ち、ゲート電圧の増加或いは減少を抑制すれば電流のス
イッチング速度もまた緩和される。素子の各端子間には
寄生容量を有するが、特に入力端子とゲート端子間の帰
還容量は過渡時において、ゲート電流により充電或いは
放電の時間が制限される為、前述の従来技術はこの性質
を利用してスイッチング時の電圧変化(dV/dt)も
緩和している。このようにして電流変化(di/d
t)、或いは電圧変化(dV/dt)が緩和されると、
di/dt,dV/dtが招くサージ電圧も低減する。
特開平6−291631号公報には入力−出力端子間の
電圧と共にゲート電圧を検出し、この検出結果に応じて
ゲート抵抗を変化させる手段も記載されている。本従来
技術に関連した論文が平成7年電気学会産業応用部門全
国大会論文誌No.88「IGBT駆動用ソフトスイッチ
ングゲート駆動回路の検討」に記載されている。本論文
に記載された駆動回路は、ターンオフ時にまず、スイッ
チング素子の入力−出力端子間の電圧を検出し、ゲート
抵抗を小から大へと変化させる。続いてゲート電圧を検
出しゲート抵抗を大から小と変化させる。この駆動回路
によりスイッチング時のサージ電圧は抑制されたが、オ
ン及びオフ時に電圧と電流波形がオーバーラップする期
間が長くなり、従来のゲート駆動回路を使用した場合に
比べてスイッチング損失が大幅に増加することが報告さ
れている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】前述の従来技術の問題
点を説明するため、電圧駆動型パワー半導体素子のター
ンオフ動作を次の4つの期間に分ける。尚、ここではモ
ータなど誘導性の負荷を対象にしている。 ゲート電圧放電期間;オフ信号の印加により抵抗を介
してゲート電流が流れ、ゲートに蓄積した電荷を放電す
る期間である。ゲート電圧はゲート容量と抵抗の積を時
定数とする指数関数に従って時間と共に減少する。この
期間中の入力−出力端子間の主電流及び電圧はオン時の
値を維持している。 電圧上昇期間;素子は飽和動作に入り、ゲート電流に
よって帰還容量が充電され、この充電程度に応じて入力
−出力端子間の電圧が増加する期間である。ゲート電流
は帰還容量の充電に使われる為、この期間中にゲート電
圧はほぼ一定の値となる。帰還容量は電圧依存性を持
ち、入力−出力端子間の電圧に応じて減少する為、入力
−出力端子間の電圧増加は途中から速くなる。 電流下降期間;入力−出力端子間の電圧が電源電圧に
到達した時点から主電流が減少を始める。主電流が減少
し始めてから完全にゼロになるまでの期間を電流下降期
間と呼ぶ。帰還容量充電期間の終了時点からゲート電圧
は再び減少し、主電流はこのゲート電圧の瞬時値に応じ
て減少する。 オフ定常期間;ゲート電圧はしきい値以下まで減少
し、パワー半導体素子が電流を遮断する状態に維持され
ている期間である。
【0005】前述の従来技術の場合は、ゲート電圧放電
期間はゲート抵抗値を小さくし、電圧上昇期間の途中で
入力−出力端子間の電圧が増加したことを検出しゲート
抵抗値を増加させる。そして電圧上昇期間と電流下降期
間にはゲート抵抗値を大きい値に維持させる。次にゲー
ト電圧を検出してこの値がしきい値電圧以下になったこ
とでオフの定常状態に入ったことを検知し、ゲート抵抗
を再び小さい値にする。
【0006】一般的なゲート駆動回路では、ゲート電圧
放電期間の開始からオフ定常期間の終了までゲート抵抗
は小さく一定値であり、電圧上昇期間及び電流下降期間
はそれぞれ数十から百ns程度と短い。一方、前記従来
技術で電圧上昇期間にゲート抵抗値が小から大へと変化
すると、電圧上昇期間及び電流下降期間はそれぞれ約1
〜数μs程度に伸びる。しかしながら、検出或いは動作
上の時間遅延があると、ゲート抵抗を小から大へ増加さ
せる動作が間に合わなくなる。この場合、ゲート抵抗が
小さい状態で電流を遮断する為、電流変化(di/d
t)によりサージ電圧が発生する。このようにサージ電
圧が抑制できない事態もあることが第一の問題点であ
る。
【0007】第二の問題は遅延時間の増加である。PW
M(パルス幅変調)制御方式のインバータで搬送波の周
波数を数kHzとすれば、インバータ上下素子の非ラッ
プ時間は一般的に5μsが上限であり、上記のように電
圧上昇期間だけで3〜5μsになってしまうとPWM制
御には適さなくなる。
【0008】また、ゲート抵抗値の増加により電圧上昇
期間から電流下降期間におけるスイッチング損失は増加
するが、サージ電圧を抑制しつつ同時にスイッチング損
失をできる限り小さくすることが第3の問題である。
【0009】更に誘導性負荷に対してはパワー半導体素
子の入出力端子間に還流用のダイオードを設けるが、こ
のダイオードが逆回復する際のサージ電圧を抑制するこ
とは困難であった。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の問題点を
考慮してなされたものである。
【0011】本発明による駆動装置は、主電流の入出力
に係わる第1及び第2端子と制御ゲート端子を具備する
パワー半導体素子と、入力信号に応じて制御ゲート端子
に制御電源から供給される制御電圧を印加或いは除去す
る駆動回路手段を備え、主電流を通流或いは遮断するパ
ワー半導体素子の駆動装置であって、制御電圧に応じて
抵抗値を変化させる第1の抵抗手段を具備し、入力信号
に応じて第1の抵抗手段に電流を通流,遮断するスイッ
チ手段を備えた第1の抵抗可変手段と、第1及び第2端
子間の電圧に応じて通流可能な電流を制限させる第2の
抵抗手段を具備した第2の抵抗可変手段を備え、記制御
電源の電圧或いは第1及び第2端子間の電圧のいずれか
一方を第1の抵抗手段と第2の抵抗手段で分圧すると共
に、分圧された電圧を主電流の通流或いは遮断時に制御
ゲート端子に印加する。
【0012】ここで、第1の抵抗可変手段は、制御ゲー
ト端子と第2端子間に接続される第1の抵抗手段と、入
力信号に応じて第1の抵抗手段に電流を通流,遮断する
スイッチ手段と、制御ゲート端子と第2端子間の電圧を
検出する第1の電圧検出手段と、第1の電圧検出手段の
出力に応じて第1の抵抗手段の抵抗値を変化させる第1
の抵抗制御手段とを備える。或いは第1の抵抗手段は、
制御ゲート端子と第2端子間に接続される抵抗器と、該
抵抗器に並列に接続される容量手段を備える。
【0013】第2の抵抗可変手段は、第1,第2端子間
の電圧を検出する第2の電圧検出手段と、第2の電圧検
出手段の出力と予め設定した基準値の差を比較する増幅
手段と、増幅手段の出力に応じて第2の抵抗手段の抵抗
値を変化させる第2の抵抗制御手段を備える。また、第
1及び第2端子間に接続されるツエナーダイオードを第
2の抵抗手段として備え、第1の抵抗手段とツエナーダ
イオードの端子間電圧で分圧された第1及び第2端子間
の電圧を制御ゲート端子に印加する構成でも良い。更に
増幅手段の出力を制限する制限手段を備えても良い。
【0014】上述した本発明による駆動装置の制御方法
においては、第1の抵抗制御手段の利得、又は増幅手段
に具備する基準値、或いは第2の抵抗制御手段の利得の
少なくとも1つを調整することにより、制御電圧の時間
変化を所望する特性に制御することができる。
【0015】半導体素子の駆動装置の本発明による他の
制御方法においては、制御ゲート端子と、主電流の入出
力に係わる第1及び第2端子を有すると共に、該第1,
第2端子間にダイオードを具備するパワー半導体素子
に、制御電圧を印加或いは除去して前記主電流を通流或
いは遮断するパワー半導体素子の制御方法であって、制
御電圧を除去する過程において制御ゲート端子と第2端
子間に具備した抵抗を所定の値まで増加させ、ダイオー
ドの逆回復時に第1端子から制御ゲート端子に流れ込む
変位電流と前記抵抗で生じる電圧降下を、パワー半導体
素子のゲートしきい値電圧と同等な値にすることで還流
ダイオードが逆回復する際のサージ電圧を抑制する。
【0016】電池を電源とし、電池からコンデンサを経
由してパワー半導体素子に主電流を供給する際の本発明
による駆動装置の制御方法においては、コンデンサとパ
ワー半導体素子を含む閉回路内に存在する配線の寄生イ
ンダクタンスの合計値をL、コンデンサの静電容量を
C、パワー半導体素子が出力する主電流の瞬時値をI、
この電流の実効値をIav、電池の開路電圧をVb、電池
の内部抵抗をRb、増幅手段の基準値或いはツエナーダ
イオードによって決まるパワー半導体素子の電圧クラン
プ値をVcとして、パワー半導体素子が電流を遮断する
時間tfを tf=L×I/(Vc−Vb+Rb×Iav) のように定め、主電流の瞬時最大値に対して時間tfが
Rb×Cで決まる時定数の10%以下になるよう基準値
或いはツエナーダイオードを設定することでより良好な
サージ電圧抑制効果が得られる。
【0017】更に、パワー半導体素子が、それらが少な
くとも2ケ直列に接続されるインバータ部を構成し、イ
ンバータ部をPWM制御させるためにPWM信号発生部
によって駆動装置に制御信号を供給する場合、前記した tf=L×I/(Vc−Vb+Rb×Iav) の関係から電流遮断時間tfを演算すると共に、PWM
信号発生部の出力にtfより長い非ラップ時間を設ける
ことで必要最小限の遅延時間を求めることができる。
【0018】
【発明の実施の形態】以下、本発明の第1実施例として
図1から図3を参照して説明する。図1は本発明の駆動
装置を備えたパワー半導体素子を含む電力変換装置の構
成を表している。主回路は電源VBの正極と負極間にパ
ワーMOSFET(例Q1)とその内蔵ダイオード(例
QD1)からなるパワー半導体素子6ケを3相ブリッジ
に接続し、一般的な3相インバータの構成となってい
る。各相の出力端子はU,V,WでありモータMに接続
している。パワーMOSFET Q1〜Q6にはそれぞ
れ駆動装置1を備えている。駆動装置1の内部構成とし
て、制御電源Vccの正極とQ1のゲート端子間にPチャ
ンネルMOSFET M1及び抵抗R1を直列に接続し
たゲート充電手段を備える。PWM制御装置5から駆動
装置1に備えた制御回路4に駆動信号が送られ、制御回
路4はQ1に対するオン信号Sonとオフ信号Soff を作
成する。オン信号SonがM1のゲート端子に与えられる
とM1がオンし、R1を介してQ1にゲート電流を供給
し、Q1のゲート・ソース端子間の入力容量Cgsを充電
する。鎖線で囲んだ領域2が第1の抵抗可変手段であ
り、抵抗R2、NチャンネルMOSFET M4及びM
2を直列に接続した第1のゲート放電回路をQ1のゲー
トとソース端子間に並列に備え、この第1のゲート放電
回路に並列に抵抗R3、NチャンネルMOSFET M
3を直列に接続した第2のゲート放電回路を備える。こ
こで、M2とM3はゲート端子が共通接続であり、ゲー
ト端子に制御回路4から伝達されるオフ信号Soff が与
えられるとオン状態となる。また第1の抵抗可変手段2
の内部には、制御電源Vccの正極と負極間に抵抗R5と
R6を直列に接続し両抵抗の接続点がカソード、Q1の
ゲート端子がアノードとなる極性に接続されたダイオー
ドD1を備える。抵抗R5,R6及びD1でNチャンネ
ルMOSFET M4に関するバイアス回路を構成して
いる。このバイアス回路は、VccをR5とR6で分圧し
た電圧(V1と定義する)とQ1のゲート・ソース間電
圧Vgsを比較して大きい方の電圧をM4のゲートに印加
する。信号SoffがM2,M3に入力されるとこれらの
素子はオンするが、Soffが印加された直後は、分圧値
V1よりQ1のゲート・ソース間電圧Vgsが大きく、こ
の値がM4のゲートに印加される。Vgsと等しい電圧の
供給を得て、M4のオン抵抗は小さい値となる。先に定
義した第1のゲート放電回路(R2,M4,M2)の合
成抵抗をRT1とし、第2のゲート放電回路(R3,M
3)の合成抵抗をRT2とすれば、M4のゲート電圧が
ほぼVgsの定格値に近い条件では、RT1がRT2より
小さくなるよう選定する。この時のRT1/RT2の比
率は10分の1以下が望ましい。
【0019】次に破線で囲んだ領域3が第2の抵抗可変
手段であり、その内部にはVccの正極とQ1のゲート端
子間に直列接続したPチャンネルMOSFET M5と
抵抗R4からなるゲート充電回路を備え、抵抗R4には
並列にキャパシタC1を設ける。またQ1ノードレイン
端子とソース端子間に抵抗R7とR8で構成する分圧手
段を備え、Q1ノードレイン・ソース間電圧Vdsを分圧
した値(V2)を得る。ここでR8には並列にツエナー
ダイオードZD1を接続し、上記V2の上限値をZD1
の降服電圧までとする。また、R7には並列にキャパシ
タC2を接続し、Vdsの過渡的な変化に対してはC2の
インピーダンスとR8で分圧値を決め、Vdsがその後、
定常値に落ち着くとR7とR8で分圧値V2が決まるよ
うにしている。このようなキャパシタC2の働きをスピ
ードアップコンデンサと呼ぶ。先に延べたR4に並列な
キャパシタC1もスピードアップコンデンサとして働
く。即ち、M5がオンした瞬間にはC1のインピーダン
スで抵抗R4オーバーイパスさせている。分圧値V2と
基準値Vref はそれぞれ増幅器6の(−)入力端子と
(+)入力端子に入力する。増幅器6では分圧値V2が
基準値Vref を超えて増加すると出力の電位が下がり、
その結果PチャンネルMOSFET M5がオンする。
【0020】増幅器6の詳細な構成を図3に示す。基本
は差動増幅器であり、抵抗R9とNチャンネルMOSF
ET M6とM7のカレントミラー回路で定電流源を作
っており、差動部を構成するNチャンネルMOSFET
M8とM9の電流合計値は定電流に等しい。一般的な
差動増幅器ではM8ノードレイン端子とM9ノードレイ
ン端子はカレントミラー型の負荷が接続されており、増
幅器の利得を高くとれるようになっている。一方、図3
の構成ではM8ノードレイン側には負荷抵抗がなく、M
9ノードレイン側にのみ抵抗R10を設けている。前述
の定電流をM8のオン抵抗(基準値Vref に依存する)
とM9のオン抵抗(基準値V2に依存する)にR10を
加算した合成抵抗の2つで分流する形となり利得が小さ
く、M5のゲート電圧は分圧値V2と基準値Vref の差
電圧に応じて線形的に増加する特性にしている。図1の
実施例は後述するように、制御電圧Vccを第1抵抗可変
手段と第2抵抗可変手段で分圧してQ1のゲート端子に
印加し、Q1のゲート電圧Vgsの時間的な変化を抑制す
ることでスイッチング時のサージ電圧を抑制する。この
場合に第1抵抗可変手段或いは第2抵抗可変手段の利得
(Vgs或いはVdsの検出値に対する抵抗の変化率)が高
すぎると、Q1の電圧Vds及びVgsが振動的になる。そ
こで、これらの利得は適度に小さいことが望ましく、図
3はその一例である。
【0021】次に図1及び図3の実施例によるサージ電
圧抑制効果を図2の動作波形を用いて説明する。
【0022】図2はQ1への駆動指令に対するQ1のゲ
ート・ソース間電圧Vgs(Q1),ゲート電流Igs(Q
1)、ドレイン・ソース間電圧Vds(Q1)、ドレイン
電流Ids(Q1)の各波形と、M2及びM3のオン,オ
フ動作、並びにM4のオン抵抗Ron(M4),M5のオ
ン抵抗Ron(M5)の時間的変化を表わしている。時刻
t1からt2まではQ1はオン状態にあり、t2以降t
7までがオフ動作である。時刻t2において図示してい
ないがM1がオフし、図2のようにM2とM3がオンす
る。ここでt2以前のオン状態ではVgs(Q1)は制御
電圧Vccとほぼ等しい電圧値まで充電されており、M2
がオンするとM4のゲート・ソース間にはVgs(Q1)
とほぼ等しいゲート電圧が印加される。この結果、M4
のオン抵抗Ron(M4)は非常に小さい値まで減少す
る。抵抗R2とRon(M4)及びM2のオン抵抗の和は
抵抗R3とM3のオン抵抗の和に比べて前述のように1
/10以下であると仮定すると、抵抗R2とRon(M
4)及びM2のオン抵抗の和がゲート電圧の放電抵抗と
なり、Q1のゲート・ソース間に蓄積した電荷は急速に
放電される。これがt2〜t3の期間であり、前述のゲ
ート電圧放電期間に相当する。この時、Q1のゲート電
流Igs(Q1)はターンオフ動作中、最大の電流値にな
る。
【0023】次にt3以降になるとQ1のゲート電圧V
gs(Q1)が減少した結果、M4のゲート電圧も減少し
そのオン抵抗Ron(M4)はVgs(Q1)の減少に依
存して高くなる。図2には図示していないが、図1中の
電圧V1が低下するためである。また、Ron(M4)
の増加に伴いIgs(Q1)は低下する。この状態がt3
〜t4の期間に継続され、途中、帰還容量がIgs(Q
1)により充電され、ドレイン・ソース間電圧Vds
(Q1)が増加する。これが電圧上昇期間に相当する。
Vgs(Q1)が或る電圧(例えば制御電圧Vccの1/2
から1/3以下)より小さくなるとRon(M4)の増加
も著しくなり、抵抗R2とRon(M4)及びM2のオ
ン抵抗の和は抵抗R3とM3のオン抵抗の和に対し10
倍以上に増加するようM4の電流特性を選ぶ。この結
果、t3の期間途中からQ1のゲート・ソース間抵抗は
ほぼ抵抗R3とM3のオン抵抗の和に等しくなり、更
に、M3のオン抵抗はR3の抵抗値に比べて十分小さく
選ぶことから、Q1のゲート・ソース間抵抗としては抵
抗R3のみを考慮すれば良い。尚、ドレイン・ソース間
電圧Vds(Q1)の時間変化(dV/dt)はRon(M
4)の増加に伴い小さくなる。
【0024】電圧上昇期間の途中でVds(Q1)をR7
とR8で分圧した値V2が基準値Vref以上になると、
増幅器6によって(V2−Vref)の差電圧に応じた出力
電圧がM5のゲート電圧として印加されM5がオンす
る。M5がオンした時刻をt4とする。図2では分圧値
V2と基準値Vrefがほぼ等しくなる際のVds(Q1)
がほぼ主電源の電圧VBに等しくなるよう、Vrefの値
を選んでいる。ここで、本実施例ではt3〜t4の期間
中にまず、Q1のゲート電圧Vgs(Q1)に応じてM4
のオン抵抗Ron(M4)が増加するが、この効果として
Q1のゲート放電抵抗値が増加し、Q1の帰還容量の充
電電流(Igs(Q1))が減り、帰還容量の充電は遅く
なる。これはドレイン・ソース間電圧Vds(Q1)の
電圧上昇も遅くなることを意味しており、前述の公知例
のように電圧上昇が速すぎてVds(Q1)の検出に遅延
が生じることを防いでいる。またスピードアップコンデ
ンサC2の効果で分圧電圧V2の増加も速くなってお
り、これもVds(Q1)の検出遅延の短縮化に寄与して
いる。更に、M5がオンした直後、スピードアップコン
デンサC1によってM5の直列インピーダンスが一瞬小
さくなるが、これも抵抗可変手段の動作遅延を短縮化さ
せる効果がある。
【0025】t4〜t6までの期間は第1の抵抗可変手
段2と第2の抵抗可変手段3がいずれも動作している。
第1の抵抗可変手段はQ1のゲート・ソース間に抵抗R
2とRon(M4)及びM2のオン抵抗の和と抵抗R3と
M3のオン抵抗の和をそれぞれ、並列に合成した値RT
1を有し、一方の第2の抵抗可変手段は抵抗R4とRon
(M5)の和で決まる値RT2を有するため、Q1のゲ
ート電圧は制御電源VccをRT1とRT2で分圧した値
になる。この値をVoと仮定すると、t5〜t6の電流
下降期間において電流変化(di/dt)がサージ電圧
を発生させようとしても、Vds(Q1)の増加に対し増
幅器の働きでRon(M5)が更に減少して、Voを増加
させる動作が働く。Voが増加するとQ1の過渡的なイ
ンピーダンスが低くなり、電流遮断が抑制される傾向に
働く。このようにして、第1の抵抗可変手段と第2の抵
抗可変手段の分圧とはゲート電圧Vgs(Q1)とドレイ
ン電圧Vds(Q1)をそれぞれ検出し、Vgs(Q1)が
安定な値Voになるようフィードバック制御させる効果
を持つ。この効果により電流変化(di/dt)は抑制
され、サージ電圧は最小限に抑えられる。図1には図示
していないが、主電源VBからQ1に電流を供給する配
線の寄生インダクタンスをLs、Q1が遮断する主電流
の瞬時値をI、サージ電圧を含むVgs(Q1)の最大値
をVcとすれば、Q1が電流Iを遮断するために要する
時間tfは Ls・di/dt=Vc−VB (1) の関係があり、また、di/dtを線形近似すると tf=Ls×I/(Vc−VB) (2) で表わすことができる。このtfがt5〜t6の時間に
等しく、この時間にはドレイン電圧Vds(Q1)とドレ
イン電流Ids(Q1)の重なりが生じターンオフ損失と
なるが、その値は配線の寄生インダクタンスLsに貯え
られた電磁エネルギ−に等しい。この電磁エネルギーは
ターンオフ時に必ず発生することから、ターンオフ損失
も必要最小限に抑制されていると言える。
【0026】図2で時刻t7以降はターンオン動作であ
るが、図1の実施例はQ1のターンオン時には特別な働
きはせず、従来の駆動装置と同様にM1のオンにより抵
抗R1を介してQ1のゲート・ソース間に電流を供給
し、ゲート電圧を増加させる。この時、Q2に並列に設
けられた還流ダイオードQD2が逆回復するが、このダ
イオードの逆回復時に発生するサージ電圧も本発明の駆
動装置1で抑制することが可能である。この説明は図4
と図5を用いて詳細に述べる。
【0027】図4はダイオードQD2が逆回復する際の
状態を説明する図である。図4に記載した回路部品で図
1と同一のものには同じ記号を記載しており、説明は省
略する。図1と異なる点として、3相インバータの各パ
ワー半導体素子をQ1,Q2、及びQ4の3つしか記載
していないが、これはQD2の動作を説明する為に必要
な素子のみを記載し残りを省略しただけであり、正確な
構成は図1と同じである。図4でQ2のゲート・ソース
間には抵抗R3しか接続していないが、実際の構成は図
1のQ1に対する駆動装置1と同じである。図4でQ2
がオフ、QD2に電流が流れている還流状態を想定する
と、Q2のゲート・ソース間電圧はほぼ零であることか
ら図1で述べたM4はそのオン抵抗が高抵抗状態にあ
る。また、前述のようにM3のオン抵抗をR3の抵抗値
に比べて十分小さく選んでいる為、QD2が還流状態に
ある場合のQ2のゲート・ソース間抵抗としては抵抗R
3のみを考慮すれば良い。尚図4で新規に記載した部品
としてLsがあるが、LsはQ2のゲート主電源VBの
正極とQ2及びQ4ノードレイン端子をつなぐ配線の寄
生インダクタンスである。また負荷は図1ではモータM
であったが、図4では誘導性負荷として記載している。
【0028】図5にはダイオードQD2が逆回復する際
の動作説明と、動作波形をそれぞれ示す。まず、図5
(a)は従来の駆動装置を用いた場合である。図5
(a)の抵抗R3は本発明のR3に比べて抵抗値が1/
10以下とする。従来の駆動装置では図2に示したt2
期間のターンオフ開始からt7期間のオフ定常の終了ま
でゲート抵抗が変化せず、一般的にオフゲート抵抗はt
2〜t3期間に大きなゲート電流を流すことを目的に選
定される為である。図5(b)に従来の駆動装置におけ
る動作波形を示すが、還流電流I(QD2)はQD2の
アノードからカソードに向かう極性を正として表示して
いる。図5(b)でI(QD2)が減少し、やがて零以下
になるがQD2に蓄積された電子とホールを全て排出す
るまでは逆極性の電流が流れる。これが逆回復と呼ばれ
る現象である。逆回復電流はピークに達した時点以降減
少し始め、QD2にはカソードを正とする逆電圧(図中
のVQ2)が印加される。この逆電圧は図5(b)に示
したように電圧変化(dV/dt)が大きく、かつスパ
イク電圧が重畳する。このスパイク電圧は寄生インダク
タンスLsと逆回復電流が減少する際の電流変化(dI
/dt)により発生する。このように(dV/dt)が
大きく、かつスパイク電圧が重畳した電圧VQ2により
Q2ノードレイン・ゲート間帰還容量を充電する電流が
流れ、この充電電流はR3を介してQ2のソースへと向
かう。従来の駆動装置では抵抗R3が小さい為、帰還容
量の充電電流がR3で発生させる電圧降下は小さく、一
般的にこの電圧降下はQ2のゲートしきい値電圧以下に
なるよう抵抗R3の値を選定していた。
【0029】図5(c)には本発明の駆動装置を用いた
場合の動作を示す。QD2が逆回復し電圧変化(dV/
dt)の大きい電圧VQ2が発生するまでの現象は従来
の場合と同じである。ここで、電圧VQ2によりQ2の
帰還容量を充電する電流が流れ、この充電電流がR3に
電圧降下を発生させる場合、本発明では抵抗R3が従来
に比べ10倍以上大きい為、Q2のゲート・ソース間に
は図5(d)に示すような電圧が生じる。この電圧のピ
ーク値はQ2のゲートしきい値電圧よりわずかに大きく
なるようにR3の値を決めておく。この結果、MOSF
ETQ2は一瞬、オンして図5(c)に示すようなドレ
インからソースに向かう電流が流れる。オンしたMOS
FETQ2はゲート電圧が十分大きくない為、その抵抗
は図2のt1〜t2期間と比べて大きいが、図5(a)
の従来でオフ状態にある場合に比べるとはるかに小さい
値になる。そして、QD2の逆回復電流に加えてQ2の
電流が流れる為、図5(d)の電流I(QD2)は図5
(b)に比べて導通期間が長く、かつ電流変化(dI/
dt)は小さくなっている。このようにして(dI/d
t)が小さくなると、図5(b)のようなスパイク電圧
は発生せず、寄生インダクタンスLsに蓄積した電磁エ
ネルギーは電圧VQ2とI(QD2)の積で決まる損失
によって消費される。本発明は従来の駆動装置では避け
ていたMOSFETQ2のdV/dt誤点弧を発生さ
せ、これを用いてスパイク電圧を抑制させている。逆回
復時の電圧変化(dV/dt)により流れるMOSFE
TQ2の電流は従来の駆動装置を用いた場合に比べてス
イッチング損失を増加させる欠点もあるが、R3の抵抗
値を最適に選定すればQ2が導通したことで発生する損
失の増加を最小限に抑えることも可能である。また、本
発明のようにスパイク電圧を抑制すれば素子Q2の耐圧
を従来より小さくできる為、Q2のオン抵抗を低減する
ことが可能である。本発明によれば、スイッチング損失
は増加するものの、素子の耐圧を低減することでオン抵
抗を減少させ定常損失を低減することができる。定常損
失の低減がスイッチング損失の増加に比べて大きけれ
ば、全体としては低損失化の効果になる。
【0030】図6は図1に示した第2の抵抗可変手段3
に関する第2の実施例である。図1の構成と異なる点は
図1が増幅器の出力を直接M5のゲートに印加している
のに対して、図6ではダイオードD3とこれに並列な抵
抗R11、及びD3のアノード端子とVccの負極間に設
けたキャパシタC3で構成される遅延手段を介してM5
のゲートに印加することである。この遅延手段の効果で
M5のゲート電位が下がる場合はC3の電圧が抵抗の小
さいD3を介して放電され、その時間遅延はわずかであ
る。一方、M5のゲート電位が上がる場合はC3の電圧
が抵抗の大きいR11を介して充電され、R11とC3
の時定数により時間遅延が発生する。この遅延手段によ
れば、図2の時刻t6においてVds(Q1)が減少した
際にもM5が急に流していた電流を遮断するのではな
く、ゆっくりと遮断に向かう。これは時刻t6直後のゲ
ート電圧Vgs(Q1)がゆっくりと減少する効果をモー
タらし、Vds(Q1)の波形振動を抑制することができ
る。遅延手段にもうけた抵抗R11とキャパシタC3で
決まる時定数は、Q1ノードレイン・ソース間寄生容量
(Coss)と図4に記載したように配線の寄生インダク
タンスLsで決まる共振周期に対して約5〜10倍程度
長くなるように選定すればVds(Q1)が時刻t6以降
で振動することを防止することができる。
【0031】図7は図1に示した第1の抵抗可変手段2
に関する第2の実施例である。図7が図1と異なる点
は、まず抵抗R2とnチャンネルMOSFET M2を
Q1のゲート・ソース間に並列に接続し、制御信号Sof
fを抵抗R12,R13、及びMOSFET M6から
なる直列接続に供給する。R12とR13の接続箇所か
らM2にゲート信号を供給する。M6はQ1のゲート・
ソース間電圧Vgs(Q1)と基準電圧Vref2を比較し、
ゲート電圧Vgs(Q1)が基準電圧Vref2より高い場
合はM6はオフ、低くなるとM6がオンするよう比較器
7から信号を出力する。即ち、Vgs(Q1)がVref2
より高い場合はM6がオフしている為、M2には抵抗R
12を介して制御信号Soff の電圧がそのまま印加され
る。この場合、抵抗R2とR3が並列になるが、図1と
同様にR2はR3に比べ1/10以下に選び、合成抵抗
がほぼR2だけになるようにする。Q1のゲート電圧V
gs(Q1)はこの合成抵抗によって急速に放電される。
【0032】次に、Vgs(Q1)がVref2 より低くな
るとM6がオンしている為、制御信号Soff をR12と
R13で分圧した電圧がM2のゲート電圧として印加さ
れる。ゲート電圧がR12とR13の分圧により減少す
ると、M2のオン抵抗は高くなる。M2のオン抵抗が増
加し、その値が抵抗R3に比べてはるかに大きくなるよ
うM2の電流特性を選んでおくと、Q1のゲート・ソー
ス間に接続された合成抵抗はほぼR3に等しい値にな
る。この結果、Q1のゲート電圧Vgs(Q1)は増加し
た合成抵抗によってゆっくりと放電され、図1及び図2
で述べた動作と同じようになる。図1と図7を比較する
と、図1の場合のM2とM4はターンオフ初期に大きな
ゲート電流を流す為、電流定格の大きなMOSFETが
必要である。図7のM2も同様に定格の大きなMOSF
ETが必要であるが、M6はR12とR13で電流を制
限する為、M2に比べると小さな電流定格で良い。使用
するMOSFETの電流定格を下げることができれば低
コスト化につながり、特に駆動装置を集積回路化する場
合には低コストに効果的である。
【0033】図8には本発明の駆動装置に関する第2の
実施例を示す。尚、図8に示すインバータ型の電力変換
装置は図1と同じであり、駆動装置1の破線で囲んだ第
2の抵抗可変手段3だけが異なっている。図8における
第2の抵抗可変手段3は、Q1のパワーMOSFETを
例にすると、Q1ノードレイン端子とゲート端子間にツ
エナーダイオードZD2とダイオードD2からなる直列
接続を備える。本発明では、Q1ノードレイン・ソース
間電圧Vds(Q1)を上記ZD2とD2からなる直列接
続と第1の抵抗可変手段2で分圧し、この分圧した電圧
をQ1のゲート電圧として印加させることが特徴であ
る。パワー半導体素子の過電圧保護用として図8と同様
にドレイン端子とゲート端子間にツエナーダイオードを
備えた例はこれまでにもあるが、スイッチング時に発生
するサージ電圧を抑制する目的でこの方法を用いると、
毎回のスイッチングでツエナーダイオードが降服し電流
が流れる為、ツエナーダイオードの損失が問題になる。
本発明はツエナーダイオードと抵抗可変手段を併用する
ことでサージ電圧を抑制すると共に、ツエナーダイオー
ドの損失を低減することが狙いである。
【0034】尚、ツエナーダイオードZD2の降服電圧
は、主電源の電圧VBに等しい特性を選ぶことが損失及
び遅延時間の低減の点で望ましい。
【0035】図9は図8の駆動装置を用いた場合の動作
波形であり、時刻t4までの動作は図2と同様である。
時刻t4においてQ1ノードレイン・ソース間電圧Vds
(Q1)がツエナーダイオードZD2の降服電圧を越え
るとZD2に電流が流れ、この電流はR2,M4,M2
からなる第1のゲート放電抵抗と、R3とM3からなる
第2のゲート放電抵抗に流れる。ここで、第1のゲート
放電抵抗にM4が無く、制御信号に応じてオンするM2
とR2だけの場合を想定してみる。第2のゲート放電抵
抗は設けていても前述のようにR2の値はR3に比べて
1/10以下である為、合成したゲート放電抵抗はほぼ
R2に等しく、小さな値になる。これは従来、過電圧保
護用としてツエナーダイオードを備えた例と同じ特性に
なる。即ち、小抵抗R2がQ1のゲート・ソース間電圧
Vgs(Q1)を減少させている状況であり、R2を流れ
るゲート電流は大きい。ZD2が降服するとZD2の電
流はR2に流れ、その電流はR2を通るゲート電流にほ
ぼ等しい値まで増加する。この時、R2が通流可能な電
流はQ1のゲート・ソース間電圧Vgs(Q1)をR2で
割った値である。ZD2の電流がR2に通流可能な電流
値まで増加すると、ゲート電圧Vgs(Q1)はそれ以上
は減少せず、電流は緩やかに遮断される。又、電流変化
(dI/dt)が小さくなる為、サージ電圧も抑制でき
る。図8でt5〜t6の電流下降期間がこれに相当し、
Q1ノードレイン・ソース間電圧Vds(Q1)をZD2
とR2で分圧した電圧がQ1のゲート・ソース間電圧V
gs(Q1)として印加されていると言える。一方、R2
に通流可能な電流はR2の値が小さいほど大きくなり、
ツエナーダイオードにはこの電流と降服電圧の積で決ま
る損失が発生する。
【0036】次に本発明による駆動装置の場合は図2で
述べたように、時刻t3まではM4のオン抵抗が小さい
が、それ以降はQ1のゲート電圧Vgs(Q1)の減少に
依存してM4のオン抵抗が増加し、時刻t4ではゲート
放電抵抗の合成値はR2に比べて10倍以上、大きいR
3になっている。この為、ZD2が降服した際に流れる
電流もM4が無い場合に比べて大幅に低減する。従っ
て、Q1のサージ電圧を抑制すると共に、ツエナーダイ
オードの損失も大幅に低減することが達成できる。
【0037】図10は前述のスピードアップコンデンサ
の原理を用いて第1の抵抗可変手段を達成する実施例で
ある。鎖線2で囲む第1の抵抗可変手段以外の構成は図
8と同じであり、その説明は省略する。本実施例におけ
る第1の抵抗可変手段はQ1のゲート・ソース間に抵抗
R2と駆動信号Soff によりスイッチングするM2を直
列に備え、R2には並列にスピードアップコンデンサC
4を備える。図9の動作波形に示したt2〜t3期間に
おいて、Q1のゲート電圧が急峻に変化し大きなゲート
電流が流れる場合にはスピードアップコンデンサC4の
インピーダンスがR2より小さくなり、ゲート電流を流
す。次のt3〜t6期間においてQ1のゲート電圧の時
間的変化が小さくなると、C4のインピーダンスが高く
なりR2がゲート抵抗として働く。そこで、図10にお
いては抵抗R2の値を図8の例に比べて10倍程度大き
くしておき、ターンオフ初期のt2〜t3期間ではC2
を抵抗手段としてゲート電流の放電に使用し、ツエナー
ダイオードZD2が降服するt4〜t6期間ではR2を
ゲート抵抗として用いれば、図8で述べた原理によって
ツエナーダイオードの電流を軽減して低損失化を図るこ
とができる。尚、C4の容量はQ1のゲート・ソース間
容量と同等な値が望ましい。
【0038】図1〜図10に記載した駆動装置1でキャ
パシタC1〜C4を除くMOSFET,抵抗、ツエナー
ダイオード、増幅器、比較器はいずれも集積回路(I
C)に適した部品であり、これらを1つ或いは複数のI
Cチップで構成しても良い。IC化により回路の動作遅
延は大幅に短縮化され、本発明の狙いにとってより適し
た特性が得られる。
【0039】図11は本発明による駆動装置を備えたイ
ンバータ装置に大容量電池から電力を供給する電力変換
システムの構成である。
【0040】図11でパワー半導体素子Q1〜Q6で構
成される3相インバータと、これに負荷として接続され
たモータM,Q1〜Q6に具備された図1或いは図8と
同じ駆動装置1、及び駆動装置1に電力を供給する制御
電源Vcc、駆動装置1にPWM制御信号を伝える制御装
置5はいずれも図1或いは図8に記載した内容と同じで
あり、これらの説明は省略する。Ls1はそれぞれ平滑
コンデンサCFと3相インバータを接続する配線の寄生
インダクタンス、Ls2も同様に電池VBと平滑コンデ
ンサCFを接続する配線の寄生インダクタンスである。
次に電池VBは等価回路的に表現すると、内部抵抗RB
と開路電圧VBOで表すことができる。この電池VBを
充電、或いは放電する電流を電流センサ8で計測し、電
池の状態監視装置9に電流計測結果を逐次、伝えてい
る。また、状態監視装置9は電池VBの電圧も計測して
おり、計測した電池VBの電流、電圧情報から内部抵抗
RBと開路電圧VBOを推定し、制御装置5に伝達す
る。
【0041】本発明は電池VBが大電流を通電した場
合、その正負極間電圧は内部抵抗RBの影響で真の電圧
(開路電圧VBO)より減少或いは増加して現れること
から、この原理を前述の駆動装置に関する制御方法とし
て応用することが狙いである。
【0042】前述の(1),(2)式で述べたように、
平滑コンデンサCF(容量をCfとする)からパワー半
導体素子を含む閉回路内に存在する配線の寄生インダク
タンスをLs1、Q1〜Q6のパワー半導体素子が出力
する主電流の瞬時値をI(電池にとっては放電電流)、
この電流の実効値をIav、電池の正負極間電圧をVB、
開路電圧をVBO、電池の内部抵抗をRB、駆動装置に
よってサージ電圧を抑制した場合のパワー半導体素子の
最大電圧値をVc(図2でt5〜t6期間のVds(Q
1)に相当する)、パワー半導体素子が電流を遮断する
時間をtfとすれば、これらのパラメータには次の関係
がある。電流遮断期間に発生するサージ電圧は Ls1×dI/dt=Vc−VB (3) 電流遮断時のdI/dtを線形近似すると、 dI/dt=I/tf (4) 電池の正負極間電圧はパワー半導体素子がオン定常期間
中に流した電流の実効値Iavと内部抵抗の影響で減少し
ており、 VB=VBO−RB×Iav (5) と表すことができる。(3)式のサージ電圧は電流を遮
断し始メータ時刻(図2のt5)からLs1に蓄えられ
た電磁エネルギーが消費されるまで(図2のt6)の期
間において、電流がdI/dtの勾配で変化しながらも
流れ続けることを意味する。しかしながら、この電流は
平滑コンデンサと配線の寄生インダクタ、及びパワー半
導体素子の間で流れ、電池から電流を供給するわけでは
ない。そこで、電池は(5)式に記載した内部抵抗と電
流による電圧降下分(RB×Iav)が回復してゆく。こ
の回復過程は内部抵抗RBと平滑コンデンサの容量Cf
を時定数とする指数関数的な電圧変化となる。一方、パ
ワー半導体素子のサージ電圧を抑制する観点から考える
と、RBとCfの時定数は電流下降期間(t5〜t6)に
対して十分長く、(3)式のVBが低い値に維持されて
いる方が好ましい。Vcはパワー半導体素子の耐圧に対
して80〜90%の値に選定すれば、VBが低いほど電
流下降期間のdI/dtを大きく選ぶことができ、
(4)式のtfが短くなる。これは公知例で問題であっ
た遅延時間を短くしてPWMの非ラップ時間を確保する
ことにつながる。Rbを例えば20mΩ、Cfを500
0μFと仮定すると、時定数は100μsであり、電流
下降時間tfを上記時定数の10%以下に選べば電池電
圧の回復に対して十分短く、電池電圧は電流遮断以前の
値にほぼ等しい。PWMの非ラップ時間は前述のように
上限5μsであり、上記時定数の例に対しては5%に相
当し10%以下の条件を満足している。遅延時間の制御
は図1の基準値Vref、或いは図8のツエナーダイオー
ドZD2の降服電圧を用いて、電流下降期間における電
圧のクランプ値Vcを設定すれば良い。尚、(3)〜
(5)式は遮断電流の振幅Iに依存しており、上記Vc
の設定には主電流の最大値、或いは熱的には最大主電流
に対する実効値を考慮する。
【0043】また、(3)及び(4)式より時間tfは tf=L×I/(Vc−Vb+RB×Iav) (6) と表されることから、制御装置5は電池の状態監視装置
9から得る情報に基づき、(6)式の計算を実施し、P
WM信号にtfより長い非ラップ時間を設けることがで
きる。この制御方法によれば、遮断電流の振幅Iが変化
した場合でも正確な電流下降時間tfを把握でき、非ラ
ップ時間に反映することができる。
【0044】
【発明の効果】本発明による駆動装置によれば、それぞ
れ制御電圧と入出力端子間電圧に応じて変化する第1,
第2の抵抗可変手段で分圧したゲート電圧をパワー半導
体素子に印加することで電流下降期間に生じるサージ電
圧を安定に抑制することができる。
【0045】本発明による制御方法によれば還流ダイオ
ードが逆回復する際に、これに並列なパワー半導体素子
を短時間にdV/dt点弧させ、サージ電圧を抑制する
ことが可能になる。dV/dt点弧によりスイッチング
損失はわずかに増加するが、耐圧を下げることで定常損
失を大幅に低減し、全体では低損失化の効果がある。さ
らに、内部抵抗の影響を考慮して、第2抵抗可変手段の
基準値、或いはツエナーダイオードの降服電圧を設定す
ることにより、サージ抑制時の電圧を最適化し電流下降
時間を短縮することができる。また、この時間を考慮し
たPWM制御の非ラップ時間が設定可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例を示す駆動装置の回路図。
【図2】動作波形図。
【図3】利得を適正化した増幅器の回路図。
【図4】ダイオードが逆回復を説明する回路図。
【図5】ダイオードが逆回復する際の動作説明図。
【図6】遅延手段を設けた増幅器の回路図。
【図7】第1の抵抗可変手段に関する第2の実施例。
【図8】本発明の第2実施例を示す駆動装置の回路図。
【図9】動作説明図。
【図10】第1の抵抗可変手段に関する第3の実施例。
【図11】本発明の制御方法を示す電力変換装置のブロ
ック図。
【符号の説明】
1…駆動装置、2…第1の抵抗可変手段、3…第2の抵
抗可変手段、4…制御回路、5…PWM制御装置、6…
増幅器、7…比較器、8…電流センサ、9…電池の状態
監視装置、Q1〜Q2…パワー半導体素子、QD1〜Q
D6…還流用ダイオード、M1〜M9…MOSFET、
R1〜R11…抵抗、C1〜C4…キャパシタ、ZD
1、ZD2…ツエナーダイオード、D1〜D3…ダイオ
ード、M…モータ、VB…電源(或いは電池)、Vcc…
制御電源、Vref及びVref2…基準値。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 立野 孝治 茨城県日立市大みか町七丁目1番1号 株 式会社日立製作所日立研究所内 (72)発明者 坂野 順一 茨城県日立市大みか町七丁目1番1号 株 式会社日立製作所日立研究所内 (72)発明者 岩村 将弘 茨城県日立市大みか町七丁目1番1号 株 式会社日立製作所日立研究所内 (72)発明者 森 睦宏 茨城県日立市大みか町七丁目1番1号 株 式会社日立製作所日立研究所内 Fターム(参考) 5J055 AX12 AX26 BX16 CX07 CX13 CX20 CX28 DX13 DX22 DX59 EY01 EY05 EY10 EY12 EY13 EY21 EY29 EZ03 EZ04 EZ08 EZ10 EZ23 EZ50 EZ63 GX01 GX02 GX04

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】主電流の入出力に係わる第1及び第2端子
    と制御ゲート端子を具備する半導体素子と、入力信号に
    応じて前記制御ゲート端子に制御電源から供給される制
    御電圧を印加或いは除去する駆動回路手段を備え、前記
    主電流を通流或いは遮断する半導体素子の駆動装置であ
    って、 前記制御電圧に応じて抵抗値を変化させる第1の抵抗手
    段を具備し、前記入力信号に応じて該第1の抵抗手段に
    電流を通流、遮断するスイッチ手段を備えた第1の抵抗
    可変手段と、前記第1及び第2端子間の電圧に応じて通
    流可能な電流を制限させる第2の抵抗手段を具備した第
    2の抵抗可変手段を備え、前記制御電源の電圧或いは前
    記第1及び第2端子間の電圧のいずれか一方を前記第1
    の抵抗手段と前記第2の抵抗手段で分圧すると共に、該
    分圧された電圧を前記主電流の通流或いは遮断時に前記
    制御ゲート端子に印加することを特徴とする半導体素子
    の駆動装置。
  2. 【請求項2】請求項1において、 前記第1の抵抗可変手段は、前記制御ゲート端子と前記
    第2端子間に接続される前記第1の抵抗手段と、前記入
    力信号に応じて該第1の抵抗手段に電流を通流、遮断す
    る前記スイッチ手段と、前記制御ゲート端子と前記第2
    端子間の電圧を検出する第1の電圧検出手段と、該第1
    の電圧検出手段の出力に応じて前記第1の抵抗手段の抵
    抗値を変化させる第1の抵抗制御手段とを備えたことを
    特徴とする半導体素子の駆動装置。
  3. 【請求項3】請求項1において、 前記第1の抵抗手段は、前記制御ゲート端子と前記第2
    端子間に接続される抵抗器と、該抵抗器に並列に接続さ
    れる容量手段を備えたことを特徴とする半導体素子の駆
    動装置。
  4. 【請求項4】請求項1から請求項3において、 前記第2の抵抗可変手段は、前記第1,第2端子間の電
    圧を検出する第2の電圧検出手段と、該第2の電圧検出
    手段の出力と予め設定した基準値の差を比較する増幅手
    段と、該増幅手段の出力に応じて前記第2の抵抗手段の
    抵抗値を変化させる第2の抵抗制御手段とを備えたこと
    を特徴とする半導体素子の駆動装置。
  5. 【請求項5】請求項1から請求項3において、 前記第1及び第2端子間に接続されるツエナーダイオー
    ドを前記第2の抵抗手段として備え、前記第1の抵抗手
    段と前記ツエナーダイオードの端子間電圧で分圧された
    前記第1及び第2端子間の電圧を前記制御ゲート端子に
    印加することを特徴とする半導体素子の駆動装置。
  6. 【請求項6】請求項4において、 前記増幅手段の出力を制限する制限手段を備えたことを
    特徴とする半導体素子の駆動装置。
  7. 【請求項7】請求項2又は請求項4に記載した駆動装置
    の制御方法であって、 前記第1の抵抗制御手段の利得、又は前記増幅手段に具
    備する前記基準値、或いは前記第2の抵抗制御手段の利
    得の少なくとも1つを調整することにより、前記制御電
    圧の時間変化を所望する特性に制御することを特徴とす
    る半導体素子駆動装置の制御方法。
  8. 【請求項8】制御ゲート端子と、主電流の入出力に係わ
    る第1及び第2端子を有すると共に、該第1,第2端子
    間にダイオードを具備する半導体素子に、制御電圧を印
    加或いは除去して前記主電流を通流或いは遮断する半導
    体素子の制御方法であって、 前記制御電圧を除去する過程において前記制御ゲート端
    子と前記第2端子間に具備した抵抗を所定の値まで増加
    させ、前記ダイオードの逆回復時に前記第1端子から前
    記制御ゲート端子に流れ込む変位電流と前記抵抗で生じ
    る電圧降下を、前記半導体素子のゲートしきい値電圧と
    同等な値にすることを特徴とする半導体素子の制御方
    法。
  9. 【請求項9】電池を電源とし、該電池からコンデンサを
    経由して請求項4から6記載の駆動装置を備えた半導体
    素子に主電流を供給する際の制御方法であって、 前記コンデンサと前記半導体素子を含む閉回路内に存在
    する配線の寄生インダクタンスの合計値をL、前記コン
    デンサの静電容量をC、前記半導体素子が出力する主電
    流の瞬時値をI、該電流の実効値をIav、前記電池の開
    路電圧をVb、該電池の内部抵抗をRb、前記増幅手段
    の基準値或いは前記ツエナーダイオードによって決まる
    前記半導体素子の電圧クランプ値をVcとして、前記半
    導体素子が電流を遮断する時間tfを tf=L×I/(Vc−Vb+Rb×Iav) のように定め、前記主電流の瞬時最大値に対して前記時
    間tfがRb×Cで決まる時定数の10%以下になるよ
    う前記基準値或いは前記ツエナーダイオードを設定する
    ことを特徴とする半導体素子駆動装置の制御方法。
  10. 【請求項10】請求項9において、 前記半導体素子が、それらが少なくとも2ケ直列に接続
    されるインバータ部を構成し、該インバータ部をPWM
    制御させるためにPWM信号発生部によって駆動装置に
    制御信号を供給し、前記PWM信号発生部の出力に前記
    tfより長い非ラップ時間を設けることを特徴とする半
    導体素子駆動装置の制御方法。
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