JP6362996B2 - 半導体駆動装置ならびにそれを用いた電力変換装置 - Google Patents

半導体駆動装置ならびにそれを用いた電力変換装置 Download PDF

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Description

本発明は、過電圧保護機能を搭載した半導体駆動装置、およびその半導体駆動装置を用いた電力変換装置に関する。
インバータをはじめとする電力変換装置は、半導体スイッチング素子のスイッチング動作によって電力変換を実現している。その半導体スイッチング素子の代表例としては、MOS−FETやIGBTをはじめとする電圧駆動型半導体素子が広く用いられている。特に、高速のスイッチングが可能で大電力を制御できるIGBTは、家電用の小容量インバータから鉄道用等の大容量インバータまで幅広い分野で使われている。
このような半導体スイッチング素子を制御するためには、半導体駆動装置が必要となる。一般に、電圧駆動型半導体の駆動装置は、半導体スイッチング素子のゲートに電圧を印加することで、素子の導通状態を制御する機能を有する。また、半導体駆動装置は、駆動する半導体スイッチング素子の過電圧を防止する機能を有することが一般的である。
図10は、IGBTとダイオードで構成されるIGBTモジュール用の駆動装置の従来例である。ゲート信号に基づいて、IGBT1のゲートGに適切な電圧を印加し、IGBT1のコレクタP−エミッタN間を導通するコレクタ電流Icを制御する。
ここで、ゲート抵抗6および7は、ゲートGに流れる電流Irgを制限することで、ゲートGとエミッタE間の電圧Vgeの変化率を調整するものである。これにより、IGBT1のスイッチング速度、すなわちコレクタ電流Icの変化率およびコレクタCとエミッタE間の電圧Vceの変化率を適切に規定できる。
過電圧防止機能としては、IGBT1のコレクタCとゲートG間に、定電圧ダイオード等の電圧クランプ素子3を接続する方式が広く採用されている。これは、IGBT1のターンオフ時などにコレクタ電圧が過大になった場合に、定電圧ダイオードが降伏することでゲートに電流が流れ、IGBTを過渡的にオンさせることでコレクタ電圧を一定にクランプするものである。また、IGBT1のゲートの過電圧を防止するため、ゲート-エミッタ間に過電圧保護ダイオード9を備えることが一般的である。
図11に、図10の構成におけるIGBTのターンオフ時のコレクタ電流Ic,コレクタ‐エミッタ間電圧Vce,ゲート電流Irg及びゲート‐エミッタ間電圧Vgeの模式波形を示す。IGBTのコレクタ‐エミッタ間電圧Vceおよびコレクタ電流Icが遷移する期間中に、IGBTにはターンオフ損失が発生する。また、この遷移期間中には、ゲート電圧波形にミラー期間と呼ばれるテラスが現れることが知られている。
図12は、IGBTのコレクタサージ電圧が過大となり、電圧クランプ素子3がクランプ動作した場合の各電流及び電圧の模式波形を示す。コレクタ‐エミッタ間に過電圧が発生する期間中は、コレクタ-ゲート間に接続した電圧クランプ素子3が降伏してクランプ回路に電流Iclが流れ、ゲート電圧がオン閾値電圧Vth以上に上昇することでIGBTがオンし、コレクタ‐エミッタ間の過電圧を防止する。一方で、電圧クランプによってターンオフ動作期間が長くなるため、ターンオフ損失が大きくなるという副作用が生じる。
ここで、半導体駆動装置のオフゲート電圧をVm、オフゲート抵抗をRg1とすると、クランプ回路電流Iclは下記の関係を満たす必要がある。
Icl≧(Vth−Vm)/Rg1 … (式1)
従って、オフゲート抵抗Rg1を大きくすることは、クランプ電流Iclを低減することに寄与し、従ってクランプ効果を高めることに寄与する。一方で、ターンオフ損失の更なる増加を引き起こす。
特開2005−328668号公報 特開2013−126278号公報
特許文献1には、クランプ効果を高める別の方法として、スイッチング動作期間中の所定の期間に、ゲート駆動回路の出力電圧を、閾値電圧Vthより小さい正電圧に保持する方法が示されている。このようにゲート電圧を正電圧に保持する方法は、駆動回路の正負電源間を抵抗で接続するため、抵抗の過剰な発熱を防止するためにハイインピーダンスで電圧を保持する必要がある。このため、ゲートにノイズが混入した場合の電位変動が大きくなり、ゲートが誤オンすることで余剰な損失を生むリスクが生じる。さらに、この方法では前記の正電圧を保持する期間をあらかじめ定めておくフィードフォワード制御であるが、必要なクランプ期間Tcl(図12参照)は発生するサージの状況によって変化するため、十分なマージンを確保してクランプ期間Tclを設定する必要がある。そのため、ターンオフの過剰な遅延を招き、損失増加をもたらす問題があった。
一方で特許文献2には、クランプ回路が動作した場合に、次周期の出力段回路のオフ抵抗を大きくすることでスイッチング動作を遅くし、サージ電圧を抑制する方法が示されている。このような方法では、クランプ回路の動作を検知するフィードバック制御によってオフ抵抗を大きくする期間を最適化し、ターンオフ損失の過剰な増加を抑制できると期待できる。しかしながらこの方法では、クランプ回路から出力段回路へフィードバック配線を引く必要がある。このため、半導体駆動装置とIGBT間を配線接続する際に必要な配線数が増加するのみならず、引きまわした配線にノイズが重畳することで出力段回路が誤動作し、ターンオフ損失の増加やアーム短絡などの問題を引き起こす懸念が生じる。
前記した課題を解決するために、本発明に係る半導体駆動装置は、半導体スイッチング素子のオン・オフ状態を制御する半導体駆動装置において、スイッチング素子のゲート制御端子に制御信号を伝達する制御信号出力段回路と、スイッチング素子の入力端子とゲート制御端子間に接続した電圧クランプ回路と、スイッチング素子の出力端子とゲート制御端子間の電圧またはゲート制御端子電流を検出する検出回路とを備え、制御信号出力段回路は、半導体スイッチング素子のターンオフ期間中に、検出回路の検出結果に基づいて、制御信号出力段回路の出力段のインピーダンスを低下させるものである。
なお、本発明における半導体スイッチング素子としては、IGBTやMOSFETなどの素子に適用可能であり、入力端子は、IGBTにおけるコレクタ端子及びMOSFETにおけるドレイン端子に対応し、出力端子は、IGBTにおけるエミッタ端子及びMOSFETにおけるソース端子にそれぞれ対応するものとする。
本発明によれば、制御回路のインピーダンスを切り替えるタイミングを制御端子の電圧または電流で検知することにより、クランプ動作期間Tclに応じた制御を実現して、ターンオフ損失の増加を最小限に抑制すると共に、電圧または電流の検知点からインピーダンス切替部までの信号線の長さを抑えて信号線にノイズが重畳することを抑制することができる。
本発明の実施例1に係る半導体駆動装置の基本構成を示すブロック図である。 本発明の実施例1に係る半導体駆動装置の第1の動作模式波形図である。 本発明の実施例1に係る半導体駆動装置の第2の動作模式波形図である。 本発明の実施例1に係る半導体駆動装置の出力段回路の具体例を示すブロック図である。 本発明の実施例1に係る半導体駆動装置の電圧クランプ回路の第1の具体例を示すブロック図である。 本発明の実施例1に係る半導体駆動装置の電圧クランプ回路の第2の具体例を示すブロック図である。 本発明の実施例1に係る半導体駆動装置の電圧クランプ回路の第3の具体例を示すブロック図である。 本発明の実施例2に係る半導体駆動装置の基本構成を示すブロック図である。 本発明の実施例3に係る電力変換装置の基本構成を示すブロック図である。 アクティブクランプ機能を有する半導体駆動回路の従来構成を示すブロック図である。 従来構成における半導体スイッチング素子のターンオフ模式波形図であり、特にサージ電圧が小さい場合を示す。 従来構成における半導体スイッチング素子のターンオフ模式波形図であり、特にサージ電圧が大きいために半導体駆動装置のアクティブクランプ機能が動作した場合を示す。
以下、本発明を実施する形態として、実施例1から3について、図面を参照して順に説明する。なお、以下では半導体としてIGBTを例にとって説明するが、それに限定されるものではなく、その他一般の半導体の駆動装置にも適用できるものである。
[半導体駆動装置の構成]
図1は本発明の実施例1に係る半導体駆動装置の基本構成を示すブロック図である。本実施例では、IGBTのゲート制御端子Gと半導体駆動装置のゲート制御端子Gd間、およびIGBTのエミッタ制御端子Eaと半導体駆動装置のエミッタ制御端子Ed間をツイスト配線等でそれぞれ接続する場合を想定している。IGBTモジュール側では、コレクタセンス端子Caとゲート端子G間に電圧クランプ回路を接続し、IGBT素子の過電圧を防止する。また、IGBTのゲート制御端子Gとエミッタ制御端子Eaは、定電圧ダイオードであるアバランシェダイオードDz1,Dz2を介して接続される。アバランシェダイオードDz1,Dz2は、ゲート電圧が所定電圧を超えた場合にゲート制御端子からエミッタ制御端子へ電流を導通させ、半導体駆動装置から出力される電圧及び電圧クランプ回路から出力される電圧によって、半導体スイッチング素子のゲートの耐電圧を超えないようにする。半導体駆動装置は、指令部から受けた駆動指令SINに応じて、インピーダンスを可変できる出力段回路がIGBTのゲートに電圧を印加する。ここで、出力段回路のインピーダンスを変化させる方法としては、本実施例では、ゲート-エミッタ間の電圧をモニタする電圧検出回路の検出結果に基づいてインピーダンスを制御する。
[半導体駆動装置の動作]
図2は本発明の実施例1の第1の動作例に係る半導体駆動装置の動作模式波形図である。ゲートオフの駆動指令SINを受けて、ゲート‐エミッタ電圧Vgeを低下させると、コレクタ電圧Vceが増加し始める(t1)。その後、大電流遮断時などにコレクタ電圧が更に増加して、コレクタ‐ゲート間電圧が電圧クランプ回路の動作電圧レベルに到達すると(t2)、電圧クランプ回路を介してコレクタ側からゲート側へ電流が流れる。これによりゲート電圧がゲート閾値電圧Vth以上に上昇し、IGBTがオンして、コレクタ電圧が一定電圧Vclにクランプされる。ここで、出力段回路のインピーダンスはあらかじめ大きい値Z1に設定されているため、式1を満たすのに必要なクランプ電流は小さく抑えることができる。
その後、サージが緩和されると(t3)、クランプ電流が減少することでゲート電圧が低下する。ミラー期間が終了してゲート-エミッタ間電圧が規定電圧値以下に低下したことを電圧検出回路が検知した場合に(図4中t4)、電圧検出回路はゲート判定信号SFを生成して制御信号出力段回路に送信する。このゲート判定信号SFに基づいて、出力段回路はゲート出力インピーダンスをZ2に低下させ、ターンオフ動作を加速させる。ここで、規定電圧値は、ミラー期間が終了する時のゲート-エミッタ間電圧に設定すると良い。
図3は本発明の実施例1の第2の動作例に係る半導体駆動装置の動作模式波形図である。図2と比べて、ゲート電圧Vgeを低下させ始めるt1以前のゲート出力段のインピーダンスZ3がクランプ期間中のインピーダンスZ1よりも小さい点が異なる。つまり、上述したt1のタイミングでインピーダンスをZ3からZ4へ上昇させ、上述したt4のタイミングでインピーダンスをZ4からZ5へ減少させる。インピーダンスを低下させるタイミングは上述した電圧検出回路で同様に実現できるため、詳細な説明は割愛する。ここで、Z3はZ5よりも大きくZ4よりも小さい値に設定される。
また、図3の例では3つの値のインピーダンスZ3〜Z5を線形に切り替える例を示しているが、さらに多い多段制御や、非線形制御、低電流制御などにも応用できることは明白である。多段制御を行う場合の具体例としては、電圧検出回路は、規定電圧値を複数個備えて、エミッタ端子とゲート制御端子間の電圧検出値Vgeが各所定電圧値以下となる度に、ゲート判定信号を制御信号出力段回路へ複数回出力し、制御信号出力段回路は、検出回路から複数回受信したゲート判定信号に基づいて、制御信号出力段回路の出力段のインピーダンスを複数回切り替えて、徐々にインピーダンスを低下させる。

[実施例1による効果]
本発明が提供する半導体駆動装置は、クランプ動作時の出力段インピーダンスを高く設定できるため、クランプ動作時にゲート電圧が直ぐに立ち上がる。そのため、半導体駆動装置の過電圧保護を担う電圧クランプ回路の電流Iclを低減することができ、小型のクランプ素子の適用による回路の小型化を実現できる。また、クランプ機能が高まることでクランプ期間中のコレクタ電圧の上昇を抑制するため、クランプ電圧の設定値をより高くすることができ、従ってアクティブクランプ動作が発生する頻度を減らしてスイッチング素子の自己発熱を低減する。
さらに、半導体駆動装置の出力段インピーダンスを低下させるタイミングを、ゲート電圧の検知結果に基づいて、クランプ動作期間Tclに順応させることができるため、ターンオフ損失の増加を最小限に抑制することができる。従来技術がターンオフ損失の増加を招くフィードフォワード制御(特許文献1)や、余分な検知信号線が必要なフィードバック制御(特許文献2)であったのに対し、本発明はIGBTモジュールと半導体駆動装置間を接続している既存のゲート配線を利用して電圧クランプ回路の動作を間接的に検知する準フィードバック制御を採用することにより、半導体駆動装置により近い位置で電圧クランプ回路の動作を間接的に検知することが可能となるため、前記した従来技術よりも検知信号線の長さを短縮させて、ノイズの影響を受けにくい安定した制御を可能とする。
<実施例1の出力段回路の具体例>
図4を参照して、実施例1における出力段回路の具体例を示す。出力段回路は、二つの出力段T1とT2、3つのゲート抵抗Rg1とRg2とRg3、スピードアップコンデンサCg1、およびゲート判定信号SFに基づいて出力抵抗を切り替える抵抗切り替え制御部で構成される。
出力段T1は、受信した駆動指令SINに基づいて、高圧側電圧Vpと低圧側電圧Vmのいずれかを出力する。出力段T1の出力側は、直列に接続された抵抗Rg1と抵抗Rg2を介してゲート制御端子Gdに接続される。抵抗Rg1にはスピードアップコンデンサCg1が並列接続される。また、抵抗切替制御部は、受信したゲート判定信号SFに基づいて出力段T2を動作させて、低圧側電圧Vmを出力または回路を遮断する。出力段T2の出力側は、抵抗Rg3を介してゲート制御端子Gdに接続される。また、2つの電圧源VpとVmの中間電位は、エミッタ制御端子Edと接続される。
図3におけるt1以前の時刻では、Rg1に並列接続したスピードアップコンデンサCg1をゲート電流がバイパスすることで、出力段T1のオフゲート抵抗はRg2(Z3)となる。ここで、ミラー期間に到達するt1のタイミングで充電が終わるようにスピードアップコンデンサCg1の容量を選択することで、図3中t1以降のオフゲート抵抗は[Rg1+Rg2](Z4)に増加する。一方で、ミラー期間が終了してゲート電圧が低下すると(図3中t4)、ゲート電圧が規定値以下に低下したことを示すゲート判定信号SFが電圧検出回路から入力された場合には、抵抗切り替え制御部が出力段T2をオンさせ、低圧側電圧Vmと抵抗Rg3を接続させて、Rg3とRg1+Rg2の並列回路を構成し、オフゲート抵抗をZ5に低下させる。ここで、Rg3<Rg1+Rg2であり、t4以降のターンオフを加速してスイッチング損失の増加を抑制する。
図4では、図3に示した第2の動作例を実現するために、スピードアップコンデンサCg1を備える構成について説明したが、図4からスピードアップコンデンサCg1を除いた構成により、図2に示した第1の動作例を実現することができる。
ここで、抵抗Rg1+Rg2により決定されるオフゲート抵抗(Z1,Z4)は、「([ゲート閾値電圧Vth]−[低圧側電圧Vm])/[電圧クランプ回路の電流Icl]」以上となる抵抗値であって、望ましくはこの抵抗値と同程度となるように設定すると良い。
<実施例1の電圧クランプ回路の第1の具体例>
図5は、本実施例の電圧クランプ回路の第1の具体例を示している。複数のアバランシェダイオードDz3〜Dz8を直列接続した構成であり、もっともシンプルな構成である。
<実施例1の電圧クランプ回路の第2の具体例>
図6は、本実施例の電圧クランプ回路の第2の具体例を示している。直列接続した複数のアバランシェダイオードDz3〜Dz8に、更にコンデンサCz1を直列接続した構成である。図5に対して、直流電流をカットするコンデンサを付加したことにより、万が一、主回路の電源電圧が増加したことでコレクタ電圧Vceがクランプ電圧Vclを上回った場合でも、電圧クランプ回路に持続的に電流が流れることを防止できる。
<実施例1の電圧クランプ回路の第3の具体例>
図7は、本実施例の電圧クランプ回路の第3の具体例を示している。直列接続した複数のアバランシェダイオードDz3〜Dz8の一部のアバランシェダイオードに並列にMOSFETを接続して構成される。MOSFETのゲートは、複数のアバランシェダイオードの接続点とゲート制御端子の間に接続されており、並列接続したアバランシェダイオードの電圧又は電流が上昇してMOSFETのオン電圧を超えるとMOSFETにより一部のアバランシェダイオードをバイパスする回路を構成する。この具体例では、電圧クランプ回路が動作してもコレクタ電圧Vceが上昇を続ける場合に、MOSFETがオンしてクランプ電圧Vclを低下させ、素子の過電圧を防止することができる。
図8は本発明の実施例2に係る半導体駆動装置の基本構成を示すブロック図である。本実施例では、出力段回路のインピーダンスを変化する方法として、ゲート電流をモニタする電流検出回路の検出結果に基づいて制御する点が実施例1と異なる。制御シーケンスや回路の具体例は実施例1と同様であり、説明は割愛する。電流検出回路は、ゲート電流の絶対値が減少して規定電流値以下となった場合(図3中t4)に、ゲート判定信号SFを出力する。あるいは、検出したゲート電流を積分したゲート電荷Qgの絶対値が規定値以下となった場合にゲート判定信号SFを出力する構成であってもよい。ここで、この規定電流値または規定電荷量は、ミラー期間が終了する時のゲート電流またはゲート電荷の絶対値に設定すると良い。
本実施例においても、実施例1と同様に、半導体駆動装置の出力段インピーダンスを低下させるタイミングを、ゲート電流の検知結果に基づいて、クランプ動作期間Tclに順応させることができるため、ターンオフ損失の増加を最小限に抑制することができる。
多段制御を行う場合の具体例としては、電流検出回路は、規定電流値を複数個備えて、ゲート制御端子の電流検出値Irgまたはその積分値Qgが各所定値以下となる度に、ゲート判定信号を制御信号出力段回路へ複数回出力し、制御信号出力段回路は、検出回路から複数回受信したゲート判定信号に基づいて、制御信号出力段回路の出力段のインピーダンスを複数回切り替えて、徐々にインピーダンスを低下させる。
図9は、本発明の半導体駆動装置を適用した電力変換装置を実施例3として示した図である。実施例3係る電力変換装置は、前記した実施例1または実施例2の実施形態に係る半導体駆動装置を、電力変換装置における半導体スイッチング素子の駆動装置として適用したものである。
図9に示すように、実施例3に係る電力変換装置600は、半導体スイッチング素子Q11〜Q16、ダイオードD11〜D16、半導体駆動装置GD11〜GD16、電圧クランプ回路AC11〜AC16および、半導体スイッチング素子Q11〜Q16に対してスイッチング動作の制御信号である駆動指令信号を発生する上位論理部L1を備えて構成されている。なお、実施例3に係る電力変換装置600は、電圧Vdcの直流電源601の直流電力を交流電力に変換するインバータ装置である。
また、実施例3では、半導体スイッチング素子Q11〜Q16としてIGBTを用いているが、これに限定されるものではなく、MOSFETなど他のスイッチング素子を用いて構成することもできる。
電力変換装置600は、直流電源601の正負の端子間に、2個の半導体スイッチング素子(Q11およびQ12、Q13およびQ14、Q15およびQ16)の極性を揃えて直列に接続した上下アームが3組接続されている。また、各半導体スイッチング素子Q11〜Q16のエミッタ−コレクタ間には、負荷電流を還流させるためのダイオードD11〜D16が、半導体スイッチング素子と逆極性かつ並列にそれぞれ接続されている。また、各半導体スイッチング素子Q11〜Q16のコレクタセンス端子とゲート端子間には、電圧クランプ回路AC11〜AC16が接続されている。ゲート制御端子には、スイッチングの駆動指令信号を出力する半導体駆動装置GD11〜GD16がそれぞれ接続されている。また、直列接続された2個の半導体スイッチング素子(Q11およびQ12、Q13およびQ14、Q15およびQ16)の接続点は、それぞれ交流の出力端子となり、負荷である三相交流モータM1に接続されている。
そして、電力変換装置600は、上位論理部L1によって、半導体駆動装置GD11〜GD16を介して、それぞれ半導体スイッチング素子Q11〜Q16のスイッチング動作を制御して、交流端子に接続された三相交流モータM1に交流電力を供給する。 電力変換装置600は、上位論理部L1によって、各半導体スイッチング素子Q11〜Q16に対する駆動指令信号を発生し、この半導体駆動装置GD11〜GD16を介して、この駆動指令信号を半導体スイッチング素子Q11〜Q16のゲート端子(制御端子)に送信することで電力変換動作を行う。
ここで、電力変換装置600で大電流遮断時などにサージ電圧が発生した場合は、電圧クランプ回路によって半導体スイッチング素子のゲートをオンさせ、コレクタ電圧を一定にクランプすることができる。クランプ動作が終わると、ゲート電圧またはゲート電流の変化を即座に検知して、出力段回路のインピーダンスを低下させ、ターンオフ損失の増加を抑制することができる。
なお、実施例3では、本発明の半導体駆動装置を電力変換装置に適用した例として、インバータ装置の場合について説明したが、これに限定されるものではなく、直流−直流コンバータや交流−直流コンバータなど、他の電力変換装置に適用することもできる。
T1、T2 ゲート出力段回路
Rg1〜Rg3 ゲート抵抗
Cg1 スピードアップコンデンサ
Irg ゲート抵抗導通電流
Dz1〜Dz8 電圧クランプ素子
Vge ゲート−エミッタ電圧
Vth ゲート閾値電圧
Qg ゲート電荷
Ic コレクタ電流
Vce コレクタ−エミッタ電圧
Vcl コレクタクランプ電圧
Icl 電圧クランプ回路の電流
Tcl 電圧クランプ期間
SIN 駆動指令入力信号
SF ゲート判定信号
Z1〜Z3 出力段回路インピーダンス
Mz1 クランプ回路切り替えMOSFET
Dzg1 クランプ回路ゲート保護素子
Dzg2 クランプ回路整流ダイオード
Czg1 クランプ回路ゲート入力容量
Rz1〜Rz3 クランプ回路抵抗
Cz1 クランプ回路直列コンデンサ
Vdc 主回路電源電圧
Vp 半導体駆動装置正電源電圧
Vm 半導体駆動装置負電源電圧
Le モジュール寄生インダクタンス
C IGBTコレクタ主端子
E IGBTエミッタ主端子
G IGBTゲート制御端子
Ca IGBTコレクタセンス端子
Ea IGBTエミッタ制御端子
Gd 半導体駆動装置ゲート制御端子
Ed 半導体駆動装置エミッタ制御端子
600 電力変換装置
Q0、Q11〜Q16 半導体スイッチング素子
D0、D11〜D16 整流素子
GD11〜GD16 半導体駆動装置
AC11〜AC16 電圧クランプ回路
M1 モータ
L1 上位論理部

Claims (8)

  1. 半導体スイッチング素子のオン・オフ状態を制御する半導体駆動装置において、
    前記スイッチング素子のゲート制御端子に制御信号を伝達する制御信号出力段回路と、
    前記スイッチング素子の入力端子とゲート制御端子間に接続した電圧クランプ回路と、
    前記スイッチング素子の出力端子と前記ゲート制御端子間の電圧または前記ゲート制御端子電流を検出する検出回路とを備え、
    前記制御信号出力段回路は、該制御信号出力段回路の出力段に直列接続された抵抗器と、前記抵抗器に並列接続したスピードアップコンデンサと、を有し、
    前記制御信号出力段回路は、前記半導体スイッチング素子のターンオフ期間中に、前記スピードアップコンデンサが充電されることにより、前記抵抗器が前記制御信号出力段回路の出力段のインピーダンスを増加させ、その後前記検出回路の検出結果に基づいて、前記制御信号出力段回路の出力段のインピーダンスを減少させることを特徴とする半導体駆動装置。
  2. 半導体スイッチング素子のオン・オフ状態を制御する半導体駆動装置において、
    前記スイッチング素子のゲート制御端子に制御信号を伝達する制御信号出力段回路と、
    前記スイッチング素子の入力端子とゲート制御端子間に接続した電圧クランプ回路と、
    前記スイッチング素子の出力端子と前記ゲート制御端子間の電圧または前記ゲート制御端子の電流を検出する検出回路とを備え、
    前記検出回路は、前記スイッチング素子の出力端子と前記ゲート制御端子間の電圧検出値が、ターンオフ時のミラー期間終了時における前記スイッチング素子の出力端子と前記ゲート制御端子間の電圧値に設定された所定電圧値以下となった場合、又は、前記ゲート制御端子の電流検出値の絶対値が、ターンオフ時のミラー期間終了時における前記ゲート制御端子の電流絶対値に設定された所定電流値以下となった場合、又は、前記電流検出値の積分値が、ターンオフ時のミラー期間終了時における前記スイッチング素子のゲート電荷量に設定された所定電荷量以下となった場合に、ゲート判定信号を前記制御信号出力段回路へ出力し、
    前記制御信号出力段回路は、前記半導体スイッチング素子のターンオフ期間中に、前記ゲート判定信号を受信した場合に、前記制御信号出力段回路の出力段のインピーダンスを低下させることを特徴とする半導体駆動装置。
  3. 半導体スイッチング素子のオン・オフ状態を制御する半導体駆動装置において、
    前記スイッチング素子のゲート制御端子に制御信号を伝達する制御信号出力段回路と、
    前記スイッチング素子の入力端子とゲート制御端子間に接続した電圧クランプ回路と、
    前記スイッチング素子の出力端子と前記ゲート制御端子間の電圧または前記ゲート制御端子の電流を検出する検出回路とを備え、
    前記検出回路は、前記スイッチング素子の出力端子と前記ゲート制御端子間の電圧検出値が、所定電圧値以下となった場合、又は、前記ゲート制御端子の電流検出値の絶対値が、所定電流値以下となった場合、又は、前記電流検出値の積分値が、所定電荷量以下となった場合に、ゲート判定信号を前記制御信号出力段回路へ出力し、前記所定電圧値または前記所定電流値または所定電荷量を複数個有し、前記スイッチング素子の出力端子と前記ゲート制御端子間の電圧検出値が各所定電圧値以下となる度に前記ゲート判定信号を前記制御信号出力段回路へ複数回出力し、又は、前記ゲート制御端子の電流検出値の絶対値が、各所定電流値以下となる度に前記ゲート判定信号を前記制御信号出力段回路へ複数回出力し、又は、前記ゲート制御端子の電流検出値の積分値が、各所電荷量以下となる度に前記ゲート判定信号を前記制御信号出力段回路へ複数回出力し、
    前記制御信号出力段回路は、前記半導体スイッチング素子のターンオフ期間中に、前記検出回路から複数回受信した前記ゲート判定信号に基づいて、前記制御信号出力段回路の出力段のインピーダンスを複数回切り替えて、徐々にインピーダンスを低下させることを特徴とする半導体駆動装置。
  4. 半導体スイッチング素子のオン・オフ状態を制御する半導体駆動装置において、
    前記スイッチング素子のゲート制御端子に制御信号を伝達する制御信号出力段回路と、
    前記スイッチング素子の入力端子とゲート制御端子間に接続した電圧クランプ回路と、
    前記スイッチング素子の出力端子と前記ゲート制御端子間の電圧または前記ゲート制御端子の電流を検出する検出回路とを備え、
    前記電圧クランプ回路は、電圧クランプダイオードを有し、
    前記制御信号出力段回路は、前記半導体スイッチング素子のターンオフ期間中に、前記検出回路の検出結果に基づいて、該制御信号出力段回路の出力段のインピーダンスを低下させることを特徴とする半導体駆動装置。
  5. 半導体スイッチング素子のオン・オフ状態を制御する半導体駆動装置において、
    前記スイッチング素子のゲート制御端子に制御信号を伝達する制御信号出力段回路と、
    前記スイッチング素子の入力端子とゲート制御端子間に接続した電圧クランプ回路と、
    前記スイッチング素子の出力端子と前記ゲート制御端子間の電圧または前記ゲート制御端子の電流を検出する検出回路とを備え、
    前記電圧クランプ回路は、電圧クランプダイオードと、前記電圧クランプダイオードと直列に接続したコンデンサと、を有し、
    前記制御信号出力段回路は、前記半導体スイッチング素子のターンオフ期間中に、前記検出回路の検出結果に基づいて、該制御信号出力段回路の出力段のインピーダンスを低下させることを特徴とする半導体駆動装置。
  6. 半導体スイッチング素子のオン・オフ状態を制御する半導体駆動装置において、
    前記スイッチング素子のゲート制御端子に制御信号を伝達する制御信号出力段回路と、
    前記スイッチング素子の入力端子とゲート制御端子間に接続した電圧クランプ回路と、
    前記スイッチング素子の出力端子と前記ゲート制御端子間の電圧または前記ゲート制御端子の電流を検出する検出回路とを備え、
    前記電圧クランプ回路は、直列接続された複数の電圧クランプダイオードと、前記複数の電圧クランプダイオードの一部と並列接続され、前記電圧クランプダイオードの電流または電圧に基づいてオン・オフするスイッチング素子と、を有し、
    前記制御信号出力段回路は、前記半導体スイッチング素子のターンオフ期間中に、前記検出回路の検出結果に基づいて、該制御信号出力段回路の出力段のインピーダンスを低下させることを特徴とする半導体駆動装置。
  7. 複数の前記半導体スイッチング素子を直列に接続して構成した上下アームを複数備え、
    前記複数の半導体スイッチング素子毎のオン・オフを制御する複数の半導体駆動装置を備えた電力変換装置であって、
    前記複数の半導体駆動装置は、請求項1乃至請求項のいずれかに記載の半導体駆動装置により構成されることを特徴とする電力変換装置。
  8. 複数の半導体スイッチング素子を直列に接続して構成した上下アームを複数備え、
    前記複数の半導体スイッチング素子毎のオン・オフを制御する複数の半導体駆動装置を備えた電力変換装置であって、
    前記複数の半導体駆動装置は、
    前記スイッチング素子のゲート制御端子に制御信号を伝達する制御信号出力段回路と、
    前記スイッチング素子の入力端子とゲート制御端子間に接続した電圧クランプ回路と、
    前記スイッチング素子の出力端子と前記ゲート制御端子間の電圧または前記ゲート制御端子の電流を検出する検出回路とを備え、
    前記制御信号出力段回路は、前記半導体スイッチング素子のターンオフ期間中に、前記検出回路の検出結果に基づいて、該制御信号出力段回路の出力段のインピーダンスを低下させることを特徴とする電力変換装置。
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