JP4220042B2 - 前後進するチップグリッパーを備えた半導体取付装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、第1位置においてチップを持ち上げて第2位置において基板上にチップを置くために、レバー機構によって第1位置と第2位置との間にわたって前後進可能とされたチップグリッパーを備えた半導体取付装置に関するものである。「ピックアップおよび配置」装置として参照されるこのような装置は、半導体取付において「ダイボンダー」として知られている取付装置の一構成要素として使用される。取付装置は、キャリア上に連続して配置されている、ウェハ上の多数の同様のチップを、例えば金属リードフレームのような基板上に、次々に取り付けるように機能する。各々のピックアップおよび配置動作に関連して、チップキャリアを載置したウェハテーブルは、第1位置において次なるチップを利用可能とし、また、第2位置において新たな基板の配置を利用可能とするために、基板が前進される。チップを持ち上げてその後配置するために、チップグリッパーは、装置全体とともにあるいは装置とは別にそれ自身が、公知方法によって、昇降することができる。
【0002】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】
上記のタイプの取付装置に関しては、極度に要求が大きい。取り付けられたチップをさらに処理するために(ワイヤボンダーにおける集積回路の接続)、チップは、基板上に正確に配置されなければならない。そのためには、チップグリッパーによって第2位置へと同程度に正確に到着することが必要であり、また、チップを持ち上げるための第1位置に対して予め正確に搬送されていることが必要である。他方、高速であって短いサイクル時間の移動シーケンスが要望されており、このことは、移動対象をなすパーツに対して、大きな加速度と慣性力とを引き起こす。
【0003】
現在までのところ、チップグリッパーの往復移動を引き起こすために、様々なレバー機構が使用されてきた。レバー機構には、ガイドスロットが(例えば、公知のマルターゼ伝達構成のようにして)設けられることがある。このようなスロットは、スロットどうしの間に大きな剪断力が発生することのために正確な移動を得ることに関しては不利であり、相応の対処をしなければならない。他の公知機構においては、チップグリッパーは、前後に回転するレバーの端部に配置されている。言い換えれば、チップグリッパーは、レバーの揺動移動に対応した湾曲移動をする。この場合には、端部において停止する際に常に、強い振動(ぶれ)を伴ってしまう。したがって、公知の構成であると、正確さや速度といった実用的な要求を満たすことが困難である。
【0004】
本発明の目的は、上述のタイプの半導体取付装置に関して、従来技術において存在している欠点を克服することである。つまり、ピックアップおよび配置機構を、両端位置においてチップグリッパーを正確に位置させることができ、かつ、迅速な前後移動を可能としてサイクル時間を短縮し得るようなものとすることである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記課題は、請求項1記載の特徴点を有した本発明によって解決される。本発明によれば、装置のレバー機構は、第1位置と第2位置との双方から等距離の位置に設けられたシャフト上に配置されているとともに、2つの端部位置の間にわたる各回転方向に交互に駆動され、さらに、各端部位置においては前記位置のうちのいずれかを向いて配置された、第1回転レバーを具備している。第1回転レバーの端部には、第2回転レバーが取り付けられている。第2回転レバーは、第1回転レバーの回転移動に対して、特定のギヤ比でもって、第1回転レバーの回転方向とは逆方向に駆動される。第2回転レバーの端部には、チップグリッパーが連結されている。前記ギヤ比、および、2つの回転レバーの長さは、第1回転レバーの2つの端部位置において、2つの回転レバーが互いに直線状をなし、かつ、チップグリッパーが前記位置のうちの一方に到達するように、互いに適合されている。
【0006】
上記適合は、
n=360°/Φ; h1/h2=n−1; h1+h2=S
が満たされることによって達成される。ここで、
n:ギヤ比、
Φ:端部位置どうしの間にわたっての、第1回転レバーの回転範囲、
h1:第1回転レバーの長さ、
h2:第2回転レバーの長さ、
S:第1回転レバーの回転軸と、第1位置または第2位置と、の間の距離、
である。
【0007】
理解されるように(後述の具体例を参照することによっても)、適合条件を満たした様々な、回転範囲、ギヤ比、および、レバー比率を有した様々な実施形態が可能である。本発明の目的に対しては、このタイプのレバー機構において、主に重要なことは、各移動サイクルの終了時に、チップグリッパーが、常に、伸長したレバー方向において、端部位置(第1位置または第2位置)に到達することである。言い換えれば、レバーの長さ方向に対して直交する向きの移動成分が消失することである。その場合、加速されたチップグリッパーの慣性力は、レバーの伸長方向に機能し、伸長位置の安定化に特定の方法で寄与する。最後に、伸長位置における第1回転レバーの偶発的な過回転(第1回転レバーは、回転範囲の端部において停止しなければならない)は、チップグリッパーの端部位置における影響を消失させる。このような有利な運動特性および動特性は、本発明による取付装置に精度が高くかつ長期にわたって安定な配置精度をもたらすとともに、サイクル時間を短くする。
【0008】
本発明の特に単純で有利な実施形態は、回転範囲がΦ=180°であり、ギヤ比がn=2であり、レバー比率がh1/h2=1である場合に得られる。このようなパラメータを備えたレバー機構は、いわゆる直線型機構として公知である。直線型機構とは、移動を受ける部材が、この場合にはチップグリッパーが、直線的に移動することを意味している。
【0009】
上述のように、本発明による装置は、原理的に、他のパラメータを使用して構成することができる(整数でないnを使用することさえできる)。請求項1に記載の本発明による装置のさらに他の構成は、従属請求項に記載されている。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明を、実施形態について詳細に説明する。
【0011】
図1は、本発明による半導体取付装置を簡略化して示す側面図である。
図2は、図1の装置を示す平面図である(ウェハおよび基板は省略されている)。
図3および図4は、図1および図2の装置におけるタイミング図である。
図5は、他の実施形態を示す平面図である。
図6は、規制手段を示す図である。
【0012】
図1および図2に示す半導体取付装置は、詳細には示しておらず公知の「ダイボンダー」と称される取付装置の一構成要素である。目的は、チップグリッパー20を使用して、第1位置Aにおいてチップキャリア32から半導体チップ30を持ち上げ、チップグリッパーを移動させ、さらに、第2位置Bにおいて基板38上にチップを配置する動作(「ピックアップおよび配置」)を繰り返すことである。ウェハ35のチップを搭載したチップキャリア32(典型的には、接着箔)は、移動可能なウェハテーブル34上に配置されている。ウェハテーブル34は、次なるチップ30を位置Aに移動させることができる。例えば金属製リードフレームとされた基板38は、「インデクサー(indexer)」 と称される移動手段上に配置されている。インデクサーは、位置Bにおいて次なるチップを受領し得るよう自由な基板位置をもたらすために、基板をステップ的に前進させる。ウェハテーブルおよびインデクサーは、公知の構成要素であって、本発明の主題ではないので、詳細には図示していない(図2においては完全に省略されている)。チップ30を持ち上げてその後チップ30を配置するために、チップグリッパー20(いわゆるボンディングヘッドの構成要素)は、図1において概略的に矢印で示すように、ピックアップおよび配置装置に対して、上下に移動することができる。一方、装置も、また、全体的に鉛直方向に移動可能であるように構成されている(図1)。
【0013】
図1および図2に示すピックアップおよび配置装置は、シャフト4上に位置している第1回転レバー10を備えている。シャフト4は、(図2に示すベアリング3によって)位置A、B間の中央に保持されている。つまり、レバー10の回転軸は、位置A、Bから同じ距離Sの位置に位置している。第1回転レバーの端部には、シャフト14を介して、第2回転レバー12が取り付けられている。第2レバーの端部には、軸16を介して、スライド体18が連結されている。スライド体18は、チップグリッパー20を搭載しており、位置A、B間にわたって延在している直線状ガイド19に沿ってスライドする。
【0014】
例えばモータ1と歯付きベルト機構2と(図2にのみ示す)からなるような固定された回転アクチュエータが、シャフト4を介して、第1レバー10を、交互に逆回転させるように駆動する。その結果、レバー10は、それぞれ位置A、Bを向いている2つの端部位置Ea、Eb間の回転範囲Φを掃引する。図1においては、回転したレバーの端部位置およびチップグリッパーの端部位置が一点鎖線で示されており、途中位置(レバー10の回転角度がφ1である位置)が実線で示されている。第1回転レバー10の端部位置Ea、Ebは、モータ1の適切な駆動制御によって決定され、維持される。
【0015】
第2回転レバー12は、第1レバー10に対して「受動的に」追従するわけではなく、第1レバー10に対して所定のギヤ比でもって、第1レバー10の回転方向とは反対方向に駆動される。図示の例においては、この駆動は、歯付きベルト6によってもたらされる。歯付きベルト6は、シャフト4と同軸の固定された歯車5と、シャフト14上に設けられた歯車7と、の間にわたって巻回されている(歯付きベルト6に代えて、両方の歯車5,7に噛合する中間歯車を、レバー12上に設けることができる)。このようにして、2つのレバー10,12の回転運動(それぞれの回転角度はφ1およびφ2)が、特定の様式で連携されている。
【0016】
与えられた回転範囲Φが180°である場合には、レバー10,12間のギヤ比nは、2とされる。すなわち、レバーの各位置において、レバー10に対してのレバー12の角度φ2は、常に、レバー10の回転角度φ1の2倍である。また、レバー10,12が同じ長さh1およびh2とされていて、2つのレバーの長さの合計h1+h2が距離Sに等しいことが重要である。このようにして、ギヤ比nおよびレバー長さh1,h2は、上述の比率に対応して、180°という回転角度Φに適合している。その結果、第1回転レバー10の各端部位置Ea、Ebにおいては、2つの回転レバー10,12は、互いに直線状をなし、チップグリッパー20が、位置AまたはBのいずれかに配置される。
【0017】
図1および図2に示すレバー機構は、直線機構の性質を有している。すなわち、第2回転レバー12のの端部(軸16)が、直線G上を移動する。このことは、スライド体18から直線状ガイド19に対して、剪断力やモーメントが一切もたらされないことを意味している。スライド体18とレバー12との間のこのような案内および関節結合は、本質的に、チップグリッパーの搬送時におけるチップグリッパーの向きを一定に維持するという機能だけを有している(レバー12とチップグリッパー20との間が堅固に連結されている場合には、チップグリッパー20は、搬送されるチップ30とともに、チップキャリア32および基板38がなす平面に対してそれぞれ180°だけ回転する)。図1から容易にわかるように、チップグリッパーは、2つの回転レバーの直線配置のおかげで、つまり、軸4,14,16といった複数の長さ方向軸が直線G上に位置することのおかげで、位置AまたはB上へと、高精度で到達する。このような直線状配置においては、全体構成は、高度に堅固である。このようにして、チップキャリアからのチップ30の正確の持上、および、基板上へのチップ30の正確な取付のための必須条件が、満たされる。
【0018】
図3は、回転角度φ1が時間tに対して線形的に変化するという理想的な仮定の下での、AからBへの移動サイクル時におけるまた逆にBからAへの移動サイクル時における、移動距離s、速度v、および、加速度aの時間特性を示している。図からわかるように、図1および図2に示すレバー機構においては、3つのすべての値s、v、および、aは、調和関数にしたがって変化する。しかしながら、交互移動においては、図3に見られるような急速な駆動開始および駆動停止は、実現されない。図4は、端部領域における駆動の「ソフトな」開始およびブレーキングを使用した、実用的な条件下での、s、v、および、aの特性を示している。
【0019】
図1および図2の実施形態においては、レバー10,12の回転移動は、鉛直面内において起こる。すなわち、チップキャリア32や基板38に対して直交する面内において起こる。この場合、レバーの軸が垂直であり、そのため、チップキャリア面や基板面と平行な水平面内を複数のレバーが移動するような、他の実施形態を想定することができる。その場合、チップグリッパーは、第2回転バーの端部に対して堅固に連結することができ、(図1および図2における直線状ガイド19に対応した)長さ方向ガイドは、原則として不要である。しかしながら、ウェハテーブル上におけるチップキャリアの向きに関しては、AからBに向けての経路に沿った平面内においてチップが180°だけ回転することを考慮しなければならない。このような変形形態においては、チップグリッパーの(および第2回転レバーの)鉛直位置および側方位置のための端部係止体を設けておくことが有利である。
【0020】
図5には、本発明による半導体取付装置の他の例が平面図で示されている。この例においては、回転レバー10’、12’は、水平回転するように構成されており、図1および図2の例と比較してパラメータが変更されている。この構成においては、回転範囲Φ’は、120°であり、対応して、ギヤ比nが3であって、レバー長さの比h1/h2は、2である。この場合にも、異なる長さとされたレバー長さの合計h1+h2は、第1回転レバー10’の軸4’と、位置AまたはBと、の間の距離Sに等しいものとされている。
【0021】
第1回転レバー10’の軸4’は、A、B間の中間垂直線上に取り付けられている。これにより、端部位置EaおよびEbにおいては、レバー10’および第2回転レバー12’は、互いに直線状をなし、位置A、Bへと直面する。この場合には第2レバー12’の端部に対して堅固に固定されたチップグリッパー20’は、位置A、B間にわたって搬送される。レバー10’の交互回転駆動装置(図示せず)は、図2のものと同様に構成することができる。しかしながら、この場合には、上記の通り、回転範囲は、わずか120°である。この場合にも、端部位置EaおよびEbは、駆動モータの適切な制御によって決定される。この場合においても、固定された歯車5’と歯車7’との間に巻回された歯付きベルト6’が、第2回転レバー12’の反対向きの駆動のための連結をもたらすよう機能している。歯車7’は、シャフト14’を介して、レバー12’に対して連結されており、その歯数は、歯車5’の歯数の3分の1とされている。したがって、レバー10’に対しての、レバー12’の回転角度φ2は、常に、レバー10’の回転角度φ1の3倍である。
【0022】
各チップ30は、AからBに向けての経路に沿って、120°回転を受ける。したがって、ウェハ35は、Eaに対して平行にまた垂直にチップのエッジを向かせなければならない。そのため、ウェハテーブル34の変位は、図6において矢印で示すような向きとしなければならない。
【0023】
よって、この変形例においても、上記パラメータは、端部位置Ea、Ebにおける2つの回転レバーの対しての、直線状配置のための基準を満たす。この場合、チップグリッパー20’は、A、B間を直線的に移動するのではなく、湾曲経路Tに沿って移動する。A、Bにおける端部位置Ea、Ebは、この経路Tに対して接線的である。このことは、この場合においても、チップグリッパーがAまたはBに到達するに際して、EaおよびEbに対して直交するような移動成分が消失していることを意味している。よって、この例における構成は、先の例におけるものと同様の有利さを有している。
【0024】
2つの回転レバー10’、12’を備えたピックアップおよび配置装置の構成は、さらに、端部位置EaおよびEbにおいてチップグリッパーの移動を案内するとともにそれによって急速な停止時における回転レバー12’およびチップグリッパー20’の揺動を効率的に防止し得るような規制手段の使用を可能とする。図6は、端部位置Ebに到達する直前箇所における回転レバー12’を示している。回転レバー12’は、2つの端面41a、41bを有したT字形端部41を備えている。チップグリッパー20の中心は、破線に沿って移動する。端面41a、41bは、それぞれ、曲線43a、43bに沿って移動する。ピックアップおよび配置装置は、チップグリッパー20の移動方向に対して側方に設けられた規制手段44を備えている。規制手段44の面44a、44bは、それぞれ、曲線43a、43bに適合するものとされている。これにより、回転レバー12’の面41a、41bは、規制手段44の面44a、44bにそれぞれってスライドする。
【0025】
図1および図2の実施形態においては、規制手段でもって、直線状ガイド19を置換することができる。
【0026】
1つの回転レバーしか備えていないピックアップおよび配置装置と比較しての、2つの回転レバーを備えたピックアップおよび配置装置の利点は、特に、端部位置EaおよびEbにおけるチップグリッパー20の停止を、規制手段を使用することによって改良することができることであり、また、レバーアームの長さが短いことのために回転時の遠心力が小さいことである。また、レバーアームの長さが短いことは、駆動源における電力消費を小さくする。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明による半導体取付装置を簡略化して示す側面図である。
【図2】 図1の装置を示す平面図である(ウェハおよび基板は省略されている)。
【図3】 図1および図2の装置におけるタイミング図である。
【図4】 図1および図2の装置におけるタイミング図である。
【図5】 他の実施形態を示す平面図である。
【図6】 規制手段を示す図である。
【符号の説明】
4 シャフト
5 歯車
6 歯付きベルト
7 歯車
10 第1回転レバー
10’ 第1回転レバー
12 第2回転レバー
12’ 第2回転レバー
14 シャフト
18 スライド体
19 ガイド部材
20 チップグリッパー
20’ チップグリッパー
30 チップ
32 チップキャリア
38 基板
44 規制手段
A 第1位置
B 第2位置
Ea 端部位置
Eb 端部位置
h1 第1回転レバーの長さ
h2 第2回転レバーの長さ
n ギヤ比
Φ 第1回転レバーの回転範囲
Claims (10)
- 基板(38)上にチップを置くための装置であって、
第1シャフト(4)が第1位置(A)と第2位置(B)との双方から等距離の位置に設けられたものである場合に、この第1シャフト(4)に対して一端が取り付けられた第1回転レバー(10)と、
前記第1回転レバー(10)の他端に対して第2シャフト(14)を介して取り付けられた第2回転レバー(12)であるとともに、前記第1および第2回転レバー(10、12)の長さの合計が、前記第1シャフト(4)から前記第1位置(A)までの距離、あるいは、前記第1シャフト(4)から前記第2位置(B)までの距離、と等しいものとされているような、第2回転レバー(12)と、
この第2回転レバー(12)の一端に配置されたチップグリッパー(20)と、
前記第1回転レバー(10)が前記第1位置(A)を向いている第1端部位置(Ea)と、前記第1回転レバー(10)が前記第2位置(B)を向いている第2端部位置(Eb)と、の間の角度範囲(Φ)の間にわたる各回転方向に前記第1回転レバー(10)を交互に回転駆動させるための回転アクチュエータと、
前記第1回転レバー(10)の回転方向とは逆方向に前記第2回転レバー(12)を回転駆動させるための駆動機構と、
を具備し、
前記第1回転レバー(10)の前記第1および第2端部位置(Ea、Eb)においては、前記第1および第2回転レバー(10,12)が互いに直線状をなしていることを特徴とする装置。 - 前記2つの回転レバー(10,12)は、前記基板(38)に対して垂直な平面内において回転することを特徴とする請求項1記載の装置。
- 前記端部位置(Ea、Eb)どうしの間にわたっての、前記第1回転レバー(10)の回転範囲(Φ)が180°であることを特徴とする請求項1または2記載の装置。
- 前記第2回転レバー(12)の他端には、ガイド部材(19)に沿って移動可能でありかつ前記チップグリッパー(20)を搭載したスライド体(18)が連結されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の装置。
- 前記2つの回転レバー(10’,12’)は、前記基板(38)に対して平行な平面内において回転することを特徴とする請求項1記載の装置。
- 前記端部位置(Ea、Eb)どうしの間にわたっての、前記第1回転レバー(10’)の回転範囲(Φ)が120°であることを特徴とする請求項5記載の装置。
- 前記チップグリッパー(20’)が、前記第2回転レバー(12’)の前記他端に堅固に固定されていることを特徴とする請求項5または6記載の装置。
- 前記端部位置(Ea、Eb)に、前記第2回転レバー(12’)のための規制手段(44)が、前記チップグリッパー(20)の移動方向に関して側方に設けられていることを特徴とする請求項5〜7のいずれか1項に記載の装置。
- 前記駆動機構が、前記第1シャフト(4)上に同軸的に固定された第1歯車(5)と、前記第2シャフト(14)上に同軸的に固定された第2歯車(7)と、これら第1および第2歯車(5、7)の間にわたって巻回されたベルト(6)と、を備えていることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の装置。
- 前記駆動機構が、前記第1シャフト(4)上に同軸的に固定された第1歯車(5)と、前記第2シャフト(14)上に同軸的に固定された第2歯車(7)と、これら第1および第2歯車(5、7)に対して係合しつつ前記第1回転レバー(10)上に取り付けられた中間歯車と、を備えていることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の装置。
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