JPH11260841A - 前後進するチップグリッパーを備えた半導体取付装置 - Google Patents

前後進するチップグリッパーを備えた半導体取付装置

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JPH11260841A
JPH11260841A JP10344326A JP34432698A JPH11260841A JP H11260841 A JPH11260841 A JP H11260841A JP 10344326 A JP10344326 A JP 10344326A JP 34432698 A JP34432698 A JP 34432698A JP H11260841 A JPH11260841 A JP H11260841A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 チップグリッパーを正確にかつ迅速に移動さ
せ得る半導体取付装置を提供すること。 【解決手段】 第１位置Ａにおいてチップキャリア３２
からチップ３０を持ち上げて第２位置Ｂにおいて基板３
８上にチップを置くために、レバー機構によって前後進
可能とされたチップグリッパー２０を備えた半導体取付
装置であって、２つの端部位置Ｅａ、Ｅｂ間を駆動され
る第１回転レバー１０と、所定のギヤ比でもって第１レ
バーとは逆方向に駆動される第２回転レバー１２と、を
具備し、ギヤ比と各回転レバー１０，１２の長さｈ１，
ｈ２とは、端部位置Ｅａ、Ｅｂにおいて各回転レバー１
０，１２が互いに直線状をなしチップグリッパー２０が
前記位置のうちの一方（ＡまたはＢ）に到達するよう
に、互いに適合されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、第１位置において
チップを持ち上げて第２位置において基板上にチップを
置くために、レバー機構によって第１位置と第２位置と
の間にわたって前後進可能とされたチップグリッパーを
備えた半導体取付装置に関するものである。「ピックア
ップおよび配置」装置として参照されるこのような装置
は、半導体取付において「ダイボンダー」として知られ
ている取付装置の一構成要素として使用される。取付装
置は、キャリア上に連続して配置されている、ウェハ上
の多数の同様のチップを、例えば金属リードフレームの
ような基板上に、次々に取り付けるように機能する。各
々のピックアップおよび配置動作に関連して、チップキ
ャリアを載置したウェハテーブルは、第１位置において
次なるチップを利用可能とし、また、第２位置において
新たな基板の配置を利用可能とするために、基板が前進
される。チップを持ち上げてその後配置するために、チ
ップグリッパーは、装置全体とともにあるいは装置とは
別にそれ自身が、公知方法によって、昇降することがで
きる。
【０００２】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】上記
のタイプの取付装置に関しては、極度に要求が大きい。
取り付けられたチップをさらに処理するために（ワイヤ
ボンダーにおける集積回路の接続）、チップは、基板上
に正確に配置されなければならない。そのためには、チ
ップグリッパーによって第２位置へと同程度に正確に到
着することが必要であり、また、チップを持ち上げるた
めの第１位置に対して予め正確に搬送されていることが
必要である。他方、高速であって短いサイクル時間の移
動シーケンスが要望されており、このことは、移動対象
をなすパーツに対して、大きな加速度と慣性力とを引き
起こす。
【０００３】現在までのところ、チップグリッパーの往
復移動を引き起こすために、様々なレバー機構が使用さ
れてきた。レバー機構には、ガイドスロットが（例え
ば、公知のマルターゼ伝達構成のようにして）設けられ
ることがある。このようなスロットは、スロットどうし
の間に大きな剪断力が発生することのために正確な移動
を得ることに関しては不利であり、相応の対処をしなけ
ればならない。他の公知機構においては、チップグリッ
パーは、前後に回転するレバーの端部に配置されてい
る。言い換えれば、チップグリッパーは、レバーの揺動
移動に対応した湾曲移動をする。この場合には、端部に
おいて停止する際に常に、強い振動（ぶれ）を伴ってし
まう。したがって、公知の構成であると、正確さや速度
といった実用的な要求を満たすことが困難である。
【０００４】本発明の目的は、上述のタイプの半導体取
付装置に関して、従来技術において存在している欠点を
克服することである。つまり、ピックアップおよび配置
機構を、両端位置においてチップグリッパーを正確に位
置させることができ、かつ、迅速な前後移動を可能とし
てサイクル時間を短縮し得るようなものとすることであ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題は、請求項１記
載の特徴点を有した本発明によって解決される。本発明
によれば、装置のレバー機構は、第１位置と第２位置と
の双方から等距離の位置に設けられたシャフト上に配置
されているとともに、２つの端部位置の間にわたる各回
転方向に交互に駆動され、さらに、各端部位置において
は前記位置のうちのいずれかを向いて配置された、第１
回転レバーを具備している。第１回転レバーの端部に
は、第２回転レバーが取り付けられている。第２回転レ
バーは、第１回転レバーの回転移動に対して、特定のギ
ヤ比でもって、第１回転レバーの回転方向とは逆方向に
駆動される。第２回転レバーの端部には、チップグリッ
パーが連結されている。前記ギヤ比、および、２つの回
転レバーの長さは、第１回転レバーの２つの端部位置に
おいて、２つの回転レバーが互いに直線状をなし、か
つ、チップグリッパーが前記位置のうちの一方に到達す
るように、互いに適合されている。
【０００６】上記適合は、 ｎ＝３６０°／Φ； ｈ１／ｈ２＝ｎ−１； ｈ１＋ｈ
２＝Ｓ が満たされることによって達成される。ここで、 ｎ：ギヤ比、 Φ：端部位置どうしの間にわたっての、第１回転レバー
の回転範囲、 ｈ１：第１回転レバーの長さ、 ｈ２：第２回転レバーの長さ、 Ｓ：第１回転レバーの回転軸と、第１位置または第２位
置と、の間の距離、である。
【０００７】理解されるように（後述の具体例を参照す
ることによっても）、適合条件を満たした様々な、回転
範囲、ギヤ比、および、レバー比率を有した様々な実施
形態が可能である。本発明の目的に対しては、このタイ
プのレバー機構において、主に重要なことは、各移動サ
イクルの終了時に、チップグリッパーが、常に、伸長し
たレバー方向において、端部位置（第１位置または第２
位置）に到達することである。言い換えれば、レバーの
長さ方向に対して直交する向きの移動成分が消失するこ
とである。その場合、加速されたチップグリッパーの慣
性力は、レバーの伸長方向に機能し、伸長位置の安定化
に特定の方法で寄与する。最後に、伸長位置における第
１回転レバーの偶発的な過回転（第１回転レバーは、回
転範囲の端部において停止しなければならない）は、チ
ップグリッパーの端部位置における影響を消失させる。
このような有利な運動特性および動特性は、本発明によ
る取付装置に精度が高くかつ長期にわたって安定な配置
精度をもたらすとともに、サイクル時間を短くする。
【０００８】本発明の特に単純で有利な実施形態は、回
転範囲がΦ＝１８０°であり、ギヤ比がｎ＝２であり、
レバー比率がｈ１／ｈ２＝１である場合に得られる。こ
のようなパラメータを備えたレバー機構は、いわゆる直
線型機構として公知である。直線型機構とは、移動を受
ける部材が、この場合にはチップグリッパーが、直線的
に移動することを意味している。
【０００９】上述のように、本発明による装置は、原理
的に、他のパラメータを使用して構成することができる
（整数でないｎを使用することさえできる）。請求項１
に記載の本発明による装置のさらに他の構成は、従属請
求項に記載されている。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発
明を、実施形態について詳細に説明する。
【００１１】図１は、本発明による半導体取付装置を簡
略化して示す側面図である。図２は、図１の装置を示す
平面図である（ウェハおよび基板は省略されている）。
図３および図４は、図１および図２の装置におけるタイ
ミング図である。図５は、他の実施形態を示す平面図で
ある。図６は、規制手段を示す図である。
【００１２】図１および図２に示す半導体取付装置は、
詳細には示しておらず公知の「ダイボンダー」と称され
る取付装置の一構成要素である。目的は、チップグリッ
パー２０を使用して、第１位置Ａにおいてチップキャリ
ア３２から半導体チップ３０を持ち上げ、チップグリッ
パーを移動させ、さらに、第２位置Ｂにおいて基板３８
上にチップを配置する動作（「ピックアップおよび配
置」）を繰り返すことである。ウェハ３５のチップを搭
載したチップキャリア３２（典型的には、接着箔）は、
移動可能なウェハテーブル３４上に配置されている。ウ
ェハテーブル３４は、次なるチップ３０を位置Ａに移動
させることができる。例えば金属製リードフレームとさ
れた基板３８は、「インデクサー（indexer）」 と称さ
れる移動手段上に配置されている。インデクサーは、位
置Ｂにおいて次なるチップを受領し得るよう自由な基板
位置をもたらすために、基板をステップ的に前進させ
る。ウェハテーブルおよびインデクサーは、公知の構成
要素であって、本発明の主題ではないので、詳細には図
示していない（図２においては完全に省略されてい
る）。チップ３０を持ち上げてその後チップ３０を配置
するために、チップグリッパー２０（いわゆるボンディ
ングヘッドの構成要素）は、図１において概略的に矢印
で示すように、ピックアップおよび配置装置に対して、
上下に移動することができる。一方、装置も、また、全
体的に鉛直方向に移動可能であるように構成されている
（図１）。
【００１３】図１および図２に示すピックアップおよび
配置装置は、シャフト４上に位置している第１回転レバ
ー１０を備えている。シャフト４は、（図２に示すベア
リング３によって）位置Ａ、Ｂ間の中央に保持されてい
る。つまり、レバー１０の回転軸は、位置Ａ、Ｂから同
じ距離Ｓの位置に位置している。第１回転レバーの端部
には、シャフト１４を介して、第２回転レバー１２が取
り付けられている。第２レバーの端部には、軸１６を介
して、スライド体１８が連結されている。スライド体１
８は、チップグリッパー２０を搭載しており、位置Ａ、
Ｂ間にわたって延在している直線状ガイド１９に沿って
スライドする。
【００１４】例えばモータ１と歯付きベルト機構２と
（図２にのみ示す）からなるような固定された回転アク
チュエータが、シャフト４を介して、第１レバー１０
を、交互に逆回転させるように駆動する。その結果、レ
バー１０は、それぞれ位置Ａ、Ｂを向いている２つの端
部位置Ｅａ、Ｅｂ間の回転範囲Φを掃引する。図１にお
いては、回転したレバーの端部位置およびチップグリッ
パーの端部位置が一点鎖線で示されており、途中位置
（レバー１０の回転角度がφ１である位置）が実線で示
されている。第１回転レバー１０の端部位置Ｅａ、Ｅｂ
は、モータ１の適切な駆動制御によって決定され、維持
される。
【００１５】第２回転レバー１２は、第１レバー１０に
対して「受動的に」追従するわけではなく、第１レバー
１０に対して所定のギヤ比でもって、第１レバー１０の
回転方向とは反対方向に駆動される。図示の例において
は、この駆動は、歯付きベルト６によってもたらされ
る。歯付きベルト６は、シャフト４と同軸の固定された
歯車５と、シャフト１４上に設けられた歯車７と、の間
にわたって巻回されている（歯付きベルト６に代えて、
両方の歯車５，７に噛合する中間歯車を、レバー１２上
に設けることができる）。このようにして、２つのレバ
ー１０，１２の回転運動（それぞれの回転角度はφ１お
よびφ２）が、特定の様式で連携されている。
【００１６】与えられた回転範囲Φが１８０°である場
合には、レバー１０，１２間のギヤ比ｎは、２とされ
る。すなわち、レバーの各位置において、レバー１０に
対してのレバー１２の角度φ２は、常に、レバー１０の
回転角度φ１の２倍である。また、レバー１０，１２が
同じ長さｈ１およびｈ２とされていて、２つのレバーの
長さの合計ｈ１＋ｈ２が距離Ｓに等しいことが重要であ
る。このようにして、ギヤ比ｎおよびレバー長さｈ１，
ｈ２は、上述の比率に対応して、１８０°という回転角
度Φに適合している。その結果、第１回転レバー１０の
各端部位置Ｅａ、Ｅｂにおいては、２つの回転レバー１
０，１２は、互いに直線状をなし、チップグリッパー２
０が、位置ＡまたはＢのいずれかに配置される。
【００１７】図１および図２に示すレバー機構は、直線
機構の性質を有している。すなわち、第２回転レバー１
２のの端部（軸１６）が、直線Ｇ上を移動する。このこ
とは、スライド体１８から直線状ガイド１９に対して、
剪断力やモーメントが一切もたらされないことを意味し
ている。スライド体１８とレバー１２との間のこのよう
な案内および関節結合は、本質的に、チップグリッパー
の搬送時におけるチップグリッパーの向きを一定に維持
するという機能だけを有している（レバー１２とチップ
グリッパー２０との間が堅固に連結されている場合に
は、チップグリッパー２０は、搬送されるチップ３０と
ともに、チップキャリア３２および基板３８がなす平面
に対してそれぞれ１８０°だけ回転する）。図１から容
易にわかるように、チップグリッパーは、２つの回転レ
バーの直線配置のおかげで、つまり、軸４，１４，１６
といった複数の長さ方向軸が直線Ｇ上に位置することの
おかげで、位置ＡまたはＢ上へと、高精度で到達する。
このような直線状配置においては、全体構成は、高度に
堅固である。このようにして、チップキャリアからのチ
ップ３０の正確の持上、および、基板上へのチップ３０
の正確な取付のための必須条件が、満たされる。
【００１８】図３は、回転角度φ１が時間ｔに対して線
形的に変化するという理想的な仮定の下での、ＡからＢ
への移動サイクル時におけるまた逆にＢからＡへの移動
サイクル時における、移動距離ｓ、速度ｖ、および、加
速度ａの時間特性を示している。図からわかるように、
図１および図２に示すレバー機構においては、３つのす
べての値ｓ、ｖ、および、ａは、調和関数にしたがって
変化する。しかしながら、交互移動においては、図３に
見られるような急速な駆動開始および駆動停止は、実現
されない。図４は、端部領域における駆動の「ソフト
な」開始およびブレーキングを使用した、実用的な条件
下での、ｓ、ｖ、および、ａの特性を示している。
【００１９】図１および図２の実施形態においては、レ
バー１０，１２の回転移動は、鉛直面内において起こ
る。すなわち、チップキャリア３２や基板３８に対して
直交する面内において起こる。この場合、レバーの軸が
垂直であり、そのため、チップキャリア面や基板面と平
行な水平面内を複数のレバーが移動するような、他の実
施形態を想定することができる。その場合、チップグリ
ッパーは、第２回転バーの端部に対して堅固に連結する
ことができ、（図１および図２における直線状ガイド１
９に対応した）長さ方向ガイドは、原則として不要であ
る。しかしながら、ウェハテーブル上におけるチップキ
ャリアの向きに関しては、ＡからＢに向けての経路に沿
った平面内においてチップが１８０°だけ回転すること
を考慮しなければならない。このような変形形態におい
ては、チップグリッパーの（および第２回転レバーの）
鉛直位置および側方位置のための端部係止体を設けてお
くことが有利である。
【００２０】図５には、本発明による半導体取付装置の
他の例が平面図で示されている。この例においては、回
転レバー１０’、１２’は、水平回転するように構成さ
れており、図１および図２の例と比較してパラメータが
変更されている。この構成においては、回転範囲Φ’
は、１２０°であり、対応して、ギヤ比ｎが３であっ
て、レバー長さの比ｈ１／ｈ２は、２である。この場合
にも、異なる長さとされたレバー長さの合計ｈ１＋ｈ２
は、第１回転レバー１０’の軸４’と、位置ＡまたはＢ
と、の間の距離Ｓに等しいものとされている。
【００２１】第１回転レバー１０’の軸４’は、Ａ、Ｂ
間の中間垂直線上に取り付けられている。これにより、
端部位置ＥａおよびＥｂにおいては、レバー１０’およ
び第２回転レバー１２’は、互いに直線状をなし、位置
Ａ、Ｂへと直面する。この場合には第２レバー１２’の
端部に対して堅固に固定されたチップグリッパー２０’
は、位置Ａ、Ｂ間にわたって搬送される。レバー１０’
の交互回転駆動装置（図示せず）は、図２のものと同様
に構成することができる。しかしながら、この場合に
は、上記の通り、回転範囲は、わずか１２０°である。
この場合にも、端部位置ＥａおよびＥｂは、駆動モータ
の適切な制御によって決定される。この場合において
も、固定された歯車５’と歯車７’との間に巻回された
歯付きベルト６’が、第２回転レバー１２’の反対向き
の駆動のための連結をもたらすよう機能している。歯車
７’は、シャフト１４’を介して、レバー１２’に対し
て連結されており、その歯数は、歯車５’の歯数の３分
の１とされている。したがって、レバー１０’に対して
の、レバー１２’の回転角度φ２は、常に、レバー１
０’の回転角度φ１の３倍である。
【００２２】各チップ３０は、ＡからＢに向けての経路
に沿って、１２０°回転を受ける。したがって、ウェハ
３５は、Ｅａに対して平行にまた垂直にチップのエッジ
を向かせなければならない。そのため、ウェハテーブル
３４の変位は、図６において矢印で示すような向きとし
なければならない。
【００２３】よって、この変形例においても、上記パラ
メータは、端部位置Ｅａ、Ｅｂにおける２つの回転レバ
ーの対しての、直線状配置のための基準を満たす。この
場合、チップグリッパー２０’は、Ａ、Ｂ間を直線的に
移動するのではなく、湾曲経路Ｔに沿って移動する。
Ａ、Ｂにおける端部位置Ｅａ、Ｅｂは、この経路Ｔに対
して接線的である。このことは、この場合においても、
チップグリッパーがＡまたはＢに到達するに際して、Ｅ
ａおよびＥｂに対して直交するような移動成分が消失し
ていることを意味している。よって、この例における構
成は、先の例におけるものと同様の有利さを有してい
る。
【００２４】２つの回転レバー１０’、１２’を備えた
ピックアップおよび配置装置の構成は、さらに、端部位
置ＥａおよびＥｂにおいてチップグリッパーの移動を案
内するとともにそれによって急速な停止時における回転
レバー１２’およびチップグリッパー２０’の揺動を効
率的に防止し得るような規制手段の使用を可能とする。
図６は、端部位置Ｅｂに到達する直前箇所における回転
レバー１２’を示している。回転レバー１２’は、２つ
の端面４１ａ、４１ｂを有したＴ字形端部４１を備えて
いる。チップグリッパー２０の中心は、破線に沿って移
動する。端面４１ａ、４１ｂは、それぞれ、曲線４３
ａ、４３ｂに沿って移動する。ピックアップおよび配置
装置は、チップグリッパー２０の移動方向に対して側方
に設けられた規制手段４４を備えている。規制手段４４
の面４４ａ、４４ｂは、それぞれ、曲線４３ａ、４３ｂ
に適合するものとされている。これにより、回転レバー
１２’の面４１ａ、４１ｂは、規制手段４４の面４４
ａ、４４ｂにそれぞれってスライドする。
【００２５】図１および図２の実施形態においては、規
制手段でもって、直線状ガイド１９を置換することがで
きる。
【００２６】１つの回転レバーしか備えていないピック
アップおよび配置装置と比較しての、２つの回転レバー
を備えたピックアップおよび配置装置の利点は、特に、
端部位置ＥａおよびＥｂにおけるチップグリッパー２０
の停止を、規制手段を使用することによって改良するこ
とができることであり、また、レバーアームの長さが短
いことのために回転時の遠心力が小さいことである。ま
た、レバーアームの長さが短いことは、駆動源における
電力消費を小さくする。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明による半導体取付装置を簡略化して示
す側面図である。
【図２】 図１の装置を示す平面図である（ウェハおよ
び基板は省略されている）。
【図３】 図１および図２の装置におけるタイミング図
である。
【図４】 図１および図２の装置におけるタイミング図
である。
【図５】 他の実施形態を示す平面図である。
【図６】 規制手段を示す図である。
【符号の説明】
４ シャフト ５ 歯車 ６ 歯付きベルト ７ 歯車 １０ 第１回転レバー １０’ 第１回転レバー １２ 第２回転レバー １２’ 第２回転レバー １４ シャフト １８ スライド体 １９ ガイド部材 ２０ チップグリッパー ２０’ チップグリッパー ３０ チップ ３２ チップキャリア ３８ 基板 ４４ 規制手段 Ａ 第１位置 Ｂ 第２位置 Ｅａ 端部位置 Ｅｂ 端部位置 ｈ１ 第１回転レバーの長さ ｈ２ 第２回転レバーの長さ ｎ ギヤ比 Φ 第１回転レバーの回転範囲

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 第１位置（Ａ）においてチップキャリア
    （３２）からチップ（３０）を持ち上げて第２位置
    （Ｂ）において基板（３８）上にチップを置くために、
    レバー機構によって前記第１位置と前記第２位置との間
    にわたって前後進可能とされたチップグリッパー（２
    ０）を備えた半導体取付装置であって、 前記第１位置（Ａ）と前記第２位置（Ｂ）との双方から
    等距離の位置に設けられたシャフト（４）上に配置され
    ているとともに、２つの端部位置（Ｅａ、Ｅｂ）の間に
    わたる各回転方向に交互に駆動され、さらに、前記各端
    部位置（Ｅａ、Ｅｂ）においては前記位置（Ａ、Ｂ）の
    うちのいずれかを向いて配置された、第１回転レバー
    （１０）と、 前記第１回転レバー（１０）の端部上に配置されている
    とともに、前記第１回転レバーの回転移動に対して、所
    定のギヤ比（ｎ）でもって、前記第１回転レバーの回転
    方向とは逆方向に駆動され、さらに、端部には前記チッ
    プグリッパー（２０）が連結されている、第２回転レバ
    ー（１２）と、を具備し、 前記ギヤ比（ｎ）、および、前記２つの回転レバー（１
    ０，１２）の長さ（ｈ１，ｈ２）は、前記第１回転レバ
    ー（１０）の前記２つの端部位置（Ｅａ、Ｅｂ）におい
    て、前記２つの回転レバー（１０，１２）が互いに直線
    状をなし前記チップグリッパー（２０）が前記位置のう
    ちの一方（ＡまたはＢ）に到達するように、互いに適合
    されていることを特徴とする半導体取付装置。
  2. 【請求項２】 前記２つの回転レバー（１０，１２）
    は、前記基板（３８）に対して垂直な平面内において回
    転することを特徴とする請求項１記載の半導体取付装
    置。
  3. 【請求項３】 前記端部位置（Ｅａ、Ｅｂ）どうしの間
    にわたっての、前記第１回転レバー（１０）の回転範囲
    （Φ）が１８０°であり、 前記２つの回転レバー（１０，１２）の間の前記ギヤ比
    が２に等しく、 前記２つの回転レバー（１０，１２）の長さ（ｈ１，ｈ
    ２）の比が１に等しいことを特徴とする請求項１または
    ２記載の半導体取付装置。
  4. 【請求項４】 前記第２回転レバー（１２）の前記端部
    には、ガイド部材（１９）に沿って移動可能でありかつ
    前記チップグリッパー（２０）を搭載したスライド体
    （１８）が連結されていることを特徴とする請求項２記
    載の半導体取付装置。
  5. 【請求項５】 前記２つの回転レバー（１０’，１
    ２’）は、前記基板（３８）に対して平行な平面内にお
    いて回転することを特徴とする請求項１記載の半導体取
    付装置。
  6. 【請求項６】 前記端部位置（Ｅａ、Ｅｂ）どうしの間
    にわたっての、前記第１回転レバー（１０’）の回転範
    囲（Φ）が１２０°であり、 前記２つの回転レバー（１０’，１２’）の間の前記ギ
    ヤ比が３に等しく、 前記２つの回転レバー（１０’，１２’）の長さ（ｈ
    １，ｈ２）の比が２に等しいことを特徴とする請求項５
    記載の半導体取付装置。
  7. 【請求項７】 前記チップグリッパー（２０’）が、前
    記第２回転レバー（１２’）の前記端部に堅固に固定さ
    れていることを特徴とする請求項５記載の半導体取付装
    置。
  8. 【請求項８】 前記端部位置（Ｅａ、Ｅｂ）に、前記第
    ２回転レバー（１２’）のための規制手段（４４）が、
    前記チップグリッパー（２０）の移動方向に関して側方
    に設けられていることを特徴とする請求項５記載の半導
    体取付装置。
  9. 【請求項９】 前記第２回転レバー（１２）は、歯車
    （７）が取り付けられているシャフト（１４）上に配置
    されていて、前記駆動シャフト（４）上に同軸的に固定
    された歯車（５）の駆動力により、歯付きベルト（６）
    を介して、あるいは、前記第１回転レバー（１０）上に
    取り付けられた中間歯車を介して、駆動されることを特
    徴とする請求項１、２、５、または６記載の半導体取付
    装置。
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