JP3083439B2

JP3083439B2 - 搬送機構

Info

Publication number: JP3083439B2
Application number: JP614294A
Authority: JP
Inventors: 巌渡辺
Original assignee: Jeol Ltd
Current assignee: Jeol Ltd
Priority date: 1994-01-25
Filing date: 1994-01-25
Publication date: 2000-09-04
Anticipated expiration: 2015-09-04
Also published as: JPH07205066A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電子ビーム露光装置等
の真空室内に試料ホルダを搬送する搬送機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】電子ビーム露光装置のような真空室内に
試料ホルダを送り込む搬送機構は、試料ホルダをクラン
プして真空室内に押込み、露光が完了した試料ホルダを
再びクランプし引き戻すことが必要である。よって、ロ
ーダー機構とクランプ機構が必要となる。このような搬
送機構は次のような２つのタイプがある。

【０００３】図９は従来の搬送機構の構成図であ
る。図において、１はローダー機構として、カルダン円
を２組用いた関節式搬送アームである。この関節式搬送
アーム１には、試料ホルダ２を挟持/解放するクランプ
機構３が設けられている。このクランプ機構３は関節式
搬送アーム１上に設けられたソレノイド４やエアーシリ
ンダによって駆動されるようになっている。

【０００４】他に、関節式搬送アーム１上にはクランプ
機構の駆動源を設けず、ベース側に駆動源を設け、伸縮
する伝動軸を用いてクランプ機構へ動力を供給するもの
もある。

【０００５】クランプ機構のみローダー機構のスト
ローク途中で外部のストッパにより停止させ、残りのロ
ーダーのストロークの駆動力でクランプ機構の開閉を行
う。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記構成の搬
送機構には、以下の問題点がある。ローダー機構上にクランプ機構の駆動源を設けるの
で、ローダー機構が重くなる。又、駆動源の電線が必要
であり、ローダー機構の駆動中に電線をひきずることに
なる。更に、ノイズ等により、不用意な誤動作が発生す
る。

【０００７】クランプ機構,外部に設けるストッパ等
の取付条件に制限がある。本発明は、上記問題点に鑑み
てなされたもので、その目的は、クランプ機構専用の駆
動源が不要で、且つ、取付条件に制限がなく、機構が簡
単で、安価で、クランプ機構の確実な動作が可能な搬送
機構を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決する請求
項１記載の発明は、固定されたベース,該ベースに固定
されたギア駆動用の駆動源,前記ベースに回転可能に設
けられ、前記駆動源によって駆動される第１の関節アー
ム,該第１の関節アームの回転中心に配置され、且つベ
ースに固定された第１のギア,前記第１の関節アームの
回転端部に回転可能に設けられ、その回転中心に前記第
１のギアに係合し、前記第１のギアとのギア比が2:1の
第２のギアを有する第２の関節アーム,該第２の関節ア
ームの回転中心に配設され、且つ前記第１の関節アーム
に固定された第３のギア,前記第２の関節アームの回転
端部に回転可能に設けられ、前記第３のギアに噛合し、
前記第３のギアとのギア比が1:2の第４のギアを有する
ガイド板からなり、前記第１のギアと前記第２のギア及
び前記第２のギアと前記第４のギアのそれぞれの回転中
心間の距離が等しく設定された関節式搬送アームを用い
た搬送機構において、前記ガイド板には回転可能なレバ
ーを設け、前記第２の関節アームには第１ピンを設け、
前記関節式搬送アームの死点近傍の運動に伴って、前記
第１ピンを前記レバーの回転端部に当接させて前記レバ
ーを回転させることによって、被搬送物を挟持/解放す
るクランプ機構を、前記関節式搬送アームのガイド板に
備えたことを特徴とするものである。

【０００９】請求項２記載の発明は、固定されたベー
ス,該ベースに固定されたギア駆動用の駆動源,前記ベー
スに回転可能に設けられ、前記駆動源によって駆動され
る第１の関節アーム,該第１の関節アームの回転中心に
配置され、且つベースに固定された第１のギア,前記第
１の関節アームの回転端部に回転可能に設けられ、その
回転中心に前記第１のギアに係合し、前記第１のギアと
のギア比が2:1の第２のギアを有する第２の関節アーム,
該第２の関節アームの回転中心に配設され、且つ前記第
１の関節アームに固定された第３のギア,前記第２の関
節アームの回転端部に回転可能に設けられ、前記第３の
ギアに噛合し、前記第３のギアとのギア比が1:2の第４
のギアを有するガイド板からなり、前記第１のギアと前
記第２のギア及び前記第２のギアと前記第４のギアのそ
れぞれの回転中心間の距離が等しく設定された関節式搬
送アームと、該関節式搬送アームのガイド板に設けられ
被搬送物を挟持/解放するクランプ機構とを備えた搬送
機構であって、前記クランプ機構は、基端部が前記ガイ
ド板に回転可能に取付けられ、協同して被搬送物を挟持
/解放する第１及び第２のフックと、該第１及び第２の
フックを反挟持方向に付勢する第１の付勢部材と、中間
部が前記ガイド板上に回転可能に設けられたレバーと、
前記第２の関節アームの側部に設けられ、前記レバーの
一方の回転端部に当接可能な第１のピンと、前記ガイド
板上で前記第１及び第２のフック間に設けられた直線ガ
イドと、該直線ガイド上に摺動可能に係合するスライダ
と、前記レバーの他方の回転端部に基端部が回転可能に
設けられた第１のリンクと、中間部が前記第１のフック
に回転可能に設けられ、一方の端部が前記第１のリンク
の先端部に回転可能に取付けられ、他方の端部が前記ス
ライダに回転可能に取付けられた第２のリンクと、中間
部が前記第２のフックに回転可能に設けられ、一方の端
部が前記スライダに回転可能に取付けられた第３のリン
クと、前記レバーの他方の回転端部に立設された第２の
ピンと、前記第３のリンクの他方の回転端部に基端部が
回転可能に取付けられ、回転端部側には、前記第２のピ
ンが当接することにより前記第１及び第２のフックを挟
持状態に保持する挟持部,前記第２のピンが係合するこ
とにより前記第１及び第２のフックが解放状態に保持す
る解放溝,該解放溝から前記挟持部まで前記第２のピン
を案内する案内部が形成された第３のフックと、該第３
のフックを前記第２のピン方向に回転付勢する第２の付
勢部材とからなることを特徴とするものである。

【００１０】

【００１１】

【作用】請求項１及び請求項２記載の発明の搬送機構に
おいて、関節式搬送アームの死点近傍の運動により、ク
ランプ機構が被搬送物を挟持/解放する。

【００１２】更に、請求項２記載の発明の搬送機構にお
いては、第３のフック及び第２のピンによって、クラン
プ機構の被搬送物に対する挟持/解放状態を保持するオ
ルタネート機構が実現されている。

【００１３】

【実施例】次に図面を用いて本発明の一実施例を説明す
る。図１は本発明の一実施例の平面図、図２は図１にお
ける正面断面図、図３は図２に示す関節式搬送アームの
作動を説明する図、図４は図２に示す関節式搬送アーム
の作動の全工程を説明する図、図５は図１における第３
のフックの拡大図、図６は図５の正面図、図７及び図８
は図１におけるクランプ機構の作動を説明する図であ
る。

【００１４】本実施例の搬送機構は、関節式搬送アーム
１１とこの関節式搬送アーム１１上に設けられたクラン
プ機構１２とから構成されている。先ず、図２を用いて
関節式搬送アーム１１を説明する。

【００１５】ベース１３には、ピニオン１４を駆動する
駆動源としてのモータ１５が固定されている。更に、ベ
ース１３には、シャフト１６が立設され、このシャフト
１６に、第１の関節アーム１７が回転可能に取付けられ
ている。

【００１６】第１の関節アーム１７の下部には、モータ
１５のピニオン１４に噛合するギア部１７ａが形成さ
れ、回転端部にはシャフト１８が立設され、中間部に
は、シャフト１９が回転可能に設けられている。

【００１７】シャフト１６には第１のギア２０が、シャ
フト１９には第１のギア２０に噛合する中間ギア２１
が、それぞれ取付けられている。シャフト１８に回転可
能に取付けられた第２の関節アーム２２の下部には、中
間ギア２１に噛合する第２のギアとしてのギア部２２ａ
が形成されている。ここで、第１のギア２０とギア部２
２ａとのギア比は2:1に設定されている。

【００１８】第２の関節アーム２２の回転端部にはシャ
フト２３が、中間部にはシャフト２４がそれぞれ回転可
能に取付けられている。シャフト１８には第３のギア２
５が、シャフト２４には第３のギア２５に噛合する中間
ギア２６が取付けられている。シャフト２３には、クラ
ンプ機構１２が設けられたガイド板２７が取付けられ、
このガイド板２７の下部には、中間ギア２６に噛合する
第４のギアとしてのギア部２７ａが形成されている。こ
こで、第３のギア２５とギア部２７ａとのギア比は、1:
2に設定されている。更に、第１のギア２０と第２のギ
アとしてのギア部２２ａの回転中心間の距離(l)と、第
２のギアとしてのギア部２２ａと第４のギア２７ａのそ
れぞれの回転中心間の距離(l′)は等しく設定されてい
る。

【００１９】次に、このような構成の関節式搬送アーム
の作動を図３を用いて説明する。今、図３(a)に示すよ
うに、第１の関節アーム１７,第２の関節アーム２２及
びガイド板２７が一直線上に並んだ状態を初期状態とす
る。モータ１５を回転すると、その回転力はピニオン１
４を介してギア部１７ａに伝わる。ギア部１７ａが回転
するとこれと一体となった第１の関節アーム１７が回転
する。ここで、(b)図に示すように、第１の関節アーム
１７が直線L1に対して回転角(θ)=αの位置まで反時計
(CCW)方向に回転したものとする。この時、各ギアの回
転方向は(b)に矢印で示す通りである。

【００２０】この状態では第１のギア２０と第２のギア
であるギア部２２ａのギア比が2:1であるので、ギア部
２２ａと一体となった第２の関節アーム２２は直線L2に
対してαの2倍の2αだけ変位する。従って、第１のギア
２０,ギア部２２ａ,第４のギアであるギア部２７ａの中
心点A,B,Cよりなる三角形ABCは、常に∠A=∠Cなる二等
辺三角形となる。この場合において、他の１点Cは常に
辺AC上を移動することが、機構学上知られている(カル
ダン機構)。この原理を応用して、第３のギア２５と第
４のギアであるギア部２７ａとの間にもギア比1:2の関
係があればガイド板２７を仮に固定と考えた時、C点に
対してA点が直線運動をすることになる。事実上はベー
ス１３が固定されているから、ガイド板２７は第１の関
節アーム１７が時計方向(CW方向)及び反時計方向(CCW方
向)何れの方向に回転しても直線AC上を姿勢を変えるこ
となく平行移動する。

【００２１】図４は図２に示す関節式搬送アーム１１の
移動の全工程を示す図である。第１の関節アーム１７が
反時計方向に略180°回転することによって全工程が終
了する。元に戻る時には、第１の関節アーム１７を今度
は時計方向に回転させればよい。

【００２２】次に、図１を用いてクランプ機構１２の説
明を行う。ガイド板２７上には、基端部がガイド板２７
に回転可能に取付けられ、協同して被搬送物３０を挟持
/解放する第１のフック３１と第２のフック３２とが設
けられている。これら第１及び第２のフック３１,３２
は、両者に係合された第１の付勢部材としてのスプリン
グ３３により、反挟持方向に付勢されている。

【００２３】ガイド板２７の回転中心上には、レバー３
４の中間部が回転可能に取付けられている。又、ガイド
板２７の回転端部には、直線ガイドとしての長穴２７ｂ
が形成されている。

【００２４】第２の関節アーム２２の側部には、レバー
３４の一方の回転端部に当接可能な第１のピン３５が設
けられている。レバー３４の他方の回転端部には、第１
のフック３１方向に延出する第１のリンク３６の基端部
が回転可能に取付けられている。第１のフック３１の回
転基端部近傍には、第２のリンク３７の中間部が回転可
能に取付けられ、この第２のリンクの一方の回転端部
は、第１のリンク３６の先端部に回転可能に取付けられ
ている。更に、第２のリンク３７の他方の回転端部は、
長穴２７ｂに摺動可能に係合するスライダとしてのピン
３８に回転可能に取付けられている。

【００２５】第２のフック３２の回転基端部近傍には、
第３のリンク３９の中間部が回転可能に取付けられてい
る。この第３のリンク３９の一方の回転端部は、前述の
ピン３８に回転可能に取付けられている。

【００２６】これら第２のリンク３７,第３のリンク３
９,ピン３８及び長穴２７ｂからなる機構により、ピン
３８が長穴２７ｂに沿って移動することにより、第１の
フック３１及び第２のフック３２は開閉動作(挟持/解放
動作)を行う。

【００２７】第３のリンク３９の他方の回転端部には、
オルタネート機構を実現する第３のフック４０の回転基
端部がピン４１を用いて回転可能に取付けられている。
第３のフック４０の構成は複雑なので、図１に加え図５
と図６とを用いて説明を行う。レバー３４の他方の回転
端部には、第２のピン４２が立設されている。第３のフ
ック４０の回転端部側には、第２のピン４２が当接可能
な挟持部４０ａと、第３のフック４０の側部より先端方
向に向かって内部に斜めに切込まれ、第２のピンが係合
する解放溝４０ｂと、解放溝４０ｂ内で上方に折曲さ
れ、解放溝４０ｂから挟持部４０ａまで第２のピン４２
を案内する案内部４０ｃと、挟持部４０ａに解放溝４０
ｂを介して隣接する退避部４０ｄが形成されている。

【００２８】又、第３のフック４０は、中間部がピン４
１に巻回され、一端部が第３のリンク３９に係止され、
他端部が第３のフックに係止された第２の付勢部材とし
てのスプリング４３によって、第２のピン４２方向に付
勢されている。

【００２９】次に、上記構成のクランプ機構の作動を図
７及び図８を用いて説明する。図７(a)では、第１の関
節アーム１７の回転角θ=0°で、クランプ機構１２の第
１のフック３１及び第２のフック３２が閉じ、被搬送物
３０を挟持している。この時、第３のフック４０の挟持
部４０ａが第２のピン４２を押圧している。

【００３０】次に、(b)に示すように、第１の関節アー
ム１７を時計方向に回転すると、ガイド板２７は姿勢を
変えることなく平行移動し、θ=180°(上死点)で被搬送
物３０の搬送目的位置に達する。θ=180°付近から第２
の関節アーム２２の第１のピン３５はレバー３４を押圧
し、レバー３４は反時計方向に回転し始める。

【００３１】そして、(c)に示すように、更に第１の関
節アーム１７を時計方向にθ=185°まで回転すると、反
時計方向に回転したレバー３４上の第２のピン４２は、
第３のフック４０の挟持部４０ａから解放溝４０ｂを通
過して、第３のフック４０の退避部４０ｄ迄移動する。
この第２のピン４２の移動に伴い、レバー３４が反時計
方向に回転し、第１のリンク３６,第２のリンク３７及
び第３のリンク３９を介して、第１のフック３１及び第
２のフック３２はスプリング３３の付勢力に抗して開
き、被搬送物３０の挟持状態が解除された解放状態とな
る。

【００３２】次に、図８(d)に示すように、第１の関節
アーム１７を反時計方向にθ=180°迄戻すと、第２の関
節アーム２２の第１のピン３５が時計方向に回転し、レ
バー３４も時計方向に回転し、レバー３４上の第２のピ
ン４２は第３のフック４０の退避部４０ｄから解放溝４
０ｂ内に移動し、解放溝４０ｂに係合する。この時も、
第１のリンク３６,第２のリンク３７及び第３のリンク
３９を介して、第１のフック３１及び第２のフック３２
はスプリング３３の付勢力に抗して開いた状態にある。

【００３３】つまり、関節式搬送アーム１１の死点近傍
の運動(θ=175°→θ=180°→θ=185°→θ=180°)を用
いて、クランプ機構１２の挟持状態から解放状態への移
行がなされたことになる。

【００３４】尚、この時、サインカーブで変化するガイ
ド板２７の速度は、死点(θ=0°,180°)近傍では、極端
に低速となり、ストローク(ガイド板２７の移動量)の変
化は少ない。又、このような搬送機構においては、ガイ
ド板２７の停止位置のみで、被搬送物３０の固定位置を
決めることはなく、相手側に定位置まで被搬送物３０を
呼込む機構が用意されているので、ガイド板２７の停止
位置は厳密でなくとも実用上かまわない。

【００３５】そして、(e)に示すように、第１の関節ア
ーム１７を反時計方向に回転し、θ=0°迄戻す。ここ
で、図７(a)と図８の(e)との相違点は、レバー３４上の
第２のピン４２が第３のフック４０の解放溝４０ｂに係
合し、第１及び第２のフック３１,３２が開いた状態に
ある点である。

【００３６】次に、搬送した被搬送物３０を取り戻すに
は、第１の関節アーム１７を時計方向に180°回転し、
ガイド板２７(クランプ機構１２)を目的位置まで平行移
動させる。そして、第１の関節アーム１７をθ=185°程
度まで回転すると、レバー３４上の第２のピン４２は第
３のフック４０の案内部４０ｃの下に潜り込み、挟持部
４０ａに移動し、第１及び第２のフック３１,３２は被
搬送物３０を挟持する。

【００３７】つまり、関節式搬送アーム１１の死点近傍
の運動(θ=175°→θ=180°→θ=185°→θ=180°)を用
いて、クランプ機構１２の解放状態から挟持状態への移
行がなされることになる。

【００３８】この状態で、θ=0°まで戻すと、図７(a)
の状態となり、被搬送物３０の取り戻しが完了する。上
記構成によれば、関節式搬送アーム１１の上死点(θ=18
0°)近傍の運動を用いてクランプ機構１２の挟持/解放
を行うようにしたので、従来のクランプ機構のような専
用の駆動源が不要となる。

【００３９】又、取付条件にも制限がなく、機構が簡単
で、安価で、クランプ機構の確実な動作が可能である。
尚、本発明は上記実施例に限定するものではない。上記
実施例では、クランプ機構１２のオルタネート動作を実
現するため、第３のフック４０及び第２のピン４２を設
けた。しかし、被搬送物３０を受け取る側に、セットさ
れた被搬送物３０を上下動する機構を設けることによ
り、これら第３のフック４０及び第２のピン４２を不要
とすることができる。このクランプ機構１２はθ=180°
付近では解放動作を行い、他の回転角では常時挟持状態
となる。この場合、第３のリンク３９はピン３８と第２
のフック３２とを連結するだけでよい。

【００４０】更に、上記実施例では、レバー３４のスト
ロークを十分に取れるように、第１の関節アーム１７を
θ=185°まで回転させたが、レバー３４,第１のリンク
３６,第２のリンク３７及び第３のリンク３９により構
成されるリンク機構のリンク比を適宜設定し、第１及び
第２のフック３１,３２の開き角を十分確保できるなら
ば、θ=180°までの回転でも可能である。

【００４１】更に、上記実施例では、ガイド板２７に設
ける直線ガイドとして長穴２７ｂを、スライダとしてピ
ン３８を設けたが、これに限定するものではない。例え
ば、直線ガイドとして、ガイド板２７上に敷設されたレ
ールでもよいし、スライダとしてはレールに摺動可能に
係合するローラでもよい。

【００４２】

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、関節
式搬送アームの死点近傍の運動を用いて被搬送物を挟持
/解放するクランプ機構を関節式搬送アームのガイド板
に設けたことにより、クランプ機構専用の駆動源が不要
で、且つ、取付条件に制限がなく、機構が簡単で、安価
で、クランプ機構の確実な動作が可能な搬送機構を実現
できる。

【００４３】又、クランプ機構に第３のフック及び第２
のピンを設けたことにより、クランプ機構の被搬送物に
対する挟持/解放状態を保持するオルタネート機構を実
現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の平面図である。

【図２】図１における正面断面図である。

【図３】図２に示す関節式搬送アームの作動を説明する
図である。

【図４】図２に示す関節式搬送アームの作動の全工程を
説明する図である。

【図５】図１における第３のフックの拡大図である。

【図６】図５の正面図である。

【図７】図１におけるクランプ機構の作動を説明する図
である。

【図８】図１におけるクランプ機構の作動を説明する図
である。

【図９】従来の搬送機構の構成図である。

【符号の説明】

１３ベース１１関節式搬送アーム１２クランプ機構１５モータ(駆動源) １７第１の関節アーム２０第１のギア２２第２の関節アーム２２ａ第２のギア２５第３のギア２７ガイド板２７ａ第４のギア

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】固定されたベース（１３）,該ベース
（１３）に固定されたギア駆動用の駆動源（１５）,前
記ベース（１３）に回転可能に設けられ、前記駆動源
（１５）によって駆動される第１の関節アーム（１
７）,該第１の関節アーム（１７）の回転中心に配置さ
れ、且つベース（１３）に固定された第１のギア（２
０）,前記第１の関節アーム（１７）の回転端部に回転
可能に設けられ、その回転中心に前記第１のギア（２
０）に係合し、前記第１のギア（２０）とのギア比が2:
1の第２のギア（２２ａ）を有する第２の関節アーム
（２２）,該第２の関節アーム（２２）の回転中心に配
設され、且つ前記第１の関節アーム（１７）に固定され
た第３のギア（２５）,前記第２の関節アーム（２２）
の回転端部に回転可能に設けられ、前記第３のギア（２
５）に噛合し、前記第３のギア（２５）とのギア比が1:
2の第４のギア（２７ａ）を有するガイド板（２７）か
らなり、前記第１のギア（２０）と前記第２のギア（２
２ａ）及び前記第２のギア（２２ａ）と前記第４のギア
（２７ａ）のそれぞれの回転中心間の距離が等しく設定
された関節式搬送アーム（１１）を用いた搬送機構にお
いて、前記ガイド板（２７）には回転可能なレバー（３４）を
設け、前記第２の関節アーム（２２）には第１ピン（３
５）を設け、前記関節式搬送アーム（１１）の死点近傍
の運動に伴って、前記第１ピン（３５）を前記レバー
（３４）の回転端部に当接させて前記レバー（３４）を
回転させることによって、被搬送物（３０）を挟持/解
放するクランプ機構（１２）を、前記関節式搬送アーム
（１１）のガイド板（２７）に備えたことを特徴とする
搬送機構。
【請求項２】固定されたベース,該ベースに固定され
たギア駆動用の駆動源,前記ベースに回転可能に設けら
れ、前記駆動源によって駆動される第１の関節アーム,
該第１の関節アームの回転中心に配置され、且つベース
に固定された第１のギア,前記第１の関節アームの回転
端部に回転可能に設けられ、その回転中心に前記第１の
ギアに係合し、前記第１のギアとのギア比が2:1の第２
のギアを有する第２の関節アーム,該第２の関節アーム
の回転中心に配設され、且つ前記第１の関節アームに固
定された第３のギア,前記第２の関節アームの回転端部
に回転可能に設けられ、前記第３のギアに噛合し、前記
第３のギアとのギア比が 1:2の第４のギアを有するガイ
ド板からなり、前記第１のギアと前記第２のギア及び前
記第２のギアと前記第４のギアのそれぞれの回転中心間
の距離が等しく設定された関節式搬送アームと、該関節
式搬送アームのガイド板に設けられ被搬送物を挟持/解
放するクランプ機構とを備えた搬送機構であって、前記クランプ機構は、基端部が前記ガイド板に回転可能に取付けられ、協同し
て被搬送物を挟持/解放する第１及び第２のフックと、該第１及び第２のフックを反挟持方向に付勢する第１の
付勢部材と、中間部が前記ガイド板上に回転可能に設けられたレバー
と、前記第２の関節アームの側部に設けられ、前記レバーの
一方の回転端部に当接可能な第１のピンと、前記ガイド板上で前記第１及び第２のフック間に設けら
れた直線ガイドと、該直線ガイド上に摺動可能に係合するスライダと、前記レバーの他方の回転端部に基端部が回転可能に設け
られた第１のリンクと、中間部が前記第１のフックに回転可能に設けられ、一方
の端部が前記第１のリンクの先端部に回転可能に取付け
られ、他方の端部が前記スライダに回転可能に取付けら
れた第２のリンクと、中間部が前記第２のフックに回転可能に設けられ、一方
の端部が前記スライダに回転可能に取付けられた第３の
リンクと、前記レバーの他方の回転端部に立設された第２のピン
と、前記第３のリンクの他方の回転端部に基端部が回転可能
に取付けられ、回転端部側には、前記第２のピンが当接
することにより前記第１及び第２のフックを挟持状態に
保持する挟持部,前記第２のピンが係合することにより
前記第１及び第２のフックが解放状態に保持する解放
溝,該解放溝から前記挟持部まで前記第２のピンを案内
する案内部が形成された第３のフックと、該第３のフックを前記第２のピン方向に回転付勢する第
２の付勢部材とからなることを特徴とする搬送機構。