JPH0446108Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、歯車駆動によつて回動アームを所定
角度水平方向に回動させて、被搬送物を移載する
ためのものにおいて、この回動アームを極めて正
確に位置決めすることができるようにした歯車駆
動式回動アームの位置決め装置に関するものであ
る。

〔従来の技術〕

被搬送物、例えば半導体ウエハを一の場所から
他の場所に移載するために、この被搬送物を吸着
したり、把持したりする保持手段を設けるが、こ
の保持手段を被搬送物の受け取り位置と受け渡し
位置との間に往復移動させるために、水平方向に
回動する回動アームが用いられる。そして、この
回動アームを往復回動させるために、歯車駆動機
構が用いられる。

そこで、第１図に従来技術による歯車駆動式の
回動アームの駆動機構の平面図を示す。

図中において、１は回動アームを示し、該回動
アーム１は回動軸２に固着されており、その先端
部に被搬送物を保持するための手段（図示せず）
を備えている。上記の回動軸２は、ウオームホイ
ル３に固着されて、ウオームギヤ４を介してモー
タ５によつて回動駆動される。

上記のモータ５としては、正確に回転を制御す
ることができる型式のもの、例えばDCモータを
用いることによつて、回動アーム１の停止位置を
正確に設定することができ、被搬送物の位置決め
を行うことができるようになされている。

ところが、元歯車と受歯車との間（本実施例に
おいては、ウオームギヤ４とウオームホイル３と
の間）にバツクラツシがあると、回動アーム１の
停止位置には僅かではあるが、誤差が生じる。

そこで、このようなバツクラツシによる誤差を
防止して、回動アームの位置を極めて高精度に位
置決めするために、第２図Ａ，Ｂに示したよう
に、受歯車３を２枚の歯車３ａ，３ｂに分割し
て、これらを重ね合せるように装着し、一方の歯
車３ａを回動軸２に固着し、他方の歯車３ｂを回
動軸２に対して回動可能に嵌合すると共に、双方
の歯車の間にスプリング６を取り付けて、双方の
歯車を相対的に回動させる方向に付勢した構成が
公知である。

〔考案が解決しようとする課題〕

ところが、上述した従来技術のものにあつて
は、２枚に分割した歯車３ａ，３ｂ間に異物等が
食い込んだりすると、両者間の相対回動が円滑に
行われないようになり、バツクラツシ除去作用を
円滑に発揮させることができなくなるという不都
合がある。

本考案は叙上の点に鑑みてなされたものであつ
て、その目的とするところは、単独で正確に回転
位置を制御されるモータによつて回転駆動される
歯車のバツクラツシ分を確実に除去して、回動ア
ームを極めて高精度に位置決めすることができる
ようにした歯車駆動式回動アームの位置決め装置
を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

前述の目的を達成するために、本考案は、単独
で正確に回転位置を制御されるモータにより、歯
車伝動部材を介して回動せしめられるアームの往
復回動ストロークエンド両端の各停止位置の直前
位置において該アームに当接して回動を制動する
方向に付勢するバネ手段を設け、該バネ手段の撓
みによつて上記アームの停止位置付近における歯
車のバツクラツシを回動ストロークエンド両端部
のそれぞれについて一定方向に寄せるように構成
したことをその特徴とするものである。

〔作用〕

このような構成を採用することによつて、モー
タの回転位置を制御し、歯車伝動手段を介して、
回動アームを回動させたときに、所定の停止位置
に到達する前の段階で、まずアームがバネ手段に
当接し、該バネ手段を撓めながら、その回動を継
続し、停止位置に至ると歯車伝動手段が停止せし
められて、その位置でアームが停止する。

ここで、このアームの回動ストロークエンド近
傍に至ると、バネ手段の付勢力によつて歯車の噛
合部分は、常に片側の歯面が当接し、また停止時
にはこの片側の歯面に押し当てられた状態に保持
されるので、バツクラツシによる停止位置の不安
定さがなくなり、極めて高精度な位置決めが可能
となる。

しかも、アームの回動ストロークエンド近傍に
おいて、該アームはバネ手段に当接することにな
り、このバネ手段を撓めながらストロークエンド
に至ることになるから、このストロークエンドに
近づくに従つて、回動に対する抵抗が大きくな
り、このためにストロークエンド近傍におけるア
ームの減速機能を発揮することになる。従つて、
歯車伝動手段によるアームの回動速度を高速にし
ても、その停止時に被搬送物に衝撃が加わつて位
置ずれしたりするといつた不都合を生じるおそれ
がない。

〔実施例〕

以下、本考案の一実施例を第３図及び第４図に
基づいて詳細に説明する。

なお、本実施例において、第１図及び第２図に
示した従来技術のものと同一または均等な部材に
ついては同一の符号を付した。これらの部材中、
モータ５は先に説明したように単独で正確に回転
位置を制御することができる型式のものである。

図中において、７は回動軸２を支障しているベ
アリング、Ｃは回動アームの先端に保持した被搬
送物をそれぞれ示す。

ここで、第３図から明らかなように、回動アー
ム１はＬ字形をなし、水平面内で矢印Ａ−Ｂ方向
（右回り）と、これとは反対方向（左回り）に90°
往復回動せしめられるようになつている。また、
同図において仮想線で示した１′は矢印Ｂ方向
（左回り）に回動した状態の回動アームを表して
いる。

回動アーム１の回動ストロークについての両エ
ンドの手前の位置には、それぞれ板バネ８，９が
設けられている。従つて、回動アーム１が右回り
若しくは左回りに回動したときには、そのストロ
ークエンド近傍で板バネ８，９に当接して、該板
バネ８，９を撓めながら、ストロークエンドまで
移動するように構成されている。

本実施例は前述のように構成されるものであつ
て、モータ５を作動させて３の回転位置を制御
し、ウオームギヤ４を回転させると、このウオー
ムギヤ４に噛合するウオームホイール３が回転し
て、アーム１を取り付けた回動軸２を、例えば右
方向（即ち第３図の矢印Ａ方向）に回動させたと
する。そこで、このアーム１がストロークエンド
近傍に至ると、まず板バネ８に当接する。これに
よつて、ウオームギヤ４とウオームホイール３と
の間の噛合部分は片側に寄せられた状態となる。
これと共に、板バネが第４図に仮想線８′で示し
た状態から実線で示した８の状態に撓むことによ
つて、その撓みに応じた反力によりアーム１の回
動速度が減速される。而して、このアーム１はス
トロークエンドに近づけば近づく程より減速され
て、モータ５の作動を停止すると、その位置でア
ーム１は停止せしめられるようになる。

このように、板バネ８をストロークエンドの手
前に配置しておくことによつて、ウオームホイー
ル３とウオームギヤ４との間のバツクラツシの影
響によつてアーム１の停止位置が不安定となるこ
とが防止され、極めて高精度に位置決めすること
ができる。

また、この板バネ８によつてアーム１の制動機
能が発揮されることになるから、アーム１の回動
動作を高速で行つても、その停止時に衝撃が作用
することがなくなる。とりわけ、被搬送物Ｃが真
空吸着等の手段で保持されている場合において
は、停止時に衝撃が加わると、該被搬送物Ｃとア
ーム１の保持手段との間に位置ずれが生じること
になるが、このように板バネ８によつて停止時に
緩衝作用が発揮されることにより被搬送物Ｃとア
ーム１の保持手段との間の位置ずれを生じること
が防止される。

一方、前述とは反対方向にアーム１を回動させ
たときには、板バネ９（第３図）によつてウオー
ムホイール３とウオームギヤ４との間のバツクラ
ツシの影響の防止及び停止時の緩衝作用が発揮さ
れることになる。

〔考案の効果〕

以上説明したように、本考案は、単独で正確に
回転位置を制御することができるモータにより歯
車伝動手段を介して所定角度回動するように駆動
されるアームの、ストロークエンドの手前位置に
バネ手段を配設することによつて、歯車のバツク
ラツシの影響を除去して、アームの停止位置を極
めて高精度に位置決めすることができ、しかも停
止時における緩衝作用が発揮されるので、アーム
を高速で作動させても、該アームにおける保持手
段と被搬送物との間の位置ずれを生じさせるおそ
れはない。しかも、回動アームのストロークエン
ドの手前位置にバネ手段を配設するという極めて
簡単な手段によつて、バツクラツシの影響の防止
及び停止時の緩衝作用が発揮されることになり、
全体として、回動アームの位置決め装置の構成の
簡略化及びコンパクト化が図れる。そして、前記
のバネ手段は回動アーム１のストロークエンドの
手前位置に配設されておればよく、必ずしも厳格
に所定の位置に配設する必要がないので、組み付
けも容易である。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図Ａ，Ｂは従来技術を示すもの
であつて、第１図はアームの回動装置の要部構成
を示す平面図、第２図Ａ，Ｂはバツクラツシを除
去するための機構の構成説明図、第３図及び第４
図は本考案の一実施例を示すものであつて、第３
図はアームの回動装置の要部構成を示す説明図、
第４図は第３図の要部断面図である。 １……回動アーム、２……回動軸、３……ウオ
ームホイール、４……ウオームギヤ、５……モー
タ、８，９……板バネ、Ｃ……被搬送物。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 単独で正確に回転位置を制御することができる
   型式のモータにより、歯車伝動手段を介して所定
   角度回動するように駆動されるアームで被搬送物
   を保持して搬送・位置決めする装置において、上
   記のアームの往復回動ストロークエンド両端の各
   停止位置の直前位置において該アームに当接して
   回動を制動する方向に付勢するバネ手段を設け、
   該バネ手段の撓みによつて上記アームの停止位置
   付近における歯車のバツクラツシを回動ストロー
   クエンド両端部のそれぞれについて一定方向に寄
   せるように構成したことを特徴とする歯車駆動式
   回動アームの位置決め装置。