JPS6119160U - 歯車駆動式回動ア−ムの位置決め装置 - Google Patents

歯車駆動式回動ア−ムの位置決め装置

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JPS6119160U
JPS6119160U JP10314884U JP10314884U JPS6119160U JP S6119160 U JPS6119160 U JP S6119160U JP 10314884 U JP10314884 U JP 10314884U JP 10314884 U JP10314884 U JP 10314884U JP S6119160 U JPS6119160 U JP S6119160U
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JP
Japan
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arm
gear
positioning device
rotating arm
driven rotating
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JP10314884U
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JPH0446108Y2 (ja
Inventor
秀也 松本
Original Assignee
日立電子エンジニアリング株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の回動アーム位置決め装置の平面図、第２
図Ａ， Ｂはバツクラツシを除去するための公知技術の
説明図である。 第３図は本考案の１実施例の平面図、第４図は同じ≦切
断して描いた正面図である。 １・・・回動アーム、２・・・回動軸、３・・・ウォニ
ムホイル、３ａｔ３ｂ・・・分割されたウォームホイル
い４・・・ウオームギャ、５・・・モータ、６・・・ス
プリング、８，９・・・板バネ、Ｃ・・・被搬送物であ
る半導体ウエバ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 歯車伝動手段を介して定角位置に回動せしめられるアー
    ムの先端付近に被搬送物を保持して搬送・位置決めする
    装皺において、上記のアームの停止位置近傍において該
    アームに当接して回動を制動する方向に付勢するバネ手
    段を設け、該アームの停止位置付近における歯車のバツ
    クラツシを一定方向に寄せるように構成したことを特徴
    とする歯車駆動式アームの位置決め装置。
JP10314884U 1984-07-10 1984-07-10 歯車駆動式回動ア−ムの位置決め装置 Granted JPS6119160U (ja)

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JPS6119160U true JPS6119160U (ja) 1986-02-04
JPH0446108Y2 JPH0446108Y2 (ja) 1992-10-29

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JPS4211406Y1 (ja) * 1966-07-25 1967-06-26

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US9074667B2 (en) 2010-09-29 2015-07-07 Nec Platforms, Ltd. Gear drive mechanism and library device

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JPH0446108Y2 (ja) 1992-10-29

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