JPS60176548U - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPS60176548U JPS60176548U JP6447284U JP6447284U JPS60176548U JP S60176548 U JPS60176548 U JP S60176548U JP 6447284 U JP6447284 U JP 6447284U JP 6447284 U JP6447284 U JP 6447284U JP S60176548 U JPS60176548 U JP S60176548U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- conveyance device
- horizontally rotatable
- support base
- conveying device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は本考案の一実施例を示す平面図、第2図は第1
図の正面図、第3図は第1図の搬送装置を真空処理装置
に適用した場合の実施例を示す概略平面図、第4図は本
考案の他の実施例を示す平面図である。 1・・・第1アーム、2・・・駆動軸、3・・・支持ベ
ース、4・・・固定ホイール、5・、・・回転軸、6・
・・第2アーム、7・・・回転ホイール、8・・・ベル
ト、9・・・真空処理室、10・・・ロードロック室、
11・・・搬送装置、12・・・歯車、13・・・連結
板。
図の正面図、第3図は第1図の搬送装置を真空処理装置
に適用した場合の実施例を示す概略平面図、第4図は本
考案の他の実施例を示す平面図である。 1・・・第1アーム、2・・・駆動軸、3・・・支持ベ
ース、4・・・固定ホイール、5・、・・回転軸、6・
・・第2アーム、7・・・回転ホイール、8・・・ベル
ト、9・・・真空処理室、10・・・ロードロック室、
11・・・搬送装置、12・・・歯車、13・・・連結
板。
Claims (1)
- 支持ベース上に回転駆動源により一端部を中心として水
平回転自在に取付けられた第1アームと、この第1アー
ムの他端部に水平回転自在に取付けられた第2アームと
を有し、上記第1アームの回転運動を伝達して上記第2
アームを回転させる動力伝達機構を設けたことを特徴と
する搬送装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6447284U JPS60176548U (ja) | 1984-05-02 | 1984-05-02 | 搬送装置 |
EP85105298A EP0160305B1 (en) | 1984-05-02 | 1985-05-01 | Carrying device |
DE8585105298T DE3573899D1 (en) | 1984-05-02 | 1985-05-01 | Carrying device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6447284U JPS60176548U (ja) | 1984-05-02 | 1984-05-02 | 搬送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60176548U true JPS60176548U (ja) | 1985-11-22 |
Family
ID=30595588
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6447284U Pending JPS60176548U (ja) | 1984-05-02 | 1984-05-02 | 搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60176548U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100479494B1 (ko) * | 2002-09-18 | 2005-03-30 | 삼성전자주식회사 | 기판 반송 로봇 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5112838U (ja) * | 1974-07-16 | 1976-01-30 | ||
US4433951A (en) * | 1981-02-13 | 1984-02-28 | Lam Research Corporation | Modular loadlock |
-
1984
- 1984-05-02 JP JP6447284U patent/JPS60176548U/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5112838U (ja) * | 1974-07-16 | 1976-01-30 | ||
US4433951A (en) * | 1981-02-13 | 1984-02-28 | Lam Research Corporation | Modular loadlock |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100479494B1 (ko) * | 2002-09-18 | 2005-03-30 | 삼성전자주식회사 | 기판 반송 로봇 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS60176548U (ja) | 搬送装置 | |
JPS59173164U (ja) | キヤリツジ駆動装置 | |
JPS58182049U (ja) | テープレコーダ等の回転駆動切換装置 | |
JPS619231U (ja) | 搬送装置 | |
JPS6130819U (ja) | 回転カーソル装置 | |
JPS5848639U (ja) | 繰出し機構 | |
JPS58137367U (ja) | 回転テ−ブル装置 | |
JPS60177111U (ja) | 加工材料搬入装置 | |
JPS6134145U (ja) | 原稿載置台又は光学系に対する駆動装置 | |
JPS5845246U (ja) | 搬送装置 | |
JPS6012528U (ja) | 90゜方向転換装置 | |
JPS606709U (ja) | ベルトコンベヤ− | |
JPS59187942U (ja) | バインダーにおける上部搬送装置 | |
JPS6061129U (ja) | タツピング装置を備える部品加工機 | |
JPS59167586U (ja) | 反転人形 | |
JPS6075352U (ja) | ボ−ド反転装置 | |
JPS6125159U (ja) | 活字搬送体清掃装置 | |
JPS6116739U (ja) | カセツトのロ−デイング機構 | |
JPS591127U (ja) | 回転ヘツド支持装置 | |
JPS6087640U (ja) | コンベヤベルト端末加工機 | |
JPS59163429U (ja) | 素材自動供給排出装置 | |
JPS6019844U (ja) | 歯車伝動装置 | |
JPS58151105U (ja) | 部材搬送機構 | |
JPS58151106U (ja) | ベルトコンベアの駆動機構 | |
JPS60165116U (ja) | 搬送装置 |