JP3008655B2 - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
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- JP3008655B2 JP3008655B2 JP4080068A JP8006892A JP3008655B2 JP 3008655 B2 JP3008655 B2 JP 3008655B2 JP 4080068 A JP4080068 A JP 4080068A JP 8006892 A JP8006892 A JP 8006892A JP 3008655 B2 JP3008655 B2 JP 3008655B2
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Landscapes
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、固体撮像装置、特にＣ
ＣＤで構成された電荷転送部からの信号電荷を電圧変換
する、いわゆるフローティング・ディフュージョン・ア
ンプを有する固体撮像装置に関する。
ＣＤで構成された電荷転送部からの信号電荷を電圧変換
する、いわゆるフローティング・ディフュージョン・ア
ンプを有する固体撮像装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のＣＣＤ固体撮像装置、特にその出
力回路は、図３に示すように、ＣＣＤで構成された電荷
転送部２１の次段に出力ゲートＯＧを隔てて形成された
フローティング・ディフュージョンＦＤ、リセットゲー
トＲＧ及びドレイン領域Ｄからなる放電用素子２２と、
この放電用素子２２の後段に接続された出力アンプ２３
とで構成されている。一般に、上記フローティング・デ
ィフュージョンＦＤを含む放電用素子２２と出力アンプ
２３を総称してフローティング・ディフュージョン・ア
ンプと称している。
力回路は、図３に示すように、ＣＣＤで構成された電荷
転送部２１の次段に出力ゲートＯＧを隔てて形成された
フローティング・ディフュージョンＦＤ、リセットゲー
トＲＧ及びドレイン領域Ｄからなる放電用素子２２と、
この放電用素子２２の後段に接続された出力アンプ２３
とで構成されている。一般に、上記フローティング・デ
ィフュージョンＦＤを含む放電用素子２２と出力アンプ
２３を総称してフローティング・ディフュージョン・ア
ンプと称している。
【０００３】そして、上記電荷転送部２１のうち、最終
段の転送電極ＴＧ下から転送される信号電荷を一旦フロ
ーティング・ディフュージョンＦＤに蓄積し、その蓄積
電荷に基づく電圧変化、即ち撮像信号Ｓｉを後段の出力
アンプ２３に供給する。
段の転送電極ＴＧ下から転送される信号電荷を一旦フロ
ーティング・ディフュージョンＦＤに蓄積し、その蓄積
電荷に基づく電圧変化、即ち撮像信号Ｓｉを後段の出力
アンプ２３に供給する。
【０００４】撮像信号Ｓｉを出力アンプ２３に供給した
後は、リセットゲートＲＧにリセットパルスＰｒを供給
してフローティング・ディフュージョンＦＤを初期電圧
Ｖｄｄにリセットし、フローティング・ディフュージョ
ンＦＤに蓄積されていた電荷をドレイン領域Ｄ側に掃き
出す。
後は、リセットゲートＲＧにリセットパルスＰｒを供給
してフローティング・ディフュージョンＦＤを初期電圧
Ｖｄｄにリセットし、フローティング・ディフュージョ
ンＦＤに蓄積されていた電荷をドレイン領域Ｄ側に掃き
出す。
【０００５】従って、出力アンプ２３に入力される電荷
転送部２１からの撮像信号Ｓｉの波形は、図４に示すよ
うに、リセット期間ｔｒ、フィールドスルー期間ｔｐ及
び信号期間ｔｓの３つの期間に分けられ、リセット期間
ｔｒにおいてフローティング・ディフュージョンＦＤの
初期電圧（リセットレベル）Ｖｄｄが現れ、信号期間ｔ
ｓにおいて蓄積電荷に伴う信号成分Ｖｓが現れる。
転送部２１からの撮像信号Ｓｉの波形は、図４に示すよ
うに、リセット期間ｔｒ、フィールドスルー期間ｔｐ及
び信号期間ｔｓの３つの期間に分けられ、リセット期間
ｔｒにおいてフローティング・ディフュージョンＦＤの
初期電圧（リセットレベル）Ｖｄｄが現れ、信号期間ｔ
ｓにおいて蓄積電荷に伴う信号成分Ｖｓが現れる。
【０００６】そして、最近では、高感度化ということを
目的に、フローティング・ディフュージョンＦＤの容量
を小さくして、電荷電圧変換効率を上げたり、出力アン
プ２３の後段にインバータゲインアンプ２４などを接続
して出力回路自体にゲインをもたせるようにしている。
目的に、フローティング・ディフュージョンＦＤの容量
を小さくして、電荷電圧変換効率を上げたり、出力アン
プ２３の後段にインバータゲインアンプ２４などを接続
して出力回路自体にゲインをもたせるようにしている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、ここで問題と
なるのが、電荷転送部２１からの撮像信号Ｓｉにおける
リセットパルスＰｒのカップリングである。このカップ
リング量Ｖｃは、図４において、リセット期間ｔｒにお
ける電位（リセットレベル成分）Ｖｄｄとフィールドス
ルー期間ｔｐにおけるバイアス電位（フィードスルー成
分）Ｖｐとの差である。
なるのが、電荷転送部２１からの撮像信号Ｓｉにおける
リセットパルスＰｒのカップリングである。このカップ
リング量Ｖｃは、図４において、リセット期間ｔｒにお
ける電位（リセットレベル成分）Ｖｄｄとフィールドス
ルー期間ｔｐにおけるバイアス電位（フィードスルー成
分）Ｖｐとの差である。
【０００８】従来においては、上述したように、高感度
化のためにフローティング・ディフュージョンＦＤの容
量を小さくするようにしているが、その影響で、リセッ
トゲートＲＧとフローティング・ディフュージョンＦＤ
間に存在する寄生容量（結合容量）が相対的に大きくな
り、その結果、上記カップリング量Ｖｃが非常に大きく
なるという現象が生じてきている。
化のためにフローティング・ディフュージョンＦＤの容
量を小さくするようにしているが、その影響で、リセッ
トゲートＲＧとフローティング・ディフュージョンＦＤ
間に存在する寄生容量（結合容量）が相対的に大きくな
り、その結果、上記カップリング量Ｖｃが非常に大きく
なるという現象が生じてきている。
【０００９】また、高感度化のために挿入したインバー
タゲインアンプ２４の存在により、出力回路自体のゲイ
ンが大きくなることから、図５に示すように、出力回路
の入出力特性曲線の傾きが大きくなり、インバータゲイ
ンアンプ２４を挿入した場合の入力ダイナミックレンジ
Ｄ2 が、挿入しない場合の入力ダイナミックレンジＤ 1
と比べて小さくなる。
タゲインアンプ２４の存在により、出力回路自体のゲイ
ンが大きくなることから、図５に示すように、出力回路
の入出力特性曲線の傾きが大きくなり、インバータゲイ
ンアンプ２４を挿入した場合の入力ダイナミックレンジ
Ｄ2 が、挿入しない場合の入力ダイナミックレンジＤ 1
と比べて小さくなる。
【００１０】このように、インバータゲインアンプ２４
の挿入によって、出力回路の入力ダイナミックレンジが
小さくなり、また、フローティング・ディフュージョン
ＦＤの容量を小さくしたことによるカップリング量Ｖｃ
の増大によって、出力回路の入力ダイナミックレンジ内
における信号成分Ｖｓの割合が非常に小さくなり、感度
の向上を期待することができない。
の挿入によって、出力回路の入力ダイナミックレンジが
小さくなり、また、フローティング・ディフュージョン
ＦＤの容量を小さくしたことによるカップリング量Ｖｃ
の増大によって、出力回路の入力ダイナミックレンジ内
における信号成分Ｖｓの割合が非常に小さくなり、感度
の向上を期待することができない。
【００１１】また、上記のように、カップリング量Ｖｃ
が増大することから、外部に接続される信号処理回路に
使われる例えば演算増幅器２５などの入力ダイナミック
レンジに対しても、信号成分Ｖｓが小さくなるため、信
号処理回路での撮像信号Ｓｉの信号処理が非常に困難に
なるという不都合がある。
が増大することから、外部に接続される信号処理回路に
使われる例えば演算増幅器２５などの入力ダイナミック
レンジに対しても、信号成分Ｖｓが小さくなるため、信
号処理回路での撮像信号Ｓｉの信号処理が非常に困難に
なるという不都合がある。
【００１２】本発明は、このような課題に鑑み成された
もので、その目的とするところは、出力回路の入力ダイ
ナミックレンジや外部に接続される信号処理回路の入力
ダイナミックレンジに対して、撮像信号における信号成
分の割合を大きくとることができ、撮像信号の信号処理
を非常に行い易くすることができる固体撮像装置を提供
することにある。
もので、その目的とするところは、出力回路の入力ダイ
ナミックレンジや外部に接続される信号処理回路の入力
ダイナミックレンジに対して、撮像信号における信号成
分の割合を大きくとることができ、撮像信号の信号処理
を非常に行い易くすることができる固体撮像装置を提供
することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は、フローティン
グ・ディフュージョンＦＤと出力アンプ４から構成さ
れ、前段の電荷転送部２から転送された信号電荷を、リ
セットレベル成分（Ｖｄｄ−Ｖｐ）、フィードスルー成
分Ｖｐ及び信号成分Ｖｓを含む撮像信号Ｓｉに電圧変換
するフローティング・ディフュージョン・アンプ５を有
する出力回路１を具備した固体撮像装置において、フロ
ーティング・ディフュージョン・アンプ５の後段に、フ
ローティング・ディフュージョン・アンプ５からの撮像
信号Ｓｉを、信号成分Ｖｓとフィードスルー成分Ｖｐの
みの出力信号Ｓｏに変換するスイッチング回路６を接続
して構成し、スイッチング回路６に撮像信号Ｓｉのフィ
ードスルー期間ｔｐから信号期間ｔｓにわたって（ｔ
ｈ）高レベルＨとなり他の期間が低レベルＬとなる信号
波形を有する制御信号Ｓｃを供給する。 また、スイッチ
ング回路６をスイッチングトランジスタＴｒとコンデン
サＣから構成するを可とする。
グ・ディフュージョンＦＤと出力アンプ４から構成さ
れ、前段の電荷転送部２から転送された信号電荷を、リ
セットレベル成分（Ｖｄｄ−Ｖｐ）、フィードスルー成
分Ｖｐ及び信号成分Ｖｓを含む撮像信号Ｓｉに電圧変換
するフローティング・ディフュージョン・アンプ５を有
する出力回路１を具備した固体撮像装置において、フロ
ーティング・ディフュージョン・アンプ５の後段に、フ
ローティング・ディフュージョン・アンプ５からの撮像
信号Ｓｉを、信号成分Ｖｓとフィードスルー成分Ｖｐの
みの出力信号Ｓｏに変換するスイッチング回路６を接続
して構成し、スイッチング回路６に撮像信号Ｓｉのフィ
ードスルー期間ｔｐから信号期間ｔｓにわたって（ｔ
ｈ）高レベルＨとなり他の期間が低レベルＬとなる信号
波形を有する制御信号Ｓｃを供給する。 また、スイッチ
ング回路６をスイッチングトランジスタＴｒとコンデン
サＣから構成するを可とする。
【００１４】
【作用】上述の本発明の構成によれば、フローティング
・ディフュージョン・アンプ５からの撮像信号Ｓｉを、
信号成分Ｖｓとフィードスルー成分Ｖｐのみの出力信号
Ｓｏに変換するスイッチング回路６を接続し、このスイ
ッチング回路６に撮像信号Ｓｉのフィードスルー期間ｔ
ｐから信号期間ｔｓにわたって（ｔｈ）高レベルＨとな
り他の期間が低レベルＬとなる信号波形を有する制御信
号Ｓｃを供給するようにしたので、出力回路１の高感度
化を目的とするインバータゲインアンプ７の入力ダイナ
ミックレンジや、外部に接続される信号処理回路の例え
ば演算増幅器９などの入力ダイナミックレンジに対して
信号成分Ｖｓの割合が大きくなり、撮像信号Ｓｉに対す
る信号処理が非常に行い易くなる。
・ディフュージョン・アンプ５からの撮像信号Ｓｉを、
信号成分Ｖｓとフィードスルー成分Ｖｐのみの出力信号
Ｓｏに変換するスイッチング回路６を接続し、このスイ
ッチング回路６に撮像信号Ｓｉのフィードスルー期間ｔ
ｐから信号期間ｔｓにわたって（ｔｈ）高レベルＨとな
り他の期間が低レベルＬとなる信号波形を有する制御信
号Ｓｃを供給するようにしたので、出力回路１の高感度
化を目的とするインバータゲインアンプ７の入力ダイナ
ミックレンジや、外部に接続される信号処理回路の例え
ば演算増幅器９などの入力ダイナミックレンジに対して
信号成分Ｖｓの割合が大きくなり、撮像信号Ｓｉに対す
る信号処理が非常に行い易くなる。
【００１５】
【実施例】以下、図１及び図２を参照しながら本発明の
実施例を説明する。図１は、本実施例に係るＣＣＤ固体
撮像装置の要部、特にその出力回路１を示す回路図、図
２は、その信号処理を示すタイミングチャートである。
実施例を説明する。図１は、本実施例に係るＣＣＤ固体
撮像装置の要部、特にその出力回路１を示す回路図、図
２は、その信号処理を示すタイミングチャートである。
【００１６】このＣＣＤ固体撮像装置の出力回路１は、
図１に示すように、ＣＣＤで構成された電荷転送部２の
次段に、出力ゲートＯＧを隔ててフローティング・ディ
フュージョンＦＤ、リセットゲートＲＧ及びドレイン領
域Ｄからなる放電用素子３とソースフォロア回路などの
出力アンプ４からなるフローティング・ディフュージョ
ン・アンプ（以下、単にＦＤＡと記す）５が接続され、
このＦＤＡ（５）の次段に本例に係るスイッチング回路
６と高感度化を目的としたインバータゲインアンプ７が
接続されて構成されている。また、高感度化を目的とし
て本例では、フローティング・ディフュージョンＦＤの
容量を小さくして、フローティング・ディフュージョン
ＦＤでの電荷電圧変換効率を上げるようにしている。
図１に示すように、ＣＣＤで構成された電荷転送部２の
次段に、出力ゲートＯＧを隔ててフローティング・ディ
フュージョンＦＤ、リセットゲートＲＧ及びドレイン領
域Ｄからなる放電用素子３とソースフォロア回路などの
出力アンプ４からなるフローティング・ディフュージョ
ン・アンプ（以下、単にＦＤＡと記す）５が接続され、
このＦＤＡ（５）の次段に本例に係るスイッチング回路
６と高感度化を目的としたインバータゲインアンプ７が
接続されて構成されている。また、高感度化を目的とし
て本例では、フローティング・ディフュージョンＦＤの
容量を小さくして、フローティング・ディフュージョン
ＦＤでの電荷電圧変換効率を上げるようにしている。
【００１７】上記本例に係るスイッチング回路６は、図
示しないパルス発生回路からの制御信号Ｓｃに基いてオ
ン・オフ動作を行うスイッチングトランジスタＴｒと、
コンデンサＣとから構成される。尚、スイッチングトラ
ンジスタＴｒとしては、例えばＮチャネル形ＭＯＳＦＥ
Ｔ（電界効果トランジスタ）にて構成することができ
る。
示しないパルス発生回路からの制御信号Ｓｃに基いてオ
ン・オフ動作を行うスイッチングトランジスタＴｒと、
コンデンサＣとから構成される。尚、スイッチングトラ
ンジスタＴｒとしては、例えばＮチャネル形ＭＯＳＦＥ
Ｔ（電界効果トランジスタ）にて構成することができ
る。
【００１８】電荷転送部２は、例えばＰ形のウェル領域
８上に形成されたＮ形の転送レジスタ領域９と、この転
送レジスタ領域９上において、複数の転送電極ＴＧが一
方向（例えば水平方向）に配列されて構成されている。
８上に形成されたＮ形の転送レジスタ領域９と、この転
送レジスタ領域９上において、複数の転送電極ＴＧが一
方向（例えば水平方向）に配列されて構成されている。
【００１９】そして、２枚の転送電極ＴＧを１組として
各組に互い違いに夫々位相の異なる２相の駆動パルスφ
１及びφ２を印加することにより、信号電荷を放電用素
子３側に順次転送する。この転送される信号電荷は、各
画素に対応して例えばｐｎ接合によるフォトダイオード
で構成された受光部（図示せず）で蓄積された信号電荷
である。
各組に互い違いに夫々位相の異なる２相の駆動パルスφ
１及びφ２を印加することにより、信号電荷を放電用素
子３側に順次転送する。この転送される信号電荷は、各
画素に対応して例えばｐｎ接合によるフォトダイオード
で構成された受光部（図示せず）で蓄積された信号電荷
である。
【００２０】尚、出力ゲートＯＧに印加されるゲート電
位Ｖｏｇは、最終段の転送電極ＴＧに印加される駆動パ
ルスφ１の電位中、その低レベルの電位よりも幾分高い
レベルの電位に固定されている。
位Ｖｏｇは、最終段の転送電極ＴＧに印加される駆動パ
ルスφ１の電位中、その低レベルの電位よりも幾分高い
レベルの電位に固定されている。
【００２１】そして、上記電荷転送部２のうち、最終段
の転送電極ＴＧ下から転送される信号電荷を一旦フロー
ティング・ディフュージョンＦＤに蓄積し、その蓄積電
荷に基づく電圧変化、即ち撮像信号Ｓｉを後段の出力ア
ンプ４に供給する。
の転送電極ＴＧ下から転送される信号電荷を一旦フロー
ティング・ディフュージョンＦＤに蓄積し、その蓄積電
荷に基づく電圧変化、即ち撮像信号Ｓｉを後段の出力ア
ンプ４に供給する。
【００２２】撮像信号Ｓｉを出力アンプ４に供給した後
は、リセットゲートＲＧにリセットパルスＰｒを供給し
てフローティング・ディフュージョンＦＤを初期電圧Ｖ
ｄｄにリセットし、フローティング・ディフュージョン
ＦＤに蓄積されていた電荷をドレイン領域Ｄ側に掃き出
す。
は、リセットゲートＲＧにリセットパルスＰｒを供給し
てフローティング・ディフュージョンＦＤを初期電圧Ｖ
ｄｄにリセットし、フローティング・ディフュージョン
ＦＤに蓄積されていた電荷をドレイン領域Ｄ側に掃き出
す。
【００２３】従って、出力アンプ４に入力される電荷転
送部２からの撮像信号Ｓｉの波形は、図２に示すよう
に、リセット期間ｔｒ、フィールドスルー期間ｔｐ及び
信号期間ｔｓの３つの期間に分けられ、リセット期間ｔ
ｒにおいてフローティング・ディフュージョンＦＤの初
期電圧（リセットレベル）Ｖｄｄが現れ、信号期間ｔｓ
において蓄積電荷に伴う信号成分Ｖｓが現れる。
送部２からの撮像信号Ｓｉの波形は、図２に示すよう
に、リセット期間ｔｒ、フィールドスルー期間ｔｐ及び
信号期間ｔｓの３つの期間に分けられ、リセット期間ｔ
ｒにおいてフローティング・ディフュージョンＦＤの初
期電圧（リセットレベル）Ｖｄｄが現れ、信号期間ｔｓ
において蓄積電荷に伴う信号成分Ｖｓが現れる。
【００２４】次に、上記本例に係るＣＣＤ固体撮像装
置、特にそのスイッチング回路６の動作を図２のタイミ
ングチャートを参照しながら説明する。
置、特にそのスイッチング回路６の動作を図２のタイミ
ングチャートを参照しながら説明する。
【００２５】スイッチング回路６のスイッチングトラン
ジスタＴｒに供給される制御信号Ｓｃの波形は、図２に
示すように、撮像信号Ｓｉのフィードスルー期間ｔｐの
一部の期間から信号期間ｔｓのほぼ全域にわたって高レ
ベル、他の期間が低レベルの信号波形となっている。
ジスタＴｒに供給される制御信号Ｓｃの波形は、図２に
示すように、撮像信号Ｓｉのフィードスルー期間ｔｐの
一部の期間から信号期間ｔｓのほぼ全域にわたって高レ
ベル、他の期間が低レベルの信号波形となっている。
【００２６】従って、制御信号Ｓｃが高レベルとなって
いる期間ｔｈに、スイッチングトランジスタＴｒがオン
となって、その期間ｔｈの撮像信号Ｓｉを後段のインバ
ータゲインアンプ７に送出する。即ち、撮像信号Ｓｉ
中、フィードスルー期間ｔｐにおけるフィードスルー成
分Ｖｐと信号期間ｔｓにおける信号成分Ｖｓがインバー
タゲインアンプ７に供給される。このとき、コンデンサ
Ｃに、信号成分Ｖｓが充電される。
いる期間ｔｈに、スイッチングトランジスタＴｒがオン
となって、その期間ｔｈの撮像信号Ｓｉを後段のインバ
ータゲインアンプ７に送出する。即ち、撮像信号Ｓｉ
中、フィードスルー期間ｔｐにおけるフィードスルー成
分Ｖｐと信号期間ｔｓにおける信号成分Ｖｓがインバー
タゲインアンプ７に供給される。このとき、コンデンサ
Ｃに、信号成分Ｖｓが充電される。
【００２７】次に、制御信号Ｓｃが低レベルになると、
コンデンサＣの放電が行われ、インバータゲインアンプ
７には、コンデンサＣに充電されていた信号成分Ｖｓが
供給される。従って、インバータゲインアンプ７には、
上記撮像信号Ｓｉ中、リセットレベル成分（Ｖｄｄ−Ｖ
ｐ）が除去された信号、即ち、フィードスルー成分Ｖｐ
と信号成分Ｖｓのみを含むレンジの小さい出力信号Ｓｏ
が供給されることになる。
コンデンサＣの放電が行われ、インバータゲインアンプ
７には、コンデンサＣに充電されていた信号成分Ｖｓが
供給される。従って、インバータゲインアンプ７には、
上記撮像信号Ｓｉ中、リセットレベル成分（Ｖｄｄ−Ｖ
ｐ）が除去された信号、即ち、フィードスルー成分Ｖｐ
と信号成分Ｖｓのみを含むレンジの小さい出力信号Ｓｏ
が供給されることになる。
【００２８】上述のように、本例によれば、ＦＤＡ
（５）からの撮像信号Ｓｉを、信号成分Ｖｓとフィード
スルー成分Ｖｐのみの出力信号Ｓｏに変換するスイッチ
ング回路６を接続するようにしたので、出力回路１の高
感度化を目的とするインバータゲインアンプ７の入力ダ
イナミックレンジや、外部に接続される信号処理回路の
例えば演算増幅器１０などの入力ダイナミックレンジに
対して信号成分Ｖｓの割合が大きくなり、撮像信号Ｓｉ
に対する信号処理を非常に行い易くなる。
（５）からの撮像信号Ｓｉを、信号成分Ｖｓとフィード
スルー成分Ｖｐのみの出力信号Ｓｏに変換するスイッチ
ング回路６を接続するようにしたので、出力回路１の高
感度化を目的とするインバータゲインアンプ７の入力ダ
イナミックレンジや、外部に接続される信号処理回路の
例えば演算増幅器１０などの入力ダイナミックレンジに
対して信号成分Ｖｓの割合が大きくなり、撮像信号Ｓｉ
に対する信号処理を非常に行い易くなる。
【００２９】このことから、ＣＣＤ固体撮像装置におけ
る出力回路１の設計の自由度が広がり、ＣＣＤ固体撮像
装置の高感度化を向上させることができる。また、放電
用素子３におけるリセットノイズを低減する相関二重サ
ンプリングを外部で実行することが可能となり、出力回
路１の負担を軽減させることができると共に、チップと
してみた場合のＣＣＤ固体撮像装置の小型化を促進させ
ることができる。
る出力回路１の設計の自由度が広がり、ＣＣＤ固体撮像
装置の高感度化を向上させることができる。また、放電
用素子３におけるリセットノイズを低減する相関二重サ
ンプリングを外部で実行することが可能となり、出力回
路１の負担を軽減させることができると共に、チップと
してみた場合のＣＣＤ固体撮像装置の小型化を促進させ
ることができる。
【００３０】
【発明の効果】本発明に係る固体撮像装置によれば、出
力回路の入力ダイナミックレンジや外部に接続される信
号処理回路の入力ダイナミックレンジに対して、撮像信
号における信号成分の割合を大きくとることができ、撮
像信号の信号処理を非常に行い易くすることができる。
力回路の入力ダイナミックレンジや外部に接続される信
号処理回路の入力ダイナミックレンジに対して、撮像信
号における信号成分の割合を大きくとることができ、撮
像信号の信号処理を非常に行い易くすることができる。
【図１】本実施例に係るＣＣＤ固体撮像装置の要部、特
にその出力回路を示す回路図。
にその出力回路を示す回路図。
【図２】本実施例に係る出力回路の信号処理を示すタイ
ミングチャート。
ミングチャート。
【図３】従来例に係るＣＣＤ固体撮像装置の出力回路を
示す回路図。
示す回路図。
【図４】撮像信号を示す波形図。
【図５】従来例に係るＣＣＤ固体撮像装置の入出力特性
を示す特性図。
を示す特性図。
１ 出力回路 ２ 電荷転送部 ３ 放電用素子 ４ 出力アンプ ５ ＦＤＡ（フローティング・ディフュージョン・アン
プ） ６ スイッチング回路 ７ インバータゲインアンプ ８ Ｐ形のウェル領域 ９ 転送レジスタ領域 １０ 演算増幅器
プ） ６ スイッチング回路 ７ インバータゲインアンプ ８ Ｐ形のウェル領域 ９ 転送レジスタ領域 １０ 演算増幅器
Claims (2)
- 【請求項１】 フローティング・ディフュージョンと出
力アンプから構成され、前段の電荷転送部から転送され
た信号電荷を、リセットレベル成分、フィードスルー成
分及び信号成分を含む撮像信号に電圧変換するフローテ
ィング・ディフュージョン・アンプを有する出力回路を
具備した固体撮像装置において、 上記フローティング・ディフュージョン・アンプの後段
に、上記フローティング・ディフュージョン・アンプか
らの撮像信号を、信号成分とフィードスルー成分のみの
出力信号に変換するスイッチング回路が接続され、 上記スイッチング回路に、上記撮像信号のフィードスル
ー期間から信号期間にわたって高レベルとなり他の期間
が低レベルとなる信号波形を有する制御信号が供給され
る ことを特徴とする固体撮像装置。 - 【請求項２】 上記スイッチング回路が、スイッチング
トランジスタとコンデンサから構成されたことを特徴と
する請求項１に記載の固体撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4080068A JP3008655B2 (ja) | 1992-04-01 | 1992-04-01 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4080068A JP3008655B2 (ja) | 1992-04-01 | 1992-04-01 | 固体撮像装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05284428A JPH05284428A (ja) | 1993-10-29 |
| JP3008655B2 true JP3008655B2 (ja) | 2000-02-14 |
Family
ID=13707914
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4080068A Expired - Lifetime JP3008655B2 (ja) | 1992-04-01 | 1992-04-01 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3008655B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6077022A (en) | 1997-02-18 | 2000-06-20 | Zevatech Trading Ag | Placement machine and a method to control a placement machine |
| US6157870A (en) | 1997-02-18 | 2000-12-05 | Zevatech Trading Ag | Apparatus supplying components to a placement machine with splice sensor |
| US6185815B1 (en) | 1997-12-07 | 2001-02-13 | Esec Sa | Semiconductor mounting apparatus with a chip gripper travelling back and forth |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3223823B2 (ja) * | 1996-12-20 | 2001-10-29 | 日本電気株式会社 | 固体撮像装置の出力回路およびその駆動方法 |
-
1992
- 1992-04-01 JP JP4080068A patent/JP3008655B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6077022A (en) | 1997-02-18 | 2000-06-20 | Zevatech Trading Ag | Placement machine and a method to control a placement machine |
| US6157870A (en) | 1997-02-18 | 2000-12-05 | Zevatech Trading Ag | Apparatus supplying components to a placement machine with splice sensor |
| US6185815B1 (en) | 1997-12-07 | 2001-02-13 | Esec Sa | Semiconductor mounting apparatus with a chip gripper travelling back and forth |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05284428A (ja) | 1993-10-29 |
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