DE2823360C3 - Vorrichtung zur Überführung von Gegenständen - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Oberführung von Gegenständen von einer auf einem Gestell befindlichen Erfassungsstelle, an welche die Gegenstände der Reihe nach gebracht werden, zu einer im Abstand davon auf dem Gestell liegenden Abgabesielle, mit einem Kopf, der eine Erfassungsvorrichtung trugt und relativ zu einem auf dem Gestell angeordneten Kopfträger derart zwischen zwei Stellungen beweglich ist, daß sich die Erfassungsvorrichtung in der ersten Stellung an der Erfassungsstelle und in der zweiten Stellung an der Abgabestelle befindet, wobei die Erfassungsvorrichtung derart steuerbar ist, daß sie den an der Erfassungsstelle befindlichen Gegenstand erfassen und ihn an der Abgabestelle freigeben kann, mit steuerbaren Antriebsvorrichtungen für die Bewegung des Kopfes zwischen den beiden Stellungen und mit einer Hauptsteueranordnung für die Steuerung der Antriebsvorrichtungen und der Erfassungsvorrichtung in einem Arbeitszyklus, in dessen erstem Halbzyklus die Erfassungsvorrichtung an der Erfassungsstelle zum Erfassen des Gegenstands betätigt wird und anschließend die Antriebsvorrichtungen zum Bewegen des Kopfes von der ersten Stellung in die zweite Stellung betätigt werden und in dessen zweitem Halbzyklus die Erfassungsvorrichtung zum Freigeben des Gegenstandes an der Abgabestelle betätigt wird und anschließend die Antriebsvorrichtungen zum Bewegen des Kopfes von der zweiten Stellung in die erste Stellung betätigt werden.

Auf bestimmten Gebieten der automatisierten Massenfertigung ist es oft erforderlich, kleine Gegenstände oder Werkstücke, die der Erfassungsstelle zugeführt werden, mit großer Genauigkeit auf Träger aufzusetzen, die der Reihe nach an die Abgabestelle gebracht werden. Ein bekanntes Beispiel ist die Herstellung von Halbleiterbauelementen, wie Transistoren oder integrierten Schaltungen, die zunächst in großer Anzahl auf einer einzigen Halbleiterscheibe gebildet werden, die anschließend in einzelne Halbleiterplättchen zertrennt wird, jedes dieser Halbleiterplättchen muß dann mit großer Genauigkeit auf einem eigenen Leiterrahmen befestigt werden, damit weitere automatische Fertigungsschritte, beispielsweise das Anbringen von VerbinHungsdrähtchen zwischen den Kontaktflächen auf dem Haltleiterplättchen und den Anschlußleitern des Leiterrahmens, durchgeführt werden können.

Bei bekannten Vorrichtungen der eingangs angegebenen Art (vergl. z.B. DE-AS 21 25 361) wird jedes Halbleiterplättchen an der gleichen, durch die Bewegung des Kopfes festgelegten Abgabestelle auf den Leiterrahmen aufgesetzt. Es hat sich gezeigt, daß die dadurch erzielte Genauigkeit in der Positionierung des Halbleiterplättchens nicht immer ausreichend ist. Einerseits kann es infolge von Fertigungstoleranzen bei der Herstellung der Leiterrahmen oder auch infolge von Dejustierungen der Maschine vorkommen, daß die Leiterrahmen nicht die vorgeschriebene Position an der Abgabestelle einnehmen oder daß sich die Abgabestelle relativ zum Gestell verschiebt. Andererseits kann es oft

auch absichtlich erwünscht sein, die Lage der Halbleiterpläitchen auf den Leiterrahmen zu verändern, beispielsweise zur Anpassung an verschiedene Typen von Halbleiterbauelemente. Zu diesem Zweck müssen bei den bekannten Vorrichtungen der eingangs angegebe- ΐ nen Art mechanische Justierungen durch geschulte Fachkräfte vorgenommen werden, die den Arbeitsprozeß für längere Zeit unterbrechen.

Aus der US-PS 40 05 782 ist eine Vorrichtung zum Entfernen von Gegenständen aus einer Presse bekannt, in bei der ein mit einem Greifer versehener Kopf relativ zu einem Kopfträger um eine vertikale Achse zwischen zwei Stellungen drehbar ist. Der Kopfträger ist relativ zu der Presse parallel zu der Ebene verstellbar, in der die Bewegung des Kopfes erfolgt. Mittels einer Steueran- v> Ordnung wird die Vorrichtung so bewegt, daß der Greifer einen Gegenstand aus der Presse vollautomatisch an eine Ablagestelle transportiert und wieder zurückgestellt wird.

Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung einer Vorrichtung der eingangs angegebenen Art, bei der erforderliche Justierungen der Lage der überführten Gegenstände an der Abgabesteile schnell und einfach vorgenommen werden können.

Nach der Erfindung wird dies dadurch erreicht, daß 2^r> der Kopfträger relativ zu dem GesteJI parallel zu der Ebene verstellbar ist, in der die Bewegung des Kopfes erfolgt, und daß eine Steueranordnung vorgesehen ist, mit welcher dem Kopfträger während des ersien Halbzyklus eine voreingestellte Verstellung relativ zu 3» dem Gestell erteilt werden kann und die dem Kopfträger während des zweiten Halbzyklus die entgegengesetzte Verstellung erteilt.

Bei der Vorrichtung nach der Erfindung erfolgt keine bleibende mechanische Justierung, sondern es wird in jedem Arbeitszyklus die gleiche Justierbewegung ausgeführt und anschließend wieder rückgängig gemacht. Die Justierung kann daher auch von wenig geschulten Bedienungspersonen leicht und schnell eingestellt, durch visuelle Beobachtung verbessert und nach Bedarf verändert werden. Der Arbeitsprozeß wird di'rch die erforderlichen Einstellungen kaum unterbrochen. Da jederzeit schnell eine Anpassung an geänderte Verhältnisse möglich ist, wird der Ausschuß verringert.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird an Hand -»5 der Zeichnung näher erläutert In der Zeichnung zeigt

F i g. 1 eine perspektivische Ansicht einer Fertigungsmaschine für Halbleitervorrichtungen mit einer Vorrichtung nach dem Ausführungsbeispiel der Erfindung,

Fig.2 eine zum Teil geschnittene Seitenansicht des w oberen Teils der Maschine von F i g. 1,

F i g. 3 eine schematische Darstellung zur Erläuterung der Wirkungsweise der Vorrichtung von F i g. 1 und 2,

F i g. 4 Zeitdiagramme der Betätigung verschiedener Bestandteile der Vorrichtung von F i g. I und 2 und

Fig.5 ein Schaltbild einer Steueranordnung für die Vorrichtung von F i g. 1 und 2.

Die Fig. I und 2 der Zeichnung zeigen eine Vorrichtung 10 zur Überführung von Gegenständen in Anwendung bei einer Maschine, die in der Fertigung <>o von Halbleiterbauelementen eingesetzt wird. Es ist bekanntlich üblich, eine große Anzahl von Halbleiterbauelementen, wie Transistoren oder integrierte Schaltungen, gleichzeitig auf einer einzigen Halbleiterscheibe geringer Dicke zu bilden und diese Scheibe anschlie- ^h"> Bend in die einzelnen Bauelemente zu zertrennen, welche die Form von rechteckigen Plättchen haben. Zu diesem Zweck wird die Halbleiterscheibe auf eine Unterlage in Form einer elastischen Kunststoffolie geklebt, deren Rand in einen Rahmen eingespannt ist. Die Halbleiterscheibe wird dann in die einzelnen Halbleiterplättchen getrennt, für welche der Rahmen mit der eingespannten Unterlage als vorläufiger Trägtr dient. F i g. 3 zeigt schematisch einen solchen Träger 11 mit einem kreisrunden Rahmen 12, in den eine Kunststoffolie 13 eingespannt ist. Ferner sind einige der auf die Kunststoffolie 13 aufgeklebten rechteckigen Halbleiterplättchen 14 dargestellt, deren Anzahl in Wirklichkeit sehr viel größer sein kann.

Die Halbleiterplättchen 14 müssen einzeln der Reihe nach von dem Träger 11 abgenommen werden, und jedes Halbleiterplättchen muß auf einem eigenc'i Leiterrahmen (lead frame) befestigt werden. Die Leiterrahmen sind gewöhnlich derart aus Blech ausgestanzt, daß eine größere Anzahl von ihnen durch seitliche Längsstreifen zusammengehalten werden. Fig.3 zeigt schematisch einen Abschnitt eines solchen Leiterrahmenstreifens 15, wobei drei Leiterrahmen 16a, \6b, 16cdargestellt sind. Jeder Leiterrahmen 16 hat eine Montagefläche 17 für die Aufnahme eines Halbleiterplättchens 14 und seitlich abstehende Anschlußleiter 18. Die Enden der Anschlußleiter 18 sind durch die seitlichen Längsstreifen 19 zusammengehalten, die später zur Trennung der Leiterrahmen 16 abgeschnitten werden.

Die Leiterrahmenstreifen 15 können entlang einer Führungsbahn schrittweise so vorgeschoben werden, daß die einzelnen Leiterrahmen 16 nacheinander an eine Stelle gebracht werden, an welcher die einzelnen, vom Träger 11 abgenommenen Halbleiterplättchen 14 darauf befestigt werden können. Das Befestigen kann beispielsweise durch Aufkleben mittels eines Epoxydharzklebers oder auch durch Anlegieren erfolgen. Es besteht somit das Problem, die Halbleiterplättchen 14 der Reihe nach von dem Träger 11 abzuheben und zu den Leiterrahmen 16 zu überführen. Diesem Zweck dient die Vorrichtung 10 bei der in Fig. 1 ur»d 2 dargestellten Maschine.

Die Maschine hat ein Gestell 21, dessen Oberseite einer· Tisch 22 bildet, auf dem die verschiedenen Bestandteile montiert sind. Der Tisch 22 trägt einen Kreuztisch 23, auf dem ein Halter 20 befestigt ist, der jeweils einen Träger 11 auswechselbar aufnimmt. Der Kreuztisch 23 wird in üblicher Weise durch Motore 24 (Fig. I) und 25 (F i g. 2), die vorzugsweise Schrittmotore sind, in zwei zueinander senkrechten Achsrichtungen angetrieben. Mittels des Kreuztisehes 23 kann der Träger 11 in den beiden Achsrichtungen schrittweise so verstellt werden, daß der Reihe nach jedes Halbleiterplättchen 14 an eine in bezug auf das Gestell 21 genau definierte Erfassungsstelle A gebracht werden kann. Die Steuerung der Schrittmotore 24, 25 für diese Verstellung, wie auch die Steuerung der übrigen in der Maschine ablaufenden Vorgänge, kann durch eine Hauptsteuefanordnung erfolgen, die im Oberteil 26 der Maschine untergebracht ist.

Ferner ist auf dem Tisch 22 ein Sockel 27 montiert, dessen Oberseite e'.ne Führungsbahn 28 aufweist, in welcher die Leiterrahmenstreifen 15 durch eine nicht näher dargestellte Vorschubeinrichtung schrittweise so vorgeschoben werden, daß der Reihe .lach jeder Leiterrahmen 16 an eine in bezug auf das Gestell 21 genau definierte Abgabestelle B gebracht wird, an der jeweils ein vom Träger 11 abgenommenes Halbleiterplättchen 14 auf den Leiterrahmen 16 aufgesetzt werden soll. Die unbestückten Leiterrahmenstreifen 15 können

sich in größerer Anzahl in Magazinen befinden, aus denen sie der keine nach entnommen und in die Rihrungsbahn 28 eingebracht werden; die mit den llalblciierplättchen 14 versehenen Leilerrahmcnstreifen 15 können anschließend wieder in gleichartige Magazine eingefüllt werden. Zu diesem Zweck isi an !«.•dem Ende der Führungsbahn 28 ein Magazinwcchslcr 29 bzw. 30 vorgesehen. Der Magazinwechsler 29 enthalt die Magazine mit den unbestückten Lciierrahmenstreifcn 15. und der Magazinwechsler 30 enthält Magazine für die Aufnahme der mil den llalbleiterplältchen bestückten l.eiterrahmenstreifen. An einer zwischen dein Magazinwechsler 29 und der Abgabestelle B befindlichen Station befindet sich eine Vorrichtung 31 zum Aufbringen des Klebemittels auf die Leiterrahmen. Die Vorschubeinrichtung, die Magazinwechsler 29, 30 und die Vorrichtung 31 werden gleichfalls durch die im Oberteil 26 untergebrachte Hauptsteueranordnung in der richtigen zeitlichen Beziehung zum Betrieb der

In ΙΊ g. j ist angenommen, daß sich das Halbleiter plättchen \4n an tier Erfassungsstelle Λ befindet. Ls kann eine automalische Ausrichtanordnung vorgesehen sein, die durch Einwirkung auf die Schriltmotore 24 und 25 jedes lialbleiterplättchcn an der Erfassungsstelle Λ .in eine genau definierte Lage in bezug auf einen maschinenfesicii Bezugspunkt bringt; dieser Bezugs punkt liegt beispielsweise auf der Achse / eines AusstoUers (I ig. 2). der in einem Ausstoßermcchanis miis 32 enthalten ist und durch \ertikale Aufwärtsbewegung das Ablösen eines erfaßten Halblciterplättchens 14 ion der Kunststoffolie 13 erleichtert. Der Ausstoßermechanismus 32 ist fest mit dem Gestell 21 der Maschine verbunden, so daß er die Bewegungen des Kreuztisch* 23 nicht mitmacht.

lerner ist in F i g. 3 angenommen, daß sich der Leiterrahmen \f>h an der Abgabestelle B befindet, .in der das vom Träger It abgenommene llalbleiterplätichen auf dem Leiterrahmen befestigt werden soll. Der Leiterrahmen I6,j ist bereits mit einem Haibleiterplättchcn 14 bestückt, während der Leiterrahmen 16c-noch unbestücki ist und beim nächsten Vorschubschritl an die -\beabcstelle B kommt.

Die Vorrichtung 10 enthalt einen i\opf 33. der die Aufgabe hat. jeweils ein auf dem Träger 11 befindliches llalbleiierplattchen 14 an der Erfassungsstelle .4 zu erfassen, von dem Träger Il abzuheben, zu der Abgabestelle B zu überführen und auf den dort befindlichen Leiterrahmen 16 aufzusetzen. Der Kopf 33 ■st am vorderen Ende eines auslegerartigen Kopfträgers 34 um eine vertikale Achse Zdrehbar gelagert. Er weist eine im Kopfträrer 34 drehbar gelagerte Hohlwelle 35 .!.it. die von einem Motor 36 über einen Riementrieb 37 angetrieben wird. Im Innern der Hohlwelle 35 liegt gleichachsig zu dieser eine Welle 38. die an ihrem oben aus der Hohlwelle 35 herausragenden Ende von einem Motor 39 über einen Riementrieb 40 angetrieben wird. Die Motore 36 und 39 können gleichfalls Schrittmotore sein. Am unteren Ende der Hohlwelle 35 ist exzentrisch ein nach unten ragender Ansatz 41 angebracht, an dem ein horizontaler Arm 42 um eine Achse 43 schwenkbar gelagert ist. Der Arm 42 ist als Winkelhebel ausgebildet. an dessen nach oben ragendem kurzem Schenkel 44 eine Rolle 45 gelagert ist. die am Umfang einer von der Welle 38 getragenen Kurvenscheibe 46 anliegt. Eine Feder 47. die einerseits an dem kurzen Schenkel 44 und andererseits an einem von der Hohlweile 35 getragenen Süft 48 verankert ist. sucht die Rolle45 in Anlage an der Kurvenscheibe 46 zu halten. Durch Drehen der Kurvenscheibe 46 mittels der Welle 38 relativ zu der I lohlwelle 34 ist es durch diese Anordnung möglieh, den Arm 42 um die Achse 43 zu verschwenken, so daß das

• freie Ende 49 des Arms 42 eine Auf- oder Abwärtsbcwe gung ausführt. Durch Drehen der Hohlwelle 35 kann dagegen der Arm 42 um die vertikale Drehachse vcrschwenkt werden; der Schwcnkwinkel. der bei dem dargestellten Beispiel 180" beträgt, ist durch ein

ι Anschlagstück 50 begrenzt, das mit an der Unterseite des Kopfträgers 34 angebrachten Anschlägen 51 und 52 zusammenwirkt. Dadurch wird erreicht, daß der Arm 42 in seinen beiden Endslcllungcn genau definierte Lagen in bezug auf den Kopfträger 34 einnimmt.

Die eigentliche Erfassungsvorrichtting für die Halb leilerplällchcn 14 ist durch ein am Ende 49 des Arms 42 befestig!'.·* Kapillarrohr 53 gebildet, das an einen Schlauch 54 angeschlossen isl. Der Schlauch 54 folgt dem Verlauf des Arms 42; er ist durch das hohle Innere ,j_cr Welle ja h:r;i!i:rch"cii:hr! und rr::! c:::er (!ruerdruckquelle KV verbunden, wie in Fig. 2 schematisch angedeutet ist. In der Verbindung zu der Unterdruckqiielle liegt ein elektrisch steuerbares Ventil 55. durch das das Kapillarrohr 53 wahlweise mit der Unierdruckqticlle KV verbunden oder von dieser getrennt werden kann. Wenn somit die Mündung des Kapillarrohrs 53 auf ein llaibleiterplättchen 14 aufgesetzt ist und das Ventil 55 geöffnet wird, entsteht eine Saugwirkung, durch die das Ha'Meiterplättchen von dem Kapillarrohr festgehalten wird. Durch Schließen des Ventils 55 wird der Unterdruck abgeschaltet, so daß das Halbleiterplättchen von dem Kapülarrohr freigegeben wird.

Der Kopf 33 ist so ausgeführt und am Kopfträger 34 angeordnet, daß sich in der einen Grenzstellung des Arms 42. die in F i g. 2 dargestellt ist. die Mündung des Kapillarrohres 53 genau über dem Bezugspunkt an der Erfassungsstelle Λ befindet, und daß nach einer Drehung des Arms um 180° das Kapillarrohr 53 in der anderen Grenzstellung an die Abgabestelle B gebracht ist. Diese beiden Grenzstellungen des Arms 42 sind auch schematisch in Fig. 3 angedeutet; sie sollen zur Vereinfachung »Stellung PA« bzw. »Stellung PB« genannt werden.

Die Wirkungsweise des bisher beschriebenen Teils der Vorrichtung soll anhand der Zeitdiagramme von F i g. 4 erläutert werden, welche die Zeiten der Einschaltung des Motors 39 in der Hubrichtung (HJbzw. der Senkrichtung (S) und des Motors 36 in der Vorwärtsrichtung (V) bzw. in der Rückwärtsrichtung (R). die Auf- und Abwärtsbewegung des Arms 42. die Drehbewegung des Arms 42 von der Stellung PA in die Stellung Pßund zurück sowie das Öffnen und ScI .-eßen des Ventils 55 für einen vollständigen Arbeitszyklus zeigen. Diese Vorgänge werden von der Hauptsteueranordnung gesteuert, die im Oberteil 26 der Maschine untergebracht ist. die Hauptsteueranordnung, die in F i g. 5 durch einen Kasten MCD dargestellt ist. liefert die Steuersignale für die Betätigung der Motore 36 und 39 und des Unterdruckventils 55 in der in den Diagrammen von F i g. 3 gezeigten Weise.

Im Zeitpunkt fo vor Beginn des Arbeitszyklus befindet sich der Arm 42 in der Stellung PA, und er ist angehoben, damit durch Verschieben des Trägers 11 ein neues Halbleiterplättchen 14 an die Erfassungsstelle A

' gebracht und dort genau auf den Bezugspunkt ausgerichtet werden kann. Am Beginn des Arbeitszyklus im Zeitpunkt t- wird der Motor 39 in der Senkrichiung angetrieben, die dem Absenken des Arms 42 entspricht.

Somit bewegt sich der Arm nach unten, wodurch die Mündung des Kapillarrohrs 53 auf das an der Erfassungsstelle A befindliche Halbleiterplattchen 14 aufgesetzt wird. Dieser Vorgang ist im Zeitpunkt l· beendet; in diesem Zeitpunkt wird der Motor 39 abgeschaltet und gleizeitig das Ventil 55 geöffnet, durch das der Unterdruck zu dem Kapillarrohr 53 übertragen wird. Im Zeitpunkt h wird der Motor 39 in der Hubnehtung eingeschaltet, wodurch der Arm 42 angehoben wird. Bei der Abwärtsbewegung nimmt das ■■ Kapillarrohr 53 das Halbleiterplattchen 14 mit. das infolge der durch den Unterdruck erzeugten Saugwirkung an der Mündung des Kapillarmhrcs haften bleibt. Das Ablösen des Halbleiterplätlchens von der Kunststoffolie 13 wird dadurch erleichtert, daß /wischen den Zeitpunkten /: und (4 auch der Aussioßermechanisnuis 32 betätigt wird. Im Zeitpunkt h hat der Arm 42 wieder seine obere Stellung erreicht: in diesem Zeitpunkt wird der Motor 39 abgeschaltet. Gleichzeitig wird im Zeitpunkt tt der Motor Jb in der Vorwartsrichtung ' eingeschaltet, wodurch der Arm 42 aus der Stellung PA in die Stellung PB verschwenkt wird. Fr erreicht diese Stellung im Zeitpunkt /-,. in welchem der Motor 36 abgeschaltet wird.

Im Zeitpunkt t=, wird der Motor 39 wieder in der .· .Senkrichtung eingeschaltet, so daß das vom Kapillarrohr 53 erfaßte und mitgeführte Halbleiterplattchen 14 auf den in der Abgabestelle B befindlichen Leiterrahmen 16 aufgesetzt wird. Sobald der Arm 42 im Zeitpunkt /t, seine tiefste Stellung erreicht hat. wird der Motor 39 ; abgeschaltet. Gleichzeitig wird das Ventil 55 geschlossen, so daß das Kapillarrohr 53 von der Unterdruckquelle KS getrennt wird. Dadurch wird das Halbleiterplattchen 14. das auf den zuvor mit dem Klebemittel versehenen Leiterrahmen 16 aufgesetzt worden ist. vom ·' Kapillarrohr 53 freigegeben. Im Zeitpunkt 1- wird der Motor 39 wieder in der Hubrichtung eingeschaltet: sobald der Arm 42 im Zeitpunkt t* die obere Stellung erreicht hat. wird der Motor 39 abgeschaltet und gleichzeitig der Motor 36 in der entgegengesetzten ■■ Drehrichtung eingeschaltet, so daß der Arm 42 wieder von der Stellung PB in die Stellung PA zurückverkann an geeigneten Stellen innerhalb des beschriebenen Arbeitszyklus erfolgen, oder auch in einem sich an den Zeitpunkt /.· anschließenden Zeitintervall vor Beginn des nächsten Arbeitszyklus.

l-'ür die einwandfreie Fertigung von Halbleiterbauelementen ist es erforderlich, daß die Halbleiterplattchen 14 sehr präzise in genau bestimmter Lage auf den Montageflächen 17 der Leiterrahmen 16 befestigt w erden, damit spätere Bearbeitungsvorgänge. insbesondere das Anbringen der Verbindungsdrähte zwischen den Kontaktflächen auf dem Halbleiterplätichen und tion Anschlußleitern des Leiterrahmens, durch automatische Geriite zuverlässig ausgeführt werden können. Aus s erschiedenen Cjrunden sind diese Bedingungen mit der bisher beschriebenen Vorrichtung nicht immer genau erfüllt. Einerseits müssen mit der gleichen Maschine sehr verschiedenartige Halbleiterbauelemente montiert werden, und es kann sein, daß die vorgeschriebene Lage der Halbleiterbauelemente auf cien Montagefiacnen der Leiterrahmen für verschiedene Typen unterschiedlich ist. Ferner kann es vorkommen, daß infolge von Fcrtigungstoleranzen die Montageflächen der einzelnen Leiterrahmen innerhalb der Leiterrahmenstreifen bei verschiedenen Fertigungsserien nicht immer genau gleich sind. Die erforderlichen lustierungen müssen von einer Bedienungsperson wirgenommen werden, nachdem sie durch visuelle Prüfung, beispielsweise mit Hilfe eines Mikroskops oder einer Fernsehkamera, als notwendig erkannt worden sind.

Zu diesem Zweck ist der Kopfträger 34 nicht fest mit dem Gesteil 21 verbunden, sondern auf einem Kreuztisch 56 in zwei zueinander senkrechten Achsrichtungen parallel zu der Ebene des Tisches 22 verstellbar. Der Kreuztisch 56 ist dadurch gebildet, daß auf der Oberseite eines vom Gestell 11 nach oben ragenden Sockels 57 (Fig. 2) ein Schlitten 58 senkrecht zu der Zeichenebene von Fig. 2 verschiebbar gelagert ist. Die Verstellung des Schlittens 58 relativ zum Sockel 57 in dieser Richtung, die als ,Y-Richtung bezeichnet werden soll, erfolgt durch einen Schrittmotor MX. Dc' Kopfträger 34 ist seinerseits auf der Oberseite des

γλτγοΙΙαΙ -7Ii Ai*r 7pii^Hpr\pKpnp inn Pi σ

wird der Motor 36 abgeschaltet, und alle Teile befinden sich wieder in der gleichen Stellung wie im Zeitpunkt (,.. -' Der gleiche Vorgang kann beliebig oft wiederholt werden.

Es ist zu erkennen, daß der ganze Arbeitszyklus aus zwei fast gleichen Halbzyklen besteht, die sich nur dadurch unterscheiden, daß der Motor 36 im ersten '>" Halbzyklus in der Vorwärtsrichtung und im zweiten Halbzyklus in der Rückwärtsrichtung eingeschaltet wird. Der erste Halbzyklus geht vom Zeitpunkt f_; bis zum Zeitpunkt r* und der zweite Halbzyklus geht vom Zeitpunkt h bis zum Zeitpunkt h. ü

Die beschriebenen Vorgänge können sehr schnell ablaufen: der ganze Arbeitszyklus kann in weniger als einer Sekunde durchgeführt werden.

Die bisher beschriebene Vorrichtung ermöglicht ein vollautomatisches Erfassen und Oberführen der an die w> Abgabestelle A gebrachten Halbleiterplattchen 14 zu den an die Abgabestelle gebrachten Leiterrahmen 16. Wenn keine weitere.i Maßnahmen getroffen werden, werden die Halbleiterplattchen 14 stets an der gleichen, in bezug auf das Gestell 21 festgelegten Stelle auf die ^ Leiterrahmen 16 aufgesetzt.

Der Vorschub der Leiterrahmenstreifen 15 in der Führungsbahn 28 und die Verstellung des Trägers 11 verschiebbar gelagert: die Verstellung des Kopfträgers 34 relativ zum Schlitten 58 in dieser Richtung, die als >'■ Richtung bezeichnet werden soll, erfolgt durch einen Schrittmotor iWV. Die Schrittmotoren MX und MY werden von einer Steuerschaltung gesteuert, die später anhand von Fig. 5 näher erläutert wird. Wenn keine Justierung erforderlich ist. werden die Schrittmotoren Λ/Xund iV/V'nicht betätigt, so daß alles so abläuft, als ob der Kopfträger 34 starr mit dem Gestell 21 verbunden wäre. Wenn dagegen eine justierung in der X-Richtung erforderlich ist. stellt die Bedienungsperson die Größe der erforderlichen Justierung an der Steuerschaltung ein. und die Steuerschaltung bewirkt dann, daß der Schrittmotor Ai-Yim ersten Halbzyklus jedes Arbeitszyklus eine dem Ausmaß dieser Justierung erforderliche Verstellung des Kreuztisches 56 in der entsprechenden A"-Richtung (positiv oder negativ) und im zweiten Halbzyklus eine gleich große Verstellung in der entgegengesetzten X-Richtung vornimmt: am Ende des vollständigen Arbeitszyklus hat der Kopfträger also wieder seine ursprüngliche Ausgangsstellung erreicht, und demzufolge befindet sich das Kapillarrohr 53 wieder genau am Bezugspunkt der Erfassungsstelle A. Dagegen erfolgt das Aufsetzen des Halbleiterplättchens auf den Leiterrahmen an der Abgabestelle B mit einer

der eingestellten Justierung entsprechenden Verschiebung. In entsprechender Weise wird verfahren, wenn eine lustierung in der V-Ricntung erforderlich ist: das Ausmaß dieser lustierung wird von der Bedienungsperson an der Steuerschaltung eingestellt, und die Steuerschaltung bewirkt, daß der Schrittmotor W V im ersten Halbzyklus jedes Arbeitszyklus eine entsprechende Verstellung des Kreuztisches 56 in der V-Richtung und im zweiten Halbzyklus die entgegengesetzte Verstellung vornimmt.

Schließlich kann eine lustierung gleichzeitig in der X-Richtung und in der V-Richtung erfolgen, wobei jeder der beiden Schrittmotoren WY und WV jeweils im ersten Halbzyklus eine Verstellung in einer Richtung und im zweiten Halbzyklus eine gleich große Verstellung in der entgegengesetzten Richtung vornimmt, so daß stets am Ende jedes Arbeitszyklus der Kopfträger 34 wieder die ursprüngliche Position einnimmt und somit die Mündung des Kapillarrohrcs 53 exakt am Bezugspunkt der Erfassungsstelle steht.

F i g. 5 zeigt ein Ausführungsbeispiel der Steuerschaltung, mit der diese Wirkung erreicht werden kann. In dieser Figur ist auch die Hauptsteueranordnung MCD dargestellt, welche die Steuersignale fiir den zuvor erläuterten Betrieb der Moiore 36 und 39 und des Unterdriickventüs 55 liefert, sowie Steuersignale für weitere Funktionen der Maschine.

Zur Einstellung der Größe und Richtung der erforderlichen lustierung ist für die Bedienungsperson ein Tastenfeld KB vorgesehen. Zur Vereinfachung ist angenommen, daß in jeder Achsrichtung eine lustierung um 1. 2. 3 oder 4 Schritte des betreffenden Schrittmotors vorgenommen werden kann, leder Schritt eines Schrittmotors entspricht einer genau definierten Verstellung des Kreuztisches 56 Das Tastenfeld KB hat deshalb vier .Y-Tasten .VI. V2. .V 3. .V4, wobei eine Betätigung der Taste X1 eine Verstellung des Kreuztisches 56 um einen Schritt des Schrittmotors WA in der .V-Richtung bedeutet, eine Betätigung der Taste X 2 um zwei Schritte, der Taste X 3 um drei Schritte und der Taste X4 um vier Schritte. Ferner sind zwei X-Richtungstasten XP und XN vorgesehen: die Betätigung der Taste Λ7⁵ bedeutet, daß die mittels einer der I asten Λ 1. Λ 2, Λ 1. Λ 4 eingestellte verstellung in der positiven ,V-Richtung erfolgen soll, wahrend die Betätigung der Taste XN bedeutet, daß die Verstellung in der negativen A'-Richtung erfolgen soll. Eine X-Löschtaste Ci-Λ' dient zur Löschung eines früher eingestellten Wertes für die Justierung in der A"-Richtung.

In gleicher Weise sind für die Verstellung in der V-Richtung vier V-Tasten Kl. V 2. Yi. Y4. zwei V'-Richtungstasten YP und YN und eine V-Löschtaste CL Y vorgesehen.

Den vier Tasten Xt. X2. XX X4 sind vier Ausgangsleitungen LXt. LX2. LXX LX4 zugeordnet, wobei die Schaltung so getroffen ist. daß bei Betätigung der Taste X 1 ein Ausgangssignal auf der Leitung LX 1 entsteht und auch nach dem Loslassen der Taste bestehen bleibt: bei Betätigung der Taste X2 werden die beiden Ausgangsleitungen LX t und LX 2 erregt, bei Betätigung der Taste X3 die drei Ausgangsleitungen LXt. LXZ LX3 und schließlich bei Betätigung der Taste A"4alle vier Ausgangsleitungen LXU LX2. LXX LX4. Den vier V-Tasten Yt. Y2. YX ΥΛ sind vier Leitungen LYt, LY2. LYX LY4 zugeordnet, di» in gleicher Weise durch die Betätigung der Tasten erregt werden. Den Richtungstasten XP. XN. YP. YN ist jeweils eine Leitung LXP. LXN. LYP. bzw. LYN zugeordnet; bei Betätigung einer Richtungstaste wird die zugeordnete I utung erregt, und sie bleibt auch nach dem Loslassen der Taste erregt.

Für die Steuerung des Schrittmotors MX ist eine Steuerschaltung XCON vorgesehen, welche an zwei Ausgängen die erforderlichen Steuerimpulse für den Anirieb des Schrittmotors MX in der einen oder anderen Richtung liefert. Die Ausgänge der Steuerschaltung XCON sind mit den beiden Eingängen IPX. INX eins Motorsteuerverstärkers AMX verbunden, welcher aufgrund der ihm ziigeführten Steuerimpulse die für die Betätigung des Schrittmotors MX erforderlichen Stromimpulse mit der richtigen Stärke und Polarität erzeugt. F-Tir jeden dem Eingang IPX zugeführten Steuerimpuls führt der Schrittmotor MX einen Schritt in der positiven X-Richtung und für jeden dem Eingang INX zugeführten Steuerimpuls einen Schritt in der negativen .V-Richtung aus. In gleicher Weise ist für den V-Schriumotor WVeine Steuerschaltung YCON vorgesehen, deren Ausgänge mit den Eingängen IPY und //Weines Motorsteuerverstärkers AMY verbunden sind und zu diesen Eingängen die erforderlichen Steuerimpulse für die Drehung des Schrittmotors WV in der positiven bzw. negativen V-Richtung liefern.

Die Steuerschaltung XCON empfängt die Ausgangssignale des Tastenfelds KB auf den Leitungen LAI. /..V 2. LXX LX 4. LXP. LXN. und die Steuerschaltung YCON empfangt die Ausgangssignale des Tastenfelds KB auf den Leitungen /.Vl. LY2. LY3. LY4. LYP. I. YN. Der innere Aufbau dieser beiden Steuerschaltungen und ihre Wirkungsweise ist vollständig gleich: es wird daher nachfolgend nur der Aufbau und die Wirkungsweise der Steuerschaltung XCON näher beschrieben.

Die Steuerschaltung XCON enthält eine erste Gruppe von vier Und-Schaltungen APX I, APX2. APXX APX4 und eine zweite Gruppe von vier Und-Schaltungen ANX 1. ANX2. ANX3. ANX4. Die ersten Eingänge der vier Und-Schaltungen APX 1 bis APX 4 sind gemeinsam mit der Leitung LXPverbunden, während ihre zweiten Eingänge jeweils an eine der Leitungen i.,\ l. la ι, /.Aj. lA 4 angeschlossen sind. Die ersten Eingänge der Und-Schaltungen ANX \ bis ANX 4 sind gemeinsam mit der Leitung LXN verbunden, während ihre zweiten Eingänge jeweils mit einer der Leitungen LX I. LX2. LX3. LX4 verbunden sind.

Die Ausgänge der vier Und-Schaltungen APX 1 bis APX4 sind mit den vier Signaleingängen Dl. D2. D3. D 4 eines Decodiereres PSPX verbunden, der außerdem vier Adresseneingänge ADD 1, ADD2, ADD3. ADD4 hat und in bekannter Weise so ausgeführt ist, daß er bei Zuführung eines Impulses zu einem Adresseneingang das an dem zugeordneten Signaleingang DX. D 2, D3. D 4 anliegende Signal zum Ausgang Wüberträgt.

Die Ausgänge der vier Und-Schaltungen ANXX bis ANX4 sind in gleicher Weise mit den vier Signaleingängen Dt. D2. D3. D4 eines Decodieren PSNX verbunden. Die Adressiereingänge ADDt bis ADD4 aller vier Decodierer in den beiden Steuerschaltungen XCON und YCON sind mit den entsprechend bezeichneten Ausgängen eines Adressenimpulsgenera-

> tors A PG verbunden: der Deutlichkeit wegen sind diese Verbindungen in F i g. 5 nicht gezeichnet, sondern durch Pfeile angedeutet. Der Adressenimpulsgenerator IPG ist so ausgebildet, daß er beim Anlegen eines Signals an

seirjii Auslösetiiigang TR der Reihe nach in vorbestimmten Zeitabständen jeweils einen Impuls an jedem seiner Ausgänge ADD X.ADD2.ADD 3, ADD4 abgibt.

Der Ausgang Wdes Decodierers PSPX ist jeweils mii ;inem Eingang von zwei Und-Schaltungen AFX 1 und ARXi verbunden, und in gleicher Weise im der Ausgang W des Decodierers PSNX mit jeweils einem Eingang von zwei Und-Schaltungen AFX2 und ARX2 verbunden. Die Ausgänge der beiden Und-Schaltungcn 4FX I und AFX 2 sind mit den beiden Eingängen einer ι Oder-Schaltung OFX verbunden, deren Ausgang an den Eingang IPX der Motortreiberschaltung DMX angeschlossen ist. Die Ausgänge der beiden Und-Schaltungen ARX I und ARX2 sind mit den beiden Eingängen einer Oder-Schaltung ORX verbunden, deren Ausgang : mit dem Eing.ing INX des Motorsteuerverstärkers AMX verbunden ist.

Die Hauptsteueranordnung MCD hat /wci zusätzliche Ausgänge SFund SR. Sie liefert am Ausgang .SFein Signal während der Dauer jedes Zeitintervalls, in dem sie ein Steuersignal zu dem Motor 36 für den Antrieb in der Vorwärfrichtung liefert, also zwischen den Zeitpunkten U und fi im ersten Halbzyklus jedes Arbeitszyklus; sie liefert am Ausgang SR ein Signal während der Dauer jedes Zeitintervalls, in dem sie ein Steuersignal zu dem Motor 36 für den Antrieb in der Rückwärtsrichtung liefert, also /wischen den Zeitpunkten fs und Iq im zweiten Halbzyklus jedes Arbeitszyklus. Die zweiten Eingänge der beiden Und-Schaltungen 4FXl und ARX2 sind mit dem Ausgang SF der Hauptsteueranordnung MCD verbunden und die /weiten Eingänge der beiden Und-Schaltungen ARX 1 und AFX2 sind mit dem Ausgang SR der Hauptsteueranordnung MCD verbunden. Somit sind die beiden Und-Schaltungen 4FXl und ARX2 in jedem ersten Halbzyklus zwischen den Zeitpunkten r, und r-, freigegeben, und die beiden Und-Schaltungcn 4KXl und 4FX2 sind in jedem zweiten Halbzyklus zwischen den Zeitpunkten h und fo freigegeben. Die Ausgänge SF i'nd SR der Steueranordnung MCD sind ferner mit den beiden Eingängen einer Oder-Schaltung ORA verbunden, an deren Ausgang der Auslöseeingang TR des Adressenimpulsgenerators APCangeschlossen ist.

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übertragen werden, weil die Und-Schaltungcn ANXi, ANX 2, ANX 3, an denen diese Signale gleichfalls anliegen, gesperrt sind. Somit liegen an den Signaleingängen Di. D2, D3 des Decodierers PSPX in der Steuerschaltung XCO/Vdauernd Signale an, während an den Sitmaleingängen des Decodierers PSNX dieser Steuerschaltung keine Signale anliegen.

In der Steuerschaltung YCON sind alle Und-Schaltungen APYi-4, ANYi-4 gesperrt, doch ist dies bedeutungslos, da auch die Leitungen LYi bis LY4 keine Signale führen. Die Decodierer PSPY und PSNY in der Steuerschaltung YCON empfangen daher keine Eingangssignale.

In jedem von der ! lauptsteueranordnung MCD ausgelösten und gesteuerten Arbeitszyklus gibt der Ausgang SF im erster Halbzyklus zwischen den Zeitpunkten Ia und I=, ein Signal ab. das einerseits die Und-Schaltungen AFXi und ARX2 öffnet und andererseits über die Oder-Schaltung ORA den Adressenimpulsgenerator APC auslöst. Der Adressenimpulsgenerator liefert somit nacheinander vier Impulse zu den Eingängen ADD I, 2, 3, 4 aller vier Decodierer, doch sind diese Adressenimpulse nur für den Decodierer PSPX wirksam, da an den anderen drei Decodierern keine Eingangssignale anliegen. Aufgrund der zugeführten Adressenimpulse erscheinen am Ausgang IV des Decodierers PSPX nacheinander drei Impulse, die den an den Eingängen DX. D2. Di dieses Decodierers anliegenden Signalen entsprechen. Diese drei Impulse werden über die Und-Schaltung AFX i und die Oder-Schaltung OFX an den Eingang IPX des Motorsteuerverstärkers AMX angelegt, was zur lolge hat. daß der Schrittmotor MX im Verlauf des Zeitintervalls U — t*, des ersten Halbzyklus drei Schritte in der positiven X-Richtung ausführt. Dies entspricht genau der gewünschten Justierung, so daß sich das zu der Abgabestelle B überführte Halbleiterplättchcn in der gewünschten justierten Lage für das Aufsetzen auf den Leiterrahmen befindet.

Im anschließenden zweiten Halbzyklus gibt der Ausgang SRder Hauptsteuei anordnung MCD/wischen den Zeitpunkten f₈ und h ein Signal ab. das die Und-Schaltungen ARXX und AFX2 freigibt, während

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gleicher Weise angeschlossen; sie sind mit den gleichen Bezugszeichen wie die entsprechenden Bestandteile der Steuerschaltung XCON bezeichnet, wobei lediglich jeweils der Buchstabe X durch den Buchstaben >' ersetzt ist.

Zur Erläuterung der Wirkungsweise der Schaltung von F i g. 5 soll zunächst angenommen werden, daß eine Bedienungsperson visuell festgestellt hat. daß eine Justierung der Lage jedes Halbleiterplättchens beim Aufsetzen auf den Leiterrahmen um drei Schritte in der positiven X-Richtung erforderlich ist, während in der V-Richtung keine Justierung notwendig ist. Die Bedienungsperson betätigt daher die Tasten X 3 und XP auf der Tastatur, nachdem sie eine etwa zuvor gespeicherte Information durch Betätigung der Tasten Ci-A" und CLVgelöscht hat Infolge der Betätigung der Taste XPführt die Leitung i-XPein Signal, durch das die vier Und-Schaltungen APXX bis APX4 in der Steuerschaltung XCON freigegeben werden, während die Und-Schaltungen ANX \ bis ANX4 gesperrt bleiben, weil die Leitung LXN kein Signal führt. Infolge der Betätigung der Taste X 3 führen die drei Leitungen LXX, LX2, LX3 ein Signal, doch können diese Signale nur über die Und-Schaltungen APXX, APX2. APX3 UIIU /ΛΙ\/\ .

bleiben, da der Ausgang SFim zweiten HalbzykU - kein Signal liefert. Das Ausgangssignal am Ausgang SR löst über die Oder-Schaltung ORA wieder den Adressenimpulsgenerator APG aus. dessen vier Adressenimpulse wiederum nur für den Decodierer PSPX wirksam sind, der somit in gleicher Weise wie im ersten Halbzyklus drei Impulse liefert. Diese drei Impulse werden aber nunmehr über die Und-Schaltung ARXX und die Oder-Schaltung ORX an den Eingang INX des Motorsteuerverstärkers AMX angelegt, so daß der Schrittmotor MX drei Schritte in der negativen X-Richtung ausführt. Dadurch wird die im ersten Halbzyklus bewirkte Verstellung in der X-Richtung genau aufgehoben, und am Ende des zweiten Halbzyklus befindet sich somit der Kopf wieder genau in der ursprünglichen Stellung, in welcher sich die Mündung des Kapillarrohrs 53 am Bezugspunkt der Erfassungsstelle A befindet.

Der gleiche Vorgang wiederholt sich bei allen folgenden Arbeitszyklen, so daß alle Halbleiterplättchen mit einer Versetzung um drei Schritte in der positiven X-Richtung auf ihre Leiterrahmen aufgesetzt werden, bis die Bedienungsperson die Notwendigkeit einer erneuten Justierung erkennt und entsprechend geänder-

te Werte an der Tastatur Kß einstellt.

Wenn dagegen die Bedienungsperson feststellt, daß eine Justierung in der negativen X- Richtung erforderlich ist, beispielsweise um zwei Schritte, drückt sie (nach Löschen der vorhergehenden Eingabe) die Tasten XN und X 2, so daß nunmehr die Leitungen LXN. LX1 und LX2 Signale führen. Nunmehr sind nur die Und-Schaltungen ANX \ bis ANXΛ freigegeben, und es werden nur an die Eingänge D1 und D 2 des Decodierer^ PSPX Signale angelegt. Es wiederholen sich die zuvor beschriebenen Vorgänge, mit dem Unterschied, daß nunmehr die vier vom Adressenimpulsgenerator APG abgegebenen Adressenimpulse nur für den Decodierer PSPX wirksam sind, so daß dieser in jedem Haibzyklus am Ausgang W zwei Impulse liefert. Die zwischen den Zeitpunkten U und r, des ersten Halbzyklus gelieferten Impulse werden über die Und-Schaltung ARX 2 und die Oder-Schaltung ORXzum Eingang INXdes Motorsteuerverstärkers AAiX übertragen, so daß der Schrittmotor MX zwei Schritte in der negativen X-Richtung ausführt Dies entspricht der gewünschten Justierung der Lage des Halbleiterplättchens beim Aufsetzen auf den Leiterrahmen.

Im zweiten Halbzyklus gehen die beiden am Ausgang Wdes Decodierer* PSPX abgegebenen Impulse durch die Und-Schaltung A FX 2 und die Oder-Schaltung OFX zum Eingang IPX des Motorsteuerverstärkers AMX, so dnß der Schrittmotor MX zwei Verstellschritte in der positiven X-Richtung ausführt. Dadurch wird die im ersten Halbzyklus vorgenommene Verstellung wieder aufgehoben. Der Kopf befindet sich also am Ende des Arbeitszyklus wieder in der Ausgangsstellung, in der sich die Mündung des Kapillarrohrs 53 genau am Bezugspunkt der Erfassungsstelle A befindet.

Die gleichen Vorgänge laufen in der Steuerschaltung YCONab, wenn die Bedienungsperson die entsprechenden Tasten für eine Justierung in der positiven oder negativen V-Richtung betätigt

Schließlich können auch gleichzeitig Verstellungen in der positiven oder negativen X-Richtung und in der positiven oder negativen K-Richtung eingestellt werden. Die von den beiden Schrittmotoren MX und MY durchgeführten Verstellungen überlagern sich dann, und der Kopfträger mit dem Kopf wird in der Resultierenden dieser beiden Bewegungen verstellt. Es ist zu erkennen, daß auch in diesem Fall der Kopf am Ende des Arbeitszyklus stets wieder in seine ursprüngliche Ausgangsstellung zurückgebracht bt.

Die für die Ausführung der Verstellschritte durch die Schrittmotoren MX und/oder MY vorgesehenen Zeitintervalle sind in F i g. 4 durch schraffierte Bereiche angezeigt.

Die in F i g. 5 dargestellte Steuerschaltung ist nur ein stark vereinfachtes Ausführungsbeispiel zur Erläute· rung der Wirkungsweise. Insbesondere kann die Anzahl der Verstellschritte, welche die Schrittmotoren MX und MY in jedem Zyklus ausführen können, wesentlich

großer gewählt werden. Es ist dann auch nicht zweckmäßig, für jeden Verstellschritt eine eigene Taste auf der Tastatur vorzusehen; die Anzahl der Verstellschritte kann beispielsweise in einem Dezimalcode mit Hilfe einer Zehnertastatur eingegeben werden, wobei die Tastatur dann die entsprechenden Codeumsetzerund Speicherschaltungen enthält, um die eingegebenen Zahlenwerte in Signale umzusetzen, die von den entsprechend erweiterten Steuerschaitungen XCON und YCON verarbeitet werden können.

Schließlich ist es auch möglich, anstelle der beschriebenen digitalen Schaltungen für die Steuerunng der Schrittmotoren MX und MY zur Durchführung der Justierbewegungen eine programmgesteuerte Anordnung zu verwenden, weiche die erforderlichen Steuersignale zu den Eingängen der beiden Schrittmotore liefert.

Wie bereits erwähnt, kann die Verstellung des Kopf trägers 34 mittels des Kreuztisches 56 dazu benutzt werden, die Lage der Halbleiterplättchen 14 auf den Leiterrahmen 16 absichtlich zu verändern. Dadurch ist es mit der beschriebenen Vorrichtung auch möglich, zwei oder mehr Halbleiterplättchen auf dem gleichen Leiterrahmen zu befestigen, wie es bei manchen integrierten Schaltungen erforderlich ist Wenn beispielsweise unter Verwendung der Schaltungsanordnung von Fig.5 zwei Halbleiterplättchen auf einem Leiterrahmen angebracht werden sollen, werden Tastatursignale, welche die Verstellschritte der Schrittmotoren MX und MY angeben, mit denen die richtige Lage des einen bzw. des anderen Halbleiterplättchens auf dem Leiterrahmen erzielt wird, in geeigneter Weise zwischengespeichert Während der Überführung jedes Halbleiterplättchens werden die ihm zugeordneten Tastatursignale an die Eingänge der Steuerschaitungen XCON und YCON angelegt Dieser Wechsel kann von der Hauptsteueranordnung MCD gesteuert werden. Der Leiterrahmen bleibt während der Oberführung der beiden Halbleiterplättchen an der Abgabestelle £ stehen; ein Vorschub des Leiterrahmenstreifens erfolgt erst nach jedem zweiten Arbeitszyklus des Kopfes 33. Die beiden Halbleiterplättchen werden an zwei verschiedenen Stellen auf den Leiterrahmen aufgesetzt, aber an der gleichen Erfassungsstelle A erfaßt, an die sie nacheinander durch entsprechende Verstellung des Trägers 11 gebracht werden. Bei Verwendung einer programmgesteuerten Steueranordnung kann die gleiche Funktion durch eine entsprechende Programmierung erreicht werden.

Die beschriebene Vorrichtung ist nicht auf die Verwendung eines drehbar am Kopfträger gelagerten Kopfes beschränkt. Die gleiche Vorrichtung kann auch in Verbindung mit einem linear hin- und herbewegten Kopf verwendet werden, wobei dann der Kopfträger die normalerweise fest am Gestell angebrachte Schlittenführung ist, die nunmehr auf einem Kreuztisch anzubringen ist.

Hierzu 5 Blatt Zeichnungen

Claims (6)

Patentansprüche:

1. Vorrichtung zur Überführung von Gegenstanden von einer auf einem Gestell befindlichen Erfassungsstelle, an welche die Gegenstände der "> Reihe nach gebracht werden, zu einer im Abstand davon auf dem Gestell liegenden Abgabestelle, mit einem Kopf, der eine Erfassungsvorrichtung trägt und relativ zu einem auf dem Gestell angeordneten Kopfträger derart zwischen zwei Stellungen beweg- m lieh ist, daß sich die Erfassungsvorrichtung in der ersten Stellung an der Erfassungsstelle und in der zweiten Stellung an der Abgabestelle befindet, wobei die Erfassungsvorrichtung derart steuerbar ist, daß sie den an der Erfassungsstelle befindlichen Gegenstand erfassen und ihn an der Abgabestelle freigeben kann, mit steuerbaren Antriebsvorrichtungen für die Bewegung des Kopfes zwischen den beiden Stellungen und mit einer Hauptsteueranordnung für die Steuerung der Antriebsvorrichtungen und der Erfasaungsvorrichtung in einem Arbeitszyklus, in dessen erstem Halbzyklus die Erfassungsvorrichtung an der Erfassungsstelle zum Erfassen des Gegenstands betätigt wird und anschließend die Antriebsvorrichtungen 7um Bewegen des Kopfes von der ersten Stellung in die zweite Stellung betätigt werden und in dessen zweitem Halbzyklus die Erfassungsvorrichtung zum Freigeben des Gegenstandes an der Abgabestelle betätigt wird und anschließend die Antriebsvornchtungen zum Bewe- κι gen des Kopfes von der zweiten Stellung in die erste Stellung betätigi werden, dadurch gekennzeichnet, daß der Kopfträger (34) relativ zu dem Gestell (21) parallel zu der Ebene verstellbar ist, in der die Bewegung des Kopfus (33) erfolgt, und daß eine Steueranordnung vorgesehen ist, mit welcher dem Kopfträger (34) während des ersten Halbzyklus eine voreingestellte Verstellung relativ zu dem Gestell (21) erteilt werden kann und die dem Kopfträger (34) während des zweiten Halbzyklus die -»o entgegengesetzte Verstellung erteilt.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Kopfträger (34) auf einem Kreuztisch (56) relativ zu dem Gestell (21) in zwei zueinander senkrechten Achsrichtungen verstellbar -H montiert ist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß für die Verstellung des Kopfträgers (34) auf dem Kreuztisch (56) in jeder Achsrichtung ein Schrittmotor (MX. MY) vorgesehen ist, und daß die Steueranordnung für jede voreingestellle Verstellung in einer Achsrichtung im ersten Halbzyklus jedes Arbeitszyklus die Ausführung einer entsprechenden Anzahl von Schritten durch den zugeordneten Schrittmotor (MX, MY)\n einer Richtung und im zweiten Halbzyklus jedes Arbeitszyklus die Ausführung der gleichen Anzahl von Schritten in der entgegengesetzten Richtung auslöst.

4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Kopf w> (33) am Kopflräger (34) um eine vertikale Achse (Z) drehbar gelagert ist, und daß die Antriebsvorrichtungen (35,36 39) den Kopf (33) um einen vorgegebenen Winkel /wischen zwei Stellungen drehen, die der ersten Stellung bzw. der /weiten Stellung entspre- ·>'· chen.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4. dadurch gekennzeichnet, daß der Winkel 180° beträgt.

6. Vorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Steueranordnung die Verstellungen des Kopfträgers (34) in den beiden Halbzyklen in zeitlich festgelegter Beziehung zu den Drehbewegungen des Kopfes (33) steuert.