JPH0634477B2 - 部品マウント装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明はチツプ部品等の部品をパツケージ上へ移送し
てマウントする装置に関するものである。

半導体製品を製造するときチツプ部品をパツケージ上に
移送して固定する作業が行われている。この固定作業に
際してツールで保持したチツプ部品をツールをパツケー
ジに対して直角座標のＸＹ方向の位置に合せるためツー
ルもしくはパツケージ担持側を移動させると共にチツプ
部品を回動してパツケージに対して方向を合せる。この
ようなチツプ部品の回動はチツプ部品を保持するツール
を回動して行われている。

従来のこの種の部品マウント装置のチツプ部品を保持す
るツールを直接回動させる部分の機構としては、例えば
第５図に示すようなものがある。第５図はチツプマウン
ト装置の一部平面図である。図においてレバー７はアー
ム２３に枢着された原動軸８に固定されており、同軸に
固定されたピニオン２５に伝えられ、次に之れと噛み合
うセグメントギヤ２６を動かしセグメントギヤ２６が固
定されている従動軸１２を回転させる。従動軸１２はア
ーム端に枢着されており、先端にチツプ部品を保持する
ツールを備える。

しかしながら、このような従来の伝導機構にあつては、
歯車による伝導機構となつていたため、ピニオン２５と
セグメントギヤ２６の歯間に背隙があるためチツプ部品
とパツケージとの間に方向の誤差が生ずるという問題点
があつた。

この発明は、このような従来の問題点に着目してなされ
たもので、正確な運動伝達のできる部品マウント装置を
提供することを目的としている。

本発明はチップ部品をパッケージ上へ移送してマウント
する装置のツールを回動する従動軸と原動軸間に回転運
動の伝導機構を配したチップ部品とパッケージとの方向
の位置合せ機構であって、原動軸プーリとそれに対向す
る部分が曲面となったツールを回動する従動軸に固定し
たセグメントプーリ間に薄い鋼製もしくは伸縮の少ない
合成樹脂製等の伸縮の少ない可撓性ベルトをたすき掛け
に巻き掛けて連結し、且つ可撓性ベルトのテンション機
構を持ったことを特徴とする部品マウント装置である。

以下、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図は斜視図、第２図は側面図、第３図は第２図の平
面図である。

アーム２３の根本に枢着された軸２は一端が回動角を制
御できる回転駆動機例えばパルスモータ１に連結され、
軸２の中間にレバー３が固定されており、レバー３端及
びアーム２３に固定されたブラケツト２４に枢着された
原動軸８に固定されたレバー７端に夫々ピン４，６によ
り枢着されたリンク５を備え、該原動軸８には平プーリ
９が固定されている。

プーリ９とベルト１０を介して接触して回転するセグメ
ントプーリ１１がアーム２３端に枢着した従動軸１２に
固定されている。セグメントプーリ１１は先端が従動軸
１２の軸心を中心とする円弧面である。ただしプーリ９
とセグメントプーリ１１の対向面は非等速の運動伝達を
行うようにする場合、円以外の他の曲面となる。

プーリ９とセグメントプーリ１１の間にはたすき掛けに
薄い鋼製もしくは伸縮の少ない合成樹脂製等の伸縮の少
ないベルト１０が巻き掛けられ、ベルト１０の一端はセ
グメントプーリ１１の回動方向の一側にベルト止め金具
１３を介してボルト１４をベルト１０端の穴を挿通して
ねじ込むことにより固定されている。ベルト１０の他端
はセグメントプーリ１１の回動方向の一側に設けた凹部
１５をわたるように張設せられてベルト止めねじ１６に
より固定されており、第４図のベルト１０の斜視図に示
すようにセグメントプーリ１１の凹部１５に張設した部
分に長孔１７を設け、該長孔１７を挿通するテンシヨン
ボルト１８をセグメントプーリ１１の穴を挿通させてテ
ンシヨンボルト用締付ナツト１９を該テンシヨンボルト
１８にねじ込んである。

ベルト１０が交叉する部分はベルト１０の一方に長孔２
０をあけ、ベルト１０の他方を該長孔２０の幅よりもせ
まく加工して該長孔２０を挿通している。又ベルト１０
がプーリ９に接触している部分に孔２１を設け、孔２１
を挿通する小ねじ２２をプーリ９にねじ込んである。ツ
ール２７は従動軸１２に固定されている。

テンシヨンボルト用締付ナツト１９をねじ込むとテンシ
ヨンボルト１８は引寄せられ、ベルト１０がセグメント
プーリ１１の凹部１５に向つて引込むのでベルト１０に
張力が与えられる。

パルスモータ１が附勢されると軸２はパルス数に応じた
角度だけ回動し、レバー３は軸２と同一角度回動し、ピ
ン４、リンク５、ピン６を介してレバー７はレバー３と
同方向に回動し、プーリ９を回動させる。プーリ９の回
動はベルト１０により減速してセグメントプーリ１１に
伝わり、セグメントプーリ１１を所定角度だけ回動して
従動軸１２、ツール２７を同角度だけ回転させる。

以上のように本発明はツールと連結した従動軸にセグメ
ントプーリを固定し、該従動軸と平行な原動軸にプーリ
を固定しプーリとセグメントプーリ間にたすき掛けに伸
縮の少ない可撓性ベルトを巻掛けたから、プーリを回動
することによりツールはプーリの回動に従つて正確に回
転する。セグメントプーリの回動方向の側面に凹部を設
け、該凹部両側のセグメントプーリ部材間に前述のベル
トを張設して、該ベルトを該凹部に向つて引寄せる部材
を設けたからベルトに張力を与えるのが容易である。

従つて、ベルトに弛みがなく且つ原動軸プーリと従動側
セグメントプーリがベルトを介して接触を保ちつゝ曲面
を転動するので遊びがなく正確にその動きを伝え得るこ
とが出来るとともに原動軸プーリが回動後静止した後は
ツールはその位置を保ち、誤差を生ずることがない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の斜視図、第２図は第１図の側
面図、第３図は第２図の平面図、第４図はベルト及びベ
ルトの張力装置の斜視図、第５図は従来例の平面図であ
る。 １……パルスモータ、２……軸、３……レバー、４……
ピン、５……リンク、６……ピン、７……レバー、８…
…原動軸、９……プーリ、１０……ベルト、１１……セ
グメントプーリ、１２……従動軸、１３……ベルト止め
金具、１４……ボルト、１５……凹部、１６……ベルト
止めねじ、１７……長孔、１８……テンシヨンボルト、
１９……締付ナツト、２０……長孔、２１……孔、２２
……小ねじ、２３……アーム、２４……ブラケツト、２
５……ピニオン、２６……セグメントギヤ、２７……ツ
ール。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】チップ部品をパッケージ上へ移送してマウ
   ントする装置のツールを回動する従動軸と原動軸間に回
   転運動の伝導機構を配したチップ部品とパッケージとの
   方向の位置合せ機構であって、原動軸プーリとそれに対
   向する部分が曲面となったツールを回動する従動軸に固
   定したセグメントプーリ間に薄い鋼製もしくは伸縮の少
   ない合成樹脂製等の伸縮の少ない可撓性ベルトをたすき
   掛けに巻き掛けて連結し、且つ可撓性ベルトのテンショ
   ン機構を持ったことを特徴とする部品マウント装置。