JP2019534529A - 強誘電体メモリを含み、強誘電体メモリを動作するための装置及び方法 - Google Patents
強誘電体メモリを含み、強誘電体メモリを動作するための装置及び方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019534529A JP2019534529A JP2019511354A JP2019511354A JP2019534529A JP 2019534529 A JP2019534529 A JP 2019534529A JP 2019511354 A JP2019511354 A JP 2019511354A JP 2019511354 A JP2019511354 A JP 2019511354A JP 2019534529 A JP2019534529 A JP 2019534529A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- digit line
- sense
- coupled
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/21—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
- G11C11/22—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using ferroelectric elements
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/21—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
- G11C11/22—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using ferroelectric elements
- G11C11/225—Auxiliary circuits
- G11C11/2253—Address circuits or decoders
- G11C11/2257—Word-line or row circuits
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/21—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
- G11C11/22—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using ferroelectric elements
- G11C11/221—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using ferroelectric elements using ferroelectric capacitors
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/21—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
- G11C11/22—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using ferroelectric elements
- G11C11/225—Auxiliary circuits
- G11C11/2259—Cell access
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/21—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
- G11C11/22—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using ferroelectric elements
- G11C11/225—Auxiliary circuits
- G11C11/2273—Reading or sensing circuits or methods
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/21—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
- G11C11/22—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using ferroelectric elements
- G11C11/225—Auxiliary circuits
- G11C11/2293—Timing circuits or methods
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C7/00—Arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
- G11C7/06—Sense amplifiers; Associated circuits, e.g. timing or triggering circuits
- G11C7/065—Differential amplifiers of latching type
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B53/00—Ferroelectric RAM [FeRAM] devices comprising ferroelectric memory capacitors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B53/00—Ferroelectric RAM [FeRAM] devices comprising ferroelectric memory capacitors
- H10B53/20—Ferroelectric RAM [FeRAM] devices comprising ferroelectric memory capacitors characterised by the three-dimensional arrangements, e.g. with cells on different height levels
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/21—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
- G11C11/22—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using ferroelectric elements
- G11C11/225—Auxiliary circuits
- G11C11/2275—Writing or programming circuits or methods
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C2207/00—Indexing scheme relating to arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
- G11C2207/002—Isolation gates, i.e. gates coupling bit lines to the sense amplifier
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B53/00—Ferroelectric RAM [FeRAM] devices comprising ferroelectric memory capacitors
- H10B53/40—Ferroelectric RAM [FeRAM] devices comprising ferroelectric memory capacitors characterised by the peripheral circuit region
Abstract
Description
本願は、2016年8月31日出願の米国仮特許出願番号62/381,879の出願の利益を主張する。この出願は、その全体が全ての目的で参照により本明細書に組み込まれる。
することとを含む。メモリコンデンサの第2のプレートにおける電圧に変化を生じさせるために、メモリコンデンサの第1のプレートに読み出し電圧が提供される。メモリコンデンサの第2のプレートにおける電圧とリファレンス電圧との間で電圧差がセンシングされ、該電圧差は、増幅された電圧差を提供するために増幅される。増幅された電圧差は、第1のデジット線及び第2のデジット線を経由して、メモリコンデンサの第1のプレート及び第2のプレートに夫々印加される。メモリコンデンサの第1のプレートは第1のデジット線から分断され、メモリコンデンサの第2のプレートは第2のデジット線から分断される。
めのコンデンサを含み得る。例えば、充電及び非充電のコンデンサは2つの論理状態を夫々表し得る。
信号中の差を検出及び増幅するために、様々なトランジスタ又はアンプを含み得る。デジット線BL−CT及びBL−CBの対毎に、別個のセンスコンポーネント125が提供され得る。メモリセル105の検出された論理状態は、出力135として、列デコーダ130を通じてその後出力され得る。
することなく反転され得る。メモリセル105は、選択コンポーネント220及び224を更に含む。選択コンポーネント220及び224は、トランジスタ、例えば、n型電界効果トランジスタであり得る。こうした例では、メモリセル105の各々は、2つのトランジスタと1つのコンデンサとを含む。
選択コンポーネント220がデジット線BL−CTとセル上部230との間に結合され、選択コンポーネント224がデジット線BL−CBとセル底部215との間に結合されるように、選択コンポーネント220及び224の位置は切り替えられ得る。
メモリセルの第1の列のデジット線BL−CT(セル底部の反対側にあるセル上部に、選択コンポーネントを通じて結合されたデジット線)は、メモリセルの第2の列のデジット線BL−CTが駆動される電圧とは無関係な電圧に駆動され得る。
合に非ゼロの電気分極を維持する。例示的強誘電体材料は、チタン酸バリウム(BaTiO3)、チタン酸鉛(PbTiO3)、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、及びタンタル酸ストロンチウムビスマス(SBT)を含む。本明細書に記述される強誘電体コンデンサは、これら又はその他の強誘電体材料を含み得る。強誘電体コンデンサ内の電気分極は、強誘電体材料の表面に正味電荷をもたらし、コンデンサ端子を通じて反対の電荷を引き付ける。したがって、強誘電体材料とコンデンサ端子との境界に電荷が蓄積される。電気分極は、比較的長時間、無期限にさえ、外部に印加された電界がない場合にも維持され得るので、電荷漏洩は、例えば、揮発性メモリアレイに用いられるコンデンサと比較して著しく減少し得る。このことは、幾つかの揮発性メモリアーキテクチャに対して上述したようなリフレッシュ動作を実施する必要性を減らし得る。
及び224を夫々活性化するために、ワード線WL−CB及びWL−CTが活性化される。結果として、デジット線BL−CBはセル底部215に結合され、デジット線BL−CTはコンデンサ205のセル上部230に結合される。時刻T1において、デジット線BL−CTを経由して、選択コンポーネント224を通じてセル上部230に電圧VREADを提供するために、ドライバ回路237が活性化される。電圧VREADは、セル底部215において電圧変化を生じさせるために、セル上部230からコンデンサ205を通じて結合され、電圧に変化を生じさせる。図4Aの論理1に対する例示的読み出し動作とは対照的に、論理0に対応する図4Bの現在の例の電荷状態の結果として、電圧VREADに起因するセル底部215における電圧は、リファレンス信号VBLREFのVREF電圧よりも小さい。セル底部215の電圧は、選択コンポーネント220を通じて、デジット線BL−CBを経由して、絶縁スイッチ231を通じてセンスコンポーネント125のセンスノードAに結合される。図4Aの例示的読み出し動作と同様に、幾つかの実施形態では、信号のタイミングは、図4Bに具体的に示したものとは異なってもよい。
ートを第2のデジット線に結合することとを含む。例えば、セル上部230をデジット線BL−CTに結合することと、セル底部215をデジット線BL−CBに結合すること。セル底部215及びセル上部230をデジット線BL−CB及びBL−CTに夫々結合するために、選択コンポーネント220及び224が使用され得る。セル底部215のデジット線BL−CBへの結合、及びセル上部230のデジット線BL−CTへの結合は、幾つかの実施形態では同時であり得る。他の実施形態では、セル底部215のデジット線BL−CBへの結合、及びセル上部230のデジット線BL−CTへの結合は、同時でなくてもよい。
れるであろう。図7の例示的書き込み動作では、論理“0”を現在蓄積するメモリセル105に論理“1”が書き込まれる。
−CTの上方にあるように逆にされる。こうした他の実施形態では、説明されるコンデンサ205は、図8の示された構造に対して反転され、それに応じて、容器形状のセル上部230は、下方の代わりに上方に開放するであろう。
の値を有する電圧を有し得る。論理状態を判定すると、センスコンポーネント125は、該出力をラッチし得、ここで、該出力は、メモリアレイ100が一部である電子デバイスの動作に従って使用され得る。
をも管理し得る。幾つかの場合、入出力制御コンポーネント1025は、外部周辺装置への物理的接続又はポートを表し得る。
A)及び300−b(図3B)を有する非線形電気特性の例を説明する。ヒステリシス曲線300−a及び300−bは、例示的強誘電体メモリセルの書き込み及び読み出しのプロセスを夫々説明する。ヒステリシス曲線300は、電圧差Vの関数として、強誘電体コンデンサ(例えば、図2Aのコンデンサ205)上に蓄積された電荷Qを図示する。
活性化される。センスノードAの電圧(VREAD電圧に応答したセル底部215の電圧)をセンスノードBの電圧(リファレンス信号VBLREFのVREF電圧でのセル上部230の電圧)と比較するために、時刻T3においてセンスコンポーネント125が活性化される。センスノードAの電圧がセンスノードBのリファレンス信号VBLREFの電圧よりも小さいことに起因して、センスコンポーネント125は、センスノードAをグランドに駆動し、センスノードBをVREAD電圧に駆動する。センスノードAのグランド電圧は、メモリセル105から読み出された論理0の状態を表す。図4Bに示されないが、メモリセル105の検出された論理状態は、出力135(図1)として列デコーダ130を通じてその後出力され得る。センスノードAをデジット線BL−CBに結合するために、絶縁スイッチ231は、時刻T4においてISO信号により活性化される。
Claims (31)
- 第1のプレート、第2のプレート、及び強誘電性誘電材料を有するコンデンサと、
第1のデジット線と、
前記第1のプレートを前記第1のデジット線に結合するように構成された第1の選択コンポーネントと、
第2のデジット線と、
前記第2のプレートを前記第2のデジット線に結合するように構成された第2の選択コンポーネントと
を含む、装置。 - 前記第1の選択コンポーネントは、第1のワード線に結合され、前記第1のワード線の活性化に応答して活性化されるように構成され、前記第2の選択コンポーネントは、第2のワード線に結合され、前記第2のワード線の活性化に応答して活性化されるように構成される、請求項1に記載の装置。
- 前記第1の選択コンポーネントは、前記第1のデジット線と前記コンデンサの前記第1のプレートとの間に結合され、前記第2の選択コンポーネントは、前記第2のデジット線と前記コンデンサの前記第2のプレートとの間に結合される、請求項1に記載の装置。
- 前記第1の選択コンポーネント、前記第2の選択コンポーネント、及び前記コンデンサは、垂直方向に積み重ねられる、請求項1に記載の装置。
- 第1の選択コンポーネント及び第2の選択コンポーネントを含む強誘電体メモリセルと、
前記第1の選択コンポーネント及び前記第2の選択コンポーネントに夫々結合された第1のデジット線及び第2のデジット線と、
前記第1の選択コンポーネントのゲートに結合された第1のアクセス線と、
前記第2の選択コンポーネントのゲートに結合された第2のアクセス線と、
第1のセンスノード及び第2のセンスノードを含むセンスコンポーネントであって、前記第1のセンスノードと前記第2のセンスノードとの間の電圧差をセンシングし、前記電圧差を増幅し、前記電圧差をラッチするように構成された前記センスコンポーネントと、
前記第1のデジット線及び前記第1のセンスノードに結合された第1のスイッチであって、前記第1のデジット線を前記第1のセンスノードに選択的に結合するように構成された前記第1のスイッチと、
前記第2のデジット線及び前記第2のセンスノードに結合された第2のスイッチであって、前記第2のデジット線を前記第2のセンスノードに選択的に結合するように構成された前記第2のスイッチと
を含む、装置。 - 前記第1のデジット線に読み出し電圧を提供するように構成されたドライバ回路を更に含む、請求項5に記載の装置。
- 前記センスコンポーネントは、
ゲートを有する第1のp型電界効果トランジスタと、
前記第1のp型電界効果トランジスタの前記ゲートに結合されたゲートを有する第1のn型電界効果トランジスタと、
ゲートを有する第2のp型電界効果トランジスタと、
前記第2のp型電界効果トランジスタの前記ゲートに結合されたゲートを有する第2のn型電界効果トランジスタと、
前記第1のp型電界効果トランジスタ及び前記第1のn型電界効果トランジスタのドレインに結合され、前記第2のp型電界効果トランジスタ及び前記第2のn型電界効果トランジスタの前記ゲートに更に結合された第1のセンスノードと、
前記第2のp型電界効果トランジスタ及び前記第2のn型電界効果トランジスタのドレインに結合され、前記第1のp型電界効果トランジスタ及び前記第1のn型電界効果トランジスタの前記ゲートに更に結合された第2のセンスノードと
を含む、請求項5に記載の装置。 - 複数の前記強誘電体メモリセルの内の個別の強誘電体メモリセルの前記第1の選択コンポーネントに各々結合された複数の第1のアクセス線と、
前記複数の強誘電体メモリセルの内の個別の強誘電体メモリセルの前記第2の選択コンポーネントに各々結合された複数の第2のアクセス線と
を更に含む、請求項7に記載の装置。 - 前記強誘電体メモリセルは、
前記第1の選択コンポーネントに結合された第1のプレートと、
前記第2の選択コンポーネントに結合された第2のプレートと、
前記第1のプレートと前記第2のプレートとの間に配置された強誘電体材料と
を含む、請求項5に記載の装置。 - 前記第1のセンスノードに結合され、前記第1のセンスノードにリファレンス電圧を提供するように構成されたリファレンススイッチを更に含む、請求項5に記載の装置。
- 前記第1のデジット線及び前記第2のデジット線に結合された複数の強誘電体メモリセルであって、前記複数の強誘電体メモリセルの内の各強誘電体メモリセルは個別の第1の選択コンポーネント及び第2の選択コンポーネントを含む、前記複数の強誘電体メモリセル
を更に含む、請求項5に記載の装置。 - 前記第1のデジット線及び前記第2のデジット線は、相互に対して垂直方向にずらされ、強誘電体コンデンサは、垂直方向に前記第1の選択コンポーネントと前記第2の選択コンポーネントとの間にある、請求項5に記載の装置。
- 行及び列中に配置された複数のメモリセルであって、各メモリセルが第1の選択コンポーネント及び第2の選択コンポーネントを含み、前記第1の選択コンポーネントと前記第2の選択コンポーネントとの間に結合された強誘電体コンデンサを更に含む、前記複数のメモリセルと、
ワード線の複数の対であって、前記複数の内のワード線の各対は複数のメモリセルの個別の行に結合される、前記ワード線の複数の対と、
デジット線の複数の対であって、前記複数の内のデジット線の各対は複数のメモリセルの個別の列に結合される、前記デジット線の複数の対と
ワード線の前記複数の対に結合され、行アドレスに基づいてワード線の対を活性化するように構成された行デコーダと、
デジット線の前記複数の対に結合され、列アドレスに基づいてデジット線の対を活性化するように構成された列デコーダと、
デジット線の前記複数の対に結合され、複数のメモリセルの活性化された行の前記複数のメモリセルの蓄積状態を判定するように構成されたセンスコンポーネントと
を含む、装置。 - デジット線の前記複数の対の各々は、複数のメモリセルの前記個別の列の前記複数のメ
モリセルの前記第1の選択コンポーネントに結合された第1のデジット線を含み、複数のメモリセルの前記個別の列の前記複数のメモリセルの前記第2の選択コンポーネントに結合された第2のデジット線を更に含む、請求項13に記載の装置。 - 前記センスコンポーネントは、前記複数のデジット線の内のデジット線の前記各対に結合された個別のセンスコンポーネントを含む、請求項14に記載の装置。
- 各センスコンポーネントは、前記センスコンポーネントが結合されるデジット線の前記対の前記第2のデジット線を電圧に駆動し、前記センスコンポーネントは、前記センスコンポーネントが結合されるデジット線の前記対の前記第1のデジット線を、前記第1のデジットの電圧を相補する電圧に駆動するように更に構成される、請求項15に記載の装置。
- 前記複数の内のワード線の各対は、複数のメモリセルの前記個別の行の前記第1の選択コンポーネントのゲートに結合された第1のワード線を含み、複数のメモリセルの前記個別の行の前記第2の選択コンポーネントのゲートに結合された第2のワード線を更に含み、複数のメモリセルの前記個別の行の前記第1の選択コンポーネントは前記第1のワード線により活性化され、複数のメモリセルの前記個別の行の前記第2の選択コンポーネントは前記第2のワード線により活性化される、請求項14に記載の装置。
- 前記第1の選択コンポーネント、前記第2の選択コンポーネント、及び前記強誘電体コンデンサは垂直方向に積み重ねられ、前記強誘電体コンデンサは、垂直方向に前記第1の選択コンポーネントと前記第2の選択コンポーネントとの間にある、請求項13に記載の装置。
- メモリコンデンサの第1のプレートを第1のデジット線に結合することと、
前記メモリコンデンサの第2のプレートを第2のデジット線に結合することと、
前記メモリコンデンサの前記第2のプレートにおける電圧に変化を生じさせるために、前記メモリコンデンサの前記第1のプレートに読み出し電圧を提供することと、
前記メモリコンデンサの前記第2のプレートにおける電圧とリファレンス電圧との間の電圧差をセンシングすることと、
増幅された電圧差を提供するために、前記電圧差を増幅することと、
増幅された前記電圧差を前記第1のデジット線及び前記第2のデジット線を経由して前記メモリコンデンサの前記第1のプレート及び前記第2のプレートに夫々印加することと、
前記メモリコンデンサの前記第1のプレートを前記第1のデジット線から分断することと、
前記メモリコンデンサの前記第2のプレートを前記第2のデジット線から分断することと
を含む、方法。 - 前記メモリコンデンサの前記第1のプレートを前記第1のデジット線に結合すること、及び前記第2のデジット線の前記第2のプレートを結合することは、第1の選択コンポーネントを活性化すること、及び第2の選択コンポーネントを活性化することを夫々含む、請求項19に記載の方法。
- 前記メモリコンデンサの前記第1のプレートを前記第1のデジット線に結合すること、及び前記第2のデジット線の前記第2のプレートを結合することは同時である、請求項19に記載の方法。
- 増幅された前記電圧差を提供するために、前記電圧差を増幅することは、
前記メモリコンデンサの前記第2のプレートの前記電圧が前記リファレンス電圧よりも大きいことに応答して、センスコンポーネントの第1のセンスノードをグランドに駆動し、前記センスコンポーネントの第2のセンスノードを供給電圧に駆動することと、
前記メモリコンデンサの前記第2のプレートの前記電圧が前記リファレンス電圧よりも小さいことに応答して、前記センスコンポーネントの前記第1のセンスノードを前記供給電圧に駆動し、前記センスコンポーネントの前記第2のセンスノードをグランドに駆動することと
を含む、請求項19に記載の方法。 - 前記メモリコンデンサは強誘電体メモリコンデンサを含む、請求項19に記載の方法。
- 前記第2のプレートに結合され、前記リファレンス電圧を提供されるセンスコンポーネントを活性化することを更に含む、請求項19に記載の方法。
- 強誘電体メモリセルの第2のプレートにおける電圧変化であって、前記強誘電体メモリセルの前記第2のプレートに結合された第2のデジット線を経由してセンスアンプの第2のセンスノードに提供される、前記強誘電体メモリセルの前記第2のプレートにおける前記電圧変化を生じさせるために、前記強誘電体メモリセルの第1のプレートに結合された第1のデジット線上に読み出し電圧を駆動することと、
センスアンプの第1のセンスノードにリファレンス電圧を提供することと、
前記センスアンプの前記第2のセンスノードにおける電圧を前記第1のセンスノードの前記電圧と比較することと、
前記比較に基づいて、前記第1のセンスノード及び前記第2のセンスノードを相補電圧レベルに駆動することと、
前記第1のデジット線及び前記第2のデジット線を経由して前記強誘電体メモリセルの前記第1のプレート及び前記第2のプレートに前記相補電圧レベルを夫々提供するために、前記第1のセンスノードを前記第1のデジット線に結合することと、
前記第1のプレート及び前記第2のプレートを前記第1のデジット線及び前記第2のデジット線から夫々絶縁することと
を含む、方法。 - 前記第1のセンスノード及び前記第2のセンスノードを反対の相補電圧レベルに駆動すること
を更に含み、
前記反対の相補電圧レベルは、前記強誘電体メモリセルの極性を変化させるために前記第1のプレート及び前記第2のプレートに結合される、
請求項25に記載の方法。 - 前記センスアンプの前記第2のセンスノードにおける前記電圧を前記第1のセンスノードの前記電圧と比較する前に、前記第2のノードを前記第2のデジット線から分断することを更に含む、請求項25に記載の方法。
- 前記比較に基づいて前記第1のセンスノード及び前記第2のセンスノードを相補電圧レベルに駆動した後に、前記第2のノードを前記第2のデジット線に結合することを更に含む、請求項27に記載の方法。
- 前記第1のデジット線及び前記第2のデジット線を経由して前記強誘電体メモリセルの前記第1のプレート及び前記第2のプレートに前記相補電圧レベルを夫々提供するために、前記第1のセンスノードを前記第1のデジット線に結合することと、前記第1のプレー
ト及び前記第2のプレートを前記第1のデジット線及び前記第2のデジット線から夫々絶縁することと、前記強誘電体メモリセル上にデータを復元する、請求項25に記載の方法。 - 前記第1のプレート及び前記第2のプレートを前記第1のデジット線及び前記第2のデジット線から絶縁する前に、前記第1のセンスノード及び前記第2のセンスノードを同じ電圧に駆動することを更に含む、請求項25に記載の方法。
- 前記相補電圧レベルは、供給電圧及びグランドを含む、請求項25に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201662381879P | 2016-08-31 | 2016-08-31 | |
US62/381,879 | 2016-08-31 | ||
PCT/US2017/045175 WO2018044486A1 (en) | 2016-08-31 | 2017-08-02 | Apparatuses and methods including ferroelectric memory and for operating ferroelectric memory |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019534529A true JP2019534529A (ja) | 2019-11-28 |
JP6777369B2 JP6777369B2 (ja) | 2020-10-28 |
Family
ID=61243293
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019511354A Active JP6777369B2 (ja) | 2016-08-31 | 2017-08-02 | 強誘電体メモリを含み、強誘電体メモリを動作するための装置及び方法 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (5) | US10074414B2 (ja) |
EP (1) | EP3507805A4 (ja) |
JP (1) | JP6777369B2 (ja) |
KR (1) | KR102233267B1 (ja) |
CN (1) | CN109643570B (ja) |
SG (1) | SG11201901168UA (ja) |
TW (1) | TWI650751B (ja) |
WO (1) | WO2018044486A1 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102314663B1 (ko) | 2016-08-31 | 2021-10-21 | 마이크론 테크놀로지, 인크. | 2 트랜지스터-1 커패시터 메모리를 포함하고 이를 액세스하기 위한 장치 및 방법 |
KR102227270B1 (ko) | 2016-08-31 | 2021-03-15 | 마이크론 테크놀로지, 인크. | 강유전 메모리 셀 |
EP3507806B1 (en) | 2016-08-31 | 2022-01-19 | Micron Technology, Inc. | Apparatuses and methods including ferroelectric memory and for accessing ferroelectric memory |
JP6777369B2 (ja) | 2016-08-31 | 2020-10-28 | マイクロン テクノロジー,インク. | 強誘電体メモリを含み、強誘電体メモリを動作するための装置及び方法 |
KR20180076842A (ko) | 2016-12-28 | 2018-07-06 | 삼성전자주식회사 | 오프셋 제거 기능을 갖는 감지 증폭기 |
US10867675B2 (en) | 2017-07-13 | 2020-12-15 | Micron Technology, Inc. | Apparatuses and methods for memory including ferroelectric memory cells and dielectric memory cells |
US10529410B2 (en) | 2017-12-18 | 2020-01-07 | Micron Technology, Inc. | Techniques for accessing an array of memory cells to reduce parasitic coupling |
US10762944B2 (en) | 2017-12-18 | 2020-09-01 | Micron Technology, Inc. | Single plate configuration and memory array operation |
US10667621B2 (en) * | 2018-04-19 | 2020-06-02 | Micron Technology, Inc. | Multi-stage memory sensing |
US11127449B2 (en) * | 2018-04-25 | 2021-09-21 | Micron Technology, Inc. | Sensing a memory cell |
US11031059B2 (en) * | 2019-02-21 | 2021-06-08 | Sandisk Technologies Llc | Magnetic random-access memory with selector voltage compensation |
US11062763B2 (en) | 2019-04-09 | 2021-07-13 | Micron Technology, Inc. | Memory array with multiplexed digit lines |
US11017831B2 (en) | 2019-07-15 | 2021-05-25 | Micron Technology, Inc. | Ferroelectric memory cell access |
DE102020100777A1 (de) * | 2019-08-30 | 2021-03-04 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Analoge nichtflüchtige Speichervorrichtung unter Verwendung eines polyferroelektrischen Films mit zufälligen Polarisationsrichtungen |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06125066A (ja) * | 1992-10-12 | 1994-05-06 | Rohm Co Ltd | 強誘電体不揮発性メモリの使用方法 |
JP2002124081A (ja) * | 2000-10-17 | 2002-04-26 | Toshiba Corp | 強誘電体メモリ装置 |
Family Cites Families (141)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4103342A (en) | 1976-06-17 | 1978-07-25 | International Business Machines Corporation | Two-device memory cell with single floating capacitor |
US4873664A (en) * | 1987-02-12 | 1989-10-10 | Ramtron Corporation | Self restoring ferroelectric memory |
US4853893A (en) | 1987-07-02 | 1989-08-01 | Ramtron Corporation | Data storage device and method of using a ferroelectric capacitance divider |
US4888733A (en) | 1988-09-12 | 1989-12-19 | Ramtron Corporation | Non-volatile memory cell and sensing method |
DE4118847A1 (de) | 1990-06-08 | 1991-12-12 | Toshiba Kawasaki Kk | Halbleiterspeicheranordnung mit ferroelektrischem kondensator |
JP3169599B2 (ja) | 1990-08-03 | 2001-05-28 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置、その駆動方法、その読み出し方法 |
US5241503A (en) * | 1991-02-25 | 1993-08-31 | Motorola, Inc. | Dynamic random access memory with improved page-mode performance and method therefor having isolator between memory cells and sense amplifiers |
JPH0541502A (ja) | 1991-05-28 | 1993-02-19 | Sharp Corp | 半導体記憶装置 |
US5218566A (en) | 1991-08-15 | 1993-06-08 | National Semiconductor Corporation | Dynamic adjusting reference voltage for ferroelectric circuits |
US5350705A (en) | 1992-08-25 | 1994-09-27 | National Semiconductor Corporation | Ferroelectric memory cell arrangement having a split capacitor plate structure |
US5309391A (en) | 1992-10-02 | 1994-05-03 | National Semiconductor Corporation | Symmetrical polarization enhancement in a ferroelectric memory cell |
KR970000870B1 (ko) * | 1992-12-02 | 1997-01-20 | 마쯔시다덴기산교 가부시기가이샤 | 반도체메모리장치 |
US5539279A (en) | 1993-06-23 | 1996-07-23 | Hitachi, Ltd. | Ferroelectric memory |
US5381364A (en) | 1993-06-24 | 1995-01-10 | Ramtron International Corporation | Ferroelectric-based RAM sensing scheme including bit-line capacitance isolation |
US5373463A (en) | 1993-07-06 | 1994-12-13 | Motorola Inc. | Ferroelectric nonvolatile random access memory having drive line segments |
US5424975A (en) | 1993-12-30 | 1995-06-13 | Micron Technology, Inc. | Reference circuit for a non-volatile ferroelectric memory |
JP3745392B2 (ja) | 1994-05-26 | 2006-02-15 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体装置 |
JP3591790B2 (ja) | 1994-08-29 | 2004-11-24 | 東芝マイクロエレクトロニクス株式会社 | 強誘電体メモリおよびこれを用いたカードおよびカードシステム |
US5798964A (en) | 1994-08-29 | 1998-08-25 | Toshiba Corporation | FRAM, FRAM card, and card system using the same |
JP3590115B2 (ja) | 1994-12-20 | 2004-11-17 | 株式会社日立製作所 | 半導体メモリ |
JP3186485B2 (ja) | 1995-01-04 | 2001-07-11 | 日本電気株式会社 | 強誘電体メモリ装置およびその動作制御方法 |
DE69627724T2 (de) * | 1995-08-02 | 2003-10-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ferroelektrischer Speicher mit Rücksetzschaltung |
US5598366A (en) | 1995-08-16 | 1997-01-28 | Ramtron International Corporation | Ferroelectric nonvolatile random access memory utilizing self-bootstrapping plate line segment drivers |
JPH09288891A (ja) | 1996-04-19 | 1997-11-04 | Matsushita Electron Corp | 半導体メモリ装置 |
US5912846A (en) | 1997-02-28 | 1999-06-15 | Ramtron International Corporation | Serial ferroelectric random access memory architecture to equalize column accesses and improve data retention reliability by mitigating imprint effects |
JPH10270654A (ja) | 1997-03-27 | 1998-10-09 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置 |
US5915167A (en) | 1997-04-04 | 1999-06-22 | Elm Technology Corporation | Three dimensional structure memory |
JPH10320981A (ja) | 1997-05-19 | 1998-12-04 | Rohm Co Ltd | 強誘電体メモリ |
KR100306823B1 (ko) * | 1997-06-02 | 2001-11-30 | 윤종용 | 강유전체메모리셀들을구비한불휘발성메모리장치 |
US5917746A (en) | 1997-08-27 | 1999-06-29 | Micron Technology, Inc. | Cell plate structure for a ferroelectric memory |
KR100268444B1 (ko) * | 1997-08-30 | 2000-10-16 | 윤종용 | 강유전체 랜덤 액세스 메모리 장치 |
KR100297874B1 (ko) | 1997-09-08 | 2001-10-24 | 윤종용 | 강유전체랜덤액세스메모리장치 |
US5959878A (en) | 1997-09-15 | 1999-09-28 | Celis Semiconductor Corporation | Ferroelectric memory cell with shunted ferroelectric capacitor and method of making same |
JPH11110976A (ja) * | 1997-10-02 | 1999-04-23 | Mitsubishi Electric Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
US6028783A (en) | 1997-11-14 | 2000-02-22 | Ramtron International Corporation | Memory cell configuration for a 1T/1C ferroelectric memory |
US6072711A (en) | 1997-12-12 | 2000-06-06 | Lg Semicon Co., Ltd. | Ferroelectric memory device without a separate cell plate line and method of making the same |
US6477098B1 (en) * | 1997-12-19 | 2002-11-05 | Micron Technology, Inc. | Dynamic random access memory array having segmented digit lines |
EP0928004A3 (en) | 1997-12-31 | 1999-12-15 | Texas Instruments Inc. | Ferroelectric memory |
JP3495905B2 (ja) * | 1998-02-19 | 2004-02-09 | シャープ株式会社 | 半導体記憶装置 |
JP4299913B2 (ja) | 1998-04-13 | 2009-07-22 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置 |
US6028784A (en) | 1998-05-01 | 2000-02-22 | Texas Instruments Incorporated | Ferroelectric memory device having compact memory cell array |
JP3249470B2 (ja) | 1998-06-05 | 2002-01-21 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
KR100282045B1 (ko) | 1998-08-07 | 2001-03-02 | 윤종용 | 강유전체 커패시터를 구비한 불 휘발성 다이나믹 랜덤 엑세스메모리 |
US5995407A (en) | 1998-10-13 | 1999-11-30 | Celis Semiconductor Corporation | Self-referencing ferroelectric memory |
JP2000187989A (ja) | 1998-12-24 | 2000-07-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | データ記憶装置 |
JP2000268581A (ja) | 1999-03-17 | 2000-09-29 | Fujitsu Ltd | Romデータを保持する強誘電体メモリ装置 |
US6147895A (en) | 1999-06-04 | 2000-11-14 | Celis Semiconductor Corporation | Ferroelectric memory with two ferroelectric capacitors in memory cell and method of operating same |
JP4350222B2 (ja) | 1999-08-26 | 2009-10-21 | Okiセミコンダクタ株式会社 | 強誘電体メモリ装置の動作方法 |
JP4253734B2 (ja) | 1999-09-02 | 2009-04-15 | Okiセミコンダクタ株式会社 | 強誘電体メモリ装置およびその装置からのデータ読み出し方法 |
DE19950581A1 (de) | 1999-10-20 | 2001-04-26 | Infineon Technologies Ag | Anordnung zur Selbstreferenzierung von ferroelektrischen Speicherzellen |
JP3617615B2 (ja) | 1999-11-08 | 2005-02-09 | シャープ株式会社 | 強誘電体記憶装置 |
KR100320435B1 (ko) | 1999-11-22 | 2002-01-15 | 박종섭 | 불휘발성 강유전체 메모리 소자 및 그 제조방법 |
KR100340074B1 (ko) | 1999-12-28 | 2002-06-12 | 박종섭 | 넓은 액티브영역 상부에 위치한 강유전체 커패시터를 갖는강유전체 기억소자 |
EP1160261B1 (en) * | 2000-05-29 | 2007-06-27 | Japan Polychem Corporation | Olefin polymerization catalyst and method for polymerizing olefin using the same |
US6449184B2 (en) * | 2000-06-19 | 2002-09-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for driving semiconductor memory |
KR100702355B1 (ko) | 2000-08-30 | 2007-04-04 | 마이크론 테크놀로지, 인크 | 은닉 리프레시를 지원하는 듀얼 포트 셀을 구비한 반도체메모리 |
EP1187140A3 (en) * | 2000-09-05 | 2002-09-11 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for driving semiconductor memory |
US6720596B2 (en) | 2000-10-17 | 2004-04-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Semiconductor device and method for driving the same |
KR100500623B1 (ko) | 2001-03-05 | 2005-07-12 | 가부시끼가이샤 도시바 | 강유전체 메모리 |
DE10131961A1 (de) | 2001-07-02 | 2003-01-23 | Siemens Ag | N-Punkt-Stromrichterschaltung |
JP3688232B2 (ja) | 2001-09-04 | 2005-08-24 | 松下電器産業株式会社 | 強誘電体記憶装置 |
JPWO2003052829A1 (ja) * | 2001-12-14 | 2005-04-28 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2003197769A (ja) | 2001-12-21 | 2003-07-11 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置 |
JP3770171B2 (ja) | 2002-02-01 | 2006-04-26 | ソニー株式会社 | メモリ装置およびそれを用いたメモリシステム |
JP3957520B2 (ja) | 2002-02-07 | 2007-08-15 | 富士通株式会社 | 電圧生成回路 |
JP4035350B2 (ja) | 2002-03-18 | 2008-01-23 | 富士通株式会社 | 半導体装置及び半導体装置製造方法 |
JP3650077B2 (ja) | 2002-03-29 | 2005-05-18 | 沖電気工業株式会社 | 半導体記憶装置 |
JP3984090B2 (ja) * | 2002-04-01 | 2007-09-26 | 株式会社東芝 | 強誘電体メモリ装置 |
US6538914B1 (en) | 2002-04-01 | 2003-03-25 | Ramtron International Corporation | Ferroelectric memory with bit-plate parallel architecture and operating method thereof |
US6704218B2 (en) | 2002-04-02 | 2004-03-09 | Agilent Technologies, Inc. | FeRAM with a single access/multiple-comparison operation |
KR100474737B1 (ko) | 2002-05-02 | 2005-03-08 | 동부아남반도체 주식회사 | 고집적화가 가능한 디램 셀 구조 및 제조 방법 |
US6809949B2 (en) | 2002-05-06 | 2004-10-26 | Symetrix Corporation | Ferroelectric memory |
US20040090613A1 (en) | 2002-07-17 | 2004-05-13 | Goix Philippe J. | Method for measuring the volume of cells or particles |
KR100456598B1 (ko) | 2002-09-09 | 2004-11-09 | 삼성전자주식회사 | 서로 상보되는 데이터를 갖는 메모리 셀들이 배열되는메모리 장치 |
US6804142B2 (en) | 2002-11-12 | 2004-10-12 | Micron Technology, Inc. | 6F2 3-transistor DRAM gain cell |
US6898104B2 (en) | 2002-11-12 | 2005-05-24 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device having semiconductor memory with sense amplifier |
US20040095799A1 (en) * | 2002-11-20 | 2004-05-20 | Michael Jacob | 2T2C signal margin test mode using different pre-charge levels for BL and/BL |
US20040119105A1 (en) | 2002-12-18 | 2004-06-24 | Wilson Dennis Robert | Ferroelectric memory |
JP3806084B2 (ja) * | 2002-12-25 | 2006-08-09 | 株式会社東芝 | 強誘電体メモリ及びそのデータ読み出し方法 |
KR100454254B1 (ko) | 2002-12-30 | 2004-10-26 | 주식회사 하이닉스반도체 | 엠티피 구조의 강유전체 메모리 소자 및 그 제조 방법 |
JP4250143B2 (ja) | 2003-02-27 | 2009-04-08 | 富士通マイクロエレクトロニクス株式会社 | 半導体記憶装置 |
JP2004281736A (ja) | 2003-03-17 | 2004-10-07 | Nec Electronics Corp | 半導体記憶装置 |
JP2004288282A (ja) * | 2003-03-20 | 2004-10-14 | Fujitsu Ltd | 半導体装置 |
WO2004093088A1 (ja) | 2003-04-10 | 2004-10-28 | Fujitsu Limited | 強誘電体メモリおよびそのデータ読み出し方法 |
JP4157553B2 (ja) | 2003-05-27 | 2008-10-01 | 富士通株式会社 | 強誘電体メモリ |
JP4015968B2 (ja) | 2003-06-09 | 2007-11-28 | 株式会社東芝 | 強誘電体メモリ |
US6967365B2 (en) | 2003-07-15 | 2005-11-22 | Texas Instruments Incorporated | Ferroelectric memory cell with angled cell transistor active region and methods for fabricating the same |
US7019352B2 (en) | 2003-08-07 | 2006-03-28 | Texas Instruments Incorporated | Low silicon-hydrogen sin layer to inhibit hydrogen related degradation in semiconductor devices having ferroelectric components |
JP3777611B2 (ja) * | 2003-10-31 | 2006-05-24 | セイコーエプソン株式会社 | 強誘電体メモリ装置及び電子機器 |
JP2005141833A (ja) | 2003-11-06 | 2005-06-02 | Seiko Epson Corp | 強誘電体メモリ装置及び電子機器 |
KR100513309B1 (ko) | 2003-12-05 | 2005-09-07 | 삼성전자주식회사 | 비연속적인 전하 트랩 사이트를 갖는 비휘발성 메모리소자의 소거 방법들 |
JP2005223137A (ja) | 2004-02-05 | 2005-08-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 強誘電体メモリ装置 |
JP4364052B2 (ja) * | 2004-04-28 | 2009-11-11 | Okiセミコンダクタ株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US7200062B2 (en) | 2004-08-31 | 2007-04-03 | Micron Technology, Inc. | Method and system for reducing the peak current in refreshing dynamic random access memory devices |
CN1812105A (zh) | 2005-01-24 | 2006-08-02 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 铁电记忆体装置及其制造方法 |
KR100575005B1 (ko) | 2005-03-23 | 2006-05-02 | 삼성전자주식회사 | 공유된 오픈 비트라인 센스 앰프 구조를 갖는 메모리 장치 |
US7957212B2 (en) | 2005-03-31 | 2011-06-07 | Hynix Semiconductor Inc. | Pseudo SRAM |
JP4756915B2 (ja) | 2005-05-31 | 2011-08-24 | Okiセミコンダクタ株式会社 | 強誘電体メモリ装置及びその製造方法 |
JP2006338747A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 強誘電体記憶装置 |
JP2007004839A (ja) | 2005-06-21 | 2007-01-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体記憶装置 |
KR100765872B1 (ko) | 2005-08-02 | 2007-10-11 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | 강유전체 메모리 |
US7164595B1 (en) | 2005-08-25 | 2007-01-16 | Micron Technology, Inc. | Device and method for using dynamic cell plate sensing in a DRAM memory cell |
JP4746390B2 (ja) | 2005-09-15 | 2011-08-10 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置 |
JP4783112B2 (ja) | 2005-10-11 | 2011-09-28 | 株式会社日立製作所 | 署名履歴保管装置 |
US7209384B1 (en) | 2005-12-08 | 2007-04-24 | Juhan Kim | Planar capacitor memory cell and its applications |
JP4932273B2 (ja) * | 2006-02-13 | 2012-05-16 | ローム株式会社 | 強誘電体キャパシタを用いた演算処理回路および演算方法 |
JP2007266494A (ja) | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置 |
JP2008066603A (ja) | 2006-09-08 | 2008-03-21 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP4545133B2 (ja) | 2006-11-09 | 2010-09-15 | 富士通株式会社 | 半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP4493666B2 (ja) | 2007-01-30 | 2010-06-30 | 株式会社ルネサステクノロジ | 強誘電体メモリ |
JP5163641B2 (ja) | 2007-02-27 | 2013-03-13 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 半導体記憶装置、半導体記憶装置の製造方法、およびパッケージ樹脂形成方法 |
KR100849794B1 (ko) * | 2007-07-04 | 2008-07-31 | 주식회사 하이닉스반도체 | 강유전체 소자를 적용한 반도체 메모리 장치 |
EP2182634A1 (en) | 2007-08-22 | 2010-05-05 | Rohm Co., Ltd. | Data holding device |
JP5162276B2 (ja) | 2008-02-28 | 2013-03-13 | ローム株式会社 | 強誘電体メモリ装置 |
JP4660564B2 (ja) | 2008-03-11 | 2011-03-30 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置 |
JP2010062329A (ja) | 2008-09-03 | 2010-03-18 | Toshiba Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
US8009459B2 (en) | 2008-12-30 | 2011-08-30 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Circuit for high speed dynamic memory |
JP5295991B2 (ja) | 2010-02-15 | 2013-09-18 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置、及び不揮発性半導体記憶装置の制御方法 |
JP5671418B2 (ja) | 2010-08-06 | 2015-02-18 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の駆動方法 |
US8405155B2 (en) | 2010-09-23 | 2013-03-26 | United Microelectronics Corp. | Semiconductor structure with gate structure, source/drain region and recess filling with epitaxial layer |
US20120074466A1 (en) | 2010-09-28 | 2012-03-29 | Seagate Technology Llc | 3d memory array with vertical transistor |
US8902637B2 (en) * | 2010-11-08 | 2014-12-02 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor memory device comprising inverting amplifier circuit and driving method thereof |
JP5621541B2 (ja) | 2010-11-19 | 2014-11-12 | ソニー株式会社 | 記憶装置 |
JP5500051B2 (ja) | 2010-11-22 | 2014-05-21 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 強誘電体メモリ |
US8508974B2 (en) * | 2010-12-30 | 2013-08-13 | Texas Instruments Incorporated | Ferroelectric memory with shunt device |
US8477522B2 (en) * | 2010-12-30 | 2013-07-02 | Texas Instruments Incorporated | Ferroelectric memory write-back |
US20120307545A1 (en) | 2011-06-01 | 2012-12-06 | Texas Instruments Incorporated | Interleaved Bit Line Architecture for 2T2C Ferroelectric Memories |
JP5158295B1 (ja) * | 2011-07-15 | 2013-03-06 | パナソニック株式会社 | 半導体記憶装置を駆動する方法 |
JP2013065604A (ja) | 2011-09-15 | 2013-04-11 | Toshiba Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP6145972B2 (ja) | 2012-03-05 | 2017-06-14 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 不揮発性ラッチ回路及びメモリ装置 |
US20140029326A1 (en) * | 2012-07-26 | 2014-01-30 | Texas Instruments Incorporated | Ferroelectric random access memory with a non-destructive read |
KR101994309B1 (ko) * | 2013-03-27 | 2019-09-30 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 장치 및 그 제조 방법, 이 반도체 장치를 포함하는 마이크로 프로세서, 프로세서, 시스템, 데이터 저장 시스템 및 메모리 시스템 |
US10216484B2 (en) | 2014-06-10 | 2019-02-26 | Texas Instruments Incorporated | Random number generation with ferroelectric random access memory |
US10134984B1 (en) | 2014-12-31 | 2018-11-20 | Crossbar, Inc. | Two-terminal memory electrode comprising a non-continuous contact surface |
US9853211B2 (en) | 2015-07-24 | 2017-12-26 | Micron Technology, Inc. | Array of cross point memory cells individually comprising a select device and a programmable device |
US9514797B1 (en) | 2016-03-03 | 2016-12-06 | Cypress Semiconductor Corporation | Hybrid reference generation for ferroelectric random access memory |
EP3507806B1 (en) | 2016-08-31 | 2022-01-19 | Micron Technology, Inc. | Apparatuses and methods including ferroelectric memory and for accessing ferroelectric memory |
KR102227270B1 (ko) | 2016-08-31 | 2021-03-15 | 마이크론 테크놀로지, 인크. | 강유전 메모리 셀 |
JP6777369B2 (ja) | 2016-08-31 | 2020-10-28 | マイクロン テクノロジー,インク. | 強誘電体メモリを含み、強誘電体メモリを動作するための装置及び方法 |
KR102314663B1 (ko) | 2016-08-31 | 2021-10-21 | 마이크론 테크놀로지, 인크. | 2 트랜지스터-1 커패시터 메모리를 포함하고 이를 액세스하기 위한 장치 및 방법 |
US10867675B2 (en) | 2017-07-13 | 2020-12-15 | Micron Technology, Inc. | Apparatuses and methods for memory including ferroelectric memory cells and dielectric memory cells |
-
2017
- 2017-08-02 JP JP2019511354A patent/JP6777369B2/ja active Active
- 2017-08-02 SG SG11201901168UA patent/SG11201901168UA/en unknown
- 2017-08-02 EP EP17847173.6A patent/EP3507805A4/en active Pending
- 2017-08-02 KR KR1020197009021A patent/KR102233267B1/ko active IP Right Grant
- 2017-08-02 CN CN201780052759.6A patent/CN109643570B/zh active Active
- 2017-08-02 WO PCT/US2017/045175 patent/WO2018044486A1/en unknown
- 2017-08-16 US US15/679,016 patent/US10074414B2/en active Active
- 2017-08-22 TW TW106128400A patent/TWI650751B/zh active
-
2018
- 2018-08-08 US US16/058,202 patent/US10418083B2/en active Active
-
2019
- 2019-09-12 US US16/569,646 patent/US10885964B2/en active Active
-
2020
- 2020-11-19 US US16/952,439 patent/US11205468B2/en active Active
-
2021
- 2021-10-15 US US17/451,100 patent/US11574668B2/en active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06125066A (ja) * | 1992-10-12 | 1994-05-06 | Rohm Co Ltd | 強誘電体不揮発性メモリの使用方法 |
JP2002124081A (ja) * | 2000-10-17 | 2002-04-26 | Toshiba Corp | 強誘電体メモリ装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201812759A (zh) | 2018-04-01 |
US10885964B2 (en) | 2021-01-05 |
US20210074345A1 (en) | 2021-03-11 |
US20180374528A1 (en) | 2018-12-27 |
US20200005850A1 (en) | 2020-01-02 |
TWI650751B (zh) | 2019-02-11 |
JP6777369B2 (ja) | 2020-10-28 |
WO2018044486A1 (en) | 2018-03-08 |
EP3507805A4 (en) | 2020-06-03 |
US11205468B2 (en) | 2021-12-21 |
US10074414B2 (en) | 2018-09-11 |
US20180061469A1 (en) | 2018-03-01 |
CN109643570A (zh) | 2019-04-16 |
EP3507805A1 (en) | 2019-07-10 |
US10418083B2 (en) | 2019-09-17 |
US20220036936A1 (en) | 2022-02-03 |
CN109643570B (zh) | 2023-11-21 |
KR102233267B1 (ko) | 2021-03-30 |
KR20190037366A (ko) | 2019-04-05 |
US11574668B2 (en) | 2023-02-07 |
SG11201901168UA (en) | 2019-03-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11205468B2 (en) | Apparatuses and methods including ferroelectric memory and for operating ferroelectric memory | |
TWI667651B (zh) | 鐵電記憶體單元 | |
US10998031B2 (en) | Apparatuses and methods including ferroelectric memory and for accessing ferroelectric memory | |
KR102381808B1 (ko) | 강유전 메모리 셀 및 유전 메모리 셀을 포함하는 메모리를 위한 장치 및 방법 | |
CN109390008B (zh) | 用于读取存储器单元的设备和方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190507 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190507 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200424 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200526 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200825 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20200825 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200908 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20201007 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6777369 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |