JP2015525823A5 - - Google Patents

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様々な例示的実施形態が上述されている。これら及び他の実施形態は、開示される実施形態及び特許請求の範囲の範囲内である。本発明の実施態様の一部を以下の項目[1]−[28]に記載する。
[1]
組成物であって、
式:
−N(R )−C(O)−N(H)−R
の少なくとも1つの尿素(マルチ)−(メタ)アクリレート(マルチ)−シラン化合物を含み、式中、
は式:−R −[Si(Y )(R 3−p のシラン含有基であり、
は、多価アルキレン、アリーレン、アルカリーレン、又はアラルキレン基であり、前記アルキレン、前記アリーレン、前記アルカリーレン、又は前記アラルキレン基は、場合により、1つ以上のカテナリー酸素原子を含有し、
各Yは加水分解性基であり、
は一価のアルキル又はアリール基であり、
pは1、2、又は3であり、
qは1〜5であり、
は式
11 −(A) の基を含有する(メタ)アクリル基であり、
11 は、多価アルキレン、アリーレン、アルカリーレン、又はアラルキレン基であり、前記アルキレン、前記アリーレン、前記アルカリーレン、又は前記アラルキレン基は、場合により1つ以上のカテナリー酸素原子を含有し、
Aは、式
−C(O)−C(R )=CH の(メタ)アクリル基であり、
更に
は、−O、−S、又は−NR であり、
は、Hであるか、又はC 〜C であり、
n=1〜5であり、
は、H、C 〜C アルキル若しくはシクロアルキル、又はR であり、但し、次の条件:
nは2〜5であるか、R はR であるか、又はqは2〜5である、のうちの少なくとも1つに該当する、組成物。
[2]
それぞれの加水分解性基Yが、独立して、アルコキシ基、アセテート基、アリールオキシ基、及びハロゲンから選択される、項目1に記載の組成物。
[3]
前記加水分解性基Yのうち少なくともいくつかが塩素である、項目2に記載の組成物。
[4]
物品であって、
(コ)ポリマーフィルム又は電子デバイスから選択される基材であって、前記電子デバイスには、更に有機発光デバイス(OLED)、起電発光デバイス、液晶ディスプレイ、薄膜トランジスタ、光起電力装置、又はこれらの組み合わせが含まれる、基材と、
前記基材の主表面上のベース(コ)ポリマー層と、
前記ベース(コ)ポリマー層上の酸化物層と、
前記酸化物層上の保護(コ)ポリマー層と、を含み、前記保護(コ)ポリマー層は、式
−N(R )−C(O)−N(H)−R の尿素(マルチ)−(メタ)アクリレート(マルチ)−シラン前駆体化合物の少なくとも1つの反応生成物を含み、
式中、
は式
−R −[Si(Y )(R 3−p のシラン含有基であり、
は、多価アルキレン、アリーレン、アルカリーレン、又はアラルキレン基であり、前記アルキレン、アリーレン、アルカリーレン、又はアラルキレン基は、場合により、1つ以上のカテナリー酸素原子を含有し、
各Yは加水分解性基であり、
は一価のアルキル又はアリール基であり、
pは1、2、又は3であり、
qは1〜5であり、
は式
11 −(A) の基を含有する(メタ)アクリル基であり、
11 は多価アルキレン、アリーレン、アルカリーレン、又はアラルキレン基であり、前記アルキレン、アリーレン、アルカリーレン、又はアラルキレン基は、場合により1つ以上のカテナリー酸素原子を含有し、
Aは、式
−C(O)−C(R )=CH の基を含む(メタ)アクリル基であり、
更に
は−O、−S、又は−NR であり、
は、Hであるか、又はC 〜C であり、
n=1〜5であり、
は、H、C 〜C アルキル若しくはシクロアルキル、又はR であり、但し、次の条件:
nは2〜5であるか、R はR であるか、又はqは2〜5である、のうちの少なくとも1つに該当する、物品。
[5]
物品であって、
(コ)ポリマーフィルム又は電子デバイスから選択される基材であって、前記電子デバイスには、更に有機発光デバイス(OLED)、起電発光デバイス、液晶ディスプレイ、薄膜トランジスタ、光起電力装置、又はこれらの組み合わせが含まれる、基材と、
前記基材の主表面上のベース(コ)ポリマー層と、
前記ベース(コ)ポリマー層上の酸化物層と、
前記酸化物層上の保護(コ)ポリマー層と、を含み、前記保護(コ)ポリマー層は、式
S1 −N(R )−C(O)−N(H)−R A1 の尿素(マルチ)−(メタ)アクリレート(マルチ)−シラン前駆体化合物の少なくとも1つの反応生成物を含み、
式中、
S1 は、式
−R 1d −Si(Y )(R 3−p のシラン含有基であり、
更に
1d は、二価アルキレン、アリーレン、アルカリーレン、又はアラルキレン基であり、前記アルキレン、アリーレン、アルカリーレン、又はアラルキレン基は、場合により1つ以上のカテナリー酸素原子を含有し、
各Yは加水分解性基であり、
は一価のアルキル又はアリール基であり、かつ、
pは1、2、又は3であり、
更に、R はH、C 〜C アルキル又はC 〜C シクロアルキルであり、
A1 は、式
11d −(A)の基を含有する(メタ)アクリルであり、
11d は、二価アルキレン、アリーレン、アルカリーレン、又はアラルキレン基であり、前記アルキレン、前記アリーレン、前記アルカリーレン、又は前記アラルキレン基は、場合により1つ以上のカテナリー酸素原子を含有し、
Aは、式
−C(O)−C(R )=CH の(メタ)アクリル基であり、
更に
は、−O、−S、又は−NR であり、かつ
は、H、又はC 〜C である、物品。
[6]
それぞれの加水分解性基Yが、独立して、アルコキシ基、アセテート基、アリールオキシ基、及びハロゲンから選択される、項目5に記載の物質。
[7]
前記加水分解性基Yのうち少なくともいくつかが、塩素である、項目6に記載の物品。
[8]
前記ベース(コ)ポリマー層上に、前記酸化物層及び前記保護(コ)ポリマー層の複数の交互層を更に含む、項目5〜7のいずれかに記載の物品。
[9]
前記基材が可撓性透明(コ)ポリマーフィルムを含み、場合により、前記基材が、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、熱安定化PET、熱安定化PEN、ポリオキシメチレン、ポリビニルナフタレン、ポリエーテルエーテルケトン、フッ素(コ)ポリマー、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリα−メチルスチレン、ポリスルホン、ポリフェニレンオキシド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルホン、ポリアミドイミド、ポリイミド、ポリフタルアミド、又はこれらの組み合わせを含む、項目5〜8のいずれかに記載の物品。
[10]
前記ベース(コ)ポリマー層が、(メタ)アクリレート平滑層を含む、項目5〜9のいずれかに記載の物品。
[11]
前記酸化物層が、基IIA、IIIA、IVA、VA、VIA、VIIA、IB、又はIIBから選択される原子の少なくとも1つの酸化物、窒化物、炭化物又はホウ化物、基IIIB、IVB、又はVBの金属類、希土類金属類、あるいはそれらの組み合わせ又は混合物を含有する、項目5〜10のいずれかに記載の物品。
[12]
前記保護(コ)ポリマー層に適用された酸化物層を更に含み、場合により、前記酸化物層が、酸化シリコンアルミニウムを含む、項目5〜11のいずれかに記載の物品。
[13]
前記基材が、(コ)ポリマーフィルムであり、前記電子装置が固体照明装置、表示装置、及びこれらの組み合わせから選択される、項目5〜12のいずれかに記載の物品を組み込む電子装置。
[14]
前記固体照明装置が、半導体発光ダイオード装置、有機発光ダイオード装置、及びポリマー発光ダイオード装置から選択される、項目13に記載の電子装置。
[15]
前記表示装置が、液晶ディスプレイ装置、有機発光ディスプレイ装置、及び量子ドット液晶ディスプレイ装置から選択される、項目14に記載の電子装置。
[16]
プロセスであって、
(a)(コ)ポリマーフィルム又は電子デバイスから選択される基材の主表面にベース(コ)ポリマーを適用することであって、前記電子デバイスは、有機発光デバイス(OLED)、電気泳動発光デバイス、液晶ディスプレイ、薄膜トランジスタ、光起電力装置、又はこれらの組み合わせを更に含む、適用することと、
(b)前記ベース(コ)ポリマー層上に酸化物層を適用することと、
(c)前記酸化物層上に保護(コ)ポリマー層を成膜させることと、を含み、前記保護(コ)ポリマー層が、式
−N(R )−C(O)−N(H)−R の尿素(マルチ)−(メタ)アクリレート(マルチ)−シラン前駆体化合物の少なくとも1つの反応生成物として形成された(コ)ポリマーを含み、
式中、
は式
−R −[Si(Y )(R 3−p のシラン含有基であり、
式中、
は、多価アルキレン、アリーレン、アルカリーレン、又はアラルキレン基であり、前記アルキレン、アリーレン、アルカリーレン、又はアラルキレン基は、場合により、1つ以上のカテナリー酸素原子を含有し、
Yは、加水分解性基であり、
は一価のアルキル又はアリール基であり、
pは1、2、又は3であり、
qは1〜5であり、
は式
11 −(A) の基を含有する(メタ)アクリル基であり、
11 は、多価アルキレン、アリーレン、アルカリーレン、又はアラルキレン基であり、前記アルキレン、前記アリーレン、前記アルカリーレン、又は前記アラルキレン基は、場合により1つ以上のカテナリー酸素原子を含有し、
Aは式X −C(O)−C(R )=CH を含む(メタ)アクリル基であり、
は、−O、−S、又は−NR であり、R はH、又はC 〜C であり、n=1〜5であり、
は、H、C 〜C アルキル若しくはシクロアルキル、又はR であり、但し、次の条件:
nは2〜5であるか、R はR であるか、又はqは2〜5である、のうちの少なくとも1つに該当する、プロセス。
[17]
プロセスであって、
(a)(コ)ポリマーフィルム又は電子デバイスから選択される基材の主表面にベース(コ)ポリマーを適用することであって、前記電子デバイスには、更に有機発光デバイス(OLED)、電気泳動発光デバイス、液晶ディスプレイ、薄膜トランジスタ、光起電力装置、又はこれらの組み合わせが含まれる、適用することと、
(b)前記ベース(コ)ポリマー層上に酸化物層を適用することと、
(c)前記酸化物層上に保護(コ)ポリマー層を成膜させることと、を含み、前記保護(コ)ポリマー層が、式
S1 −N(R )−C(O)−N(H)−R A1 の尿素(マルチ)−(メタ)アクリレート(マルチ)−シラン前駆体化合物の少なくとも1つの反応生成物を含み、
式中、
S1 は、式
−R 1d −Si(Y )(R 3−p のシラン含有基であり、
1d は、二価アルキレン、アリーレン、アルカリーレン、又はアラルキレン基であり、前記アルキレン、前記アリーレン、前記アルカリーレン、又は前記アラルキレン基は、場合により、1つ以上の
カテナリー酸素原子を含有し、
Yは、加水分解性基であり、
は一価のアルキル又はアリール基であり、かつ、
pは1、2、又は3であり、
A1 は、式
11d −(A)の基を含有する(メタ)アクリル基であり、
11d は、二価アルキレン、アリーレン、アルカリーレン、又はアラルキレン基であり、前記アルキレン、アリーレン、アルカリーレン、又はアラルキレン基は、場合により1つ以上のカテナリー酸素原子を含有し、かつ
Aは式X −C(O)−C(R )=CH を含む(メタ)アクリル基であり、
は、−O、−S、又は−NR であり、更に、R はH、又はC 〜C であり、
は、H、C 〜C アルキル又はシクロアルキルである、プロセス。
[18]
前記少なくとも1つの尿素(マルチ)−(メタ)アクリレート(マルチ)−シラン前駆体化合物が、化学反応を経て、前記酸化物層上の少なくとも一部分に保護(コ)ポリマー層を形成し、場合により、前記化学反応が、フリーラジカル重合反応、及び加水分解反応から選択される、項目16又は17のいずれかに記載のプロセス。
[19]
それぞれの加水分解性基Yが、独立して、アルコキシ基、アセテート基、アリールオキシ基、及びハロゲンから選択される、項目16〜18のいずれかに記載のプロセス。
[20]
前記加水分解性基Yのうち少なくともいくつかが、塩素である、項目19に記載のプロセス。
[21]
工程(a)が、
(i)ベース(コ)ポリマー前駆体を蒸発させることと、
(ii)前記蒸発させたベース(コ)ポリマーを前記基材上に濃縮させること、並びに
(iii)前記蒸発させたベース(コ)ポリマーを硬化させて、前記ベース(コ)ポリマー層を形成すること、を含む、項目16〜20のいずれかに記載のプロセス。
[22]
前記ベース(コ)ポリマー前駆体が、(メタ)アクリレートモノマーを含む、項目16〜21のいずれかに記載のプロセス。
[23]
工程(b)が、酸化物を前記ベース(コ)ポリマー層に蒸着して前記酸化物層を形成する工程を含み、成膜は、スパッタ蒸着、反応性スパッタリング、化学気相成長法、又はこれらの組み合わせを使用して実施される、項目16〜22のいずれかに記載のプロセス。
[24]
工程(b)が、前記ベース(コ)ポリマー層に無機酸化シリコンアルミニウム層を適用することを含む、項目16〜23のいずれかに記載のプロセス。
[25]
工程(b)及び(c)を連続的に繰り返して前記保護(コ)ポリマー層及び前記酸化物層の複数の交互層を前記ベース(コ)ポリマー層上に形成することを更に含む、項目16〜24のいずれかに記載のプロセス。
[26]
工程(c)が、液体混合物から、前記少なくとも1つの尿素(マルチ)−(メタ)アクリレート(マルチ)−シラン前駆体化合物と、(メタ)アクリレート化合物とを共蒸発させること、あるいは別個の液体供給源から、前記少なくとも1つの尿素(マルチ)−(メタ)アクリレート(マルチ)−シラン前駆体化合物と(メタ)アクリレート化合物とを連続的に蒸発させること、のうち少なくとも1つを含み、場合により、前記液体混合物が約10重量%以下の尿素(マルチ)−(メタ)アクリレート(マルチ)−シラン前駆体化合物を含む、項目16〜25のいずれかに記載のプロセス。
[27]
工程(c)が、前記尿素(マルチ)−(メタ)アクリレート(マルチ)−シラン前駆体化合物と前記(メタ)アクリレート化合物とを前記酸化物層上に同時濃縮すること、あるいは前記尿素(マルチ)−(メタ)アクリレート(マルチ)−シラン前駆体化合物と前記(メタ)アクリレート化合物とを前記酸化物層上に連続的に濃縮すること、のうち少なくとも1つを更に含む、項目26に記載のプロセス。
[28]
前記尿素(マルチ)−(メタ)アクリレート(マルチ)−シラン前駆体化合物と前記(メタ)アクリレート化合物とを反応させて、前記酸化物層上に保護(コ)ポリマー層を形成させることが、前記酸化物層の少なくとも一部分上で生じる、項目16〜27のいずれかに記載のプロセス。

Claims (10)

  1. 組成物であって、
    式:
    −N(R)−C(O)−N(H)−R
    の少なくとも1つの尿素(マルチ)−(メタ)アクリレート(マルチ)−シラン化合物を含み、式中、
    は式:−R−[Si(Y)(R3−pのシラン含有基であり、
    は、多価アルキレン、アリーレン、アルカリーレン、又はアラルキレン基であり、前記アルキレン、前記アリーレン、前記アルカリーレン、又は前記アラルキレン基は、場合により、1つ以上のカテナリー酸素原子を含有し、
    各Yは加水分解性基であり、
    は一価のアルキル又はアリール基であり、
    pは1、2、又は3であり、
    qは1〜5であり、
    は式
    11−(A)の(メタ)アクリル基含有基であり、
    11は、多価アルキレン、アリーレン、アルカリーレン、又はアラルキレン基であり、前記アルキレン、前記アリーレン、前記アルカリーレン、又は前記アラルキレン基は、場合により1つ以上のカテナリー酸素原子を含有し、
    Aは、式
    −C(O)−C(R)=CHの(メタ)アクリル基であり、
    更に
    は、−O、−S、又は−NRであり、
    は、Hであるか、又はC〜Cであり、
    n=1〜5であり、
    は、H、C〜Cアルキル若しくはシクロアルキル、又はRであり、但し、次の条件:
    nは2〜5であるか、RはRであるか、又はqは2〜5である、のうちの少なくとも1つに該当する、組成物。
  2. それぞれの加水分解性基Yが、独立して、アルコキシ基、アセテート基、アリールオキシ基、及びハロゲンから選択される、請求項1に記載の組成物。
  3. 物品であって、
    (コ)ポリマーフィルム又は電子デバイスから選択される基材であって、前記電子デバイスには、更に有機発光デバイス(OLED)、起電発光デバイス、液晶ディスプレイ、薄膜トランジスタ、光起電力装置、又はこれらの組み合わせが含まれる、基材と、
    前記基材の主表面上のベース(コ)ポリマー層と、
    前記ベース(コ)ポリマー層上の酸化物層と、
    前記酸化物層上の保護(コ)ポリマー層と、を含み、前記保護(コ)ポリマー層は、式
    −N(R)−C(O)−N(H)−Rの尿素(マルチ)−(メタ)アクリレート(マルチ)−シラン前駆体化合物の少なくとも1つの反応生成物を含み、
    式中、
    は式
    −R−[Si(Y)(R3−pのシラン含有基であり、
    は、多価アルキレン、アリーレン、アルカリーレン、又はアラルキレン基であり、前記アルキレン、アリーレン、アルカリーレン、又はアラルキレン基は、場合により、1つ以上のカテナリー酸素原子を含有し、
    各Yは加水分解性基であり、
    は一価のアルキル又はアリール基であり、
    pは1、2、又は3であり、
    qは1〜5であり、
    は式
    11−(A)の(メタ)アクリル基含有基であり、
    11は多価アルキレン、アリーレン、アルカリーレン、又はアラルキレン基であり、前記アルキレン、アリーレン、アルカリーレン、又はアラルキレン基は、場合により1つ以上のカテナリー酸素原子を含有し、
    Aは、式
    −C(O)−C(R)=CHの(メタ)アクリル基であり、
    更に
    は−O、−S、又は−NRであり、
    は、Hであるか、又はC〜Cであり、
    n=1〜5であり、
    は、H、C〜Cアルキル若しくはシクロアルキル、又はRであり、但し、次の条件:
    nは2〜5であるか、RはRであるか、又はqは2〜5である、のうちの少なくとも1つに該当する、物品。
  4. 物品であって、
    (コ)ポリマーフィルム又は電子デバイスから選択される基材であって、前記電子デバイスには、更に有機発光デバイス(OLED)、起電発光デバイス、液晶ディスプレイ、薄膜トランジスタ、光起電力装置、又はこれらの組み合わせが含まれる、基材と、
    前記基材の主表面上のベース(コ)ポリマー層と、
    前記ベース(コ)ポリマー層上の酸化物層と、
    前記酸化物層上の保護(コ)ポリマー層と、を含み、前記保護(コ)ポリマー層は、式
    S1−N(R)−C(O)−N(H)−RA1の尿素(マルチ)−(メタ)アクリレート(マルチ)−シラン前駆体化合物の少なくとも1つの反応生成物を含み、
    式中、
    S1は、式
    −R1d−Si(Y)(R3−pのシラン含有基であり、
    更に
    1dは、二価アルキレン、アリーレン、アルカリーレン、又はアラルキレン基であり、前記アルキレン、アリーレン、アルカリーレン、又はアラルキレン基は、場合により1つ以上のカテナリー酸素原子を含有し、
    各Yは加水分解性基であり、
    は一価のアルキル又はアリール基であり、かつ、
    pは1、2、又は3であり、
    更に、RはH、C〜Cアルキル又はC〜Cシクロアルキルであり、
    A1は、式
    11d−(A)の(メタ)アクリル含有基であり、
    11dは、二価アルキレン、アリーレン、アルカリーレン、又はアラルキレン基であり、前記アルキレン、前記アリーレン、前記アルカリーレン、又は前記アラルキレン基は、場合により1つ以上のカテナリー酸素原子を含有し、
    Aは、式
    −C(O)−C(R)=CHの(メタ)アクリル基であり、
    更に
    は、−O、−S、又は−NRであり、かつ
    は、H、又はC〜Cである、物品。
  5. それぞれの加水分解性基Yが、独立して、アルコキシ基、アセテート基、アリールオキシ基、及びハロゲンから選択される、請求項に記載の物
  6. 前記基材が、(コ)ポリマーフィルムであり、前記電子装置が固体照明装置、表示装置、及びこれらの組み合わせから選択される、請求項4〜5のいずれか一項に記載の物品を組み込む電子装置。
  7. プロセスであって、
    (a)(コ)ポリマーフィルム又は電子デバイスから選択される基材の主表面にベース(コ)ポリマーを適用することであって、前記電子デバイスは、有機発光デバイス(OLED)、電気泳動発光デバイス、液晶ディスプレイ、薄膜トランジスタ、光起電力装置、又はこれらの組み合わせを更に含む、適用することと、
    (b)前記ベース(コ)ポリマー層上に酸化物層を適用することと、
    (c)前記酸化物層上に保護(コ)ポリマー層を成膜させることと、を含み、前記保護(コ)ポリマー層が、式
    −N(R)−C(O)−N(H)−Rの尿素(マルチ)−(メタ)アクリレート(マルチ)−シラン前駆体化合物の少なくとも1つの反応生成物として形成された(コ)ポリマーを含み、
    式中、
    は式
    −R−[Si(Y)(R3−pのシラン含有基であり、
    式中、
    は、多価アルキレン、アリーレン、アルカリーレン、又はアラルキレン基であり、前記アルキレン、アリーレン、アルカリーレン、又はアラルキレン基は、場合により、1つ以上のカテナリー酸素原子を含有し、
    Yは、加水分解性基であり、
    は一価のアルキル又はアリール基であり、
    pは1、2、又は3であり、
    qは1〜5であり、
    は式
    11−(A)の(メタ)アクリル基含有基であり、
    11は、多価アルキレン、アリーレン、アルカリーレン、又はアラルキレン基であり、前記アルキレン、前記アリーレン、前記アルカリーレン、又は前記アラルキレン基は、場合により1つ以上のカテナリー酸素原子を含有し、
    Aは式X−C(O)−C(R)=CH (メタ)アクリル基であり、
    は、−O、−S、又は−NRであり、RはH、又はC〜Cであり、n=1〜5であり、
    は、H、C〜Cアルキル若しくはシクロアルキル、又はRであり、但し、次の条件:
    nは2〜5であるか、RはRであるか、又はqは2〜5である、のうちの少なくとも1つに該当する、プロセス。
  8. プロセスであって、
    (a)(コ)ポリマーフィルム又は電子デバイスから選択される基材の主表面にベース(コ)ポリマーを適用することであって、前記電子デバイスには、更に有機発光デバイス(OLED)、電気泳動発光デバイス、液晶ディスプレイ、薄膜トランジスタ、光起電力装置、又はこれらの組み合わせが含まれる、適用することと、
    (b)前記ベース(コ)ポリマー層上に酸化物層を適用することと、
    (c)前記酸化物層上に保護(コ)ポリマー層を成膜させることと、を含み、前記保護(コ)ポリマー層が、式
    S1−N(R)−C(O)−N(H)−RA1の尿素(マルチ)−(メタ)アクリレート(マルチ)−シラン前駆体化合物の少なくとも1つの反応生成物を含み、
    式中、
    S1は、式
    −R1d−Si(Y)(R3−pのシラン含有基であり、
    1dは、二価アルキレン、アリーレン、アルカリーレン、又はアラルキレン基であり、前記アルキレン、前記アリーレン、前記アルカリーレン、又は前記アラルキレン基は、場合により、1つ以上の
    カテナリー酸素原子を含有し、
    Yは、加水分解性基であり、
    は一価のアルキル又はアリール基であり、かつ、
    pは1、2、又は3であり、
    A1は、式
    11d−(A)の(メタ)アクリル基含有基であり、
    11dは、二価アルキレン、アリーレン、アルカリーレン、又はアラルキレン基であり、前記アルキレン、アリーレン、アルカリーレン、又はアラルキレン基は、場合により1つ以上のカテナリー酸素原子を含有し、かつ
    Aは式X−C(O)−C(R)=CH (メタ)アクリル基であり、
    は、−O、−S、又は−NRであり、更に、RはH、又はC〜Cであり、
    は、H、C〜Cアルキル又はシクロアルキルである、プロセス。
  9. 前記少なくとも1つの尿素(マルチ)−(メタ)アクリレート(マルチ)−シラン前駆体化合物が、化学反応を経て、前記酸化物層上の少なくとも一部分に保護(コ)ポリマー層を形成し、場合により、前記化学反応が、フリーラジカル重合反応、及び加水分解反応から選択される、請求項7又は8のいずれか一項に記載のプロセス。
  10. それぞれの加水分解性基Yが、独立して、アルコキシ基、アセテート基、アリールオキシ基、及びハロゲンから選択される、請求項7〜9のいずれか一項に記載のプロセス。
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