JP6344108B2 - 感光性樹脂組成物、これを硬化させてなる硬化物、ブラックマトリックス及び画像表示装置 - Google Patents

Description

本発明は、感光性樹脂組成物、これを硬化させてなる硬化物、ブラックマトリックス及び画像表示装置に関するものである。詳しくは、特に基板への密着性に優れた感光性樹脂組成物と、その用途に関する。

ノートパソコンや液晶テレビ等に代表される液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）等の画像表示装置には画素及びブラックマトリックス（以下、ＢＭと略記する場合がある。）を有するカラーフィルター、スペーサーなどが必要であり、デジタルカメラやカラーコピー機等の入力デバイスとして使用される電荷結合素子（ＣＣＤ、ＣＭＯＳ）を代表する固体撮像素子のカラー化にもカラーフィルターが必要である。

現在一般に行われている顔料分散法による画素の形成方法においては、先ず感光性樹脂組成物をガラス基板やウェーハのような基板上に塗布し、次いでプリベークを行い膜を形成した後、所定のマスクを通して紫外線を照射し、照射部分を硬化し、アルカリ現像処理により未照射部分を取り除き、更に２００℃以上の温度で熱処理を行うことにより、着色した硬化膜（着色画素）を得ている。この方法は、紫外線照射により、光重合開始剤が活性ラジカルを生成し、これが光重合性化合物を攻撃し、重合反応を誘発するという原理を応用したものである。つまり、活性ラジカルが存在し、初めて重合が開始される。

これらの画像表示装置や固体撮像素子に用いられている感光性樹脂組成物は、装置そのものの軽薄短小化に伴い、微細化、薄膜化の要求が高まっており、組成物中の樹脂成分の低減や有機下地膜を省くことが検討されている。また、高遮光度や高色濃度再現も要求され、色材濃度もますます高くなってきている。そのため、感度低下や、それに伴う基板への密着の低下が起こり、光重合開始剤など、さまざまな方法での改善が試みられている。

紫外線を照射したときに、共存する色材も紫外線を吸収するために、色材の含有量が多くなると、活性ラジカルの生成が妨げられ、硬化不足となり、基板との密着性が低下する。一方、活性ラジカルの発生を増やすために光重合開始剤の量を増加させると、表層部の開始剤によって紫外線が吸収されてしまい、内部まで紫外線が届かず、硬化不足の改善が十分ではない。

さらに近年、市場では省エネルギー化の為に、ＢＭの線幅をますます細くして輝度を上げる検討が行われている。また、液晶パネル作成時における製造工程を減らすために、従来の額縁部をＢＭで作成し、その上にシール剤を塗布して、ＴＦＴ基板を張り合わせるなどの検討も行われている。また、増大する海外向けへの輸送時や、高温・高湿の環境下におけるＢＭの基板密着性が要求される。

ＢＭの微細化、薄膜化の状況の中、室温下、さらには高温度、高湿度下における基板密着性への要求が高まりつつある中、画素やＢＭの基板への密着を改善する方法として、感光性樹脂組成物に密着向上剤を添加する方法が検討されており、例えば特許文献１には、エポキシ、（メタ）アクリル、ビニルなどのシランカップリング剤を用いることで、ＢＭの密着性を改善することが記載されている。また、特許文献２には、２級、３級アミン系、ケチミン系、イソシアネート系のシランカップリング剤を用いることで現像密着性を改善することが記載されている。

特開平１０−１３３３７０号公報 特開２００８−１２９４６３号公報

本発明者らが鋭意検討を重ねた結果、特許文献１や２に記載されている密着向上剤では、高色材濃度の場合や、高微細化の場合には、室温下及び高温高湿下における基板密着性が実用上十分ではないことが見出された。
そこで本発明は、高色材濃度の場合や、高微細化の場合において、室温下及び高温高湿下における基板密着性が良好となる、感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。

本発明者らは前記課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、感光性樹脂組成物に、特定の有機ケイ素化合物を含有させることにより、上記課題を解決することができることを見出した。
即ち、本発明は以下を要旨とする。

［１］ アルカリ可溶性樹脂（ａ）、光重合性モノマー（ｂ）、光重合開始剤（ｃ）、色材（ｄ）、分散剤（ｅ）及び有機ケイ素化合物（ｆ）を含む感光性樹脂組成物であって、
有機ケイ素化合物（ｆ）が、少なくとも下記一般式（１）で表される構造を有する有機ケイ素化合物（ｆ−１）を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。

（上記式中、Ｒ¹は水素原子又は炭素数１〜８のアルキル基である。Ｒ^aは下記式（１−１）で表される基である。＊は結合手である。）

（上記式中、Ｒ²及びＲ³はそれぞれ独立に炭素数１〜８のアルキレン基であり、Ｒ⁴は水素原子又はメチル基である。＊はＳｉ原子との結合手である。）
［２］ 有機ケイ素化合物（ｆ−１）が、下記一般式（２）で表される有機ケイ素化合物を含むことを特徴とする、［１］に記載の感光性樹脂組成物。

（上記式中、Ｒ¹及びＲ^aは前記一般式（１）と同義である。式中に複数含まれるＲ¹同士は、それぞれ同じであっても異なっていてもよい。）
［３］ 有機ケイ素化合物（ｆ−１）が、下記一般式（３）で表される有機ケイ素化合物を含むことを特徴とする、［１］又は［２］に記載の感光性樹脂組成物。

（上記式中、Ｒ¹及びＲ^aは前記一般式（１）と同義である。また、ｎは２〜１０の整数を表す。式中に複数含まれるＲ¹及びＲ^a同士は、それぞれ同じであっても異なっていてもよい。）
［４］ 光重合性モノマー（ｂ）が下記一般式（ｂ１）〜（ｂ４）の少なくともいずれかで表される化合物を含むことを特徴とする、［１］〜［３］の何れかに記載の感光性樹脂組成物。

（上記式中、Ｒ^bは下記式（ｂ５）に示す基であり、Ｒ⁹は炭素数１〜１０のアルキレン基、炭素数７〜１０のアリーレンアルキレン基、又は炭素数６〜１０のアリーレン基である。）

（上記式中、Ｒ⁶は主鎖の炭素数が２〜６の分岐があってもよいアルキレン基を表し、Ｒ⁷は水素原子又はメチル基を表す。ｍは０〜３の整数を表す。ｍが２又は３の場合、複数のＲ⁶は同じであっても異なっていてもよい。）
［５］ 光重合開始剤（ｃ）が、オキシムエステルであることを特徴とする、［１］〜［４］の何れかに記載の感光性樹脂組成物。
［６］ 色材（ｄ）が黒色色材であることを特徴とする、［１］〜［５］の何れかに記載の感光性樹脂組成物。
［７］ 色材（ｄ）の含有量が全固形分量に対して４０質量％以上であることを特徴とする、［１］〜［６］の何れかに記載の感光性樹脂組成物。
［８］ 分散剤（ｅ）が塩基性官能基を有する高分子分散剤であることを特徴とする、［１］〜［７］の何れかに記載の感光性樹脂組成物。
［９］ アルカリ可溶性樹脂（ａ）が、エチレン性不飽和基を含有することを特徴とする、［１］〜［８］の何れかに記載の感光性樹脂組成物。
［１０］ アルカリ可溶性樹脂（ａ）が、カルボキシル基を有するエポキシ（メタ）アクリレート樹脂を含有することを特徴とする、［９］に記載の感光性樹脂組成物。
［１１］ 前記カルボキシル基を有するエポキシ（メタ）アクリレート樹脂が、下記エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１−１）及び／又は下記エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１−２）を含有することを特徴とする、［１０］に記載の感光性樹脂組成物。
エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１−１）：エポキシ樹脂に、α，β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα，β−不飽和モノカルボン酸エステルを付加させ、さらに、多塩基酸及び／又はその無水物を反応させることによって得られたエポキシ（メタ）アクリレート樹脂
エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１−２）：エポキシ樹脂に、α，β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα，β−不飽和モノカルボン酸エステルを付加させ、さらに、多価アルコールと、多塩基酸及び／又はその無水物と反応させることによって得られたエポキシ（メタ）アクリレート樹脂

［１２］ ［１］〜［１１］の何れかに記載の感光性樹脂組成物を硬化させてなる硬化物。
［１３］ ［１２］に記載の硬化物からなるブラックマトリックス。
［１４］ 膜厚１μｍあたりの光学濃度が４．０以上であることを特徴とする、［１３］に記載のブラックマトリックス。
［１５］ ［１３］又は［１４］に記載のブラックマトリックスを用いて作製された画像表示装置。

本発明によれば、高色材濃度の場合や、高微細化の場合において、室温下及び高温高湿下における基板密着性が良好となる、感光性樹脂組成物を提供することができる。

本発明のカラーフィルターを備えた有機ＥＬ素子の一例を示す断面概略図である。

以下、本発明の実施の形態を具体的に説明するが、本発明は、以下の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更して実施することができる。
なお、本発明において、「（メタ）アクリル」とは「アクリル及び／又はメタクリル」を意味し、「（メタ）アクリレート」、「（メタ）アクリロイル」についても同様である。

本発明において「全固形分」とは、感光性樹脂組成物中又は後述するインク中に含まれる、溶剤以外の全成分を意味するものとする。
本発明において、重量平均分子量とは、ＧＰＣ（ゲルパーミエーションクロマトグラフィー）によるポリスチレン換算の重量平均分子量（Ｍｗ）をさす。
また、本発明において、「アミン価」とは、特に断りのない限り、有効固形分換算のアミン価を表し、分散剤の固形分１ｇあたりの塩基量と当量のＫＯＨの重量で表される値である。なお、測定方法については後述する。

［感光性樹脂組成物］
本発明の感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂（ａ）、光重合性モノマー（ｂ）、光重合開始剤（ｃ）、色材（ｄ）、分散剤（ｅ）及び有機ケイ素化合物（ｆ）を含む感光性樹脂組成物であって、有機ケイ素化合物（ｆ）が下記式（１）で表される構造を有する有機ケイ素化合物（ｆ−１）を含有することを特徴とする。

上記式中、Ｒ¹は水素原子又は炭素数１〜８のアルキル基である。Ｒ^aは下記式（１−１）で表される基である。＊は結合手である。

上記式中、Ｒ²及びＲ³はそれぞれ独立に炭素数１〜８のアルキレン基であり、Ｒ⁴は水素原子又はメチル基である。＊はＳｉ原子との結合手である。

本発明の感光性樹脂組成物は更に、分散助剤、多官能チオール化合物を含有していてもよく、必要に応じて、更にその他の密着向上剤、塗布性向上剤、現像改良剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤、界面活性剤等、その他の配合成分を含んでいてもよく、通常、各配合成分が、有機溶剤に溶解又は分散した状態で使用される。
本発明の特徴の１つは、感光性樹脂組成物が有機ケイ素化合物（ｆ）を含有することにある。まず、有機ケイ素化合物（ｆ）について説明する。

＜有機ケイ素化合物（ｆ）＞
本発明における有機ケイ素化合物（ｆ）は少なくとも下記式（１）で表される構造を有する有機ケイ素化合物（ｆ−１）を含有する。

上記式中、Ｒ¹は水素原子又は炭素数１〜８のアルキル基である。Ｒ^aは下記式（１−１）で表される基である。＊は結合手である。

上記式中、Ｒ²及びＲ³はそれぞれ独立に炭素数１〜８のアルキレン基であり、Ｒ⁴は水素原子又はメチル基である。＊はＳｉ原子との結合手である。

前記一般式（１）のＲ¹における、炭素原子数１〜８のアルキル基は、直鎖状でも分岐状でも、環状でもよい。取扱い易さや反応性の観点から、炭素数は４以下であることが好ましく、３以下であることがより好ましい。
例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基などが挙げられる。これらの中でも、反応性の観点から、メチル基、エチル基、プロピル基、又はブチル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましい。

また前記一般式（１−１）のＲ²及びＲ³における、炭素原子数１〜８のアルキレン基は、直鎖状でも分岐状でも、環状でもよい。取扱い易さや反応性の観点から、炭素数は通常１以上であり、２以上であることが好ましく、また、６以下であることが好ましく、４以下であることがより好ましい。
例えば、メチレン基、エチレン基、１，３−プロピレン基、１，２−プロピレン基、１，４−ブチレン基、１，２−ブチレン基、１，５−ペンチレン基、１，６−ヘキシレン基、シクロヘキシレン基、メチレンシクロヘキシレン基などがあげられる。これらの中でも、取扱い易さや反応性の観点から、メチレン基、エチレン基、１，３−プロピレン基、１，２−プロピレン基、１，４−ブチレン基、又は１，２−ブチレン基が好ましく、エチレン基、１，３−プロピレン基、又は１，２−プロピレン基がより好ましい。

前記一般式（１）で表される構造を有する有機ケイ素化合物としては、例えば、下記一般式（２）で表される有機ケイ素化合物の単量体が挙げられる。

上記式中、Ｒ¹及びＲ^aは前記一般式（１）と同義である。式中に複数含まれるＲ¹同士は、それぞれ同じであっても異なっていてもよい。

前記一般式（２）の単量体自身も前記一般式（１）の構造を有するが、該単量体同士のオリゴマーや、該単量体と他の構造を有する有機ケイ素化合物とのオリゴマーも、前記一般式（１）の構造を有するものとすることができる。

前記一般式（１）で表される構造を有する有機ケイ素化合物（ｆ−１）としては、以下４つの実施形態を挙げることができる。
・実施形態１：前記一般式（２）の単量体を含む有機ケイ素化合物。
・実施形態２：前記一般式（２）の単量体同士のオリゴマーを含む有機ケイ素化合物。
・実施形態３：前記一般式（２）の単量体と、前記一般式（２）以外の単量体とのオリゴマーを含む有機ケイ素化合物。
・実施形態４：実施形態２のオリゴマーと前記一般式（２）以外の単量体とのオリゴマーを含む有機ケイ素化合物。

＜実施形態１の有機ケイ素化合物＞
実施形態１の有機ケイ素化合物（ｆ−１）は、下記一般式（２）で表される単量体を含む有機ケイ素化合物である。

上記式中、Ｒ¹及びＲ^aは前記一般式（１）と同義である。式中に複数含まれるＲ¹同士は、それぞれ同じであっても異なっていてもよい。

前記一般式（２）で表される単量体は、下記一般式（２−１）で表されるイソシアネート基を有する有機シラン化合物と、下記一般式（２−２）で表される水酸基を有する（メタ）アクリロイルオキシ化合物とを触媒の存在下でウレタン化反応させる公知の方法で得ることができる。

（Ｒ¹Ｏ）₃Ｓｉ−Ｒ²−Ｎ＝Ｃ＝Ｏ （２−１）
（上記式中、Ｒ¹及びＲ²は前記一般式（１）及び（１−１）と同義である。）
ＨＯ−Ｒ³−Ｏ−ＣＯ−ＣＲ⁴＝ＣＨ₂ （２−２）
（上記式中、Ｒ³及びＲ⁴は前記一般式（１−１）と同義である。）

この反応における触媒としては、例えばジブチルスズマレート、トリブチルスズアセテ−ト、ジメチルスズジクロリド、ジブチルスズジアセテート、ジブチルスズジラウレート等の有機スズ化合物；Ｎ−メチルモルホリン、トリエチルアミン、Ｎ−メチルピペリジン、Ｎ、Ｎ−ジメチルシクロヘキシルアミン、ピリジン等の第３級アミンが有用であり、その添加量は、前記一般式（２−１）のシラン化合物に対し、０．００１〜１質量％、特に、０．０１〜０．１質量％が好ましい。反応温度は、０〜５０℃が好ましく、２０〜４０℃がより好ましい。反応時間は１〜２４時間の間で適宜選択することができる。上記の反応は、通常無溶媒で良いが、必要に応じ、例えば、ヘキサン、シクロヘキサン、ベンゼン、トルエン、キシレン、テトラヒドロフラン、アセトニトリル等の有機溶媒を用いてもよい。

前記一般式（２）で表される単量体の具体例としては、以下のものが挙げられるが、その他、前記一般式（２）を満足するものであれば特に限定されない。

ただし、実施形態１の単量体は、前記一般式（２）を満足する複数種類の単量体の混合物であっても良い。また、実施形態１の有機ケイ素化合物は単量体を主成分とするものであることが好ましいが、保存時の経時などにより、水分や熱の影響を受けて一部オリゴマー化したものを含んでいてもよい。実施形態１の有機ケイ素化合物（ｆ）は、本願の効果に影響を及ぼさない範囲で、前記一般式（２）以外の構造を有する単量体を含んでいてもよい。
実施形態１において、有機ケイ素化合物（ｆ−１）に対する前記一般式（２）で表される単量体の含有割合は、好ましくは１０モル％以上、より好ましくは５０モル％以上、さらに好ましくは６５モル％以上、特に好ましくは８０モル％以上、また通常１００モル％以下である。前記下限値以上とすることで、基板との密着を良好にできる傾向がある。
また、有機ケイ素化合物（ｆ）に対する前記一般式（２）で表される単量体の含有割合は、好ましくは１０モル％以上、より好ましくは５０モル％以上、さらに好ましくは６５モル％以上、特に好ましくは８０モル％以上、また通常１００モル％以下である。前記下限値以上とすることで、基板との密着を良好にできる傾向がある。

＜実施形態２の有機ケイ素化合物＞
実施形態２の有機ケイ素化合物（ｆ−１）は、下記一般式（３）で表されるオリゴマーを含む有機ケイ素化合物である。

上記式中、Ｒ¹及びＲ^aは前記一般式（１）と同義である。また、ｎは２〜１０の整数を表す。式中に複数含まれるＲ¹及びＲ^a同士は、それぞれ同じであっても異なっていてもよい。

基板との良好な密着性を得るには、ｎは２〜８の整数であることが好ましく、２〜５の整数であることがさらに好ましい。前記一般式（３）で表されるオリゴマーは、実施形態１で述べた前記一般式（２）で表される単量体を加水分解、加熱などの一般的方法でオリゴマー化することにより得られる。詳細については後に述べる。

実施形態２における有機ケイ素化合物（ｆ−１）は、前記一般式（３）で表されるオリゴマーだけでなく、前記一般式（２）で表される単量体を含んでも良い。また、実施形態２における有機ケイ素不化合物（ｆ）は、前記一般式（２）以外の単量体や、前記一般式（３）以外のオリゴマーを、本発明の効果に影響を及ぼさない範囲で含んでいても良い。
実施形態２における有機ケイ素化合物（ｆ−１）は、前記一般式（２）で表される単量体と前記一般式（３）で表されるオリゴマーを両方含有する場合が好ましい。その理由としては、単量体のみでは、カラーフィルター作成時の高温処理で揮発減少してしまう場合があるが、オリゴマーのみでは高温処理によってオリゴマー同士がさらに加水分解して多量体化し、分子量が大きくなることでアルカリ現像時に基板に残渣として残りやすくなる傾向があるからである。

前記一般式（３）で表されるオリゴマーの具体例としては、以下のものが挙げられるが、前記一般式（３）で表される構造を満たすものであれば、特に限定されない。

実施形態２の有機ケイ素化合物（ｆ）は、密着効果に影響を及ぼさない範囲で、その他の単量体やオリゴマーを含有しても良い。

実施形態２において、有機ケイ素化合物（ｆ−１）に対する前記一般式（３）で表されるオリゴマーの含有割合は、好ましくは１０モル％以上、より好ましくは５０モル％以上、さらに好ましくは６５モル％以上、特に好ましくは８０モル％以上、また通常１００モル％以下である。前記下限値以上とすることで、基板との密着を良好にできる傾向がある。
また、有機ケイ素化合物（ｆ）に対する前記一般式（３）で表されるオリゴマーの含有割合は、好ましくは１０モル％以上、より好ましくは５０モル％以上、さらに好ましくは６５モル％以上、特に好ましくは８０モル％以上、また通常１００モル％以下である。前記下限値以上とすることで、基板との密着を良好にできる傾向がある。

また、有機ケイ素化合物（ｆ−１）として、前記一般式（２）で表される単量体及び前記一般式（３）で表されるオリゴマーの両者を含む場合、有機ケイ素化合物（ｆ）に対する、前記一般式（２）で表される単量体及び前記一般式（３）で表されるオリゴマーの含有割合の合計は、好ましくは１０モル％以上、より好ましくは５０モル％以上、さらに好ましくは６５モル％以上、特に好ましくは８０モル％以上、また通常１００モル％以下である。前記下限値以上とすることで、基板との密着を良好にできる傾向がある。
また、前記一般式（２）で表される単量体に対する前記一般式（３）で表されるオリゴマーの含有質量の比率は、前記一般式（２）で表される単量体の含有質量：前記一般式（３）で表されるオリゴマーの含有質量＝０．１：９９．９〜９９．９：０．１の範囲であることが好ましい。前記範囲内とすることで、基板密着性を良好にできる傾向がある。

また、前記一般式（３）で表されるオリゴマーの重量平均分子量は１００００以下であることが好ましく、６５００以下であることがより好ましく、３５００以下であることがさらに好ましく、２０００以下であることが特に好ましい。前記上限値以下とすることで、アルカリ現像時における基板への残渣を良好にすることができる傾向がある。

前記一般式（３）で表されるオリゴマーを得る方法については特に限定されないが、例えば前記一般式（２）で表される単量体を加水分解反応させることにより得られる。具体的には、アルコールやプロピレングルコールメチルエーテルアセテートなど、後に蒸留除去しやすい溶媒中に単量体を投入し、少量のシュウ酸などの酸を触媒として添加したり、イオン水を添加し、５０〜１５０℃で１〜１２時間加熱させたりすることによりオリゴマーが得られる。これらの加水分解反応は、一般的な公知の方法で行われ、たとえば特開２０１２−２７４８０号公報の段落［００９８］〜［００９９］に述べられている方法や合成例で述べられている方法にて得ることができる。

＜実施形態３の有機ケイ素化合物＞
実施形態３の有機ケイ素化合物（ｆ−１）は、前記一般式（２）で表される単量体と前記一般式（２）以外の単量体とのオリゴマー（以下、「共重合オリゴマー」と略記する場合がある）含む有機ケイ素化合物である。

実施形態３の有機ケイ素化合物（ｆ−１）は例えば、前記一般式（２）で表される単量体と、前記一般式（２）以外の単量体とを、実施形態２で述べたような加水分解反応によりオリゴマー化する方法によって得られる。

前記一般式（２）で表される単量体に由来する前記一般式（１）の構造に加えて、前記一般式（２）以外の単量体に由来する構造を導入することにより、感光性樹脂組成物中のアルカリ可溶性樹脂、光重合性モノマー、光重合開始剤、色材、分散剤などとの相互作用や相溶性などを調整でき、前記一般式（１）の構造に起因する効果に加えて、さらなる密着性向上、感度向上、良好なパターン形状形成性向上などが得られる傾向がある。特に、アルカリ現像性の良い水酸基やカルボキシル基を有する単量体を用いて、該単量体に由来する構造を導入することにより、アルカリ現像残渣を改善することができる傾向がある。

前記一般式（２）以外の単量体の具体例としては、以下のような、ビニル基、エポキシ基、スチリル基、メタクリル基、アクリル基、１級、２級、３級アミノ基、ウレイド基、メルカプト基、イソシアネート基などを有するものが挙げられる。

それ以外にも、エポキシ基、オキセタニル基、エピスルフィド基、ビニル基、アリル基、（メタ）アクリロイル基、カルボキシル基、ヒドロキシル基、メルカプト基、イソシアネート基、アミノ基、ウレイド基、スチリル基を有する単量体の具体例が特開２０１２−２７４８０号公報の［００８２］段落〜［００９５］段落に記載されており、これらも実施形態３の単量体として用いることができる。
また、同公報中の［００９６］段落〜［００９７］段落に記載されている単量体も、本発明の効果に影響のない範囲で実施形態３の単量体として用いてもよい。
また、上述以外の単量体も本発明の効果に影響のない範囲で実施形態３の単量体として用いることもできる。

また、実施形態３の有機ケイ素化合物（ｆ−１）は、前記一般式（３）で表されるオリゴマーを含んでいてもよく、また、前記一般式（２）で表される単量体を含んでいてもよい。さらに、本発明の密着効果などに影響を及ぼさない程度に、有機ケイ素化合物（ｆ）がその他のシラン単量体を含有しても良い。

実施形態３において、有機ケイ素化合物（ｆ−１）に対する、共重合オリゴマーの含有割合は、好ましくは１０モル％以上、より好ましくは５０モル％以上、さらに好ましくは６５モル％以上、特に好ましくは８０モル％以上、また通常１００モル％以下である。前記下限値以上とすることで、基板との密着を良好にできる傾向がある。
また、有機ケイ素化合物（ｆ）に対する、共重合オリゴマーの含有割合は、好ましくは５モル％以上、より好ましくは３０モル％以上、さらに好ましくは５０モル％以上、特に好ましくは６５モル％以上、また通常１００モル％以下である。前記下限値以上とすることで、基板との密着を良好にできる傾向がある。

実施形態３の共重合オリゴマーの重量平均分子量は、３００００以下であることが好ましく、１００００以下であることがより好ましく、５０００以下であることがさらに好ましい。前記上限値以下とすることで、アルカリ現像時に基板に残渣が残ることを抑制できる傾向がある。

＜実施形態４の有機ケイ素化合物＞
実施形態４の有機ケイ素化合物（ｆ−１）は、前記一般式（３）で表されるオリゴマーと前記一般式（２）以外の単量体とのオリゴマー（以下、「ブロックオリゴマー」と略記する場合がある）を含む有機ケイ素化合物である。

実施形態４の有機ケイ素化合物（ｆ−１）は例えば、前記一般式（３）で表されるオリゴマーと、前記一般式（２）以外の単量体とを、実施形態２で述べたような加水分解反応によりオリゴマー化する方法によって得られる。

前記一般式（３）で表されるオリゴマーに由来する前記一般式（１）の構造に加えて、前記一般式（２）以外の単量体に由来する構造を導入することにより、実施形態３で述べたような、さらなる密着性向上、感度向上、良好なパターン形状形成性向上などが得られる傾向がある。特に、アルカリ現像性の良い水酸基やカルボキシル基を有する単量体を用いて、該単量体に由来する構造を導入することにより、アルカリ現像残渣を改善することができる傾向がある。

前記一般式（２）以外の単量体としては、実施形態３で述べた単量体を適用することができる。

また、実施形態４の有機ケイ素化合物（ｆ−１）は、前記共重合オリゴマーを含んでいてもよく、前記一般式（３）で表されるオリゴマーを含んでいてもよく、また、前記一般式（２）で表される単量体を含んでいてもよい。さらに、本発明の密着効果などに影響を及ぼさない程度に、有機ケイ素化合物（ｆ）がその他のシラン単量体などを含有しても良い。

実施形態４において、有機ケイ素化合物（ｆ−１）に対する、ブロックオリゴマーの含有割合は、好ましくは１０モル％以上、より好ましくは５０モル％以上、さらに好ましくは６５モル％以上、特に好ましくは８０モル％以上、また通常１００モル％以下である。前記下限値以上とすることで、基板との密着を良好にできる傾向がある。
また、有機ケイ素化合物（ｆ）に対する、ブロックオリゴマーの含有割合は、好ましくは５モル％以上、より好ましくは３０モル％以上、さらに好ましくは５０モル％以上、特に好ましくは６５モル％以上、また通常１００モル％以下である。前記下限値以上とすることで、基板との密着を良好にできる傾向がある。

また、実施形態４のブロックオリゴマーの重量平均分子量は、２００００以下であることが好ましく、８０００以下であることがより好ましく、４０００以下であることがさらに好ましい。前記上限値以下とすることで、アルカリ現像時に基板に残渣が残ることを抑制できる傾向がある。

また、実施形態１〜４において、感光性樹脂組成物中の有機ケイ素化合物（ｆ）の含有割合は、全固形分中０．０１質量％以上であることが好ましく、０．１質量％以上であることがより好ましく、また、２５質量％以下であることが好ましく、２０質量％以下であることがより好ましく、１０質量％以下であることがさらに好ましく、５質量％以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで基板との密着を良好にできる傾向があり、また、前記上限値以下とすることでアルカリ現像時に基板に残渣が残ることを抑制できる傾向がある。

以上、実施形態１〜４を詳細に説明したが、有機ケイ素化合物（ｆ−１）としては、実施形態１又は実施形態２の有機ケイ素化合物（ｆ−１）が好ましく、特に前記一般式（３）で表されるオリゴマーと、前記一般式（２）で表される単量体との混合物であることが好ましい。

＜（１）式構造のエチレン性不飽和基の多官能化＞
前記一般式（１−１）におけるエチレン性不飽和基は、以下のように多官能化することもできる。多官能化した有機ケイ素化合物（ｆ−１）を得る方法としては例えば、前記一般式（２）の単量体において、そのエチレン性不飽和基を多官能化した単量体を用いる方法が挙げられる。具体的には、下記一般式（２−１）と下記一般式（２−３）の化合物を用いて、実施形態１と同じ方法によって得ることができる。

（Ｒ¹Ｏ）₃Ｓｉ−Ｒ²−Ｎ＝Ｃ＝Ｏ （２−１）
（上記式中、Ｒ¹及びＲ²は前記一般式（１）及び（１−１）と同義である。）
Ｘ−Ｙ−（Ｏ−ＣＯ−ＣＲ⁴＝ＣＨ₂）_m （２−３）
（上記式中、Ｘは水酸基、チオール基、１級アミノ基、又は２級アミノ基を表し、Ｙはｍ＋１価の有機基を表し、Ｒ⁴は前記一般式（１−１）と同義である。ｍは２〜６の整数である）。

前記一般式（２−３）の化合物の具体例としては、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートなどが挙げられる。その他、前記一般式（２−３）を満たす化合物であれば適用することができる。

また、多官能化のその他の方法としては例えば、前記一般式（２）の単量体において、そのウレタン結合の窒素上の活性水素をエチレン性不飽和基と塩化アルキル基を有する化合物で脱塩化水素反応をする方法などが挙げられる。具体的には、ウレタン結合中のＮＨを、４−ビニルベンジルクロライドなどを付加させて、不飽和基をさらに加えても良い。その他さまざまな公知の一般的な方法を適用することができる。

＜その他の有機ケイ素化合物＞
上述のとおり、有機ケイ素化合物（ｆ）は、少なくとも前記一般式（１）で表される構造を有する有機ケイ素化合物（ｆ−１）を含有するものであるが、前記一般式（１）で表される構造を有さないその他の有機ケイ素化合物を含んでいてもよい。例えば、前記一般式（２）に類似する、下記式（４）又は（５）で表される単量体が挙げられる。

上記式中、Ｒ¹〜Ｒ⁴は前記式（２）と同義である。また、Ｒ^αは−Ｓ−基又は−ＮＨ−基を表す。

上記式中、Ｒ¹〜Ｒ⁴は前記式（２）と同義である。また、Ｒ^βは−Ｏ−基、−Ｓ−基又は−ＮＨ−基を表す。

前記一般式（４）で表されるシラン単量体は、下記一般式（４―１）で表されるイソシアネートを含有するシラン化合物と、下記一般式（４−２）又は（４−３）で表される（メタ）アクリロイルオキシ化合物とを、実施形態１で述べた公知の方法のように、触媒の存在下でチオウレタン反応又はウレア反応させることにより合成することができる。
（Ｒ¹Ｏ）₃Ｓｉ−Ｒ²−Ｎ＝Ｃ＝Ｏ （４−１）
（上記式中、Ｒ¹及びＲ²は前記一般式（４）と同義である。）
ＨＳ−Ｒ³−Ｏ−ＣＯ−ＣＲ⁴＝ＣＨ₂ (４−２)
Ｈ₂Ｎ−Ｒ³−Ｏ−ＣＯ−ＣＲ⁴＝ＣＨ₂ (４−３)
（上記式中、Ｒ³及びＲ⁴は前記一般式（４）と同義である。）

一方で、前記一般式（５）で表されるシラン単量体は、下記一般式（５−１）で表わされるイソシアネート基を含んだ（メタ）アクリロイルオキシ化合物と、下記一般式（５−２）〜（５−４）のいずれかのシラン化合物とを、実施形態１で述べた公知の方法のように、触媒の存在下でウレタン反応、チオウレタン反応、又はウレア反応させることにより合成することができる。
ＣＨ₂＝ＣＲ⁴−ＣＯ−Ｏ−Ｒ³−Ｎ＝Ｃ＝Ｏ （５−１）
（上記式中、Ｒ³及びＲ⁴は前記一般式（５）と同義である。）

（Ｒ¹Ｏ）₃Ｓｉ−Ｒ²−ＯＨ （５−２）
（Ｒ¹Ｏ）₃Ｓｉ−Ｒ²−ＳＨ （５−３）
（Ｒ¹Ｏ）₃Ｓｉ−Ｒ²−ＮＨ₂ （５−４）
（上記式中、Ｒ¹及びＲ²は前記一般式（５）と同義である）

これらの中でも、一般式（４）で表されるシラン単量体が好ましい。
その理由としては、イソシアネートと反応するチオール基、１級アミノ基、２級アミノ基などの官能基を含んだ（メタ）アクリロイルオキシ化合物におけるこれらの官能基が、イソシアネート基を有するシラン化合物の該イソシアネート基との反応によるウレタン結合が選択的に形成されやすく、（メタ）アクリロイルオキシ基中の不飽和基との反応が起こりにくく合成されやすいこと、さらにはこの構造が密着性向上に効果的であることなどがあげられる。また、イソシアネート基と反応するチオール基、１級アミノ基、２級アミノ基などの官能基を有する（メタ）アクリロイルオキシ化合物のこれらの官能基が、チオール基やアミノ基などの場合、カラーフィルターを製造する際のアルカリ現像時に基板に残留物として残りにくいことや、前記一般式（４）中のウレタン結合部位が、基板との密着性向上に特に効果的に働くと考えられるからである。

前記一般式（４）、又は（５）のシラン単量体は単独で用いてもよく、複数種類の単量体を混合した単量体の混合物として用いてもよい。また、これらの単量体を加水分解してオリゴマーを得てそれを用いても良い。これらは、その他のアルコキシシラン単量体やオリゴマーと混合して用いても良い。また、前記一般式（４）、又は（５）式の単量体と、その他のアルコキシシラン単量体とを加水分解してオリゴマーを得てそれを用いても良い。

前記一般式（４）、又は（５）のシラン単量体も、実施形態２、３、４と同様の形態にして用いてもよい。

＜高温高湿度下での基板密着効果＞
前記一般式（１）の構造により、特に高温高湿度下において基板と硬化膜との密着向上との効果をもたらすが、その作用は以下のとおりと考えられる。

まず、シラン部位を有することにより、そのシラノール基が基板の極性基と水素結合などの相互作用で吸着し、また、アルコキシ基も高湿下の水分の作用によって加水分解などによりシラノール基となって同様に吸着することで、基板との密着性が向上するものと考えられる。特に基板がガラス基板の時は、ガラス基板表面のシラノール基と水素結合し、また、高温下による脱水反応によっても強固な化学結合を形成するものと考えられる。
このような強固な結合は、カラーフィルター製造時の塗布乾燥処理時やアルカリ現像液処理時や２００℃以上の高温加熱処理時において、高湿度高温度条件下で処理された場合や、カラーフィルター製造後においても高湿度高温度下での海外輸送時や使用時においても形成される。

また、前記一般式（１−１）中のウレタン結合部位は、感光性樹脂組成物中のアルカリ可溶性樹脂、光重合性モノマー、分散剤などに含まれるカルボキシル基、エステル基、エポキシアクリレート基などの極性基と、水素結合や電荷的な相互作用による結合を行うことによって、有機ケイ素化合物（ｆ−１）を介して感光性樹脂組成物と基板とがより強固に密着すると考えられる。
特に光重合性モノマー中にエステル結合を有する場合や分散剤中にウレタン結合を有する場合には、特に、この効果が相乗的に向上する。

さらに前記一般式（１−１）中の不飽和基は、感光性樹脂組成物中のアルカリ可溶性樹脂や光重合性モノマー中の不飽和基と、カラーフィルター製造時の紫外線照射や高熱処理に架橋すると考えられる。特に感光性樹脂組成物中の光重合開始剤が、オキシムエステルのような高感度のものを含有する場合は、その効果が相乗的に向上すると考えられる。

このように、前記一般式（１）中のシラン部位、前記一般式（１−１）中のウレタン結合部位、及び不飽和基部位の相乗的な効果により、基板と感光性樹脂組成物との密着性が大きく向上するものと考えられる。

＜室温下での基板密着効果＞
前記一般式（１）の構造により、室温下でも基板と硬化膜との密着向上に効果を有するが、その作用は以下のとおりと考えられる。

シラン部位を有することによる基板表面との密着効果は、高温高湿度下における効果に比べると大きくはない傾向があるが、感光性樹脂組成物中に含まれる水分や、アルカリ現像水溶液で処理される時に基板表面や感光層に取り込まれる水分が、その後、２００度以上の高温度でポストベークされることによって、加水分解され基板との密着力が向上する。また、ウレタン結合部位、及び不飽和基部位の相乗的な効果により、室温においても本願の有機ケイ素化合物によって基板と感光性組成物の密着性が大きく向上する。

＜アルカリ可溶性樹脂（ａ）＞
本発明の感光性樹脂組成物はアルカリ可溶性樹脂（ａ）を含む。アルカリ可溶性樹脂（ａ）は、これと光重合性モノマー（ｂ）、光重合開始剤（ｃ）、色材（ｄ）及び有機ケイ素化合物（ｆ）を含む感光性樹脂組成物を塗布、乾燥して得られる硬化膜を露光後、露光部と非露光部のアルカリ現像に対する溶解性が変化するようなものであれば特に限定されてないが、カルボキシル基を有するアルカリ可溶性樹脂であるのが好ましい。また、エチレン性不飽和基を有するものが好ましく、エチレン性不飽和基とカルボキシル基を有するアルカリ可溶性樹脂が、更に好ましい。具体的には、カルボキシル基を有するエポキシ（メタ）アクリレート樹脂やアクリル共重合樹脂が挙げられ、好ましいものとしてより具体的には、後述の（Ａ１−１）、（Ａ１−２）、（Ａ２−１）、（Ａ２−２）、（Ａ２−３）及び（Ａ２−４）として記載のものが挙げられ、これらは１種を用いても２種以上を用いてもよい。上記の中でも、カルボキシル基を有するエポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１−１）、（Ａ１−２）が特に望ましい。

カラーフィルター作成時、アルカリ現像液に非露光部が溶解するために、高分子樹脂として、水酸基、カルボキシル基、リン酸基、スルホン酸基などの酸性の官能基を有した高分子樹脂が適用される。これらの中でもアルカリ現像液に対する溶解性の観点から、カルボキシル基を有した高分子樹脂が好ましい。また、リン酸基やスルホン酸基は、カルボキシル基よりも酸性度は高いものの、感光性樹脂組成物中の塩基性基を有する開始剤、モノマー、分散剤、その他の添加剤などと反応しやすく、保存安定性が悪くなる場合がある。

また、前記一般式（１）で表される、ウレタン結合部位を有する有機ケイ素化合物（ｆ−１）が、アルカリ可溶性樹脂におけるカルボキシル基等の極性基と、水素結合や電荷的な相互作用による結合をし、感光性樹脂組成物と基板との密着性をより向上させる傾向がある。

さらに、前記一般式（１）で表される、不飽和基を有する有機ケイ素化合物（ｆ−１）は、アルカリ可溶性樹脂におけるエチレン性不飽和基と、カラーフィルター製造時の紫外線照射時や高熱処理時に互いに架橋し、さらに基板との密着性を向上させる傾向がある。

また、カルボキシル基とエチレン性不飽和基を有するアルカリ可溶性樹脂としてエポキシアクリレート樹脂を用いた場合には、この樹脂中の不飽和結合やカルボキシル基をより多く付加させることが可能となり、また、芳香環構造を多く含ませたり、立体的に嵩高い脂環式構造を含ませたりすることが可能となり、有機ケイ素化合物（ｆ−１）との相互作用がさらに大きくなり、基板との密着性がより一層向上する傾向がある。

カルボキシル基を有するエポキシ（メタ）アクリレート樹脂としては、例えば、以下のエポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１−１）及び／又はエポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１−２）が挙げられる。
＜エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１−１）＞
エポキシ樹脂にα，β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα，β−不飽和モノカルボン酸エステルを付加させ、さらに、多塩基酸及び／又はその無水物を反応させることによって得られたアルカリ可溶性樹脂。
＜エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１−２）＞
エポキシ樹脂にα，β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα，β−不飽和モノカルボン酸エステルを付加させ、さらに、多価アルコール、及び多塩基酸及び／又はその無水物と反応させることによって得られたアルカリ可溶性樹脂。

（カルボキシル基とエチレン性不飽和基結合を有するエポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１−１））
原料となるエポキシ樹脂として、例えば、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（例えば、三菱化学社製の「エピコート（登録商標。以下同じ。）８２８」、「エピコート１００１」、「エピコート１００２」、「エピコート１００４」等）、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂のアルコール性水酸基とエピクロルヒドリンの反応により得られるエポキシ（例えば、日本化薬社製の「ＮＥＲ−１３０２」（エポキシ当量３２３，軟化点７６℃））、ビスフェノールＦ型樹脂（例えば、三菱化学社製の「エピコート８０７」、「ＥＰ−４００１」、「ＥＰ−４００２」、「ＥＰ−４００４等」）、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂のアルコール性水酸基とエピクロルヒドリンの反応により得られるエポキシ樹脂（例えば、日本化薬社製の「ＮＥＲ−７４０６」（エポキシ当量３５０，軟化点６６℃））、ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂、ビフェニルグリシジルエーテル（例えば、三菱化学社製の「ＹＸ−４０００」）、フェノールノボラック型エポキシ樹脂（例えば、日本化薬社製の「ＥＰＰＮ−２０１」、三菱化学社製の「ＥＰ−１５２」、「ＥＰ−１５４」、ダウケミカル社製の「ＤＥＮ−４３８」）、（ｏ，ｍ，ｐ−）クレゾールノボラック型エポキシ樹脂（例えば、日本化薬社製の「ＥＯＣＮ（登録商標。以下同じ。）−１０２Ｓ」、「ＥＯＣＮ−１０２０」、「ＥＯＣＮ−１０４Ｓ」）、トリグリシジルイソシアヌレート（例えば、日産化学社製の「ＴＥＰＩＣ（登録商標）」）、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂（例えば、日本化薬社製の「ＥＰＰＮ（登録商標。以下同じ。）−５０１」、「ＥＰＮ−５０２」、「ＥＰＰＮ−５０３」）、脂環式エポキシ樹脂（ダイセル化学工業社製の「セロキサイド（登録商標。以下同じ。）２０２１Ｐ」、「セロキサイドＥＨＰＥ」）、ジシクロペンタジエンとフェノールの反応によるフェノール樹脂をグリシジル化したエポキシ樹脂（例えば、大日本インキ社製の「ＥＸＡ−７２００」、日本化薬社製の「ＮＣ−７３００」）、下記一般式（ａ１）〜（ａ４）で表されるエポキシ樹脂、等を好適に用いることができる。具体的には、下記一般式（ａ１）で表されるエポキシ樹脂として日本化薬社製の「ＸＤ−１０００」、下記一般式（ａ２）で表されるエポキシ樹脂として日本化薬社製の「ＮＣ−３０００」、下記一般式（ａ４）で表されるエポキシ樹脂として新日鐵化学社製の「ＥＳＦ−３００」等が挙げられる。

上記一般式（ａ１）において、ｂ１１は平均値を示し０〜１０の数を示す。Ｒ¹¹は水素原子、ハロゲン原子、炭素数１〜８のアルキル基、炭素数３〜１０のシクロアルキル基、フェニル基、ナフチル基、又はビフェニル基を表す。なお、１分子中に存在する複数のＲ¹¹は互いに同一であっても異なっていてもよい。

上記一般式（ａ２）において、ｂ１２は平均値を示し０〜１０の数を示す。Ｒ²¹は水素原子、ハロゲン原子、炭素数１〜８のアルキル基、炭素数３〜１０のシクロアルキル基、フェニル基、ナフチル基、又はビフェニル基を表す。なお、１分子中に存在する複数のＲ²¹は互いに同一であっても異なっていてもよい。

上記一般式（ａ３）において、Ｘは下記一般式（ａ３−１）又は（ａ３−２）で表される連結基を示す。但し、分子構造中に１つ以上のアダマンタン構造を含む。ｂ１３は２又は３の整数を示す。

上記一般式（ａ３−１）及び（ａ３−２）において、Ｒ³¹〜Ｒ³⁴及びＲ³⁵〜Ｒ³⁷は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよいアダマンチル基、水素原子、置換基を有していてもよい炭素数１〜１２のアルキル基、又は置換基を有していてもよいフェニル基を示す。また、式中の＊印は（ａ３）中の結合部位を表す。

上記一般式（ａ４）において、ｐ及びｑはそれぞれ独立に０〜４の整数を表し、Ｒ⁴¹及びＲ⁴²はそれぞれ独立してアルキル基又はハロゲン原子を表す。Ｒ⁴³及びＲ⁴⁴はそれぞれ独立してアルキレン基を表す。ｘ及びｙはそれぞれ独立して０以上の整数を表す。
これらの中で、一般式（ａ１）〜（ａ４）のいずれかで表されるエポキシ樹脂を用いるのが好ましい。

α，β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα，β−不飽和モノカルボン酸エステルとしては、（メタ）アクリル酸、クロトン酸、ｏ−、ｍ−、ｐ−ビニル安息香酸、（メタ）アクリル酸のα位ハロアルキル、アルコキシル、ハロゲン、ニトロ、シアノ置換体などのモノカルボン酸、２−（メタ）アクリロイロキシエチルコハク酸、２−（メタ）アクリロイロキシエチルアジピン酸、２−（メタ）アクリロイロキシエチルフタル酸、２−（メタ）アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタル酸、２−（メタ）アクリロイロキシエチルマレイン酸、２−（メタ）アクリロイロキシプロピルコハク酸、２−（メタ）アクリロイロキシプロピルアジピン酸、２−（メタ）アクリロイロキシプロピルテトラヒドロフタル酸、２−（メタ）アクリロイロキシプロピルフタル酸、２−（メタ）アクリロイロキシプロピルマレイン酸、２−（メタ）アクリロイロキシブチルコハク酸、２−（メタ）アクリロイロキシブチルアジピン酸、２−（メタ）アクリロイロキシブチルヒドロフタル酸、２−（メタ）アクリロイロキシブチルフタル酸、２−（メタ）アクリロイロキシブチルマレイン酸、
（メタ）アクリル酸エステルとしては、（メタ）アクリル酸にε−カプロラクトン、β−プロピオラクトン、γ−ブチロラクトン、δ−バレロラクトン等のラクトン類を付加させ末端に１個の水酸基を有する単量体や、
或いはヒドロキシアルキル（メタ）アクリレートのような末端に１個の水酸基を有する単量体や、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレートのような末端に1１個の水酸基を有する化合物に、（無水）コハク酸、（無水）フタル酸、（無水）マレイン酸などの酸（無水物）を付加させ、１個以上のエチレン不飽和基と末端に１個のカルボキシル基を有する（メタ）アクリル酸エステルなどが挙げられる。また、（メタ）アクリル酸ダイマーなども挙げられる。

これらの内、感度の点から、特に好ましいものは（メタ）アクリル酸である。
エポキシ樹脂にα，β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα，β−不飽和モノカルボン酸エステルを付加させる方法としては、公知の手法を用いることができる。例えば、エステル化触媒の存在下、５０〜１５０℃の温度で、α，β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα，β−不飽和モノカルボン酸エステルとエポキシ樹脂とを反応させることができる。ここで用いるエステル化触媒としては、トリエチルアミン、トリメチルアミン、ベンジルジメチルアミン、ベンジルジエチルアミン等の３級アミン、テトラメチルアンモニウムクロライド、テトラエチルアンモニウムクロライド、ドデシルトリメチルアンモニウムクロライド等の４級アンモニウム塩等を用いることができる。

なお、エポキシ樹脂、α，β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα，β−不飽和モノカルボン酸エステル、及びエステル化触媒は、いずれも１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
α，β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα，β−不飽和モノカルボン酸エステルの使用量は、エポキシ樹脂のエポキシ基１当量に対し０．５〜１．２当量の範囲が好ましく、さらに好ましくは０．７〜１．１当量の範囲である。
α，β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα，β−不飽和モノカルボン酸エステルの使用量が少ないと不飽和基の導入量が不足し、引き続く多塩基酸及び／又はその無水物との反応も不十分となる。また、多量のエポキシ基が残存することも有利ではない。一方、該使用量が多いとα，β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα，β−不飽和モノカルボン酸エステルが未反応物として残存する。いずれの場合も硬化特性が悪化する傾向が認められる。

多塩基酸及び／又はその無水物としては、マレイン酸、コハク酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、メチルヘキサヒドロフタル酸、エンドメチレンテトラヒドロフタル酸、クロレンド酸、メチルテトラヒドロフタル酸、ビフェニルテトラカルボン酸、及びこれらの無水物等から選ばれた、１種又は２種以上が挙げられる。

好ましくは、マレイン酸、コハク酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、ビフェニルテトラカルボン酸、又はこれらの無水物である。特に好ましくは、テトラヒドロフタル酸、ビフェニルテトラカルボン酸、無水テトラヒドロフタル酸、又はビフェニルテトラカルボン酸二無水物である。

多塩基酸及び／又はその無水物の付加反応に関しても公知の手法を用いることができ、エポキシ樹脂へのα，β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα，β−不飽和モノカルボン酸エステルの付加反応と同様な条件下で、継続反応させて目的物を得ることができる。多塩基酸及び／又はその無水物成分の付加量は、生成するカルボキシル基含有エポキシ（メタ）アクリレート樹脂の酸価が１０〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇの範囲となるような程度であることが好ましく、さらに２０〜１４０ｍｇＫＯＨ／ｇの範囲となるような程度であることが好ましい。カルボキシル基含有エポキシ（メタ）アクリレート樹脂の酸価が上記範囲未満であるとアルカリ現像性に乏しくなる傾向があり、また、上記範囲を超えると硬化性能に劣る傾向が認められる。

（（Ａ１−１）樹脂の合成と（Ａ１−１）樹脂に多価アルコールを添加し分岐構造を導入した（Ａ１−２）樹脂の合成）
上記（Ａ１−１）樹脂の多塩基酸及び／又はその無水物の付加反応合成時に、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトールなどの多価アルコールを添加し、多分岐構造を導入したものとしてもよい。
カルボキシル基含有エポキシ（メタ）アクリレート樹脂は、通常、エポキシ樹脂とα，β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα，β−不飽和モノカルボン酸エステルとの反応物に、多塩基酸及び／又はその無水物を混合した後、もしくは、エポキシ樹脂とα，β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα，β−不飽和モノカルボン酸エステルとの反応物に、多塩基酸及び／又はその無水物及び多価アルコールを混合した後に、加温することにより得られる。この場合、多塩基酸及び／又はその無水物と多価アルコールの混合順序に、特に制限はない。加温により、エポキシ樹脂とα，β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα，β−不飽和モノカルボン酸エステルとの反応物と多価アルコールとの混合物中に存在するいずれかの水酸基に対して多塩基酸及び／又はその無水物が付加反応する。

カルボキシル基含有エポキシ（メタ）アクリレート樹脂は、１種を単独で用いても、２種以上の樹脂を混合して用いても良い。
多価アルコールの使用量は、少な過ぎると効果が薄く、多過ぎると増粘やゲル化の可能性があるので、エポキシ樹脂成分とα，β−不飽和モノカルボン酸又はエステル部分にカルボキシル基を有するα，β−不飽和モノカルボン酸エステル成分との反応物に対して、通常０．０１〜０．５質量倍程度、好ましくは０．０２〜０．２質量倍程度である。

このようにして得られるエポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１−１、Ａ１−２）の酸価は、通常１０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上、好ましくは５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上である。酸価が１０ｍｇＫＯＨ／ｇ未満では現像性が不足する場合がある。また酸価が過度に高いと、感光性組樹脂成物のアルカリ耐性に問題がある（すなわち、アルカリ性現像液により、パターン表面の粗面化や、膜減りが生じる）場合があるので、酸価は２００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることが好ましく、１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることがより好ましい。

エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１−１、Ａ１−２）のゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）測定によるポリスチレン換算の重量平均分子量（Ｍｗ）は、１，０００以上であることが好ましく、１，５００以上であることがより好ましい。また、１０，０００以下であることが好ましく、８，０００以下であることがより好ましく、６，０００以下であることが更に好ましい。重量平均分子量が小さ過ぎると感度や塗膜強度、アルカリ耐性に問題が生じる可能性があり、大き過ぎると現像性や再溶解性に問題が生じる場合がある。

（アクリル共重合樹脂（Ａ２−１）（Ａ２−２）（Ａ２−３）（Ａ２−４）
アクリル共重合樹脂としては、例えば、特開平７−２０７２１１号、特開平８−２５９８７６号、特開平１０−３００９２２号、特開平１１−１４０１４４号、特開平１１−１７４２２４号、特開２０００−５６１１８号、特開２００３−２３３１７９号、特開２００７−２７０１４７号などの各公報等に記載された様々な高分子化合物を使用することができるが、好ましくは、以下の（Ａ２−１）〜（Ａ２−４）の樹脂等が挙げられ、中でも、（Ａ２−１）樹脂が特に好ましい。

（Ａ２−１）：エポキシ基含有（メタ）アクリレートと、他のラジカル重合性単量体との共重合体に対し、当該共重合体が有するエポキシ基の少なくとも一部に不飽和一塩基酸を付加させてなる樹脂、或いは当該付加反応により生じた水酸基の少なくとも一部に多塩基酸無水物を付加させて得られる樹脂（以下「（Ａ２−１）樹脂」と称す場合がある。）
（Ａ２−２）：主鎖にカルボキシル基を含有する直鎖状アルカリ可溶性樹脂（以下「（Ａ２−２）樹脂」と称す場合がある。）
（Ａ２−３）：前記（Ａ２−２）樹脂のカルボキシル基部分に、エポキシ基含有不飽和化合物を付加させた樹脂（以下「（Ａ２−３）樹脂」と称す場合がある。）
（Ａ２−４）：（メタ）アクリル系樹脂（以下「（Ａ２−４）樹脂」と称す場合がある。）
尚、上記（Ａ２−１）の樹脂もエポキシ（メタ）アクリレート樹脂の概念に包含される。
以下、これらの各樹脂について説明する。

＜（Ａ２−１）エポキシ基含有（メタ）アクリレートと、他のラジカル重合性単量体との共重合体に対し、当該共重合体が有するエポキシ基の少なくとも一部に不飽和一塩基酸を付加させてなる樹脂、或いは当該付加反応により生じた水酸基の少なくとも一部に多塩基酸無水物を付加させて得られる樹脂＞
（Ａ２−１）樹脂としては、より具体的には、「エポキシ基含有（メタ）アクリレート５〜９０モル％と、他のラジカル重合性単量体１０〜９５モル％との共重合体に対し、当該共重合体が有するエポキシ基の１０〜１００モル％に不飽和一塩基酸を付加させてなる樹脂、或いは当該付加反応により生じた水酸基の１０〜１００モル％に、更に多塩基酸無水物を付加させて得られる樹脂」が挙げられる。

（Ａ２−１）樹脂を構成する「エポキシ基含有（メタ）アクリレート」としては、例えば、グリシジル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシブチル（メタ）アクリレート、（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレートグリシジルエーテル等が例示できる。中でもグリシジル（メタ）アクリレートが好ましい。これらのエポキシ基含有（メタ）アクリレートは１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。

上記エポキシ基含有（メタ）アクリレートと共重合させる他のラジカル重合性単量体としては、下記一般式（１１）で表される構造を有するモノ（メタ）アクリレートが好ましい。

上記一般式（１１）において、Ｒ⁸¹〜Ｒ⁸⁸は各々独立して、水素原子、又は炭素数１〜３のアルキル基を示すが、Ｒ⁸⁷及びＲ⁸⁸は互いに連結して環を形成していてもよい。
上記一般式（１１）において、Ｒ⁸⁷とＲ⁸⁸が連結して形成される環は、脂肪族環であるのが好ましく、飽和又は不飽和の何れでもよく、炭素数が５〜６であるのが好ましい。

中でも、上記一般式（１１）で表される構造としては、下記式（１１ａ）、（１１ｂ）、又は（１１ｃ）で表される構造が好ましい。

アルカリ可溶性樹脂にこれらの構造を導入することによって、本発明の感光性樹脂組成物をカラーフィルターや画像表示装置に使用する場合に、その耐熱性や強度を高めることができる。
前記一般式（１１）で表される構造を有するモノ（メタ）アクリレートとしては、当該構造を有する限り様々なものが使用できるが、特に下記一般式（１２）で表されるものが好ましい。

（上記一般式（１２）中、Ｒ⁸⁹は水素原子又はメチル基を示し、Ｒ⁹⁰は前記一般式（１１）で表される構造を示す。）
前記エポキシ基含有（メタ）アクリレートと、他のラジカル重合性単量体との共重合体において、前記一般式（１１）で表される構造を有するモノ（メタ）アクリレートに由来する繰返し単位は、「他のラジカル重合性単量体」に由来する繰返し単位中、５〜９０モル％含有するものが好ましく、１５〜５０モル％含有するものが特に好ましい。

なお、前記一般式（１１）で表される構造を有するモノ（メタ）アクリレート以外の、「他のラジカル重合性単量体」としては、特に限定されるものではない。
（Ａ２−１）樹脂の、前記エポキシ基含有（メタ）アクリレートと前記他のラジカル重合性単量体との共重合体としては、エポキシ基含有（メタ）アクリレートに由来する繰返し単位５〜９０モル％と、他のラジカル重合性単量体に由来する繰返し単位１０〜９５モル％とからなるものが好ましく、前者３０〜７０モル％と、後者７０〜３０モル％とからなるものが特に好ましい。

（Ａ２−１）樹脂では、上記のエポキシ樹脂含有（メタ）アクリレートと、他のラジカル重合性単量体との共重合体のエポキシ基部分に、不飽和一塩基酸（重合性成分）と、多塩基酸無水物とを反応させる。
エポキシ基に付加させる「不飽和一塩基酸」としては、様々なものを使用することができ、例えば、エチレン性不飽和二重結合を有する不飽和カルボン酸が挙げられる。具体例としては、（メタ）アクリル酸、クロトン酸、ｏ−、ｍ−、又はｐ−ビニル安息香酸、α−位がハロアルキル基、アルコキシル基、ハロゲン原子、ニトロ基、又はシアノ基などで置換された（メタ）アクリル酸等のモノカルボン酸等が挙げられる。中でも好ましくは（メタ）アクリル酸である。これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。

このような成分を付加させることにより、（Ａ２−１）樹脂に重合性を付与することができる。
これらの不飽和一塩基酸は、通常、前記共重合体が有するエポキシ基の１０〜１００モル％に付加させるが、好ましくは５０〜１００モル％に付加させる。
更に、共重合体のエポキシ基に不飽和一塩基酸を付加させたときに生じる水酸基に付加させる「多塩基酸無水物」としては、様々なものが使用できる。

例えば、無水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、無水クロレンド酸等の二塩基酸無水物；無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物、ビフェニルテトラカルボン酸無水物等の三塩基以上の酸の無水物が挙げられる。中でも、テトラヒドロ無水フタル酸及び無水コハク酸が好ましい。これらの多塩基酸無水物は１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。

このような成分を付加させることにより、（Ａ２−１）樹脂にアルカリ可溶性を付与することができる。
これらの多塩基酸無水物は、通常、前記共重合体が有するエポキシ基に、不飽和一塩基酸を付加させることにより生じる水酸基の１０〜１００モル％に付加させるが、好ましくは３０〜８０モル％に付加させる。

＜（Ａ２−２）主鎖にカルボキシル基を含有する直鎖状アルカリ可溶性樹脂＞
（Ａ２−２）樹脂としては、カルボキシル基を有していれば特に限定されず、通常、カルボキシル基を含有する重合性モノマーを重合して得られる。
カルボキシル基含有重合性モノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸、マレイン酸、クロトン酸、イタコン酸、フマル酸、２−（メタ）アクリロイルオキシエチルコハク酸、２−（メタ）アクリロイルオキシエチルアジピン酸、２−（メタ）アクリロイルオキシエチルマレイン酸、２−（メタ）アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸、２−（メタ）アクリロイルオキシエチルフタル酸、２−（メタ）アクリロイルオキシプロピルコハク酸、２−（メタ）アクリロイルオキシプロピルアジピン酸、２−（メタ）アクリロイルオキシプロピルマレイン酸、２−（メタ）アクリロイルオキシプロピルヒドロフタル酸、２−（メタ）アクリロイルオキシプロピルフタル酸、２−（メタ）アクリロイルオキシブチルコハク酸、２−（メタ）アクリロイルオキシブチルアジピン酸、２−（メタ）アクリロイルオキシブチルマレイン酸、２−（メタ）アクリロイルオキシブチルヒドロフタル酸、２−（メタ）アクリロイルオキシブチルフタル酸等のビニル系モノマー；アクリル酸にε−カプロラクトン、β−プロピオラクトン、γ−ブチロラクトン、δ−バレロラクトン等のラクトン類を付加させたものであるモノマー；ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレートにコハク酸、マレイン酸、フタル酸、或いはそれらの無水物等の酸或いは無水物を付加させたモノマー等が挙げられる。これらは、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。

中でも好ましいのは、（メタ）アクリル酸、２−（メタ）アクリロイルオキシエチルコハク酸であり、更に好ましいのは（メタ）アクリル酸である。
また、（Ａ２−２）樹脂は、上記のカルボキシル基含有重合性モノマーに、カルボキシル基を有さない他の重合性モノマーを共重合させたものであってもよい。
この場合、他の重合性モノマーとしては、特に限定されないが、特開２００９−５２０１０号公報に記載されているもの等が挙げられる。また、これら重合性モノマーのうち、顔料分散性に優れる点からは、特にベンジル（メタ）アクリレートを含む共重合体樹脂が好ましい。

＜（Ａ２−３）前記（２−２）樹脂のカルボキシル基部分に、エポキシ基含有不飽和化合物を付加させた樹脂＞
（Ａ２−３）樹脂において、（Ａ２−２）樹脂のカルボキシル基部分に付加させるエポキシ基含有不飽和化合物としては、分子内にエチレン性不飽和基及びエポキシ基を有するものであれば、特に限定されるものではない。

このエポキシ基含有不飽和化合物としては、例えば、グリシジル（メタ）アクリレート、アリルグリシジルエーテル、グリシジル−α−エチルアクリレート、クロトニルグリシジルエーテル、（イソ）クロトン酸グリシジルエーテル、Ｎ−（３，５−ジメチル−４−グリシジル）ベンジルアクリルアミド、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレートグリシジルエーテル等の非環式エポキシ基含有不飽和化合物を挙げることができるが、耐熱性や、顔料の分散性の観点から、以下に記載する脂環式エポキシ基含有不飽和化合物が好ましい。

ここで、脂環式エポキシ基含有不飽和化合物の脂環式エポキシ基として、例えば、２，３−エポキシシクロペンチル基、３，４−エポキシシクロヘキシル基、７，８−エポキシ〔トリシクロ［５．２．１．０］デシ−２−イル〕基等が挙げられる。また、エチレン性不飽和基としては、（メタ）アクリロイル基に由来するものであるのが好ましい。

＜（Ａ２−４）（メタ）アクリル系樹脂＞
（Ａ２−４）樹脂としては、下記一般式（６）で表される化合物を必須とするモノマー成分を重合してなる（メタ）アクリル系樹脂を挙げることができる。

上記一般式（６）中、Ｒ⁷¹及びＲ⁷²は、それぞれ独立に、水素原子又は置換基を有していてもよい炭素数１〜２５の炭化水素基を示す。
以下、一般式（６）の化合物について詳述する。
一般式（６）で表されるエーテルダイマーにおいて、Ｒ⁷¹及びＲ⁷²で表される置換基を有していてもよい炭素数１〜２５の炭化水素基としては、特に制限はないが、例えば、メチル、エチル、ｎ−プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、イソブチル、ｔ−ブチル、ｔ−アミル、ステアリル、ラウリル、２−エチルヘキシル等の直鎖状又は分岐状のアルキル基；フェニル等のアリール基；シクロヘキシル、ｔ−ブチルシクロヘキシル、ジシクロペンタジエニル、トリシクロデカニル、イソボルニル、アダマンチル、２−メチル−２−アダマンチル等の脂環式基；１−メトキシエチル、１−エトキシエチル等のアルコキシ基で置換されたアルキル基；ベンジル等のアリール基で置換されたアルキル基等が挙げられる。これらの中でも特に、メチル、エチル、シクロヘキシル、ベンジル等のような酸や熱で脱離しにくい１級又は２級炭素原子を有する置換基が耐熱性の点で好ましい。なお、Ｒ⁷¹及びＲ⁷²は、同種の置換基であってもよいし、異なる置換基であってもよい。

特に、ジメチル−２，２′−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジエチル−２，２′−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジシクロヘキシル−２，２′−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジベンジル−２，２′−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエートが好ましい。
これらエーテルダイマーは、１種のみ単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。

（Ａ２−４）樹脂を得る際の、モノマー成分中における前記エーテルダイマーの割合は、特に制限されないが、全モノマー成分中、通常２〜６０質量％、好ましくは５〜５０質量％である。
（Ａ２−４）樹脂は、酸基を有することが好ましい。酸基を有することにより、これを用いて得られる本発明の感光性樹脂組成物が、酸基とエポキシ基が反応してエステル結合を形成する架橋反応（以下、「酸−エポキシ硬化」と略することがある。）により硬化が可能な感光性樹脂組成物、あるいは未硬化部をアルカリ現像液で顕像可能な感光性樹脂組成物、とすることができる。前記酸基としては、特に制限されないが、例えば、カルボキシル基、フェノール性水酸基、カルボン酸無水物基等が挙げられる。樹脂１分子中に含まれるこれらの酸基は、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。

（Ａ２−４）樹脂に酸基を導入するには、例えば、酸基を有するモノマー、及び／又は「重合後に酸基を付与しうるモノマー」（以下「酸基を導入するためのモノマー」と称することもある。）を、モノマー成分として使用すればよい。なお、「重合後に酸基を付与しうるモノマー」をモノマー成分として使用する場合には、重合後に、後述するような酸基を付与するための処理が必要となる。

前記酸基を有するモノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸やイタコン酸等のカルボキシル基を有するモノマー；Ｎ−ヒドロキシフェニルマレイミド等のフェノール性水酸基を有するモノマー；無水マレイン酸、無水イタコン酸等のカルボン酸無水物基を有するモノマー等が挙げられるが、これらの中でも特に、（メタ）アクリル酸が好ましい。
前記重合後に酸基を付与しうるモノマーとしては、例えば、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート等の水酸基を有するモノマー；グリシジル（メタ）アクリレート等のエポキシ基を有するモノマー；２−イソシアナートエチル（メタ）アクリレート等のイソシアネート基を有するモノマー等が挙げられる。

これら酸基を導入するためのモノマーは、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。（Ａ２−４）樹脂を得る際のモノマー成分が、前記酸基を導入するためのモノマーをも含む場合、その含有割合は、通常は全モノマー成分中５〜７０質量％、好ましくは１０〜６０質量％である。
（Ａ２−４）樹脂を得る際のモノマー成分は、上記必須のモノマー成分のほかに、必要に応じて、他の共重合可能なモノマーを含んでいてもよい。

上述の通り、本発明の感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂として（Ａ１−１）、（Ａ１−２）、（Ａ２−１）、（Ａ２−２）、（Ａ２−３）、（Ａ２−４）の少なくとも何れかを含むのが好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物は、エチレン性不飽和基を含有するアルカリ可溶性樹脂として（Ａ１−１）、（Ａ１−２）、（Ａ２−１）、（Ａ２−３）の少なくとも何れかを含むのがさらに好ましい。本発明の感光性樹脂組成物は、エチレン性不飽和基を含有するアルカリ可溶性樹脂としてエポキシアクリレート樹脂である（Ａ１−１）、（Ａ１−２）の少なくとも何れかを含むのが特に好ましい。

本発明の感光性樹脂組成物は、その他のアルカリ可溶性樹脂を併用してもよい。
その他のアルカリ可溶性樹脂に制限は無く、カラーフィルター用感光性樹脂組成物に通常使用される樹脂から選択すれば良い。例えば、特開２００７−２７１７２７号公報、特開２００７−３１６６２０号公報、特開２００７−３３４２９０号公報などに記載のアルカリ可溶性樹脂などが挙げられる。

アルカリ可溶性樹脂（ａ）の含有量は、本発明の感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常５質量％以上、好ましくは１０質量％以上であり、通常８５質量％以下、好ましくは８０質量％以下である。アルカリ可溶性樹脂（ａ）の含有量が著しく少ないと、未露光部分の現像液に対する溶解性が低下し、現像不良を誘起させやすくなる傾向がある。逆に、アルカリ可溶性樹脂（ａ）の含有量が多すぎると、露光部への現像液の浸透性が高くなる傾向があり、画素のシャープ性や密着性が低下する場合がある。
尚、上述のように、本発明の感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂（ａ）として、前述の（Ａ１−１）、（Ａ１−２）、（Ａ２−１）、（Ａ２−２）、（Ａ２−３）及び（Ａ２−４）の少なくとも１種を含むのが好ましく、その他のアルカリ可溶性樹脂を含む場合、その含有割合は、アルカリ可溶性樹脂（ａ）の合計に対して、２０質量％以下、好ましくは１０質量％以下である。
アルカリ可溶性樹脂（ａ）としては、エチレン性不飽和基を有する（Ａ１−１）、（Ａ１−２）、（Ａ２−１）、（Ａ２−３）が、より好ましい。アルカリ可溶性樹脂（ａ）としては、エチレン性不飽和基を有するエポキシアクリレート樹脂である（Ａ１−１）、（Ａ１−２）が、特に好ましい。これらに樹脂は単独で用いても、２種以上併用して用いても良い。

＜光重合性モノマー（ｂ）＞
本発明の感光性樹脂組成物は、感度等の点から光重合性モノマー（ｂ）を含有する。
本発明に用いられる光重合性モノマーとしては、分子内にエチレン性不飽和基を少なくとも１個有する化合物（以下、「エチレン性単量体」と称することがある）を挙げることができる。具体的には、例えば（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリル酸アルキルエステル、アクリロニトリル、スチレン、及びエチレン性不飽和結合を１個有するカルボン酸と、多価又は１価アルコールのモノエステル、等が挙げられる。

本発明においては、特に、１分子中にエチレン性不飽和基を二個以上有する多官能エチレン性単量体を使用することが望ましい。
かかる多官能エチレン性単量体の例としては、例えば脂肪族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステル；芳香族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステル；脂肪族ポリヒドロキシ化合物、芳香族ポリヒドロキシ化合物等の多価ヒドロキシ化合物と、不飽和カルボン酸及び多塩基性カルボン酸とのエステル化反応により得られるエステルなどが挙げられる。

前記脂肪族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステルとしては、エチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールエタントリアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、グリセロールアクリレート等の脂肪族ポリヒドロキシ化合物のアクリル酸エステル、これら例示化合物のアクリレートをメタクリレートに代えたメタクリル酸エステル、同様にイタコネートに代えたイタコン酸エステル、クロネートに代えたクロトン酸エステルもしくはマレエートに代えたマレイン酸エステル等が挙げられる。

芳香族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステルとしては、ハイドロキノンジアクリレート、ハイドロキノンジメタクリレート、レゾルシンジアクリレート、レゾルシンジメタクリレート、ピロガロールトリアクリレート等の芳香族ポリヒドロキシ化合物のアクリル酸エステル及びメタクリル酸エステル等が挙げられる。
多塩基性カルボン酸及び不飽和カルボン酸と、多価ヒドロキシ化合物のエステル化反応により得られるエステルとしては必ずしも単一物ではないが、代表的な具体例を挙げれば、アクリル酸、フタル酸、及びエチレングリコールの縮合物、アクリル酸、マレイン酸、及びジエチレングリコールの縮合物、メタクリル酸、テレフタル酸及びペンタエリスリトールの縮合物、アクリル酸、アジピン酸、ブタンジオール及びグリセリンの縮合物等が挙げられる。

その他、本発明に用いられる多官能エチレン性単量体の例としては、ポリイソシアネート化合物と水酸基含有（メタ）アクリル酸エステル又はポリイソシアネート化合物とポリオール及び水酸基含有（メタ）アクリル酸エステルを反応させて得られるようなウレタン（メタ）アクリレート類；多価エポキシ化合物とヒドロキシ（メタ）アクリレート又は（メタ）アクリル酸との付加反応物のようなエポキシアクリレート類；エチレンビスアクリルアミド等のアクリルアミド類；フタル酸ジアリル等のアリルエステル類；ジビニルフタレート等のビニル基含有化合物等が有用である。
これらは１種を単独で用いても良く、２種以上を併用しても良い。

特に、基板との密着性の観点から、本発明で用いる光重合性モノマー（ｂ）は、下記一般式（ｂ１）〜（ｂ４）のいずれかで表される化合物を含むことが好ましい。

上記式中、Ｒ^bは下記式（ｂ５）に示す基であり、Ｒ⁹は炭素数１〜１０のアルキレン基、炭素数７〜１０のアリーレンアルキレン基、又は炭素数６〜１０のアリーレン基である。

上記式中、Ｒ⁶は主鎖の炭素数が２〜６の分岐があってもよいアルキレン基を表し、Ｒ⁷は水素原子又はメチル基を表す。ｍは０〜３の整数を表す。ｍが２又は３の場合、複数のＲ⁶は同じであっても異なっていてもよい。

前記一般式（ｂ３）におけるＲ⁸は、炭素数１〜６のアルキル基であるが、基板との密着性 の観点から、その炭素数は通常１以上、好ましくは２以上、また、好ましくは５以下、より好ましくは４以下である。炭素数１〜６のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、１−プロピル基、２−プロピル基、１−ブチル基、２−ブチル基、１−ペンチル基、１−ヘキシル基、シクロヘキシル基などが挙げられるが、これらの中でも基板との密着性の観点から、好ましくはメチル基又はエチル基であり、より好ましくはエチル基である。

前記一般式（ｂ４）において、Ｒ⁹のアルキレン基の炭素数は、基板との密着性の観点から、通常１以上、好ましくは２以上、また、好ましくは６以下、より好ましくは３以下である。炭素数１〜１０のアルキル基としては、例えば、
メチレン基、エチレン基、１，３−プロピレン基、１，２−プロピレン基、１，４−ブチレン基、１，２−ブチレン基、１，５−ペンチレン基、１，６−ヘキシレン基、シクロヘキシレン基、メチレンシクロヘキシレン基などが挙げられるが、これらの中でも基板との密着性の観点から、好ましくはメチレン基、エチレン基、又は１，３−プロピレン基であり、より好ましくはエチレン基である。
前記一般式（ｂ４）において、Ｒ⁹のアリーレンアルキレン基の炭素数は、基板との密着性の観点から、好ましくは７以上、また、好ましくは９以下である。炭素数７〜１０のアリーレンアルキレン基としては、例えば、フェニレンメチレン基、フェニレンエチレン基、フェニレンプロピレン基などが挙げられるが、これらの中でも基板との密着性の観点から、好ましくはフェニレンメチレン基、又はフェニレンエチレン基であり、より好ましくはフェニレンメチレン基である。
前記一般式（ｂ４）において、Ｒ⁹のアリーレン基の炭素数は、基板との密着性の観点から、好ましくは６以上、また、好ましくは１０以下である。炭素数６〜１０のアリーレン基としては、例えば、フェニレン基、ナフチレン基などが挙げられるが、これらの中でも基板との密着性の観点から、好ましくはフェニレン基である。
これらの中でも、基板との密着性の観点から、Ｒ⁹がメチレン基、エチレン基、又はプロピレン基であることが好ましく、エチレン基であることがより好ましい。

前記一般式（ｂ５）において、Ｒ⁶は主鎖の炭素数が２〜６の分岐があってもよいアルキレン基を表すが、基板との密着性の観点から、その炭素数は３以上が好ましく、４以上がより好ましく、また、６以下が好ましく、５以下がより好ましい。アルキレン基は分岐を有していても有していなくとも良いが、基板との密着性の観点からは分岐を有さないことが好ましい。主鎖の炭素数が２〜６の分岐があってもよいアルキレン基としては、例えば、メチレン基、エチレン基、１，３−プロピレン基、１，２−プロピレン基、１，４−ブチレン基、１，２−ブチレン基、１，３−ブチレン基、１，５−ペンチレン基、１，２−ペンチレン基、１，３−ペンチレン基、１，６−ヘキシレン基、シクロヘキシレン基などが挙げられるが、これらの中でも基板との密着性の観点から、好ましくは１，４−ブチレン基又は １，５−ペンチレン基であり、より好ましくは１，５−ペンチレン基である。

ｍは０〜３の整数を表す。上記一般式（ｂ１）〜（ｂ４）中にはＲ^b基が複数含まれるが、Ｒ^b基同士は同じであっても異なっていてもよい。基板との密着性の観点から、Ｒ^b同士が異なることが好ましく、ｍが異なるＲ^b基を有することがより好ましい。具体的には、ｍが０のＲ^b基（以下、Ｒ^b1基と略記する）と、ｍが１〜３のいずれかの整数のＲ^b基（以下、Ｒ^b2基と略記する）とを有することが好ましい。なお、Ｒ^b2基におけるｍは、基板との密着性の観点から１又は２であることが好ましく、１であることがより好ましい。

前記一般式（ｂ１）中に複数含まれるＲ^b基のうち、少なくとも１個がＲ^b2基であることが好ましく、少なくとも２個がＲ^b2基であることがより好ましい。
前記一般式（ｂ２）中に複数含まれるＲ^b基のうち、少なくとも１個がＲ^b2基であることが好ましく、少なくとも２個がＲ^b2基であることがより好ましい。
前記一般式（ｂ３）中に複数含まれるＲ^b基のうち、少なくとも１個がＲ^b2基であることが好ましく、少なくとも２個がＲ^b2基であることがより好ましい。
前記一般式（ｂ４）中に複数含まれるＲ^b基のうち、少なくとも１個がＲ^b2基であることが好ましく、少なくとも２個がＲ^b2基であることがより好ましい。

本発明の感光性樹脂組成物において、光重合性モノマー（ｂ）がこのような特定の化合物を含むことが好ましい理由は以下のとおりである。
このような特定化合物は、そのポリエステル構造の極性成分により、ガラス基板のシラノール基のような極性基と相互作用し基板との密着性を向上させると考えられる。さらに、この特定化合物が（メタ）アクリロイルオキシ基の不飽和基を有する有機ケイ素化合物（ｆ−１）と、カラーフィルター製造時の紫外線照射時や高熱処理時に架橋しさらに基板との密着性を大きく向上させることができると考えられる。
また、有機ケイ素化合物（ｆ−１）中のウレタン結合部位も、この特定化合物中のポリエステル構造の極性成分と、水素結合や電荷的な相互作用による結合を行い、さらに密着性を向上させることができると考えられる。

前記一般式（ｂ１）〜（ｂ４）で表される化合物は、下記一般式（ｂ１’）〜（ｂ４’）で示される多価アルコールの水酸基の一部もしくは全部にラクトン類を付加反応させ、次いで（メタ）アクリル化させて得ることが出来る。

上記式中、Ｒ⁸及びＲ⁹は前記一般式（ａ３）及び（ａ４）と同義である。

多価アルコールに付加反応させるラクトン類としては、β−プロピオラクトン、β−ブチロラクトン、γ−ブチロラクトン、α−メチル−γ−ブチロラクトン、γ−バレロラクトン、δ−バレロラクトン、α，α−ジメチル−γ−ブチロラクトン、ε−カプロラクトン、δ−ヘキサノラクトン、γ−ヘキサノラクトン、γ−ヘプタノラクトン等が挙げられる。この中でγ−ブチロラクトン、δ−バレロラクトン、ε−カプロラクトンが好ましく、特にε−カプロラクトンが好ましい。

これら一般式（ｂ１）〜（ｂ４）のいずれかで表される構造の化合物の光重合性モノマー（ｂ）は、単独で使用しても、複数の化合物を併用しても良い。また、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート等、一般式（ｂ１）〜（ｂ４）のいずれかで表される構造の化合物以外の光重合性単量体と併用して用いることも出来る。ただし、一般式（ｂ１）〜（ｂ４）のいずれかで表される構造の化合物以外の光重合性単量体を併用する場合、光重合性モノマー（ｂ）中の一般式（ｂ１）〜（ｂ４）のいずれかで表される構造の化合物以外の光重合性モノマーの割合は５０質量％以下、特に０〜２５質量％とすることが好ましい。

光重合性モノマー（ｂ）の割合は、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常９０質量％以下、好ましくは８０質量％以下である。光重合性モノマーの含有量が上記上限以下であることで、露光部への現像液の浸透性が適度となり良好な画像を得ることができる傾向にある。光重合性モノマー（ｂ）の含有量の下限は、通常１質量％以上、好ましくは５質量％以上である。上記下限以上であることで、紫外線照射による光硬化を向上させるとともにアルカリ現像性も良好となる傾向にある。

＜光重合開始剤（ｃ）＞
光重合開始剤は、光を直接吸収し、分解反応又は水素引き抜き反応を起こし、重合活性ラジカルを発生する機能を有する成分である。必要に応じて増感色素等の付加剤を添加して使用しても良い。

光重合開始剤としては、例えば、特開昭５９−１５２３９６号公報、特開昭６１−１５１１９７号各公報に記載のチタノセン化合物を含むメタロセン化合物；特開２０００−５６１１８号公報に記載のヘキサアリールビイミダゾール誘導体；特開平１０−３９５０３号公報記載のハロメチル化オキサジアゾール誘導体、ハロメチル−ｓ−トリアジン誘導体、Ｎ−フェニルグリシン等のＮ−アリール−α−アミノ酸類、Ｎ−アリール−α−アミノ酸塩類、Ｎ−アリール−α−アミノ酸エステル類等のラジカル活性剤、α−アミノアルキルフェノン誘導体；特開２０００−８００６８号公報、特開２００６−３６７５０号公報等に記載されているオキシムエステル誘導体等が挙げられる。

具体的には、例えば、チタノセン誘導体類としては、ジシクロペンタジエニルチタニウムジクロライド、ジシクロペンタジエニルチタニウムビスフェニル、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス（２，３，４，５，６−ペンタフルオロフェニ−１−イル）、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス（２，３，５，６−テトラフルオロフェニ−１−イル）、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス（２，４，６−トリフルオロフェニ−１−イル）、ジシクロペンタジエニルチタニウムジ（２，６−ジフルオロフェニ−１−イル）、ジシクロペンタジエニルチタニウムジ（２，４−ジフルオロフェニ−１−イル）、ジ（メチルシクロペンタジエニル）チタニウムビス（２，３，４，５，６−ペンタフルオロフェニ−１−イル）、ジ（メチルシクロペンタジエニル）チタニウムビス（２，６−ジフルオロフェニ−１−イル）、ジシクロペンタジエニルチタニウム〔２，６−ジ−フルオロ−３−（ピロ−１−イル）−フェニ−１−イル〕等が挙げられる。

また、ビイミダゾール誘導体類としては、２−（２’−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール２量体、２−（２’−クロロフェニル）−４，５−ビス（３’−メトキシフェニル）イミダゾール２量体、２−（２’−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール２量体、２−（２’−メトキシフエニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール２量体、（４’−メトキシフエニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール２量体等が挙げられる。

また、ハロメチル化オキサジアゾール誘導体類としては、２−トリクロロメチル−５−（２’−ベンゾフリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−〔β−（２’−ベンゾフリル）ビニル〕−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−〔β−（２’−（６”−ベンゾフリル）ビニル）〕−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−フリル−１，３，４−オキサジアゾール等が挙げられる。

また、ハロメチル−ｓ−トリアジン誘導体類としては、２−（４−メトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシナフチル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−エトキシナフチル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−エトキシカルボニルナフチル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン等が挙げられる。

また、α−アミノアルキルフェノン誘導体類としては、２−メチル−１〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルフォリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン−１、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル)ブタン−１−オン、４−ジメチルアミノエチルベンゾエ−ト、４−ジメチルアミノイソアミルベンゾエ−ト、４−ジエチルアミノアセトフェノン、４−ジメチルアミノプロピオフェノン、２−エチルヘキシル−１，４−ジメチルアミノベンゾエート、２，５−ビス（４−ジエチルアミノベンザル)シクロヘキサノン、７−ジエチルアミノ−３−（４−ジエチルアミノベンゾイル）クマリン、４−（ジエチルアミノ）カルコン等が挙げられる。

光重合開始剤としては、特に、感度の点でオキシム誘導体類（オキシム系及びケトオキシム系化合物）が有効であり、フェノール性水酸基を含むアルカリ可溶性樹脂を用いる場合などは、感度の点で不利になる場合があるため、特にこのような感度に優れたオキシム誘導体類（オキシム系及びケトオキシム系化合物）が有用である。オキシム誘導体類の中でも特に、基板との密着性の観点からオキシムエステルが好ましい。
オキシムエステルの光重合開始剤は、その構造の中に紫外線を吸収する構造と光エネルギーを伝達する構造とラジカルを発生する構造を併せ持っているために、少量で感度が高く、かつ熱反応に対しては安定であり、少量で高感度な感光性樹脂組成物の設計が可能である。特にカルバゾール基を含有するオキシムエステルの場合に、この構造特性が良好に発現されより好ましい。現在、市場では、遮光度が高く、薄膜なＢＭ（ブラックマトリックス）が要求されており、顔料濃度も、ますます大きくなっている。このような状況においては、特に有効である。

前述のとおり、有機ケイ素化合物（ｆ−１）は（メタ）アクリロイルオキシ基の不飽和基を有しており、これが感光性樹脂組成物に含まれるアルカリ可溶性樹脂や光重合性モノマー中の不飽和基と、カラーフィルター製造時の紫外線照射時や高熱処理時に架橋し、基板との密着性を大きく向上させることができると考えられる。特に感光性樹脂組成物中の開始剤が前記の特徴を持ったオキシムエステルを含有する場合は、その効果が相乗的に向上するものと考えられる。

オキシム系化合物としては、下記一般式（２２）で示される構造部分を含む化合物が挙げられ、好ましくは、下記一般式（２３）で示されるオキシムエステル系化合物が挙げられる。

上記式（２２）中、Ｒ²²は、それぞれ置換されていてもよい、炭素数２〜１２のアルカノイル基、炭素数１〜２０のヘテロアリールアルカノイル基、炭素数３〜２５のアルケノイル基、炭素数３〜８のシクロアルカノイル基、炭素数３〜２０のアルコキシカルボニルアルカノイル基、炭素数８〜２０のフェノキシカルボニルアルカノイル基、炭素数３〜２０のヘテロアリ−ルオキシカルボニルアルカノイル基、炭素数２〜１０のアミノアルキルカルボニル基、炭素数７〜２０のアリーロイル基、炭素数１〜２０のヘテロアリーロイル基、炭素数２〜１０のアルコキシカルボニル基、又は炭素数７〜２０のアリールオキシカルボニル基を示す。

（式（２３）中、Ｒ^21aは、水素、またはそれぞれ置換されていてもよい、炭素数１〜２０のアルキル基、炭素数２〜２５のアルケニル基、炭素数１〜２０のヘテロアリールアルキル基、炭素数３〜２０のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数８〜２０のフェノキシカルボニルアルキル基、炭素数１〜２０のヘテロアリールオキシカルボニルアルキル基もしくはヘテロアリールチオアルキル基、炭素数１〜２０のアミノアルキル基、炭素数２〜１２のアルカノイル基、炭素数３〜２５のアルケノイル基、炭素数３〜８のシクロアルカノイル基、炭素数７〜２０のアリーロイル基、炭素数１〜２０のヘテロアリーロイル基、炭素数２〜１０のアルコキシカルボニル基、炭素数７〜２０のアリールオキシカルボニル基、又は炭素数１〜１０のシクロアルキルアルキル基を示す。
Ｒ^21bは芳香環あるいはヘテロ芳香環を含む任意の置換基を示す。

なお、Ｒ^21aはＲ^21bと共に環を形成してもよく、その連結基は、それぞれ置換基を有していてもよい炭素数１〜１０のアルキレン基、ポリエチレン基（−（ＣＨ＝ＣＨ）_r−）、ポリエチニレン基（−（Ｃ≡Ｃ）_r−）あるいはこれらを組み合わせてなる基が挙げられる（なお、ｒは０〜３の整数である。）。
Ｒ^22aは、上記式（２２）のおけるＲ²²と同様の基を示す。
上記一般式（２２）におけるＲ²²及び上記一般式（２３）におけるＲ^22aとしては、好ましくは、炭素数２〜１２のアルカノイル基、炭素数１〜２０のヘテロアリールアルカノイル基、炭素数３〜８のシクロアルカノイル基が挙げられる。

上記一般式（２３）におけるＲ^21aとしては、好ましくは無置換のメチル基、エチル基、プロピル基などの直鎖アルキル基又はシクロアルキルアルキル基や、Ｎ−アセチル−Ｎ−アセトキシアミノ基で置換されたプロピル基が挙げられる。
また、上記一般式（２３）におけるＲ^21bとしては、好ましくは置換されていてもよいカルバゾール基、置換されていてもよいチオキサントニル基、置換されていてもよいフェニルスルフィド基が挙げられる。

オキシムエステル光重合開始剤（ｃ）としては、Ｒ^21bとして置換されていてもよいカルバゾール基を含有するものが、前述の理由からより好ましい。さらに、置換されていてもよい炭素数６〜２５のアリール基、置換されていてもよい炭素数７〜２５のアリールカルボニル基、置換されていてもよい炭素数５〜２５のヘテロアリール基、置換されていてもよい炭素数６〜２５のヘテロアリールカルボニル基、及びニトロ基からなる群から選ばれる少なくとも１種の基を有するカルバゾール基が好ましい。特に、ベンゾイル基、トルオイル基、ナフトイル基、チエニルカルボニル基、及びニトロ基からなる群から選ばれる少なくとも１種の基を有するカルバゾール基が好ましい。また、これらの基はカルバゾール基の３位に結合していることが望ましい。

このようなオキシムエステル光重合開始剤（ｃ）の市販品として、ＢＡＳＦ社製のＯＸＥ−０２、常州強力電子社製のＴＲ−ＰＢＧ−３０４やＴＲ−ＰＢＧ−３１４などがある。

オキシムエステル光重合開始剤（ｃ）として、本発明に好適なオキシムエステル系化合物として具体的には、以下に例示されるような化合物が挙げられるが、何らこれらの化合物に限定されるものではない。

ケトオキシム系化合物としては、下記一般式（２４）で示される構造部分を含む化合物が挙げられ、好ましくは、下記一般式（２５）で示されるオキシムエステル系化合物が挙げられる。

（上記一般式（２４）において、Ｒ²⁴は、前記一般式（２２）におけるＲ²²と同義である。）

（上記一般式（２５）において、Ｒ^23aは、それぞれ置換されていてもよい、フェニル基、炭素数１〜２０のアルキル基、炭素数２〜２５のアルケニル基、炭素数１〜２０のヘテロアリールアルキル基、炭素数３〜２０のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数８〜２０のフェノキシカルボニルアルキル基、炭素数２〜２０のアルキルチオアルキル基、炭素数１〜２０のヘテロアリールオキシカルボニルアルキル基もしくはヘテロアリールチオアルキル基、炭素数１〜２０のアミノアルキル基、炭素数２〜１２のアルカノイル基、炭素数３〜２５のアルケノイル基、炭素数３〜８のシクロアルカノイル基、炭素数７〜２０のアリーロイル基、炭素数１〜２０のヘテロアリーロイル基、炭素数２〜１０のアルコキシカルボニル基、炭素数７〜２０のアリールオキシカルボニル基、又は炭素数１〜１０のシクロアルキルアルキル基を示す。

Ｒ^23bは芳香環あるいはヘテロ芳香環を含む任意の置換基を示す。
なお、Ｒ^23aはＲ^23bと共に環を形成してもよく、その連結基は、それぞれ置換基を有していてもよい炭素数１〜１０のアルキレン基、ポリエチレン基（−（ＣＨ＝ＣＨ）_r−）、ポリエチニレン基（−（Ｃ≡Ｃ）_r−）あるいはこれらを組み合わせてなる基が挙げられる（なお、ｒは０〜３の整数である。）。

Ｒ^24aは、それぞれ置換されていてもよい、炭素数２〜１２のアルカノイル基、炭素数３〜２５のアルケノイル基、炭素数４〜８のシクロアルカノイル基、炭素数７〜２０のベンゾイル基、炭素数３〜２０のヘテロアリーロイル基、炭素数２〜１０のアルコキシカルボニル基、炭素数７〜２０のアリールオキシカルボニル基、炭素数２〜２０のヘテロアリール基、又は炭素数２〜２０のアルキルアミノカルボニル基を表す。）
上記一般式（２４）におけるＲ²⁴及び上記一般式（２５）におけるＲ^24aとしては、好ましくは、炭素数２〜１２のアルカノイル基、炭素数１〜２０のヘテロアリールアルカノイル基、炭素数３〜８のシクロアルカノイル基、炭素数７〜２０のアリーロイル基が挙げられる。

上記一般式（２５）におけるＲ^23aとしては、好ましくは無置換のエチル基、プロピル基、ブチル基や、メトキシカルボニル基で置換されたエチル基またはプロピル基が挙げられる。
また、上記一般式（２５）におけるＲ^23bとしては、好ましくは置換されていてもよいカルバゾイル基、置換されていてもよいフェニルスルフィド基が挙げられる。
本発明に好適なケトオキシムエステル系化合物として具体的には、以下に例示されるような化合物が挙げられるが、何らこれらの化合物に限定されるものではない。

このようなオキシムエステル光重合開始剤（ｃ）の市販品として、ＢＡＳＦ社製のＯＸＥ−０１、常州強力電子社製のＴＲ−ＰＢＧ−３０５などがある。

これらのオキシム及びケトオキシムエステル系化合物は、それ自体公知の化合物であり、例えば、特開２０００−８００６８号公報や、特開２００６−３６７５０号公報に記載されている一連の化合物の一種である。
上記光重合開始剤は１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。

その他に、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等のベンゾインアルキルエーテル類；２−メチルアントラキノン、２−エチルアントラキノン、２−ｔ−ブチルアントラキノン、１−クロロアントラキノン等のアントラキノン誘導体類；ベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、２−メチルベンゾフェノン、３−メチルベンゾフェノン、４−メチルベンゾフェノン、２−クロロベンゾフェノン、４−ブロモベンゾフェノン、２−カルボキシベンゾフェノン等のベンゾフェノン誘導体類；２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、１−ヒドロキシシクロへキシルフェニルケトン、α−ヒドロキシ−２−メチルフェニルプロパノン、１−ヒドロキシ−１−メチルエチル−（ｐ−イソプロピルフェニル）ケトン、１−ヒドロキシ−１−（ｐ−ドデシルフェニル）ケトン、２−メチル−（４’−メチルチオフェニル）−２−モルホリノ−１−プロパノン、１，１，１−トリクロロメチル−（ｐ−ブチルフェニル）ケトン等のアセトフェノン誘導体類；チオキサントン、２−エチルチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２，４−ジメチルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン誘導体類；ｐ−ジメチルアミノ安息香酸エチル、ｐ−ジエチルアミノ安息香酸エチル等の安息香酸エステル誘導体類；９−フェニルアクリジン、９−（ｐ−メトキシフェニル）アクリジン等のアクリジン誘導体類；９，１０−ジメチルベンズフェナジン等のフェナジン誘導体類；ベンズアンスロン等のアンスロン誘導体類等も挙げられる。
これらの光重合開始剤の中では、前述の理由からオキシムエステル誘導体類が特に好ましい。

＜増感色素＞
光重合開始剤には、必要に応じて、感応感度を高める目的で、画像露光光源の波長に応じた増感色素を併用させることができる。これら増感色素としては、特開平４−２２１９５８号、同４−２１９７５６号公報に記載のキサンテン色素、特開平３−２３９７０３号、同５−２８９３３５号公報に記載の複素環を有するクマリン色素、特開平３−２３９７０３号、同５−２８９３３５号に記載の３−ケトクマリン化合物、特開平６−１９２４０号公報に記載のピロメテン色素、その他、特開昭４７−２５２８号、同５４−１５５２９２号、特公昭４５−３７３７７号、特開昭４８−８４１８３号、同５２−１１２６８１号、同５８−１５５０３号、同６０−８８００５号、同５９−５６４０３号、特開平２−６９号、特開昭５７−１６８０８８号、特開平５−１０７７６１号、特開平５−２１０２４０号、特開平４−２８８８１８号公報に記載のジアルキルアミノベンゼン骨格を有する色素等を挙げることができる。

これらの増感色素のうち好ましいものは、アミノ基含有増感色素であり、更に好ましいものは、アミノ基及びフェニル基を同一分子内に有する化合物である。特に、好ましいのは、例えば、４，４’−ジメチルアミノベンゾフェノン、４，４’−ジエチルアミノベンゾフェノン、２−アミノベンゾフェノン、４−アミノベンゾフェノン、４，４’−ジアミノベンゾフェノン、３，３’−ジアミノベンゾフェノン、３，４−ジアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン系化合物；２−（ｐ−ジメチルアミノフェニル）ベンゾオキサゾール、２−（ｐ−ジエチルアミノフェニル）ベンゾオキサゾール、２−（ｐ−ジメチルアミノフェニル）ベンゾ［４，５］ベンゾオキサゾール、２−（ｐ−ジメチルアミノフェニル）ベンゾ［６，７］ベンゾオキサゾール、２，５−ビス（ｐ−ジエチルアミノフェニル）１，３，４−オキサゾール、２−（ｐ−ジメチルアミノフェニル）ベンゾチアゾール、２−（ｐ−ジエチルアミノフェニル）ベンゾチアゾール、２−（ｐ−ジメチルアミノフェニル）ベンズイミダゾール、２−（ｐ−ジエチルアミノフェニル）ベンズイミダゾール、２，５−ビス（ｐ−ジエチルアミノフェニル）１，３，４−チアジアゾール、（ｐ−ジメチルアミノフェニル）ピリジン、（ｐ−ジエチルアミノフェニル）ピリジン、（ｐ−ジメチルアミノフェニル）キノリン、（ｐ−ジエチルアミノフェニル）キノリン、（ｐ−ジメチルアミノフェニル）ピリミジン、（ｐ−ジエチルアミノフェニル）ピリミジン等のｐ−ジアルキルアミノフェニル基含有化合物等である。
このうち最も好ましいものは、４，４’−ジアルキルアミノベンゾフェノンである。
増感色素もまた１種を単独で用いても良く、２種以上を併用しても良い。

光重合開始剤（ｃ）の含有量は、本発明の感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常０．１質量％以上、好ましくは０．５質量％以上、更に好ましくは０．７質量以上であり、通常３０質量％以下、好ましくは２０質量％以下である。光重合開始剤（ｃ）の含有量が少なすぎると感度低下を起こすことがあり、反対に多すぎると未露光部分の現像液に対する溶解性が低下し、現像不良を誘起させやすい。
特に、光重合開始剤（ｃ）中のオキシムエステルが占める割合は、通常１０質量％以上であり、好ましくは５０質量％以上、より好ましくは９０質量％以上である。前記下限値以上とすることで、本願の感光性樹脂組成物として、本発明の有機ケイ素化合物（ｆ−１）とアルカリ可溶性樹脂と組み合わせたとき、紫外線照射後、基板との密着性をさらに向上できる傾向がある。

光重合開始剤（ｃ）と共に加速剤を用いる場合、加速剤の含有量は、本発明の感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常０質量％以上、好ましくは０．０２質量％以上で、通常１０質量％以下、好ましくは５質量％以下であり、加速剤は、光重合開始剤（ｃ）に対して０．１〜５０質量％、特に０．１〜１０質量％の割合で用いることが好ましい。光重合開始剤（ｃ）と加速剤等よりなる光重合開始剤系成分の配合割合が著しく低いと露光光線に対する感度が低下する原因となることがあり、反対に著しく高いと未露光部分の現像液に対する溶解性が低下し、現像不良を誘起させることがある。

また、増感色素を用いる場合、本発明の感光性樹脂組成物中に占める増感色素の配合割合は感光性樹脂組成物中の全固形分中、通常０〜２０質量％、好ましくは０〜１５質量％、更に好ましくは０〜１０質量％である。

＜色材（ｄ）＞
本発明の感光性樹脂組成物は、カラーフィルターの画素やブラックマトリックスの形成等に用いられる場合には、色材を含有する。色材は、本発明の感光性樹脂組成物を着色するものをいう。色材としては、染顔料が使用できるが、耐熱性、耐光性等の点から顔料が好ましい。

顔料としては青色顔料、緑色顔料、赤色顔料、黄色顔料、紫色顔料、オレンジ顔料、ブラウン顔料、黒色顔料等各種の色の顔料を使用することができる。また、その構造としてはアゾ系、フタロシアニン系、キナクリドン系、ベンズイミダゾロン系、イソインドリノン系、ジオキサジン系、インダンスレン系、ペリレン系等の有機顔料の他に種々の無機顔料等も利用可能である。

以下に、本発明に使用できる顔料の具体例をピグメントナンバーで示す。なお、以下に挙げる「Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２」等の用語は、カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）を意味する。
赤色顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１、２、３、４、５、６、７、８、９、１２、１４、１５、１６、１７、２１、２２、２３、３１、３２、３７、３８、４１、４７、４８、４８：１、４８：２、４８：３、４８：４、４９、４９：１、４９：２、５０：１、５２：１、５２：２、５３、５３：１、５３：２、５３：３、５７、５７：１、５７：２、５８：４、６０、６３、６３：１、６３：２、６４、６４：１、６８、６９、８１、８１：１、８１：２、８１：３、８１：４、８３、８８、９０：１、１０１、１０１：１、１０４、１０８、１０８：１、１０９、１１２、１１３、１１４、１２２、１２３、１４４、１４６、１４７、１４９、１５１、１６６、１６８、１６９、１７０、１７２、１７３、１７４、１７５、１７６、１７７、１７８、１７９、１８１、１８４、１８５、１８７、１８８、１９０、１９３、１９４、２００、２０２、２０６、２０７、２０８、２０９、２１０、２１４、２１６、２２０、２２１、２２４、２３０、２３１、２３２、２３３、２３５、２３６、２３７、２３８、２３９、２４２、２４３、２４５、２４７、２４９、２５０、２５１、２５３、２５４、２５５、２５６、２５７、２５８、２５９、２６０、２６２、２６３、２６４、２６５、２６６、２６７、２６８、２６９、２７０、２７１、２７２、２７３、２７４、２７５、２７６を挙げることができる。この中でも、好ましくはＣ．Ｉ．ピグメントレッド４８：１、１２２、１６８、１７７、２０２、２０６、２０７、２０９、２２４、２４２、２５４、更に好ましくはＣ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、２０９、２２４、２５４を挙げることができる。

青色顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１、１：２、９、１４、１５、１５：１、１５：２、１５：３、１５：４、１５：６、１６、１７、１９、２５、２７、２８、２９、３３、３５、３６、５６、５６：１、６０、６１、６１：１、６２、６３、６６、６７、６８、７１、７２、７３、７４、７５、７６、７８、７９を挙げることができる。この中でも、好ましくはＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５、１５：１、１５：２、１５：３、１５：４、１５：６、更に好ましくはＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６を挙げることができる。
緑色顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン１、２、４、７、８、１０、１３、１４、１５、１７、１８、１９、２６、３６、４５、４８、５０、５１、５４、５５を挙げることができる。この中でも、好ましくはＣ．Ｉ．ピグメントグリーン７、３６、５８を挙げることができる。

黄色顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１、１：１、２、３、４、５、６、９、１０、１２、１３、１４、１６、１７、２４、３１、３２、３４、３５、３５：１、３６、３６：１、３７、３７：１、４０、４１、４２、４３、４８、５３、５５、６１、６２、６２：１、６３、６５、７３、７４、７５、８１、８３、８７、９３、９４、９５、９７、１００、１０１、１０４、１０５、１０８、１０９、１１０、１１１、１１６、１１７、１１９、１２０、１２６、１２７、１２７：１、１２８、１２９、１３３、１３４、１３６、１３８、１３９、１４２、１４７、１４８、１５０、１５１、１５３、１５４、１５５、１５７、１５８、１５９、１６０、１６１、１６２、１６３、１６４、１６５、１６６、１６７、１６８、１６９、１７０、１７２、１７３、１７４、１７５、１７６、１８０、１８１、１８２、１８３、１８４、１８５、１８８、１８９、１９０、１９１、１９１：１、１９２、１９３、１９４、１９５、１９６、１９７、１９８、１９９、２００、２０２、２０３、２０４、２０５、２０６、２０７、２０８を挙げることができる。この中でも、好ましくはＣ．Ｉ．ピグメントイエロー８３、１１７、１２９、１３８、１３９、１５０、１５４、１５５、１８０、１８５、更に好ましくはＣ．Ｉ．ピグメントイエロー８３、１３８、１３９、１５０、１８０を挙げることができる。

オレンジ顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１、２、５、１３、１６、１７、１９、２０、２１、２２、２３、２４、３４、３６、３８、３９、４３、４６、４８、４９、６１、６２、６４、６５、６７、６８、６９、７０、７１、７２、７３、７４、７５、７７、７８、７９を挙げることができる。この中でも、好ましくは、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３８、７１を挙げることができる。

紫色顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１、１：１、２、２：２、３、３：１、３：３、５、５：１、１４、１５、１６、１９、２３、２５、２７、２９、３１、３２、３７、３９、４２、４４、４７、４９、５０を挙げることができる。この中でも、好ましくはＣ．Ｉ．ピグメントバイオレット１９、２３、更に好ましくはＣ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３を挙げることができる。

また、本発明の感光性樹脂組成物が、カラーフィルターの樹脂ブラックマトリックス用感光性樹脂組成物である場合、色材（ｄ）としては、黒色の色材を用いることができる。黒色色材は、黒色色材を単独でも良く、又は赤、緑、青等の混合によるものでも良い。また、これら色材は無機又は有機の顔料、染料の中から適宜選択することができる。
黒色色材を調製するために混合使用可能な色材としては、ビクトリアピュアブルー（４２５９５）、オーラミンＯ（４１０００）、カチロンブリリアントフラビン（ベーシック１３）、ローダミン６ＧＣＰ（４５１６０）、ローダミンＢ（４５１７０）、サフラニンＯＫ７０：１００（５０２４０）、エリオグラウシンＸ（４２０８０）、Ｎｏ．１２０／リオノールイエロー（２１０９０）、リオノールイエローＧＲＯ（２１０９０）、シムラーファーストイエロー８ＧＦ（２１１０５）、ベンジジンイエロー４Ｔ−５６４Ｄ（２１０９５）、シムラーファーストレッド４０１５（１２３５５）、リオノールレッド７Ｂ４４０１（１５８５０）、ファーストゲンブルーＴＧＲ−Ｌ（７４１６０）、リオノールブルーＳＭ（２６１５０）、リオノールブルーＥＳ（ピグメントブルー１５：６）、リオノーゲンレッドＧＤ（ピグメントレッド１６８）、リオノールグリーン２ＹＳ（ピグメントグリーン３６）等が挙げられる（なお、上記の（ ）内の数字は、カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）を意味する）。

また、更に他の混合使用可能な顔料についてＣ．Ｉ．ナンバーにて示すと、例えば、Ｃ．Ｉ．黄色顔料２０、２４、８６、９３、１０９、１１０、１１７、１２５、１３７、１３８、１４７、１４８、１５３、１５４、１６６、Ｃ．Ｉ．オレンジ顔料３６、４３、５１、５５、５９、６１、Ｃ．Ｉ．赤色顔料９、９７、１２２、１２３、１４９、１６８、１７７、１８０、１９２、２１５、２１６、２１７、２２０、２２３、２２４、２２６、２２７、２２８、２４０、Ｃ．Ｉ．バイオレット顔料１９、２３、２９、３０、３７、４０、５０、Ｃ．Ｉ．青色顔料１５、１５：１、１５：４、２２、６０、６４、Ｃ．Ｉ．緑色顔料７、Ｃ．Ｉ．ブラウン顔料２３、２５、２６等を挙げることができる。

また、単独使用可能な黒色色材としては、カーボンブラック、アセチレンブラック、ランプブラック、ボーンブラック、黒鉛、鉄黒、アニリンブラック、シアニンブラック、チタンブラック等が挙げられる。
これらの色材（ｄ）の中では、感光性樹脂組成物が黒色の色材を用いる場合には、カーボンブラックが遮光率、画像特性の観点から好ましい。カーボンブラックの例としては、以下のようなカーボンブラックが挙げられる。

三菱化学社製：ＭＡ７、ＭＡ７７、ＭＡ８、ＭＡ１１、ＭＡ１００、ＭＡ１００Ｒ、ＭＡ２２０、ＭＡ２３０、ＭＡ６００、＃５、＃１０、＃２０、＃２５、＃３０、＃３２、＃３３、＃４０、＃４４、＃４５、＃４７、＃５０、＃５２、＃５５、＃６５０、＃７５０、＃８５０、＃９５０、＃９６０、＃９７０、＃９８０、＃９９０、＃１０００、＃２２００、＃２３００、＃２３５０、＃２４００、＃２６００、＃３０５０、＃３１５０、＃３２５０、＃３６００、＃３７５０、＃３９５０、＃４０００、＃４０１０、ＯＩＬ７Ｂ、ＯＩＬ９Ｂ、ＯＩＬ１１Ｂ、ＯＩＬ３０Ｂ、ＯＩＬ３１Ｂ デグサ社製：Ｐｒｉｎｔｅｘ（登録商標。以下同じ。）３、Ｐｒｉｎｔｅｘ３ＯＰ、Ｐｒｉｎｔｅｘ３０、Ｐｒｉｎｔｅｘ３０ＯＰ、Ｐｒｉｎｔｅｘ４０、Ｐｒｉｎｔｅｘ４５、Ｐｒｉｎｔｅｘ５５、Ｐｒｉｎｔｅｘ６０、Ｐｒｉｎｔｅｘ７５、Ｐｒｉｎｔｅｘ８０、Ｐｒｉｎｔｅｘ８５、Ｐｒｉｎｔｅｘ９０、Ｐｒｉｎｔｅｘ Ａ、Ｐｒｉｎｔｅｘ Ｌ、Ｐｒｉｎｔｅｘ Ｇ、Ｐｒｉｎｔｅｘ Ｐ、Ｐｒｉｎｔｅｘ Ｕ、Ｐｒｉｎｔｅｘ Ｖ、ＰｒｉｎｔｅｘＧ、ＳｐｅｃｉａｌＢｌａｃｋ５５０、ＳｐｅｃｉａｌＢｌａｃｋ３５０、ＳｐｅｃｉａｌＢｌａｃｋ２５０、ＳｐｅｃｉａｌＢｌａｃｋ１００、ＳｐｅｃｉａｌＢｌａｃｋ６、ＳｐｅｃｉａｌＢｌａｃｋ５、ＳｐｅｃｉａｌＢｌａｃｋ４、Ｃｏｌｏｒ Ｂｌａｃｋ ＦＷ１、Ｃｏｌｏｒ Ｂｌａｃｋ ＦＷ２、Ｃｏｌｏｒ Ｂｌａｃｋ ＦＷ２Ｖ、Ｃｏｌｏｒ Ｂｌａｃｋ ＦＷ１８、Ｃｏｌｏｒ Ｂｌａｃｋ ＦＷ１８、Ｃｏｌｏｒ Ｂｌａｃｋ ＦＷ２００、Ｃｏｌｏｒ Ｂｌａｃｋ Ｓ１６０、Ｃｏｌｏｒ Ｂｌａｃｋ Ｓ１７０ キャボット社製：Ｍｏｎａｒｃｈ（登録商標。以下同じ。）１２０、Ｍｏｎａｒｃｈ２８０、Ｍｏｎａｒｃｈ４６０、Ｍｏｎａｒｃｈ８００、Ｍｏｎａｒｃｈ８８０、Ｍｏｎａｒｃｈ９００、Ｍｏｎａｒｃｈ１０００、Ｍｏｎａｒｃｈ１１００、Ｍｏｎａｒｃｈ１３００、Ｍｏｎａｒｃｈ１４００、Ｍｏｎａｒｃｈ４６３０、ＲＥＧＡＬ（登録商標。以下同じ。）９９、ＲＥＧＡＬ９９Ｒ、ＲＥＧＡＬ４１５、ＲＥＧＡＬ４１５Ｒ、ＲＥＧＡＬ２５０、ＲＥＧＡＬ２５０Ｒ、ＲＥＧＡＬ３３０、ＲＥＧＡＬ４００Ｒ、ＲＥＧＡＬ５５Ｒ０、ＲＥＧＡＬ６６０Ｒ、ＢＬＡＣＫ ＰＥＡＲＬＳ４８０、ＰＥＡＲＬＳ１３０、ＶＵＬＣＡＮ（登録商標） ＸＣ７２Ｒ、ＥＬＦＴＥＸ（登録商標）−８

コロンビヤンカーボン社製：ＲＡＶＥＮ１１、ＲＡＶＥＮ１４、ＲＡＶＥＮ１５、ＲＡＶＥＮ１６、ＲＡＶＥＮ２２ＲＡＶＥＮ３０、ＲＡＶＥＮ３５、ＲＡＶＥＮ４０、ＲＡＶＥＮ４１０、ＲＡＶＥＮ４２０、ＲＡＶＥＮ４５０、ＲＡＶＥＮ５００、ＲＡＶＥＮ７８０、ＲＡＶＥＮ８５０、ＲＡＶＥＮ８９０Ｈ、ＲＡＶＥＮ１０００、ＲＡＶＥＮ１０２０、ＲＡＶＥＮ１０４０、ＲＡＶＥＮ１０６０Ｕ、ＲＡＶＥＮ１０８０Ｕ、ＲＡＶＥＮ１１７０、ＲＡＶＥＮ１１９０Ｕ、ＲＡＶＥＮ１２５０、ＲＡＶＥＮ１５００、ＲＡＶＥＮ２０００、ＲＡＶＥＮ２５００Ｕ、ＲＡＶＥＮ３５００、ＲＡＶＥＮ５０００、ＲＡＶＥＮ５２５０、ＲＡＶＥＮ５７５０、ＲＡＶＥＮ７０００
他の黒色顔料の例としては、チタンブラック、アニリンブラック、酸化鉄系黒色顔料、及び、赤色、緑色、青色の三色の有機顔料を混合して黒色顔料として用いることができる。

カーボンブラックは、樹脂で被覆されたものを使用しても構わない。樹脂で被覆されたカーボンブラックを使用すると、ガラス基板への密着性や体積抵抗値を向上させる効果がある。樹脂で被覆されたカーボンブラックとしては、例えば特開平０９−７１７３３号公報に記載されているカーボンブラック等が好適に使用できる。
被覆処理するカーボンブラックとしては、ＮａとＣａの合計含有量が１００ｐｐｍ以下であることが好ましい。カーボンブラックは、通常製造時の原料油や燃焼油（又はガス）、反応停止水や造粒水、更には反応炉の炉材等から混入したＮａや、Ｃａ，Ｋ，Ｍｇ，Ａｌ，Ｆｅ等を組成とする灰分がパーセントのオーダーで含有されている。この内、ＮａやＣａは、各々数百ｐｐｍ以上含有されているのが一般的であるが、これらが多く存在すると、透明電極（ＩＴＯ）やその他の電極に浸透し、電気的短絡の原因となる場合があるからである。

これらのＮａやＣａを含む灰分の含有量を低減する方法としては、カーボンブラックを製造する際の原料油や燃料油（又はガス）並びに反応停止水として、これらの含有量が極力少ない物を厳選すること及びストラクチャーを調整するアルカリ物質の添加量を極力少なくすることにより可能である。他の方法としては、炉から製出したカーボンブラックを水や塩酸等で洗いＮａやＣａを溶解し除去する方法が挙げられる。

また、顔料として、硫酸バリウム、硫酸鉛、酸化チタン、黄色鉛、ベンガラ、酸化クロム等を用いることもできる。これら各種の顔料は、複数種を併用することもできる。例えば、色度の調整のために、緑色顔料と黄色顔料とを併用したり、青色顔料と紫色顔料とを併用することができる。

＜顔料の粒径＞
本発明に用いられる顔料の平均粒径としては、カラーフィルターの着色層とした場合に、所望の発色が可能なものであればよく、特に限定されず、用いる顔料の種類によっても異なるが、１０〜１００ｎｍの範囲内であることが好ましく、１０〜７０ｎｍの範囲内であることがより好ましい。該顔料の平均粒径が上記範囲であることにより、本発明の感光性樹脂組成物を用いて製造された液晶表示装置の色特性を高品質なものとすることができる。
また、顔料がカーボンブラックの場合の顔料平均粒径は、６０ｎｍ以下が好ましく、５０ｎｍ以下がさらに好ましい。また、顔料がカーボンブラックの場合の顔料平均粒径は、２０ｎｍ以上が好ましい。顔料が大きくなりすぎると、散乱が大きくなり、遮光性やコントラストなどの色特性が低下する傾向がある。また、顔料粒径が小さすぎると、分散剤の量が多く必要になり、分散性が低下してくる傾向がある。
なお、上記顔料の平均粒径は、電子顕微鏡写真から一次粒子の大きさを直接計測する方法で求めることができる。具体的には、個々の一次粒子の短軸径と長軸径を計測し、その平均をその粒子の粒径とする。次に、１００個以上の粒子について、それぞれの粒子の体積（質量）を、求めた粒径の直方体と近似して求め、体積平均粒径を求めそれを平均粒径とする。なお、電子顕微鏡は透過型（ＴＥＭ）または走査型（ＳＥＭ）のいずれを用いても同じ結果を得ることができる。

また、本願の感光性樹脂組成物は、少なくとも顔料を含むことが好ましいが、その他に、本願効果に影響を及ぼさない範囲で染料を併用しても良い。併用できる染料としては、アゾ系染料、アントラキノン系染料、フタロシアニン系染料、キノンイミン系染料、キノリン系染料、ニトロ系染料、カルボニル系染料、メチン系染料等が挙げられる。

アゾ系染料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．アシッドイエロー１１、Ｃ．Ｉ．アシッドオレンジ７、Ｃ．Ｉ．アシッドレッド３７、Ｃ．Ｉ．アシッドレッド１８０、Ｃ．Ｉ．アシッドブルー２９、Ｃ．Ｉ．ダイレクトレッド２８、Ｃ．Ｉ．ダイレクトレッド８３、Ｃ．Ｉ．ダイレクトイエロー１２、Ｃ．Ｉ．ダイレクトオレンジ２６、Ｃ．Ｉ．ダイレクトグリーン２８、Ｃ．Ｉ．ダイレクトグリーン５９、Ｃ．Ｉ．リアクティブイエロー２、Ｃ．Ｉ．リアクティブレッド１７、Ｃ．Ｉ．リアクティブレッド１２０、Ｃ．Ｉ．リアクティブブラック５、Ｃ．Ｉ．ディスパースオレンジ５、Ｃ．Ｉ．ディスパースレッド５８、Ｃ．Ｉ．ディスパースブルー１６５、Ｃ．Ｉ．ベーシックブルー４１、Ｃ．Ｉ．ベーシックレッド１８、Ｃ．Ｉ．モルダントレッド７、Ｃ．Ｉ．モルダントイエロー５、Ｃ．Ｉ．モルダントブラック７等が挙げられる。

アントラキノン系染料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．バットブルー４、Ｃ．Ｉ．アシッドブルー４０、Ｃ．Ｉ．アシッドグリーン２５、Ｃ．Ｉ．リアクティブブルー１９、Ｃ．Ｉ．リアクティブブルー４９、Ｃ．Ｉ．ディスパースレッド６０、Ｃ．Ｉ．ディスパースブルー５６、Ｃ．Ｉ．ディスパースブルー６０等が挙げられる。
この他、フタロシアニン系染料として、例えば、Ｃ．Ｉ．パッドブルー５等が、キノンイミン系染料として、例えば、Ｃ．Ｉ．ベーシックブルー３、Ｃ．Ｉ．ベーシックブルー９等が、キノリン系染料として、例えば、Ｃ．Ｉ．ソルベントイエロー３３、Ｃ．Ｉ．アシッドイエロー３、Ｃ．Ｉ．ディスパースイエロー６４等が、ニトロ系染料として、例えば、Ｃ．Ｉ．アシッドイエロー１、Ｃ．Ｉ．アシッドオレンジ３、Ｃ．Ｉ．ディスパースイエロー４２等が挙げられる。

色材（ｄ）の含有量は、感光性樹脂組成物中の全固形分量に対して通常１〜７０質量％の範囲で選ぶことができる。この範囲の中では、２０質量％以上がより好ましく、４０質量％以上がさらに好ましく、また、７０質量％以下がより好ましい。

本発明の感光性樹脂組成物は、前述したように種々な用途に使用することができるが、優れた画像形成性は、カラーフィルター用ブラックマトリックスの形成に使用した場合に、特に効果的である。ブラックマトリックス形成に使用する場合には色材（ｄ）として、前述したカーボンブラックやチタンブラック等の黒色色材を使用するか、黒色以外の色材を複数種類混合し黒色に調整して使用すれば良い。その中でもカーボンブラックを使用することが、特に好ましい。

本発明は特に黒色顔料の顔料濃度が大きくなる領域で効果が大きい。特に近年は遮光度を上げるために黒色顔料濃度を多くする必要がある。上記、効果の大きい領域の黒色顔料の含有量は着色感光性樹脂組成物の固形分に対し４０質量％以上の領域である。４５質量％以上であることが、より効果が大きく、５０質量％以上であることが、さらに効果が大きく発揮できる。

感光性樹脂組成物において、黒色顔料が上記含有量の範囲内で含有されることにより、遮光性（光学密度、ＯＤ値）の高い着色感光性樹脂組成物を得ることができる。具体的には、黒色顔料の含有量を４５質量％以上とすることにより、本発明の感光性樹脂組成物を用いて厚さ１μｍのブラックマトリックスを形成した場合における光学濃度を４．０以上の値とすることができる。光学濃度は、より好ましくは４．２以上である。遮光性が高い領域では、紫外線が深部に透過しにくく、光重合による架橋が、特に基板と細線の密着する部分で弱いが、本願の感光性樹脂組成物を用いた場合は、特に顔料濃度が大きく場合に、本願効果をよく確認できる。顔料濃度としては４０〜６５質量％が特に効果的である。色材の含有量が少なすぎると、色濃度に対する膜厚が大きくなりすぎて、液晶セル化の際のギャップ制御などに悪影響を及ぼす場合がある。また、逆に色材の含有量が多すぎると、十分な画像形成性が得られなくなることがある。

なお感光性樹脂組成物において、色材（ｄ）に対する量は、アルカリ可溶性樹脂（ａ）１００質量部あたり、通常２０〜５００質量部、好ましくは３０〜３００質量部、より好ましくは４０〜２００質量部の範囲である。色材（ｄ）に対するアルカリ可溶性樹脂（ａ）の含有量が低すぎると、未露光部分の現像液に対する溶解性が低下し、現像不良を誘起させやすく、著しく高いと、所望の画素膜厚が得られ難くなる傾向がある。

＜分散剤（ｅ）＞
本発明においては、色材を微細に分散させ、且つその分散状態を安定化させることが品質の安定性確保には重要なため、分散剤を含むことが好ましい。
分散剤としては、官能基を有する高分子分散剤が好ましく、更には、分散安定性の面からカルボキシル基；リン酸基；スルホン酸基；又はこれらの塩基；一級、二級又は三級アミノ基；四級アンモニウム塩基；ピリジン、ピリミジン、ピラジン等の含窒素ヘテロ環由来の基、等の官能基を有する高分子分散剤が好ましい。中でも特に、一級、二級又は三級アミノ基；四級アンモニウム塩基；ピリジン、ピリミジン、ピラジン等の含窒素ヘテロ環由来の基、等の塩基性官能基を有する高分子分散剤が特に好ましい。これら塩基性官能基を有する高分子分散剤を使用することにより、分散性を良好にでき、高い遮光性を達成できる傾向がある。

また高分子分散剤としては、例えばウレタン系分散剤、アクリル系分散剤、ポリエチレンイミン系分散剤、ポリアリルアミン系分散剤、アミノ基を持つモノマーとマクロモノマーからなる分散剤、ポリオキシエチレンアルキルエーテル系分散剤、ポリオキシエチレンジエステル系分散剤、ポリエーテルリン酸系分散剤、ポリエステルリン酸系分散剤、ソルビタン脂肪族エステル系分散剤、脂肪族変性ポリエステル系分散剤等を挙げることができる。

このような分散剤の具体例としては、商品名で、ＥＦＫＡ（登録商標。エフカーケミカルズビーブイ（ＥＦＫＡ）社製。）、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ（登録商標。ビックケミー社製。）、ディスパロン（登録商標。楠本化成社製。）、ＳＯＬＳＰＥＲＳＥ（登録商標。ルーブリゾール社製。）、ＫＰ（信越化学工業社製）、ポリフロー又はフローレン（登録商標。共栄社化学社製。）、アジスパー（登録商標。味の素ファインテクノ社製。）等を挙げることができる。
これらの高分子分散剤は１種を単独で使用してもよく、又は２種以上を併用してもよい。

これらの内、密着性及び直線性の面から、分散剤（ｅ）は塩基性官能基を有するウレタン系高分子分散剤及び／又はアクリル系高分子分散剤を含むことが、特に好ましい。特にはウレタン系高分子分散剤が密着性の面で好ましい。また分散性、保存性の面から、塩基性官能基を有し、ポリエステル及び／又はポリエーテル結合を有する高分子分散剤が好ましい。

本発明の有機ケイ素化合物（ｆ−１）は、前述のように、その有機シラン部位、ウレタン結合部位、エチレン性不飽和基部位が相乗的に作用して、高温高湿度下や室温下での硬化物と基板との密着性を向上させる。この有機ケイ素化合物（ｆ−１）のウレタン結合部位が、ウレタン系高分子分散剤のウレタン結合部位と水素結合などの親和力で結合をつくり、さらに基板との密着性を向上させることができると考えられる。そのために、本発明にはウレタン系高分子分散剤が特に好ましい。

高分子分散剤の重量平均分子量（Ｍｗ）は通常７００以上、好ましくは１０００以上であり、また通常１００，０００以下、好ましくは５０，０００以下であり、３０，０００以下が特別に好ましい。重量平均分子量が３０，０００以下であることにより、顔料濃度が高い時でもアルカリ現像性が良好となる傾向がある。
ウレタン系及びアクリル系高分子分散剤としては、例えばＤｉｓｐｅｒｂｙｋ１６０〜１６７、１８２シリーズ（いずれもウレタン系）、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ２０００，２００１等（いずれもアクリル系）（以上すべてビックケミー社製）が挙げられる。上記の塩基性官能基を有し、ポリエステル及び／又はポリエーテル結合を有するウレタン系高分子分散剤で重量平均分子量３０，０００以下の得に好ましいものとしてＤｉｓｐｅｒｂｙｋ１６７、１８２などが上げられる。

（ウレタン系高分子分散剤）
ウレタン系高分子分散剤として好ましい化学構造を具体的に例示するならば、例えば、ポリイソシアネート化合物と、分子内に水酸基を１個又は２個有する数平均分子量３００〜１０，０００の化合物と、同一分子内に活性水素と３級アミノ基を有する化合物とを反応させることによって得られる、重量平均分子量１，０００〜２００，０００の分散樹脂等が挙げられる。

上記のポリイソシアネート化合物の例としては、パラフェニレンジイソシアネート、２，４−トリレンジイソシアネート、２，６−トリレンジイソシアネート、４，４′−ジフェニルメタンジイソシアネート、ナフタレン−１，５−ジイソシアネート、トリジンジイソシアネート等の芳香族ジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、リジンメチルエステルジイソシアネート、２，４，４−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、ダイマー酸ジイソシアネート等の脂肪族ジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、４，４′−メチレンビス（シクロヘキシルイソシアネート）、ω，ω′−ジイソシネートジメチルシクロヘキサン等の脂環族ジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、α，α，α′，α′−テトラメチルキシリレンジイソシアネート等の芳香環を有する脂肪族ジイソシアネート、リジンエステルトリイソシアネート、１，６，１１−ウンデカントリイソシアネート、１，８−ジイソシアネート−４−イソシアネートメチルオクタン、１，３，６−ヘキサメチレントリイソシアネート、ビシクロヘプタントリイソシアネート、トリス（イソシアネートフェニルメタン）、トリス（イソシアネートフェニル）チオホスフェート等のトリイソシアネート、及びこれらの３量体、水付加物、及びこれらのポリオール付加物等が挙げられる。ポリイソシアネートとして好ましいのは有機ジイソシアネートの三量体で、最も好ましいのはトリレンジイソシアネートの三量体とイソホロンジイソシアネートの三量体である。これらは１種を単独で用いても良く、２種以上を併用しても良い。

イソシアネートの三量体の製造方法としては、前記ポリイソシアネート類を適当な三量化触媒、例えば第３級アミン類、ホスフィン類、アルコキシド類、金属酸化物、カルボン酸塩類等を用いてイソシアネート基の部分的な三量化を行い、触媒毒の添加により三量化を停止させた後、未反応のポリイソシアネートを溶剤抽出、薄膜蒸留により除去して目的のイソシアヌレート基含有ポリイソシアネートを得る方法が挙げられる。

同一分子内に水酸基を１個又は２個有する数平均分子量３００〜１０，０００の化合物としては、ポリエーテルグリコール、ポリエステルグリコール、ポリカーボネートグリコール、ポリオレフィングリコール等、及びこれらの化合物の片末端水酸基が炭素数１〜２５のアルキル基でアルコキシ化されたもの及びこれら２種類以上の混合物が挙げられる。

ポリエーテルグリコールとしては、ポリエーテルジオール、ポリエーテルエステルジオール、及びこれら２種類以上の混合物が挙げられる。ポリエーテルジオールとしては、アルキレンオキシドを単独又は共重合させて得られるもの、例えばポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリエチレン−プロピレングリコール、ポリオキシテトラメチレングリコール、ポリオキシヘキサメチレングリコール、ポリオキシオクタメチレングリコール及びそれらの２種以上の混合物が挙げられる。

ポリエーテルエステルジオールとしては、エーテル基含有ジオールもしくは他のグリコールとの混合物をジカルボン酸又はそれらの無水物と反応させるか、又はポリエステルグリコールにアルキレンオキシドを反応させることによって得られるもの、例えばポリ（ポリオキシテトラメチレン）アジペート等が挙げられる。ポリエーテルグリコールとして最も好ましいのはポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリオキシテトラメチレングリコール又はこれらの化合物の片末端水酸基が炭素数１〜２５のアルキル基でアルコキシ化された化合物である。

ポリエステルグリコールとしては、ジカルボン酸（コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、セバシン酸、フマル酸、マレイン酸、フタル酸等）又はそれらの無水物とグリコール（エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール、１，２−ブタンジオール、１，３−ブタンジオール、１，４−ブタンジオール、２，３−ブタンジオール、３−メチル−１，５−ペンタンジオール、ネオペンチルグリコール、２−メチル−１，３−プロパンジオール、２−メチル−２−プロピル−１，３−プロパンジオール、２−ブチル−２−エチル−１，３−プロパンジオール、１，５−ペンタンジオール、１，６−ヘキサンジオール、２−メチル−２，４−ペンタンジオール、２，２，４−トリメチル−１，３−ペンタンジオール、２−エチル−１，３−ヘキサンジオール、２，５−ジメチル−２，５−ヘキサンジオール、１，８−オクタメチレングリコール、２−メチル−１，８−オクタメチレングリコール、１，９−ノナンジオール等の脂肪族グリコール、ビスヒドロキシメチルシクロヘキサン等の脂環族グリコール、キシリレングリコール、ビスヒドロキシエトキシベンゼン等の芳香族グリコール、Ｎ−メチルジエタノールアミン等のＮ−アルキルジアルカノールアミン等）とを重縮合させて得られたもの、例えばポリエチレンアジペート、ポリブチレンアジペート、ポリヘキサメチレンアジペート、ポリエチレン／プロピレンアジペート等、又は前記ジオール類又は炭素数１〜２５の１価アルコールを開始剤として用いて得られるポリラクトンジオール又はポリラクトンモノオール、例えばポリカプロラクトングリコール、ポリメチルバレロラクトン及びこれらの２種以上の混合物が挙げられる。ポリエステルグリコールとして最も好ましいのはポリカプロラクトングリコール又は炭素数１〜２５のアルコールを開始剤としたポリカプロラクトンである。

ポリカーボネートグリコールとしては、ポリ（１，６−ヘキシレン）カーボネート、ポリ（３−メチル−１，５−ペンチレン）カーボネート等、ポリオレフィングリコールとしてはポリブタジエングリコール、水素添加型ポリブタジエングリコール、水素添加型ポリイソプレングリコール等が挙げられる。
これらは１種を単独で用いても良く、２種以上を併用しても良い。

同一分子内に水酸基を１個又は２個有する化合物の数平均分子量は、通常３００〜１０，０００、好ましくは５００〜６，０００、更に好ましくは１，０００〜４，０００である。
本発明に用いられる同一分子内に活性水素と３級アミノ基を有する化合物を説明する。活性水素、即ち、酸素原子、窒素原子又はイオウ原子に直接結合している水素原子としては、水酸基、アミノ基、チオール基等の官能基中の水素原子が挙げられ、中でもアミノ基、特に１級のアミノ基の水素原子が好ましい。

３級アミノ基は、特に限定されないが、例えば炭素数１〜４のアルキル基を有するアミノ基、又はヘテロ環構造、より具体的にはイミダゾール環又はトリアゾール環、などが挙げられる。
このような同一分子内に活性水素と３級アミノ基を有する化合物を例示するならば、Ｎ，Ｎ−ジメチル−１，３−プロパンジアミン、Ｎ，Ｎ−ジエチル−１，３−プロパンジアミン、Ｎ，Ｎ−ジプロピル−１，３−プロパンジアミン、Ｎ，Ｎ−ジブチル−１，３−プロパンジアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルエチレンジアミン、Ｎ，Ｎ−ジエチルエチレンジアミン、Ｎ，Ｎ−ジプロピルエチレンジアミン、Ｎ，Ｎ−ジブチルエチレンジアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチル−１，４−ブタンジアミン、Ｎ，Ｎ−ジエチル−１，４−ブタンジアミン、Ｎ，Ｎ−ジプロピル−１，４−ブタンジアミン、Ｎ，Ｎ−ジブチル−１，４−ブタンジアミン等が挙げられる。

また、３級アミノ基が含窒素ヘテロ環構造である場合の該含窒素ヘテロ環としては、ピラゾール環、イミダゾール環、トリアゾール環、テトラゾール環、インドール環、カルバゾール環、インダゾール環、ベンズイミダゾール環、ベンゾトリアゾール環、ベンゾオキサゾール環、ベンゾチアゾール環、ベンゾチアジアゾール環等のＮ含有ヘテロ５員環、ピリジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、トリアジン環、キノリン環、アクリジン環、イソキノリン環等の含窒素ヘテロ６員環が挙げられる。これらの含窒素ヘテロ環のうち好ましいものはイミダゾール環又はトリアゾール環である。

これらのイミダゾール環とアミノ基を有する化合物を具体的に例示するならば、１−（３−アミノプロピル）イミダゾール、ヒスチジン、２−アミノイミダゾール、１−（２−アミノエチル）イミダゾール等が挙げられる。また、トリアゾール環とアミノ基を有する化合物を具体的に例示するならば、３−アミノ−１，２，４−トリアゾール、５−（２−アミノ−５−クロロフェニル）−３−フェニル−１Ｈ−１，２，４−トリアゾール、４−アミノ−４Ｈ−１，２，４−トリアゾール−３，５−ジオール、３−アミノ−５−フェニル−１Ｈ−１，３，４−トリアゾール、５−アミノ−１，４−ジフェニル−１，２，３−トリアゾール、３−アミノ−１−ベンジル−１Ｈ−２，４−トリアゾール等が挙げられる。中でも、Ｎ，Ｎ−ジメチル−１，３−プロパンジアミン、Ｎ，Ｎ−ジエチル−１，３−プロパンジアミン、１−（３−アミノプロピル）イミダゾール、３−アミノ−１，２，４−トリアゾールが好ましい。

これらは１種を単独で用いても良く、２種以上を併用しても良い。
ウレタン系高分子分散剤を製造する際の原料の好ましい配合比率はポリイソシアネート化合物１００質量部に対し、同一分子内に水酸基を１個又は２個有する数平均分子量３００〜１０，０００の化合物が１０〜２００質量部、好ましくは２０〜１９０質量部、更に好ましくは３０〜１８０質量部、同一分子内に活性水素と３級アミノ基を有する化合物が０．２〜２５質量部、好ましくは０．３〜２４質量部である。

ウレタン系高分子分散剤の製造はポリウレタン樹脂製造の公知の方法に従って行われる。製造する際の溶媒としては、通常、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、イソホロン等のケトン類、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸セロソルブ等のエステル類、ベンゼン、トルエン、キシレン、ヘキサン等の炭化水素類、ダイアセトンアルコール、イソプロパノール、第二ブタノール、第三ブタノール等一部のアルコール類、塩化メチレン、クロロホルム等の塩化物、テトラヒドロフラン、ジエチルエーテル等のエーテル類、ジメチルホルムアミド、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルスルホキサイド等の非プロトン性極性溶媒等が用いられる。これらは１種を単独で用いても良く、２種以上を併用しても良い。

上記製造に際して、通常、ウレタン化反応触媒が用いられる。この触媒としては、例えば、ジブチルチンジラウレート、ジオクチルチンジラウレート、ジブチルチンジオクトエート、スタナスオクトエート等の錫系、鉄アセチルアセトナート、塩化第二鉄等の鉄系、トリエチルアミン、トリエチレンジアミン等の３級アミン系等の１種又は２種以上が挙げられる。

＜アミン価の測定方法＞
分散剤の３級アミン価は、分散剤試料中の溶剤を除いた固形分１ｇあたりの塩基量と当量のＫＯＨの質量で表し、次の方法により測定することができる。
１００ｍＬのビーカーに分散剤試料の０．５〜１．５ｇを精秤し、５０ｍＬの酢酸で溶解する。ｐＨ電極を備えた自動滴定装置を使って、この溶液を０．１ｍｏｌ／ＬのＨＣｌＯ₄（過塩素酸）酢酸溶液にて中和滴定する。滴定ｐＨ曲線の変曲点を滴定終点とし次式によりアミン価を求める。

アミン価［ｍｇＫＯＨ／ｇ］＝（５６１×Ｖ）／（Ｗ×Ｓ）
〔但し、Ｗ：分散剤試料秤取量［ｇ］、Ｖ：滴定終点での滴定量［ｍＬ］、Ｓ：分散剤試料の固形分濃度［質量％］を表す。〕
同一分子内に活性水素と３級アミノ基を有する化合物の導入量は反応後のアミン価で１〜１００ｍｇＫＯＨ／ｇの範囲に制御するのが好ましい。より好ましくは５〜９５ｍｇＫＯＨ／ｇの範囲である。アミン価は、塩基性アミノ基を酸により中和滴定し、酸価に対応させてＫＯＨのｍｇ数で表した値である。アミン価が上記範囲より低いと分散能力が低下する傾向があり、また、上記範囲を超えると現像性が低下しやすくなる。

なお、以上の反応で高分子分散剤にイソシアネート基が残存する場合には更に、アルコールやアミノ化合物でイソシアネート基を潰すと生成物の経時安定性が高くなるので好ましい。
ウレタン系高分子分散剤の重量平均分子量（Ｍｗ）は通常１，０００〜２００，０００、好ましくは２，０００〜１００，０００、より好ましくは３，０００〜５０，０００の範囲である。特に３０，０００以下が好ましい。この分子量が１，０００未満では分散性及び分散安定性が劣り、２００，０００を超えると溶解性が低下し分散性が劣ると同時に反応の制御が困難となる傾向がある。分子量が３０，０００以下であると、特に顔料濃度の高い場合でも、アルカリ現像性が良好となる傾向がある。このような特に好ましい市販のウレタン分散剤の例としてＤｉｓｐｅｒｂｙｋ１６７、１８２（ビックケミー社）などが挙げられる。

（アクリル系高分子分散剤）
アクリル系高分子分散剤としては、官能基（ここでいう官能基とは、高分子分散剤に含有される官能基として前述した官能基である。）を有する不飽和基含有単量体と、官能基を有さない不飽和基含有単量体とのランダム重合体、グラフト共重合体、ブロック共重合体を使用することが好ましい。これらの共重合体は公知の方法で製造することができる。

官能基を有する不飽和基含有単量体としては、（メタ）アクリル酸、２−（メタ）アクリロイロキシエチルコハク酸、２−（メタ）アクリロイロキシエチルフタル酸、２−（メタ）アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタル酸、アクリル酸ダイマー等のカルボキシル基を有する不飽和単量体、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ジエチルアミノエチル（メタ）アクリレート及びこれらの４級化物などの３級アミノ基、４級アンモニウム塩基を有する不飽和単量体が具体例として挙げられる。これらは１種を単独で用いても良く、２種以上を併用しても良い。

官能基を有さない不飽和基含有単量体としては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｔ−ブチル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、フェノキシメチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、トリシクロデカン（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、Ｎ−ビニルピロリドン、スチレン及びその誘導体、α−メチルスチレン、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−ベンジルマレイミドなどのＮ−置換マレイミド、アクリロニトリル、酢酸ビニル及びポリメチル（メタ）アクリレートマクロモノマー、ポリスチレンマクロモノマー、ポリ２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートマクロモノマー、ポリエチレングリコールマクロモノマー、ポリプロピレングリコールマクロモノマー、ポリカプロラクトンマクロモノマーなどのマクロモノマー等が挙げられる。これらは１種を単独で用いても良く、２種以上を併用しても良い。

（アクリル系ブロック共重合体）
本発明の感光性樹脂組成物は、着色剤の分散性の向上、分散安定性の向上のために、分散剤として窒素原子を含有するアクリル系ブロック共重合体を用いてもよい。このような窒素原子を含有するアクリル系ブロック共重合体は、それに含まれる窒素原子が着色剤表面に対して親和性を持ち、窒素原子以外の部分が媒質に対する親和性を高めることにより、全体として分散安定性の向上に寄与するものと推定される。
分散剤の性能は、その固体表面に対する吸着挙動である。ブロック共重合体が吸着挙動に優れている理由は、詳しいメカニズムは不明だが、以下のことが推察される。

即ち、通常のランダム共重合体の場合、共重合体を構成するモノマーは、共重合時において、立体的に、及び／又は電気的に共重合体中に安定的に配置される確立が高くなる。モノマーが安定的に配置された部分（分子）は、立体的に、及び／又は電気的に安定しているため、着色剤に吸着するとき、かえって障害となる場合がある。これに対し、ブロック共重合体のように分子配列が制御された樹脂は、分散剤の吸着を妨げる部分を、顔料と分散剤との吸着部から離れた位置に配置することができる。つまり、着色剤と分散剤との吸着部には吸着に最適な部分を、溶媒親和性が必要な部分にはそれに適した部分を配置することができる。特に結晶子サイズの小さい着色剤を含有する色材の分散は、この分子配置が良好な分散性に影響するものと推察される。

窒素原子を含有するアクリル系ブロック共重合体は、本発明に用いられる着色剤を極めて効率よく分散しうる点で好ましい。その理由は明らかではないが、分子配列が制御されていることにより、分散剤が着色剤に吸着する際に障害となる構造が少ないためと推察される。アクリル系ブロック共重合体としては、側鎖に４級アンモニウム塩基及び／又はアミノ基を有するＡブロックと、４級アンモニウム塩基及びアミノ基を有さないＢブロックからなる、Ａ−Ｂブロック共重合体及び／又はＢ−Ａ−Ｂブロック共重合体が好ましい。

Ａブロックが４級アンモニウム塩基を有する場合、当該４級アンモニウム塩基は、好ましくは−Ｎ⁺Ｒ⁵¹Ｒ⁵²Ｒ⁵³・Ｍ^-（但し、Ｒ⁵¹、Ｒ⁵²及びＲ⁵³は、各々独立に、水素原子、又は置換されていてもよい環状若しくは鎖状の炭化水素基を表す。或いは、Ｒ⁵¹、Ｒ⁵²及びＲ⁵³のうち２つ以上が互いに結合して、環状構造を形成していてもよい。Ｍ^-は、対アニオンを表す。）で表される。この４級アンモニウム塩基は、直接主鎖に結合していてもよいが、２価の連結基を介して主鎖に結合していてもよい。

−Ｎ⁺Ｒ⁵¹Ｒ⁵²Ｒ⁵³において、Ｒ⁵¹、Ｒ⁵²及びＲ⁵³のうち２つ以上が互いに結合して形成する環状構造としては、例えば５〜７員環の含窒素複素環単環又はこれらが２個縮合してなる縮合環が挙げられる。該含窒素複素環は芳香性を有さないものが好ましく、飽和環であればより好ましい。具体的には、例えば下記のものが挙げられる。これらの環状構造は、更に置換基を有していてもよい。

上記式中、ＲはＲ⁵¹〜Ｒ⁵³のうち何れかの基を表す。
−Ｎ⁺Ｒ⁵¹Ｒ⁵²Ｒ⁵³におけるＲ⁵¹〜Ｒ⁵³として、より好ましいのは、置換基を有していてもよい炭素数１〜３のアルキル基、又は置換基を有していてもよいフェニル基、又は置換基を有していてもよいベンジル基である。
又、４級アンモニウム塩基を有するＡブロックとしては、特に、下記一般式（ＶＩ）で表される部分構造を含有するものが好ましい。

上記式（ＶＩ）中、Ｒ⁵¹、Ｒ⁵²、Ｒ⁵³は各々独立に、水素原子、又は置換されていてもよい環状若しくは鎖状の炭化水素基を表す。或いは、Ｒ⁵¹、Ｒ⁵²及びＲ⁵³のうち２つ以上が互いに結合して、環状構造を形成していてもよい。Ｒ⁵⁴は、水素原子又はメチル基を表す。Ｘは、２価の連結基を表し、Ｍ^-は、対アニオンを表す。
上記一般式（ＶＩ）において、Ｒ⁵¹、Ｒ⁵²、Ｒ⁵³の炭化水素基は、それぞれ独立して、炭素数１〜１０のアルキル基、炭素数６〜２０の芳香族基を有する置換基が好ましい。具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ベンジル基、フェニル基等を挙げることができる。中でもメチル基、エチル基、プロピル基、ベンジル基が好ましい。

上記一般式（ＶＩ）において、２価の連結基Ｘとしては、例えば、炭素数１〜１０のアルキレン基、アリーレン基、−ＣＯＮＨ−Ｒ⁵⁵−、−ＣＯＯ−Ｒ⁵⁶−（但し、Ｒ⁵⁵及びＲ⁵⁶は、直接結合、炭素数１〜１０のアルキレン基、又は炭素数１〜１０のエーテル基（−Ｒ⁵⁷−Ｏ−Ｒ⁵⁸−：Ｒ⁵⁷及びＲ⁵⁸は、各々独立にアルキレン基）を表す。）
等が挙げられ、好ましくは−ＣＯＯ−Ｒ⁵⁶−である。

また、対アニオンのＭ^-としては、Ｃｌ^-、Ｂｒ^-、Ｉ^-、ＣｌＯ₄ ^-、ＢＦ₄ ^-、ＣＨ₃ＣＯＯ^-、ＰＦ₆ ^-等が挙げられる。
上記の如き特定の４級アンモニウム塩基を含有する部分構造は、１つのＡブロック中に２種以上含有されていてもよい。その場合、２種以上の４級アンモニウム塩基含有部分構造は、該Ａブロック中においてランダム共重合又はブロック共重合の何れの態様で含有されていてもよい。また、該４級アンモニウム塩基を含有しない部分構造が、Ａブロック中に含まれていてもよく、該部分構造の例としては、後述の（メタ）アクリル酸エステル系モノマー由来の部分構造等が挙げられる。

かかる４級アンモニウム塩基を含まない部分構造の、Ａブロック中の含有量は、好ましくは０〜５０質量％、より好ましくは０〜２０質量％であるが、かかる４級アンモニウム塩基非含有部分構造はＡブロック中に含まれないことが最も好ましい。
尚、上述するアクリル系ブロック共重合体のＡブロックは、４級化されていない未反応の３級アミノ基を有していてもよい。

Ａブロックがアミノ基を有する場合、アミノ基は１〜３級のいずれでもよい。当該１〜３級アミノ基を有する単量体の含有割合は、当該アクリル系ブロック共重合体を構成する単量体組成において、２０モル％以上であることが好適であり、より好ましくは５０モル％以上である。
このアミノ基は、直接主鎖に結合していてもよいが、２価の連結基を介して主鎖に結合していてもよい。

又、上記１〜３級アミノ基としては、好ましくは−ＮＲ⁶¹Ｒ⁶²（但し、Ｒ⁶¹及びＲ⁶²は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい環状又は鎖状のアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基、又は置換基を有していてもよいアラルキル基を示す。）で表され、又、これを含む部分構造（繰返し単位）として好ましいものは、例えば下記一般式で表されるような構造が挙げられる。

但し、Ｒ⁶¹及びＲ⁶²は、上記のＲ⁶¹及びＲ⁶²と同義であり、Ｒ⁶³は炭素数１以上のアルキレン基、Ｒ⁶⁴は水素原子又はメチル基を示す。
中でも、Ｒ⁶¹及びＲ⁶²はメチル基が好ましく、Ｒ⁶³はメチレン基、エチレン基が好ましく、Ｒ⁶⁴は水素原子もしくはメチル基であるのが好ましい。このような部分構造としては下記一般式で表されるジメチルアミノエチルアクリレートやジメチルアミノエチルメタアクリレート由来の構造等が、特に好適に用いられる。

上記一般式中、Ｒ⁶⁴は前述と同義である。
更に、上記アミノ基を含有する部分構造は、１つのＡブロック中に２種以上含有されていてもよい。その場合、２種以上のアミノ基含有部分構造は、該Ａブロック中においてランダム共重合又はブロック共重合の何れの態様で含有されていてもよい。又、アミノ基を含有しない部分構造が、Ａブロック中に一部含まれていてもよく、そのような部分構造の例としては、（メタ）アクリル酸エステル系モノマー由来の部分構造等が挙げられる。係るアミノ基を含まない部分構造の、Ａブロック中の含有量は、好ましくは０〜５０質量％、より好ましくは０〜２０質量％であるが、係るアミノ基非含有部分構造はＡブロック中に含まれないことが最も好ましい。

Ａブロック中に４級アンモニウム塩基又はアミノ基のいずれか一方を有してもよく、両方を有してもよい。
一方、アクリル系ブロック共重合体を構成するＢブロックは、上述した４級アンモニウム塩基及びアミノ基を有さず、上述したＡブロックを構成するモノマーと共重合しうるモノマーから成るものであれば、特に制限は無い。Ｂブロックは、顔料吸着基となる窒素原子含有官能基を有さない親溶媒性の部位であり、溶媒に親和性があるため、分散剤に吸着した顔料を溶媒中に安定化させる働きがある。

Ｂブロックとしては、例えば、スチレン、α−メチルスチレンなどのスチレン系モノマー；（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、グリシジル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、エチルアクリル酸グリシジル、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレートなどの（メタ）アクリル酸エステル系モノマー；（メタ）アクリル酸クロライドなどの（メタ）アクリル酸塩系モノマー；（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロールアクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチルアクリルアミドなどの（メタ）アクリルアミド系モノマー；酢酸ビニル；アクリロニトリル；アリルグリシジルエーテル、クロトン酸グリシジルエーテル；Ｎ−メタクリロイルモルホリン、などのコモノマーを共重合させたポリマー構造が挙げられる。

Ｂブロックとしては、特に下記式（ＶＩＩＩ）で表される、（メタ）アクリル酸エステル系モノマー由来の部分構造を含有するものが好ましい。

上記式（ＶＩＩＩ）中、Ｒ⁶¹は、水素原子又はメチル基を表す。Ｒ⁶²は、置換基を有していてもよい環状又は鎖状のアルキル基、置換基を有していてもよいアリル基、又は置換基を有していてもよいアラルキル基を表す。
上記（メタ）アクリル酸エステル系モノマー由来の部分構造は、１つのＢブロック中に２種以上含有されていてもよい。もちろん該Ｂブロックは、更にこれら以外の部分構造を含有していてもよい。２種以上のモノマー由来の部分構造が、４級アンモニウム塩基を含有しないＢブロック中に存在する場合、各部分構造は該Ｂブロック中においてランダム共重合又はブロック共重合の何れの態様で含有されていてもよい。

Ｂブロック中に上記（メタ）アクリル酸エステル系モノマー由来の部分構造以外の部分構成を含有する場合、当該（メタ）アクリル酸エステル系モノマー以外の部分構造の、Ｂブロック中の含有量は、好ましくは０〜９９質量％、より好ましくは０〜８５質量％である。
本発明で用いるアクリル系分散剤は、このようなＡブロックとＢブロックとからなる、Ａ−Ｂブロック又はＢ−Ａ−Ｂブロック共重合型高分子化合物であるが、このようなブロック共重合体は、例えばリビング重合法にて調製される。

リビング重合法にはアニオンリビング重合法、カチオンリビング重合法、ラジカルリビング重合法がある。例えば、特開２００７−２７０１４７号公報に記載の方法が挙げられる。
尚、上記アクリル系ブロック共重合体のアミン価は、有効固形分換算で通常１〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇ程度であるが、その好ましい範囲は、Ａブロックが４級アンモニウム塩基を有する場合とそうでない場合とで異なる。なお、アミン価は、共重合体１ｇ中のアミノ基を中和するのに必要な酸のモル当量に対応したＫＯＨのｍｇ数で表した値である。

即ち、本発明に係るＡ−Ｂブロック共重合体及びＢ−Ａ−Ｂブロック共重合体において、Ａブロックが４級アンモニウム塩基を有する場合、当該共重合体１ｇ中の４級アンモニウム塩基の量は、通常０．１〜１０ｍｍｏｌであることが好ましく、この範囲外では、良好な耐熱性と分散性を兼備することができない場合がある。
なお、このようなブロック共重合体中には、通常、製造過程で生じたアミノ基が含有される場合があるが、そのアミン価は通常１〜１００ｍｇＫＯＨ／ｇ程度、好ましくは１〜８０ｍｇＫＯＨ／ｇ。より好ましくは１〜５０ｍｇＫＯＨ／ｇである。

又、Ａブロックに４級アンモニウム塩基を含まない場合、当該共重合体のアミン価は、通常、５０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇ程度、好ましくは５０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇ、より好ましくは８０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下、更に好ましくは９０〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇである。
このようなアクリル系ブロック共重合体の酸価は、該酸価の元となる酸性基の有無及び種類にもよるが、一般に低い方が好ましく、通常１００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であり、好ましくは５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下、より好ましくは４０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下である。

また、アクリル系ブロック共重合体の分子量は、ＧＰＣで測定したポリスチレン換算の重量平均分子量（Ｍｗ）では、通常１０００以上、１００，０００以下の範囲である。アクリル系ブロック共重合体の分子量が小さすぎると分散安定性が低下し、大きすぎると現像性、解像性が低下する傾向にある。
本発明においては、上述のものと同様の構造を有する市販のアクリル系ブロック共重合体を適用することもできる。

（窒素原子を含有するグラフト共重合体）
窒素原子を含有するグラフト共重合体としては、主鎖に窒素原子を含有する繰り返し単位を有するものが好ましい。中でも、下記一般式（ｉ）で表される繰り返し単位又は／及び下記一般式（ｉｉ）で表される繰り返し単位を有することが好ましい。

（一般式（ｉ）、（ｉｉ）中、Ｒ⁹¹は、メチレン、エチレン、プロピレン等の直鎖状又は分岐状の炭素数１〜５のアルキレン基を表し、好ましくは炭素数２〜３のアルキレン基であり、更に好ましくはエチレン基である。Ａは水素原子又は下記一般式（ｉｉｉ）〜（ｖ）のいずれかを表すが、好ましくは下記一般式（ｉｉｉ）である。）

（一般式（ｉｉｉ）中、Ｗ¹は炭素数２〜１０の直鎖状又は分岐状のアルキレン基を表し、中でもブチレン、ペンチレン、ヘキシレン等の炭素数４〜７のアルキレン基が好ましい。ｐは１〜２０の整数を表し、好ましくは５〜１０の整数である。）

（一般式（ｉｖ）中、Ｇ¹は２価の連結基を表し、中でもエチレン、プロピレン等の炭素数１〜４のアルキレン基とエチレンオキシ、プロピレンオキシ等の炭素数１〜４のアルキレンオキシ基が好ましい。Ｗ²はエチレン、プロピレン、ブチレン等の直鎖状又は分岐状の炭素数２〜１０のアルキレン基を表し、中でもエチレン、プロピレン等の炭素数２〜３のアルキレン基が好ましい。Ｇ²は水素原子又は−ＣＯ−Ｒ⁹²（Ｒ⁹²はエチル、プロピル、ブチル、ペンチル、ヘキシル等の炭素数１〜１０のアルキル基を表し、中でもエチル、プロピル、ブチル、ペンチル等の炭素数２〜５のアルキル基が好ましい）を表す。ｑは、１〜２０の整数を表し、好ましくは５〜１０の整数である。）

（一般式（ｖ）中、Ｗ³は炭素数１〜５０のアルキル基又は水酸基を１〜５有する炭素数１〜５０のヒドロキシアルキル基を表し、中でもステアリル等の炭素数１０〜２０のアルキル基、モノヒドロキシステアリル等の水酸基を１〜２個有する炭素数１０〜２０のヒドロキシアルキル基が好ましい。）

窒素原子を含有するグラフト共重合体における一般式（ｉ）又は（ｉｉ）で表される繰り返し単位の含有率は、高い方が好ましく、合計で通常５０モル％以上であり、好ましくは７０モル％以上である。一般式（ｉ）で表される繰り返し単位と、一般式（ｉｉ）で表される繰り返し単位の、両方を併有してもよく、その含有比率に特に制限は無いが、好ましくは一般式（ｉ）の繰り返し単位の方を多く含有していた方が好ましい。グラフト共重合体中の一般式（ｉ）又は一般式（ｉｉ）で表される繰り返し単位の合計数は、１以上、好ましくは１０以上、更に好ましくは２０以上で、通常１００以下、好ましくは７０以下、更に好ましくは５０以下である。また、グラフト共重合体中には一般式（ｉ）及び一般式（ｉｉ）以外の繰り返し単位を含んでいてもよく、他の繰り返し単位としては、例えばアルキレン基、アルキレンオキシ基等が例示できる。本発明におけるグラフト共重合体は、その末端が−ＮＨ₂及び−Ｒ⁹¹−ＮＨ₂（Ｒ⁹¹は、一般式（ｉ）、（ｉｉ）におけると同義）のものが好ましい。

なお、上述したようなグラフト共重合体であれば、主鎖が直鎖状であっても分岐していてもよい。

このグラフト共重合体のＧＰＣで測定した質量平均分子量としては、３，０００以上、特に５，０００以上が好ましく、１００，０００以下、特に５０，０００以下が好ましい。この質量平均分子量が３，０００未満であると、色材の凝集を防ぐことができず、高粘度化ないしはゲル化してしまうことがあり、１００，０００を超えるとそれ自体が高粘度となり、また有機溶媒への溶解性が不足するため好ましくない。

上記分散剤の合成方法は、公知の方法が採用でき、例えば特公昭６３−３００５７号公報に記載の方法を用いることができる。

分散剤の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分中、通常５０質量％以下、好ましくは３０質量％以下、通常１質量％以上、好ましくは３質量％以上である。また、分散剤の含有量は、色材（ｄ）に対して、通常５質量％以上、特に１０質量％以上であり、通常２００％質量％以下、特に８０質量％以下であることが好ましい。分散剤の含有量が少な過ぎると、十分な分散性が得られない場合があり、多過ぎると相対的に他の成分の割合が減って色濃度、感度、成膜性等が低下する傾向がある。

特に、分散剤としては、高分子分散剤と顔料誘導体とを併用することが好ましいが、この場合、顔料誘導体の配合割合は本発明の感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常０．１質量％以上で、通常１０質量％以下、好ましくは５質量％以下とすることが好ましい。
界面活性剤を用いる場合、その含有量は、感光性樹脂組成物中の全固形分に対して通常０．００１〜１０質量％、好ましくは０．００５〜１質量％、さらに好ましくは０．０１〜０．５質量％、最も好ましくは０．０３〜０．３質量％である。界面活性剤の含有量が上記範囲よりも少ないと塗布膜の平滑性、均一性が発現できない可能性があり、多いと塗布膜の平滑性、均一性が発現できない他、他の特性が悪化する場合がある。 なお、本発明の感光性樹脂組成物は、前述の有機溶剤を使用して、その固形分濃度が通常５〜５０質量％、好ましくは１０〜３０質量％となるように、調液される。

＜チオール類＞
本発明の感光性樹脂組成物は、高感度化、基板への密着性の向上のため、チオール類を添加することが好ましい。チオール類の種類としては、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、１，４−ジメチルメルカプトベンゼン、ブタンジオールビスチオプロピオネート、ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ブタンジオールビスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、トリスヒドロキシエチルトリスチオプロピオネート、エチレングリコールビス（３−メルカプトブチレート）、プロピレングリコールビス（３−メルカプトブチレート）；（略してＰＧＭＢ），ブタンジオールビス（３−メルカプトブチレート）、１，４−ビス（３−メルカプトブチリルオキシ）ブタン；（商品名；カレンズＭＴ ＢＤ１、昭和電工（株）製）、ブタンジオールトリメチロールプロパントリス（３−メルカプトブチレート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３−メルカプトブチレート）；（商品名；カレンズＭＴ ＰＥ１、昭和電工（株）製）、ペンタエリスリトールトリス（３− メルカプトブチレート）、エチレングリコールビス（３−メルカプトイソブチレート）、ブタンジオールビス（３−メルカプトイソブチレート）、トリメチロールプロパントリス（３−メルカプトイソブチレート）、トリメチロールプロパントリス（３−メルカプトブチレート）；（略してＴＰＭＢ） トリメチロールプロパントリス（２−メルカプトイソブチレート）；（略してＴＰＭＩＢ）、１，３，５−トリス（３−メルカプトブチルオキシエチル）−１，３，５−トリアジン−２，４，６（１Ｈ，３Ｈ，５Ｈ）−トリオン；（商品名；カレンズＭＴ ＮＲ１、昭和電工（株）製）等が挙げられ、これらは種々のものが１種を単独で、或いは２種以上を混合して使用できる。好ましくは上記、ＰＧＭＢ、ＴＰＭＢ、ＴＰＭＩＢ、カレンズＭＴ ＢＤ１、カレンズＭＴ ＰＥ１、カレンズＭＴ ＮＲ１などの多官能チオールが好ましく、その中でもカレンズＭＴ ＢＤ１、カレンズＭＴ ＰＥ１、カレンズＭＴ ＮＲ１がさらに好ましく、カレンズＭＴ ＰＥ１が特に好ましい。

チオール化合物を用いる場合、チオール化合物の含有量は、本発明の感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常０．１質量％以上、好ましくは０．３質量％以上、更に好ましくは０．５質量以上であり、通常１０質量％以下、好ましくは５質量％以下である。チオール化合物の含有量が少なすぎると感度低下を起こすことがあり、反対に多すぎると保存安定性が悪くなる場合がある。

＜溶剤＞
本発明の感光性樹脂組成物は、通常、エチレン性不飽和基を含有するアルカリ可溶性樹脂（ａ）、光重合性モノマー（ｂ）、光重合開始剤（ｃ）、色材（ｄ）、分散剤（ｅ）、及び必要に応じて使用される各種材料が、有機溶剤に溶解又は分散した状態で使用される。
有機溶剤としては、沸点（圧力１０１３．２５［ｈＰａ］条件下。以下、沸点に関しては全て同様。）が１００〜３００℃の範囲のものを選択するのが好ましい。より好ましくは１２０〜２８０℃の沸点をもつ溶剤である。
このような有機溶剤としては、例えば、次のようなものが挙げられる。

エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、プロピレングリコール−ｔ−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、メトキシメチルペンタノール、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、３−メチル−３−メトキシブタノール、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテルのようなグリコールモノアルキルエーテル類；

エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテルのようなグリコールジアルキルエーテル類； エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート、３−メトキシブチルアセテート、メトキシペンチルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルアセテートのようなグリコールアルキルエーテルアセテート類；

エチレングリコールジアセテート、１，３−ブチレングリコールジアセテート、１，６−ヘキサノールジアセテートなどのグリコールジアセテート類； シクロヘキサノールアセテートなどのアルキルアセテート類； アミルエーテル、ジエチルエーテル、ジプロピルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、ジアミルエーテル、エチルイソブチルエーテル、ジヘキシルエーテルのようなエーテル類； アセトン、メチルエチルケトン、メチルアミルケトン、メチルイソプロピルケトン、メチルイソアミルケトン、ジイソプロピルケトン、ジイソブチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、エチルアミルケトン、メチルブチルケトン、メチルヘキシルケトン、メチルノニルケトン、メトキシメチルペンタノンのようなケトン類； エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、トリエチレングリコール、メトキシメチルペンタノール、グリセリン、ベンジルアルコールのような１価又は多価アルコール類； ｎ−ペンタン、ｎ−オクタン、ジイソブチレン、ｎ−ヘキサン、ヘキセン、イソプレン、ジペンテン、ドデカンのような脂肪族炭化水素類； シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、メチルシクロヘキセン、ビシクロヘキシルのような脂環式炭化水素類；

ベンゼン、トルエン、キシレン、クメンのような芳香族炭化水素類； アミルホルメート、エチルホルメート、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸プロピル、酢酸アミル、メチルイソブチレート、エチレングリコールアセテート、エチルプロピオネート、プロピルプロピオネート、酪酸ブチル、酪酸イソブチル、イソ酪酸メチル、エチルカプリレート、ブチルステアレート、エチルベンゾエート、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸プロピル、３−メトキシプロピオン酸ブチル、γ−ブチロラクトンのような鎖状又は環状エステル類； ３−メトキシプロピオン酸、３−エトキシプロピオン酸のようなアルコキシカルボン酸類；

ブチルクロライド、アミルクロライドのようなハロゲン化炭化水素類； メトキシメチルペンタノンのようなエーテルケトン類； アセトニトリル、ベンゾニトリルのようなニトリル類等： 上記に該当する市販の溶剤としては、ミネラルスピリット、バルソル＃２、アプコ＃１８ソルベント、アプコシンナー、ソーカルソルベントＮｏ．１及びＮｏ．２、ソルベッソ＃１５０、シェルＴＳ２８ ソルベント、カルビトール、エチルカルビトール、ブチルカルビトール、メチルセロソルブ（「セロソルブ」は登録商標。以下同じ。）、エチルセロソルブ、エチルセロソルブアセテート、メチルセロソルブアセテート、ジグライム（いずれも商品名）などが挙げられる。

これらの有機溶剤は、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
フォトリソグラフィー法にてカラーフィルターの画素又はブラックマトリックスを形成する場合、有機溶剤としては沸点が１００〜２００℃の範囲のものを選択するのが好ましい。より好ましくは１２０〜１７０℃の沸点を持つものである。
上記有機溶剤のうち、塗布性、表面張力などのバランスが良く、組成物中の構成成分の溶解度が比較的高い点からは、グリコールアルキルエーテルアセテート類が好ましい。

また、グリコールアルキルエーテルアセテート類は、単独で使用してもよいが、他の有機溶剤を併用してもよい。併用する有機溶剤として、特に好ましいのはグリコールモノアルキルエーテル類である。中でも、特に組成物中の構成成分の溶解性からプロピレングリコールモノメチルエーテルが好ましい。なお、グリコールモノアルキルエーテル類は極性が高く、添加量が多すぎると顔料が凝集しやすく、後に得られる感光性樹脂組成物の粘度が上がっていくなどの保存安定性が低下する傾向があるので、溶剤中のグリコールモノアルキルエーテル類の割合は５質量％〜３０質量％が好ましく、５質量％〜２０質量％がより好ましい。

また、１５０℃以上の沸点をもつ有機溶剤（以下「高沸点溶剤」と称す場合がある。）を併用することも好ましい。このような高沸点溶剤を併用することにより、感光性樹脂組成物は乾きにくくなるが、組成物中における顔料の均一な分散状態が、急激な乾燥により破壊されることを防止する効果がある。すなわち、例えばスリットノズル先端における、色材などの析出・固化による異物欠陥の発生を防止する効果がある。このような効果が高い点から、上述の各種溶剤の中でも、特にジエチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテルアセテート、及びジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートが好ましい。

有機溶剤中の高沸点溶剤の含有割合は、３質量％〜５０質量％が好ましく、５質量％〜４０質量％がより好ましく、５質量％〜３０質量％が特に好ましい。高沸点溶剤の量が少なすぎると、例えばスリットノズル先端で色材などが析出・固化して異物欠陥を惹き起こす可能性があり、また多すぎると組成物の乾燥温度が遅くなり、後述するカラーフィルター製造工程における、減圧乾燥プロセスのタクト不良や、プリベークのピン跡といった問題を惹き起こすことが懸念される。

なお沸点１５０℃以上の高沸点溶剤が、グリコールアルキルエーテルアセテート類であってもよく、またグリコールアルキルエーテル類であってもよく、この場合は、沸点１５０℃以上の高沸点溶剤を別途含有させなくてもかまわない。 好ましい高沸点溶剤として、例えば前述の各種溶剤の中ではジエチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、１，３−ブチレングリコールジアセテート、１，６−ヘキサノールジアセテート、トリアセチンなどが挙げられる。

本発明の感光性樹脂組成物において、有機溶剤の含有量は特に限定されないが、塗布し易さや粘度安定性の観点から、好ましくは５質量％以上、より好ましくは８質量％以上、さらに好ましくは１０質量％以上、また、好ましくは４０質量％以下、より好ましくは３０質量％以下、さらに好ましくは２５質量％以下である。

＜感光性樹脂組成物のその他の配合成分＞
本発明の感光性樹脂組成物には、上述の成分の他、密着向上剤、塗布性向上剤、現像改良剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤、界面活性剤、顔料誘導体等を適宜配合することができる。

（密着向上剤）
基板との密着性を改善するため、有機ケイ素化合物（ｆ）以外の密着向上剤を本発明の感光性樹脂組成物に含有させてもよく、例えば、リン酸系密着向上剤、その他の密着向上剤等が挙げられる。

リン酸系密着向上剤としては、（メタ）アクリロイルオキシ基含有ホスフェート類が好ましく、中でも下記一般式（ｇ１）、（ｇ２）、（ｇ３）で表されるものが好ましい。

上記一般式（ｇ１）、（ｇ２）、（ｇ３）において、Ｒ⁵¹は水素原子又はメチル基を示し、ｌ及びｌ’は１〜１０の整数、ｍは１、２又は３である。
その他の密着向上剤としては、ＴＥＧＯ^*Ａｄｄ Ｂｏｎｄ ＬＴＨ（Ｅｖｏｎｉｋ社製）などが上げられる。これらの燐酸基含有化合物やその他の密着剤も１種類を単独で用いても、２種以上を組み合わせて使用してもよい。

（界面活性剤）
本発明の感光性着色組成物には、塗布性向上ため、界面活性剤を含有させてもよい。界面活性剤としては、例えば、アニオン系、カチオン系、非イオン系、両性界面活性剤等各種のものを用いることができる。中でも、諸特性に悪影響を及ぼす可能性が低い点で、非イオン系界面活性剤を用いるのが好ましく、中でもフッ素系やシリコン系の界面活性剤が塗布性の面で効果的である。

このような界面活性剤としては、例えば、ＴＳＦ４４６０（ジーイー東芝シリコーン社製）、ＤＦＸ−１８（ネオス社製）、ＢＹＫ−３００、ＢＹＫ−３２５、ＢＹＫ−３３０（ビックケミー社製）、ＫＰ３４０（信越シリコーン社製）、Ｆ−４７０、Ｆ−４７５、Ｆ−４７８、Ｆ−５５９（大日本インキ化学工業社製）、ＳＨ７ＰＡ（トーレシリコーン社製）、ＤＳ−４０１（ダイキン社製）、Ｌ−７７（日本ユニカー社製）、ＦＣ４４３０（住友３Ｍ社製）等が挙げられる。
なお、界面活性剤は、１種を用いてもよく、２種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用しても良い。

［その他の成分］
本発明の遮光性感光性樹脂組成物には、上記の成分の他に、さらに重合加速剤、光酸発生剤、架橋剤、可塑剤、保存安定剤、表面保護剤、有機カルボン酸、有機カルボン酸無水物、現像改良剤、熱重合防止剤等を含んでいてもよい。
（顔料誘導体）
本発明の感光性着色組成物には、分散性、保存性向上のため、顔料誘導体を含有させてもよい。顔料誘導体としてはアゾ系、フタロシアニン系、キナクリドン系、ベンズイミダゾロン系、キノフタロン系、イソインドリノン系、ジオキサジン系、アントラキノン系、インダンスレン系、ペリレン系、ペリノン系、ジケトピロロピロール系、ジオキサジン系等の誘導体が挙げられるが、中でもフタロシアニン系、キノフタロン系が好ましい。

顔料誘導体の置換基としてはスルホン酸基、スルホンアミド基及びその４級塩、フタルイミドメチル基、ジアルキルアミノアルキル基、水酸基、カルボキシル基、アミド基等が顔料骨格に直接又はアルキル基、アリール基、複素環基等を介して結合したものが挙げられ、好ましくはスルホン酸基である。またこれら置換基は一つの顔料骨格に複数置換していても良い。顔料誘導体の具体例としてはフタロシアニンのスルホン酸誘導体、キノフタロンのスルホン酸誘導体、アントラキノンのスルホン酸誘導体、キナクリドンのスルホン酸誘導体、ジケトピロロピロールのスルホン酸誘導体、ジオキサジンのスルホン酸誘導体等が挙げられる。これらは１種を単独で用いても良く、２種以上を併用しても良い。

＜感光性樹脂組成物の製造方法＞
本発明の感光性樹脂組成物（以下、「レジスト」と称することがある。）は、常法に従って製造される。
通常、色材（ｄ）は、予めペイントコンディショナー、サンドグラインダー、ボールミル、ロールミル、ストーンミル、ジェットミル、ホモジナイザー等を用いて分散処理するのが好ましい。分散処理により色材（ｄ）が微粒子化されるため、レジストの塗布特性が向上する。また、色材（ｄ）として黒色色材を使用した場合は遮光能力の向上に寄与する。

分散処理は、通常、色材（ｄ）、分散剤（ｅ）、有機溶剤、及び必要に応じて並びにアルカリ可溶性樹脂（ａ）の一部又は全部を併用した系にて行うことが好ましい。（以下、分散処理に供する混合物、及び該処理にて得られた組成物を「インク」又は「顔料分散液」と称することがある。）特に分散剤として高分子分散剤を用いると、得られたインク及びレジストの経時の増粘が抑制される（分散安定性に優れる）ので好ましい。
なお、感光性樹脂組成物に配合する全成分を含有する液に対して分散処理を行った場合、分散処理時に生じる発熱のため、高反応性の成分が変性する可能性がある。従って、高分子分散剤を含む系にて分散処理を行うことが好ましい。

サンドグラインダーで色材（ｄ）を分散させる場合には、０．１〜８ｍｍ程度の径のガラスビーズ又はジルコニアビーズが好ましく用いられる。分散処理条件は、温度は通常、０℃から１００℃であり、好ましくは、室温から８０℃の範囲である。分散時間は液の組成及び分散処理装置のサイズ等により適正時間が異なるため適宜調節する。レジストの２０度鏡面光沢度（ＪＩＳ Ｚ８７４１）が１００〜２００の範囲となるように、インキの光沢を制御するのが分散の目安である。レジストの光沢度が低い場合には、分散処理が十分でなく荒い顔料（色材）粒子が残っていることが多く、現像性、密着性、解像性等が不十分となる可能性がある。また、光沢値が上記範囲を超えるまで分散処理を行うと、顔料が破砕して超微粒子が多数生じるため、却って分散安定性が損なわれる傾向がある。

次に、上記分散処理により得られたインキと、レジスト中に含まれる、上記の他の成分を混合し、均一な溶液とする。レジストの製造工程においては、微細なゴミが液中に混じることが多いため、得られたレジストはフィルター等により濾過処理するのが望ましい。

［硬化物］
本発明の感光性樹脂組成物を硬化させることで、硬化物を得ることができる。感光性樹脂組成物を硬化してなる硬化物は、ブラックマトリックスや着色スペーサーとして好適に用いることができる。

［ブラックマトリックス］
次に、本発明の感光性樹脂組成物を用いたブラックマトリックスについて、その製造方法に従って説明する。

（１） 支持体
ブラックマトリックスを形成するための支持体としては、適度の強度があれば、その材質は特に限定されるものではない。おもに透明基板が使用されるが、材質としては、例えば、ポリエチレンテレフタレートなどのポリエステル系樹脂、ポリプロピレン、ポリエチレンなどのポリオレフィン系樹脂、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリスルフォンなどの熱可塑性樹脂製シート、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリ（メタ）アクリル系樹脂などの熱硬化性樹脂シート、又は各種ガラスなどが挙げられる。この中でも、耐熱性の観点からガラス、耐熱性樹脂が好ましい。また、基板の表面にＩＴＯ、ＩＺＯ等の透明電極が成膜されている場合も有る。透明基板以外では、ＴＦＴアレイ上に形成することも可能である。

支持体には、接着性などの表面物性の改良のため、必要に応じ、コロナ放電処理、オゾン処理、シランカップリング剤や、ウレタン系樹脂などの各種樹脂の薄膜形成処理などを行っても良い。
透明基板の厚さは、通常０．０５〜１０ｍｍ、好ましくは０．１〜７ｍｍの範囲とされる。また各種樹脂の薄膜形成処理を行う場合、その膜厚は、通常０．０１〜１０μｍ、好ましくは０．０５〜５μｍの範囲である。

（２） ブラックマトリックス
上述の本発明の感光性樹脂組成物により、本発明のブラックマトリックスを形成するには、透明基板上に本発明の感光性樹脂組成物を塗布して乾燥した後、該試料の上にフォトマスクを置き、該フォトマスクを介して画像露光、現像、必要に応じて熱硬化或いは光硬化することによりブラックマトリックスを形成させる。

（３） ブラックマトリックスの形成
（３−１） 感光性樹脂組成物の塗布
ブラックマトリックス用の感光性樹脂組成物の透明基板上への塗布は、スピナー法、ワイヤーバー法、フローコート法、ダイコート法、ロールコート法、又はスプレーコート法などによって行うことができる。中でも、ダイコート法によれば、塗布液使用量が大幅に削減され、かつ、スピンコート法によった際に付着するミストなどの影響が全くなく、異物発生が抑制されるなど、総合的な観点から好ましい。

塗膜の厚さは、厚すぎると、パターン現像が困難となるとともに、液晶セル化工程でのギャップ調整が困難となることがあり、薄すぎると顔料濃度を高めることが困難となり所望の色発現が不可能となることがある。塗膜の厚さは、乾燥後の膜厚として、通常０．２〜１０μｍの範囲とするのが好ましく、より好ましいのは０．５〜６μｍの範囲、更に好ましいのは１〜４μｍの範囲である。

（３−２） 塗膜の乾燥
基板に感光性樹脂組成物を塗布した後の塗膜の乾燥は、ホットプレート、ＩＲオーブン、又はコンベクションオーブンを使用した乾燥法によるのが好ましい。乾燥の条件は、前記溶剤成分の種類、使用する乾燥機の性能などに応じて適宜選択することができる。乾燥時間は、溶剤成分の種類、使用する乾燥機の性能などに応じて、通常は、４０〜２００℃の温度で１５秒〜５分間の範囲で選ばれ、好ましくは５０〜１３０℃の温度で３０秒〜３分間の範囲で選ばれる。

乾燥温度は、高いほど透明基板に対する塗膜の接着性が向上するが、高すぎるとアルカリ可溶性樹脂が分解し、熱重合を誘発して現像不良を生ずる場合がある。なお、この塗膜の乾燥工程は、温度を高めず、減圧チャンバー内で乾燥を行う、減圧乾燥法であっても良い。
（３−３）露光
画像露光は、感光性樹脂組成物の塗膜上に、ネガのマスクパターンを重ね、このマスクパターンを介し、紫外線又は可視光線の光源を照射して行う。この際、必要に応じ、酸素による光重合性層の感度の低下を防ぐため、光重合性の塗膜上にポリビニルアルコール層などの酸素遮断層を形成した後に露光を行っても良い。上記の画像露光に使用される光源は、特に限定されるものではない。光源としては、例えば、キセノンランプ、ハロゲンランプ、タングステンランプ、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ、中圧水銀灯、低圧水銀灯、カーボンアーク、蛍光ランプなどのランプ光源や、アルゴンイオンレーザー、ＹＡＧレーザー、エキシマレーザー、窒素レーザー、ヘリウムカドミニウムレーザー、半導体レーザーなどのレーザー光源などが挙げられる。特定の波長の光を照射して使用する場合には、光学フィルタを利用することもできる。

（３−４）現像
本発明に係るブラックマトリックスは、感光性樹脂組成物による塗膜を、上記の光源によって画像露光を行った後、有機溶剤、又は、界面活性剤とアルカリ性化合物とを含む水溶液を用いる現像によって、基板上に画像を形成して作製することができる。この水溶液には、更に有機溶剤、緩衝剤、錯化剤、染料又は顔料を含ませることができる。

アルカリ性化合物としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化リチウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、メタケイ酸ナトリウム、リン酸ナトリウム、リン酸カリウム、リン酸水素ナトリウム、リン酸水素カリウム、リン酸二水素ナトリウム、リン酸二水素カリウム、水酸化アンモニウムなどの無機アルカリ性化合物や、モノ−・ジ−又はトリエタノールアミン、モノ−・ジ−又はトリメチルアミン、モノ−・ジ−又はトリエチルアミン、モノ−又はジイソプロピルアミン、ｎ−ブチルアミン、モノ−・ジ−又はトリイソプロパノールアミン、エチレンイミン、エチレンジイミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド（ＴＭＡＨ）、コリンなどの有機アルカリ性化合物が挙げられる。これらのアルカリ性化合物は、２種以上の混合物であっても良い。

界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルエステル類、ソルビタンアルキルエステル類、モノグリセリドアルキルエステル類などのノニオン系界面活性剤、アルキルベンゼンスルホン酸塩類、アルキルナフタレンスルホン酸塩類、アルキル硫酸塩類、アルキルスルホン酸塩類、スルホコハク酸エステル塩類などのアニオン性界面活性剤、アルキルベタイン類、アミノ酸類などの両性界面活性剤が挙げられる。

有機溶剤としては、例えば、イソプロピルアルコール、ベンジルアルコール、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、フェニルセロソルブ、プロピレングリコール、ジアセトンアルコールなどが挙げられる。有機溶剤は、単独で用いても良く、また、水溶液と併用しても良い。
現像処理の条件は特に制限はなく、通常、現像温度は１０〜５０℃の範囲、中でも１５〜４５℃、特に好ましくは２０〜４０℃で、現像方法は、浸漬現像法、スプレー現像法、ブラシ現像法、超音波現像法などのいずれかの方法によることができる。

（３−５）熱硬化処理
現像の後の基板には、熱硬化処理又は光硬化処理、好ましくは熱硬化処理を施す。この際の熱硬化処理条件は、温度は１００〜２８０℃の範囲、好ましくは１５０〜２５０℃の範囲で選ばれ、時間は５〜６０分間の範囲で選ばれる。
以上のようにして形成させたブラックマトリックスは底部の幅は通常３〜５０μｍ、好ましくは４〜３０μｍ、特に高細線の場合には４〜８μｍが好ましく、高さは通常０．５〜５μｍ、好ましくは１〜４μｍである。また、体積低効率は１×１０¹³Ω・ｃｍ以上、好ましくは１×１０¹⁴Ω・ｃｍ以上であり、比誘電率は６以下、好ましくは５以下である。 さらに、厚さ１μｍ当たりの光学濃度（ＯＤ）が３．０以上、好ましくは３．５以上、より好ましくは４．０以上、特に好ましくは４．２以上である。

［その他のカラーフィルター画像の形成］
ブラックマトリックスを設けた透明基板上に、上記（３−１）〜（３−５）と同じプロセスで赤色、緑色、青色のうち一色の色材を含有する感光性着色樹脂組成物を塗布し、乾燥した後、塗膜の上にフォトマスクを重ね、このフォトマスクを介して画像露光、現像、必要に応じて熱硬化又は光硬化により画素画像を形成させ、着色層を作成する。この操作を、赤色、緑色、青色の三色の感光性着色樹脂組成物についてそれぞれ行うことによって、カラーフィルター画像を形成することができる。これらの順番は上記に限定されるものではない。

［着色スペーサー］
本実施の形態の着色感光性組成物は、ブラックマトリックス以外に着色スペーサー用のレジストとして使用することも可能である。スペーサーをＴＦＴ型ＬＣＤに使用する場合、ＴＦＴに入射する光によりスイッチング素子としてＴＦＴが誤作動を起こすことがあり、着色スペーサーはこれを防止するために用いられ、例えば、特開平８−２３４２１２号公報にスペーサーを遮光性とすることが記載されている。着色スペーサーは着色スペーサー用のマスクを用いる以外は前述のブラックマトリックスと同様の方法で形成することができる。

（３−６） 透明電極の形成
カラーフィルターは、このままの状態で画像上にＩＴＯなどの透明電極を形成して、カラーディスプレー、液晶表示装置などの部品の一部として使用されるが、表面平滑性や耐久性を高めるため、必要に応じ、画像上にポリアミド、ポリイミドなどのトップコート層を設けることもできる。また一部、平面配向型駆動方式（ＩＰＳモード）などの用途においては、透明電極を形成しないこともある。

［画像表示装置］
本発明の画像表示装置としては、画像や映像を表示する装置であれば特に限定は受けないが、後述する液晶表示装置や有機ＥＬディスプレイ等が挙げられる。
［液晶表示装置］
本発明の液晶表示装置は、上述の本発明のブラックマトリックスを用いて作製されたものであり、カラー画素やブラックマトリックスの形成順序や形成位置等特に制限を受けるものではない。

液晶表示装置は、通常、カラーフィルター上に配向膜を形成し、この配向膜上にスペーサーを散布した後、対向基板と貼り合わせて液晶セルを形成し、形成した液晶セルに液晶を注入し、対向電極に結線して完成する。配向膜としては、ポリイミド等の樹脂膜が好適である。配向膜の形成には、通常、グラビア印刷法及び／又はフレキソ印刷法が採用され、配向膜の厚さは数１０ｎｍとされる。熱焼成によって配向膜の硬化処理を行った後、紫外線の照射やラビング布による処理によって表面処理し、液晶の傾きを調整しうる表面状態に加工される。

スペーサーとしては、対向基板とのギャップ（隙間）に応じた大きさのものが用いられ、通常２〜８μｍのものが好適である。カラーフィルター基板上に、フォトリソグラフィ法によって透明樹脂膜のフォトスペーサー（ＰＳ）を形成し、これをスペーサーの代わりに活用することもできる。対向基板としては、通常、アレイ基板が用いられ、特にＴＦＴ（薄膜トランジスタ）基板が好適である。

対向基板との貼り合わせのギャップは、液晶表示装置の用途によって異なるが、通常２〜８μｍの範囲で選ばれる。対向基板と貼り合わせた後、液晶注入口以外の部分は、エポキシ樹脂等のシール材によって封止する。シール材は、ＵＶ照射及び／又は加熱することによって硬化させ、液晶セル周辺がシールされる。
周辺をシールされた液晶セルは、パネル単位に切断した後、真空チャンバー内で減圧とし、上記液晶注入口を液晶に浸漬した後、チャンバー内をリークすることによって、液晶
を液晶セル内に注入する。液晶セル内の減圧度は、通常、１×１０^-2〜１×１０^-7Ｐａであるが、好ましくは１×１０^-3〜１×１０^-6Ｐａである。また、減圧時に液晶セルを加温するのが好ましく、加温温度は通常３０〜１００℃であり、より好ましくは５０〜９０℃である。減圧時の加温保持は、通常１０〜６０分間の範囲とされ、その後液晶中に浸漬される。液晶を注入した液晶セルは、液晶注入口をＵＶ硬化樹脂を硬化させて封止することによって、液晶表示装置（パネル）が完成する。

液晶の種類には特に制限がなく、芳香族系、脂肪族系、多環状化合物等、従来から知られている液晶であって、リオトロピック液晶、サーモトロピック液晶等のいずれでも良い。サーモトロピック液晶には、ネマティック液晶、スメスティック液晶及びコレステリック液晶等が知られているが、いずれであっても良い。
［有機ＥＬディスプレイ］
本発明の有機ＥＬディスプレイは、本発明のカラーフィルターを用いて作製されたものである。

本発明のカラーフィルターを用いて有機ＥＬディスプレイを作成する場合、例えば図１に示すように、まず透明支持基板１０上に、着色樹脂組成物により形成されたパターン（すなわち、画素２０、及び隣接する画素２０の間に設けられた樹脂ブラックマトリックス（図示せず））が形成されてなるカラーフィルターを作製し、該カラーフィルター上に有機保護層３０及び無機酸化膜４０を介して有機発光体５００を積層することによって、有機ＥＬ素子１００を作製することができる。なお、画素２０及び樹脂ブラックマトリックスの内、少なくとも一つは本発明の感光性着色樹脂組成物を用いて作製されたものである。有機発光体５００の積層方法としては、カラーフィルター上面へ透明陽極５０、正孔注入層５１、正孔輸送層５２、発光層５３、電子注入層５４、及び陰極５５を逐次形成していく方法や、別基板上へ形成した有機発光体５００を無機酸化膜４０上に貼り合わせる方法などが挙げられる。このようにして作製された有機ＥＬ素子１００を用い、例えば「有機ＥＬディスプレイ」（オーム社，２００４年８月２０日発光，時任静士、安達千波矢、村田英幸著）に記載された方法等にて、有機ＥＬディスプレイを作製することができる。

なお、本発明のカラーフィルターは、パッシブ駆動方式の有機ＥＬディスプレイにもアクティブ駆動方式の有機ＥＬディスプレイにも適用可能である。

次に、合成例、実施例及び比較例を挙げて本発明をより具体的に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り以下の実施例に限定されるものではない。

＜カーボンブラックインクの調整＞
以下の組成で顔料、分散剤、分散助剤、溶剤を調合し、以下の方法でカーボンブラックインクを調整した。
まず、顔料、分散剤、分散助剤の固形分と溶剤が以下の量比となるように調合した。
・顔料：Ｒ１０６０（コロンビア社製カーボンブラック）；１００質量部
・分散剤：ＢＹＫ１６７（ビックケミー社製塩基性ウレタン分散剤）；２０質量部（固形分換算）
・分散助剤（顔料誘導体）：Ｓ１２０００（ルーブリゾール社製、酸性基を有するフタロシアニン系顔料誘導体）；２．０質量部
・溶剤；プロピレングリコールメチルエーテルアセテート：２２６．６質量部

まずこれらを十分に攪拌・混合し、分散液を得た。
次に、ペイントシェーカーにより２５〜４５℃の範囲で６時間分散処理を行った。ビーズとしては、直径０．５ｍｍのジルコニアビーズを用い、分散液６０質量部に対しビーズ１８０質量部の割合で加えた。分散終了後、フィルターによりビーズと分散液を分離して、固形分３５質量％の分散インキを調製した。

＜合成例１：アルカリ可溶性樹脂（１）の合成＞

上記構造のエポキシ化合物（エポキシ当量２６４）５０ｇ、アクリル酸１３．６５ｇ、メトキシブチルアセテート６０．５ｇ、トリフェニルホスフィン０．９３６ｇ、及びパラメトキシフェノール０．０３２ｇを、温度計、攪拌機、冷却管を取り付けたフラスコに入れ、攪拌しながら９０℃で酸価が５ｍｇＫＯＨ／ｇ以下になるまで反応させた。反応には１２時間を要し、エポキシアクリレート溶液を得た。
上記エポキシアクリレート溶液２５質量部及び、トリメチロールプロパン（ＴＭＰ）０．７６質量部、ビフェニルテトラカルボン酸２無水物（ＢＰＤＡ）３．３質量部、テトラヒドロフタル酸無水物（ＴＨＰＡ）３．５質量部を、温度計、攪拌機、冷却管を取り付けたフラスコに入れ、攪拌しながら１０５℃までゆっくり昇温し反応させた。
樹脂溶液が透明になったところで、メトキシブチルアセテートで希釈し、固形分５０質量％となるよう調製し、酸価１１５ｍｇＫＯＨ／ｇ、ＧＰＣで測定したポリスチレン換算の重量平均分子量（Ｍｗ）２６００のアルカリ可溶性樹脂（１）を得た。
＜合成例２：光重合開始剤（１）の合成＞

（ジケトン体）
エチルカルバゾール（５ｇ、２５．６１ｍｍｏｌ）とｏ−ナフトイルクロリド（５．１３ｇ、２６．８９ｍｍｏｌ）を３０ｍｌのジクロロメタンに溶解し、氷水バスにて２℃に冷却して攪拌し、ＡｌＣｌ₃（３．４１ｇ、２５．６１ｍｍｏｌ）を添加した。さらに室温にて３時間攪拌後、反応液にクロトノイルクロリド（２．８１ｇ、２６．８９ｍｍｏｌ）の１５ｍｌジクロロメタン溶液を加え、ＡｌＣｌ₃（４．１ｇ、３０．７３ｍｍｏｌ）を添加し、さらに１時間３０分攪拌した。反応液を氷水２００ｍｌにあけ、ジクロロメタン２００ｍｌを添加し有機層を分液した。回収した有機層を無水硫酸マグネシウムで乾燥後、減圧下濃縮し、白色固体（１０ｇ）のジケトン体を得た。

（オキシム体）
ジケトン体（３．００ｇ、７．１９ｍｍｏｌ）、ＮＨ₂ＯＨ・ＨＣｌ（１．０９ｇ、１５．８１ｍｍｏｌ）、及び酢酸ナトリウム（１．２３ｇ、１５．０８ｍｍｏｌ）をイソプロパノール３０ｍｌに混合し、３時間還流した。
反応終了後、反応液を濃縮し、得られた残渣に酢酸エチル３０ｍｌを加え、飽和炭酸水素ナトリウム水溶液３０ｍｌ、飽和食塩水３０ｍｌで洗浄、無水硫酸マグネシウムで乾燥した。ろ過後、有機層を減圧下濃縮し、固体１．８２ｇを得た。これをカラムクロマトグラフィーで精製し、淡黄色固体２．２２ｇのオキシム体を得た。

（オキシムエステル体）
オキシム体（２．２２ｇ、４．７７ｍｍｏｌ）とアセチルクロリド（１．３４ｇ、１７．０ｍｍｏｌ）をジクロロメタン２０ｍｌに加えて氷冷し、トリエチルアミン（１．７７ｇ、１７．５ｍｍｏｌ）を滴下して、そのまま１時間反応した。薄層クロマトグラフィーにより原料の消失を確認した後、水を加えて反応を停止した。反応液を飽和炭酸水素ナトリウム水溶液５ｍｌで２回、飽和食塩水５ｍｌで２回洗浄し、無水硫酸ナトリウムで乾燥した。濾過後、有機層を減圧下濃縮し、得られた残渣をカラムクロマトグラフィー（酢酸
エチル／ヘキサン＝２／１）で精製して、０．７９ｇの淡黄色固体の光重合開始剤（１）を得た。光重合開始剤（１）の¹Ｈ−ＮＭＲの化学シフトを以下に示す。

¹Ｈ−ＮＭＲ（ＣＤＣｌ₃）：σ１．１７（ｄ，３Ｈ），１．４８（ｔ，３Ｈ），１．５３（ｓ，３Ｈ），１．８１（ｓ，３Ｈ）， ２．１６（ｓ，３Ｈ）， ２．３０（ｓ，３Ｈ）， ３．１７−３．３２（ｍ，２Ｈ），４．４２（ｑ，２Ｈ），４．７８−４．９４（ｂｒ，１Ｈ），７．４５−７．５９（ｍ，５Ｈ），７．６５（ｄｄ，１Ｈ），７．９５（ｍ，２Ｈ），８．０４（ｍ，２Ｈ），８．１４（ｄｄ，１Ｈ），８．４２（ｄ，１Ｈ），８．６４（ｄ，１Ｈ）

光重合開始剤（１）の構造は以下の通りである。

＜有機ケイ素化合物＞
以下の有機ケイ素化合物１〜３を準備した。
（有機ケイ素化合物１）
下記式（Ａ）で表されるアルコキシシラン単量体、下記式（Ｂ）で表される２量体、下記式（Ｃ）で表される３量体、下記式（Ｄ）で表される４量体の重量比率が、１：１４：４：１の混合物。

（有機ケイ素化合物２）
前記式（Ａ）で表されるアルコキシシラン単量体、前記式（Ｂ）で表される２量体、前記式（Ｃ）で表される３量体、前記式（Ｄ）で表される４量体の重量比率が、１７：１：１：１の混合物。

（有機ケイ素化合物３）
前記式（Ａ）で表されるアルコキシシラン単量体、前記式（Ｂ）で表される２量体、前記式（Ｃ）で表される３量体、前記式（Ｄ）で表される４量体の重量比率が、１：８：８：３の混合物。

なお、これらの有機ケイ素化合物は、＜特定の有機ケイ素化合物（ｆ）＞で述べられた方法で得られる。
これらの構造は、¹Ｈ−ＮＭＲ、¹³Ｃ−ＮＭＲ，ＩＲ及びＩＰＣ発光装置によるシリカ濃度やＳＥＭ−ＥＤＸの元素分析などにより特定し、また、単量体、２、３、４量体の割合は、液体クロマトグラムで分離したピークの面積と各ピークのマススペクトルグラムの親イオンピークなどから特定した。

（¹Ｈ−ＮＭＲ）
δ（ｐｐｍ）
０．５５ｐｐｍ （ｔ、Ｓｉ−ＣＨ₂，２Ｈ）
１．５５ｐｐｍ （ｍ、―Ｃ−ＣＨ₂−Ｃ，２Ｈ）
３．１０ｐｐｍ （ｑ、ＣＨ₂―Ｎ，２Ｈ）
３．５０ｐｐｍ （ｓ、Ｓｉ−ＯＣＨ₃，約９Ｈ）
４．２５ｐｐｍ （ｓ、Ｏ−ＣＨ₂−ＣＨ₂−Ｏ，約４Ｈ）
５．１０ｐｐｍ （ｓ、Ｎ−Ｈ，１Ｈ）
５．７〜６．５ｐｐｍ （ｍ、Ｃ（＝Ｏ）ＣＨ＝ＣＨ₂、３Ｈ）

（ＩＲスペクトル）
特性吸収（ｃｍ^-1）
３３５０（Ｎ−Ｈ）： １７２６（Ｃ＝Ｏ）： １６３６，１６２０（Ｃ＝Ｃ）

（ＩＰＣ発光装置によるシリカ濃度）
試料を湿式灰化しアルカリ溶融させたのち、水で回収・定容した。この水溶液をＩＰＣ発光装置にて測定した。
試料中のＳｉ濃度は７．４質量％であった。

また、ＳＥＭ−ＥＤＸ分析により窒素元素の存在を確認し、その簡易的元素分析により窒素原子とＳｉ原子のモル比率は、約１：１であった。

＜光重合性モノマー＞
以下の光重合性モノマー（ｂ−Ｉ）〜（ｂ−Ｖ）を準備した。
ｂ−Ｉ：下記構造（ｂ１１）で示されるジペンタエリスリトールカプロラクトンのアク
リル酸エステル化合物１（ＤＰＣＡ−２０（日本化薬社製））
ｂ−ＩＩ：下記構造（ｂ１２）で示されるジペンタエリスリトールカプロラクトンのアク
リル酸エステル化合物２（ＤＰＣＡ−３０（日本化薬社製））
ｂ−ＩＩＩ：下記構造（ｂ１３）で示されるジペンタエリスリトールカプロラクトンのアクリル酸エステル化合物３（ＤＰＣＡ−６０（日本化薬社製））
ｂ−ＩＶ下記構造（ｂ１４）で示されるジペンタエリスリトールカプロラクトンのアクリル酸エステル化合物４（ＤＰＣＡ−１２０（日本化薬社製））
ｂ−Ｖ下記構造（ｂ１５）で示されるペンタエリスリトールカプロラクトンのアクリル酸エステル化合物５（新中村化学工業株式会社製）
ｂ−ＶＩ下記構造（ｂ１６）で示されるトリス−（２−カプロラクトンエチル）イソシアヌレートのアクリル酸エステル化合物６（Ａ−９３００−１ＣＬ（新中村化学工業株式会社製））
ｂ−ＶＩＩ下記構造（ｂ１７）で示されるトリス−（２−カプロラクトンエチル）イソシアヌレートのアクリル酸エステル化合物７（新中村化学工業株式会社製）

＜実施例１＞
（ブラックレジスト１の調合）
＜カーボンブラックインクの調整＞で調整したカーボンブラックインクを用いて、表１に記載の各成分を表１に示す割合で加え、スターラーにより攪拌、溶解させて、ブラックレジスト１を調製した。

また、表中のアルカリ可溶性樹脂（２）及びジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの詳細は以下のとおりである。
アルカリ可溶性樹脂（２）：ＺＣＲ１６４２Ｈ。日本化薬社製のエポキシアクリレート樹脂（Ｂ１−１樹脂）。ビフェニル系エポキシ樹脂（日本化薬社製、ＮＣ３０００Ｈ）にアクリル酸を付加させ、テトラヒドロフタリックアンハイドライドを反応させて合成したもの。エチレン性不飽和基とカルボン酸基を有する。酸価９９ｍｇＫＯＨ／ｇ、ＧＰＣで測定したポリスチレン換算の重量平均分子量（Ｍｗ）６４００。ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート：日本化薬社製のＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ。

＜実施例２〜３＞
（ブラックレジスト２〜３の調合）
実施例１の有機ケイ素化合物１を表２−１記載の有機ケイ素化合物２、有機ケイ素化合物３に変更した以外は、実施例１のブラックレジスト１と同様にブラックレジスト２〜３を調製した。

＜実施例４〜７及び９〜１１＞
（ブラックレジスト４〜７及び９〜１１の調合）
実施例１の光重合性モノマーＤＰＨＡを表２−１、２記載の光重合性モノマーに変更した以外は、実施例１のブラックレジスト１と同様にブラックレジスト４〜７及び９〜１１を調製した。

＜実施例８＞
（ブラックレジスト８の調合）
実施例１の有機ケイ素化合物１の含有量を０．５質量％から０．２質量％に変更した以外は、実施例１のブラックレジスト１と同様にブラックレジスト８を調製した。

＜比較例１＞
（比較ブラックレジスト１の調合）
実施例１において有機ケイ素化合物を添加しなかった以外は、実施例１のブラックレジスト１と同様に比較ブラックレジスト１を調製した。

＜比較例２〜４＞
（比較ブラックレジスト２〜４の調合）
実施例１の有機ケイ素化合物を表２−２記載の市販のシランカップリング剤にした以外は、実施例１のブラックレジスト１と同様に比較ブラックレジスト２〜４を調製した。
なお、比較例２〜４において、シランカップリング剤は以下のものを用いた。
・ＳＨ６０４０：エポキシシランカップリング剤（東レ株式会社製）。
・ＫＢＭ−５０３：３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン（信越化学工業株式会社製）
・ＫＢＥ−９００７：３−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン（信越化学工業株式会社製）

（レジストの評価）
（１）ブラックマトリックス（ＢＭ）の作製
調製したブラックレジスト１〜１１、比較ブラックレジスト１〜４をスピンコーターにてガラス基板に塗布し、減圧乾燥後、ホットプレートで１００℃にて１２０秒間乾燥した。続いて、得られた乾燥塗布膜に対し、高圧水銀灯により４０ｍＪで露光マスクを通してパターン露光を行った後、室温（２３℃）下、超純水で０．０４質量％ＫＯＨ水溶液に調整したアルカリ現像液で溶解時間の１．６倍の時間、スプレー現像することによりレジストパターンを得た。その後、２３０℃のオーブンで３０分間、ポストベークを行って、膜厚約１μｍのブラックマトリックスを作成した。なお、溶解時間とは、現状処理時に未露光部の感光層が溶解して基板全体が見え始める時間であり、各々のブラックレジスト、及び比較ブラックレジストの溶解時間は３０〜６０秒であった。

（２）遮光度：ＢＭの光学密度（ＯＤ値）と膜厚の評価
調製したブラックレジスト１〜１１、比較ブラックレジスト１〜４を用いて（１）で作製したＢＭの膜厚を段差測定装置Ａｌｐｈａ−Ｓｔｅｐ−５００（ＫＬＡ−Ｔｅｎｃｏｒ社）で測定し、ＯＤ値を透過濃度測定装置ＧｒｅｔａｇＭａｃｂｅｔｈ Ｄ２００−ＩＩ（ＧｒｅｔａｇＭａｃｂｅｔｈ社）で測定した。これより１μｍあたりのＯＤ値（単位ＯＤ値）を求めたところ、ブラックレジスト１〜１１で作製したＢＭは、いずれも４．２／μｍであった。

（３）基板密着力評価（高温高湿度下）
調製したブラックレジスト１〜１１、比較ブラックレジスト１〜４を用いて以下のようにして作製したブラックマトリックスにて、高温高湿度下での基板密着力を評価した。
詳細には、「（１）ブラックマトリックス（ＢＭ）の作製」において露光時にマスクを用いなかったこと、及び現像処理を行なわなかった以外は同じプロセスで膜厚が１．２０μｍのブラックマトリックスの５ｃｍ角のベタ板を形成させた。それを１２０℃、２気圧、相対湿度１００％の水蒸気雰囲気下で２時間暴露させた（プレッシャークッカー試験、ＰＣＴ）。その後、表面を碁盤目状にクロスカットし、その部分にセロハンテープ（登録商標ＣＴ−１８Ｓ （１８ｍｍ幅）、ニチバン社製）をＪＩＳ−Ｋ５６００−５−６で指定された方法で引きはがした時の剥離の状況を以下基準で評価した。

（基板密着評価判定基準）
◎：ＰＣＴ後、テープ剥離により基板／ＢＭ界面でのはがれ無。ＢＭ表面のはがれ無。
○：ＰＣＴ後、テープ剥離によりＢＭ表面のはがれが微小観察されるが、基板／ＢＭ界面でのはがれは無。
△：ＰＣＴ後、テープ剥離により基板／ＢＭ界面でのはがれが観察される。評価面積に対して０％を超過し１０％以内。
×：ＰＣＴ後、テープ剥離により基板／ＢＭ界面でのはがれが観察される。評価面積に対して１０％を超過し４０％以内。
××：ＰＣＴ後、テープ剥離により基板／ＢＭ界面でのはがれが観察される。評価面積に対して４０％を超過し１００％未満。
×××：ＰＣＴ後、テープ剥離により基板全体で基板／ＢＭ界面でのはがれが観察される。

（４）基板密着力評価（室温）
調製したブラックレジスト１〜１１、比較ブラックレジスト１〜４を用いて以下のようにして作製したブラックマトリックスで室温下での基板密着力を評価した。
「（１）ブラックマトリックス（ＢＭ）の作製」において露光時にマスクを用いなかったこと、及び現像処理を行わなかった以外は同じプロセスで膜厚１．２０μｍのブラックマトリックスの２．５ｃｍ角のベタ板を形成させ、シール剤（三井化学社製）を利用し、アルミ製スタッドピン（Ｑｕａｄ社製）を接合して測定用サンプルを作製した。サンプルについて、Ｒｏｍｕｌｕｓ（Ｑｕａｄ社製）を用いて、２．０ｋｇ／ｓの速さで引っ張り試験を行い、ブラックマトリックスとガラス基板が破断したときの破断強度と接着面積から以下の式により密着応力を求めた。
密着応力（ｋｇ／ｃｍ²）＝破断強度（ｋｇ）／接着面積（ｃｍ²）
結果を表２−１、２−２に示した。なお、表２−１、２−２における基板密着力（％）は、比較例１における基板密着力を１００％とした時の相対値（％）を求めた。

（基板密着評価判定基準）
・３Ａ：比較例１の基盤密着強度を１００％とした時、基板密着強度が１５０％以上。
・２Ａ：比較例１の基盤密着強度を１００％とした時、基板密着強度が１５０％未満〜１２０％以上。
・１Ａ：比較例１の基盤密着強度を１００％とした時、基板密着強度が１２０％未満〜１１０％以上。
・Ｂ：比較例１の基盤密着強度を１００％とした時、基板密着強度が１１０％未満。

表２−１、及び２−２に示されるように、本発明の感光性樹脂組成物は、有機ケイ素化合物（ｆ−１）を含有していることにより、高温高湿度下においてＢＭと基板との密着性が良好であり、また、室温下においてもＢＭと基板との密着性が良好であった。
実施例１、２、３のブラックレジスト１、２、３は、前記一般式（２）シラン単量体と前記一般式（３）のシランオリゴマーとの混合物である有機ケイ素化合物（ｆ−１）を含有しており、前述のとおり、構造中のシラン部位、ウレタン結合部位、エチレン性不飽和基部位の相乗効果によって、高温高湿度下での基板とＢＭとの密着が非常に良好となり、また、室温下においても基板とＢＭとの密着が良好であったと考えられる。

また、有機ケイ素化合物（ｆ−１）だけでなく、さらに光重合性モノマー（ｂ）としてカプロラクトン構造を有する多官能（メタ）アクリレートモノマーを用いた実施例４〜７、９〜１１は、そのエステル結合部位と有機ケイ素化合物（ｆ−１）のウレタン結合部位との極性基同士の相互作用により、相互の架橋構造を作りやすいと思われ、高温高湿度下における基板密着効果もさらに向上し、室温におけるＢＭと基板密着効果が非常に大きく向上した。
それに対し、有機ケイ素化合物（ｆ）を含有しない比較例１の比較ブラックレジスト１はもちろんのこと、比較例２〜４の比較ブラックレジスト２〜４はその他の有機ケイ素化合物を含有するもののエポキシ基、（メタ）アクリロイルオキシ基、イソシアネート基のみであり、ウレタン結合部位に起因する相乗効果を得ることができず、実施例でみられたような高温高湿度下や室温下での大きな基板密着性の向上は見られなかった。

Claims (14)

1. アルカリ可溶性樹脂（ａ）、光重合性モノマー（ｂ）、光重合開始剤（ｃ）、色材（ｄ）、分散剤（ｅ）及び有機ケイ素化合物（ｆ）を含む感光性樹脂組成物であって、
   有機ケイ素化合物（ｆ）が、少なくとも下記一般式（１）で表される構造を有する有機ケイ素化合物（ｆ−１）を含有し、
   有機ケイ素化合物（ｆ−１）が、下記一般式（３）で表される有機ケイ素化合物を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。
   

   

   （上記式中、Ｒ¹は水素原子又は炭素数１〜８のアルキル基である。Ｒ^aは下記式（１−１）で表される基である。＊は結合手である。）
   

   

   （上記式中、Ｒ²及びＲ³はそれぞれ独立に炭素数１〜８のアルキレン基であり、Ｒ⁴は水素原子又はメチル基である。＊はＳｉ原子との結合手である。）
   

   

   （上記式中、Ｒ¹及びＲ^aは前記一般式（１）と同義である。また、ｎは２〜１０の整数を表す。式中に複数含まれるＲ¹及びＲ^a同士は、それぞれ同じであっても異なっていてもよい。）
2. 有機ケイ素化合物（ｆ−１）が、下記一般式（２）で表される有機ケイ素化合物を含むことを特徴とする、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
   

   

   （上記式中、Ｒ¹及びＲ^aは前記一般式（１）と同義である。式中に複数含まれるＲ¹同士は、それぞれ同じであっても異なっていてもよい。）
3. 光重合性モノマー（ｂ）が下記一般式（ｂ１）〜（ｂ４）の少なくともいずれかで表される化合物を含むことを特徴とする、請求項１又は２に記載の感光性樹脂組成物。
   

   

   （上記式中、Ｒ^bは下記式（ｂ５）に示す基であり、Ｒ ⁸ は、炭素数１〜６のアルキル基であり、Ｒ⁹は炭素数１〜１０のアルキレン基、炭素数７〜１０のアリーレンアルキレン基、又は炭素数６〜１０のアリーレン基である。）
   

   

   （上記式中、Ｒ⁶は主鎖の炭素数が２〜６の分岐があってもよいアルキレン基を表し、Ｒ⁷は水素原子又はメチル基を表す。ｍは０〜３の整数を表す。ｍが２又は３の場合、複数のＲ⁶は同じであっても異なっていてもよい。）
4. 光重合開始剤（ｃ）が、オキシムエステルであることを特徴とする、請求項１〜３の何れか１項に記載の感光性樹脂組成物。
5. 色材（ｄ）が黒色色材であることを特徴とする、請求項１〜４の何れか１項に記載の感光性樹脂組成物。
6. 色材（ｄ）の含有量が全固形分量に対して４０質量％以上であることを特徴とする、請求項１〜５の何れか１項に記載の感光性樹脂組成物。
7. 分散剤（ｅ）が塩基性官能基を有する高分子分散剤であることを特徴とする、請求項１〜６の何れか１項に記載の感光性樹脂組成物。
8. アルカリ可溶性樹脂（ａ）が、エチレン性不飽和基を含有することを特徴とする、請求項１〜７の何れか１項に記載の感光性樹脂組成物。
9. アルカリ可溶性樹脂（ａ）が、カルボキシル基を有するエポキシ（メタ）アクリレート樹脂を含有することを特徴とする、請求項８に記載の感光性樹脂組成物。
10. 前記カルボキシル基を有するエポキシ（メタ）アクリレート樹脂が、下記エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１−１）及び／又は下記エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１−２）を含有することを特徴とする、請求項９に記載の感光性樹脂組成物。
    エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１−１）：エポキシ樹脂に、α，β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα，β−不飽和モノカルボン酸エステルを付加させ、さらに、多塩基酸及び／又はその無水物を反応させることによって得られたエポキシ（メタ）アクリレート樹脂
    エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１−２）：エポキシ樹脂に、α，β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα，β−不飽和モノカルボン酸エステルを付加させ、さらに、多価アルコールと、多塩基酸及び／又はその無水物と反応させることによって得られたエポキシ（メタ）アクリレート樹脂
11. 請求項１〜１０の何れか１項に記載の感光性樹脂組成物を硬化させてなる硬化物。
12. 請求項１１に記載の硬化物からなるブラックマトリックス。
13. 膜厚１μｍあたりの光学濃度が４．０以上であることを特徴とする、請求項１２に記載のブラックマトリックス。
14. 請求項１２又は１３に記載のブラックマトリックスを用いて作製された画像表示装置。

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