JP2014502037A5

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Publication number: JP2014502037A5
Application number: JP2013534926A
Authority: JP
Filing date: 2011-09-28
Publication date: 2014-10-23
Anticipated expiration: 2031-09-28

Description

独立して制御可能な複数の平坦加熱器区域を備える半導体処理装置内の基板支持アセンブリ用の加熱プレートのための故障検出の方法を、その具体的な実施形態を参照して詳細に説明してきたが、添付の特許請求の範囲から逸脱することなく、様々な変更および修正を施すことができ、均等形態を採用することができることが当業者には明らかであろう。
適用例１：半導体処理装置内で半導体基板を支持するために使用される基板支持アセンブリにおける複数区域加熱プレートのための故障検出の方法であって、前記加熱プレートは、複数の平坦加熱器区域と、複数の電力供給ラインと、複数の電力リターンラインとを備え、各平坦加熱器区域は、前記電力供給ラインの１つと前記電力リターンラインの１つに接続され、いずれの２つの平坦加熱器区域も同一の電力供給ラインおよび電力リターンラインの対を共有せず、（ａ）１つまたは複数の平坦加熱器区域の測定総加熱出力を取得し、（ｂ）前記測定総加熱出力を、前記１つまたは複数の平坦加熱器区域の予め定められた設定総加熱出力と比較し、（ｃ）前記測定総加熱出力が前記予め定められた総加熱出力から所定の偏差ずれている場合に、アラーム信号をトリガすることとを備える方法。
適用例２：適用例１に記載の方法において、前記所定の偏差は、前記予め定められた総加熱出力の±２０％、±１０％、±５％、または±１％である、方法。
適用例３：適用例１に記載の方法において、前記測定総加熱出力は、前記１つまたは複数の各平坦加熱器区域にわたる電圧Ｖを測定し、前記１つまたは複数の各平坦加熱器区域を介して流れる電流Ｉを測定し、ＶとＩを乗算し、前記１つまたは複数の平坦加熱器区域のＶ・Ｉを加算することによって得られる、方法。
適用例４：適用例３に記載の方法において、前記電圧Ｖは、前記電力供給ラインの１つと前記電力リターンラインの１つの間に接続された電圧計を使用して測定され、前記電流Ｉは、前記電力リターンラインの１つと接地の間に接続された電流計を使用して測定される、方法。
適用例５：適用例１に記載の方法において、１つまたは複数の電力供給ラインが電源に接続され、少なくとも１つの電力リターンラインが接地されている状態で、前記１つまたは複数の電力供給ライン、および前記少なくとも１つの電力リターンラインに接続されている前記平坦加熱器区域の前記測定総加熱出力は、前記１つまたは複数の電力供給ライン上の電圧Ｖを測定し、前記少なくとも１つの電力リターンラインによって搬送される総電流Ｉを測定し、ＶとＩを乗算することによって取得され、前記予め定められた総加熱出力は、前記１つまたは複数の電力供給ラインおよび前記少なくとも１つの電力リターンラインに接続されている各前記平坦加熱器区域の予め定められた加熱出力を加算することによって計算される、方法。
適用例６：適用例１に記載の方法において、１つまたは複数の電力リターンラインが接地され、少なくとも１つの電力供給ラインが電源に接続されている状態で、前記１つまたは複数の電力リターンライン、および前記少なくとも１つの電力供給ラインに接続されている前記平坦加熱器区域の前記測定総加熱出力は、前記少なくとも１つの電力供給ライン上で電圧Ｖを測定し、前記少なくとも１つの電力供給ライン上で電流Ｉを測定し、ＶとＩを乗算することによって取得され、前記予め定められた総加熱出力は、前記１つまたは複数の電力リターンラインおよび前記少なくとも１つの電力供給ラインに接続されている各前記平坦加熱器区域の予め定められた加熱出力を加算することによって計算される、方法。
適用例７：適用例５に記載の方法において、前記１つまたは複数の電力供給ラインでの前記電圧Ｖは、平坦加熱器区域での電圧降下ではない電圧降下を差し引くことによって補正される、方法。
適用例８：適用例６に記載の方法において、前記少なくとも１つの電力供給ラインでの前記電圧Ｖは、平坦加熱器区域での電圧降下ではない電圧降下を差し引くことによって補正される、請求項６に記載の方法。
適用例９：半導体処理装置内で半導体基板を支持するために使用される基板支持アセンブリにおける複数区域加熱プレートのための故障検出の方法であって、前記加熱プレートは、複数の平坦加熱器区域と、複数の電力供給ラインと、複数の電力リターンラインとを備え、各平坦加熱器区域は、前記電力供給ラインの１つと前記電力リターンラインの１つに接続され、いずれの２つの平坦加熱器区域も同一の電力供給ラインおよび電力リターンラインの対を共有せず、（ａ）全ての電力リターンラインが前記電流計を介して接地され、第ｉの電力供給ラインのみが前記電源に接続されている状態で、前記第ｉの電力供給ライン上の電圧Ｖを測定し、前記全ての電力リターンライン上の総電流Ｉを測定し、ＶとＩを乗算することによって、前記第ｉの電力供給ラインに接続されている全ての前記平坦加熱器区域の測定総加熱出力を取得し、（ｂ）前記総加熱出力を、前記第ｉの電力供給ラインに接続されている各前記平坦加熱器区域の予め定められた加熱出力を加算することによって計算される予め定められた総加熱出力と比較し、（ｃ）前記測定総加熱出力が前記予め定められた総加熱出力から所定の偏差ずれている場合に、アラーム信号をトリガし、（ｄ）全ての電力供給ラインが前記電源に接続され、第ｊの電力リターンラインのみが接地された状態で、前記全ての電力供給ライン上の電圧Ｖを測定し、前記第ｊの電力リターンライン上の電流Ｉを測定し、ＶとＩを乗算することによって、前記第ｊの電力リターンラインに接続されている全ての平坦加熱器区域の総加熱出力を取得し、（ｅ）前記測定総加熱出力を、前記第ｊの電力リターンラインに接続されている各前記平坦加熱器区域の予め定められた加熱出力を加算することによって計算される予め定められた総加熱出力と比較し、（ｆ）前記測定総加熱出力が前記予め定められた総加熱出力から所定の偏差ずれている場合に、アラーム信号をトリガすることを備える方法。
適用例１０：適用例９に記載の方法において、さらに、前記第ｉの電力供給ラインと前記第ｊの電力リターンラインの両方に接続されている前記平坦加熱器区域が故障状態である、前記第ｉの電力供給ラインのみが前記電源に接続され、全ての前記電力リターンラインが接地されているとき、および前記第ｊの電力リターンラインのみが接地され、前記すべての電力供給ラインが前記電源に接続されているときにアラーム信号がトリガされた場合に、前記第ｉの電力供給ラインと前記第ｊの電力リターンラインの両方に接続されている前記平坦加熱器区域が故障状態であると識別することを備える、方法。
適用例１１：適用例９に記載の方法において、前記全ての電力供給ラインでの前記電圧Ｖ、および前記第ｉの電力供給ラインでの前記電圧Ｖは、平坦加熱器区域での電圧降下ではない電圧降下を差し引くことによって補正される、方法。

Claims

半導体処理装置内で半導体基板を支持するために使用される基板支持アセンブリにおける複数区域加熱プレートのための故障検出の方法であって、前記加熱プレートは、複数の平坦加熱器区域と、複数の電力供給ラインと、複数の電力リターンラインとを備え、各平坦加熱器区域は、前記電力供給ラインの１つと前記電力リターンラインの１つに接続され、いずれの２つの平坦加熱器区域も同一の電力供給ラインおよび電力リターンラインの対を共有せず、
（ａ）１つまたは複数の平坦加熱器区域の測定総加熱出力を取得し、
（ｂ）前記測定総加熱出力を、前記１つまたは複数の平坦加熱器区域の予め定められた設定総加熱出力と比較し、
（ｃ）前記測定総加熱出力が前記予め定められた総加熱出力から所定の偏差ずれている場合に、アラーム信号をトリガすることと
を備える方法。
請求項１に記載の方法において、前記所定の偏差は、前記予め定められた総加熱出力の±２０％、±１０％、±５％、または±１％である、方法。
請求項１に記載の方法において、前記測定総加熱出力は、前記１つまたは複数の各平坦加熱器区域にわたる電圧Ｖを測定し、前記１つまたは複数の各平坦加熱器区域を介して流れる電流Ｉを測定し、ＶとＩを乗算し、前記１つまたは複数の平坦加熱器区域のＶ・Ｉを加算することによって得られる、方法。
請求項３に記載の方法において、前記電圧Ｖは、前記電力供給ラインの１つと前記電力リターンラインの１つの間に接続された電圧計を使用して測定され、前記電流Ｉは、前記電力リターンラインの１つと接地の間に接続された電流計を使用して測定される、方法。
請求項１に記載の方法において、
１つまたは複数の電力供給ラインが電源に接続され、少なくとも１つの電力リターンラインが接地されている状態で、前記１つまたは複数の電力供給ライン、および前記少なくとも１つの電力リターンラインに接続されている前記平坦加熱器区域の前記測定総加熱出力は、前記１つまたは複数の電力供給ライン上の電圧Ｖを測定し、前記少なくとも１つの電力リターンラインによって搬送される総電流Ｉを測定し、ＶとＩを乗算することによって取得され、
前記予め定められた総加熱出力は、前記１つまたは複数の電力供給ラインおよび前記少なくとも１つの電力リターンラインに接続されている各前記平坦加熱器区域の予め定められた加熱出力を加算することによって計算される、
方法。
請求項１に記載の方法において、
１つまたは複数の電力リターンラインが接地され、少なくとも１つの電力供給ラインが電源に接続されている状態で、前記１つまたは複数の電力リターンライン、および前記少なくとも１つの電力供給ラインに接続されている前記平坦加熱器区域の前記測定総加熱出力は、前記少なくとも１つの電力供給ライン上で電圧Ｖを測定し、前記少なくとも１つの電力供給ライン上で電流Ｉを測定し、ＶとＩを乗算することによって取得され、
前記予め定められた総加熱出力は、前記１つまたは複数の電力リターンラインおよび前記少なくとも１つの電力供給ラインに接続されている各前記平坦加熱器区域の予め定められた加熱出力を加算することによって計算される、
方法。
請求項５に記載の方法において、前記１つまたは複数の電力供給ラインでの前記電圧Ｖは、平坦加熱器区域での電圧降下ではない電圧降下を差し引くことによって補正される、方法。
請求項６に記載の方法において、前記少なくとも１つの電力供給ラインでの前記電圧Ｖは、平坦加熱器区域での電圧降下ではない電圧降下を差し引くことによって補正される、請求項６に記載の方法。
半導体処理装置内で半導体基板を支持するために使用される基板支持アセンブリにおける複数区域加熱プレートのための故障検出の方法であって、前記加熱プレートは、複数の平坦加熱器区域と、複数の電力供給ラインと、複数の電力リターンラインとを備え、各平坦加熱器区域は、前記電力供給ラインの１つと前記電力リターンラインの１つに接続され、いずれの２つの平坦加熱器区域も同一の電力供給ラインおよび電力リターンラインの対を共有せず、
（ａ）全ての電力リターンラインが前記電流計を介して接地され、第ｉの電力供給ラインのみが前記電源に接続されている状態で、前記第ｉの電力供給ライン上の電圧Ｖを測定し、前記全ての電力リターンライン上の総電流Ｉを測定し、ＶとＩを乗算することによって、前記第ｉの電力供給ラインに接続されている全ての前記平坦加熱器区域の測定総加熱出力を取得し、
（ｂ）前記測定総加熱出力を、前記第ｉの電力供給ラインに接続されている各前記平坦加熱器区域の予め定められた加熱出力を加算することによって計算される予め定められた総加熱出力と比較し、
（ｃ）前記測定総加熱出力が前記予め定められた総加熱出力から所定の偏差ずれている場合に、アラーム信号をトリガし、
（ｄ）全ての電力供給ラインが前記電源に接続され、第ｊの電力リターンラインのみが接地された状態で、前記全ての電力供給ライン上の電圧Ｖを測定し、前記第ｊの電力リターンライン上の電流Ｉを測定し、ＶとＩを乗算することによって、前記第ｊの電力リターンラインに接続されている全ての平坦加熱器区域の総加熱出力を取得し、
（ｅ）前記測定総加熱出力を、前記第ｊの電力リターンラインに接続されている各前記平坦加熱器区域の予め定められた加熱出力を加算することによって計算される予め定められた総加熱出力と比較し、
（ｆ）前記測定総加熱出力が前記予め定められた総加熱出力から所定の偏差ずれている場合に、アラーム信号をトリガすること
を備える方法。
請求項９に記載の方法において、さらに、前記第ｉの電力供給ラインのみが前記電源に接続され、全ての前記電力リターンラインが接地されているとき、および前記第ｊの電力リターンラインのみが接地され、前記すべての電力供給ラインが前記電源に接続されているときにアラーム信号がトリガされた場合に、前記第ｉの電力供給ラインと前記第ｊの電力リターンラインの両方に接続されている前記平坦加熱器区域が故障状態であると識別することを備える、方法。
請求項９に記載の方法において、前記全ての電力供給ラインでの前記電圧Ｖ、および前記第ｉの電力供給ラインでの前記電圧Ｖは、平坦加熱器区域での電圧降下ではない電圧降下を差し引くことによって補正される、方法。