JP2013044751A - インピーダンス測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】SMU12から、1kHz未満のゼロでない周波数の交流成分を含む電圧信号V1をDUT30に供給する。供給した電圧信号V1は、バッファ増幅器20を介して制御及び測定部22で測定する。一方、DUT30を流れる電流信号は、バッファ増幅器24を介して制御及び測定部22で測定する。制御及び測定部22は、電圧信号及び電流信号の測定値を同期させてデジタル化し、デジタル化した電圧信号及び電流信号からインピーダンスを計算する。
【選択図】図1
Description
1kHz未満のゼロでない周波数の交流成分を含む電圧信号を上記DUTに加えるステップと、
上記電圧信号に応じて、上記DUTの電流信号をモニタするステップと、
上記電圧信号及び上記電流信号を同期させてデジタル化するステップと、
デジタル化した上記電圧信号及び上記電流信号からインピーダンスを計算するステップと
を具えている。
1kHz未満のゼロでない周波数の交流成分を含む電流信号を上記DUTを通して流すステップと、
上記電流信号に応じて、上記DUTの電圧信号をモニタするステップと、
上記電圧信号及び上記電流信号を同期させてデジタル化するステップと、
デジタル化した上記電圧信号及び上記電流信号からインピーダンスを計算するステップと
を具えている。
1kHz未満のゼロでない周波数の交流成分を含む第1電気特性信号を上記被試験デバイスに供給するステップと、
上記第1電気特性信号に応じて、上記被試験デバイスの第2電気特性信号をモニタするステップと、
上記第1電気特性信号及び上記第2電気特性信号を同期させてデジタル化するステップと、
デジタル化した上記第1電気特性信号及び上記第2電気特性信号からインピーダンスを計算するステップと
を具えている。
上記第1ソース測定ユニットが上記第1電気特性信号を上記被試験デバイスの第1端子に供給し、
上記第2ソース測定ユニットが直流バイアス第1電気特性信号を上記被試験デバイスの第2端子に供給することによって、上記直流バイアス第1電気特性信号を上記第1電気特性信号に加えると共に、上記被試験デバイスの上記第2端子から上記第2電気特性信号を受けることを特徴としている。
10’ 測定実施形態
10’’ 測定実施形態
12 ソース測定ユニット(SMU)
12’ ソース測定ユニット(SMU)
12’’ ソース測定ユニット(SMU)
12’’’ ソース測定ユニット(SMU)
14 可変電圧源
14’ 可変電圧源
14’’ 可変電圧源
14’’’ 可変電圧源
16 演算増幅器
16’ 演算増幅器
16’’ 演算増幅器
16’’’ 演算増幅器
18 抵抗器
18’ 抵抗器
18’’ 抵抗器
18’’’ 抵抗器
20 バッファ増幅器
20’ バッファ増幅器
20’’ バッファ増幅器
20’’’ バッファ増幅器
22 制御及び測定部
22’ 制御及び測定部
22’’ 制御及び測定部
22’’’ 制御及び測定部
24 バッファ増幅器
24’ バッファ増幅器
24’’ バッファ増幅器
24’’’ バッファ増幅器
30 被測定デバイス(DUT)
30’ 被測定デバイス(DUT)
Claims (4)
- 1kHz未満のゼロでない周波数の交流成分を含む電圧信号を被試験デバイスに加えるステップと、
上記電圧信号に応じて、上記被試験デバイスの電流信号をモニタするステップと、
上記電圧信号及び上記電流信号を同期させてデジタル化するステップと、
デジタル化した上記電圧信号及び上記電流信号からインピーダンスを計算するステップと
を具えるインピーダンス測定方法。 - 上記交流成分は第1ソース測定ユニットによって生成され、上記電流信号は第2ソース測定ユニットによってモニタされることを特徴とする請求項1記載のインピーダンス測定方法。
- 上記第2ソース測定ユニットが直流バイアス電圧を上記電圧信号に加えることを特徴とする請求項2記載のインピーダンス測定方法。
- 1kHz未満のゼロでない周波数の交流成分を含む電流信号を被試験デバイスを通して流すステップと、
上記電流信号に応じて、上記被試験デバイスの電圧信号をモニタするステップと、
上記電圧信号及び上記電流信号を同期させてデジタル化するステップと、
デジタル化した上記電圧信号及び上記電流信号からインピーダンスを計算するステップと
を具えるインピーダンス測定方法。
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