JPS5875073A - 直流特性測定システム - Google Patents
直流特性測定システムInfo
- Publication number
- JPS5875073A JPS5875073A JP56173654A JP17365481A JPS5875073A JP S5875073 A JPS5875073 A JP S5875073A JP 56173654 A JP56173654 A JP 56173654A JP 17365481 A JP17365481 A JP 17365481A JP S5875073 A JPS5875073 A JP S5875073A
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- Japan
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- voltage
- analog
- measured
- measurement
- multiplexer
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- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
- G01R31/2601—Apparatus or methods therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明社、被測定素子の.直流電圧電陣特性をデジタル
的に測定す5る、シお7本に関する。
的に測定す5る、シお7本に関する。
半導体,電気、機器等の分1野κおいて直流特性を測定
するため種々の方法を用いられている。
するため種々の方法を用いられている。
が、主として直流電圧(又は電流)を被側定素、子に印
加して、竃f!L(51,は電圧)を直接的に測定する
という方法,が採られ、てき來。例えば半導体の直fI
!L特性,を測定するカーブトレーサにあっては、測定
された出力電流をブラウン管上に直接描かせている。と
ころがカーブトレーサはΦ測定結果の表示がアナログ的
に行われるためデータの読取りについて正一さ、分解能
に問題がある。■測定・回路にあわせて被測定素子のざ
し換え又はスイッチの切換えを行わなければならず、し
かも測定回路の種類が限定ざれている;■測定データを
直接的に記憶する手段を持たない;等の欠点を有してい
る。また複数の電圧源,電流源,電圧計,電流針及びこ
れらと被測定素子間の接続を切換えるためのマトリクス
拳スイッチ群すE’ftコンピュータで制御する従来の
システムは測定機能の多様性という面から有用であって
本、大型化するため高価と表りしかも測定の高速化を図
ることは困難である。
加して、竃f!L(51,は電圧)を直接的に測定する
という方法,が採られ、てき來。例えば半導体の直fI
!L特性,を測定するカーブトレーサにあっては、測定
された出力電流をブラウン管上に直接描かせている。と
ころがカーブトレーサはΦ測定結果の表示がアナログ的
に行われるためデータの読取りについて正一さ、分解能
に問題がある。■測定・回路にあわせて被測定素子のざ
し換え又はスイッチの切換えを行わなければならず、し
かも測定回路の種類が限定ざれている;■測定データを
直接的に記憶する手段を持たない;等の欠点を有してい
る。また複数の電圧源,電流源,電圧計,電流針及びこ
れらと被測定素子間の接続を切換えるためのマトリクス
拳スイッチ群すE’ftコンピュータで制御する従来の
システムは測定機能の多様性という面から有用であって
本、大型化するため高価と表りしかも測定の高速化を図
ることは困難である。
よって本発明の第1の目的は、被測定素子の直流特性を
高精度,高分解能で測定するシステムを提供せんとする
ものである。また本発明の第2の目的は、所望の測定回
路を容易に実現し得る直流特性測定システムを提供せん
とするものである。
高精度,高分解能で測定するシステムを提供せんとする
ものである。また本発明の第2の目的は、所望の測定回
路を容易に実現し得る直流特性測定システムを提供せん
とするものである。
更に本発明の第3の目的は、測定データに基づき表示管
面上に任意な図形表示をなし得る直流特性測定システム
を提供せんとするものである。
面上に任意な図形表示をなし得る直流特性測定システム
を提供せんとするものである。
本発明に係る測定システムは、被測定素子の各端子に接
続される複数の計測ユニットを含んで成る。そして前記
計測ユニットに含まれる電圧源及び電流源を制御して所
望の出力を得ると同時に1該計測ユニツト内に含まれる
電流計及び電圧針の読みをデジタル信号化し、もって所
定の演算処理を行う〇 以下、図面を用いて本発明を詳述する。、第1図は、本
発明において用いられる計測ユニットの機能を説明した
ブロック図である。図示された計測s−二7ト2はS
MU (Stimjlus and Measure−
ment Unit)とも呼ばれ、可変電圧源4と電流
測定回路6との直列回路並びに可変電流源8と電圧測定
回路lOとの並列回路、これら回−のいずれか一方を選
択するスイッチ12を含む。また可変電圧源4及び可変
電流源8は、コントローラ(図示せず)Kよってその出
力電圧及び出力電流を変化させることが可能である。そ
して計測ユニット(以下、SMUという)2の出力端は
被測定素子14に接続される。ここで被測定素子14と
しては抵抗器、ダイオード等があげられる。
続される複数の計測ユニットを含んで成る。そして前記
計測ユニットに含まれる電圧源及び電流源を制御して所
望の出力を得ると同時に1該計測ユニツト内に含まれる
電流計及び電圧針の読みをデジタル信号化し、もって所
定の演算処理を行う〇 以下、図面を用いて本発明を詳述する。、第1図は、本
発明において用いられる計測ユニットの機能を説明した
ブロック図である。図示された計測s−二7ト2はS
MU (Stimjlus and Measure−
ment Unit)とも呼ばれ、可変電圧源4と電流
測定回路6との直列回路並びに可変電流源8と電圧測定
回路lOとの並列回路、これら回−のいずれか一方を選
択するスイッチ12を含む。また可変電圧源4及び可変
電流源8は、コントローラ(図示せず)Kよってその出
力電圧及び出力電流を変化させることが可能である。そ
して計測ユニット(以下、SMUという)2の出力端は
被測定素子14に接続される。ここで被測定素子14と
しては抵抗器、ダイオード等があげられる。
第2図は、本発明の一実施例による直流特性測定システ
ム全体を示したブロック図である。本実施例においては
4個のSMU 2A、2B、20,2Dが被測定素子
(以下DUTという; Device UnderTe
st ) 20の各端子に接続される。各8MU 2
A〜2Dはマルチプレクサ22を介してデジタル・アナ
ログコンバータ(以下DACという)24及びアナログ
・デジタル・コンバータ(以下ADOとい・う)26に
接続される。。またメモリ28及び表示器30はDAO
24,ADO26と共にコントローラ32に、接続され
る。
ム全体を示したブロック図である。本実施例においては
4個のSMU 2A、2B、20,2Dが被測定素子
(以下DUTという; Device UnderTe
st ) 20の各端子に接続される。各8MU 2
A〜2Dはマルチプレクサ22を介してデジタル・アナ
ログコンバータ(以下DACという)24及びアナログ
・デジタル・コンバータ(以下ADOとい・う)26に
接続される。。またメモリ28及び表示器30はDAO
24,ADO26と共にコントローラ32に、接続され
る。
測定に4bl!な電圧又は電流をDUT20に印加する
゛ため、コントローラ32が送出する8MU設定信号3
4はDAO24によりアナログ電圧に変換され、マルチ
プレクサ22左を介して各19MU −2A〜2D
に印加される。また各8MU 2A〜2Dにおいて測
定されたアナログの電圧、電流情報はマルチプレクサ2
21を介してADO26に送られ、デジタル化された信
号36がコントローラ32に伝達される。かくしてデジ
タル化された信号36はメモリ28にストアされると同
時に、所定の演算が施され、表示器30に送られる。
゛ため、コントローラ32が送出する8MU設定信号3
4はDAO24によりアナログ電圧に変換され、マルチ
プレクサ22左を介して各19MU −2A〜2D
に印加される。また各8MU 2A〜2Dにおいて測
定されたアナログの電圧、電流情報はマルチプレクサ2
21を介してADO26に送られ、デジタル化された信
号36がコントローラ32に伝達される。かくしてデジ
タル化された信号36はメモリ28にストアされると同
時に、所定の演算が施され、表示器30に送られる。
’&オ8MU 2A〜2D (7)各、41に:DA
O及びADOを備え得る場合には、マルチプレクサ22
左〒1を省略することができる。
O及びADOを備え得る場合には、マルチプレクサ22
左〒1を省略することができる。
第3図ないし第5図は、種々のDUTK8MUを接続し
た実例を示す図である。
た実例を示す図である。
第3図においては被測定抵抗器400両端子に2個の8
MU42及び44が接続されている。ここで一方の8M
U42は電圧源として作動しく例えばIOVの定電圧発
生)、また他方の8MU44は出力電圧が0■であるた
め単表る接続用リード線として働く。従っていま抵抗器
40が1kQであるとすると、8MU42に含まれる電
流測定回路からは、rlomAJに対応するアナログ電
圧が発生される。
MU42及び44が接続されている。ここで一方の8M
U42は電圧源として作動しく例えばIOVの定電圧発
生)、また他方の8MU44は出力電圧が0■であるた
め単表る接続用リード線として働く。従っていま抵抗器
40が1kQであるとすると、8MU42に含まれる電
流測定回路からは、rlomAJに対応するアナログ電
圧が発生される。
第4図では、ダイオード46の両端子に8MU48及び
50が接続されている。これらSMU 48.50の
出力電圧又は出力電流を変更することにより、ダイオー
ド46の順方向特性及び逆方向特性の両方を、接続方法
を変えることなく測定することが可能である。
50が接続されている。これらSMU 48.50の
出力電圧又は出力電流を変更することにより、ダイオー
ド46の順方向特性及び逆方向特性の両方を、接続方法
を変えることなく測定することが可能である。
第5図では、トランジスタ52の静特性を測定するため
3個の8MU34.56.58を各電極に!I続してい
る。そして各電極に印加する電圧。
3個の8MU34.56.58を各電極に!I続してい
る。そして各電極に印加する電圧。
電流は8MUo股定により任意に変化し得るから表示器
30(第2図参照)に種々のパラメータを有したグラフ
を描かせることが可能である。しかも□単にSMUの設
定を変えるだけでトランジスタ52の接地方式を変更す
ることも可能である、例えばペースII−の測定を行う
場合には、5MU34を電圧源表して作動させ、その出
力電圧をOvK設定することが考えられる。またNPN
)ランジスタをPNP )ランージスタに変更する場合
本、単にSMUの設定値の極性を変更するだけでよい。
30(第2図参照)に種々のパラメータを有したグラフ
を描かせることが可能である。しかも□単にSMUの設
定を変えるだけでトランジスタ52の接地方式を変更す
ることも可能である、例えばペースII−の測定を行う
場合には、5MU34を電圧源表して作動させ、その出
力電圧をOvK設定することが考えられる。またNPN
)ランジスタをPNP )ランージスタに変更する場合
本、単にSMUの設定値の極性を変更するだけでよい。
#!6図は、本発明の他実施例による直流特性測定シス
テムを示したブロック図である。本実施例と第2図との
相違はマルチプレクサを2個に分け、一方のマルチプレ
クサ22Aを設定系マルチプレクサとし、他方のマルチ
プクサ22Bを測定系1ルチグレクサとした点にある。
テムを示したブロック図である。本実施例と第2図との
相違はマルチプレクサを2個に分け、一方のマルチプレ
クサ22Aを設定系マルチプレクサとし、他方のマルチ
プクサ22Bを測定系1ルチグレクサとした点にある。
その他の構成要素は、全て第2図に示した場合と同様で
あるから説明を省略する。
あるから説明を省略する。
以上詳述した如(、SMUはコントローラにより任意に
設定され得るため、DUTとの接続を容易に行うことが
できる。なぜなら測定回路の変りに際してもDUT自体
の接続を変更することはなく、単にSMUの設定を変更
すればよいからである。このように回路切換用のスイッ
チが必要ないことから、本発明に係るシステムは信頼性
においても優るものである。
設定され得るため、DUTとの接続を容易に行うことが
できる。なぜなら測定回路の変りに際してもDUT自体
の接続を変更することはなく、単にSMUの設定を変更
すればよいからである。このように回路切換用のスイッ
チが必要ないことから、本発明に係るシステムは信頼性
においても優るものである。
また本システムにおける測定の正確さはADO及びDA
Cの正確さに依存するが、従来から知られているカーブ
トレーサ等のアナpグ機器に比べて格段の正確さを有す
ることができる。しかも測定結果がデジタル置きして記
録されているため■測定結果をグラフ、表など所望の形
で表示させることができる;■更に表示され念グラフ等
を見ながら別個の演算処理を行うなど、より詳細な解析
が可能である;0同様に図形の拡大。
Cの正確さに依存するが、従来から知られているカーブ
トレーサ等のアナpグ機器に比べて格段の正確さを有す
ることができる。しかも測定結果がデジタル置きして記
録されているため■測定結果をグラフ、表など所望の形
で表示させることができる;■更に表示され念グラフ等
を見ながら別個の演算処理を行うなど、より詳細な解析
が可能である;0同様に図形の拡大。
移動、マーカにより座標の読み取りを行うことができる
:0インターフェイスを介して他の機器との接続が可能
であるため、集中的な制御ができる;等の長所を有する
。
:0インターフェイスを介して他の機器との接続が可能
であるため、集中的な制御ができる;等の長所を有する
。
第1図は本発明において用いられる計測ユニットの機能
を説明したブロック図、第2図は本発明の一実施例によ
る直流特性測定システム全体を示したブロック図、第3
図ないし第5図は種々の被測定素子に複数の計測ユニッ
トを接続した実例を示す図、第6図は本発明の他実施例
による直流特性測定システム全体を示したブロック図で
ある。2,2A、2B、20,2D:計測ユニy )
(SMU )、14,20:被測定素子(DUT)、2
2:マルチプレクサ、24:デジタル・アナログ・コン
バータ、26:アナログ脅デジタル・コンバータ、28
:メモリ、30:表示器、32:コントローラ。 出願人 横筒・ヒユーレット・パラカード・株式会社
代理人 弁理士 要否用 次 男
を説明したブロック図、第2図は本発明の一実施例によ
る直流特性測定システム全体を示したブロック図、第3
図ないし第5図は種々の被測定素子に複数の計測ユニッ
トを接続した実例を示す図、第6図は本発明の他実施例
による直流特性測定システム全体を示したブロック図で
ある。2,2A、2B、20,2D:計測ユニy )
(SMU )、14,20:被測定素子(DUT)、2
2:マルチプレクサ、24:デジタル・アナログ・コン
バータ、26:アナログ脅デジタル・コンバータ、28
:メモリ、30:表示器、32:コントローラ。 出願人 横筒・ヒユーレット・パラカード・株式会社
代理人 弁理士 要否用 次 男
Claims (1)
- 1、コントローラからの制御信5、号に応答して定電圧
ま九社定電流を供給すると同時に、出力電流または電圧
を測定する回路を備えてなる計測ユニットを被一定素子
の各端子に接続し、前記計測ユニットから得られたアナ
ログ情報をデジタル信号化した後に所定の演算処理を行
い、きって出力信号を送用することを5%徴とした直流
特性測定システム。 、 、
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56173654A JPS5875073A (ja) | 1981-10-29 | 1981-10-29 | 直流特性測定システム |
US06/434,657 US4467275A (en) | 1981-10-29 | 1982-10-15 | DC characteristics measuring system |
US06/591,347 US4544879A (en) | 1981-10-29 | 1984-03-19 | Stimulus/measuring unit for DC characteristics measuring |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56173654A JPS5875073A (ja) | 1981-10-29 | 1981-10-29 | 直流特性測定システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5875073A true JPS5875073A (ja) | 1983-05-06 |
JPH0472195B2 JPH0472195B2 (ja) | 1992-11-17 |
Family
ID=15964618
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56173654A Granted JPS5875073A (ja) | 1981-10-29 | 1981-10-29 | 直流特性測定システム |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US4467275A (ja) |
JP (1) | JPS5875073A (ja) |
Cited By (2)
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JP2013044751A (ja) * | 2011-08-22 | 2013-03-04 | Keithley Instruments Inc | インピーダンス測定方法 |
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