JPS61221681A - Ｉｃ検査システム - Google Patents
Ｉｃ検査システムInfo
- Publication number
- JPS61221681A JPS61221681A JP60063125A JP6312585A JPS61221681A JP S61221681 A JPS61221681 A JP S61221681A JP 60063125 A JP60063125 A JP 60063125A JP 6312585 A JP6312585 A JP 6312585A JP S61221681 A JPS61221681 A JP S61221681A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- output
- current
- terminal
- test
- amplifier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
この発明は、ＩＣＪｆ９４査システム査閲ステムに、テ
スト対象のＩＣの特定のピンに流れる電流の検出方式の
改良に関する。
スト対象のＩＣの特定のピンに流れる電流の検出方式の
改良に関する。
［従来の技術］
ＩＣの検査項目として、電源ピンをクロッキングし、そ
の時の電源ピンに流れる電流のピーク値および平均値な
どを調べるテストがある。
の時の電源ピンに流れる電流のピーク値および平均値な
どを調べるテストがある。
従来のＩＣＭ査システムにおいては、テストステージ鍔
ン内に設けられたデバイス用電源によって、各テストヘ
ッドに接続された各ＩＣに対し、そのような電源ピンの
クロッキングを行う。そして、電源ピンの電流検出は、
デバイス用電源のブースタに設けられた電流検出回路に
よって社っている。
ン内に設けられたデバイス用電源によって、各テストヘ
ッドに接続された各ＩＣに対し、そのような電源ピンの
クロッキングを行う。そして、電源ピンの電流検出は、
デバイス用電源のブースタに設けられた電流検出回路に
よって社っている。
［発明が解決しようとする問題点］
一般に、テストヘッドはテストステーションから離れて
いるため、従来は電流検出回路とＩＣの電源ピンとの間
の電流路が長く、１０メートルを越えることも稀ではな
い。
いるため、従来は電流検出回路とＩＣの電源ピンとの間
の電流路が長く、１０メートルを越えることも稀ではな
い。
このように電流路が長くなると、その分布インピーダン
スの影響を受けて電流波形が変化したり、外来ノイズが
重畳しやすく、電流測定精度が低下するという問題があ
った。また、電流路の長さの変動により、測定値の誤差
が生じるという問題もあった。
スの影響を受けて電流波形が変化したり、外来ノイズが
重畳しやすく、電流測定精度が低下するという問題があ
った。また、電流路の長さの変動により、測定値の誤差
が生じるという問題もあった。
［発明の目的］
この発明の目的は、そのような従来の問題点を解消し、
電流測定の精度の向丘と安定化を図ったＩＣテストシス
テムを提供することにある。
電流測定の精度の向丘と安定化を図ったＩＣテストシス
テムを提供することにある。
［問題点を解決するための手段］
この目的を達成するために、この発明は、テストステー
ション内のデバイス用電源から、テストステーシロンよ
り離れたテストヘッドを介して検査対象のＩＣの特定の
ピンに電流を供給する構成のＩＣ検査システムにおいて
、その特定のピンに流れる電流の検出回路をテストヘッ
ド内に設ける。
ション内のデバイス用電源から、テストステーシロンよ
り離れたテストヘッドを介して検査対象のＩＣの特定の
ピンに電流を供給する構成のＩＣ検査システムにおいて
、その特定のピンに流れる電流の検出回路をテストヘッ
ド内に設ける。
［作用］
検査対象のデバイスであるＩＣのピンと直接接続される
テストヘッド内に電流検出回路が設けられるため、電流
検出回路とＩＣとの間の電流路が大幅に短縮され、また
その長さも一定する。したがって、その電流路の分布イ
ンピーダンスの影響が軽減され、外来ノイズも拾いにく
くなり、高精度の電流測定が可能となる。
テストヘッド内に電流検出回路が設けられるため、電流
検出回路とＩＣとの間の電流路が大幅に短縮され、また
その長さも一定する。したがって、その電流路の分布イ
ンピーダンスの影響が軽減され、外来ノイズも拾いにく
くなり、高精度の電流測定が可能となる。
［実施例］
以下、図面を参照して、この発明の一実施例について説
明する。
明する。
第１図は、この発明の一実施例の要部構成を示す概要図
である。この図において、１０はテストステーシロンで
あり、２０はテストヘッドである。
である。この図において、１０はテストステーシロンで
あり、２０はテストヘッドである。
テストステーシロンｌＯには、デバイス用電源が設けら
れているが、これはデジタル／アナログ変換器１１、演
算増幅器１２、ブースタ（電流増幅Ｚ４）１３からほぼ
構成されている。
れているが、これはデジタル／アナログ変換器１１、演
算増幅器１２、ブースタ（電流増幅Ｚ４）１３からほぼ
構成されている。
テストへラド２０には電流検出回路２１が設けられてお
り、前記ブースタ１３の出力はケーブル３０および電流
検出回路２１を介してＩＣのピンとの接続端子２２に接
続されている。電流検出回路２１は一般に測定レンジの
切り換え可能な構成であり、その測定レンジはテストス
テージ１ン１０側から設定される。
り、前記ブースタ１３の出力はケーブル３０および電流
検出回路２１を介してＩＣのピンとの接続端子２２に接
続されている。電流検出回路２１は一般に測定レンジの
切り換え可能な構成であり、その測定レンジはテストス
テージ１ン１０側から設定される。
演算増幅器２３は接続端子２２の電位を低インピーダン
スにて演算増幅器１２ヘフイードバツクするための演算
増幅器であり、その出力と反転側入力とが結合されバッ
フ１回路として働く。この演算増幅器２３の非反転側人
力は接続端子２２と結合され、その出力は抵抗１４を介
して演算増幅ｎ１２の反転側入力と結合される。この反
転側入力は、抵抗１５を介してデジタル／アナログ変換
７Ａ１１の出力とも接続されている。つまり、このデバ
イス用電源は閉ループ定電圧電源であり、電流検出回路
はそのループ内に含まれている。このような構成である
から、接続端ｒ２２の電位はデジタル／アナログ変換器
１１の出力電位に追従し、極性は逆であり、また両電位
の絶対値の比は抵抗１４．１５の抵抗値の比に依存して
決まる。
スにて演算増幅器１２ヘフイードバツクするための演算
増幅器であり、その出力と反転側入力とが結合されバッ
フ１回路として働く。この演算増幅器２３の非反転側人
力は接続端子２２と結合され、その出力は抵抗１４を介
して演算増幅ｎ１２の反転側入力と結合される。この反
転側入力は、抵抗１５を介してデジタル／アナログ変換
７Ａ１１の出力とも接続されている。つまり、このデバ
イス用電源は閉ループ定電圧電源であり、電流検出回路
はそのループ内に含まれている。このような構成である
から、接続端ｒ２２の電位はデジタル／アナログ変換器
１１の出力電位に追従し、極性は逆であり、また両電位
の絶対値の比は抵抗１４．１５の抵抗値の比に依存して
決まる。
なお、前記のようなデバイス用電源と電流検出回路２１
の回路系は一般に複数組設けられる。
の回路系は一般に複数組設けられる。
例えばＩＣの電源ビンをクロッキングして電流の平均値
およびピーク値を測定する場合、デジタル／アナログ変
換器１１のデジタル入力の制御により、あるいはブース
タ１３の動作の制御により、接続端子２２（電源ピンと
接続されるものとする）の電位をオン、オフし、電流検
出回路２１で電源ピンの電流の平均値とピーク値を検出
する。 最も接近したテストヘッド２０に設けられてお
り、電流検出回路２１と接続端子２２ （ＩＣのピン）
との間の電流路は極めて短い。したがって、その電流路
の分布インピーダンスの影響は大幅に軽減し、またノイ
ズも拾いにくいため、ＩＣのピンに流れる電流を高精度
に測定できる。
およびピーク値を測定する場合、デジタル／アナログ変
換器１１のデジタル入力の制御により、あるいはブース
タ１３の動作の制御により、接続端子２２（電源ピンと
接続されるものとする）の電位をオン、オフし、電流検
出回路２１で電源ピンの電流の平均値とピーク値を検出
する。 最も接近したテストヘッド２０に設けられてお
り、電流検出回路２１と接続端子２２ （ＩＣのピン）
との間の電流路は極めて短い。したがって、その電流路
の分布インピーダンスの影響は大幅に軽減し、またノイ
ズも拾いにくいため、ＩＣのピンに流れる電流を高精度
に測定できる。
なお、テストステーション１０およびテストヘッド２０
の他の部分は、従来と同様でよいので、その説明は省略
する。
の他の部分は、従来と同様でよいので、その説明は省略
する。
以上、一実施例について説明したが、この発明はそれだ
けに限定されるものではなく、この発明の要旨の範囲内
で適宜変形して実施し得るもである。
けに限定されるものではなく、この発明の要旨の範囲内
で適宜変形して実施し得るもである。
［発明の効果］
以上説明したように、この発明によれば、テストステー
ション内のデバイス用電源から、テストステーシロンよ
り離れたテストヘッドを介して検査対象のＩＣの特定の
ピンに電流を供給する構成のＩＣ検査システムにおいて
、その特定のピンに流れる電流の検出回路をテストヘッ
ド内に設けるため、その電流検出回路とＩＣとの間の電
流路が大幅に短縮され、またその長さも一定し、したが
って、その電流路の分布インピーダンスの影響が軽減さ
れ、外来ノイズも拾いにくくなり、高精度の電流測定が
可能となるという効果を達成できる。
ション内のデバイス用電源から、テストステーシロンよ
り離れたテストヘッドを介して検査対象のＩＣの特定の
ピンに電流を供給する構成のＩＣ検査システムにおいて
、その特定のピンに流れる電流の検出回路をテストヘッ
ド内に設けるため、その電流検出回路とＩＣとの間の電
流路が大幅に短縮され、またその長さも一定し、したが
って、その電流路の分布インピーダンスの影響が軽減さ
れ、外来ノイズも拾いにくくなり、高精度の電流測定が
可能となるという効果を達成できる。
第１図は、この発明の一実施例の要部構成を示す概要図
である。 １０・・・テストステージタン、１１・・・デジタル／
アナログ変換器、１２・・・演算増幅器、１３・・・ブ
ースタ、２０・・・テストヘッド、２１・・・電流検出
回路、２２・・・接続端子、２３・・・演算増幅器。
である。 １０・・・テストステージタン、１１・・・デジタル／
アナログ変換器、１２・・・演算増幅器、１３・・・ブ
ースタ、２０・・・テストヘッド、２１・・・電流検出
回路、２２・・・接続端子、２３・・・演算増幅器。
Claims (1)
- （１）テストステーション内のデバイス用電源から、テ
ストステーションより離れたテストヘッドを介して検査
対象のＩＣの特定のピンに電流を供給する構成のＩＣ検
査システムにおいて、その特定のピンに流れる電流の検
出回路をテストヘッド内に設けることを特徴とするＩＣ
検査システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60063125A JPS61221681A (ja) | 1985-03-27 | 1985-03-27 | Ｉｃ検査システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60063125A JPS61221681A (ja) | 1985-03-27 | 1985-03-27 | Ｉｃ検査システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61221681A true JPS61221681A (ja) | 1986-10-02 |
Family
ID=13220238
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60063125A Pending JPS61221681A (ja) | 1985-03-27 | 1985-03-27 | Ｉｃ検査システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61221681A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63177770U (ja) * | 1987-05-07 | 1988-11-17 | ||
| JPH06109808A (ja) * | 1992-09-30 | 1994-04-22 | Sony Tektronix Corp | 素子特性測定装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6176B2 (ja) * | 1978-12-28 | 1986-01-06 | Kureha Kagaku Kogyo Kk |
-
1985
- 1985-03-27 JP JP60063125A patent/JPS61221681A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6176B2 (ja) * | 1978-12-28 | 1986-01-06 | Kureha Kagaku Kogyo Kk |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63177770U (ja) * | 1987-05-07 | 1988-11-17 | ||
| JPH052869Y2 (ja) * | 1987-05-07 | 1993-01-25 | ||
| JPH06109808A (ja) * | 1992-09-30 | 1994-04-22 | Sony Tektronix Corp | 素子特性測定装置 |
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