JP2565866Y2 - Icテスタの並列接続デバイス電源 - Google Patents
Icテスタの並列接続デバイス電源Info
- Publication number
- JP2565866Y2 JP2565866Y2 JP10312291U JP10312291U JP2565866Y2 JP 2565866 Y2 JP2565866 Y2 JP 2565866Y2 JP 10312291 U JP10312291 U JP 10312291U JP 10312291 U JP10312291 U JP 10312291U JP 2565866 Y2 JP2565866 Y2 JP 2565866Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- constant voltage
- input terminal
- connection point
- test
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この考案は複数の定電圧源を並列
に接続して構成したICテスタの大電力供給用デバイス
電源に関し、特に各定電圧源の非試験時のオフセット出
力電圧によって、各定電圧源間に大きな電流が流れるの
を防止したものである。
に接続して構成したICテスタの大電力供給用デバイス
電源に関し、特に各定電圧源の非試験時のオフセット出
力電圧によって、各定電圧源間に大きな電流が流れるの
を防止したものである。
【0002】
【従来の技術】従来のこの種の電源を図2を参照して説
明する。従来のデバイス電源は同一な回路構成をもつ定
電圧源1,2とそれらの電源を被試験IC4の所定の同
一の端子ti に接続させるパフォーマンスボード3とで
構成される。パフォーマンスボード3の接続点P1 ,P
2 はそれぞれ抵抗Ra ,Rb をもつ配線で被試験IC4
の端子ti に接続される。
明する。従来のデバイス電源は同一な回路構成をもつ定
電圧源1,2とそれらの電源を被試験IC4の所定の同
一の端子ti に接続させるパフォーマンスボード3とで
構成される。パフォーマンスボード3の接続点P1 ,P
2 はそれぞれ抵抗Ra ,Rb をもつ配線で被試験IC4
の端子ti に接続される。
【0003】定電圧源1では、D/A変換器5の出力電
圧Vi が抵抗器R1 を通じて、非反転入力端子が共通電
位点に接続された演算増幅器6の反転入力端子に供給さ
れる。演算増幅器6の出力電流が電流測定用抵抗器RM
を通じ、更に配線抵抗及びコネクタの接触抵抗より成る
抵抗分RL1を持つ接続ケーブル等及びパフォーマンスボ
ード3の配線抵抗Ra を通じて被試験IC4の端子t1
に供給される。
圧Vi が抵抗器R1 を通じて、非反転入力端子が共通電
位点に接続された演算増幅器6の反転入力端子に供給さ
れる。演算増幅器6の出力電流が電流測定用抵抗器RM
を通じ、更に配線抵抗及びコネクタの接触抵抗より成る
抵抗分RL1を持つ接続ケーブル等及びパフォーマンスボ
ード3の配線抵抗Ra を通じて被試験IC4の端子t1
に供給される。
【0004】接続点P1 に発生した電圧V1 は、抵抗分
RS1(配線抵抗+接触抵抗)のケーブル等を通じて定電
圧源1の電圧ホロア回路7に入力される。電圧ホロア回
路7の出力電圧は、抵抗器R2 を通じて演算増幅器6の
反転入力端子に帰還される。演算増幅器6の利得Aはき
わめて大きく(理想的には無限大)、かつその出力電圧
v0 は有限な確定値であるから、接続点Pにおける入力
電圧v1 =−v0 /Aはきわめて小さく、ゼロと見なし
得る。(このような意味で、接続点Pは仮想接地点と呼
ばれる。)従って、抵抗器R1 を流れる電流I1 は、 I1 =Vi /R1 ・・・(1) となる。但し(1)式のR1 は抵抗器R1 の抵抗値を表
すものとする(以下同様)。この電流I1 は演算増幅器
6の入力抵抗がきわめて大きい(理想的には無限大)の
で、抵抗器R2 を通じて電圧ホロア回路7に吸い込まれ
る。従って、電圧ホロア回路7の出力電圧Va は、 Va =−R2 I1 =−(R2 /R1 )Vi ・・・(2) となる。電圧ホロア回路7はよく知られているように、
その入力電圧Vb と出力電圧Va とは等しく、またその
入力抵抗はきわめて大きい(理想的には無限大)ので、
接続点P1 から流入する電流は無視できる。よって配線
抵抗等RS1において電圧降下は発生せず、接続点P1 の
電圧V1 は電圧ホロア7の入力電圧Vb に等しい。従っ
て、 V1 =Vb =Va =−(R2 /R1 )Vi ・・・(3) となり、V1 はD/A変換器5の出力電圧Vi と抵抗値
の比R2 /R1 とで決まる一定の電圧となる。
RS1(配線抵抗+接触抵抗)のケーブル等を通じて定電
圧源1の電圧ホロア回路7に入力される。電圧ホロア回
路7の出力電圧は、抵抗器R2 を通じて演算増幅器6の
反転入力端子に帰還される。演算増幅器6の利得Aはき
わめて大きく(理想的には無限大)、かつその出力電圧
v0 は有限な確定値であるから、接続点Pにおける入力
電圧v1 =−v0 /Aはきわめて小さく、ゼロと見なし
得る。(このような意味で、接続点Pは仮想接地点と呼
ばれる。)従って、抵抗器R1 を流れる電流I1 は、 I1 =Vi /R1 ・・・(1) となる。但し(1)式のR1 は抵抗器R1 の抵抗値を表
すものとする(以下同様)。この電流I1 は演算増幅器
6の入力抵抗がきわめて大きい(理想的には無限大)の
で、抵抗器R2 を通じて電圧ホロア回路7に吸い込まれ
る。従って、電圧ホロア回路7の出力電圧Va は、 Va =−R2 I1 =−(R2 /R1 )Vi ・・・(2) となる。電圧ホロア回路7はよく知られているように、
その入力電圧Vb と出力電圧Va とは等しく、またその
入力抵抗はきわめて大きい(理想的には無限大)ので、
接続点P1 から流入する電流は無視できる。よって配線
抵抗等RS1において電圧降下は発生せず、接続点P1 の
電圧V1 は電圧ホロア7の入力電圧Vb に等しい。従っ
て、 V1 =Vb =Va =−(R2 /R1 )Vi ・・・(3) となり、V1 はD/A変換器5の出力電圧Vi と抵抗値
の比R2 /R1 とで決まる一定の電圧となる。
【0005】定電圧源2の構成と動作は定電圧源1と同
様であり、接続点P2 の電圧V2 は、 V2 =Vb =Va =−(R2 /R1 )Vi ・・・(4) となる。なお、定電圧源1,2において電流測定抵抗器
RM の出力端と電圧ホロア回路7の入力端とが保護抵抗
器RS で接続されているが、これは定電圧源の負荷側が
オープンとなったとき、演算増幅器6が飽和するのを防
止するものである。
様であり、接続点P2 の電圧V2 は、 V2 =Vb =Va =−(R2 /R1 )Vi ・・・(4) となる。なお、定電圧源1,2において電流測定抵抗器
RM の出力端と電圧ホロア回路7の入力端とが保護抵抗
器RS で接続されているが、これは定電圧源の負荷側が
オープンとなったとき、演算増幅器6が飽和するのを防
止するものである。
【0006】電流測定用抵抗器RM の端子電圧はバッフ
ァ8を介してA/D変換器9に供給され、接続点P1 ,
P2 を流れる電流がそれぞれ測定される。パフォーマン
スボード3の配線抵抗Ra ,Rb 及び被試験IC4の端
子ti の入力抵抗(負荷抵抗)RL を流れる電流は、重
畳の理を用いて求められる。 図3において、V2 =0で、V1 のみ存在すると
き、負荷電流をIL1,Rbを流れる電流をI1 とすれ
ば、V1 からRa にI1 +IL1の電流が流れる。これら
の電流を図3に実線で示してある。 V1 =0で、V2 のみ存在するとき、負荷電流をI
L2,Ra を流れる電流をI2 とすれば、V2 よりRb に
I2 +IL2の電流が流れる。これらの電流を図3に点線
で示してある。 V1 ,V2 が同時に存在するときの電流は、と
の電流を重畳したものであるから、Ra ,Rb 及びRL
を流れる電流、Ia ,Ib ,IL はそれぞれ、 Ia =I1 −I2 +IL1 ・・・(5) Ib =I2 −I1 +IL2 ・・・(6) IL =IL1+IL2 ・・・(7) ここで V1 =V2 ; Ra =Rb ・・・(8) とすれば、 I1 =I2 ; IL1=IL2 ・・・(9) が成り立つ。(9)式を(5),(6)式に代入すれ
ば、 Ia =IL1 ; Ib =IL2 ・・・(10) となる。即ち、電源V1 ,V2 からそれぞれ同じ大きさ
の負荷電流IL1,IL2が、抵抗Ra 又はRb を通じて負
荷抵抗RL に流れる。これらの電流は定電圧源1,2の
演算増幅器6より供給されることは勿論である。
ァ8を介してA/D変換器9に供給され、接続点P1 ,
P2 を流れる電流がそれぞれ測定される。パフォーマン
スボード3の配線抵抗Ra ,Rb 及び被試験IC4の端
子ti の入力抵抗(負荷抵抗)RL を流れる電流は、重
畳の理を用いて求められる。 図3において、V2 =0で、V1 のみ存在すると
き、負荷電流をIL1,Rbを流れる電流をI1 とすれ
ば、V1 からRa にI1 +IL1の電流が流れる。これら
の電流を図3に実線で示してある。 V1 =0で、V2 のみ存在するとき、負荷電流をI
L2,Ra を流れる電流をI2 とすれば、V2 よりRb に
I2 +IL2の電流が流れる。これらの電流を図3に点線
で示してある。 V1 ,V2 が同時に存在するときの電流は、と
の電流を重畳したものであるから、Ra ,Rb 及びRL
を流れる電流、Ia ,Ib ,IL はそれぞれ、 Ia =I1 −I2 +IL1 ・・・(5) Ib =I2 −I1 +IL2 ・・・(6) IL =IL1+IL2 ・・・(7) ここで V1 =V2 ; Ra =Rb ・・・(8) とすれば、 I1 =I2 ; IL1=IL2 ・・・(9) が成り立つ。(9)式を(5),(6)式に代入すれ
ば、 Ia =IL1 ; Ib =IL2 ・・・(10) となる。即ち、電源V1 ,V2 からそれぞれ同じ大きさ
の負荷電流IL1,IL2が、抵抗Ra 又はRb を通じて負
荷抵抗RL に流れる。これらの電流は定電圧源1,2の
演算増幅器6より供給されることは勿論である。
【0007】非試験中ではD/A変換器5の出力電圧V
i =0であるので、(3),(4)式より、V1 =V2
=0となり、従って負荷電流IL1=IL2=0である。試
験中において端子ti に印加される電圧は、P1 ,P2
の電圧V1 ,V2 より、配線抵抗Ra ,Rb における電
圧降下分だけ小さくなり、測定誤差の原因となるので、
Ra ,Rb はできるだけ小さくしなければならない。
i =0であるので、(3),(4)式より、V1 =V2
=0となり、従って負荷電流IL1=IL2=0である。試
験中において端子ti に印加される電圧は、P1 ,P2
の電圧V1 ,V2 より、配線抵抗Ra ,Rb における電
圧降下分だけ小さくなり、測定誤差の原因となるので、
Ra ,Rb はできるだけ小さくしなければならない。
【0008】
【考案が解決しようとする課題】定電圧源1,2には誤
差(オフセット)が存在するため、非試験中で、Vi =
0であっても、V1 ,V2 は完全にゼロとはならず、僅
かのオフセット電圧が発生し、これらのオフセット電圧
は一般に等しくない。そのため、 I0 =(V1 −V2 )/(Ra +Rb ) ・・・(11) の電流が接続点P1 からP2 に流れる。いま、V1 −V
2 =1mV;Ra ,Rbがそれぞれ0.1mΩとする
と、 I0 =1(mv)/0.2(mΩ)=5A ・・・(12) となり、きわめて大きなオフセット電流I0 が流れてし
まう。非試験中であるから、被試験IC4は存在しない
か、或いは存在してもICはオフ状態であって、その入
力抵抗RL はきわめて高いので、この電流I0 は定電圧
源1,2相互間に流れ、電力が無駄に消費される。この
電流は非試験中で、パフォーマンスボード3を挿脱時に
も流れるのでパフォーマンスボードのコネクタを破損さ
せる恐れもある。
差(オフセット)が存在するため、非試験中で、Vi =
0であっても、V1 ,V2 は完全にゼロとはならず、僅
かのオフセット電圧が発生し、これらのオフセット電圧
は一般に等しくない。そのため、 I0 =(V1 −V2 )/(Ra +Rb ) ・・・(11) の電流が接続点P1 からP2 に流れる。いま、V1 −V
2 =1mV;Ra ,Rbがそれぞれ0.1mΩとする
と、 I0 =1(mv)/0.2(mΩ)=5A ・・・(12) となり、きわめて大きなオフセット電流I0 が流れてし
まう。非試験中であるから、被試験IC4は存在しない
か、或いは存在してもICはオフ状態であって、その入
力抵抗RL はきわめて高いので、この電流I0 は定電圧
源1,2相互間に流れ、電力が無駄に消費される。この
電流は非試験中で、パフォーマンスボード3を挿脱時に
も流れるのでパフォーマンスボードのコネクタを破損さ
せる恐れもある。
【0009】この考案の目的は、従来のこのような問題
を解決して、非試験中に両定電圧電源間に流れるオフセ
ット電流を軽減させようとするものである。
を解決して、非試験中に両定電圧電源間に流れるオフセ
ット電流を軽減させようとするものである。
【0010】
【課題を解決するための手段】この考案では、第1、第
2定電圧源の各電圧ホロア回路の入力端にそれぞれスイ
ッチを挿入する。また、それらのスイッチを制御して、
被試験ICの試験期間T中においてオン、非試験期間中
においてオフとなし、かつ、前記第1、第2定電圧源の
D/A変換器を制御してその各出力電圧Vi を、前記試
験期間T内の所定の期間T0 において所定の電圧値に、
その期間T0 以外においてゼロに設定させる制御回路を
設ける。
2定電圧源の各電圧ホロア回路の入力端にそれぞれスイ
ッチを挿入する。また、それらのスイッチを制御して、
被試験ICの試験期間T中においてオン、非試験期間中
においてオフとなし、かつ、前記第1、第2定電圧源の
D/A変換器を制御してその各出力電圧Vi を、前記試
験期間T内の所定の期間T0 において所定の電圧値に、
その期間T0 以外においてゼロに設定させる制御回路を
設ける。
【0011】
【実施例】この考案の実施例を図1Aに、図2と対応す
る部分に同じ符号を付し、重複説明を省略する。この考
案では、定電圧源1,2の各電圧ホロア回路7の入力端
子と端子INとの間にスイッチSWが挿入される。各ス
イッチSWは制御回路21により制御され、図1Bに示
すように被試験IC4の試験中(T期間)はオンとさ
れ、非試験中はオフとされる。また、D/A変換器5
は、制御回路21により制御されて、その出力Vi がス
イッチSWがオンである試験期間T内の期間T0におい
て所定の値に設定され、T0 以外の期間はVi =0とさ
れる。詳しく言えば、A/D変換器5の出力Vi はスイ
ッチSWがオンになってからT1 時間後に所定の値に設
定され、Vi が0に戻されてからT2 時間後にスイッチ
SWがオフに戻される。
る部分に同じ符号を付し、重複説明を省略する。この考
案では、定電圧源1,2の各電圧ホロア回路7の入力端
子と端子INとの間にスイッチSWが挿入される。各ス
イッチSWは制御回路21により制御され、図1Bに示
すように被試験IC4の試験中(T期間)はオンとさ
れ、非試験中はオフとされる。また、D/A変換器5
は、制御回路21により制御されて、その出力Vi がス
イッチSWがオンである試験期間T内の期間T0におい
て所定の値に設定され、T0 以外の期間はVi =0とさ
れる。詳しく言えば、A/D変換器5の出力Vi はスイ
ッチSWがオンになってからT1 時間後に所定の値に設
定され、Vi が0に戻されてからT2 時間後にスイッチ
SWがオフに戻される。
【0012】期間T0 ではV1 ,V2 が印加され、それ
によって接続点P1 ,P2 に流れる電流が測定される。
期間T0 では常にスイッチSWはオンであるので、スイ
ッチSWを追加しても測定になんの悪影響も与えない。
非試験中は各電圧源においてVi =0で、かつスイッチ
SWがオフであるから、保護抵抗RS と測定抵抗RM と
の接続点P3 及びP4 に、理想的にはそれぞれ(3),
(4)式より V1 =V2 =−(R2 /R1 )Vi =0 ・・・(13) の定電圧が設定される。しかし、実際には既に述べたよ
うに僅かなオフセット電圧が発生するので、 I0 ′=(V1 −V2 )/(RL1+Ra +Rb +RL2) ・・・(14) の電流が点P3 からP4 に流れる。(14)式で RL1,RL2≫Ra ,Rb ・・・(15) であるから、 I0 ′≒(V1 −V2 )/(RL1+RL2) ・・・(16) となる。例えば、従来例と同様にV1 −V2 =1mVと
し、またRL1,RL2が0.1Ωであったとすれば I0 ′=1(mV)/0.2(Ω)=5(mA) ・・・(17) となり、従来例(I0 =5A)の1/1000の電流に
軽減される。
によって接続点P1 ,P2 に流れる電流が測定される。
期間T0 では常にスイッチSWはオンであるので、スイ
ッチSWを追加しても測定になんの悪影響も与えない。
非試験中は各電圧源においてVi =0で、かつスイッチ
SWがオフであるから、保護抵抗RS と測定抵抗RM と
の接続点P3 及びP4 に、理想的にはそれぞれ(3),
(4)式より V1 =V2 =−(R2 /R1 )Vi =0 ・・・(13) の定電圧が設定される。しかし、実際には既に述べたよ
うに僅かなオフセット電圧が発生するので、 I0 ′=(V1 −V2 )/(RL1+Ra +Rb +RL2) ・・・(14) の電流が点P3 からP4 に流れる。(14)式で RL1,RL2≫Ra ,Rb ・・・(15) であるから、 I0 ′≒(V1 −V2 )/(RL1+RL2) ・・・(16) となる。例えば、従来例と同様にV1 −V2 =1mVと
し、またRL1,RL2が0.1Ωであったとすれば I0 ′=1(mV)/0.2(Ω)=5(mA) ・・・(17) となり、従来例(I0 =5A)の1/1000の電流に
軽減される。
【0013】なお、図1BのT1 ,T2 期間ではスイッ
チSWはオンとされ、デバイス電源は従来と同じ回路構
成となり、オフセット電流I0 が点P1 からP2 に流れ
るが、きわめて短時間であるので問題ない。これ迄の説
明では2個の定電圧源を並列接続するものとしたが、こ
の考案は、これに限らずn(≧2)個の定電圧源を並列
接続した電源に容易に拡張できることは明らかである。
チSWはオンとされ、デバイス電源は従来と同じ回路構
成となり、オフセット電流I0 が点P1 からP2 に流れ
るが、きわめて短時間であるので問題ない。これ迄の説
明では2個の定電圧源を並列接続するものとしたが、こ
の考案は、これに限らずn(≧2)個の定電圧源を並列
接続した電源に容易に拡張できることは明らかである。
【0014】
【考案の効果】この考案によれば、非試験時にはスイッ
チSWがオフとされるので、定電圧源1,2の接続点P
3 ,P4 (出力端子OUT)にV1 =V2 ≒0の定電圧
が設定される。V1 ,V2 として僅かのオフセット電圧
が存在したとしても、これらのオフセット電圧によって
点P3 からP4 に流れる電流I0 ′は、定電圧源1,2
とパフォーマンスボード3との間の配線抵抗等RL1,R
L2によって従来より大幅に軽減され、無駄な電力消費が
防止される。
チSWがオフとされるので、定電圧源1,2の接続点P
3 ,P4 (出力端子OUT)にV1 =V2 ≒0の定電圧
が設定される。V1 ,V2 として僅かのオフセット電圧
が存在したとしても、これらのオフセット電圧によって
点P3 からP4 に流れる電流I0 ′は、定電圧源1,2
とパフォーマンスボード3との間の配線抵抗等RL1,R
L2によって従来より大幅に軽減され、無駄な電力消費が
防止される。
【0015】またパフォーマンスボード3の挿脱時にオ
フセット電流I0 ′が流れて、コネクタを破損されるよ
うな恐れもなくなる。
フセット電流I0 ′が流れて、コネクタを破損されるよ
うな恐れもなくなる。
【図1】Aはこの考案の実施例を示す回路図、BはAの
要部のタイムチャート。
要部のタイムチャート。
【図2】従来のICテスタの並列接続デバイス電源の回
路図。
路図。
【図3】図2のパフォーマンスボード3の電流分布を説
明するための回路図。
明するための回路図。
Claims (1)
- 【請求項1】 被試験ICの所定の同一の端子に配線を
通じてそれぞれ接続された第1、第2接続点を有するパ
フォーマンスボードと、 D/A変換器の出力電圧Vi を第1抵抗器(その抵抗値
をR1 とする)を通じて、非反転入力端子が共通電位点
に接続された演算増幅器の反転入力端子に供給し、その
演算増幅器の出力電流を電流測定用抵抗器を通じ、更に
配線を通じて前記パフォーマンスボードの第1接続点に
供給し、その第1接続点に発生した電圧を他の配線を通
じて電圧ホロア回路に入力し、その電圧ホロア回路の入
力端子を前記電流測定用抵抗器の出力端に保護抵抗器を
介して接続し、その電圧ホロア回路の出力を第2抵抗器
(その抵抗値をR2 とする)を通じて前記演算増幅器の
反転入力端子に帰還させ、前記第1接続点に定電圧V=
−(R2 /R1 )Vi を供給する第1定電圧源と、 前記第1定電圧源と同一の回路構成とされ、前記パフォ
ーマンスボードの第2接続点に前記定電圧Vを供給する
第2定電圧源とより成るICテスタの並列接続デバイス
電源において、 前記第1、第2定電圧源の各電圧ホロア回路の入力端子
と前記他の配線との間にそれぞれスイッチを挿入し、 それらのスイッチを制御して、被試験ICの試験期間T
中においてオンに、非試験期間中においてオフとなし、
かつ、前記第1、第2定電圧源のD/A変換器を制御し
て、その各出力電圧Vi を、前記試験期間T内の所定の
期間T0 において所定の電圧値に、その期間T0 以外に
おいてゼロにそれぞれ設定させる制御回路を設けたこと
を特徴とする、 ICテスタの並列接続デバイス電源。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10312291U JP2565866Y2 (ja) | 1991-12-13 | 1991-12-13 | Icテスタの並列接続デバイス電源 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10312291U JP2565866Y2 (ja) | 1991-12-13 | 1991-12-13 | Icテスタの並列接続デバイス電源 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0553244U JPH0553244U (ja) | 1993-07-13 |
JP2565866Y2 true JP2565866Y2 (ja) | 1998-03-25 |
Family
ID=14345780
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10312291U Expired - Lifetime JP2565866Y2 (ja) | 1991-12-13 | 1991-12-13 | Icテスタの並列接続デバイス電源 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2565866Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4594474B2 (ja) * | 2000-02-10 | 2010-12-08 | 株式会社アドバンテスト | 定電圧電源回路および試験装置 |
KR20100103456A (ko) * | 2007-12-21 | 2010-09-27 | 가부시키가이샤 어드밴티스트 | 시험 장치 및 측정 장치 |
-
1991
- 1991-12-13 JP JP10312291U patent/JP2565866Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0553244U (ja) | 1993-07-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4119060B2 (ja) | 試験装置 | |
JP3392029B2 (ja) | Icテスタの電圧印加電流測定回路 | |
TWI409484B (zh) | 電壓/電流源及具有電壓/電流源之測試系統 | |
JPH01191067A (ja) | オームメータ測定方法及び回路 | |
JP2565866Y2 (ja) | Icテスタの並列接続デバイス電源 | |
US5760596A (en) | Testing series passive components without contacting the driven node | |
JP3331103B2 (ja) | Icテスタの電流測定装置 | |
JPS649594B2 (ja) | ||
US3970930A (en) | Current meter | |
JPH05870Y2 (ja) | ||
JPH0519819Y2 (ja) | ||
JPH0136362Y2 (ja) | ||
JP3509043B2 (ja) | Icテスタ | |
JPH0539496Y2 (ja) | ||
JPH0438303Y2 (ja) | ||
JP2827233B2 (ja) | 半導体試験装置 | |
JP3978672B2 (ja) | 電圧印加電流測定器 | |
JP2000214222A (ja) | 電源回路 | |
JPH0611471Y2 (ja) | 直流電圧・電流発生装置 | |
JPH11281677A (ja) | 電流測定装置 | |
JP3461258B2 (ja) | 導電率またはpHを測定する装置 | |
JPH0752369B2 (ja) | 定電流回路 | |
JPH03189575A (ja) | 半導体装置の試験方法および試験装置 | |
US7141984B2 (en) | Switching circuit for current measurement range resistor and current measurement apparatus including switching circuit | |
JPS61221681A (ja) | Ic検査システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19971021 |