JPH052869Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH052869Y2 JPH052869Y2 JP1987068432U JP6843287U JPH052869Y2 JP H052869 Y2 JPH052869 Y2 JP H052869Y2 JP 1987068432 U JP1987068432 U JP 1987068432U JP 6843287 U JP6843287 U JP 6843287U JP H052869 Y2 JPH052869 Y2 JP H052869Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- test
- detection circuit
- current
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 33
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 21
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 12
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本考案は、半導体直流テスト装置に関するもの
であり、詳しくはテスト時間および測定精度の改
善に関するものである。
であり、詳しくはテスト時間および測定精度の改
善に関するものである。
（従来の技術）
第２図は、従来の半導体テスト装置の一例を示
すブロツク図である。第２図において、１は装置
本体、２はテスト対象半導体装置（以下DUTと
いう）３が実装されるテストヘツド、４は装置本
体１とテストヘツド２とを接続するケーブルであ
る。
すブロツク図である。第２図において、１は装置
本体、２はテスト対象半導体装置（以下DUTと
いう）３が実装されるテストヘツド、４は装置本
体１とテストヘツド２とを接続するケーブルであ
る。
装置本体１の内部には、直流電圧・電流発生回
路５、電圧検出回路６および電流検出回路７が設
けられている。ここで、電圧検出回路６は直流電
圧・電流発生回路５がテストヘツド２に直流電流
を供給するときの直流電圧を測定し、電流検出回
路７は直流電圧・電流発生回路５がテストヘツド
２に直流電圧を供給するときの直流電圧を測定す
るように接続されている。すなわち、直流電圧・
電流発生回路５の直流出力信号は電流検出回路７
およびケーブル４を介してテストヘツド２に供給
され、テストヘツド２から出力される直流信号は
ケーブル４および電圧検出回路６を介して直流電
圧・電流発生回路５に加えられている。なお、電
流検出回路７からも直流検出信号が直流電圧・電
流発生回路５に加えられている。
路５、電圧検出回路６および電流検出回路７が設
けられている。ここで、電圧検出回路６は直流電
圧・電流発生回路５がテストヘツド２に直流電流
を供給するときの直流電圧を測定し、電流検出回
路７は直流電圧・電流発生回路５がテストヘツド
２に直流電圧を供給するときの直流電圧を測定す
るように接続されている。すなわち、直流電圧・
電流発生回路５の直流出力信号は電流検出回路７
およびケーブル４を介してテストヘツド２に供給
され、テストヘツド２から出力される直流信号は
ケーブル４および電圧検出回路６を介して直流電
圧・電流発生回路５に加えられている。なお、電
流検出回路７からも直流検出信号が直流電圧・電
流発生回路５に加えられている。
このように構成することにより、電圧検出回路
６の検出信号および電流検出回路７の検出信号に
基づいてDUT３の直流特性を測定することがで
きる。
６の検出信号および電流検出回路７の検出信号に
基づいてDUT３の直流特性を測定することがで
きる。
（考案が解決しようとする問題点）
しかし、このような従来の構成によれば、テス
ト装置本体側１に配置されている電圧検出回路お
よび電流検出回路７とテストヘツド２側に配置さ
れたDUT３とがケーブル４を介して接続されて
いることから、微小電流によるテストを行う場合
にはケーブル４の静電容量が影響して信号整定時
間が長くなり、テスト時間が長くなつてしまうと
いう問題がある。例えば、1μAの電流で1nFの静
電容量を持つケーブル４を駆動するものとする
と、 de dt＝ｉ Ｃ＝１×10-6 １×10-9＝1Vms となり、1Vの電圧変化に対して1msを要するこ
とになる。
ト装置本体側１に配置されている電圧検出回路お
よび電流検出回路７とテストヘツド２側に配置さ
れたDUT３とがケーブル４を介して接続されて
いることから、微小電流によるテストを行う場合
にはケーブル４の静電容量が影響して信号整定時
間が長くなり、テスト時間が長くなつてしまうと
いう問題がある。例えば、1μAの電流で1nFの静
電容量を持つケーブル４を駆動するものとする
と、 de dt＝ｉ Ｃ＝１×10-6 １×10-9＝1Vms となり、1Vの電圧変化に対して1msを要するこ
とになる。
また、ケーブル４の部分が高インピーダンスに
なることから外部ノイズの影響を受けやすい。
なることから外部ノイズの影響を受けやすい。
本考案は、これらの問題点に着目してなされた
ものであり、その目的は、テスト時間が短縮で
き、外部ノイズの影響を受けにくい半導体直流テ
スト装置を実現することにある。
ものであり、その目的は、テスト時間が短縮で
き、外部ノイズの影響を受けにくい半導体直流テ
スト装置を実現することにある。
（問題点を解決するための手段）
このような問題点を解決する本考案は、
テスト装置本体側に配置され、テスト対象半導
体装置が実装されるテストヘツドにテストのため
の直流信号を供給する直流信号発生回路と、 テストヘツド側に配置され、テスト対象物半導
体装置のピンにおける直流信号を検出する直流信
号検出回路、 とで構成されたことを特徴とする。
体装置が実装されるテストヘツドにテストのため
の直流信号を供給する直流信号発生回路と、 テストヘツド側に配置され、テスト対象物半導
体装置のピンにおける直流信号を検出する直流信
号検出回路、 とで構成されたことを特徴とする。
（実施例）
以下、図面を用いて本考案の実施例を詳細に説
明する。
明する。
第１図は本考案の一実施例を示すブロツク図で
あり、第２図と同一部分には同一符号を付けてい
る。第１図において、装置本体１側には直流電
圧・電流発生回路５が設けられている。一方、テ
ストヘツド２側には電圧検出回路６および電流検
出回路７が設けられていて、これら電圧検出回路
６および電流検出回路７はDUT３に接続されて
いる。そして、装置本体１側に配置された直流電
圧・電流発生回路５とテストヘツド２側に配置さ
れた電圧検出回路６、電流検出回路７は、ケーブ
ル８を介して接続されている。
あり、第２図と同一部分には同一符号を付けてい
る。第１図において、装置本体１側には直流電
圧・電流発生回路５が設けられている。一方、テ
ストヘツド２側には電圧検出回路６および電流検
出回路７が設けられていて、これら電圧検出回路
６および電流検出回路７はDUT３に接続されて
いる。そして、装置本体１側に配置された直流電
圧・電流発生回路５とテストヘツド２側に配置さ
れた電圧検出回路６、電流検出回路７は、ケーブ
ル８を介して接続されている。
このように構成することにより直流電圧・電流
発生回路５の出力インピーダンスおよび電圧検出
回路６の出力インピーダンスを低くでき、ケーブ
ル８を低インピーダンスで駆動できる。従つて、
ケーブル８の静電容量に起因する信号整定時間を
短くでき、外部ノイズの影響が軽減できる。
発生回路５の出力インピーダンスおよび電圧検出
回路６の出力インピーダンスを低くでき、ケーブ
ル８を低インピーダンスで駆動できる。従つて、
ケーブル８の静電容量に起因する信号整定時間を
短くでき、外部ノイズの影響が軽減できる。
（考案の効果）
以上説明したように、本考案によれば、テスト
時間が短縮でき、外部ノイズの影響を受けにくい
半導体直流テスト装置が実現でき、実用上の効果
は大きい。
時間が短縮でき、外部ノイズの影響を受けにくい
半導体直流テスト装置が実現でき、実用上の効果
は大きい。
第１図は本考案の一実施例を示すブロツク図、
第２図は従来の半導体直流テスト装置の一例を示
すブロツク図である。 １……装置本体、２……テストヘツド、３……
テスト対象半導体装置（DUT）、５……直流電
圧・電流発生回路、６……電圧検出回路、７……
電流検出回路、８……ケーブル。
第２図は従来の半導体直流テスト装置の一例を示
すブロツク図である。 １……装置本体、２……テストヘツド、３……
テスト対象半導体装置（DUT）、５……直流電
圧・電流発生回路、６……電圧検出回路、７……
電流検出回路、８……ケーブル。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 テスト装置本体側に配置され、テスト対象半導
体装置が実装されるテストヘツドにテストのため
の直流信号を供給する直流信号発生回路と、 テストヘツド側に配置され、テスト対象物半導
体装置にピンにおける直流信号を検出する直流信
号検出回路、 とで構成されたことを特徴とする半導体直流テス
ト装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987068432U JPH052869Y2 (ja) | 1987-05-07 | 1987-05-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987068432U JPH052869Y2 (ja) | 1987-05-07 | 1987-05-07 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63177770U JPS63177770U (ja) | 1988-11-17 |
| JPH052869Y2 true JPH052869Y2 (ja) | 1993-01-25 |
Family
ID=30908246
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987068432U Expired - Lifetime JPH052869Y2 (ja) | 1987-05-07 | 1987-05-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH052869Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61221681A (ja) * | 1985-03-27 | 1986-10-02 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | Ｉｃ検査システム |
-
1987
- 1987-05-07 JP JP1987068432U patent/JPH052869Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61221681A (ja) * | 1985-03-27 | 1986-10-02 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | Ｉｃ検査システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63177770U (ja) | 1988-11-17 |
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