JPS6221069A - コンタクト式マルチプロ−ブ - Google Patents
コンタクト式マルチプロ−ブInfo
- Publication number
- JPS6221069A JPS6221069A JP60159628A JP15962885A JPS6221069A JP S6221069 A JPS6221069 A JP S6221069A JP 60159628 A JP60159628 A JP 60159628A JP 15962885 A JP15962885 A JP 15962885A JP S6221069 A JPS6221069 A JP S6221069A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- input
- control signal
- output control
- test
- Prior art date
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- Granted
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はコンタクト式マルチプローブ、詳しくは各種回
路基板の電気特性、特に高周波電圧特性の測定において
複数本ニードルを同時に測定し、かつ制御可能としたコ
ンタクト式マルチプローブに関する。
路基板の電気特性、特に高周波電圧特性の測定において
複数本ニードルを同時に測定し、かつ制御可能としたコ
ンタクト式マルチプローブに関する。
従来のコンタクト式プローブは、例えば同軸ケーブルに
１本のニードルを具備し、このニードルのコンタクト部
を試験片の内部配線に接触させて電圧を測定するもので
あるが、最近の想像以上に複雑で高密度になってきた各
種回路基板の場合、不良要因がいたるところに存在する
為に検査箇所、更には検査項目がますます増加してきて
いる。その為、従来のコンタクト式プローブでは、増加
する検査箇所、検査項目の測定・検査に十分対応しきれ
ないという問題点があった。
１本のニードルを具備し、このニードルのコンタクト部
を試験片の内部配線に接触させて電圧を測定するもので
あるが、最近の想像以上に複雑で高密度になってきた各
種回路基板の場合、不良要因がいたるところに存在する
為に検査箇所、更には検査項目がますます増加してきて
いる。その為、従来のコンタクト式プローブでは、増加
する検査箇所、検査項目の測定・検査に十分対応しきれ
ないという問題点があった。
ところが最近、電子部品は一段と小型・高機能を指向す
るので、各種回路基板の複雑・高密度化に対応したコン
タクト式プローブ技術を開発したいという要望が高まり
、この要望に応えるため、複数本のプローブの人出力信
号をマルチ方式で同時制御可能としたコンタクト式マル
チプローブが必要になる。
るので、各種回路基板の複雑・高密度化に対応したコン
タクト式プローブ技術を開発したいという要望が高まり
、この要望に応えるため、複数本のプローブの人出力信
号をマルチ方式で同時制御可能としたコンタクト式マル
チプローブが必要になる。
本発明の他の目的としては、制御機能を備えると共に、
一層の高密度実装を可能としたコンタクト式マルチプロ
ーブが必要になる。
一層の高密度実装を可能としたコンタクト式マルチプロ
ーブが必要になる。
〔問題点を解決するための手段とその作用〕本発明は前
記の如く試験片からの人出力信号に対する判断機能を備
えた第１のｔＣと複数本の同軸プローブとを有するマル
チプローブ本体と、入・出力制御信号ラインを経て伝達
された制御信号を判断・処理する第２の素子を有するコ
ミュニケーション・インターフェースとを設けたことに
より、複数本のプローブの入出力信号をマルチ方式で同
時制御でき、かつ一層の高密度実装を実現できるように
するものである。
記の如く試験片からの人出力信号に対する判断機能を備
えた第１のｔＣと複数本の同軸プローブとを有するマル
チプローブ本体と、入・出力制御信号ラインを経て伝達
された制御信号を判断・処理する第２の素子を有するコ
ミュニケーション・インターフェースとを設けたことに
より、複数本のプローブの入出力信号をマルチ方式で同
時制御でき、かつ一層の高密度実装を実現できるように
するものである。
以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。
図面は本発明の実施例を示すもので、まず構成を説明す
る。
る。
（１）は円盤状のマルチプローブ本体で、上面の中央部
には判断機能を有する第１のＩＣ（２）を配設し、該第
１のＩｃ（２）を中心とした周辺円周部に等間隔配置さ
れた礼状の多極端子（３）を有する。
には判断機能を有する第１のＩＣ（２）を配設し、該第
１のＩｃ（２）を中心とした周辺円周部に等間隔配置さ
れた礼状の多極端子（３）を有する。
複数本の同軸プローブ（４）はその頭部（図示せず）を
上記多極端子（３）にそれぞれ電気的に接続され、各ニ
ードル（５）を上記マルチプローブ本体（１）の下面か
ら下方に突出させて互いに平行な配列となるように構成
される。
上記多極端子（３）にそれぞれ電気的に接続され、各ニ
ードル（５）を上記マルチプローブ本体（１）の下面か
ら下方に突出させて互いに平行な配列となるように構成
される。
コミュニケーション・インターフェース（６）は中央部
に判断機能を有する第２のＩＣ（７）を有し、外部のマ
イクロブ、ロセッサーを含む制御測定装置（図示せず）
とは入力制御信号ライン（１０）、及び出力制御信号ラ
イン（１１）により接続されている。
に判断機能を有する第２のＩＣ（７）を有し、外部のマ
イクロブ、ロセッサーを含む制御測定装置（図示せず）
とは入力制御信号ライン（１０）、及び出力制御信号ラ
イン（１１）により接続されている。
（１２）は電源ラインである。上記第２のＩｃ（７）を
中心とした周辺円周部には等間隔配置された複数本の同
軸プローブ（８）が上記マルチプローブ・インターフェ
ース（１）の多極端子（３）に各々対応するように配設
され、測定時には、該同軸プローブ（８）の各ニードル
（９）が上記多極端子（３）の孔に挿着されると共に電
気的に接続される。（１３）は測定対象の試験ＩＣ（１
４）を中央上面に載置するテストヘッドで、その周辺部
には上記同軸プローブ（４）の各ニードル（５）にそれ
ぞれ対応するように配設されたコネクション部（１５）
を有する。測定時には、上記マルチプローブ（１）に具
備された同軸プローブ（４）の各ニードル（５）が上記
コネクション部（１５）の孔に挿着されると共に電気的
に接続される。
中心とした周辺円周部には等間隔配置された複数本の同
軸プローブ（８）が上記マルチプローブ・インターフェ
ース（１）の多極端子（３）に各々対応するように配設
され、測定時には、該同軸プローブ（８）の各ニードル
（９）が上記多極端子（３）の孔に挿着されると共に電
気的に接続される。（１３）は測定対象の試験ＩＣ（１
４）を中央上面に載置するテストヘッドで、その周辺部
には上記同軸プローブ（４）の各ニードル（５）にそれ
ぞれ対応するように配設されたコネクション部（１５）
を有する。測定時には、上記マルチプローブ（１）に具
備された同軸プローブ（４）の各ニードル（５）が上記
コネクション部（１５）の孔に挿着されると共に電気的
に接続される。
次に本発明の詳細な説明する。
マルチプローブ本体（１）をコミュニケーションインタ
ーフェース（６）に実装してテストヘッド（１３）に嵌
着された状態で、電源（１２）に接続されたスイッチ（
図示せず）をＯＮする。その後テストモードの人力制御
信号を入力制御信号ライン（１０）を経て入れ出力信号
制御信号を出力制御信号ライン（１１）を経て計測装置
制御装置（図示せず）に送信する。その結果、たとえば
、増幅用トランジスタＦＥＴを内蔵したＩＣをゲート電
源をドレン電源に先だって供給する破壊防止のシーケン
スプログラムにより高度な検査を行うことができる。
ーフェース（６）に実装してテストヘッド（１３）に嵌
着された状態で、電源（１２）に接続されたスイッチ（
図示せず）をＯＮする。その後テストモードの人力制御
信号を入力制御信号ライン（１０）を経て入れ出力信号
制御信号を出力制御信号ライン（１１）を経て計測装置
制御装置（図示せず）に送信する。その結果、たとえば
、増幅用トランジスタＦＥＴを内蔵したＩＣをゲート電
源をドレン電源に先だって供給する破壊防止のシーケン
スプログラムにより高度な検査を行うことができる。
また、検査を多数の試験ＩＣ（１４）に対して同時に行
うように構成してもよく、シーケンス制御により順次ま
たは選択された個々のＩＣ（１４）の電流値計測等のモ
ニタリングも行うことができ、上記実施例と同一の効果
をもつものである。従って本発明は、その特許請求の範
囲に反することなく種々変更することができるものであ
る。
うように構成してもよく、シーケンス制御により順次ま
たは選択された個々のＩＣ（１４）の電流値計測等のモ
ニタリングも行うことができ、上記実施例と同一の効果
をもつものである。従って本発明は、その特許請求の範
囲に反することなく種々変更することができるものであ
る。
以上説明したように、本発明によれば、制御機能を有し
高密度化されたマルチプローブにより各種テストモード
に対応して第１の素子の交換、又はコミュニケーション
・インターフェースからのプログラム化されテストモー
ド信号のフレキシブルな制御を実現して多種多様の検査
を高速に行なうことができ、しかも計測システムをコン
パクトにすることができるという大なる効果が得られる
。
高密度化されたマルチプローブにより各種テストモード
に対応して第１の素子の交換、又はコミュニケーション
・インターフェースからのプログラム化されテストモー
ド信号のフレキシブルな制御を実現して多種多様の検査
を高速に行なうことができ、しかも計測システムをコン
パクトにすることができるという大なる効果が得られる
。
このことは制御されたテストモードにより試験片を破壊
せずに安定した検査を実施することができ、さらに制御
機能をプローブの近傍に隣接した構成により計測装置と
のインターフェースを簡略化することができるという大
なる実用的効果を併せて持つことができる。
せずに安定した検査を実施することができ、さらに制御
機能をプローブの近傍に隣接した構成により計測装置と
のインターフェースを簡略化することができるという大
なる実用的効果を併せて持つことができる。
図面は本発明の一実施例を示すコンタクト式マルチプロ
ーブの斜視図である。 （１）・・・マルチプローブ本体 （２）・・・第１のＩＣ （３）・・・多極端子 （４）・・・同軸プローブ （５）・・・ニードル （６）・・・コミユニケージ・インターフェース（１０
）・・・入力制御信号ライン （１１）・・・出力制御信号ライン （１４）・・・試験Ｉ’Ｃ
ーブの斜視図である。 （１）・・・マルチプローブ本体 （２）・・・第１のＩＣ （３）・・・多極端子 （４）・・・同軸プローブ （５）・・・ニードル （６）・・・コミユニケージ・インターフェース（１０
）・・・入力制御信号ライン （１１）・・・出力制御信号ライン （１４）・・・試験Ｉ’Ｃ
Claims (2)
- （１）試験片からの入出力信号に対する判断機能を備え
た第１の素子と該第１の素子を中心とした円周部に等間
隔に配置された複数の多極端子と、該多極端子に各頭部
を嵌着され下方に向けて互いに並列配列されたニードル
を有する複数本の同軸プローブとを有するマルチプロー
ブ本体と、制御信号を判断・処理する第２の素子と上記
マルチプローブ本体に対応して配置され上記各同軸プロ
ーブのニードルを嵌着する多極端子と上記第２の素子に
接続された制御信号ラインとを有するコミニケーション
・インターフェースとから構成されたことを特徴とする
コンタクト式マルチプローブ。 - （２）第１及び第２の素子はＩＣで構成したことを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載のコンタクト式マルチ
プローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60159628A JPH0625778B2 (ja) | 1985-07-19 | 1985-07-19 | コンタクト式マルチプロ−ブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60159628A JPH0625778B2 (ja) | 1985-07-19 | 1985-07-19 | コンタクト式マルチプロ−ブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6221069A true JPS6221069A (ja) | 1987-01-29 |
| JPH0625778B2 JPH0625778B2 (ja) | 1994-04-06 |
Family
ID=15697870
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60159628A Expired - Lifetime JPH0625778B2 (ja) | 1985-07-19 | 1985-07-19 | コンタクト式マルチプロ−ブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0625778B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1991007753A1 (en) * | 1989-11-08 | 1991-05-30 | Signalling Technology Pty. Ltd. | In-circuit programming of integrated circuits |
| US7629796B2 (en) | 2006-07-20 | 2009-12-08 | Microinspection, Inc. | Contact type single side probe device and apparatus and method for testing open or short circuits of conductive lines using the same |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54156479A (en) * | 1978-05-30 | 1979-12-10 | Mitsubishi Electric Corp | Test unit for integrated circuit device |
| JPS57175961A (en) * | 1981-04-10 | 1982-10-29 | Tektronix Inc | Probe device |
| JPS58175273A (ja) * | 1982-04-07 | 1983-10-14 | 沖電気工業株式会社 | 同軸型可動接触プロ−ブ |
-
1985
- 1985-07-19 JP JP60159628A patent/JPH0625778B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54156479A (en) * | 1978-05-30 | 1979-12-10 | Mitsubishi Electric Corp | Test unit for integrated circuit device |
| JPS57175961A (en) * | 1981-04-10 | 1982-10-29 | Tektronix Inc | Probe device |
| JPS58175273A (ja) * | 1982-04-07 | 1983-10-14 | 沖電気工業株式会社 | 同軸型可動接触プロ−ブ |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1991007753A1 (en) * | 1989-11-08 | 1991-05-30 | Signalling Technology Pty. Ltd. | In-circuit programming of integrated circuits |
| US7629796B2 (en) | 2006-07-20 | 2009-12-08 | Microinspection, Inc. | Contact type single side probe device and apparatus and method for testing open or short circuits of conductive lines using the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0625778B2 (ja) | 1994-04-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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