JPS629276A - 半導体集積回路検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、半導体集積回路検査装置に関するものであり
、詳しくは、検査対象半導体集積回路毎に固有の同心円
状の配線パターンを有するプリント配線板を介して検査
対象半導体集積回路と検査装置本体と讐接続するように
構成された半導体集積回路検査装置において、同心円状
の各配線パターンのオーブンおよびショートが検出でき
るようにしたものである。

［従来の技術］ 一般に、半導体集積回路検査装置は、複数の測定器がシ
ステムとして動作するように構成されている。このよう
な装置では、検査対象半導体集積回路（以下ＯＵＴとい
う）の周辺には検査装置本体側の信号源出力端子および
測定信号入力端子が配列されているのみであり、ＤＬＩ
Ｔと検査装置本体とを接続するのにあたってはＤＵＴ毎
に固有の同心円状の配線バ雀−ンを有するプリント配線
板を介在させている。

第３図は、従来のこのような装置の一例、を示すブロッ
ク図である。第３図において、１はＤＵＴ。

２はＤＵＴ１毎に固有の同心円状の・配線パターン３＋
　、３２が形成されたプリント配線板、４は検査装置本
体である。検査装置本体４の電源出力端子４＋　　（Ｖ
ＣＣ）は配線パターン３１に接続され、接地端子４２（
Ｇ）は配線パターン３２に接続されている。ＤＬＩＴｌ
の電源端子１１＜ＶＣＣ）は配線パターン３１に接続さ
れ、接地端子１２’（Ｇ）は配線パターン３２に接続さ
れ、プルアップ端子１３．１４はそれぞれ抵抗Ｒ＋　、
Ｒ２を介して配線パターン３Ｉに接続され、プルダウン
端子１５は抵抗Ｒ１を介して配線パターン３２に接続さ
れている。

このように構成することにより、ＤＵＴｌの各端子１１
〜１５と所定の配線パターン３＋　、３２が最短距離で
接続されることになり、ＤＵＴｌの周辺の配線を単純化
できる。

ところで、ＤＵＴｌと検査装置本体４との間に配置され
る同心円状の配線パターン３は無端ループとして形成さ
れていた。

［発明が解決しようとする問題点］ このために、配線パターン３＋　、３２のオープンやシ
ョートの検出は困難であり、ＯＵＴのテストプログラム
を実行することにより得られるＤＵＴの不良率の上昇や
測定値の異常などから配線パターン３＋　、３２のオー
ブンやショートを推定しなければならないという欠点が
ある。

本発明は、このような点に着目してなされたもので、そ
の目的は、同心円状の配線パターンのオーブンやショー
トを容易に検出できる半導体集積回路検査装置を提供す
ることにある。

［問題点を解決するための手段］ このような目的を達成する本発明は、検査対象半導体集
積回路毎に固有の同心円状の配線パターンを有するプリ
ント配線板を介して検査対象半導体集積回路と検査装置
本体とを接続するように構成された半導体集積回路検査
装置において、同心円状の各配線パターンの一部にそれ
ぞれ設けられ各配線パターンを選択的にｎ閉するスイッ
チと、これら各配線パターンに選択的に電流を与えると
ともにこれら各配線パターンの端子間電圧を測定する手
段を設け、これら電圧測定値に基づいて各配線パターン
のオープンおよびショートを検出するようにしたことを
特徴とする。

［実施例］ 以下、図面を用いて本発明の実施例を詳細に説明する。

第１図は本発明の一実施例を示すブロック図であり、第
３図と同一部分には同一符号を付けている。第１図にお
いて、■は定電流源、Ｅは電圧測定器であり、これら定
電流源■と電圧測定器Ｅは並列に接続されていて、一端
は接地され、他端はスイッチＳ１を介して配線パターン
３２に接続されるとともにスイッチＳ２を介して配線パ
ターン３Ｉに接続されている。Ｓ３は配線パターン３電
を選択的に開閉するように配線パターン３１の一部に設
けられたスイッチ、Ｓ４は配線パターン３２を選択的に
開閉するように配線パターン３２の一部に設けられたス
イッチである。Ｒ４は抵抗であり、一端は接地され、他
端はスイッチＳ５を介して配線パターン３２に接続され
るとともにスイッチＳ６を介して配線パターン３１に接
続されている。Ｓ７は配線パターン３２を選択的に接地
するように配線パターン３２の一部に設けられたスイッ
チ、Ｓ８は配線パターン３１を選択的に接地するように
配−線パターン３１の一部に設けられたスイッチである
。なお、定電流源Ｉおよび電圧測定器Ｅは、従来から検
査装置本体４に設けられているものを用いるようにする
。

このように構成された検査装置における各同心円状配線
パターンのオーブンおよびショート検出動作について説
明する。

一連の検査に先だって、各同心円状の配線パターン３＋
　、３２に接続されているすべての配線を一旦切り離す
。

まず、配線パターン３１のオープンおよびショートを検
査を行うものとすると、スイッチ８２゜Ｓ６およびＳ７
をオンにしてスイッチ８１．Ｓ３゜Ｓ５およびＳ８をオ
フにする。なお、スイッチＳ４はオンであってもオフで
あってもよい。第２図は、このような状態の等価回路図
である。このような状態において、配線パターン３！に
定電流源■から定電流を加え、電圧測定器Ｅで両端の電
圧を測定する。そして、電圧の測定結果が、Ｅ＝Ｉ　　
−Ｒａ　　±Δ Δ；許容範囲 であれば「良」となり、許容範囲よりも小さければ「シ
ョートあるいはリーク大」となり、許容範囲よりも大き
ければ「オーブンあるいは接続抵抗大」となる。

次に、配線パターン３２のオーブンおよびショートの検
査にあたっては、スイッチ８１．８５およびＳ８をオン
にしてスイッチ８２．Ｓ４．Ｓ、６およびＳ７をオフに
し、前述の配線パターン３２と同様の手順で検査を行う
。なお、スイッチＳ３はオンであってもオフであっても
よい。

このようにして各配線パターン３＋　、３２の検査が完
了したらスイッチ８３．およびＳ４をオンにして他のス
イッチ８１．８２および８５〜Ｓ８をオフにする。

このように構成することにより、同心円状の配線パター
ンのオーブンやショートの検査機能を検査装置に組み込
むことができ、同心円状の配線パターンの信頼性を高め
ることができる。

なお、上記実施例では、２個の同心円状の配線パターン
を設けてプルアップおよびプルダウンする例について説
明したが、これに限るものではなく、３個以上の同心円
状の配線パターンを設けて必要な測定を行うようにして
もよい。この場合、配線パターンのオーブンやショート
の検査にあたっては前述の検査手順を必要回数行えばよ
い。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、同心円状の配線
パターンのオーブンやショートを容易に検出できる半導
体集積回路検査装置が実現でき、実用上の効果は大きい
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図は
第１図の装置における同心円状の配線パターン検査時の
等価回路図、第３図は従来の装置の一例を示すブロック
図である。 １・・・検査対象半導体集積回路（ＤＵＴ）、２・・・
プリント配線板、３・・・同心円状配線パターン、４・
・・検査装置、■・・・定電流源、Ｅ・・・電圧測定器
、Ｓ・・・スイッチ、Ｒ・・・抵抗。 第１！！ｌ 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 検査対象半導体集積回路毎に固有の同心円状の配線パタ
   ーンを有するプリント配線板を介して検査対象半導体集
   積回路と検査装置本体とを接続するように構成された半
   導体集積回路検査装置において、同心円状の各配線パタ
   ーンの一部にそれぞれ設けられ各配線パターンを選択的
   に開閉するスイッチと、これら各配線パターンに選択的
   に電流を与えるとともにこれら各配線パターンの端子間
   電圧を測定する手段を設け、これら電圧測定値に基づい
   て各配線パターンのオープンおよびショートを検出する
   ようにしたことを特徴とする半導体集積回路検査装置。