JP2003130919A

JP2003130919A - コネクションボックス及びｄｕｔボード評価システム及びその評価方法

Info

Publication number: JP2003130919A
Application number: JP2001327529A
Authority: JP
Inventors: Akihiko Goto; 明彦後藤; Hiroyuki Iwasaki; 裕行岩▲崎▼; Takeshi Tanaka; 毅田中; Yukifumi Tokuno; 幸史得納
Original assignee: Agilent Technologies Japan Ltd
Current assignee: Agilent Technologies Japan Ltd
Priority date: 2001-10-25
Filing date: 2001-10-25
Publication date: 2003-05-08
Also published as: US20030082936A1; US6873167B2

Abstract

(57)【要約】【課題】ＤＵＴボードおよびプローブカードに対し、測
定値の再現性を増し、評価試験でのパッドの磨耗を低減
する評価装置及び方法を提供する。【解決手段】本発明の実施形態の一つであるコネクショ
ンボックス１００は、複数のコンタクトピン１０２，１
０４，１０６と、ＤＵＴボードを装着する装着機構１２
０，１２２，１２４と、複数のコンタクトピンの各々に
接続され、外部に各コンタクトピンからの信号を供給す
る複数のコネクタ１３０を備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体試験装置の
テストヘッドに取り付けられるＤＵＴボードおよびプロ
ーブカードの評価装置及び方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体試験装置には、ＩＣ上に形成され
たの半導体のパラメトリック特性を測定する半導体パラ
メトリックテスターから、ＩＣとしての機能および性能
試験を行うＩＣテスターなどさまざまな装置があるが、
その測定形態もウエハプローバを用いてのウエハ状態で
の測定と、パッケージ済みのＩＣでの測定の、２つの形
態がある。これらの測定に際しては、テストヘッドに装
着するＤＵＴボードをＤＵＴ毎に用意することで、ウエ
ハ測定とパッケージ済みのＩＣ測定に対応している。な
お、ウエハ測定に使われるＤＵＴボードは、プローブカ
ードと呼ばれ、例えば特開２００１−２２８１７３号公
報に記述されているように、カード中央に、プロービン
グ時の位置確認用の穴と、その穴の周囲にプロービング
を行うプローブ針が設けられるようになっている。特開
２００１−２２８１７３号公報に記述されているよう
に、ＤＵＴボードには、テストヘッドに設けられた複数
のコンタクトピンとの接続を受けるために、複数の接触
用端子すなわちパッドが、コンタクトピンの配列に対応
する位置に設けられている。ＤＵＴボード上では、対象
とするＤＵＴに合わせて、これらのパッドからケーブル
やＩＣやソケット等の部品が装着される位置までパター
ンが形成されている。

【０００３】このＤＵＴボードのパッドの数は、例えば
Ａｇｉｌｅｎｔ４０７０シリーズの半導体パラメトリッ
クテスターの場合では４８チャンネルあり、各チャンネ
ルに対してセンスピン、フォースピン、ガードピンの３
本のコンタクトピンで構成されているので、１４８個の
パッドが設けられている。さらに多チャンネルのＩＣテ
スターの場合、５００ないし１０００チャンネルで構成
され、各チャンネルのパッドの数は、チャンネル毎に１
本のコンタクトピンで構成されたとしても、かなりの数
に上る。

【０００４】ＤＵＴボードの品質評価試験には、従来、
端子毎の接続関係を調べる結線試験と、もっともクリテ
ィカルな部分、例えばパターン間隔が狭い端子間での絶
縁抵抗測定を行っていた。測定には、Ａｇｉｌｅｎｔ４
３３９などの絶縁抵抗計が用いられ、オペレータがバナ
ナプラグなどの端子を用いて、手操作で、ブランクボー
ドの各パッドや部品搭載用の穴にバナナプラグを接触さ
せて接続しては測定していた。

【０００５】しかしながらこのような方法では、接続状
態が定まらないので測定値の再現性が悪いうえ、手動で
数十個以上測るので時間がかかったり、測定値がおかし
い場合には測定をやり直し、場合によってはパッドに数
回接触するので、パッドの磨耗を促進してしまう、など
の問題点があった。さらに、近年のＤＵＴボードにはｆ
Ａ（フェムト・アンペア、即ち１０^-15アンペア）オーダ
ーの微小電流測定に対応しているものもあり、そのよう
なＤＵＴボードの絶縁性能評価に対しても、電流のリー
クによる誤差を抑えて再現性良く測定する方法が求めら
れている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】以上のような問題点に
鑑み、本発明では、ＤＵＴボードおよびプローブカード
に対し、再現性よく測定し、評価試験でのパッドの磨耗
を低減する評価装置及び方法を提供することを目的とす
る。

【０００７】本発明の別の目的は、微小電流測定に対応
したＤＵＴボードおよびプローブカードの評価試験に適
した評価装置及び方法を提供することである。

【０００８】さらに本発明の別の目的は、評価試験で再
テストが必要なとき、それが容易で、手間のかからない
評価装置及び方法を提供することである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】発明者は、従来の測定方
法では、ＤＵＴボードに設けられた平面のパッドにオペ
レータが手でバナナプラグなどの端子を接触させていた
ことが、接触を不安定にし、測定値の再現性を悪くし、
また、手間がかかり、多数のパッドの測定に時間をかけ
ることになってしまったとの認識に達した。これらを改
善するために、ＤＵＴボードの装着に使われるテストヘ
ッドの機構に着目した。即ち、複数のコンタクトピン及
びＤＵＴボード装着機構、を備えることで測定値の再現
性を改善し、コンタクトピンの各々をケーブルでそれぞ
れのコネクタに接続することで、コンタクトピンからの
信号を低電流リークで伝えることができ、また、測定器
との接続も複数のコネクタとのケーブルのつなぎ変え作
業に置きかえることができるので、作業時間の減少も達
成することができるとの知見に基づいて本発明のコネク
ションボックスの着想をなしたものである。

【００１０】更に、本発明の発明者は、ｆＡオーダーの
電流測定を可能にするために、埃の付着や、オペレータ
の接触による汗の付着などによって、測定対象が汚染さ
れることによりリーク電流が増加したり、外乱ノイズに
よる影響で測定が正確にできなくなることへの対策とし
て、ＤＵＴボードの上面を覆うフィクスチャをコネクシ
ョンボックスに装着できるようにすることで、これらの
問題を解決し、従来はＤＵＴボードの評価では難しかっ
たｆＡオーダーの微小電流特性についての評価も可能と
することができた。

【００１１】上述のように、本発明では、複数のコンタ
クトピンと、ＤＵＴボードを装着する装着機構と、複数
のコンタクトピンの各々に接続され、外部に各コンタク
トピンからの信号を供給する複数のコネクタを備えたコ
ネクションボックスを提供する。

【００１２】このコネクションボックスはＤＵＴボード
の上面を覆うフィクスチャを含むこともある。また、コ
ネクタはトライアキシャルコネクタで該コネクタの外側
導体は接地されている形態を含む。これらのコネクタを
選択的に短絡状態にするために、複数の短絡手段あるい
は短絡キャップをコネクタに装着することもある。この
短絡手段がコネクションボックスに装着できることによ
り、従来のバナナプラグなどの手作業の場合にはできな
かった対策を取ることができた。すなわち、ＤＵＴボー
ド上の測定対象のチャンネルのパッドに隣接するチャン
ネルのパッドの電位を一定に保つことができるので、測
定対象のチャンネルへのノイズの混入を防ぐことがで
き、精度及び再現性の良い測定に寄与した。

【００１３】さらに、本発明の別の実施態様では、上述
のコネクションボックスのコネクタに測定器を接続した
評価システムとそれを用いた評価方法を提供する。即
ち、測定システムにおいては、上述のコネクションボッ
クスのコネクタのうちいくつかを、測定器に接続してい
る。ここで、測定器に接続されないコネクタには、短絡
手段が接続されることもあるし、コネクションボックス
と測定器の間にスイッチマトリクスを設け、該測定器か
ら該スイッチボックスを制御して、コネクタとの接続を
適宜形成しては測定をする形態も含むし、その際、オペ
レータがマニュアル操作で測定器からスイッチマトリク
スに接続を指示する形態、あるいは、測定器に格納され
たプログラムに従ってスイッチマトリクスを制御して自
動的に接続を形成する形態の双方が含まれる。さらに、
これらの制御にパーソナルコンピュータなどのコントロ
ーラを設け、それにより測定器及びスイッチマトリクス
を制御する形態をも含む。また、測定器としては電圧印
加及び電流測定機能を備えた装置や絶縁抵抗測定器等を
用いる。

【００１４】さらに、この評価システムを用いた評価方
法としては、コネクションボックスに、ＤＵＴボードを
装着するステップと、ＤＵＴボードの評価測定用測定器
の各チャンネルをコネクションボックスのコネクタに接
続しては、測定器で測定するステップと、次に測定器と
コネクションボックスのコネクタとの接続を変更して
は、測定器で測定を繰り返すステップとを含む評価方法
が提供される。

【００１５】また、別の実施態様による評価方法では、
ＤＵＴボードの評価測定用測定器をスイッチマトリクス
に接続し、該スイッチマトリクスを、コネクションボッ
クスに接続するステップと、コネクションボックスにＤ
ＵＴボードを装着するステップと、該スイッチマトリク
スを制御してコネクションボックスの所望のコネクタに
接続しては、測定器で測定を繰り返すステップとを含む
評価方法が提供される。

【００１６】これらの評価方法により、ＤＵＴボードの
全パッドを１回だけコンタクトピンに接触させた状態
で、繰り返し評価測定ができるので、従来と比べ評価試
験でのパッドの磨耗低減に寄与することができる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を例示
のためにプローブカードを例にして説明する。図１
（ａ）に本発明の実施形態の一つであるコネクションボ
ックス１００を示す。コネクションボックス１００の上
面には、４８枚のピンアセンブリ１０７が円状に配列さ
れている。各ピンアセンブリ１０７にはセンスピン１０
２、フォースピン１０４、ガードピン１０６がそれぞれ
設けられている。

【００１８】なお、本発明において、評価対象のＤＵＴ
ボードが部品搭載前の状態であるか、部分的に部品を搭
載した状態であるか、部品を搭載し終わりＤＵＴボード
として完成した状態であるかは、評価内容に応じて適宜
決められることであって、これらのどれかを評価対象と
して限定するものではない。

【００１９】ここで、ピンアセンブリの枚数をより少な
くすること、より多くすること、また配列形態を円状に
するか、矩形などの他の形状にするか、また、ピンアセ
ンブリを全周にわたって配置するか、あるいは一部分だ
けに配置するかなど、いろいろな形態をとることがで
き、本発明にそれらは含まれるものである。

【００２０】また、コネクションボックス１００の上面
には、ＤＵＴボード装着用の４本のガイド穴１２０及び
２本の高さ合わせ用ガイドピン１２４（１本は図示せ
ず）及び２本のカム係合用の溝１２２（１本は図示せ
ず）が設けられ、ＤＵＴボード装着時に使用される。

【００２１】コネクションボックス１００の側面の１つ
には、４段１２列の４８個のコネクタ１３０が配列され
ている。このコネクタの各々はトライアキシャルコネク
タ即ち２重同軸コネクタで、それぞれが、４８枚のピン
アセンブリ１０７のそれぞれに接続されている。図１
（ａ）及び（ｂ）に示されるように、各ピンアセンブリ
のセンスピン１０２及びフォースピン１０４からの信号
線は、ピンアセンブリ１０７の出口で互いに接続され、
さらに同軸ケーブル１１４の芯線を介して、トライアキ
シャルコネクタ１３０の中心コンタクトとも称される中
心導体１０８に接続される。ガードピン１０６からの信
号線は、ピンアセンブリ１０７の出口で同軸ケーブル１
１４の外側導体に接続され、その同軸ケーブル１１４を
介してトライアキシャルコネクタ１３０の内部シェルと
も称される中間導体１１０に接続される。トライアキシ
ャルコネクタ１３０の外部シェルとも称される外側導体
１１２は、コネクションボックス１００の接地されたシ
ャーシに接続される。なお、トライアキシャルコネクタ
については、特開平６−２４９９１３号公報に記載され
ているような周知の技術を用いる。

【００２２】図７（ａ）および（ｂ）に、本発明による
別の実施の形態を示す。図１ではピンアセンブリ１０７
出口でフォースピン１０４からのフォース信号と、セン
スピン１０２からのセンス信号をつないぎ、同軸ケーブ
ル１４０を用いたため、トライアキシャルコネクタまで
ケルビン接続が保てなかった。図７に示す実施の形態で
あるコネクションボックス７００では、特開平６−２４
９９１３号公報に記載されているようなトライアキシャ
ルケーブル即ち２重同軸ケーブル７０２を用いて、ケー
ブル１本に対し２個のトライアキシャルコネクタに接続
することで、コネクタからＤＵＴボードまでの全信号経
路においてケルビン接続を実現している。すなわち、フ
ォースピン１０４からの信号線をトライアキシャルケー
ブル７０２の中間導体を介して、トライアキシャルのフ
ォースコネクタ７２０の中心導体７２２に接続し、セン
スピン１０２からの信号線をトライアキシャルケーブル
７０２の芯線を介してトライアキシャルのセンスコネク
タ７１０の中心導体７１２に接続し、ガードピン１０６
からの信号線をトライアキシャルケーブル７０２の外側
導体を介してフォースコネクタ７２０の中間導体７１４
及びセンスコネクタ７１０の中間導体７２４の双方に接
続し、フォースコネクタ７２０の外側導体７１６及びセ
ンスコネクタ７１０の外側導体７２６は、共にコネクシ
ョンボックス７００の接地されたシャーシに接続され
る。上述の説明で明らかなように、コネクションボック
スには４８個のフォースコネクタと４８個のセンスコネ
クタの計９６個のトライアキシャルコネクタが設けられ
る。なお、図７において他の部分は図１と同様なので説
明を省略する。また、当業者は、周知のコネクタ及びケ
ーブルを用いたり、ピンアセンブリの端子数を増減する
ことにより、様々な形態を採用することができるであろ
う。一例として図７のトライアキシャルケーブル７０２
を潤工社製機器配線用シールド付きジュンフロン電線と
して入手可能なシールド付き２芯ケーブルに置き換える
ことができる。

【００２３】以下の説明では、図１で説明したコネクシ
ョンボックス１００を例に用いて説明を続けるが、これ
は例示のためであって、以下の説明でコネクションボッ
クス１００の代わりにコネクションボックス７００を用
いることができるのは言うまでもなく理解されよう。

【００２４】次に図２を用いて、コネクションボックス
１００とＤＵＴボードの接続方法をプローブカードの取
り付けを例にして説明する。コネクションボックス１０
０にプローブカードを取り付けるには、まずプローブカ
ード２０２をフィクスチャ２０４内側の取り付け位置
（図示せず）にねじ止めなど周知の方法により取り付
け、そのフィクスチャ２０４をコネクションボックス１
００に装着することで、プローブカード２０２をコネク
ションボックスのコンタクトピンに接続する。

【００２５】フィクスチャは、プローブカード２０２の
上面を覆って、測定結果への外乱ノイズの影響を防ぐと
共に、４０Ｖ以上の高電圧印加時のオペーレータの危険
を防ぐための遮蔽部である。フィクスチャは４本の位置
決め用ガイド棒２０６と２本のガイドピンに対応するガ
イド穴（図示せず）、レバー２１０を備えた２個のカム
２０８を備える。フィクスチャ２０４をコネクションボ
ックスに装着する際には、ガイド穴１２０とガイドピン
１２４に位置が合うようにフィクスチャ２０４をコネク
ションボックス上面に下ろし、カム２０８の下部が係合
用の溝１２２に入った後、レバー２１０を反対側に倒す
ことで、溝１２２とカムの係止機構をかみ合わせて装着
を完了する。なお、本発明で用いられたカムを用いた装
着機構は特開平１−２９５１８３号公報に記載されたの
と同様な周知の機構を用いている。

【００２６】本発明では、上部を覆う箱型のフィクスチ
ャにプローブカードを留めて、フィクスチャをコネクシ
ョンボックスに装着したが、プローブカードをＤＵＴボ
ードに置き換えたり、特開平４−２８２４７２号公報に
記述されたＤＵＴボードとテストヘッドの装着方法のよ
うに、ＤＵＴボードをコネクションボックスに直接装着
したり、装着機構に図示以外の様々な形態を採用するこ
とができる。

【００２７】コネクタ１３０のうち、プローブカード２
０２から測定器３０２まで接続されていないチャンネル
のケーブルあるいはパッドに静電気などで高電圧がかか
ったり、浮遊容量によって電圧が変動するのを防ぐため
に、トライアキシャル短絡キャップ２１４が、必要に応
じてコネクタ１３０に接続される。この短絡キャップ
は、トライアキシャルコネクタの中心導体１０８と中間
導体１１０と外側導体１１２との間を短絡するものであ
る。なお本発明では、これ以外の形態の短絡手段を用い
ることを制限するものではない。これにより、従来のバ
ナナプラグを用いた手作業による測定方法では、測定対
象のチャンネルのパッドに隣接するチャンネルのパッド
の電位を一定に保つ手段がなかったために、測定時にノ
イズが混入したが、その影響を取り除くことができた。

【００２８】このようなコネクションボックス１００を
用いることにより、プローブカード２０２を確実にコネ
クタ１３０に接続できるので、測定値の再現性が増す。
また、装着した状態で、コネクタにいろいろな測定器を
接続して繰り返し測定することができるので、プローブ
カードのパッドの磨耗が従来と比べて１回で済み、評価
試験時のパッドの磨耗低減に寄与すし、オペレータの操
作性としても、測定器との接続が複数のコネクタ１３０
へのケーブルの抜き差しに変わるので、作業時間の減少
につながる。また、このコネクションボックスでは、コ
ンタクトピンとコネクタとの間は、ガードでシールドさ
れたケーブルで接続されているので、このコネクション
ボックスでの電流リークを十分抑えることができる。従
って、高精度の測定即ちｆＡオーダーの電流測定が可能
である。

【００２９】次に、図３及び図４を用いて、本発明によ
る別の実施形態である測定器とコネクションボックスを
用いたプローブカード２０２の評価について説明する。

【００３０】測定器とコネクションボックスによる評価
システム３００は、図１及び図２で説明したコネクショ
ンボックス１００にプローブカード２０２を取り付けた
フィクスチャ２０４を装着したものに、測定器３０２の
測定チャンネル端子３０４ないし３１０と所望のチャン
ネルのコネクタ１３０を接続したものである。さらに、
コネクタ１３０のうち測定器に接続していないコネクタ
には、短絡キャップ２１４を接続して、精密な測定に影
響を与えないようにする。

【００３１】測定器３０２は、一例としてはＡｇｉｌｅ
ｎｔ４１５６パラメトリックアナライザであり、これは
４チャンネルのＳＭＵ、即ち電流制限機能付の電圧印加
電流測定機能及び電圧制限機能付の電流印加電圧測定機
能を備えた電源を備え、測定に際してプログラムが可能
な装置である。他の例としては、Ａｇｉｌｅｎｔ４３３
９絶縁抵抗計や、他の抵抗測定が可能な電流電圧計など
を用いることもできる。また、短絡キャップの代わりに
別の短絡手段を用いることもできる。

【００３２】この評価システムでの測定のフローチャー
トについて、図４を用いて説明する。まず、コネクショ
ンボックス１００にＤＵＴボードあるいはプローブカー
ド２０２を装着し（ステップ４０４）、コネクションボ
ックス１００の所望のコネクタ１３０と測定器３０２を
ケーブル３１２ないし３１８を用いて接続し（ステップ
４０６）、さらに接続していないコネクタ１３０には、
短絡キャップ２１４を付け（ステップ４０８）、測定器
３０２でプローブカード２０２の評価測定をする（ステ
ップ４１０）。測定内容としては、特定のチャンネルに
ついて、０Ｖと１００Ｖを印加したときの電流値を４チ
ャンネル分測定して、評価しているが、測定チャンネル
数の増減、他の条件による測定、絶縁抵抗計など他の方
法による測定、隣のチャンネルも用いた測定など、様々
な態様で行うこともできる。

【００３３】次にステップ４１２でプローブカード２０
２に接続された全コネクタについて測定されたか判断
し、まだ残っているコネクタがあるならばステップ４０
６に戻って繰り返し、全コネクタについて測定が終了し
た場合は、ステップ４１６に進んで測定値からこのプロ
ーブカードのテスト結果の判定を行い、その結果再テス
トの必要があるかの判断をステップ４１６で行い、再テ
ストの必要がある場合にはステップ４０６に戻って繰り
返す。判断の結果、再テストの必要がなければ、このプ
ローブカードについては測定終了となる。

【００３４】このフローチャートでわかるように、プロ
ーブカードの全パッドに対する測定後に再テストについ
て判断されるまで、プローブカードはコネクションボッ
クスに装着された状態で保持されるので、何回再テスト
する必要が生じたとしても、プローブカードのパッドへ
の装着は１回で済む。このため、装着寿命が有限である
パッドに関して、評価試験における摩耗を低減すること
ができて有益である。また、従来新たに１枚分評価する
のとかわらない手間を要した再テストを、装着したまま
で容易に取り掛かることができるようになった上、再現
性のある再テスト測定結果を得ることができるようにな
った。

【００３５】次に、図５及び図６を用いて、本発明によ
るさらに別の実施形態について説明する。図５に示され
る評価システム５００は、プローブカード２０２を装着
したコネクションボックス１００と測定器３０２の間に
スイッチマトリクス５０２が接続されている。測定器３
０２の全チャンネルはスイッチマトリクス５０２の出力
側端子４０４とケーブル３１２ないし３１４を介して接
続される。測定器３０２とスイッチマトリクス５０２
は、制御線５１０によっても接続され、測定器３０２が
スイッチマトリクス５０２の接続制御ができるようにな
っている。さらに、スイッチマトリクス５０２はコネク
ションボックス１００のコネクタ１３０の全部と入力側
端子４０６を、複数のケーブル５０８を介してそれぞれ
接続している。スイッチマトリクス５０２は、測定器３
０２からの制御により、入力側の所望の端子と出力側の
所望の端子を接続するよう動作する。なお、プローブカ
ードの都合や測定の必要範囲などにより、コネクタ１３
０の全部について測定する必要がない場合は、コネクタ
１３０の一部が入力側端子４０６と接続されない態様を
取ることもできる。

【００３６】この評価システムを用いた測定のフローチ
ャートを図６に示す。まずステップ６０４で、測定器３
０２とスイッチマトリクス５０２、スイッチマトリクス
５０２とコネクションボックス１００をそれぞれ接続す
る。次にコネクションボックス１００にＤＵＴボード即
ちここではプローブカード２０２を装着し（ステップ６
０６）、スイッチマトリクス５０２を制御して測定器３
０２とコネクションボックス１００の間の接続を所望の
接続にし（ステップ６０８）、スイッチマトリクス５０
２をさらに制御して測定器３０２に接続していないコネ
クタについては、短絡状態となるように接続する（ステ
ップ６１０）。一例としては、測定器３０２に接続され
た出力側端子４０４で測定に使われていないものに０Ｖ
を出力させ、スイッチマトリクスの入力側端子４０６で
測定器に接続されないものをそこに接続して短絡状態と
する。次に、ステップ６１２において測定器３０２で測
定をする。測定内容については、図４についての測定内
容と同様なのでここでは省略する。

【００３７】次にステップ６１４でプローブカード２０
２に接続された全コネクタについて測定されたか判断
し、まだ残っているコネクタがあるならばステップ６０
８に戻って繰り返し、全コネクタ終了した場合は、ステ
ップ６１６に進んで測定値からこのプローブカードのテ
スト結果の判定を行い、その結果再テストの必要がある
かの判断をステップ６１８で行い、再テストの必要があ
る場合にはステップ６０８に戻って繰り返す。判断の結
果、再テストの必要がなければ、このプローブカードに
ついては測定終了となる。

【００３８】図４についての説明と同様に、図６のフロ
ーチャートについても、評価試験におけるプローブカー
ドのパッドの磨耗低減に寄与することは言うまでもない
し、再テストについてのメリットについても同様であ
る。

【００３９】また、図５に示される測定システムを用い
れば、オペレータがマニュアル操作で測定器からスイッ
チマトリクスに接続を指示しては、測定を行うことも可
能となるので、ＤＵＴボードの所望パッドへの試験的な
試験実行や不具合解析が容易となる。

【００４０】また、図５にコントローラ５２０と測定器
３０２への制御線５２２及びスイッチマトリクス５０２
への制御線５２４で示したように、パーソナルコンピュ
ータ等のコントローラ５２０を追加して、コントローラ
５２０から測定器３０２及びスイッチマトリクス５０２
を制御して図６のフローチャートにしたがった測定を行
うこともできる。

【００４１】以上のようにプローブカードを例に本発明
の実施態様を説明したが、上記の説明でプローブカード
をＤＵＴボードに置き換えて説明したとしても本質的に
同じであるので、本発明は、ＤＵＴボードについての評
価技術も含むものである。

【００４２】

【発明の効果】以上のように、本発明によると、ＤＵＴ
ボードの評価において、測定値の再現性を増すことがで
き、また、評価試験におけるパッドの磨耗を低減するこ
とができる。また、オペレータの評価試験における接続
の作業時間を減少させる。さらに、再テストにおいて
は、容易に取り掛かることができるし、再現性の良いデ
ータを得ることができる。その上、ｆＡオーダの微小電
流測定に対応したＤＵＴボードの評価試験も、フィクス
チャを取り付けることで汚染や外部ノイズの影響を取り
除くことにより実現できる。さらに、スイッチマトリク
スを接続したＤＵＴボードの評価システムにおいては、
ＤＵＴボードの所望パッドへの試験的な試験実行や不具
合解析を容易に行うことができる。さらに、ＤＵＴボー
ドの所望チャンネルのパッドを、短絡キャップなどの短
絡手段により一定電位に保つことができるので、測定チ
ャンネルへのノイズの混入を避けることが出来、高精度
及び再現性の良い測定をすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施態様の一つであるコネクションボ
ックスを示す透視図である。

【図２】図１に示したコネクションボックスにプローブ
カードを装着する方法を示す分解図である。

【図３】本発明の別の実施態様である評価システムのブ
ロック図である。

【図４】図３に示した評価システムでの測定方法を示す
フローチャートである。

【図５】本発明のさらに別の実施態様である評価システ
ムのブロック図である。

【図６】図５に示した評価システムでの測定方法を示す
フローチャートである。

【図７】本発明の別の実施態様の一つであるコネクショ
ンボックスを示す透視図である。

【符号の説明】

１００：コネクションボックス１０２：センスピン１０４：フォースピン１０６：ガードピン１０７：ピンアセンブリ１０８：中心コンタクトとも称される中心導体１１０：内部シェルとも称される中間導体１１２：外部シェルとも称される外側導体１１４：同軸ケーブル１２０：ガイド穴１２２：カム係合用の溝１２４：ガイドピン１３０：コネクタ２０２：プローブカード２０４：フィクスチャ２０６：ガイド棒２０８：カム２１０：レバー

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者田中毅東京都八王子市高倉町９番１号アジレント・テクノロジー株式会社内 (72)発明者得納幸史東京都八王子市高倉町９番１号アジレント・テクノロジー株式会社内Ｆターム(参考） 2G003 AA10 AB18 AG04 AH05 2G014 AA01 AA03 AA14 AB60 AC10 2G132 AA00 AD15 AF02 AL11 5E051 GA03 GA09 GB10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ＤＵＴボードに設けられた複数の接触端子
に対応する複数のコンタクトピンと、ＤＵＴボードを装着する装着機構と、前記複数のコンタクトピンの各々に接続された複数のコ
ネクタとを有するコネクションボックス。
【請求項２】ＤＵＴボードの上面を覆うフィクスチャを
含むことを特徴とする請求項１に記載のコネクションボ
ックス。
【請求項３】前記複数のコネクタは、トライアキシャル
コネクタであり、該コネクタの外側導体は接地されてい
ることを特徴とする請求項１または２に記載のコネクシ
ョンボックス。
【請求項４】前記複数のコネクタから前記複数のコンタ
クトピンまで、ケルビン接続を保ったことを特徴とする
請求項１または３に記載のコネクションボックス。
【請求項５】前記複数のコネクタと前記複数のコンタク
トピンは、複数のトライアキシャルケーブルで接続され
たことを特徴とする請求項１または４に記載のコネクシ
ョンボックス。
【請求項６】前記複数のコネクタの各々に備えられた各
導体間を短絡状態にする複数の短絡手段を備え、前記複
数のコネクタを選択的に短絡状態にすることを特徴とす
る請求項１ないし５のいずれかに記載のコネクションボ
ックス。
【請求項７】前記ＤＵＴボードは、プローブカードであ
ることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載
のコネクションボックス。
【請求項８】ＤＵＴボードの接触端子に対応する複数の
コンタクトピンと、ＤＵＴボードを装着する装着機構と、前記複数のコンタクトピンの各々に接続され、測定器と
の接続に使われる複数のコネクタとを備えたコネクショ
ンボックスと、前記複数のコネクタのうちの一部に接続されて、前記コ
ネクションボックスに装着されたＤＵＴボードの評価測
定をする測定器とを有するＤＵＴボード評価システム。
【請求項９】前記複数のコネクタのうち、前記測定器に
接続していないものには、前記複数のコネクタの各々に
備えられた各導体間を短絡状態にする複数短絡手段を接
続したことを特徴とする請求項８に記載の評価システ
ム。
【請求項１０】前記コネクションボックスと前記測定器
との間にスイッチマトリクスを設け、前記測定器から該
スイッチマトリクスを制御する請求項８または９に記載
の評価システム。
【請求項１１】前記コネクションボックスと前記測定器
との間にスイッチマトリクスを設け、前記測定器と、ス
イッチマトリクスを制御するコントローラを設け、前記
コントローラから前測定器及び前記スイッチマトリクス
を制御して接続及び測定を行う請求項８または９に記載
の評価システム。
【請求項１２】前記測定器は、電圧印加及び電流測定機
能を備えたことを特徴とする、請求項８ないし１１のい
ずれかに記載の評価システム。
【請求項１３】前記測定器は、電圧電流特性測定機能を
備えたことを特徴とする、請求項８ないし１１のいずれ
かに記載の評価システム。
【請求項１４】前記測定器は、ＳＭＵを備えたことを特
徴とする、請求項８ないし１１のいずれかに記載の評価
システム。
【請求項１５】前記測定器は、絶縁抵抗測定機能を備え
たことを特徴とする、請求項８ないし１１のいずれかに
記載の評価システム。
【請求項１６】前記ＤＵＴボードはプローブカードであ
ることを特徴とする、請求項８ないし１１のいずれかに
記載の評価システム。
【請求項１７】複数のコンタクトピンと、該複数のコン
タクトピンの各々に接続された複数のコネクタとを有す
るコネクションボックスに、ＤＵＴボードを装着するス
テップと、ＤＵＴボードの評価測定用測定器の各チャンネルを前記
コネクションボックスのコネクタに接続しては、前記測
定器で測定するステップと、次に前記測定器と前記コネクションボックスのコネクタ
との接続を変更しては、前記測定器で測定を繰り返すス
テップとを含むＤＵＴボード評価システムによる評価方
法。
【請求項１８】前記測定器で測定するステップと前記測
定器で測定を繰り返すステップにおいて、前記測定器と
前記コネクションボックスのコネクタの接続をする際
に、接続しないコネクタは短絡しておくことを特徴とす
る請求項１７記載の評価方法。
【請求項１９】ＤＵＴボードの評価測定用測定器をスイ
ッチマトリクスに接続し、該スイッチマトリクスを、複
数のコンタクトピンと該複数のコンタクトピンの各々に
接続された複数のコネクタとを有するコネクションボッ
クスに接続するステップと、前記コネクションボックスにＤＵＴボードを装着するス
テップと、前記スイッチマトリクスを制御しては、前記コネクショ
ンボックスの所望のコネクタに接続しては、前記測定器
で測定を繰り返すステップとを含むＤＵＴボード評価シ
ステムによる評価方法。
【請求項２０】前記測定器で測定を繰り返すステップに
おいて、前記測定器に接続されたにコネクタに対して
は、短絡するステップを備えたことを特徴とする請求項
１９記載の評価方法。
【請求項２１】前記測定では、オフセット電流及びセト
リング電流を測定するステップを含むことを特徴とする
請求項１７ないし２０のいずれかに記載の評価方法。
【請求項２２】前記ＤＵＴボードは、プローブカードで
あることを特徴とする請求項１７ないし２１のいずれか
に記載の評価方法。