JPH0625778B2 - コンタクト式マルチプロ−ブ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はコンタクト式マルチプローブ、詳しくは各種回
路基板の電気特性、特に高周波電圧特性の測定において
複数本ニードルを同時に測定し、かつ制御可能としたコ
ンタクト式マルチプローブに関する。

〔従来の技術〕

従来のコンタクト式プローブは、例えば同軸ケーブルに
１本のニードルを具備し、このニードルのコンタクト部
を試験片の内部配線に接触させて電圧を測定するもので
あるが、最近の想像以上に複雑で高密度になってきた各
種回路基板の場合、不良要因がいたるところに存在する
為に検査箇所、更には検査項目がますます増加してきて
いる。その為、従来のコンタクト式プローブでは、増加
する検査箇所，検査項目の測定・検査に十分対応しきれ
ないという問題点があった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところが最近、電子部品は一段と小型・高機能を指向す
るので、各種回路基板の複雑・高密度化に対応したコン
タクト式プローブ技術を開発したいという要望が高ま
り、この要望に応えるため、複数本のプローブの入出力
信号をマルチ方式で同時制御可能としたコンタクト式マ
ルチプローブが必要になる。

本発明の他の目的としては、制御機能を備えると共に、
一層の高密度実装を可能としたコンタクト式マルチプロ
ーブが必要になる。

〔問題点を解決するための手段とその作用〕

電源ラインと入出力制御信号ラインとが接続されるとと
もに、下面側に同軸プローブのニードル部が円環状に配
設され、前記入出力制御信号ラインを経て入出力される
信号を試験用の信号に変換する第２の素子を備えたブロ
ック状のコミュニケーション・インターフェースと、試
験素子を取り付けるとともに、上面に前記試験素子のピ
ン数に応じた多極端子が円環状に配設されたブロック状
のテストヘッドと、前記コミュニケーション・インタフ
ェースの同軸プローブの本数に応じ前記同軸プローブの
ニードル部と接続可能な多極端子が上面に、前記テスト
ヘッドの多極端子の数に応じ前記テストヘッドの多極端
子と接続可能な同軸プローブのニードル部が下面側に設
けられ前記コミュニケーション・インターフェースに着
脱自在であるとともに、前記テストヘッドおよび前記試
験素子の種類に応じて交換可能で、かつ、前記コミュニ
ケーション・インターフェースから入力される信号シー
ケンスをテストヘッドと試験素子との種類に応じて最適
な信号シーケンスに変換する機能を有する第１の素子を
備えたブロック状のマルチプローブ本体とを設けたこと
により、複数本のプローブの入出力信号をマルチ方式で
同時制御でき、かつ検査の自動化と一層の高密度実装を
実現できるようにするものである。

〔実施例〕

以下、図面を用いて本発明の実施例を説明する。

図面は本発明の実施例を示すもので、まず構成を説明す
る。

(1)は円盤状でブロック状のマルチプローブ本体で、上
面の中央部には判断機能（テストヘッド(13)と試験ＩＣ
(14)の種類に応じて、後述する第２のＩＣ（７）からの
試験用の信号を試験ＩＣ(14)に最適な信号シーケンスに
変換する機能）を有する第１のＩＣ(2)を配設し、該第
１のＩＣ(2)を中心とした周辺円周部に等間隔配置され
た孔状の多極端子(3)を有する。複数本の同軸プローブ
(4)はその頭部（図示せず）を上記多極端子(3)に第１の
ＩＣ(2)を介してそれぞれ電気的に接続され、各ニード
ル(5)を上記マルチプローブ本体(1)の下面から下方に突
出させて互いに平行な配列となるように構成される。

ブロック状のコミュニケーション・インターフェース
(6)は中央部に判断機能（例えば、入出力制御ライン(1
0)(11)を経て入出力される信号を試験用信号に変換する
機能）を有する第２のＩＣ(7)を有し、外部のマイクロ
プロセッサーを含む制御測定装置（図示せず）とは入力
制御信号ライン(10)、及び出力制御信号ライン(11)によ
り接続されている。(12)は電源ラインである。上記第２
のＩＣ(7)を中心とした周辺円周部には等間隔配置され
た複数本の同軸プローブ(8)が上記マルチプローブ・イ
ンターフェース(1)の多極端子(3)に各々対応するように
配設され、測定時には、該同軸プローブ(8)の各ニード
ル(9)が上記多極端子(3)の孔に挿着されると共に電気的
に接続される。(13)は測定対象の試験ＩＣ(14)を中央上
面に載置するブロック状のテストヘッドで、その周辺部
には上記同軸プローブ(4)の各ニードル(5)にそれぞれ対
応するように配設されたコネクション部(15)を有する。
そして、測定時には、マルチプローブ(1)に具備された
同軸プローブ(4)の各ニードル(5)が上記コネクション部
(15)の孔に挿着され電気的に接続されることにより、試
験ＩＣ(14)およびテストヘッド(13)の種類に応じてマル
チプローブ(1)の変換ができるようになっている。

次に本発明の実施例を説明する。

マルチプローブ本体(1)をコミュニケーション・インタ
ーフェース(6)に実装してテストヘッド(13)に嵌着され
た状態で、電源(12)に接続されたスイッチ（図示せず）
をＯＮする。その後テストモードの入力制御信号を入力
制御信号ライン(10)を経て入れ出力信号制御信号を出力
制御信号ライン(11)を経て計測装置制御装置（図示せ
ず）に送信する。その結果、たとえば、増幅用トランジ
スタＦＥＴを内蔵したＩＣをゲート電源をドレン電源に
先だって供給する破壊防止のシーケンスプログラムによ
り高度な検査を行うことができる。

また、検査を多数の試験ＩＣ(14)に対して同時に行うよ
うに構成してもよく、シーケンス制御により順次または
選択された個々のＩＣ(14)の電流値計測等のモニタリン
グも行うことができ、上記実施例と同一の効果をもっも
のである。従って本発明は、その特許請求の範囲に反す
ることなく種々変更することができるものである。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、制御機能を有し
高密度化されたマルチプローブにより各種テストモード
に対応して第１の素子の交換、又はコミュニケーション
・インターフェースからのプログラム化されテストモー
ド信号のフレキシブルな制御を実現して多種多様の検査
を高速に行なうことができ、しかも計測システムをコン
パクトにすることができるという大なる効果が得られ
る。このことは制御されたテストモードにより試験片を
破壊せずに安定した検査を実施することができ、さらに
制御機能をプローブの近傍に隣接した構成により計測装
置とのインターフェースを簡略化することができるとい
う大なる実用的効果を併せて持つことができる。

さらに、本発明のマルチプローブ本体，コミュニケーシ
ョン・インターフェース，テストヘッドのそれぞれはブ
ロック状に形成されているので、ロボット等で把持しや
すく、また、各々の脱着も容易であるので、検査を自動
的に行うことも可能になる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示すコンタクト式マルチプロ
ーブの斜視図である。 (1)…マルチプローブ本体 (2)…第１のＩＣ (3)…多極端子 (4)…同軸プローブ (5)…ニードル (6)…コミュニケーシ・インターフェース (10)…入力制御信号ライン (11)…出力制御信号ライン (14)…試験ＩＣ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】電源ラインと入出力制御信号ラインとが接
   続されるとともに、下面側に同軸プローブのニードル部
   が円環状に配設され、前記入出力制御信号ラインを経て
   入出力される信号を試験用の信号に変換する第２の素子
   を備えたブロック状のコミュニケーション・インターフ
   ェースと、 試験素子を取り付けるとともに、上面に前記試験素子の
   ピン数に応じた多極端子が円環状に配設されたブロック
   状のテストヘッドと、 前記コミュニケーション・インタフェースの同軸プロー
   ブの本数に応じ前記同軸プローブのニードル部と接続可
   能な多極端子が上面に、前記テストヘッドの多極端子の
   数に応じ前記テストヘッドの多極端子と接続可能な同軸
   プローブのニードル部が下面側に設けられ前記コミュニ
   ケーション・インターフェースに着脱自在であるととも
   に、前記テストヘッドおよび前記試験素子の種類に応じ
   て交換可能で、かつ、前記コミュニケーション・インタ
   ーフェースから入力される信号シーケンスをテストヘッ
   ドと試験素子との種類に応じて最適な信号シーケンスに
   変換する機能を有する第１の素子を備えたブロック状の
   マルチプローブ本体と、 からなることを特徴とするコンタクト式マルチプロー
   ブ。