CN110873609B - 加热设备故障检测方法与具有故障检测功能的加热系统 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种加热设备故障检测方法与具有故障检测功能的加热系统，加热设备内设置有多个加热区域，该方法包括：选取一个加热区域以及加热区域的相邻的两个加热区域；获取加热区域的加热区域温度，以及相邻两个加热区域的两个相邻加热区域温度；分别计算加热区域温度与两个相邻加热区域温度的差值，获得第一温度差值和第二温度差值；读取预设的温度差阈值，判断第一温度差值和第二温度差值是否均大于温度差阈值；若是，判断选取的加热区域发生故障；排查选取的加热区域的故障发生位置。本申请通过计算相邻加热区域温度的差值并将其和预设阈值比较，判断加热区域是否发生故障并排查故障发生位置，保证加热设备的稳定运转，提高工作效率。

Description

加热设备故障检测方法与具有故障检测功能的加热系统

技术领域

本申请涉及加热设备领域，特别是涉及一种加热设备故障检测方法与具有故障检测功能的加热系统。

背景技术

PVD即物理气相沉积技术，是当前国际上广泛应用的先进表面处理技术。其工作原理就是在真空条件下，通过气体放电使气体或被蒸发物质部分离化，在气体离子或被蒸发物质离子产生轰击作用的同时把蒸发物或其反应物沉积在基材上。PVD(物理气相沉积技术)具有沉积速度快和表面清洁的特点，特别具有膜层附着力强、绕性好和可镀材料广泛等优点。PVD(物理气相沉积技术)设备主要包括PVD(物理气相沉积技术)隔离室，在PVD(物理气相沉积技术)隔离室中工艺人员执行主要的PVD(物理气相沉积技术)过程。即将进行沉积工艺的硅片去除表面杂质，通过加热将硅片表面的杂质挥发，从而去除表面脏物。

PVD(物理气相沉积技术)隔离室在执行PVD(物理气相沉积技术)过程中需要进行加热。传统方案采用开环控制加热设备，使用固定功率加热。

然而传统方案中的加热设备存在很严重的问题：加热设备的加热功率根据工艺人员的经验设置，一旦设置完成后，工件的加热温度处于恒定状态，无法反馈加热状态。当加热设备中的多组加热器进行加热时，某一加热区域的加热器如果发生故障，加热设备无法给出提示，导致温度的均匀性差，工件质量遭受影响，工作效率低下，

发明内容

基于此，有必要针对传统方案对于无法在加热设备加热过程中检测故障的问题，提供一种加热设备故障检测方法与具有故障检测功能的加热系统。

一种加热设备故障检测方法，所述加热设备内设置有多个加热区域，所述加热设备故障检测方法包括：

选取一个所述加热区域以及所述加热区域的相邻的两个加热区域；

获取所述加热区域的加热区域温度，以及所述相邻的两个加热区域的两个相邻加热区域温度；

分别计算所述加热区域温度与所述两个相邻加热区域温度的差值，获得第一温度差值和第二温度差值；

读取预设的温度差阈值，判断所述第一温度差值和所述第二温度差值是否均大于所述温度差阈值；

若是，判断所述选取的加热区域发生故障，控制报警装置报警；

排查所述选取的加热区域的故障发生位置。

本申请通过计算相邻加热区域温度的差值并将其和预设阈值比较，判断加热区域是否发生故障，并在故障发生后排查故障发生位置，保证加热设备的稳定运转和工件的质量，提高工作效率。

在其中一实施例中，所述加热区域内设置有检测装置和加热装置，所述检测装置用于检测所述加热区域的加热区域温度，所述加热装置用于在所述加热区域内完成加热过程。

在其中一实施例中，所述排查所述选取的加热区域的故障发生位置的步骤包括：

控制任一所述相邻的加热区域的检测装置获取所述选取的加热区域的温度，作为故障测试温度；

接收所述故障测试温度；

分别计算所述故障测试温度与所述两个相邻加热区域温度的差值，获得第三温度差值和第四温度差值；

判断所述第三温度差值和所述第四温度差值是否均大于所述温度差阈值；

若否，判断所述选取的加热区域的检测装置出现故障。

在其中一实施例中，所述排查所述选取的加热区域的故障发生位置的步骤还包括：

若是，判断所述选取的加热区域的加热装置出现故障。

在其中一实施例中，在所述判断所述选取的加热区域的检测装置出现故障的步骤执行之后，所述排查所述选取的加热区域的故障发生位置的步骤还包括：

向显示装置发送第一提示指令，以使所述显示装置弹出第一提示窗口，所述第一提示窗口用于提示所述选取的加热区域的检测装置损坏并建议及时更换述选取的加热区域的检测装置。

在其中一实施例中，在所述判断所述加热区域的加热装置出现故障的步骤执行之后，排查所述选取的加热区域的故障发生位置的步骤还包括：

向显示装置发送第二提示指令，以使所述显示装置弹出第二提示窗口，所述第二提示窗口用于提示所述加热区域的加热装置损坏；

根据加热停止指令，控制所述两个相邻加热区域的加热装置停止加热。

一种具有故障检测功能的加热系统，包括加热设备和检测设备，所述加热设备内设置有多个加热区域，所述加热区域内设置有检测装置和加热装置；

所述检测设备包括控制器，所述控制器用于选取一个所述加热区域以及所述加热区域的相邻的两个加热区域，并使用前述内容所述的加热设备故障检测方法，判断所述选取的加热区域是否发生故障，并在判断所述选取的加热区域发生故障后排查所述选取的加热区域的故障发生位置。

在其中一实施例中，所述检测设备还包括报警器，所述报警器与所述控制器电连接，用于在所述控制器判断所述选取的加热区域发生故障后，在所述控制器的控制下发出报警信号。

在其中一实施例中，所述检测设备还包括显示器，所述显示器与所述控制器电连接，用于在所述控制器判断所述选取的加热区域发生故障后，在所述控制器的控制下弹出第一提示窗口，所述第一提示窗口用于提示所述选取的加热区域的检测装置损坏并建议及时更换所述选取的加热区域的检测装置。

在其中一实施例中，所述显示器还用于在所述控制器判断所述选取的加热区域发生故障后，在所述控制器的控制下弹出第二提示窗口，所述第二提示窗口用于提示所述选取的加热区域的加热装置损坏。

本申请提供的加热设备故障检测方法与具有故障检测功能的加热系统通过计算相邻加热区域温度的差值并将其和预设阈值比较，判断加热区域是否发生故障，并在故障发生后排查故障发生位置，保证加热设备的稳定运转和工件的质量，提高工作效率。

附图说明

图1为本申请一实施例提供的加热设备的结构示意图；

图2为本申请一实施例提供的加热设备的结构示意图；

图3为本申请一实施例提供的加热设备故障检测方法的流程示意图；

图4为本申请一实施例提供的加热设备故障检测方法中加热设备的多个加热区域的排布示意图；

图5为本申请一实施例提供的加热设备故障检测方法的流程示意图；

图6为本申请一实施例提供的加热设备故障检测方法的流程示意图；

图7为本申请一实施例提供的加热设备故障检测方法的流程示意图；

图8为本申请一实施例提供的加热设备故障检测方法的流程示意图；

图9为为本申请一实施例提供的具有故障检测功能的加热系统的结构示意图；

图10为本申请一实施例提供的具有故障检测功能的加热系统的结构示意图；

图11为本申请一实施例提供的具有故障检测功能的加热系统的结构示意图。

附图标记

10 加热设备

101 加热区域

102 检测装置

103 加热装置

20 检测设备

201 控制器

202 报警器

203 显示器

301 第一加热区域

302 第二加热区域

303 第三加热区域

304 第四加热区域

305 第五加热区域

306 第六加热区域

具体实施方式

为了使本申请的目的，技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例对本申请加热设备的故障检测方法与系统进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

本申请实施例提供一种加热设备故障检测方法。需要说明的是，本申请提供的加热设备故障检测方法应不仅限应用于PVD(物理气相沉积技术)隔离室中的加热设备。任何加热设备均可采用本申请提供的加热设备故障检测方法。可选地，本申请提供的加热设备应用于PVD(物理气相沉积技术)隔离室中，进行PVD(物理气相沉积技术)工艺生产。

如图1所示，在本申请的一实施例中，所述加热设备故障检测方法应用的加热设备10内设置有多个加热区域101。

如图2所示，在本申请的一实施例中，所述加热区域101内设置有检测装置102和加热装置103。所述检测装置102用于检测所述加热区域101的加热区域温度。所述加热装置103用于在所述加热区域101内完成加热过程。

作为本申请的一实施例，所述加热装置103可以为红外线加热灯管。具体地，所述加热区域101的具体数量依据加热工艺决定。

在本实施例中，所述检测装置102可以为红外测温仪。每一个所述加热区域101内都设置有至少一个所述检测装置102。每一个所述加热区域101内都设置有至少一个所述加热装置103。在本实施例中，所述加热区域101为多个，每一所述加热区域101内均设置有一个所述检测装置102和所述加热装置103。也就是说，在本实施例中，每一所述加热区域101内均设置有一个红外线加热灯管和一个红外测温仪。所述红外测温仪用于测量所述红外线加热灯管的实时温度。

此外，本申请提供的加热设备故障检测方法的执行主体不限，只要能够实现控制目的即可。可选地，本申请提供的加热设备故障检测方法的执行主体可以是与所述加热设备10连接的检测设备20。具体地，执行主体可以是与所述加热设备10连接的检测设备20中的控制器201。所述控制器201可以是芯片处理器。

请参见图3,所述加热设备故障检测方法包括以下步骤：

S100，选取一个所述加热区域101以及所述加热区域101的相邻的两个加热区域101。

在本申请的一实施例中，所述加热设备10内设置有多个加热区域101，每一个所述加热区域101有两个与其相邻的所述加热区域101。在此条件下，所述多个加热区域101在所述加热设备10内的排布方式不限。

请参见图4，图4是一种所述多个加热区域101的排布方式的实施例。如图4所示，所述加热设备10内设置有6个所述加热区域101，分别为第一加热区域301，第二加热区域302，第三加热区域303，第四加热区域304，第五加热区域305和第六加热区域306。依据图4可知，在本实施例中，任意一个加热区域101均有至少两个与其相邻的加热区域101。

S200，获取所述加热区域101的加热区域温度，以及所述相邻的两个加热区域101的两个相邻加热区域温度。

在本申请的一实施例中，所述选取的加热区域101的检测装置102检测所述选取的加热区域101内的温度，作为所选取的述加热区域101的加热区域温度。所述加热区域101的检测装置102将所述加热区域101的加热区域温度发送至所述控制器201。

所述相邻的两个加热区域101内均设置有检测装置102，分别用于获取所述相邻的两个加热区域101的两个相邻加热区域温度。

在本实施例中，所述相邻的两个加热区域101和所述加热区域101在位置上相邻。

具体地，每隔一段预设时间，所述相邻的两个加热区域101中的检测装置102将实时测得的所述相邻加热区域温度分别发送至所述控制器201。所述控制器201可以同时接收上述温度值，也可以以预设的先后顺序接收上述温度值。

S300，分别计算所述加热区域温度与所述两个相邻加热区域温度的差值，获得第一温度差值和第二温度差值。

在本申请的一实施例中，所述控制器201可以自行计算所述第一温度差值和所述第二温度差值。所述控制器201也可以调取所述检测设备20中的计算装置进行计算。在所述计算装置计算结束后，所述计算装置将计算结果发送至所述控制器201。

所述PVD(物理气相沉积技术)隔离室为对称结构。为简化算法，并且考虑到数据完整性，每个所述加热区域101都要参与计算。

在本申请的一实施例中，在执行所述步骤S100时，在选取所述加热区域101的相邻的两个加热区域101时，只在相邻的加热区域101里选取两个有代表性的，以便于在后续步骤S300中进行温度差值计算。

具体地，所述相邻的两个加热区域(101)的选取方式可以由工艺人员预设。

举例说明。如图4所示，在图4所示的实施例中，所述第一加热区域301的差值计算对象是所述第二加热区域302和所述第三加热区域303。所述第二加热区域302的差值计算对象是所述第一加热区域301和所述第三加热区域303。

所述第三加热区域303的差值计算对象是所述第一加热区域和第四加热区域304。

所述第四加热区域304的差值计算对象是所述第三加热区域303和第六加热区域306。

第五加热区域305的差值计算对象是所述第四加热区域304和所述第六加热区域306。

所述第六加热区域306的差值计算对象是所述第四加热区域304和所述第五加热区域305。

S400，读取预设的温度差阈值，判断所述第一温度差值和所述第二温度差值是否均大于所述温度差阈值。

在本申请的一实施例中，所述温度差阈值可以由工艺人员预设。在本申请的一实施例中，所述温度差阈值可以默认设置为20℃。

S500，若是，判断所述选取的加热区域101发生故障，控制报警装置报警。

在执行所述步骤S400时，当所述第一温度差值和所述第二温度差值中有任一项大于所述温度差阈值时，判断所述加热区域101未发生故障。

举例说明。在本实施例中，所述选取的加热区域101实际未发生故障，一个所述邻近的加热区域101实际发生故障，另一个所述邻近的加热区域101实际未发生故障。在执行所述步骤S100-S300时，所述控制器201计算得出的所述第一温度差值大于所述温度差阈值。所述控制器201计算得出的所述第二温度差值小于所述温度差阈值。此时为所述第一温度差值和所述第二温度差值中有任一项大于所述温度差阈值时的情况。但此时，并非是所述选取的加热区域101发生故障，而是邻近的加热区域101发生了故障。

本申请的加热设备故障检测方法为闭环检测方法。该方法可以根据计算的结果反馈温度是否出现异常，从而判断所述选取的加热区域101是否发生故障。所述第一温度差值和所述第二温度差值中只有一项大于所述温度差阈值，并不能判断发生故障的具体加热区域。反之，只有所述第一温度差值和所述第二温度差值均大于所述温度差阈值，方可判断所述选取的加热区域101发生故障。

具体地，所述报警装置设置于所述检测装置内。所述报警装置可以为报警灯和/或声音报警器。

在本申请的一实施例中，所述加热设备10应用于PVD(物理气相沉积技术)隔离室中进行的加热过程。PVD(物理气相沉积技术)工艺需要PVD(物理气相沉积技术)隔离室内的各所述加热区域101的温度维持在一个设定值，且需要具有温度均匀性。

在本申请的一实施例中，所述检测设备20在预设时间内，同时检测多个所述加热区域101是否发生故障。也就是说，所述检测设备20同时对多个所述加热区域101执行所述步骤S100-S500，每一个所述加热区域101都会在预设时间内被所述检测设备20选取至少一次，并检测一次故障是否发生。

在本实施例中，通过设置所述温度差阈值，计算所述加热区域温度与所述两个相邻加热区域温度的差值，可以保持所述加热设备10内所述多个加热区域101的温度恒定与均匀。并且，在有任一加热区域101的温度出现异常时，所述检测设备20可以进行故障报警。

S600，排查所述加热区域101的故障发生位置。

具体地，所述选取的加热区域101内设置有检测装置102和加热装置103。要实现自动检测故障具体发生在哪个装置，需要执行所述步骤S600。

如图5所示，在本申请的一实施例中，所述步骤S600包括：

S610，控制任一所述相邻的加热区域101的检测装置102获取所述选取的加热区域101的温度，作为故障测试温度。

具体地，通过执行所述步骤S100-S500后，所述控制器201可以确定的是，故障发生的具体所述加热区域101。首先需要排查是否是所述选取的加热区域101的检测装置102出现故障。所述步骤S610通过所述控制器201将所述相邻的加热区域101的检测装置102，替代所述选取的加热区域101原有的检测装置102，并检测所述选取的加热区域101的温度，可以得出所述选取的加热区域101的检测装置102的故障情况。

S620，接收所述故障测试温度。

S630，分别计算所述故障测试温度与所述两个相邻加热区域温度的差值，获得第三温度差值和第四温度差值。

具体地，所述步骤S630的计算原理与所述步骤S300相同，请参照所述步骤S300的相关描述。

S640，判断所述第三温度差值和所述第四温度差值是否均大于所述温度差阈值。

具体地，所述步骤S640的判断原理与所述步骤S400相同，请参照所述步骤S400的相关描述。

S650，判断所述选取的加热区域101的检测装置102出现故障。

具体地，若所述第三温度差值和所述第四温度差值未均大于所述温度差阈值，证明所述选取的加热区域101内置的加热装置103未发生故障，温度正常。所述检测装置102出现故障。

如图6所示，在本申请的一实施例中，所述步骤S600还包括：

S660，若是，判断所述选取的加热区域101的加热装置103出现故障。

具体地，若所述第三温度差值和所述第四温度差值均大于述温度差阈值，证明所述选取的加热区域101内置的加热装置103发生故障，温度异常。所述检测装置102未出现故障。

如图7所示，在本申请的一实施例中，在执行所述S650之后，还包括:

S670,向显示装置发送第一提示指令，以使所述显示装置弹出第一提示窗口，所述第一提示窗口用于提示所述选取的加热区域101的检测装置102损坏并建议及时更换述选取的加热区域101的检测装置102。

在本实施例中，所述检测设备20还包括一显示装置。所述显示装置用于向工艺人员提示故障发生并提供故障发生位置。所述显示装置可以为移动终端的液晶显示屏。

在本实施例中，所述第一提示窗口可以显示如下文字：第X加热区域的红外测温仪损坏，已设置跟随加热，请及时更换测温仪。

如图8所示，在本申请的一实施例中，在执行所述S660之后，还包括:

S680，向显示装置发送第二提示指令，以使所述显示装置弹出第二提示窗口，所述第二提示窗口用于提示所述加热区域101的加热装置103损坏。

S690，根据加热停止指令，控制所述两个相邻加热区域101的加热装置103停止加热。

在本实施例中，为保护所述加热设备10的安全运行，工艺人员可下达加热停止指令，控制所述两个相邻加热区域101的加热装置103停止加热。

在本申请的一实施例中，根据加热继续指令，控制所述两个相邻加热区域101的加热装置103继续加热。

在本申请的一实施例中，所述第二提示窗口可以显示如下文字：第X加热区域的红外加热灯管损坏，可能会影响温度均匀性，是否继续加热？

在本实施例中，所述第二提示窗口还包括两个可触碰按钮，工艺人员若点击“继续加热”，则所述控制器201控制所述两个相邻加热区域101的加热装置103继续加热。若点击“否”，则所述控制器201控制所述两个相邻加热区域101的加热装置103停止加热。

本申请通过设置相邻的加热区域101的检测跟随的方式，可以在所述检测装置102或加热装置103发生异常的情况下给出具体故障发生位置的提示和故障处理方法，提高了工作效率，避免最终工艺不稳定逆推的情况发生。

同时，本申请采用闭环加热控制，可以实时监测所述加热设备10内的温度，通过闭环控制方法使温度恒定，提高温度均匀性和稳定性。

如图9所示，本申请还提供了一种具有故障检测功能的加热系统。所述具有故障检测功能的加热系统包括加热设备10和检测设备20。

所述加热设备10内设置有多个加热区域101，所述加热区域101内设置有检测装置102和加热装置103。

所述检测设备20包括控制器201。

在本申请的一实施例中，所述控制器201用于选取一个所述加热区域101以及所述加热区域101的相邻的两个加热区域101，并使用前述内容提及的一种加热设备故障检测方法，判断所述选取的加热区域101是否发生故障，并在判断所述选取的加热区域101发生故障后排查所述选取的加热区域101的故障发生位置。

如图10所示，在本申请的一实施例中，所述检测设备20还包括报警器202。所述报警器202与所述控制器201电连接，用于在所述控制器201判断所述选取的加热区域101发生故障后，在所述控制器201的控制下发出报警信号。

如图11所示，在本申请的一实施例中，所述检测设备20还包括显示器203，所述显示器203与所述控制器201电连接，用于在所述控制器201判断所述选取的加热区域101发生故障后，在所述控制器201的控制下弹出第一提示窗口，所述第一提示窗口用于提示所述选取的加热区域101的检测装置102损坏并建议及时更换所述选取的加热区域101的检测装置102。

在本申请的一实施例中，所述显示器203还用于在所述控制器201判断所述选取的加热区域101发生故障后，在所述控制器201的控制下弹出第二提示窗口，所述第二提示窗口用于提示所述选取的加热区域101的加热装置103损坏。

本申请提供的加热设备故障检测方法与具有故障检测功能的加热系统通过计算相邻加热区域温度的差值并将其和预设阈值比较，判断加热区域是否发生故障，并在故障发生后排查故障发生位置，保证加热设备的稳定运转和工件的质量，提高工作效率。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (7)

1.一种加热设备故障检测方法，所述加热设备(10)内设置有多个加热区域(101)，其特征在于，所述加热设备故障检测方法包括：选取一个所述加热区域(101)以及所述加热区域(101)的相邻的两个加热区域(101)；获取所述加热区域(101)的加热区域温度，以及所述相邻的两个加热区域(101)的两个相邻加热区域温度；分别计算所述加热区域温度与所述两个相邻加热区域温度的差值，获得第一温度差值和第二温度差值；读取预设的温度差阈值，判断所述第一温度差值和所述第二温度差值是否均大于所述温度差阈值；若是，判断所述选取的加热区域(101)发生故障，控制报警装置报警；排查所述选取的加热区域(101)的故障发生位置；

所述加热区域(101)内设置有检测装置(102)和加热装置(103)，所述检测装置(102)用于检测所述加热区域(101)的加热区域温度，所述加热装置(103)用于在所述加热区域(101)内完成加热过程；

所述排查所述选取的加热区域(101)的故障发生位置的步骤包括：控制任一所述相邻的加热区域(101)的检测装置(102)获取所述选取的加热区域(101)的温度，作为故障测试温度；接收所述故障测试温度；分别计算所述故障测试温度与所述两个相邻加热区域温度的差值，获得第三温度差值和第四温度差值；判断所述第三温度差值和所述第四温度差值是否均大于所述温度差阈值；若否，判断所述选取的加热区域(101)的检测装置(102)出现故障；

所述排查所述选取的加热区域(101)的故障发生位置的步骤还包括：若是，判断所述选取的加热区域(101)的加热装置(103)出现故障。

2.根据权利要求1所述的加热设备故障检测方法，其特征在于，在所述判断所述选取的加热区域(101)的检测装置(102)出现故障的步骤执行之后，所述排查所述选取的加热区域(101)的故障发生位置的步骤还包括：向显示装置发送第一提示指令，以使所述显示装置弹出第一提示窗口，所述第一提示窗口用于提示所述选取的加热区域(101)的检测装置(102)损坏并建议及时更换述选取的加热区域(101)的检测装置(102)。

3.根据权利要求1所述的加热设备故障检测方法，其特征在于，在所述判断所述加热区域(101)的加热装置(103)出现故障的步骤执行之后，所述排查所述选取的加热区域(101)的故障发生位置的步骤还包括：向显示装置发送第二提示指令，以使所述显示装置弹出第二提示窗口，所述第二提示窗口用于提示所述加热区域(101)的加热装置(103)损坏；根据加热停止指令，控制所述两个相邻加热区域(101)的加热装置(103)停止加热。

4.一种具有故障检测功能的加热系统，包括加热设备(10)和检测设备(20)，其特征在于，所述加热设备(10)内设置有多个加热区域(101)，所述加热区域(101)内设置有检测装置(102)和加热装置(103)；所述检测设备(20)包括控制器(201)，所述控制器(201)用于选取一个所述加热区域(101)以及所述加热区域(101)的相邻的两个加热区域(101)，并使用权利要求1-3任一项所述的加热设备故障检测方法，判断所述选取的加热区域(101)是否发生故障，并在判断所述选取的加热区域(101)发生故障后排查所述选取的加热区域(101)的故障发生位置。

5.根据权利要求4所述的具有故障检测功能的加热系统，其特征在于，所述检测设备(20)还包括报警器(202)，所述报警器(202)与所述控制器(201)电连接，用于在所述控制器(201)判断所述选取的加热区域(101)发生故障后，在所述控制器(201)的控制下发出报警信号。

6.根据权利要求5所述的具有故障检测功能的加热系统，其特征在于，所述检测设备(20)还包括显示器(203)，所述显示器(203)与所述控制器(201)电连接，用于在所述控制器(201)判断所述选取的加热区域(101)发生故障后，在所述控制器(201)的控制下弹出第一提示窗口，所述第一提示窗口用于提示所述选取的加热区域(101)的检测装置(102)损坏并建议及时更换所述选取的加热区域(101)的检测装置(102)。

7.根据权利要求6所述的具有故障检测功能的加热系统，其特征在于，所述显示器(203)还用于在所述控制器(201)判断所述选取的加热区域(101)发生故障后，在所述控制器(201)的控制下弹出第二提示窗口，所述第二提示窗口用于提示所述选取的加热区域(101)的加热装置(103)损坏。

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