JPH1154244A - 熱処理炉の加熱用ヒータ断線検出方法及びその装置 - Google Patents
熱処理炉の加熱用ヒータ断線検出方法及びその装置Info
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- JPH1154244A JPH1154244A JP9221099A JP22109997A JPH1154244A JP H1154244 A JPH1154244 A JP H1154244A JP 9221099 A JP9221099 A JP 9221099A JP 22109997 A JP22109997 A JP 22109997A JP H1154244 A JPH1154244 A JP H1154244A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】熱処理炉に於ける加熱用ヒータの断線を早急且
的確に検出し得る様にする。 【解決手段】加熱用ヒータ１３に給電される電流、電
圧、電力の少なくとも１つを所要の断線検出アルゴリズ
ム１７に基づいて監視し、前記加熱用ヒータの断線を検
出する熱処理炉の加熱用ヒータ断線検出方法に係り、前
記加熱用ヒータに給電される電流、電圧、電力の少なく
とも１つを検出する検出手段と、該検出手段で検出され
る電流、電圧、電力の検出信号を所要の断線検出アルゴ
リズムに基づいて表示するモニタ手段１４とを備え、該
加熱用ヒータの断線を検出し得る様に構成した熱処理炉
の加熱用ヒータ断線検出装置に係るものであり、加熱用
ヒータに給電される電流、電圧、電力の検出信号から、
所要の断線検出アルゴリズムに基づき、該加熱用ヒータ
の発熱異常状態、断線状態を検出し得る様にしたので、
加熱用ヒータに於ける断線を早期に而も確実に検出し
て、その対策を容易に講じ得る。
的確に検出し得る様にする。 【解決手段】加熱用ヒータ１３に給電される電流、電
圧、電力の少なくとも１つを所要の断線検出アルゴリズ
ム１７に基づいて監視し、前記加熱用ヒータの断線を検
出する熱処理炉の加熱用ヒータ断線検出方法に係り、前
記加熱用ヒータに給電される電流、電圧、電力の少なく
とも１つを検出する検出手段と、該検出手段で検出され
る電流、電圧、電力の検出信号を所要の断線検出アルゴ
リズムに基づいて表示するモニタ手段１４とを備え、該
加熱用ヒータの断線を検出し得る様に構成した熱処理炉
の加熱用ヒータ断線検出装置に係るものであり、加熱用
ヒータに給電される電流、電圧、電力の検出信号から、
所要の断線検出アルゴリズムに基づき、該加熱用ヒータ
の発熱異常状態、断線状態を検出し得る様にしたので、
加熱用ヒータに於ける断線を早期に而も確実に検出し
て、その対策を容易に講じ得る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置が
具備する反応炉等熱処理炉の加熱用ヒータ断線検出方
法、及びその装置に関するものである。
具備する反応炉等熱処理炉の加熱用ヒータ断線検出方
法、及びその装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体製造装置の熱処理炉でウ
ェーハに薄膜を生成する場合等、その製造稼働時にあっ
て、加熱用ヒータは１０００℃以上の高温状態と２０℃
程度の室温状態とが交互に繰返され、而も、この様に激
しい温度差の繰返しが長時間に亘って続行される為に、
加熱用ヒータの表面には表面酸化膜の生成と剥離とが繰
返されることになり、この結果、該加熱用ヒータの劣化
が甚しく最終的には断線に至る。通常の場合、３乃至６
月間の周期で断線が発生している。
ェーハに薄膜を生成する場合等、その製造稼働時にあっ
て、加熱用ヒータは１０００℃以上の高温状態と２０℃
程度の室温状態とが交互に繰返され、而も、この様に激
しい温度差の繰返しが長時間に亘って続行される為に、
加熱用ヒータの表面には表面酸化膜の生成と剥離とが繰
返されることになり、この結果、該加熱用ヒータの劣化
が甚しく最終的には断線に至る。通常の場合、３乃至６
月間の周期で断線が発生している。
【０００３】従来の半導体製造装置の場合、この種の加
熱用ヒータ断線の検知手段としては、図４に示されてい
る如く、例えば、半導体製造装置の主制御部１内にあっ
て、加熱用ヒータ３に給電する温度制御装置２を設ける
と共に、該温度制御装置２からの出力信号をモニタ装置
４の画面で監視可能とし、モニタ装置４のオペレータが
レシピ実行中のヒータ設定温度と測定温度の推移をみる
ことで判断している。
熱用ヒータ断線の検知手段としては、図４に示されてい
る如く、例えば、半導体製造装置の主制御部１内にあっ
て、加熱用ヒータ３に給電する温度制御装置２を設ける
と共に、該温度制御装置２からの出力信号をモニタ装置
４の画面で監視可能とし、モニタ装置４のオペレータが
レシピ実行中のヒータ設定温度と測定温度の推移をみる
ことで判断している。
【０００４】ウェーハ製造工程中の１つのレシピ終了毎
のウェーハ検査によって異常が確認された時点で、新め
て予め設定されているヒータ加熱温度と実際の測定温度
のログを調査して断線を判断している。
のウェーハ検査によって異常が確認された時点で、新め
て予め設定されているヒータ加熱温度と実際の測定温度
のログを調査して断線を判断している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】加熱用ヒータの断線が
発生すると、その発生時点で製造過程にある全ての半導
体ウェーハは不良品として廃棄処分せざるを得ず、半導
体材料は勿論のこと、それ迄の製造工程が全く無駄なも
のになってしまう。
発生すると、その発生時点で製造過程にある全ての半導
体ウェーハは不良品として廃棄処分せざるを得ず、半導
体材料は勿論のこと、それ迄の製造工程が全く無駄なも
のになってしまう。
【０００６】従って、加熱用ヒータの断線が発生した場
合には、一刻も早く断線原因の究明と加熱用ヒータの交
換とを実施する必要があるもので、該加熱用ヒータの断
線については、これを迅速に且確実に検出することが要
求される。然し乍ら上記した従来の各検知手段では、必
ずしも迅速且効果的なヒータ断線を検知し得ないもので
あった。
合には、一刻も早く断線原因の究明と加熱用ヒータの交
換とを実施する必要があるもので、該加熱用ヒータの断
線については、これを迅速に且確実に検出することが要
求される。然し乍ら上記した従来の各検知手段では、必
ずしも迅速且効果的なヒータ断線を検知し得ないもので
あった。
【０００７】本発明は、この様な従来の問題点を解消
し、且要望に応える為になされたものであり、その目的
とするところは熱処理炉に於ける加熱用ヒータの断線を
早急且的確に検出し得る様にすることである。
し、且要望に応える為になされたものであり、その目的
とするところは熱処理炉に於ける加熱用ヒータの断線を
早急且的確に検出し得る様にすることである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する為
に、本発明に係る熱処理炉の加熱用ヒータ断線検出方法
及びその装置は、加熱用ヒータに給電される電流、電
圧、電力を所要の断線検出アルゴリズムに基づいて監視
する様にしたものである。
に、本発明に係る熱処理炉の加熱用ヒータ断線検出方法
及びその装置は、加熱用ヒータに給電される電流、電
圧、電力を所要の断線検出アルゴリズムに基づいて監視
する様にしたものである。
【０００９】本発明は、加熱用ヒータに給電される電
流、電圧、電力の少なくとも１つを所要の断線検出アル
ゴリズムに基づいて監視し、前記加熱用ヒータの断線を
検出する熱処理炉の加熱用ヒータ断線検出方法に係り、
前記加熱用ヒータに給電される電流、電圧、電力の少な
くとも１つを検出する検出手段と、該検出手段で検出さ
れる電流、電圧、電力の検出信号を所要の断線検出アル
ゴリズムに基づいて表示するモニタ手段とを備え、前記
加熱用ヒータの断線を検出し得る様に構成した熱処理炉
の加熱用ヒータ断線検出装置に係るものであり、加熱用
ヒータに給電される電流、電圧、電力の検出信号から、
所要の断線検出アルゴリズムに基づき、該加熱用ヒータ
の発熱異常状態、断線状態を検出し得る様にしたので、
加熱用ヒータに於ける断線を早期に而も確実に検出し
て、その対策を容易に講じ得る。
流、電圧、電力の少なくとも１つを所要の断線検出アル
ゴリズムに基づいて監視し、前記加熱用ヒータの断線を
検出する熱処理炉の加熱用ヒータ断線検出方法に係り、
前記加熱用ヒータに給電される電流、電圧、電力の少な
くとも１つを検出する検出手段と、該検出手段で検出さ
れる電流、電圧、電力の検出信号を所要の断線検出アル
ゴリズムに基づいて表示するモニタ手段とを備え、前記
加熱用ヒータの断線を検出し得る様に構成した熱処理炉
の加熱用ヒータ断線検出装置に係るものであり、加熱用
ヒータに給電される電流、電圧、電力の検出信号から、
所要の断線検出アルゴリズムに基づき、該加熱用ヒータ
の発熱異常状態、断線状態を検出し得る様にしたので、
加熱用ヒータに於ける断線を早期に而も確実に検出し
て、その対策を容易に講じ得る。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態を説明する。
実施の形態を説明する。
【００１１】図１は本発明の実施の形態を適用した加熱
用ヒータの発熱状態検知装置１５の概要を示す回路結線
図である。又、図２はヒータ異常の検出例を説明する波
形図、図３は同上異常検出のフローチャートである。
用ヒータの発熱状態検知装置１５の概要を示す回路結線
図である。又、図２はヒータ異常の検出例を説明する波
形図、図３は同上異常検出のフローチャートである。
【００１２】図１に示す本発明の実施の形態に於いて、
半導体製造装置は、主制御部１１内に設けられて加熱用
ヒータ１３に対し予め設定される制御温度対応の電力を
給電する電源装置としての温度制御装置１２を有し、該
温度制御装置１２には、温度制御状態或は対象加熱部の
温度状態を表示するモニタ手段としてのモニタ装置１４
が接続されており、このモニタ装置１４によって温度制
御状態或は対象加熱部の温度状態が監視されている。
半導体製造装置は、主制御部１１内に設けられて加熱用
ヒータ１３に対し予め設定される制御温度対応の電力を
給電する電源装置としての温度制御装置１２を有し、該
温度制御装置１２には、温度制御状態或は対象加熱部の
温度状態を表示するモニタ手段としてのモニタ装置１４
が接続されており、このモニタ装置１４によって温度制
御状態或は対象加熱部の温度状態が監視されている。
【００１３】本発明の実施の対象である発熱状態検知装
置１５は、前記加熱用ヒータ１３の温度制御を兼ねる電
源回路に並列に挿入されて、該加熱用ヒータ１３に給電
される電流、電圧及び電力をそれぞれに検出する検出手
段、この場合、電力計１６を設けると共に該電力計１６
によって検出される前記加熱用ヒータ１３の電流Ｉ、電
圧Ｖ及び電力Ｐの各検出信号をデジタル信号として前記
モニタ装置１４に出力する。又、該モニタ装置１４に
は、予め所要の断線検出アルゴリズム１７が組込まれて
おり、前記電力計１６から入力される各検出信号Ｉ、
Ｖ、Ｐを前記断線検出アルゴリズム１７に基づいて設定
値或は基準値と比較対比する。比較対比の結果断線と判
断されれば断線状態信号を図示しない該当部署等に出力
してヒータ交換を促す様にするのである。
置１５は、前記加熱用ヒータ１３の温度制御を兼ねる電
源回路に並列に挿入されて、該加熱用ヒータ１３に給電
される電流、電圧及び電力をそれぞれに検出する検出手
段、この場合、電力計１６を設けると共に該電力計１６
によって検出される前記加熱用ヒータ１３の電流Ｉ、電
圧Ｖ及び電力Ｐの各検出信号をデジタル信号として前記
モニタ装置１４に出力する。又、該モニタ装置１４に
は、予め所要の断線検出アルゴリズム１７が組込まれて
おり、前記電力計１６から入力される各検出信号Ｉ、
Ｖ、Ｐを前記断線検出アルゴリズム１７に基づいて設定
値或は基準値と比較対比する。比較対比の結果断線と判
断されれば断線状態信号を図示しない該当部署等に出力
してヒータ交換を促す様にするのである。
【００１４】前記加熱用ヒータ１３に発生する異常の検
出例を図２に示す。同図（Ａ）はヒータ電流Ｉの異常状
態を、同図（Ｂ）はヒータ電圧Ｖの異常状態を、同図
（Ｃ）はヒータ電力Ｐの異常状態をそれぞれに表わし、
ヒータが断線した場合は、ヒータ電流Ｉ、ヒータ電力Ｐ
は０に、ヒータ電圧Ｖは最大電圧となり、この状態を前
記電力計１６が検出する。
出例を図２に示す。同図（Ａ）はヒータ電流Ｉの異常状
態を、同図（Ｂ）はヒータ電圧Ｖの異常状態を、同図
（Ｃ）はヒータ電力Ｐの異常状態をそれぞれに表わし、
ヒータが断線した場合は、ヒータ電流Ｉ、ヒータ電力Ｐ
は０に、ヒータ電圧Ｖは最大電圧となり、この状態を前
記電力計１６が検出する。
【００１５】又、前記図２の異常検出時におけるフロー
チャートを図３に示してあり、該図３では、前記加熱用
ヒータ１３における温度上昇中（ステップ ST-11）にあ
って、先ず、前記ヒータ電流Ｉ値が“０値”（ステップ
ST-12）を、ついで、前記ヒータ電圧Ｖ値が“最大値”
（ステップ ST-13）を、更に、前記ヒータ電力Ｐ値が
“０値”（ステップ ST-14）をそれぞれに示した時点
で、該加熱用ヒータ１３の断線を検知したことが表わさ
れおり、図２の断線時点に対応し、該断線時点で直ちに
警報を発することができる。
チャートを図３に示してあり、該図３では、前記加熱用
ヒータ１３における温度上昇中（ステップ ST-11）にあ
って、先ず、前記ヒータ電流Ｉ値が“０値”（ステップ
ST-12）を、ついで、前記ヒータ電圧Ｖ値が“最大値”
（ステップ ST-13）を、更に、前記ヒータ電力Ｐ値が
“０値”（ステップ ST-14）をそれぞれに示した時点
で、該加熱用ヒータ１３の断線を検知したことが表わさ
れおり、図２の断線時点に対応し、該断線時点で直ちに
警報を発することができる。
【００１６】尚、前記図３は、ヒータの断線時のフロー
チャートであるが、同様な手順でヒータの発熱異常状態
を断線以前に検知することも可能であり、該断線以前に
警報を発する様にすることで、事前にヒータ交換等の対
策を講じ得ることが可能である。
チャートであるが、同様な手順でヒータの発熱異常状態
を断線以前に検知することも可能であり、該断線以前に
警報を発する様にすることで、事前にヒータ交換等の対
策を講じ得ることが可能である。
【００１７】この様にして本発明の実施の形態では、加
熱用ヒータ１３の断線に至る発熱異常状態、断線状態を
早期に且確実に検出することが可能になり、この結果、
該加熱用ヒータ１３の交換時期を適切に確保できるもの
である。
熱用ヒータ１３の断線に至る発熱異常状態、断線状態を
早期に且確実に検出することが可能になり、この結果、
該加熱用ヒータ１３の交換時期を適切に確保できるもの
である。
【００１８】尚、上記実施の形態では、電流値Ｉ、電圧
値Ｖ、電力値Ｐを監視したが、いずれか１つを監視し
て、断線の検出を行ってもよい。
値Ｖ、電力値Ｐを監視したが、いずれか１つを監視し
て、断線の検出を行ってもよい。
【００１９】
【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、加熱用
ヒータに給電される電流、電圧及び電力の各検出信号か
ら、所要の断線検出アルゴリズムに基づいて、該加熱用
ヒータの発熱異常状態、断線状態を検出し得る様にした
ので、加熱用ヒータの発熱異常状態、断線状態を早期に
極めて容易且簡単に、而も確実に検出することが可能に
なり、結果的には、該加熱用ヒータの交換時期を失する
虞れがなく、半導体製造装置自体の順調な稼働を継続で
きるもので、半導体製造過程中のヒータ断線で大量の半
導体ウェーハが不良品になるという点についても回避で
きる等の優れた利点を有しており、併せて、装置全体の
構成についても比較的簡単で容易に実施可能である等の
優れた効果を発揮する。
ヒータに給電される電流、電圧及び電力の各検出信号か
ら、所要の断線検出アルゴリズムに基づいて、該加熱用
ヒータの発熱異常状態、断線状態を検出し得る様にした
ので、加熱用ヒータの発熱異常状態、断線状態を早期に
極めて容易且簡単に、而も確実に検出することが可能に
なり、結果的には、該加熱用ヒータの交換時期を失する
虞れがなく、半導体製造装置自体の順調な稼働を継続で
きるもので、半導体製造過程中のヒータ断線で大量の半
導体ウェーハが不良品になるという点についても回避で
きる等の優れた利点を有しており、併せて、装置全体の
構成についても比較的簡単で容易に実施可能である等の
優れた効果を発揮する。
【図１】本発明の実施の形態例を適用した加熱用ヒータ
の発熱状態検知装置の概要を示す回路結線図である。
の発熱状態検知装置の概要を示す回路結線図である。
【図２】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）は同上ヒータ異常の検出例
を説明するヒータ電流、ヒータ電圧、ヒータ電力の波形
図である。
を説明するヒータ電流、ヒータ電圧、ヒータ電力の波形
図である。
【図３】同上図２に対応した異常検出のフローチャート
である。
である。
【図４】従来の加熱用ヒータの断線監視態様例の概要を
示す回路結線図である。
示す回路結線図である。
１１ 主制御部 １２ 温度制御装置 １３ 加熱用ヒータ １４ モニタ装置 １５ 発熱状態検知装置 １６ 電力計 １７ 断線検出アルゴリズム
Claims (2)
- 【請求項１】 加熱用ヒータに給電される電流、電圧、
電力の少なくとも１つを所要の断線検出アルゴリズムに
基づいて監視し、前記加熱用ヒータの断線を検出するこ
とを特徴とする熱処理炉の加熱用ヒータ断線検出方法。 - 【請求項２】 前記加熱用ヒータに給電される電流、電
圧、電力の少なくとも１つを検出する検出手段と、該検
出手段で検出される電流、電圧、電力の検出信号を所要
の断線検出アルゴリズムに基づいて表示するモニタ手段
とを備え、前記加熱用ヒータの断線を検出し得る様に構
成したことを特徴とする熱処理炉の加熱用ヒータ断線検
出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9221099A JPH1154244A (ja) | 1997-08-01 | 1997-08-01 | 熱処理炉の加熱用ヒータ断線検出方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9221099A JPH1154244A (ja) | 1997-08-01 | 1997-08-01 | 熱処理炉の加熱用ヒータ断線検出方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1154244A true JPH1154244A (ja) | 1999-02-26 |
Family
ID=16761485
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9221099A Pending JPH1154244A (ja) | 1997-08-01 | 1997-08-01 | 熱処理炉の加熱用ヒータ断線検出方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1154244A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001079942A1 (fr) * | 2000-04-14 | 2001-10-25 | Omron Corporation | Unite de commande, regulateur de temperature et appareil de traitement thermique |
| WO2006070689A1 (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-06 | Tokyo Electron Limited | 半導体製造装置、当該半導体製造装置における異常の検出、異常の原因の特定或いは異常の予測を行う方法、並びに当該方法を実施するためのコンピュータプログラムを記録した記憶媒体 |
| JP2006186280A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Tokyo Electron Ltd | 半導体製造装置及び記憶媒体 |
| JP2006228911A (ja) * | 2005-02-16 | 2006-08-31 | Tokyo Electron Ltd | 半導体製造装置、コンピュータプログラム及び記憶媒体 |
| JP2008542000A (ja) * | 2005-05-06 | 2008-11-27 | イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド | ホットメルト接着剤ホースアセンブリのヒーター回路及び温度センサ用の冗長性を有する制御回路 |
| US8121799B2 (en) | 2007-04-17 | 2012-02-21 | Tokyo Electron Limited | Life estimating method for heater wire, heating apparatus, storage medium, and life estimating system for heater wire |
| JP2012049429A (ja) * | 2010-08-30 | 2012-03-08 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
| WO2019138830A1 (ja) * | 2018-01-09 | 2019-07-18 | オムロン株式会社 | 加熱装置 |
| WO2022191242A1 (ja) | 2021-03-12 | 2022-09-15 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、異常検知方法及び半導体装置の製造方法 |
-
1997
- 1997-08-01 JP JP9221099A patent/JPH1154244A/ja active Pending
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001079942A1 (fr) * | 2000-04-14 | 2001-10-25 | Omron Corporation | Unite de commande, regulateur de temperature et appareil de traitement thermique |
| WO2001079943A1 (fr) * | 2000-04-14 | 2001-10-25 | Omron Corporation | Unite de commande, regulateur de temperature et appareil de traitement thermique |
| US6951998B2 (en) * | 2000-04-14 | 2005-10-04 | Omron Corporation | Controller, temperature regulator and heat treatment apparatus |
| JP4607576B2 (ja) * | 2004-12-28 | 2011-01-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体製造装置 |
| US7751921B2 (en) | 2004-12-28 | 2010-07-06 | Tokyo Electron Limited | Semiconductor manufacturing apparatus, method of detecting abnormality, identifying cause of abnormality, or predicting abnormality in the semiconductor manufacturing apparatus, and storage medium storing computer program for performing the method |
| WO2006070689A1 (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-06 | Tokyo Electron Limited | 半導体製造装置、当該半導体製造装置における異常の検出、異常の原因の特定或いは異常の予測を行う方法、並びに当該方法を実施するためのコンピュータプログラムを記録した記憶媒体 |
| JP2006186280A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Tokyo Electron Ltd | 半導体製造装置及び記憶媒体 |
| JP2006228911A (ja) * | 2005-02-16 | 2006-08-31 | Tokyo Electron Ltd | 半導体製造装置、コンピュータプログラム及び記憶媒体 |
| JP2008542000A (ja) * | 2005-05-06 | 2008-11-27 | イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド | ホットメルト接着剤ホースアセンブリのヒーター回路及び温度センサ用の冗長性を有する制御回路 |
| KR101177962B1 (ko) * | 2007-04-17 | 2012-08-28 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 히터 소선의 수명 예측 방법, 열처리 장치, 기록 매체,히터 소선의 수명 예측 처리 시스템 |
| US8121799B2 (en) | 2007-04-17 | 2012-02-21 | Tokyo Electron Limited | Life estimating method for heater wire, heating apparatus, storage medium, and life estimating system for heater wire |
| JP2012049429A (ja) * | 2010-08-30 | 2012-03-08 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
| WO2019138830A1 (ja) * | 2018-01-09 | 2019-07-18 | オムロン株式会社 | 加熱装置 |
| JP2019121522A (ja) * | 2018-01-09 | 2019-07-22 | オムロン株式会社 | 加熱装置 |
| CN111034351A (zh) * | 2018-01-09 | 2020-04-17 | 欧姆龙株式会社 | 加热装置 |
| TWI697749B (zh) * | 2018-01-09 | 2020-07-01 | 日商歐姆龍股份有限公司 | 加熱裝置 |
| CN111034351B (zh) * | 2018-01-09 | 2022-04-12 | 欧姆龙株式会社 | 加热装置 |
| US11602011B2 (en) | 2018-01-09 | 2023-03-07 | Omron Corporation | Heating device |
| WO2022191242A1 (ja) | 2021-03-12 | 2022-09-15 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、異常検知方法及び半導体装置の製造方法 |
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