JP2011145290A5 - 電流測定方法、半導体装置の検査方法及び特性評価用素子 - Google Patents

Claims (6)

1. 電流素子に流れる電流測定方法であって、
   前記電流素子は第１端子と第２の端子とを有し、
   第１の期間において、前記第１端子と前記第２端子との間に電位差を生じさせ、
   前記第１の期間の後の第２の期間において、前記第１端子の電位は固定され、前記第２端子の電位の変化量を測定し、
   前記第２端子の電位の変化量から、前記電気素子の前記第１端子と前記第２端子との間を流れる電流値を算出する、電流測定方法。
2. 請求項１において、
   前記第２端子に電荷を与えることで、第１の期間において、前記第１端子と前記第２端子との間に電位差を生じさせる、電流測定方法。
3. 請求項１または請求項２において、
   前記電流素子はトランジスタであり、
   前記第１端子は、前記トランジスタのソースまたはドレインの一方であり、
   前記第２端子は、前記トランジスタのソースまたはドレインの他方であり
   前記第２の期間では前記トランジスタはオフ状態であり、
   前記トランジスタのオフ状態における、前記電気素子の前記第１端子と前記第２端子との間を流れる電流値を算出する、電流測定方法。
4. 請求項１乃至請求項３のいずれか一において、
   前記第２端子には容量素子が電気的に接続されている、電流測定方法。
5. 請求項１乃至請求項４のいずれか一に記載の電流測定方法を用いて、前記電気素子の特性を検査する、半導体装置の検査方法。
6. 第１端子と第２端子とを有する電気素子と、
   第１端子と第２端子とを有する容量素子と、
   出力回路と、を有し、
   前記電気素子の第１端子は、電源と電気的に接続され、
   前記電気素子の第２端子は、前記容量素子の第１端子と電気的に接続され、
   前記電気素子の第２端子は、前記出力回路の入力端子と電気的に接続される特性評価用素子。