JP4907942B2 - トランジスタおよび電子デバイス - Google Patents
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Description
本発明の一実施形態について説明する。図1は、本実施形態にかかる半導体装置であるトランジスタ(電界効果トランジスタ;FET)1の概略構成を示す断面図である。
2 基板
3 バッファ層
4 チャネル層
5 ソース電極
6 ドレイン電極
7 界面改質層
7a 界面改質層
8 ゲート絶縁層
9 ゲート電極
aRS Mg1-xCaxOの格子定数
awz ZnOの格子定数
x Mg1-xCaxOまたはMgO−CaO焼結体のCa濃度
Claims (11)
- 基板と、ZnOからなるチャネル層と、上記チャネル層に接続されたソース電極およびドレイン電極と、上記チャネル層との間にゲート絶縁層を介して備えられるゲート電極とをそなえてなるトランジスタであって、
上記チャネル層における上記ゲート絶縁層側の界面にMg1-xCaxO(0.2<x<0.8)からなる界面改質層が設けられていることを特徴とするトランジスタ。 - 上記界面改質層は、Mg0.42Ca0.58Oであることを特徴とする請求項1に記載のトランジスタ。
- 上記基板側から見て、チャネル層、ゲート絶縁層、ゲート電極がこの順で配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載のトランジスタ。
- 上記基板と上記チャネル層との間にバッファ層が形成されており、
上記チャネル層は、上記バッファ層上に形成されていることを特徴とする請求項3に記載のトランジスタ。 - 上記バッファ層は、アニール処理を施したMgZnOであることを特徴とする請求項4に記載のトランジスタ。
- 上記基板側から見て、ゲート電極、ゲート絶縁層、チャネル層がこの順で配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載のトランジスタ。
- 上記チャネル層における上記ゲート絶縁層側とは反対側の界面に、Mg1-xCaxO(0.2<x<0.8)からなる第2界面改質層が設けられていることを特徴とする請求項6に記載のトランジスタ。
- 上記チャネル層は、単結晶ZnOであることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載のトランジスタ。
- 上記チャネル層は、多結晶ZnOであることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載のトランジスタ。
- 請求項1〜9のいずれか1項に記載のトランジスタを備えてなる電子デバイス。
- 上記電子デバイスは、表示装置または画像読取装置であって、
上記トランジスタが、画素電極への画像信号の書き込みまたは読み出しを制御するために当該画素電極に接続されていることを特徴とする請求項10に記載の電子デバイス。
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