JP2011237418A5 - 電流測定方法 - Google Patents

Claims (4)

1. 評価用トランジスタの第１の端子に第１の電位を与え、
   電荷注入用トランジスタの第１の端子に第２の電位を与え、
   前記電荷注入用トランジスタをオン状態とするとともに、前記評価用トランジスタをオフ状態として、前記評価用トランジスタの第２の端子と、前記電荷注入用トランジスタの第２の端子とが電気的に接続されてなるノードに所定の電荷を蓄積させ、
   前記電荷注入用トランジスタをオフ状態とし、
   前記ノードが保持する電荷量の変化に起因して生じる、前記ノードの電位の変化量を測定し、
   前記ノードの電位の変化量から、前記評価用トランジスタの前記第１の端子と前記第２の端子との間を流れる電流値を算出することを特徴とする電流測定方法。
2. 評価用トランジスタと、
   電荷注入用トランジスタと、
   容量素子と、
   出力回路と、を有し、
   前記評価用トランジスタの第２の端子と、前記電荷注入用トランジスタの第２の端子と、前記容量素子の第１の端子と、前記出力回路の入力端子とが電気的に接続される回路を用いて、電流値を算出する電流測定方法であって、
   前記評価用トランジスタの第１の端子に第１の電位を与え、
   前記電荷注入用トランジスタの第１の端子に第２の電位を与え、
   前記電荷注入用トランジスタをオン状態とするとともに、前記評価用トランジスタをオフ状態として、前記評価用トランジスタの前記第２の端子と、前記電荷注入用トランジスタの前記第２の端子とが電気的に接続されてなるノードに所定の電荷を蓄積させ、
   前記電荷注入用トランジスタをオフ状態とし、
   前記ノードが保持する電荷量の変化に起因して生じる、前記ノードの電位の変化量を測定し、
   前記ノードの電位の変化量から、前記評価用トランジスタの前記第１の端子と前記第２の端子との間を流れる電流値を算出することを特徴とする電流測定方法。
3. 請求項１において、
   前記ノードへの所定の電荷の蓄積と、前記ノードの電位の変化量の測定とを繰り返し行うことを特徴とする電流測定方法。
4. 請求項１または請求項２において、
   前記電荷注入用トランジスタとして、前記評価用トランジスタよりＬ／Ｗ（Ｌはチャネル長、Ｗはチャネル幅）が大きいトランジスタを用いることを特徴とする電流測定方法。