JP2013149757A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2013149757A5
JP2013149757A5 JP2012008448A JP2012008448A JP2013149757A5 JP 2013149757 A5 JP2013149757 A5 JP 2013149757A5 JP 2012008448 A JP2012008448 A JP 2012008448A JP 2012008448 A JP2012008448 A JP 2012008448A JP 2013149757 A5 JP2013149757 A5 JP 2013149757A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor region
region
semiconductor
portions
solid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2012008448A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2013149757A (ja
JP5967944B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority claimed from JP2012008448A external-priority patent/JP5967944B2/ja
Priority to JP2012008448A priority Critical patent/JP5967944B2/ja
Priority to KR1020177000566A priority patent/KR20170008881A/ko
Priority to KR1020147022126A priority patent/KR101698252B1/ko
Priority to PCT/JP2013/050704 priority patent/WO2013108798A1/en
Priority to US14/359,640 priority patent/US9147708B2/en
Priority to CN201380005498.4A priority patent/CN104054177B/zh
Priority to EP13738370.9A priority patent/EP2805353B1/en
Publication of JP2013149757A publication Critical patent/JP2013149757A/ja
Priority to US14/831,224 priority patent/US9276027B2/en
Priority to US14/940,569 priority patent/US9818794B2/en
Publication of JP2013149757A5 publication Critical patent/JP2013149757A5/ja
Publication of JP5967944B2 publication Critical patent/JP5967944B2/ja
Application granted granted Critical
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2012008448A 2012-01-18 2012-01-18 固体撮像装置およびカメラ Active JP5967944B2 (ja)

Priority Applications (9)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012008448A JP5967944B2 (ja) 2012-01-18 2012-01-18 固体撮像装置およびカメラ
CN201380005498.4A CN104054177B (zh) 2012-01-18 2013-01-09 固态图像传感器和照相机
EP13738370.9A EP2805353B1 (en) 2012-01-18 2013-01-09 Solid-state image sensor and camera
KR1020147022126A KR101698252B1 (ko) 2012-01-18 2013-01-09 고체 촬상 센서 및 카메라
PCT/JP2013/050704 WO2013108798A1 (en) 2012-01-18 2013-01-09 Solid-state image sensor and camera
US14/359,640 US9147708B2 (en) 2012-01-18 2013-01-09 Solid-state image sensor and camera
KR1020177000566A KR20170008881A (ko) 2012-01-18 2013-01-09 고체 촬상 센서 및 카메라
US14/831,224 US9276027B2 (en) 2012-01-18 2015-08-20 Solid-state image sensor and camera
US14/940,569 US9818794B2 (en) 2012-01-18 2015-11-13 Solid-state image sensor and camera

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012008448A JP5967944B2 (ja) 2012-01-18 2012-01-18 固体撮像装置およびカメラ

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2013149757A JP2013149757A (ja) 2013-08-01
JP2013149757A5 true JP2013149757A5 (enExample) 2016-04-14
JP5967944B2 JP5967944B2 (ja) 2016-08-10

Family

ID=48799223

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012008448A Active JP5967944B2 (ja) 2012-01-18 2012-01-18 固体撮像装置およびカメラ

Country Status (6)

Country Link
US (3) US9147708B2 (enExample)
EP (1) EP2805353B1 (enExample)
JP (1) JP5967944B2 (enExample)
KR (2) KR101698252B1 (enExample)
CN (1) CN104054177B (enExample)
WO (1) WO2013108798A1 (enExample)

Families Citing this family (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6008669B2 (ja) * 2012-09-19 2016-10-19 キヤノン株式会社 固体撮像素子およびその製造方法ならびにカメラ
JP6261361B2 (ja) 2014-02-04 2018-01-17 キヤノン株式会社 固体撮像装置およびカメラ
JP6595750B2 (ja) 2014-03-14 2019-10-23 キヤノン株式会社 固体撮像装置及び撮像システム
JP6274567B2 (ja) 2014-03-14 2018-02-07 キヤノン株式会社 固体撮像装置及び撮像システム
JP6541347B2 (ja) 2014-03-27 2019-07-10 キヤノン株式会社 固体撮像装置および撮像システム
JP2015216186A (ja) * 2014-05-09 2015-12-03 ソニー株式会社 固体撮像装置および電子機器
JP6109125B2 (ja) 2014-08-20 2017-04-05 キヤノン株式会社 半導体装置、固体撮像装置、および撮像システム
JP6417197B2 (ja) 2014-11-27 2018-10-31 キヤノン株式会社 固体撮像装置
JP6396775B2 (ja) * 2014-12-03 2018-09-26 ルネサスエレクトロニクス株式会社 撮像装置
US9768213B2 (en) 2015-06-03 2017-09-19 Canon Kabushiki Kaisha Solid-state image sensor and camera
JP6764234B2 (ja) * 2015-06-03 2020-09-30 キヤノン株式会社 固体撮像装置及びカメラ
JP2017045873A (ja) * 2015-08-27 2017-03-02 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置の製造方法および半導体装置
JP6570384B2 (ja) 2015-09-11 2019-09-04 キヤノン株式会社 撮像装置及び撮像システム
JP6541523B2 (ja) 2015-09-11 2019-07-10 キヤノン株式会社 撮像装置、撮像システム、および、撮像装置の制御方法
US10205894B2 (en) 2015-09-11 2019-02-12 Canon Kabushiki Kaisha Imaging device and imaging system
JP6727830B2 (ja) * 2016-02-09 2020-07-22 キヤノン株式会社 撮像装置
JP6738200B2 (ja) 2016-05-26 2020-08-12 キヤノン株式会社 撮像装置
JP2017220603A (ja) 2016-06-09 2017-12-14 キヤノン株式会社 固体撮像素子および固体撮像素子の製造方法
JP6776011B2 (ja) 2016-06-10 2020-10-28 キヤノン株式会社 撮像装置及び撮像システム
JP6688165B2 (ja) 2016-06-10 2020-04-28 キヤノン株式会社 撮像装置及び撮像システム
JP6727938B2 (ja) 2016-06-10 2020-07-22 キヤノン株式会社 撮像装置、撮像装置の制御方法、及び撮像システム
US10319765B2 (en) 2016-07-01 2019-06-11 Canon Kabushiki Kaisha Imaging device having an effective pixel region, an optical black region and a dummy region each with pixels including a photoelectric converter
JP7013119B2 (ja) 2016-07-21 2022-01-31 キヤノン株式会社 固体撮像素子、固体撮像素子の製造方法、及び撮像システム
JP2018092976A (ja) 2016-11-30 2018-06-14 キヤノン株式会社 撮像装置
JP6957157B2 (ja) 2017-01-26 2021-11-02 キヤノン株式会社 固体撮像装置、撮像システム、および固体撮像装置の製造方法
JP6701108B2 (ja) 2017-03-21 2020-05-27 キヤノン株式会社 固体撮像装置及び撮像システム
JP6929114B2 (ja) 2017-04-24 2021-09-01 キヤノン株式会社 光電変換装置及び撮像システム
US10818715B2 (en) 2017-06-26 2020-10-27 Canon Kabushiki Kaisha Solid state imaging device and manufacturing method thereof
JP6987562B2 (ja) 2017-07-28 2022-01-05 キヤノン株式会社 固体撮像素子
US10418402B2 (en) * 2017-11-30 2019-09-17 Stmicroelectronics (Research & Development) Limited Near ultraviolet photocell
JP7091080B2 (ja) 2018-02-05 2022-06-27 キヤノン株式会社 装置、システム、および移動体
JP7446061B2 (ja) 2018-04-06 2024-03-08 キヤノン株式会社 撮像装置及び撮像システム
JP7161317B2 (ja) 2018-06-14 2022-10-26 キヤノン株式会社 撮像装置、撮像システム及び移動体
JP7245016B2 (ja) 2018-09-21 2023-03-23 キヤノン株式会社 光電変換装置および撮像システム
JP7292868B2 (ja) 2018-12-18 2023-06-19 キヤノン株式会社 検出器
JP7237622B2 (ja) 2019-02-05 2023-03-13 キヤノン株式会社 光電変換装置
JP2021068788A (ja) 2019-10-21 2021-04-30 キヤノン株式会社 光電変換装置、光電変換装置の製造方法、および撮像システム
JP7753044B2 (ja) 2021-10-20 2025-10-14 キヤノン株式会社 光電変換装置

Family Cites Families (64)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL8901629A (nl) 1989-06-28 1991-01-16 Philips Nv Stralingsgevoelige halfgeleiderinrichting en uitlees- of schrijfeenheid bevattende een dergelijke stralingsgevoelige halfgeleiderinrichting.
GB2339333B (en) 1998-06-29 2003-07-09 Hyundai Electronics Ind Photodiode having charge function and image sensor using the same
JP4131059B2 (ja) * 1999-08-23 2008-08-13 ソニー株式会社 受光素子を有する半導体装置、光学ピックアップ装置、および受光素子を有する半導体装置の製造方法
JP4500434B2 (ja) 2000-11-28 2010-07-14 キヤノン株式会社 撮像装置及び撮像システム、並びに撮像方法
JP2002329853A (ja) * 2002-02-22 2002-11-15 Sharp Corp 回路内蔵受光素子
US6586789B1 (en) * 2002-10-07 2003-07-01 Lixin Zhao Pixel image sensor
JP2004264034A (ja) * 2003-01-24 2004-09-24 Hamamatsu Photonics Kk 光検出装置
JP3621400B2 (ja) 2003-03-03 2005-02-16 松下電器産業株式会社 固体撮像装置およびその製造方法
JP4514188B2 (ja) 2003-11-10 2010-07-28 キヤノン株式会社 光電変換装置及び撮像装置
JP4508619B2 (ja) 2003-12-03 2010-07-21 キヤノン株式会社 固体撮像装置の製造方法
JP3793202B2 (ja) 2004-02-02 2006-07-05 キヤノン株式会社 固体撮像装置
JP3890333B2 (ja) 2004-02-06 2007-03-07 キヤノン株式会社 固体撮像装置
JP4067054B2 (ja) 2004-02-13 2008-03-26 キヤノン株式会社 固体撮像装置および撮像システム
US7294818B2 (en) 2004-08-24 2007-11-13 Canon Kabushiki Kaisha Solid state image pickup device and image pickup system comprising it
JP2006073736A (ja) 2004-09-01 2006-03-16 Canon Inc 光電変換装置、固体撮像装置及び固体撮像システム
JP4916101B2 (ja) 2004-09-01 2012-04-11 キヤノン株式会社 光電変換装置、固体撮像装置及び固体撮像システム
KR100634444B1 (ko) * 2004-12-20 2006-10-16 삼성전자주식회사 수광 소자 및 그 형성 방법
JP4416668B2 (ja) 2005-01-14 2010-02-17 キヤノン株式会社 固体撮像装置、その制御方法及びカメラ
JP2006197392A (ja) 2005-01-14 2006-07-27 Canon Inc 固体撮像装置、カメラ、及び固体撮像装置の駆動方法
JP4459064B2 (ja) 2005-01-14 2010-04-28 キヤノン株式会社 固体撮像装置、その制御方法及びカメラ
JP4677258B2 (ja) 2005-03-18 2011-04-27 キヤノン株式会社 固体撮像装置及びカメラ
JP4459099B2 (ja) 2005-03-18 2010-04-28 キヤノン株式会社 固体撮像装置及びカメラ
JP4459098B2 (ja) 2005-03-18 2010-04-28 キヤノン株式会社 固体撮像装置及びカメラ
JP4794877B2 (ja) 2005-03-18 2011-10-19 キヤノン株式会社 固体撮像装置及びカメラ
JP4835270B2 (ja) * 2006-06-03 2011-12-14 株式会社ニコン 固体撮像素子及びこれを用いた撮像装置
JP4800125B2 (ja) * 2006-06-28 2011-10-26 オンセミコンダクター・トレーディング・リミテッド 半導体集積回路装置とその製造方法
JP5132102B2 (ja) 2006-08-01 2013-01-30 キヤノン株式会社 光電変換装置および光電変換装置を用いた撮像システム
JP4818018B2 (ja) 2006-08-01 2011-11-16 キヤノン株式会社 光電変換装置及びそれを用いた撮像システム
KR20080016259A (ko) 2006-08-18 2008-02-21 동부일렉트로닉스 주식회사 씨모스 이미지 센서 및 그 제조방법
JP4710017B2 (ja) 2006-10-20 2011-06-29 国立大学法人静岡大学 Ｃｍｏｓイメージセンサ
WO2008069141A1 (ja) 2006-11-30 2008-06-12 National University Corporation Shizuoka University 半導体測距素子及び固体撮像装置
JP5076528B2 (ja) * 2007-02-06 2012-11-21 株式会社ニコン 光電変換部の連結／分離構造、固体撮像素子及び撮像装置
JP4110193B1 (ja) 2007-05-02 2008-07-02 キヤノン株式会社 固体撮像装置および撮像システム
JP4991436B2 (ja) 2007-08-02 2012-08-01 キヤノン株式会社 撮像装置及び撮像システム
JP2009088005A (ja) * 2007-09-27 2009-04-23 Sanyo Electric Co Ltd 半導体装置およびその製造方法
JP2009141631A (ja) 2007-12-05 2009-06-25 Canon Inc 光電変換装置及び撮像装置
JP5156434B2 (ja) 2008-02-29 2013-03-06 キヤノン株式会社 撮像装置および撮像システム
JP4494492B2 (ja) 2008-04-09 2010-06-30 キヤノン株式会社 固体撮像装置及び固体撮像装置の駆動方法
JP5213501B2 (ja) 2008-04-09 2013-06-19 キヤノン株式会社 固体撮像装置
JP4759590B2 (ja) 2008-05-09 2011-08-31 キヤノン株式会社 光電変換装置及びそれを用いた撮像システム
JP5279352B2 (ja) 2008-06-06 2013-09-04 キヤノン株式会社 固体撮像装置
JP5326507B2 (ja) 2008-11-06 2013-10-30 ソニー株式会社 固体撮像装置、固体撮像装置の駆動方法、及び電子機器
EP2133918B1 (en) 2008-06-09 2015-01-28 Sony Corporation Solid-state imaging device, drive method thereof and electronic apparatus
JP5089514B2 (ja) 2008-07-11 2012-12-05 キヤノン株式会社 撮像装置、及び撮像システム
JP4617372B2 (ja) 2008-08-29 2011-01-26 キヤノン株式会社 撮像装置及び撮像システム
US20100230583A1 (en) 2008-11-06 2010-09-16 Sony Corporation Solid state image pickup device, method of manufacturing the same, image pickup device, and electronic device
JP4905468B2 (ja) * 2009-01-09 2012-03-28 ソニー株式会社 固体撮像素子
US8913166B2 (en) 2009-01-21 2014-12-16 Canon Kabushiki Kaisha Solid-state imaging apparatus
JP2010268080A (ja) 2009-05-12 2010-11-25 Canon Inc 固体撮像装置
JP5538876B2 (ja) 2009-12-25 2014-07-02 キヤノン株式会社 固体撮像装置
JP5660991B2 (ja) * 2010-09-16 2015-01-28 三菱電機株式会社 光電変換素子およびイメージセンサ
JP5825817B2 (ja) * 2011-04-01 2015-12-02 キヤノン株式会社 固体撮像素子及び撮像装置
JP5864990B2 (ja) 2011-10-03 2016-02-17 キヤノン株式会社 固体撮像装置およびカメラ
JP2013093553A (ja) 2011-10-04 2013-05-16 Canon Inc 光電変換装置及びその製造方法、並びに光電変換システム
JP5959829B2 (ja) 2011-11-09 2016-08-02 キヤノン株式会社 固体撮像装置
JP2013110548A (ja) * 2011-11-21 2013-06-06 Canon Inc 固体撮像素子、該固体撮像素子を備えた距離検出装置、該距離検出装置を備えたカメラ
JP5967915B2 (ja) 2011-12-09 2016-08-10 キヤノン株式会社 固体撮像装置の駆動方法
JP6053505B2 (ja) 2012-01-18 2016-12-27 キヤノン株式会社 固体撮像装置
JP6023437B2 (ja) 2012-02-29 2016-11-09 キヤノン株式会社 固体撮像装置及びカメラ
JP5968146B2 (ja) 2012-07-31 2016-08-10 キヤノン株式会社 固体撮像装置およびカメラ
JP2014049727A (ja) 2012-09-04 2014-03-17 Canon Inc 固体撮像装置
KR102007279B1 (ko) * 2013-02-08 2019-08-05 삼성전자주식회사 3차원 이미지 센서의 거리 픽셀, 이를 포함하는 3차원 이미지 센서 및 3차원 이미지 센서의 거리 픽셀의 구동 방법
JP6174901B2 (ja) 2013-05-10 2017-08-02 キヤノン株式会社 固体撮像装置及びカメラ
JP2014222863A (ja) 2013-05-14 2014-11-27 キヤノン株式会社 撮像装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2013149757A5 (enExample)
JP5328207B2 (ja) 固体撮像装置
KR101698252B1 (ko) 고체 촬상 센서 및 카메라
TWI553845B (zh) Solid-state imaging device
JP2013149740A5 (enExample)
JP2015195378A5 (enExample)
JP2016138935A5 (enExample)
JP2017212351A5 (enExample)
JP2014022561A5 (enExample)
JP2015188049A5 (enExample)
JP2013080797A5 (enExample)
US10833111B2 (en) Solid-state imaging apparatus
JP2011216673A5 (enExample)
JP2014204043A5 (enExample)
JP2015005879A5 (enExample)
JP2017143158A5 (enExample)
JP2019145619A5 (enExample)
JP2011035382A (ja) 固体撮像素子
JP2016018963A5 (enExample)
CN103314440B (zh) 固体摄像装置
JP2015119093A5 (enExample)
JP2011082426A5 (enExample)
JP2016031993A5 (enExample)
CN103314441B (zh) 固体摄像装置
JP2016115815A5 (enExample)