JP2010268080A

JP2010268080A - 固体撮像装置

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Publication number: JP2010268080A
Application number: JP2009115932A
Authority: JP
Inventors: Masanori Shibata; 政範柴田; Masahiro Kobayashi; 昌弘小林
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2009-05-12
Filing date: 2009-05-12
Publication date: 2010-11-25
Also published as: CN101888491A; US8289432B2; US8259206B1; US20100289931A1; EP2252047B1; CN101888491B; US20120217378A1; EP2252047A1

Abstract

【課題】画素ピッチを縮小することができる固体撮像装置を提供することを課題とする。
【解決手段】２次元アレイ状に配列され、光電変換に基づくアナログ画素信号を生成する複数の画素（１１１）と、２次元アレイ状の画素の列毎に設けられ、画素からのアナログ画素信号を、上位ビット及び下位ビットのデジタル信号に時系列に変換するＡ／Ｄ変換器とを有し、Ａ／Ｄ変換器は、各々が上位ビットのデジタル信号を保持する第１の蓄積部（１０１）と、各々が下位ビットのデジタル信号を保持する第２の蓄積部（１０２）と、各々が第１の蓄積部からのデジタル信号を保持する第３の蓄積部（１０３）と、各々が第２の蓄積部からのデジタル信号を保持する第４の蓄積部（１０４）とを有し、第１の蓄積部と第３の蓄積部とを含む第１の対と、第２の蓄積部と第４の蓄積部とを含む第２の対とは、２次元アレイ状の画素の列に沿った方向に配置されている固体撮像装置が提供される。
【選択図】図１

Description

本発明は、固体撮像装置に関するものである。

近年、デジタルスチルカメラ、デジタルビデオカメラ等の画像入力機器において、撮影画像の高画質化のため固体撮像装置の多画素化が進んでいる。また、コスト低減のために固体撮像装置にＡ／Ｄ変換器を搭載し、デジタル出力を実現するものが現れている。

固体撮像装置に搭載するＡ／Ｄ変換方式の一例としては、カラムＡ／Ｄ変換方式がある（例えば特許文献１）。

カラムＡ／Ｄ変換方式は、画素列毎にＡ／Ｄ変換器をもち、それらを並列動作させるため、固体撮像装置の読み出しを高速化できる。一方、画素の微細化に伴って、各列毎に配置するＡ／Ｄ変換器に対するレイアウト上の制限が厳しくなる。カラムＡ／Ｄ変換器の構成例として、共通のカウンタとランプ信号発生回路を持ち、各行にはセンサ信号とランプ信号の比較回路と、比較回路が比較判定したときにカウンタからのデータを記憶する蓄積部を持つものがある。高画質化のため、Ａ／Ｄ変換のビット数が増加すると、カウンタの動作クロックが２のべき乗に比例して速くなる。

動作クロックのスピードを下げるためには、上位ビットと下位ビットを時系列的にデジタル信号に変換する２ステップＡ／Ｄ変換器を採用する方法がある。２ステップＡ／Ｄ変換器としては、特許文献２に示すものがある。

また、カラムＡ／Ｄ変換器を搭載したセンサで読み出し速度を上げるために、ある行のセンサ出力をＡ／Ｄ変換する間に、一行前のＡ／Ｄ変換データを出力する方法がある。これを実現するには、一行前の行の変換データを保持する蓄積部を必要とする。

特開平５−４８４６０号公報特開２００２―２３２２９１号公報

上記の特許文献１では、回路図としてビット毎に蓄積部を行に沿った方向に並列に配置しているため、回路図に対応して素子を配置すると、画素間の幅が増加してしまうという課題がある。

また、固体撮像装置の多画素化が進むにつれ画素寸法が小さくなる。列毎にＡ／Ｄ変換器を配置するカラムＡ／Ｄ変換器搭載の固体撮像装置では、多画素化に伴いＡ／Ｄ変換器を含む画素アレイ以外の回路部分を効率的に配置する必要性が高まって来ている。しかしながら、特許文献１、特許文献２共に、カウンタからのデータを蓄積する蓄積部の配置方法については、記載されていない。仮に、特許文献１の図８に示された回路図に対応してＡ／Ｄ変換器と一行前の行の変換データを保持する蓄積部間の配線を行方向に平行して配置すると、画素列毎の蓄積部の幅が大きくなるという課題がある。

本発明の目的は、画素ピッチを縮小することができる固体撮像装置を提供することである。

本発明の固体撮像装置は、２次元アレイ状に配列され、光電変換に基づくアナログ画素信号を生成する複数の画素と、前記２次元アレイ状の画素の列毎に設けられ、前記画素からのアナログ画素信号を、上位ビット及び下位ビットのデジタル信号に時系列に変換するＡ／Ｄ変換器とを有し、前記Ａ／Ｄ変換器は、各々が前記上位ビットのデジタル信号を保持する第１の蓄積部と、各々が前記下位ビットのデジタル信号を保持する第２の蓄積部と、各々が前記第１の蓄積部からのデジタル信号を保持する第３の蓄積部と、各々が前記第２の蓄積部からのデジタル信号を保持する第４の蓄積部とを有し、前記第１の蓄積部と前記第３の蓄積部とを含む第１の対と、前記第２の蓄積部と前記第４の蓄積部とを含む第２の対とは、前記２次元アレイ状の画素の列に沿った方向に配置されていることを特徴とする。

２次元アレイ状の画素の行に沿った方向の画素ピッチの縮小が容易となる。

固体撮像装置の全体構成図である。本発明の第１の実施形態による固体撮像装置を示す配置図である。本発明の第２の実施形態による固体撮像装置を示す配置図である。本発明の第３の実施形態による固体撮像装置を示す配置図である。本発明の第４の実施形態による固体撮像装置を示す配置図である。蓄積部の構成例を示す図である。蓄積部の構成例を示す図である。

（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態による固体撮像装置の全体構成図である。２次元アレイ状に光電変換素子を有する複数の画素１１１が配置される。光電変換素子は、例えばフォトダイオードであり、光電変換により画素信号を生成する。垂直走査回路１１３は、行単位で画素１１１を選択し、選択した画素１１１で発生するアナログ信号を読み出す。読み出された信号は、画素１１１の各列に設けられたＡ／Ｄ（アナログ／デジタル）変換器に入力される。Ａ／Ｄ変換器は、アナログ信号をデジタル信号に変換する。Ａ／Ｄ変換器を構成する比較器１１０は、読み出した信号と比較信号の大きさを比較する。カウンタ１１４、１１５は、画素１１１の各列に共通に設けられ、デジタル信号値をカウントする。第１の蓄積部１０１は、画素１１１の各列に設けられ、第１のカウンタ１１４から出力されたｎビットのデジタル値の上位ビットを保持する。第１の蓄積部１０１のデータは、第１の蓄積部間配線１０５を通して、第３の蓄積部１０３に送られ保持される。第２の蓄積部１０２は、画素１１１の各列に設けられ、第２のカウンタ１１５から出力された、ｎビットのデジタル値の下位ビットを保持する。第２の蓄積部１０２のデータは、第２の蓄積部間配線１０６を通して、第４の蓄積部１０４に送られ保持される。水平走査回路１１２は、第３の蓄積部１０３と、第４の蓄積部１０４に蓄積されたデータをデジタル出力部１０９に順次転送する。

次に、Ａ／Ｄ変換を含む詳細な動作を説明する。まず、画素１１１の出力信号と参照信号発生回路１１６で発生した第１のランプ信号を比較器１１０で比較し、２つの信号の大きさが反転した直後に、第１のカウンタ１１４の出力デジタル値を、上位ビットとして第１の蓄積部１０１に蓄積する。同時に、比較器１１０は、画素１１１の出力と第１のランプ信号の差信号を生成し、比較器１１０に入力する。次に、参照信号発生回路１１６は、第１のランプ信号より信号レベルの時間に対する変化の傾きが小さな第２のランプ信号を比較器１１０に入力する。比較器１１０は、第２のランプ信号と前記差信号とを比較する。２つの信号の大きさが反転した直後に、第２のカウンタ１１５の出力デジタル値を、下位ビットとして第２の蓄積部１０２に蓄積する。結果として、第１の蓄積部１０１及び第２の蓄積部１０２には、画素１１１の出力アナログ信号のデジタル変換データが蓄積される。

その後、第１の蓄積部１０１と第３の蓄積部１０３間のスイッチ制御により、第１の蓄積部１０１に蓄積されたデータを第１の蓄積部間配線１０５を通して第３の蓄積部１０３に転送して蓄積する。同時に、第２の蓄積部１０２と第４の蓄積部１０４間のスイッチ制御により、第２の蓄積部１０２に蓄積されたデータを第２の蓄積部間配線１０６を通して、第４の蓄積部１０４に転送して蓄積する。これにより、次行の画素１１１の出力信号をＡ／Ｄ変換して第１の蓄積部１０１及び第２の蓄積部１０２に蓄積している間に、１行前のＡ／Ｄ変換信号を第３の蓄積部１０３及び第４の蓄積部１０４からデジタル出力部１０９に出力することができる。

図２は、図１の固体撮像装置における領域Ａの第１の実施形態を示す配置図である。左にはアレイの各列共通の、第１のカウンタ１１４と第２のカウンタ１１５がある。蓄積部の配置方法として、第１の蓄積部１０１と第３の蓄積部１０３を列方向に近接配置して対とした蓄積部群と、第２の蓄積部１０２と第４の蓄積部１０４を列方向に近接配置して対とした蓄積部群を、それぞれ列方向に配列する。

第１のカウンタ１１４からのデジタルデータは、データ線１０７を通って、第１の蓄積部１０１に供給される。第２のカウンタ１１５からのデジタルデータは、データ線１０７を通って、第２の蓄積部郡１０２に供給される。第１の蓄積部１０１に保持されたデジタルデータは、第１の蓄積部間配線１０５を通して、第３の蓄積部１０３に供給される。第２の蓄積部１０２に保持されたデジタルデータは、第２の蓄積部間配線１０６を通して、第４の蓄積部１０４に供給される。第３の蓄積部１０３及び第４の蓄積部１０４に保持されたデジタルデータは、出力線１０８を通してデジタル出力部１０９へ供給される。

なお、図２ではデータ線１０７を６ビットとして表示しているが、ビット数の制限はない。

（第２の実施形態）
図３は、図１の固体撮像装置における領域Ａの第２の実施形態を示す配置図である。図１、図２と同じ部品については、同一の符号で示している。第１の蓄積部１０１と第３の蓄積部１０３を行方向に近接配置して対とした蓄積部群と、第２の蓄積部１０２と第４の蓄積部１０４を行方向に近接配置して対とした蓄積部群を、列方向に配列する。図３の配置は、図２に対して縦方向の長さを短くすることが可能となる。

（第３の実施形態）
図４は、図１における領域Ａの第３の実施形態を示す配置図である。図１、図２と同じ部品については、同一の符号で示している。以下、本実施形態が第１の実施形態と異なる点を説明する。第１の蓄積部１０１と第３の蓄積部１０３に関しては、図１と同様に、上から蓄積部１０１−蓄積部１０３の順で近接配置する。第２の蓄積部１０２と第４の蓄積部１０４に関しては、図１とは逆転し、上から蓄積部１０４−蓄積部１０２の順で近接配置する。この配置とすることで、出力線１０８を集中して配線することが可能となり、配置が容易になる。また、出力線１０８から他の素子へのクロストーク対策を行う際に、必要な面積を小さくすることが可能となる。

図４では、画素領域から見たときの蓄積部の配置順を、上から１０１，１０３，１０４，１０２の順としているが、上位ビット及び下位ビットの蓄積部の配置順を逆にすることも可能である。すなわち、蓄積部の配置順を、１０３，１０１，１０２，１０４の順にする。これにより、カウンタからのデータ線１０７を集中して配線することが可能となり、配置が容易になる。

（第４の実施形態）
図５は、図１の固体撮像装置における領域Ａの第４の実施形態を示す配置図である。図１、図２と同じ要素については、同一の符号で示している。以下、本実施形態が第２の実施形態と異なる点を説明する。図３の配置と同様に、第１の蓄積部１０１と第３の蓄積部１０３を行方向に近接配置して対とした蓄積部群と、第２の蓄積部１０２と第４の蓄積部１０４を行方向に近接配置して対とした蓄積部群を列方向に配列する。図３との違いは、データ線１０７と出力線１０８の配置であり、列方向に１０７−１０８−１０８−１０７の順で接続する。この配置とすることで、出力線１０８を集中して配線することが可能となり、配置が容易になる。

なお、データ線１０７と出力線１０８の配置を逆とし、列方向に１０８−１０７−１０７−１０８の順で接続した場合は、データ線１０７を集中して配線することが可能となり、配置が容易になる。

第１〜第４の実施形態に係る固体撮像装置において、第１〜第４の蓄積部１０１〜１０４は、容量素子を用いても良いし、ラッチ回路を用いた構成でも良い。図６に、蓄積部１０１〜１０４としてラッチ回路を用いる構成例を示す。

図６は、第１の蓄積部１０１と第３の蓄積部１０３との対である蓄積部群が列に沿った方向に近接して配置される構成、又は第２の蓄積部１０２と第４の蓄積部１０４との対である蓄積部群が列に沿った方向に近接して配置される構成である。上のラッチ回路が蓄積部１０１又は１０２であり、下のラッチ回路が蓄積部１０３又は１０４である。ここで、上の電界効果トランジスタのゲート信号がハイレベルになると、カウンタ１１４又は１１５からのデータ線１０７に出力された値が蓄積部１０１又は１０２に保持される。また、上の電界効果トランジスタのゲート信号及び下の電界効果トランジスタのゲート信号がハイレベルになると、蓄積部１０１又は１０２に保持されたデータが蓄積部１０３又は１０４に転送される。

図７は、さらに別の構成例を示す図で、図６の構成に対して、第１の蓄積部１０１と第３の蓄積部１０３との間にスイッチが追加され、第２の蓄積部１０２と第４の蓄積部１０４との間にスイッチが追加されている。

以上、本発明の第１〜第４の実施形態を、図面を参照しながら説明したが、本発明は実施形態に限定されるものではなく、カウンタ及びデジタル出力部の構成及び配置に関しては実施形態以外にも可能である。例えば、上位カウンタ１１４と下位カウンタ１１５を別々のカウンタとして説明したが、同一のカウンタであっても良い。画素１１１の出力を列毎に増幅した後に、Ａ／Ｄ変換することも可能である。画素領域から見た各蓄積部の配置順を逆にすることも可能である。画素１１１の出力信号を１列おきに、上下２方向へ出力し、光電変換素子領域の上下にＡ／Ｄ変換回路及び各蓄積部等を配置することも可能である。

第１〜第４の実施形態の固体撮像装置は、２次元アレイ状に配列され、光電変換に基づくアナログ画素信号を生成する複数の画素１１１と、Ａ／Ｄ（アナログ／デジタル）変換器とを有する。Ａ／Ｄ変換器は、２次元アレイ状の画素１１１の列毎に設けられ、画素１１１からのアナログ画素信号を、上位ビット及び下位ビットのデジタル信号に時系列に変換する。また、Ａ／Ｄ変換器は、第１の蓄積部１０１、第２の蓄積部１０２、第３の蓄積部１０３及び第４の蓄積部１０４を有する。第１の蓄積部１０１は、各々が上位ビットのデジタル信号を保持する。第２の蓄積部１０２は、各々が下位ビットのデジタル信号を保持する。第３の蓄積部１０３は、各々が第１の蓄積部１０１からのデジタル信号を保持する。第４の蓄積部１０４は、各々が第２の蓄積部１０２からのデジタル信号を保持する。第１の蓄積部１０１と第３の蓄積部１０３とを含む第１の対と、第２の蓄積部１０２と第４の蓄積部１０４とを含む第２の対とは、２次元アレイ状の画素１１１の列に沿った方向に配置されている。

また、Ａ／Ｄ変換器は、カウンタ１１４，１１５と参照信号発生回路１１６とを有する。カウンタ１１４，１１５は、２次元アレイ状の画素１１１の各列に共通に設けられ、デジタル信号をカウントする。参照信号発生回路１１６は、傾きが異なる第１のランプ信号及び第２のランプ信号を生成し、２次元アレイ状の画素１１１の各列に共通に設けられる。Ａ／Ｄ変換器は、２次元アレイ状の画素１１１からのアナログ画素信号を行単位で入力し、２次元アレイ状の画素１１１の列毎に画素１１１からの信号と参照信号発生回路１１６により生成された第１のランプ信号とを比較する。そして、Ａ／Ｄ変換器は、画素１１１からの信号及び第１のランプ信号の大きさが逆転したときに、カウンタ１１４，１１５から供給される上位ビットのデジタル信号を第１の蓄積部１０１に保持させる。そして、Ａ／Ｄ変換器は、画素１１１からの信号と参照信号発生回路１１６により生成された第１のランプ信号との差信号を保持し、その後、予め定めたタイミングで、前記差信号と第１のランプ信号より傾きが小さい第２のランプ信号とを比較する。そして、Ａ／Ｄ変換器は、前記差信号及び第２のランプ信号の大きさが逆転したときに、カウンタ１１４，１１５から供給される下位ビットのデジタル信号を第２の蓄積部１０２に保持させる。

また、図２では、第１の蓄積部１０１、第３の蓄積部１０３、第２の蓄積部１０２及び第４の蓄積部１０４は、この順で２次元アレイ状の画素１１１の列に沿った方向に隣接配置されている。

また、図３では、第１の対をなす第１の蓄積部１０１と第３の蓄積部１０３とは、２次元アレイ状の画素１１１の行に沿った方向に隣接配置される。また、第２の対をなす第２の蓄積部１０２と第４の蓄積部１０４とは、２次元アレイ状の画素１１１の行に沿った方向に隣接配置されている。

また、図４の例を説明する。第１の蓄積部１０１、第２の蓄積部１０２、第３の蓄積部１０３及び第４の蓄積部１０４は、第１の蓄積部１０１、第３の蓄積部１０３、第４の蓄積部１０４及び第２の蓄積部１０２の順で、２次元アレイ状の画素１１１の列に沿った方向に隣接配置されている。また、第１の蓄積部１０１、第２の蓄積部１０２、第３の蓄積部１０３及び第４の蓄積部１０４は、第３の蓄積部１０３、第１の蓄積部１０１、第２の蓄積部１０２及び第４の蓄積部１０４の順で、２次元アレイ状の画素１１１の列に沿った方向に隣接配置される。

また、図５では、第１の対をなす第１の蓄積部１０１と第３の蓄積部１０３とは、２次元アレイ状の画素１１１の行に沿った方向に隣接配置される。また、第２の対をなす第２の蓄積部１０２と第４の蓄積部１０４とは、２次元アレイ状の画素１１１の行に沿った方向に隣接配置される。第１のデータ線１０７は、カウンタ１１４及び第１の蓄積部１０１を接続する。第２のデータ線１０７は、カウンタ１１５及び第２の蓄積部１０２を接続する。第１の出力線１０８は、第３の蓄積部１０３からデジタル信号を出力する。第２の出力線１０８は、第４の蓄積部１０４からデジタル信号を出力する。第１のデータ線１０７、第２のデータ線１０７、第１の出力線１０８及び第２の出力線１０８は、第１のデータ線１０７、第１の出力線１０８、第２の出力線１０８、第２のデータ線１０７の順で配置される。また、第１のデータ線１０７、第２のデータ線１０７、第１の出力線１０８及び第２の出力線１０８は、第１の出力線１０８、第１のデータ線１０７、第２のデータ線１０７、第２の出力線１０８の順で配置されるようにしてもよい。

第１〜第４の実施形態において、Ａ／Ｄ変換器は、２次元アレイ状の画素１１１から行単位で入力されるアナログ画素信号を、上位ビット及び下位ビットのデジタル信号に時系列に変換する。そして、Ａ／Ｄ変換器は、その変換の間に、第３の蓄積部１０３及び第４の蓄積部１０４から２次元アレイ状の画素１１１の１行前のアナログ／デジタル変換したデジタル信号を順次出力する。

第１〜第４の実施形態によれば、固体撮像装置の２次元アレイ状の画素の行に沿った方向の画素ピッチの縮小が容易となる。

なお、上記実施形態は、何れも本発明を実施するにあたっての具体化の例を示したものに過ぎず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されてはならないものである。すなわち、本発明はその技術思想、又はその主要な特徴から逸脱することなく、様々な形で実施することができる。

１０１、１０２、１０３、１０４蓄積部
１０５、１０６蓄積部間配線
１０７データ線
１０８出力線
１０９デジタル出力部
１１０比較器
１１１画素
１１２水平走査回路
１１３垂直走査回路
１１４、１１５カウンタ
１１６参照信号発生回路

Claims

２次元アレイ状に配列され、光電変換に基づくアナログ画素信号を生成する複数の画素と、
前記２次元アレイ状の画素の列毎に設けられ、前記画素からのアナログ画素信号を、上位ビット及び下位ビットのデジタル信号に時系列に変換するＡ／Ｄ変換器とを有し、
前記Ａ／Ｄ変換器は、
各々が前記上位ビットのデジタル信号を保持する第１の蓄積部と、
各々が前記下位ビットのデジタル信号を保持する第２の蓄積部と、
各々が前記第１の蓄積部からのデジタル信号を保持する第３の蓄積部と、
各々が前記第２の蓄積部からのデジタル信号を保持する第４の蓄積部とを有し、
前記第１の蓄積部と前記第３の蓄積部とを含む第１の対と、前記第２の蓄積部と前記第４の蓄積部とを含む第２の対とは、前記２次元アレイ状の画素の列に沿った方向に配置されていることを特徴とする固体撮像装置。
前記Ａ／Ｄ変換器は、
前記２次元アレイ状の画素の各列に共通に設けられ、デジタル信号をカウントするカウンタと、
傾きが異なる第１のランプ信号及び第２のランプ信号を生成し、前記２次元アレイ状の画素の各列に共通に設けられた参照信号発生回路とを有し、
前記Ａ／Ｄ変換器は、
前記２次元アレイ状の画素からのアナログ画素信号を行単位で入力し、
前記２次元アレイ状の画素の列毎に前記画素からの信号と前記参照信号発生回路により生成された第１のランプ信号とを比較し、
前記画素からの信号及び前記第１のランプ信号の大きさが逆転したときに、前記カウンタから供給される前記上位ビットのデジタル信号を前記第１の蓄積部に保持させ、
前記画素からの信号と前記参照信号発生回路により生成された第１のランプ信号との差信号を保持し、
その後、予め定めたタイミングで、前記差信号と前記第１のランプ信号より傾きが小さい前記第２のランプ信号とを比較し、
前記差信号及び前記第２のランプ信号の大きさが逆転したときに、前記カウンタから供給される前記下位ビットのデジタル信号を前記第２の蓄積部に保持させることを特徴とする請求項１記載の固体撮像装置。
前記第１の蓄積部、前記第３の蓄積部、前記第２の蓄積部及び前記第４の蓄積部は、この順で前記２次元アレイ状の画素の列に沿った方向に隣接配置されていることを特徴とする請求項１又は２記載の固体撮像装置。
前記第１の対をなす前記第１の蓄積部と前記第３の蓄積部とは、前記２次元アレイ状の画素の行に沿った方向に隣接配置され、
前記第２の対をなす前記第２の蓄積部と前記第４の蓄積部とは、前記２次元アレイ状の画素の行に沿った方向に隣接配置されていることを特徴とする請求項１又は２記載の固体撮像装置。
前記第１の蓄積部、前記第２の蓄積部、前記第３の蓄積部及び前記第４の蓄積部は、前記第１の蓄積部、前記第３の蓄積部、前記第４の蓄積部及び前記第２の蓄積部の順で、又は前記第３の蓄積部、前記第１の蓄積部、前記第２の蓄積部及び前記第４の蓄積部の順で、前記２次元アレイ状の画素の列に沿った方向に隣接配置されていることを特徴とする請求項１又は２記載の固体撮像装置。
前記第１の対をなす前記第１の蓄積部と前記第３の蓄積部とは、前記２次元アレイ状の画素の行に沿った方向に隣接配置され、
前記第２の対をなす前記第２の蓄積部と前記第４の蓄積部とは、前記２次元アレイ状の画素の行に沿った方向に隣接配置され、
さらに、
前記カウンタ及び前記第１の蓄積部を接続する第１のデータ線と、
前記カウンタ及び前記第２の蓄積部を接続する第２のデータ線と、
前記第３の蓄積部からデジタル信号を出力する第１の出力線と、
前記第４の蓄積部からデジタル信号を出力する第２の出力線とを有し、
前記第１のデータ線、前記第２のデータ線、前記第１の出力線及び前記第２の出力線は、前記第１のデータ線、前記第１の出力線、前記第２の出力線、前記第２のデータ線の順、又は、前記第１の出力線、前記第１のデータ線、前記第２のデータ線、前記第２の出力線の順で配置されることを特徴とする請求項２記載の固体撮像装置。
前記Ａ／Ｄ変換器は、前記２次元アレイ状の画素から行単位で入力されるアナログ画素信号を、上位ビット及び下位ビットのデジタル信号に時系列に変換する間に、前記第３の蓄積部及び前記第４の蓄積部から前記２次元アレイ状の画素の１行前のアナログ／デジタル変換したデジタル信号を順次出力することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の固体撮像装置。