JP2010062269A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. ウェーハ積層体の製造方法であって、
   前記ウェーハ積層体が、
   ａ）ウェーハと、
   ｂ）該ウェーハを支持する支持層と、
   ｃ）前記ウェーハと前記支持層とを接着する接着層と、
   ｄ）前記ウェーハの側壁外周に形成された樹脂突出部と、を備え、
   （１）前記ウェーハを上側に位置するウェーハ吸着台で吸着し、前記支持層を下側に位置する支持層吸着台で吸着し、前記ウェーハと前記支持層とを上下方向に対向させて配置する工程と、
   （２）前記ウェーハに対する前記支持層の対向面に、前記接着層を形成するために液状の接着性樹脂を塗布する工程と、
   （３）前記ウェーハ及び前記支持層の平行度を維持したまま両者を接近させ、前記接着性樹脂が介在している状態で加圧して、前記接着性樹脂を広げることで、前記ウェーハと前記支持層との間を前記接着性樹脂で塞ぎ、かつ、前記ウェーハの側壁外周に前記樹脂突出部を形成する工程と、
   （４）前記ウェーハ積層体が所定の厚みに達した時点で、前記接着性樹脂に外部から紫外線を供給することにより前記接着性樹脂を硬化させ、前記接着層を形成する工程と、
   を含むウェーハ積層体の製造方法。
2. 前記ウェーハ及び前記支持層との間を真空雰囲気とし、前記接着性樹脂が介在している状態で加圧して前記接着性樹脂を広げることで、前記ウェーハと前記支持層との間を前記接着性樹脂で塞ぎ、かつ、前記ウェーハの側壁外周に前記樹脂突出部を形成する、請求項１記載のウェーハ積層体の製造方法。
3. 前記ウェーハを前記ウェーハ吸着台で吸着する前に、前記接着層と略同質の接着性樹脂で、前記ウェーハの対向面を下地処理する、請求項１記載のウェーハ積層体の製造方法。
4. 前記支持層が、室温２３℃における曲げ弾性率が１０００ＭＰａ以上、１００００ＭＰａ以下で、厚みが３０〜２００μｍの樹脂層である、請求項１記載のウェーハ積層体の製造方法。
5. 前記接着層は、硬化前の液体状態における室温２３℃での粘度が１００cP以上、１００００cP未満であり、紫外線照射によって固化する接着性樹脂層である、請求項１記載のウェーハ積層体の製造方法。
6. ウェーハを吸着するウェーハ吸着台、
   該ウェーハ吸着台の下側で相対向して配置され、液状の接着性樹脂を介して前記ウェーハに貼着される支持層を真空吸着する支持層吸着台、及び
   前記接着性樹脂を硬化するために、該接着性樹脂に紫外線を照射する紫外線照射源、を備える、ウェーハ積層体製造装置であって、
   前記支持層吸着台は、前記紫外線を透過させ、かつ、前記支持層を吸着する凹凸形状を有する、ウェーハ積層体製造装置。
7. ウェーハと、
   該ウェーハを支持している支持層と、
   前記ウェーハと前記支持層とを接着している接着層と、
   前記ウェーハの側壁外周に形成された樹脂突出部と、
   を有したウェーハ積層体。
8. 請求項７記載のウェーハ積層体を用意することと、
   前記ウェーハを所望の厚さまで研削することと、
   研削後に、前記ウェーハ積層体から前記支持層を前記接着層と共に剥離することと、を含む、ウェーハの製造方法。