JP4613709B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
しかしながら、上記方法では以下のような問題があった。
(1)ほとんどのエッチング液は、スピンエッチング時のシリコン基板の回転により、遠心力が作用し周囲に飛散するが、一部のエッチング液は、シリコン基板の側面を伝わることにより、シリコン基板の能動面に回り込む場合があった。このエッチング液の回り込みを回避するために、基板の下方側からエアを送風し、基板端部のエッチング液の液切れを促進しているが、シリコン基板の側面はベベルカットにより湾曲し、側面の一部はシリコン基板のエッチング液吐出面に対して鈍角となっているため、エアが効率よく送風されず、エッチング液の能動面への回り込みが発生するという問題があった。これにより、回路素子へのダメージが懸念される。
(2)また、上記特許文献1に開示される方法でも同様に、エッチング液が支持基板の貼り合わせ面の裏面にエッチング液が回り込み、支持基板に損傷を与える例が発生している。この支持基板は、所望の半導体基板の薄型加工が終了すると、次の半導体基板の薄型加工時に再利用される。従って、損傷を受けた支持基板を次回の半導体基板の薄型加工に利用するとなると、前回の薄型加工のバックグラインド時に発生したシリコン基板の厚み方向のバラツキ、又は加工時のわれを誘発する原因となりうる。そのような理由から、損傷した支持基板は再利用することができず、ひいては、半導体装置のコストアップを招くことになる。
(半導体ウエハ)
図1(a)は半導体チップ60が形成された半導体ウエハ10を模式的に示す平面図であり、(b)は半導体ウエハのA−A’線に沿った断面図である。
(半導体ウエハとガラス基板の積層構造)
次に、上記半導体ウエハ10と半導体ウエハ10を支持するガラス基板20とを積層した構造について説明する。なお、半導体ウエハ10については、上述した半導体ウエハの構造と同じであるため、説明を省略する。また、本実施形態において、半導体ウエハ10の裏面10bと側面10cとのなす角度を角度θ1と称し、ガラス基板20の接着面20aと側面20cとのなす角度を角度θ2と称する。
図2は、半導体ウエハ10とガラス基板20との積層構造を模式的に示す断面図である。
図2に示すように、ガラス基板(支持基板)20上に、接着層30及び剥離層16を介して半導体ウエハ10が貼り合わされている。ここで、ガラス基板20の接着層30に接する面を接着面20aとする。
また、本実施形態によれば、半導体ウエハ10とガラス基板20との両側面10c,20cが同一平面であるため、半導体ウエハ10とガラス基板20との接続部に凹凸(段差)等が形成されない。従って、半導体ウエハ10とガラス基板20との接続部にエッチング液が溜まることもない。また、ガラス基板20の下方からのエアを半導体ウエハ10とガラス基板20の側面10c,20c全体に効率よくあてることができる。
(半導体ウエハとガラス基板の積層構造)
図3は、半導体ウエハ10と半導体ウエハ10を支持するガラス基板20との積層構造を模式的に示す断面図である。
図3に示すように、半導体ウエハ10の裏面10bがバックグラインドにより研削され薄型加工が施された半導体ウエハ10と、ガラス基板20とが接着層30を介して互いに貼り合わされている。本実施形態では、上記実施形態と異なり、半導体ウエハ10の側面10cには加工が施されておらず、半導体ウエハ10の裏面10bと側面10cとのなす角度が略90度となっている。一方、ガラス基板20は、ガラス基板20の側面20cと、ガラス基板20の接触面20aとのなす角度θが鋭角となるように形成される。すなわち、半導体ウエハ10と同様に、ガラス基板20の円周に沿ってガラス基板20の側面20cがナイフエッジ状に形成される。なお、上記角度θは、略90度であっても良い。
本実施形態によっても、上記実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
(半導体ウエハとガラス基板の積層構造)
図4は、半導体ウエハ10とガラス基板20との積層構造を模式的に示す断面図である。
図4に示すように、半導体ウエハ10と、ガラス基板20とが接着層30を介して互いに貼り合わされている。半導体ウエハ10は、裏面10bと側面10cとのなす角度θ1が裏面10bに対して鋭角に形成される。また、ガラス基板20は、ベベルカットにより半導体ウエハ10と略同一の大きさ、形状にカットされており、このガラス基板20の側面20cは円弧状に湾曲している。
(半導体ウエハとガラス基板の積層構造)
図5は、半導体ウエハ10と半導体ウエハ10を支持するガラス基板20との積層構造を模式的に示す断面図である。
図5に示すように、半導体ウエハ10の裏面10bがバックグラインドにより研削され薄型加工が施された半導体ウエハ10と、ガラス基板20とが接着層30を介して互いに貼り合わされている。また、半導体ウエハ10の側面とガラス基板20との側面には突起部18が形成される。
本実施形態によっても、上記実施形態と同様の作用効果を奏することができる。つまり、半導体ウエハ10及びガラス基板20の側面10c,20cに突起部18が形成されることで、エッチング液の半導体ウエハ10端部からの液切れを促進させることができ、ガラス基板20の裏面20bへの回り込みを防止することができる。
次に、半導体ウエハ及びガラス基板に突起を形成する方法について説明する。
図6(a)〜(c),図7(a)〜(d)は、半導体ウエハ10及びガラス基板20に突起を形成する工程を示す断面図である。なお、図6(a)〜(c),図7(a)〜(d)中において、半導体ウエハ10は模式的に示している。
半導体ウエハ10の側面10cに樹脂30aを付着させた後、真空チャンバー内を大気開放した後、接着層30を硬化させる。
以上の工程により、図7(d)に示すように、薄型加工された半導体ウエハ10を得ることができる。
以下に、本実施形態について図面を参照して説明する。
図8(a)〜(c)は、半導体ウエハ10及びガラス基板20の側面に突起部を形成する工程を示す断面図である。なお、図8(a)〜(c)中において、半導体ウエハ10は模式的に示す。また、上記実施形態と同様の工程については省略し、同一の構成要素については同一の符号を付して説明する。
例えば、上記実施形態では、半導体ウエハ10の側面10c及びガラス基板20の側面20cに突起部を形成していたがこれに限定されることはない。半導体ウエハ10の側面10c及びガラス基板20の側面20cの少なくとも一方に突起部を形成することも可能である。
また、上記第1実施形態において説明した半導体ウエハ10を用いて、スピンエッチングにより半導体ウエハ10の裏面10bを研削した後、半導体ウエハ10を個片化して半導体チップ60を形成することも可能である。
また、上記第1実施形態の変形例1,2,3において説明した半導体ウエハ10にガラス基板20を積層させた状態で、スピンエッチングにより半導体ウエハ10の裏面10bを研削した後、個片化して半導体チップ60を形成することも可能である。
さらに、上記第2実施形態の変形例では、半導体ウエハ10をバックグラインドにより薄型加工した後に、テーブル22上に半導体ウエハ10を配置したがこれに限定されることはない。例えば、半導体ウエハ10をバックグラインドする前にテーブル22上に半導体ウエハ10を配置して半導体ウエハ10の側面10cに樹脂を付着させた後、テーブル22から半導体ウエハ10を離反し、半導体ウエハ10と樹脂とを同時にバックグラインドすることで、半導体ウエハ10の薄型化を図るとともに、半導体ウエハ10の側面10cに突起部18を形成することも好ましい。
Claims (2)
- 半導体素子が能動面に形成された半導体ウエハと前記半導体ウエハを支持する支持基板とが、光吸収剤と熱分解性樹脂とを材料とする剥離層と接着層とを介して貼り合わされてなり、前記半導体ウエハの裏面をスピンエッチングによりエッチングする半導体装置の製造方法であって、
前記半導体ウエハの裏面と前記裏面に接する側面とのなす第1角度と、前記支持基板の前記半導体ウエハと対向する対向面と前記対向面に接する側面とのなす第2角度とを、それぞれ鋭角又は90度に形成した状態で、
前記支持基板の下方から前記支持基板方向にエアを送風しつつ、スピンエッチングにより前記半導体ウエハの裏面をエッチングし、
前記エッチング後にレーザ光照射により前記剥離層を分離させることで、前記半導体ウエハと前記支持基板とを離反させることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 前記半導体ウエハの側面と前記支持基板の側面とが同一面上となるように前記第1角度及び前記第2角度を形成することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
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