JP2010062269A - ウェーハ積層体の製造方法、ウェーハ積層体製造装置、ウェーハ積層体、支持層剥離方法、及びウェーハの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェーハ積層体1の製造方法であって、ウェーハ2を上側に位置するウェーハ吸着台で吸着し、支持層3を下側に位置する支持層吸着台で吸着し、ウェーハ2と支持層3とを上下方向に対向させて配置する工程と、ウェーハ2に対する支持層3の対向面に、接着層4を形成するために液状の接着性樹脂を塗布する工程と、ウェーハ2及び支持層3の平行度を維持したまま両者を接近させ、接着性樹脂が介在している状態で加圧して、接着性樹脂を広げることで、ウェーハ2と支持層3との間を接着性樹脂で塞ぎ、かつ、ウェーハ2の側壁外周に樹脂突出部4aを形成する工程と、を含む。
【選択図】図1
Description
また、裏面研削後に支持層及び接着層を容易に剥離することができるウェーハ積層体の製造方法、ウェーハ積層体製造装置、ウェーハ積層体、支持層剥離方法、及びウェーハの製造方法を提供することを目的とする。
この製造方法によれば、裏面研削時のウェーハ割れやウェーハのエッジ部におけるチッピングを防止することができ、ウェーハの裏面研削特性に優れるウェーハ積層体を作製することができる。また、接着層によりウェーハ表面の凹凸を吸収することができるから、裏面研削時におけるウェーハ割れを防止することができる。
この製造装置によれば、ウェーハの裏面研削特性に優れるウェーハ積層体を作製することができる。
このウェーハ積層体によれば、接着層により、ウェーハ表面の凹凸を吸収でき、裏面研削時のウェーハ割れを防止することできる。
この支持層剥離方法によれば、ウェーハの裏面研削後は、複雑な装置を用いることなく、ウェーハに剥離不良を生じさせることなく、ウェーハから支持層と共に接着層を剥離することができる。
このウェーハの製造方法によれば、研削時におけるウェーハの損傷や、ピーリング時におけるウェーハの損傷を防止でき、中間製品としてのウェーハ積層体から最終製品としての薄いウェーハを得ることができる。
1)裏面研磨時(研削時)に接着層4によるずれ、たわみを生じさせないため、23℃でのJIS K 6251−1993で規定するダンベル状3号形を使用して500mm/分で引っ張ったときの破断伸度は50%以下、更に好ましくは30%以下であることが好ましく、且つ、
2)樹脂フィルム3・接着層4の剥離時に凹凸面への接着層4の機械的な投錨力(アンカー効果)による剥離不良を低減するため、同破断伸度は5%以下であることが好ましい。
3)また、フィルム3・接着層4の剥離時に軽微な剥離力で剥がせ、かつ接着層4の破断を生じさせないため、接着剤は適度な強度と柔軟性をあわせもつ必要がある。具体的には23℃における硬化後の接着剤の引張弾性率(レオメトリックス社、RSAII型 動的粘弾性装置を使用し、周波数10ヘルツで測定)が1.0〜9.0×108Paであることが好ましい。引張弾性率は弾性限度の度合い示すものであり、接着剤の弾性を適切に評価するものとして用いられている。良好な剥離性能を示す接着剤の例としては、住友3M株式会社から販売されているLC3000シリーズを挙げることができる。弾性率が低すぎると接着剤が粘着剤を示し、良好な剥離を期待できず、また剥離時に接着剤の破断を伴う恐れがあるからである。弾性率が高すぎると柔軟性が失われ、同様に接着剤が部分的に被接着面に残留しやすくなるからである。
2 ウェーハ
3 樹脂フィルム
4 接着剤
10,10A 製造装置
18 上部吸着台(ウェーハ吸着台)
26 下部吸着台(フィルム吸着台)
33 照射源
Claims (13)
- ウェーハ積層体の製造方法であって、
前記ウェーハ積層体が、
a)ウェーハと、
b)該ウェーハを支持する支持層と、
c)前記ウェーハと前記支持層とを接着する接着層と、
d)前記ウェーハの側壁外周に形成された樹脂突出部と、を備え、
(1)前記ウェーハを上側に位置するウェーハ吸着台で吸着し、前記支持層を下側に位置する支持層吸着台で吸着し、前記ウェーハと前記支持層とを上下方向に対向させて配置する工程と、
(2)前記ウェーハに対する前記支持層の対向面に、前記接着層を形成するために液状の接着性樹脂を塗布する工程と、
(3)前記ウェーハ及び前記支持層の平行度を維持したまま両者を接近させ、前記接着性樹脂が介在している状態で加圧して、前記接着性樹脂を広げることで、前記ウェーハと前記支持層との間を前記接着性樹脂で塞ぎ、かつ、前記ウェーハの側壁外周に前記樹脂突出部を形成する工程と、
(4)前記ウェーハ積層体が所定の厚みに達した時点で、前記接着性樹脂に外部から紫外線を供給することにより前記接着性樹脂を硬化させ、前記接着層を形成する工程と、
を含むウェーハ積層体の製造方法。 - 前記ウェーハ及び前記支持層との間を真空雰囲気とし、前記接着性樹脂が介在している状態で加圧して前記接着性樹脂を広げることで、前記ウェーハと前記支持層との間を前記接着性樹脂で塞ぎ、かつ、前記ウェーハの側壁外周に前記樹脂突出部を形成する、請求項1記載のウェーハ積層体の製造方法。
- 吸着面が凹凸面である前記支持層吸着台と前記支持層との間から気泡を排出しながら、前記支持層を前記支持層吸着台で吸着する、請求項1又は2に記載のウェーハ積層体の製造方法。
- 前記ウェーハを前記ウェーハ吸着台で吸着する前に、前記接着層と略同質の接着性樹脂で、前記ウェーハの対向面を下地処理する、請求項1〜3の何れか1項に記載のウェーハ積層体の製造方法。
- 前記支持層が、室温23℃における曲げ弾性率が1000MPa以上、10000MPa以下で、厚みが30〜200μmの樹脂層である請求項1〜4の何れか1項に記載のウェーハ積層体の製造方法。
- 前記支持層が前記ウェーハの外径よりも大きい寸法であり、前記ウェーハと前記支持層との間からはみ出した前記接着性樹脂を受ける、請求項1〜5の何れか1項に記載のウェーハ積層体の製造方法。
- 前記接着層は、硬化前の液体状態における室温23℃での粘度が100cP以上、10000cP未満であり、紫外線照射によって固化する接着性樹脂層である、請求項1〜6の何れか1に記載のウェーハ積層体の製造方法。
- ウェーハを吸着するウェーハ吸着台、
該ウェーハ吸着台の下側で相対向して配置され、液状の接着性樹脂を介して前記ウェーハに貼着される支持層を真空吸着する支持層吸着台、及び
前記接着性樹脂を硬化するために、該接着性樹脂に紫外線を照射する紫外線照射源、を備える、ウェーハ積層体製造装置であって、
前記支持層吸着台は、前記紫外線を透過させ、かつ、前記支持層を吸着する凹凸形状を有する、ウェーハ積層体製造装置。 - 前記支持層吸着台が吸着面に凹凸を有するガラスである、請求項8に記載のウェーハ積層体製造装置。
- 請求項1〜7の何れか1項に記載のウェーハ積層体の製造方法により作製したウェーハ積層体。
- ウェーハと、
該ウェーハを支持している支持層と、
前記ウェーハと前記支持層とを接着している接着層と、
前記ウェーハの側壁外周に形成された樹脂突出部と、
を有したウェーハ積層体。 - 請求項10又は11記載のウェーハ積層体の裏面を研削して前記ウェーハを所定の厚みまで薄くした後、前記ウェーハ積層体から前記支持層を前記接着層と共に剥離する支持層剥離方法であって、
前記支持層をU字状に折り返したときに、前記ウェーハを曲げないようにして、前記支持層を前記接着層と共に前記ウェーハ積層体から剥離する、支持層剥離方法。 - 請求項10又は11記載のウェーハ積層体を用意することと、
前記ウェーハを所望の厚さまで研削することと、
研削後に、前記ウェーハ積層体から前記支持層を前記接着層と共に剥離することと、を含む、ウェーハの製造方法。
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