JP2014078550A

JP2014078550A - 樹脂貼着装置

Info

Publication number: JP2014078550A
Application number: JP2012224019A
Authority: JP
Inventors: Kazutaka Kuwana; 一孝桑名; Hiroshi Onodera; 寛小野寺
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2012-10-09
Filing date: 2012-10-09
Publication date: 2014-05-01
Anticipated expiration: 2032-10-09
Also published as: JP6068915B2

Abstract

【課題】板状ワーク面積に関係なく、板状ワークの一面液体樹脂を短時間で拡張できるようにする。
【解決手段】樹脂貼着装置１は、保持手段４０の保持面４３の外周部４４と載置テーブル３０の載置面３１の外周部とを連結させ密閉した樹脂拡張室８を形成する外周接続部７と、樹脂拡張室８の内部を負圧にさせる負圧化手段８０とを備え、負圧化手段８０は、保持面４３の外側の面に形成される吸引口８１と、吸引口８１と吸引源９とを連通させる吸引路８２と、吸引路８２を開閉する開閉バルブ８３とにより構成されているため、外周接続部７により密閉された樹脂拡張室８を形成した状態において、負圧化手段８０が、樹脂拡張室８内部を吸引口８１から吸引し、樹脂拡張室８内を負圧にすることができる。したがって、面積の広い板状ワークに対しても短時間で液体樹脂５を板状ワークＷの下面Ｗｂの全面に拡張させて貼着することが可能となる。
【選択図】図６

Description

本発明は、円形の板状ワークに樹脂を貼着する装置に関する。

半導体ウエーハなどの製造工程では、円柱状のインゴットをワイヤーソーによってスライスして円盤状の板状ワークを形成する。このスライス時においては、板状ワークに反りやうねりが形成される。

板状ワークに形成された反りやうねりは、研削により除去される。具体的には、反りやうねりが形成された板状ワークの片面に樹脂膜を形成し、この樹脂膜が形成された片面をテーブルにおいて保持して反対側の面を研削し、その後、樹脂膜を除去した後に、研削済みの面をテーブルにおいて保持して樹脂膜が除去された面を研削する。かかる技術において、板状ワークの片面に樹脂膜を形成する方法としては、反りやうねりが形成された板状ワークの片面に樹脂を塗布し、樹脂を塗布した面を略水平な保持面を有するステージにおいて保持して樹脂が塗布されていない面を露出させ、樹脂が塗布されていない面を押圧パッドで押圧し、押圧パッドを離反させた後、樹脂に紫外光を照射して樹脂を硬化する方法が、特許文献１において提案されている。

特開２００９−１４８８６６号公報

しかしながら、上記方法では、液体樹脂を塗布する板状ワークの面積が広いと、その板状ワークの面積に比例して液体樹脂を拡張するために必要な時間も増加するという問題がある。

本発明は、上記の事情にかんがみてなされたものであり、板状ワークの有する面積に関係なく、板状ワークに塗布された液体樹脂を短時間で拡張できるようにすることに発明の解決すべき課題を有している。

本発明は、円形の板状ワークの上面を吸引保持する保持面を有する保持手段と、該保持面に対して垂直方向に該保持手段を移動させる移動手段と、該保持面と対面した載置面を上面とする載置テーブルと、該載置テーブルの該載置面にシートを載置するシート載置手段と、該シート載置手段によって該載置面に載置された該シートの上面に液体樹脂を供給する樹脂供給手段と、該保持手段の下降により該保持面が保持する板状ワークの下面と該載置面との間隔が所定の間隔となり液体樹脂が拡張されるときの該保持手段の樹脂拡張位置を指定する指定部と、から少なくとも構成される樹脂貼着装置であって、該移動手段により該保持手段を該樹脂拡張位置に下降させ、該保持手段の該保持面の外周部と該載置面の外周部とを連結して密閉された樹脂拡張室を形成する外周接続部と、該外周接続部によって密閉された樹脂拡張室の内部を負圧にする負圧化手段と、を備え、該負圧化手段は、板状ワークを保持する保持面の外周側に形成される吸引口と、該吸引口と吸引源とを連通させる吸引路と、該吸引路に配設され該吸引路を開閉する開閉バルブと、から構成される。

本発明にかかる樹脂貼着装置は、保持手段の保持面の外周部と載置面の外周部とを連結して密閉された樹脂拡張室を形成する外周接続部と、樹脂拡張室を負圧にする負圧化手段とを備え、負圧化手段には保持面の外周側に吸引口が配設されていることにより、吸引口からの吸引によって、シートの上面に供給された液体樹脂を板状ワークの外周側に広げることができるため、面積が広い板状ワークに対しても、短時間で液体樹脂を板状ワークの下面の全面に拡張させることができる。

樹脂貼着装置の構成を示す斜視図である。（ａ）は液体樹脂をシートに滴下する状態を示す断面図であり、（ｂ）はシート上に液体樹脂が滴下された後の状態を示す断面図である。シートに滴下された液体樹脂に向けて板状ワークを保持した保持手段を下降させる状態を示す断面図である。保持手段が下降するとともに液体樹脂を押圧し、保持手段の外周接続部を載置テーブルの外周部に連結させ密閉された樹脂拡張室を形成する状態を示す断面図である。保持手段を指定部で指定された樹脂拡張位置まで下降させる状態を示す断面図である。移動手段を停止し、樹脂拡張室内を負圧にして吸引口からの吸引によって液体樹脂を板状ワークの外周側に拡張する状態を示す断面図である。液体樹脂を硬化させるとともに、板状ワークから保持手段を離反させる状態を示す断面図である。

図１に示す樹脂貼着装置１は、Ｙ軸方向にのびる装置ベース２を備え、装置ベース２のＹ軸方向前部には、液体樹脂が滴下されるシート１２がロール状に巻かれたロール部１１を備えたシート供給手段１０を備えている。

装置ベース２に隣接して支持台４が配設されており、支持台４には、シート載置手段２０が配設されている。シート載置手段２０は、Ｙ軸方向と直交する方向（Ｘ軸方向）にのびるアーム２１と、アーム２１に取り付けられたクランプ部２２とを備えている。このクランプ部２２は、ロール部１１に巻かれたシート１２をクランプしてＹ軸方向に引っ張り、装置ベース２に形成された載置テーブル３０に載置することができる。

図１に示す載置テーブル３０の中央部分には、円形の載置面３１が配設されている。載置面３１は、例えば石英ガラスにより形成されている。載置面３１の外周には、リング状の吸引部３２が配設されている。吸引部３２は、例えばステンレスにより形成されている。吸引部３２には、複数の吸引口３３が周方向に形成され、載置面３１に載置されたシート１２を下方から吸引保持することが可能となっている。

装置ベース２のＹ軸方向後部には、Ｚ軸方向にのびるコラム３が立設されている。コラム３の前方には、移動手段５０を介して保持手段４０が配設されている。図３に示す保持手段４０は、円形のホイール４１と、円形の被加工物の上面を吸引保持する保持部４２と、を備えている。保持部４２の下面側が被加工物を吸引保持する保持面４３となっており、載置テーブル３０の載置面３１と対面している。さらに、保持手段４０には、保持部４２に連結された押圧部４５と、吸引源９に連通する吸引路４６と、吸引路４６に配設されたバルブ４７とを備えている。

図１に示すように、移動手段５０は、Ｚ軸方向にのびるボールネジ５１と、ボールネジ５１の一端に接続されたモータ５２と、ボールネジ５１と平行にのびる一対のガイドレール５３と、一方の面に保持手段４０が連結され他方の面側にナットを備える昇降板５４と、を備えている。昇降板５４は、その他方の面に備えるナットがボールネジ５１に螺合するとともに、側部が一対のガイドレール５２に摺接している。移動手段５０は、モータ５２によって駆動されてボールネジ５１が回動すると、一対のガイドレール５３に沿って昇降板５４をＺ軸方向に移動させることにより、保持面４３に対して垂直方向に昇降板５４に連結された保持手段４０を昇降させることができる。

載置テーブル３０の載置面３１の近傍には、液体樹脂を供給する供給口６１を備える樹脂供給手段６０が配設されている。図２に示すように、樹脂供給手段６０は、供給口６１から載置面３１にむけて適量の液体樹脂５を供給することができる。

図２に示す載置テーブル３０の下方には、液体樹脂５を硬化させる樹脂硬化手段７０が配設されている。樹脂硬化手段７０には、紫外光を発するＵＶランプ７１を複数備えており、液体樹脂５を硬化することができる。

図３に示すように、移動手段５０には、保持手段４０の保持面４３が保持する板状ワークＷの下面Ｗｂと載置面３１との間隔が所定の間隔となるような保持手段４０の位置である樹脂拡張位置を指定する指定部６が接続されている。すなわち、樹脂拡張位置とは、移動手段５０によって駆動されて下降する保持手段４０によって液体樹脂５を押圧する際における板状ワークＷの下面Ｗｂの高さ位置Ｐ１を指し、指定部６は、位置Ｐ１と載置面３１の位置Ｐ２との間隔が所定の間隔Ｈとなるように、位置Ｐ１を指定することができる。

図３に示す保持面４３の外周部４４には、保持手段４０が下降することにより当該外周部４４と載置面３１の外周部とを連結し、図４に示す樹脂拡張室８を形成する外周接続部７が配設されている。外周接続部７は、伸縮可能な構成となっており、指定部６が指定する樹脂拡張位置（位置Ｐ１）の変更に対応することができる。外周接続部７は、本実施形態では蛇腹形状に形成されているが、この構成に限定されるものではない。

保持手段４０の内部には負圧化手段８０が配設されている。負圧化手段８０は、被加工物を保持する保持面４３の外周側に形成される吸引口８１と、吸引口８１と吸引源９とを連通させる吸引路８２と、吸引路８２に配設され該吸引路８２を開閉する開閉バルブ８３と、を備えている。そして、図４に示す樹脂拡張室８が形成された後、吸引源９の作動とともに、開閉バルブ８３が開くと、吸引口８１から樹脂拡張室８内を吸引することができる。

以下では、樹脂貼着装置１の動作について説明する。図３に示す板状ワークＷは、円形の被加工物であり、材質等は特に限定されるものではない。板状ワークＷは、液体樹脂５が貼着される面が下面Ｗｂとなっており、下面Ｗｂと反対側の面が上面Ｗａとなっている。なお、指定部６は、樹脂拡張位置となる位置Ｐ１をあらかじめ移動手段５０に指定しておく。

図１に示したシート載置手段２０は、クランプ部２２がシート１２をクランプしてＹ軸方向に移動し、シート１２をシート供給手段１０から引き出すことにより、載置テーブル３０の載置面３１に載置する。そして、シート１２は、吸引部３２によって吸引保持される。

図２（ａ）に示すように、樹脂供給手段６０は、供給口６１から液体樹脂５をシート１２の上面１２ａに滴下する。液体樹脂５としては、例えば、紫外線硬化樹脂を使用することができる。図２（ｂ）に示すように、適量の液体樹脂５がシート１２の上面１２ａに堆積したら、樹脂供給手段６０は液体樹脂５の供給を停止する。

次に、図３に示すように、保持手段４０によって保持面４３に板状ワークＷが吸引保持された状態で移動手段５０は、モータ５２の駆動によりボールネジ５１を回動させ、保持手段４０を下降させる。図４に示すように、保持手段４０が下降していくと、やがて、保持手段４０に吸引保持された板状ワークＷの下面Ｗｂが液体樹脂５に接触する。そして、さらに保持手段４０が下降すると、押圧部４５によってＺ軸方向に押圧された液体樹脂５は、板状ワークＷの径方向に拡張される。

このとき、保持面４３の外周部４４に配設された外周接続部７が、載置テーブル３０に載置されているシート１２の上面１２ａに当接し、保持面４３の外周部４４と載置面３１の外周部とを連結させることにより密閉された樹脂拡張室８が形成される。

樹脂拡張室８が形成された後、保持手段４０をさらに下降させる。そして、図６に示すように、保持手段４０に保持された板状ワークＷの下面Ｗｂが、位置Ｐ１に一致すると、この位置Ｐ１と載置面３１の位置Ｐ２との間隔が所定の間隔Ｈとなるため、移動手段５０による保持手段４０の下降動作を停止する。

次に、板状ワークＷの下面Ｗｂの全面に液体樹脂５を拡張させるため、負圧化手段８０において、開閉バルブ８３を開き、密閉された樹脂拡張室８の内部を吸引口８１から吸引する。これにより、樹脂拡張室８内は負圧状態となり、保持面４３の外周側に形成された吸引口８１からの吸引によって液体樹脂５はさらに径方向外周側に拡張され、板状ワークＷの下面Ｗｂの全面を被覆するように液体樹脂５が拡張される。なお、押圧部４５が圧力変化を検知した時に吸引口８１からの吸引を開始するようにしてもよい。

次に、図７に示すように、樹脂硬化手段７０を構成する複数のＵＶランプ７１から拡張された液体樹脂５にむけてら紫外光を照射する。これにより、液体樹脂５は、硬化するとともに板状ワークＷの下面Ｗｂに貼着される。

液体樹脂５が硬化した後、保持手段４０は、バルブ４７を閉じて、保持面４３に保持された板状ワークＷの吸引保持を解除する。そして、移動手段５０により保持手段４０を上昇させて、板状ワークＷの上面Ｗａから保持面４３を離反させる。なお、所定の吸引時間経過後に保持手段４０による板状ワークＷの吸引保持を自動的に解除するように設定することも可能である。

以上のように、樹脂貼着装置１には、保持面４３の外周部４４に外周接続部７が配設されているため、保持面４３の外周部４４と載置面３１とを外周接続部７により連結することにより、密閉された樹脂拡張室８を形成することができる。この状態において、保持手段４０の内部に配設された負圧化手段８０が作動することにより、樹脂拡張室８内を吸引口８１から吸引し、樹脂拡張室８内を負圧に液体樹脂を板状ワークＷの径方向外周側に行き渡らせることができる。したがって、板状ワークＷの面積が広い場合であっても短時間で液体樹脂５を板状ワークＷの下面Ｗｂの全面に拡張させて貼着することが可能となる。

１：樹脂貼着装置
２：装置ベース
３：コラム
４：支持台
５：液体樹脂
６：指定部
７：外周接続部
８：樹脂拡張室
９：吸引源
１０：シート供給手段
１１：ロール部１２：シート１２ａ：上面
２０：シート載置手段２１：アーム２２：クランプ部
３０：載置テーブル３１：載置面３２：吸引部３３：吸引口
４０：保持手段４１：ホイール４２：保持部４３：保持面４４：外周部
４５：押圧部４６：吸引路４７：バルブ
５０：移動手段５１：ボールネジ５２：モータ５３：ガイドレール５４：昇降板
６０：樹脂供給手段６１：供給口
７０：樹脂硬化手段７１：ＵＶランプ
８０：負圧化手段８１：吸引口８２：吸引路８３：開閉バルブ
Ｗ：板状ワークＷａ：上面Ｗｂ：下面

Claims

円形の板状ワークの上面を吸引保持する保持面を有する保持手段と、該保持面に対して垂直方向に該保持手段を移動させる移動手段と、該保持面と対面した載置面を上面とする載置テーブルと、該載置テーブルの該載置面にシートを載置するシート載置手段と、該シート載置手段によって該載置面に載置された該シートの上面に液体樹脂を供給する樹脂供給手段と、該保持手段の下降により該保持面が保持する板状ワークの下面と該載置面との間隔が所定の間隔となり液体樹脂が拡張されるときの該保持手段の樹脂拡張位置を指定する指定部と、から少なくとも構成される樹脂貼着装置であって、
該移動手段により該保持手段を該樹脂拡張位置に下降させた際に、該保持手段の該保持面の外周部と該載置面の外周部とを連結して密閉された樹脂拡張室を形成する外周接続部と、
該外周接続部によって密閉された樹脂拡張室の内部を負圧にする負圧化手段と、を備え、
該負圧化手段は、板状ワークを保持する保持面の外周側に形成される吸引口と、
該吸引口と吸引源とを連通させる吸引路と、
該吸引路に配設され該吸引路を開閉する開閉バルブと、から構成される樹脂貼着装置。