JP6671797B2 - テープ貼着方法 - Google Patents
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Description
1a 表面
3 分割予定ライン
5 デバイス
7 電極バンプ
2 表面保護テープ
2a 基材
2b 糊層
4 貼着ローラー
6 板状部材
8 紫外線照射ユニット
8a 紫外線
10 平坦面
Claims (4)
- テープ貼着面に凹凸が存在する板状物にテープを貼着するテープ貼着方法であって、
基材と、該基材上に設けられた紫外線硬化樹脂からなる糊層と、を有するテープの該糊層を該板状物の該テープ貼着面に接触させ、該テープを該板状物の該テープ貼着面に貼着する貼着ステップと、
該貼着ステップを実施した後、紫外線を透過する平坦な板状部材で板状物の該テープ側を支持し、板状物を押圧して板状物に貼着された該テープを平坦にした状態で該板状部材を介して該糊層に紫外線を照射して該テープ貼着面に接触する該糊層を硬化させることで、板状物に貼着した該テープを平坦化する平坦化ステップと、
を備えることを特徴とするテープ貼着方法。 - テープ貼着面に凹凸が存在するとともに紫外線に対して透過性を有する板状物にテープを貼着するテープ貼着方法であって、
基材と、該基材上に設けられた紫外線硬化樹脂からなる糊層と、を有するテープを板状物の該テープ貼着面に貼着する貼着ステップと、
該貼着ステップを実施した後、平坦面で板状物の該テープ側を支持し、紫外線を透過する平坦な板状部材で板状物を押圧して板状物に貼着された該テープを平坦にした状態で該板状部材と板状物を介して該糊層に紫外線を照射して該糊層を硬化させることで、板状物に貼着した該テープを平坦化する平坦化ステップと、
を備えることを特徴とするテープ貼着方法。 - 該平坦化ステップでは、該テープを加熱しながら板状物を押圧して板状物に貼着された該テープを平坦にする、請求項1または請求項2に記載のテープ貼着方法。
- 該平坦化ステップを実施した後、該板状物は、該テープ貼着面ではない裏面側から加工されることを特徴とする、請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載のテープ貼着方法。
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