JP4462940B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態1における半導体装置の製造フローを示す工程図である。また、図2ないし図8は、図1に示す半導体装置の製造フローの各工程を示す模式断面図である。以下、これらの図を参照して、本実施の形態における半導体装置の製造方法について説明する。
図10は、本発明の実施の形態2における半導体装置の製造フローを示す工程図である。また、図11は、図1に示す半導体装置の製造フローにおける各工程のうちの一部の工程を示す模式断面図である。なお、本実施の形態における半導体装置の製造方法は、概ね上述の実施の形態1における半導体装置の製造方法と同様であるため、以下においては上述の実施の形態1における半導体装置の製造方法と異なる部分についてのみ説明することとする。以下、図を参照して、本実施の形態における半導体装置の製造方法について説明する。
図14は、本発明の実施の形態3における半導体装置の製造フローを示す工程図である。また、図15ないし図18は、図14に示す半導体装置の製造フローにおける各工程のうちの一部の工程を示す模式断面図である。なお、本実施の形態における半導体装置の製造フローは、上述の実施の形態1における半導体装置の製造フローと一部分が共通であるため、以下においては上述の実施の形態1における半導体装置の製造フローと異なる部分についてのみ説明することとする。以下、図を参照して、本実施の形態における半導体装置の製造方法について説明する。
図19は、本発明の実施の形態4における半導体装置の製造フローを示す工程図である。また、図20ないし図24は、図19に示す半導体装置の製造フローにおける各工程のうちの一部の工程を示す模式断面図である。なお、本実施の形態における半導体装置の製造フローは、上述の実施の形態3における半導体装置の製造フローと一部分が共通であるため、以下においては上述の実施の形態3における半導体装置の製造フローと異なる部分についてのみ説明することとする。以下、図を参照して、本実施の形態における半導体装置の製造方法について説明する。以下、図を参照して、本実施の形態における半導体装置の製造方法について説明する。
Claims (3)
- 半導体素子を含む集積回路が形成された半導体ウェハの表面にフィルム状保護部材を貼付し、前記半導体ウェハの裏面を研削して前記半導体ウェハを薄仕上げする半導体ウェハ薄仕上げ工程と、
前記半導体ウェハ薄仕上げ工程後の前記半導体ウェハの裏面にダイボンド用のフィルム状接着部材を貼付するフィルム状接着部材貼付工程と、
前記フィルム状接着部材貼付工程後の前記半導体ウェハを裏面側から全面にわたって吸着保持し、この状態を維持しつつ前記フィルム状保護部材を前記半導体ウェハの表面から剥離するフィルム状保護部材剥離工程と、
前記フィルム状保護部材剥離工程後の前記半導体ウェハを表面側から全面にわたって吸着保持し、この状態を維持しつつ加熱処理を施すことにより前記フィルム状接着部材を硬化させ、前記フィルム状接着部材を前記半導体ウェハの裏面に接着するフィルム状接着部材接着工程とを備えた、半導体装置の製造方法。 - 前記フィルム状接着部材接着工程後の前記半導体ウェハをダイシング用のフレームにマウントする半導体ウェハマウント工程をさらに備え、
前記フィルム状接着部材接着工程における前記半導体ウェハの表面側からの全面吸着保持を維持しつつ前記半導体ウェハマウント工程を実施することを特徴とする、請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記フィルム状接着部材接着工程後の前記半導体ウェハを裏面側から全面にわたって吸着保持するとともに前記半導体ウェハの表面側からの吸着保持を解除し、この状態を維持しつつ前記半導体ウェハの表面に前記半導体ウェハの反りを抑制するフィルム状支持部材を貼付することを特徴とする、請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
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