JP2005243910A - 半導体チップの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体チップの製造方法は、表面に回路が形成された半導体ウエハ1の回路面に表面保護シート2を貼着する工程、該表面保護シート2を完全に切断し、かつウエハ1表面からそのウエハ厚さよりも浅い切込み深さの溝3を形成する工程、切断された表面保護シート側に、支持シートを貼着する工程、および上記半導体ウエハ1の裏面研削をすることでウエハの厚みを薄くするとともに、最終的には個々のチップへの分割を行なう工程、からなる。
【選択図】図2
Description
表面に回路が形成された半導体ウエハの回路面に表面保護シートを貼着する工程、
該表面保護シートを完全に切断し、かつウエハ表面からそのウエハ厚さよりも浅い切込み深さの溝を形成する工程、
切断された表面保護シート側に、支持シートを貼着する工程、および
上記半導体ウエハの裏面研削をすることでウエハの厚みを薄くするとともに、最終的には個々のチップへの分割を行なう工程、からなることを特徴としている。
(1)分割された各チップを、整列状態を保ったまま、研削面をピックアップ用シートに貼着し、切断された表面保護シートを支持シートとともに剥離することで、各チップをピックアップ用シートに転写する工程の後、
ピックアップ用シートからチップをピックアップする工程。
(2)独立して制御可能な吸着部を複数有し全体としてウエハを吸着固定できる吸着テーブルに、分割された各チップの研削された裏面を、整列状態を保ったまま吸着固定する工程、
支持シートを切断された表面保護シートとともに剥離する工程の後、
吸着テーブルからチップをピックアップする工程。
法が好ましく採用できる。
(1)分割された各チップ6を、整列状態を保ったまま、研削面をピックアップ用シート7に貼着し、切断された表面保護シート2を支持シート4とともに剥離することで、各チップ6をピックアップ用シート7に転写し(図4参照)、ピックアップ用シート7からチップ6をピックアップする。
(2)独立して制御可能な吸着部9を複数有し全体としてウエハを吸着固定できる吸着テーブル10に、分割された各チップ6の研削された裏面側を、整列状態を保ったまま吸着固定し、
支持シート4を切断された表面保護シート2とともに剥離し、
吸着テーブル10からチップ6をピックアップする方法があげられる。
真空ポンプに接続されている。したがって、バルブの開閉を制御することで、各吸着部の吸着力を独立して制御できる。また、1つの吸着部に2以上の真空ポンプを接続するようにしてもよい。
以下、本発明を実施例により説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
(1) 720μm厚、直径8インチサイズのシリコンウエハのミラー面に、基材として
熱収縮性ポリエチレンを用いた紫外線硬化型の粘着シートである表面保護シート(リンテ
ック社製、商品名:Adwill P-5781)を、テープ貼付装置(リンテック社製、RAD-3500m/12)でラミネートし、ウエハの外周に沿って切断した。続いて、ダイシング装置(ディスコ社
製、DFD-6360)により、チップサイズが5mm×5mmになるように表面保護シートを完全に切
断するとともに、シリコンウエハをミラー面から70μm深さとなるよう切り溝を設けた。次に、切断された表面保護シート面側に、ポリエチレンテレフタレートを基材とした強粘着タイプの支持シート(リンテック社製、Adwill P-4100)を、テープ貼付装置(RAD-3500m/12)により、貼付ローラー温度70℃で表面保護シートの基材を変形させながらラミネ
ートを行い、ウエハの外周に沿って切断した。このシリコンウエハの裏面を裏面研削装置(ディスコ社製、DFG-850)により研削し、ウエハを厚さ50μmまにで薄くするとともにチ
ップに分割した。これによりウエハサイズの支持シート上にウエハ形状のままチップ状に分割されたチップ(5mm×5mm、厚さ50μm)の集合体を得た。
実施例1の(1)と同様の操作を行って、ウエハサイズの支持シート上にウエハ形状のままチップ状に分割されたチップの集合体を得た。次に、支持シート側より紫外線照射装置(リンテック社製、RAD-2000m8)で紫外線照射し、表面保護シートの粘着剤層を硬化させた。
2…表面保護シート
3…溝
4…支持シート
5…グラインダー
6…半導体チップ
7…ピックアップ用シート
8…リングフレーム
9(9−1〜9−6):吸着部
10…吸着テーブル
11…バルブ
Claims (3)
- 表面に回路が形成された半導体ウエハの回路面に表面保護シートを貼着する工程、
該表面保護シートを完全に切断し、かつウエハ表面からそのウエハ厚さよりも浅い切込み深さの溝を形成する工程、
切断された表面保護シート側に、支持シートを貼着する工程、および
上記半導体ウエハの裏面研削をすることでウエハの厚みを薄くするとともに、最終的には個々のチップへの分割を行なう工程、
からなる半導体チップの製造方法。 - 分割工程の後、分割された各チップを、整列状態を保ったまま、研削面をピックアップ用シートに貼着し、切断された表面保護シートを支持シートとともに剥離することで、各チップをピックアップ用シートに転写する工程、および
ピックアップ用シートからチップをピックアップする工程、
をさらに含む請求項1に記載の半導体チップの製造方法。 - 分割工程の後、独立して制御可能な吸着部を複数有し全体としてウエハを吸着固定できる吸着テーブルに、分割された各チップの研削された裏面を、整列状態を保ったまま吸着固定する工程、
切断された表面保護シートを支持シートとともに剥離する工程、および
吸着テーブルからチップをピックアップする工程、
をさらに含む請求項1に記載の半導体チップの製造方法。
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JP2004051544A JP2005243910A (ja) | 2004-02-26 | 2004-02-26 | 半導体チップの製造方法 |
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2004
- 2004-02-26 JP JP2004051544A patent/JP2005243910A/ja active Pending
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