JP2009028922A5 - - Google Patents

Claims (29)

1. 基材上にプラズマ重合膜を備える第１の被着体の前記プラズマ重合膜と第２の被着体とを密着させ、前記第１の被着体と前記第２の被着体とを重ね合わせて、仮接合体を得る積層工程と、
   前記プラズマ重合膜のうち、一部の所定領域に対してエネルギーを付与することにより、前記所定領域において前記プラズマ重合膜と第２の被着体とを接合して、接合体を得るエネルギー付与工程とを有することを特徴とする接合方法。
2. 基材上の一部の領域に設けられたプラズマ重合膜を備える第１の被着体の前記プラズマ重合膜と第２の被着体とを密着させ、前記第１の被着体と前記第２の被着体とを重ね合わせて、仮接合体を得る積層工程と、
   前記プラズマ重合膜にエネルギーを付与することにより、前記所定領域において前記プラズマ重合膜と前記第２の被着体とを接合して、接合体を得るエネルギー付与工程とを有することを特徴とする接合方法。
3. 前記第２の被着体の前記プラズマ重合膜と密着する面には、水酸基が存在しており、
   前記積層工程において、前記プラズマ重合膜と、前記第２の被着体の前記水酸基が存在する面とが密着するように、前記第１の被着体と前記第２の被着体とを重ね合わせる請求項１または２に記載の接合方法。
4. 前記第２の被着体の前記プラズマ重合膜と密着する面は、酸化膜で覆われており、
   前記積層工程において、前記プラズマ重合膜と、前記第２の被着体の前記酸化膜で覆われた面とが密着するように、前記第１の被着体と前記第２の被着体とを重ね合わせる請求項１ないし３のいずれかに記載の接合方法。
5. 前記第２の被着体は、基材上にプラズマ重合膜を備えるものであり、
   前記積層工程において、前記第１の被着体の前記プラズマ重合膜と、前記第２の被着体の前記プラズマ重合膜とを密着させ、これらを重ね合わせるとともに、
   前記エネルギー付与工程において、少なくとも前記第１の被着体の前記プラズマ重合膜と前記第２の被着体の前記プラズマ重合膜とが重なり合った部分に、エネルギーを付与する請求項１ないし４のいずれかに記載の接合方法。
6. 前記第２の被着体は、基材と、該基材上の一部の所定領域に設けられたプラズマ重合膜とを備えるものである請求項５に記載の接合方法。
7. 前記第１の被着体の前記プラズマ重合膜および前記第２の被着体の前記プラズマ重合膜は、同種の材料で構成されている請求項５または６に記載の接合方法。
8. 前記プラズマ重合膜は、ポリオルガノシロキサンまたは有機金属ポリマーを主材料として構成されている請求項１ないし７のいずれかに記載の接合方法。
9. 前記ポリオルガノシロキサンは、オクタメチルトリシロキサンの重合物を主成分とするものである請求項８に記載の接合方法。
10. 前記有機金属ポリマーは、トリメチルガリウムまたはトリメチルアルミニウムの重合物を主成分とするものである請求項８に記載の接合方法。
11. 前記プラズマ重合膜の平均厚さは、１〜１０００ｎｍである請求項１ないし１０のいずれかに記載の接合方法。
12. 前記エネルギー付与工程における前記エネルギーの付与は、前記仮接合体を加熱する方法、および、前記仮接合体に圧力を付与する方法のうちの少なくとも１つの方法により行われる請求項１ないし１１のいずれかに記載の接合方法。
13. 前記加熱温度は、２５〜１００℃である請求項１２に記載の接合方法。
14. 前記圧縮力は、０．２〜１０ＭＰａである請求項１２または１３に記載の接合方法。
15. 前記第１の被着体が備える基材および前記第２の被着体が備える基材のうちの少なくとも一方は、エネルギー線の透過性を有しており、
    前記エネルギー付与工程における前記エネルギーの付与は、前記仮接合体の前記透過性を有する基材側から、前記エネルギー線を照射する方法により行われる請求項１ないし１４のいずれかに記載の接合方法。
16. 前記第１の被着体が備える基材および前記第２の被着体が備える基材のうちの少なくとも一方は、透光性を有しており、
    前記エネルギー付与工程における前記エネルギーの付与は、前記仮接合体の前記透光性を有する基材側から、紫外線を照射する方法により行われる請求項１ないし１５のいずれかに記載の接合方法。
17. 前記紫外線の波長は、１５０〜３００ｎｍである請求項１６に記載の接合方法。
18. 前記エネルギー線の照射は、大気雰囲気中で行われる請求項１６または１７に記載の接合方法。
19. 前記エネルギー付与工程の後、前記接合体に加熱する工程を有する請求項１ないし１８のいずれかに記載の接合方法。
20. 前記加熱温度は、２５〜１００℃である請求項１９に記載の接合方法。
21. 前記エネルギー付与工程の後、前記接合体を加圧する工程を有する請求項１ないし２０のいずれかに記載の接合方法。
22. 前記接合体を加圧する際の圧力は、０．２〜１０ＭＰａである請求項２１に記載の接合方法。
23. 前記第１の被着体は、あらかじめ、前記基材上に前記プラズマ重合膜との密着性を高める表面処理を施した後、該表面処理を施した領域に前記プラズマ重合膜を形成してなるものである請求項１ないし１８のいずれかに記載の接合方法。
24. 前記表面処理は、プラズマ処理である請求項２３に記載の接合方法。
25. 前記第１の被着体が備える基材および前記第２の被着体が備える基材は、それぞれ剛性が異なっている請求項１ないし２４のいずれかに記載の接合方法。
26. ２つの基材が、請求項１ないし２５のいずれかに記載の接合方法により接合されたことを特徴とする接合体。
27. 前記２つの基材間の接合強度は５ＭＰａ以上である請求項２６に記載の接合体。
28. 請求項２６または２７に記載の接合体を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
29. 請求項２８に記載の液滴吐出ヘッドを備えることを特徴とする液滴吐出装置。