JP2009027120A5

JP2009027120A5 -

Info

Publication number: JP2009027120A5
Application number: JP2007192705A
Authority: JP
Filing date: 2007-07-24
Publication date: 2010-07-22

Claims

基材上の少なくとも一部の領域に設けられた導電性成分を含むプラズマ重合膜を備える第１の被着体の前記プラズマ重合膜のうち、少なくとも一部の所定領域に対してエネルギーを付与して、前記プラズマ重合膜を活性化させ、前記プラズマ重合膜に導電性を発現させる第１の工程と、
前記プラズマ重合膜と前記第２の被着体とを密着させ、前記第１の被着体と前記第２の被着体とを貼り合わせ、接合体を得る第２の工程とを有することを特徴とする接合方法。
前記第１の被着体は、前記基材と、該基材上の全部の領域に設けられた導電性成分を含むプラズマ重合膜とを備えており、
前記第１の工程において、前記プラズマ重合膜のうち、一部の所定領域に対してエネルギーを付与することにより、前記所定領域に位置する前記プラズマ重合膜を部分的に活性化させるとともに、前記所定領域に位置する前記プラズマ重合膜に部分的に導電性を発現させる請求項１に記載の接合方法。
前記第２の被着体のうち、前記第１の被着体のプラズマ重合膜と密着する面には、水酸基が存在しており、
前記第２の工程において、前記プラズマ重合膜と、前記第２の被着体の前記水酸基が存在する面とが密着するように、前記第１の被着体と前記第２の被着体とを貼り合わせる請求項１または２に記載の接合方法。
前記第２の被着体の少なくとも前記プラズマ重合膜と密着する面は、酸化膜で覆われており、
前記第２の工程において、前記プラズマ重合膜と、前記第２の被着体の前記酸化膜で覆われた面とが密着するように、前記第１の被着体と前記第２の被着体とを貼り合わせる請求項１ないし３のいずれかに記載の接合方法。
基材上に導電性成分を含むプラズマ重合膜を備えた第１の被着体の前記プラズマ重合膜の表面と、基材上に導電性成分を含むプラズマ重合膜を備えた第２の被着体の前記プラズマ重合膜の表面と、にそれぞれエネルギーを付与して、前記各プラズマ重合膜の表面を活性化させるとともに、前記各プラズマ重合膜に導電性を発現させる第１の工程と、
該活性化させた各プラズマ重合膜の表面同士を密着させるように、前記第１の被着体と前記第２の被着体とを貼り合わせ、接合体を得る第２の工程とを有することを特徴とする接合方法。
前記第１の被着体および前記第２の被着体は、それぞれ、あらかじめ前記各基材上にプラズマによる下地処理を施した後、該下地処理を施した領域に前記プラズマ重合膜を形成してなるものである請求項５に記載の接合方法。
前記第１の被着体が備える基材と、前記第２の被着体が備える基材とは、それぞれ剛性が異なっている請求項５または６に記載の接合方法。
前記導電性成分を含むプラズマ重合膜は、有機金属ポリマーを主材料として構成されている請求項１ないし７のいずれかに記載の接合方法。
前記有機金属ポリマーは、トリメチルガリウムまたはトリメチルアルミニウムの重合物を主成分とするものである請求項８に記載の接合方法。
前記プラズマ重合膜の平均厚さは、１〜１０００ｎｍである請求項１ないし９のいずれかに記載の接合方法。
前記第１の工程における前記エネルギーの付与は、前記プラズマ重合膜を加熱する方法により行われる請求項１ないし１０のいずれかに記載の接合方法。
前記加熱の温度は、２５〜１００℃である請求項１１に記載の接合方法。
前記第１の工程における前記エネルギーの付与は、前記プラズマ重合膜に、エネルギー線を照射する方法により行われる請求項１ないし１２のいずれかに記載の接合方法。
前記エネルギー線は、波長１５０〜３００ｎｍの紫外光である請求項１３に記載の接合方法。
前記第１の工程は、大気雰囲気中で行われる請求項１ないし１４のいずれかに記載の接合方法。
前記第２の工程の後、前記接合体に熱処理を施す工程を有する請求項１ないし１５のいずれかに記載の接合方法。
前記熱処理の温度は、２５〜１００℃である請求項１６に記載の接合方法。
前記第２の工程の後、前記接合体を加圧する工程を有する請求項１ないし１７のいずれかに記載の接合方法。
前記接合体を加圧する際の圧力は、０．２〜１０ＭＰａである請求項１８に記載の接合方法。
前記第１の工程の終了後、６０分以内に、前記第２の工程を開始する請求項１ないし１９のいずれかに記載の接合方法。
２つの基材同士が、請求項１ないし２０のいずれかに記載の接合方法により接合されていることを特徴とする接合体。
２つの基材と、
導電性を有するプラズマ重合膜とを有し、
前記２つの基材同士が、前記プラズマ重合膜を介して接合されていることを特徴とする接合体。
前記導電性を有するプラズマ重合膜は、前記２つの基材上にそれぞれあらかじめ形成された導電性成分を含むプラズマ重合膜に、それぞれエネルギーを付与することにより、前記導電性成分を含むプラズマ重合膜に導電性を発現させるとともに、該各プラズマ重合膜同士を接合してなるものである請求項２２に記載の接合体。
前記２つの基材間の接合強度は５ＭＰａ以上である請求項２１ないし２３のいずれかに記載の接合体。
当該接合体中の前記導電性が発現したプラズマ重合膜の抵抗率は、１×１０^−３Ω・ｃｍ以下である請求項２１ないし２４のいずれかに記載の接合体。
請求項２１ないし２５のいずれかに記載の接合体を有することを特徴とする配線基板。